DE2527622B2

DE2527622B2 - Einrichtung zur Erzeugung eines in einer Abbildungsebene der Rechteckform angenäherten Querschnittes eines Laserstrahlenb lindeis

Info

Publication number: DE2527622B2
Application number: DE2527622A
Authority: DE
Inventors: Colin Weston Bowness; Clarence Frederick Waltham Luck Jun.
Original assignee: Raytheon Co
Current assignee: Raytheon Co
Priority date: 1974-06-26
Filing date: 1975-06-20
Publication date: 1980-04-24
Also published as: DE2527622A1; NL7506949A; FR2276138B1; JPS5111300A; GB1478074A; CA1032614A; JPS551875B2; IT1044131B; FR2276138A1; US3941973A; CH608403A5; NL168737B; AU8090175A; DE2527622C3; NL168737C

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Einrichtung zur Erzeugung eines in einer Abbildungsebene der Rechteckform angenäherten Querschnittes eines Laserstrahlenbündels, insbesondere für Laser-Abtragungsmaschinen, mit einem Laser, dessen Ausgangsstrahlenbündel zunächst im wesentlichen runden Querschnitt aufweist, und mit Ablenkmitteln, welche Teile des Ausgangsstrahlenbündels derart ablenken, daß diese Teile in der Abbildungsebene innerhalb des gewünschten Rechteckquerschnittes liegen.

Bei verschiedenen Herstellungsvorgängen werden heutzutage Laser verwendet, beispielsweise, wenn Material abgetragen oder entfernt werden soll, etwa zum Herstellen von Bohrungen und dergleichen. Bei der Herstellung von bestimmten Erzeugnissen, wie Mikroschaltungen, erfolgt die Abstimmung von Widerständen oft unter Einsatz eines Laserstrahls, ebenso wie bei der Abtragung von Material zur Hersteilung von Leiterstük· ken. Bekannte Laser, welche beispielsweise Rubinkristalle oder Yttrium-Aluminium-Granatkristalle enthalten, erzeugen ein sehr intensives Strahlenbündel kohärenter elektromagnetischer Strahlung. Da der Kristall massiv-zylindrische Gestalt hat und da das Strahlungsbündel von einem Ende des Kristalls austritt, hat das Laser-Strahlungsbündel im wesentlichen kreisscheibenförmige Querschnittsgestalt. Zwar ist ein Strahlungsbündel mit dieser Form des Querschnittes in vielen Fällen bei der Abtragung von Material sehr zweckmäßig, doch ist es andererseits manchmal vorteilhafter, wenn das Strahlungsbündel eine rechtekkige Querschnittsform besitzt Soll z. B. Werkstoff aus einem ganz genau begrenzten Bereich einer Mikroschaltung entfernt werden, so läßt sich mit einem Strahlungsbündel runder oder elliptischer Queischnittsgestalt nicht zufriedenstellend arbeiten. Ein Beispiel sind Speicher, in welchen durchschmelzbare Leiterbrücken vorgesehen sind, von denen bestimmte Leiterbrücken durchgebrannt oder weggedampft werden müssen, um Bauteile des betreffenden Gerätes willkürlich elektrisch isolieren zu können. In diesen Fällen kann es vorkommen, daß ein im Querschnitt rundes oder elliptisches Strahlungsbündel geringer Größe zwar einen Teil einer Leiterbrücke wegbrennt, jednch dabei auch benachbarte Oberflächenbereiche des Mikroschaltungsbauteils beschädigt oder daß bei außerordentlich geringer Größe des Querschnittes des Strahlungsbündels nur ein Teil der zu entfernenden Leiterbrücke weggebrannt oder weggedampft wird, während noch Teile der sehr nahe beieinanderliegenden Leiterbrücken

zurückbleiben, so daß unerwünschte elektrische Verbindungen fortbestehen.

Es ist bereits bekannt, die Gestalt des Querschnittes eines Laserstrahlungsbündels von der runden Form oder elliptischen Form in eine rechteckige Form

umzuwandeln. Dies kann entweder elektronisch oder optisch geschehen. Die bekannten Maßnahmen erwiesen sich jedoch aus verschiedenen Gründen als unvorteilhaft, beispielsweise wegen schlechter Qualität oder schlechter Begrenzung der Rechteckform, wegen eines Verlustes an Strahlungsenergie oder wegen ungleichförmiger Energieverteilung. Ein bekanntes Verfahren besteht darin, daß Strahlungsbündel durch eine öffnung einer undurchlässigen Blendenplatte zu führen, wobei die öffnung oder der Durchbruch eine Gestalt besitzt, weiche der gewünschten Querschnittsgestalt des Strahlungsbündels entspricht Bei diesem Verfahren geht ein beträchtlicher Anteil der Strahlung verloren, da Teile des Strahlungsbündels notwendigerweise auf die undurchlässigen Bereiche der Blendenplatte auftreffen und dort aufgehalten werden.

Aus der DE-OS 15 65 144 und der FR-PS 15 61 369 ist es bekannt, annähernd eine Rechteckform des Querschnittes des Laserstrahlenbündels in einer Abbildungsebene durch Vervendung einer Zylinderlinsenanordnung zu erzielen. Bei Verwendung solcher Systeme in Laser-Materialabtragungsmaschinen ist es jedoch schwierig, vor dem Bearbeitungsvorgang festzustellen, wo der angenähert rechteckige Strahlenquerschnitt auftritt. Hierdurch wird eine leichte Verwendbarkeit des Gerätes unter Beobachtung durch Fernsehwiedergabegeräte und durch unmittelbare Betrachtung über ein Okular in einem geschlosseinen, koaxialen Beobachtungsstrahlengang verhindert Auch ist die Annäherung der gewünschten Rechteckfonn desStrahlenquerschnittes vergleichsweise schlecht. Insbesondere ergibt sich bei einer Kompression des zunächst im wesentlichen runden Strahlquerschnittes in einer Richtung durch eine Zylinderlinse eine im wesentlichen sinusförmige Energieverteilung über die lange Rechteckseite hin.

ft5 Durch die Erfindung soll die Aufgabe gelöst werden, eine Einrichtung der eingangs beschriebenen Art so auszugestalten, daß ohne einen wesentlichen Verlust von Energie des Laserstrahlenbündels in der Abbil-

dungsebene gegenüber dem Ausgangsstrahlenbündel eine bessere Annäherung an die Rechteckform des Querschnittes in dieser Abbildungsebene und eine höhere Gleichmäßigkeit der Energiedichte erzielt werden.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die genannten Ablenkmittel ein Paar in solchem Abstand einander gegenüberliegender optischer Ablenkelemente enthalten, daß sie jeweils einander gegenüberliegende Seitenbereiche des Laserstrahlenbündels von diesem abtrennen und gesondert auf eine Sammellinse lenken, während ein zwischen den Ablenkelementen durchtretendes, verbleibendes Teilstrahlenbündel unmittelbar auf die Sammellinse auftrifft, die sämtliche Teile des Laserstrahlenbündels in der Abbildungsebene in den Umriß des gewünschten Rechteckquerschnittes fokussiert

Das System gestattet eine optische Betrachtung über die Achse des Strahlungsbündels sowie die Überlagerung eines auf der Achse gelegenen Fadenkreuzes und dergleichen. Weiter ist das System hervorragend zur Verwendung von Fernsehaufnahmekame-as und -Wiedergabegeräten zum Zwecke der Steuerung und Überwachung geeignet.

Zweckmäßige Weiterbildungen und Ausgestaltungen bilden Gegenstand der Unteransprüche. Nachfolgend werden einige Ausführungsbeispiele unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert Es stellt dar

F i g. 1 eine perspektivische Ansicht eines Gerätes zur Durchführung eines Laser-Materialabtragungsverfahrens,

Fig.2 eine Aufsicht auf eine Einrichtung zur Formung des Querschnittes eines Laserstrahlenbündels,

Fig.3 eine perspektivische, schematische Abbildung der gesamten optischen Einrichtungen des Gerätes nach Fig. 1,

F i g. 4 eine schematische Abbildung einer Strahlungsbündel-Kompressionseinrichtung zum vorbereitenden Bündeln eines Laserstrahls vor der Eingabe in die Einrichtung ζ·τ Formung des Laserstrahlenbündels,

Fig.5 eine Kurvendarstellung zur Verdeutlichung der Verteilung der Strahlungsintensität am Ausgang des stabförmigen Lasers,

F i g. 6 eine ähnliche Abbildung wie F i g. 2 von einer anderen Ausführungsform einer Einrichtung zur Formung des Querschnittes eines Strahlu: gsbündels.

In den Zeichnungen sind einander entsprechende Teile in den verschiedenen Ansichten auch mit gleichen Bezugszahlen bezeichnet. F i g. 1 zeigt eine Laser-Materialabtragungsmaschine r.iit einer auf einem tischartigen Untergestell montierten Konsole 10, welche den Laser und die zugehörigen optischen Einrichtungen enthält und eine Türkonstruktion 12 aufweist, über welche eine Bedienungsperson Zugang zu dem Arbeitsraum erhält. Ein Fernseh-Wiedei gabegerät 13 ist so angeordnet und eingestellt, daß sein Bildschirm vom Arbeitsplatz aus betrachtbar ist. Einstellmittel auf der Vorderseite des Gerätes sind leicht erreichbar.

Wenn die Türen 12 geöffnet werden, so kann von der Bedienungsperson ein Werkstück, beispielsweise eine in F i g. 3 schematisch dargestellte Mikroschaltung f4, auf einen geeigneten, einstellbaren Support gelegt werden. Sind die Türen 12 geschlossen, so kann die Bedienungsperson einen Laser betätigen, welcher ein Laserstrahlenbündel Strahlung auf das Werkstück richtet, so daß in dem von dem Laserstrahl getroffenen Werkstückbereich Material entfernt wird.

Bei gebräuchlichen, impulsweise betriebenen Lasern hat das Lasermedium die Form eines Rubinstabes oder Yttrium-Aluminium-Granatstabes oder dergleichen. Wirkt auf dieses Lasermedium eine Pumpstrahlung in bekannter Weise ein, so wird das Strahlungsbündel erzeugt welches von einem Ende des stabförmigen Lasermediums austritt Nachdem die Kristallstäbe im allgemeinen die Form eines massiven Zylinders haben, hat das erzeugte Strahlungsbündel im allgemeinen im Querschnitt llcreisscheibenförmige Gestalt wobei eine Energiedichteverteilung festzustellen ist welche der Kurve 16 nach F i g. 5 entspricht Man erkennt, daß die Energiedichte im mittleren Bereich des Strahlungsbündels bedeutend größer als in den Randbereichen ist
Durch die hier angegebenen Maßnahmen wird nun die kreisscheibenförmige Querschnittsgestalt des Laser-Stxahiungsbiiindels in eine im wesentlichen rechteckige Form umgewandelt ohne daß ;ine wesentliche Mlinderung der Gesamtstrahlungsintensität eintritt, wobei außerdem eine Verbesserung der Gleichförmigkeit der Strahlungsdichte über die gp^amte Breite und die gesamte Stärke des Strahlungibündels erzielt werden kann, derart daß in einer Projektionsebene das Bild des Strahlungsbündels im wesentlichen gleichförmige Energiiedichte über seine gesamte Fläche hin aufweist.

Die Änderung der Querschnittsgestalt des Strahlungsbündels geschieht nach Fig.2 durch ein Paar langgestreckter, schmaler, plattenförmiger Reflektoren 20 und 22. Die Reflektoren könne» von Glasplatten

μ gebildet sein, die verhältnismäßig glatte, reflektierende Oberflächen besitzen. Die plattenförmigen Reflektoren 20 und 22 haben geringen Abstand voneinander und bilden zueinander in der dargestellten Weise einen geringen Winkel, so daß ein konisch zulaufender Lichtübertragungskanal entsteht, durch welchen hindurch das Laserstrahlungsbündel geleitet wird. Aus Fig.2 ist zu erkennen, daß das Laserstrahlungsbündel 24 dort zwischen die beiden Reflektoren eintritt, wo diese den größeren Abstand voneinander haben, und an

•»ο der Stelle geringeren Abstandes zwischen den Reflektoren wieder austritt, von wo aus das Strahlungsbündel über eine Sammellinse 26 zu einer Abbildungsebene 38 gelangt, welche von dem Werkstück 14 gebildet sein kann.

Das Strahlungsbündel besitzt beim Eintreten zwischen die Reflektoren 20 und 22 kreisscheibenförmigen Querschnitt und tritt als im Querschnitt langgestrecktes, schmales, nahezu rechteckiges Strahlungsbündel aus den Reflektoren wieder aus. Dies beruht darauf, daß

w einander gegenüberliegende Seitenbereiche des Strahlungsbündels auf die jeweiligen inneren schrägen Oberflächen der plattenförmigen Reflektoren auftreffen und von diesen durch den schmalen Spalt zwischen den Reflektoren nach außen reflektiert werden. Dies ist in F ε g. 2 durch die Bezugszahl 28 deutlich gemacht. welche denjenigen Seitenbereich des Strahlungsbündels bezeichnet, der auf die reflektierende Fläche 30 des plattenförmigen Reflektors 20 fällt. Man entnimmt aus F i g. 2, daß der AnHI 28 des Strahlungsbündels einmal

f>o vollständig reflektiert wird und nach Austreten aus der Kompressionseinrichtung 18 praktisch ein getrenntes Strahlungsbündel 32 wird, welches auf einen Teil der Sammellinse 26 trifft. In gleicher Weise wird der gegenüberliegende Seitenbereich des Lasersirahlungs-

<>'> bündeis 24 einmal vw der innenüegenden Oberfläche des plattenförmigen Reflektors 22 reflektiert und tritt aus dem schmalen Spalt zwischen den Reflektoren als ein drittes, gesondertes Strahlungsbündel 34 au' ;!.-!<.

von der Sammellinse 26 so gebrochen wird, daß es sich zusammen mit dem Strahlungsbündel 32 und dem mittleren,unreflektierten Teil des Ausgangs-Laserstrahlungsbündels in der Abbildungsebene 36 überlagert, so daß ein einziges Bild 38 entsteht, das im wesentlichen rechteckige Gestalt besitzt. Nachdem ferner sehr wenig Energie des Ausgangsstrahlungsbündels bei dem Reflexionsvorgang verlorengeht, ist in dem Bild 38 auf der Abbildungsebene 36 im wesentlichen sämtliche Energie des Ausgangs-Strahlenbündels festzustellen.

Wie in Fig. 5 gezeigt, hat die Verteilung der Ausgangsstrahlung am emittierenden Ende des Laserstabes normalerweise die Gestalt einer Kurve 16. Während des Reflexionsvorganges werden jedoch die Seitenbereiche 40 und 42 in der Abbildungsebene dem mittleren Bereich des Strahlungsbündels überlagert, so daß die Gesamtstrahlungsdichte im mittleren Teil erhöht wird und der Scheite! oder di^p Sⁿitz^p de? mittleren Bereiches der Kurve 16 rechteckig gemacht wird.

Die Seitenbereiche des Laserstrahlungsbündels 24 erfahren vorzugsweise eine einmalige Reflexion. Es können jedoch weitere Reflexionen vorgesehen sein, je nachdem, welche optischen Parameter gewählt werden und welche Größe des Bildes erwünscht ist. Die Breite des Bildes beträgt vorzugsweise 0,025 mm bis 0,05 mm. Diese Größe kann dadurch verändert werden, daß die ausgangsseitigen Enden der plattenförmigen Reflektoren 20 und 22 symmetrisch auseinanderbewegt oder einander angenähert werden, was in einfacher Weise durch einen Mikrometerantrieb und ein entsprechendes Verbindungsgestänge geschehen kann. Zu diesem Zwecke können die eingangsscitigen Enden der plattenförmigen Reflektoren schar nierartig miteinander verbunden sein. Die Veränderung der genannten Abmessung hat keinen Einfluß auf den Gesamt-Energiegehalt des Strahlungsbündels.

Die Längenabmessung des Bildes 38 beträgt beispielsweise 0,154 mm. Nahe der Ausgangsseite der Reflektoren 20, 22 ist eine einstellbare Schlitzblende 44 vorgesehen, welche die Aufgabe hat, die genaue Länge des Bildes 38 einzustellen.

Zwar geschieht das Zusammendrücken des Laserstrahlungsbündels 24 in erster Linie durch die Reflektoren 20, 22, doch ist festzustellen, daß für ein Strahlungsbündel mit einem Durchmesser von 6,35 mm bereits verhältnismäßig große Reflektoren erforderlich sind, um die gewünschte Verringerung der Querschnittsabmessungen des Strahlungsbündels, zu erreichen. Im allgemeinen ist es daher wünschenswert, eine zusätzliche Strahlungsbündel-Kompressionseinrichtung zu verwenden, welche vorzugsweise zwischen dem Ausgang des Lasers und den Reflektoren 20, 22 vorgesehen ist. Diese zusätzliche Kompressionseinrichtung kann ein Paar von Prismen 46 und 48 (Fig.4) enthalten, welche das Strahlungsbündel 24 zunächst in einer Richtung zusammendrücken. Das Strahlungsbündel 24 tritt mit der ursprünglichen, bei 50 angedeuteten Querschnittsform in das erste Prisma 46 ein und ist nach dem Verlassen des Prismas, wie bei 52 angedeutet, deformiert, wonach eine weitere Zusammendrückung des Querschnittes erfolgt, wenn das Strahlungsbündel durch das Prisma 48 geführt wird, wie durch die Querschnittsform 54 deutlich gemacht ist Zwischen den Reflektoren 20, 22 tritt also nur das im Querschnitt zusammengedrückte Strahiungsbündel 54 ein.

Anstelle der im Winkel zueinander stehenden, plattenförmigen Reflektoren 20 und 22 kann, wie in Fig.6 gezeigt ist, ein Paar im Abstand voneinander angeordneter Prismen 124 und 126 vorgesehen sein. Das eintreffende, nicht komprimierte oder nur teilweise komprimierte Strahlenbündel 24 wird von den Prismen 124 und 126 in insgesamt drei Strahlungsbündelanteile 28, 30 und 32 aufgespalten, welche durch die Sammellinse 26 einander überlagert und auf die Bildebene 36 fokussiert werden, wo sich ein einziges, im wesentlichen rechteckiges Bild oder ein einziger Fleck

in 38 ergibt.

Bei dem System gemäß Fig. 3 ist ein impulsweise betriebener Laser 56 vorgesehen, welcher ein Strahlungsbündel 24 erzeugt, das für das Materialabtragungsverfahren verwendet wird, wobei der Laserkristall

i^r> beispielsweise von einem Rubin-Kristallstab 58 gebildet ist. Das stirnseitige Ende des Rubinstabes 58 besitzt eine Oberfläche, welche als Fresnel'sche Reflexionen erzeuorpnrtpr Aiicoanoccmpopj auccrpKijHot ict uuähronH A<*c gegenüberliegende Ende durch Beschichtung reflexionsfrei ausgebildet ist. Ein zu 100% reflektierender Spiegel 60 ist in bestimmtem Abstand vom hinteren Ende des Kristallstabes 58 angeordnet und wirkt mit dem am stirnseitigen Ende vorgesehenen Oberflächenspiegel zur Schaffung eines Resonanzraumes zusam-

2^r> men, wie dies für Laser der hier betrachteten Art bekannt ist. Der Rubinstab 58 und eine dazu parallel verhufende Xenon-Blitzlampe 62 zur Erzeugung der Pumpenergie sind jeweils an den Brennpunkten eines elliptischen Reflektors 64 angeordnet, der mit dem Rubinstab 58 in solcher Weise zusammenwirkt, daß das Laserstrahlungsbündel 24 Ln Gestalt von Impulsen hoher Strahlungsenergie bei bis zu lOpps abgegeben wird Die Energieversorgung (nicht dargestellt) kann in dem tischartigen Untergestell 66 untergebracht sein.

Das Strahlungsbündel 24 wird durch die seinen Querschnitt deformierenden Prismen 46 und 48 geführt und wird dadurch in einer Richtung in seinem Querschnitt zusammengedrückt, wie zuvor anhand von Fig.4 ausgeführt worden ist. Das danach teilweise zusammengedrückte Strahlungsbündel 54 tritt dann zwischen die anhand von Fig. 2 beschriebenen Reflektoren 20, 22, wobei eine weitere Kompression erfolgt. Die Laserenergie tritt dann aus den Reflektoren 20, 22 in Gestalt von drei schmalen Strahlungsbündeln aus.

welche von der Sammellinse 26 auf eine Abbiidungsebene fokussiert werden, weiche von der Oberfläche des Werkstückes 14 gebildet ist.

Das anfänglich im Querschnitt kreisscheibenförmige Strahlungsbündel ist in der Abbildungsebene zu einem

so Rechteckquerschnitt verformt. Die Länge diesr . Rechtecks wird durch die einstellbare Schlitzblende 44 auf der Ausgangsseite der Reflektoren eingestellt.

Die beschriebene Einrichtung erweist sich als besonders zweckmäßig bei der Herstellung von Halbleiteranordnungen, beispielsweise Mikroschaltungen, bei deren Herstellung es oft wünschenswert ist, selektiv Bereiche einer dünnen Materialschicht von einem Träger zu entfernen.

Die Laser-Materialabtragungsmaschine kann programmgesteuert werden, so daß bestimmte Leiterverbindungen in der jeweils gewünschten Weise aufgetrennt werden können.

Gemäß Fig.3 wird zunächst zur Einstellung und Vorbereitung des Gerätes das Werkstück 14 auf einen geeigneten Support, beispielsweise auf einen Tisch 102 eines Kreuzsupportes, gesetzt. Eine Einstellung in der Höhe kann ebenso vorgesehen sein, und mittels einer Handbedienungseinrichtung 104 vorgenommen werden.

Um einen Bildflcck oder Brennfleck auf dem Werkstück sichtbar machen und beobachten zu können, ist ein weiterer, geringere Leistung aufweisender Laser 106 vorgesehen, der ein Helium-Neon-Laser sein kann und einen sichtbaren Biidfleck auf dem Werkstück an genau derjenigen Stelle erzeugt, auf welche das Sirahlungsbündel 24 des hohe Leistung besitzenden Rubinlasers auftrifft. Der weitere Laser 106 liefert ein kontinuierliches Strahlenbündel 108, welches von einem Spiegel 110 zu dem Prisma 46 hin reflektiert wird und dann auf demselben Wege verläuft wie das Strahlenbündel 24 des impulsweise betriebenen Lasers, so daß auch dieses Strahlenbündel komprimiert und fokussiert wird, um einen kleinen, im wesentlichen rechteckigen Bildfleck auf dem Werkstück zu erhalten.

Eine unmittelbare Beobachtung des Bildflecks kann

von der Bedienungsperson über ein binokulares oder in anderer Weise ausgebildetes Mikroskop 112 sowie über geeignete Spiegel 114 und 118 und einen mit einer Perforation versehenen Einklappspiegel 118 vorgenommen werden, welcher im Strahlengang des Strahlungsbündels hinter der Kompressionseinrichtung 18 vorgesehen ist. Außerdem kann eine Fernsehkamera 120 optisch auf das Werkstück 114 ausgerichtet werden, was mit Hilfe eines geeigneten, im Strahlengang des komprimierten Strahlungsbündels vorgesehenen Spiegels 122 in der dargestellten Weise erreicht wird.

Schließlich läßt sich bei der hier vorgeschlagenen Einrichtung, was in den Zeichnungen nicht gezeigt ist, in einfacher Weise das Bild eines Fadenkreuzes dem Bild des Werkstückes 14 überlagern.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Einrichtung zur Erzeugung eines in einer Abbildungsebene der Rechteckform angenäherten Querschnittes eines Laserstrahlenbündels, insbesondere für Laser-Materialabtragungsmaschinen, mit einem Laser, dessen Ausgangsstrahlenbündel zunächst im wesentlichen runden Querschnitt aufweist, und mit Ablenkmitteln, welche Teile des Ausgangsstrahlenbündels derart ablenken, daß diese Teile in der Abbildungsebene innerhalb des gewünschten Rechteckquerschnittes liegen, dadurch gekennzeichnet, daß die Ablenkmittel ein Paar in solchem gegenseitigen Abstand einander gegenüberliegender optischer Ablenkelemente (20, 22 bzw. 124, 126) enthalten, daß sie jeweils einander gegenüberliegende Seitenbereiche des Laserstrahlenbündels von diesem abtrennen und gesondert auf eine Sammellinse (26) lenken, während ein zwischen den Ablenkelementen durchtretendes, verbleibendes Teilstrahlenbündel unmittelbar auf die Sammellinse auftrifft, die sämtliche Teile des Laserstrahlenbündels in der Abbildungsebene in den Umriß des gewünschten Rechteckquerschnittes (38) fokussiert

2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ablenkelemente von einem Paar im Abstand voneinander angeordneter, einen Winkel zueinander bildender, reflektierender Platten (20, 22) gebildet sind.

3. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ablenkelemente von einem Paar im Abstand voneinander angeordneter Prismen (124,126) gebildet sind

4. Einrichtung nach e^!nem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß ei η Ablenkelementen im Strahlengang eine Prismenanordnung (46, 48) vorgeschaltet ist, welche das Ausgangsstrahlenbündel (24) in einer Richtung teilweise zusammendrückt (54).