DE2527622C3

DE2527622C3 - Einrichtung zur Erzeugung eines in einer Abbildungsebene der Rechteckform angenäherten Querschnittes eines Laserstrahlenbündels

Info

Publication number: DE2527622C3
Application number: DE2527622A
Authority: DE
Inventors: Colin Weston Bowness; Clarence Frederick Waltham Luck Jun.
Original assignee: Raytheon Co
Current assignee: Raytheon Co
Priority date: 1974-06-26
Filing date: 1975-06-20
Publication date: 1981-01-15
Also published as: CA1032614A; GB1478074A; CH608403A5; FR2276138A1; US3941973A; NL168737C; NL7506949A; JPS551875B2; NL168737B; IT1044131B; DE2527622A1; AU8090175A; JPS5111300A; FR2276138B1; DE2527622B2

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Einrichtung zur Erzeugung eines in einer Abbildungsebene der Rechttckform angenäherten Querschnittes eines Laserstrahlenbündels, insbesondere für Laser-Abtragungsmaschi-•en, mit einem Laser, dessen Ausgangsstrahlenbündel lunächst im wesentlichen runden Querschnitt aufweist, und mit Ablenkmitteln, welche Teile des Ausgangsstrahlenbündels derart ablenken, daß diese Teile in der Abbildungsebene innerhalb des gewünschten Rechteck-Querschnittes liegen.

Bei verschiedenen Herstellungsvorgängen werden heutzutage Laser verwendet, beispielsweise, wenn Material abgetragen oder enifernt werden soll, etwa ium Herstellen von Bohrungen und dergleichen. Bei der Herstellung von bestimmten Erzeugnissen, wie Mikroichaltungen, erfolgt die Abstimmung von Widerständen oft unter Einsatz eines Laserstrahls, ebenso wie bei der Abtragung Von Material zUrHers teilung Von Leiterstükken < Bekannte Laser, welche beispielsweise Rubinkristalle oder Yttrium-Aluminiüm-Granatkristalle enthalten, erzeugen ein sehr intensives Strahlenbündel kohärenter elektromagnetischer Strahlung* Da der Kristall massiv-zylindrische Gestalt hat und da das Strahlungsbündei Von einem Ende des Kristalls austritt, hat das Laser-Strahlungsbündel im wesentlichen kreisscheibenförmige Querschnittsgestalt. Zwar ist ein Strahlungsbündel mit dieser Form des Querschnittes in vielen Fällen bei der Abtragung von Material sehr zweckmäßig, doch ist es andererseits manchmal vorteilhafter, wenn das Strahlungsbündei eine rechtekkige Querschnittsform besitzt, Soll z. B. Werkstoff aus einem ganz genau begrenzten Bereich einer Mikroschaltung entfernt werden, so läßt sich mi* einem Strahlungsbündei runder oder elliptischer Querschnittsgestalt nicht zufriedenstellend arbeiten. Ein Beispiel sind Speicher, in welchen durchschmelzbare Leiterbrücken vorgesehen sind, von denen bestimmte Leiterbrücken durchgebrannt oder weggedampft werden müssen, um Bauteile des betreffenden Gerätes willkürlich elektrisch isolieren zu können. In diesen Fällen kann es vorkommen, daß ein im Querschnitt rundes oder elliptisches Strahlungsbündei geringer Größe zwar einen Teil einer Leiterbrücke wegbrennt, jedoch dabei auch benachbarte Oberflächenbereiche des Mikroschaltungsbauteils beschädigt oder daß bei außerordentlich geringer Größe des Querschnittes des Strahiungsbündels nur ein Teil der zu entfernenden Leiterbrücke weggebrannt oder weggedampft wird, während noch Teile der sehr nahe beieinanderliegenden Leiterbrücken zurückbleiben, so daß unerwünschte elektrische Verbindungen fortbestehen

Es ist bereits bekannt, die Gestalt des Querschnittes eines Laserstrahlungsbündels von der runden Form oder elliptischen Form in eine rechteckige Form umzuwandeln. Dies kann entweder elektronisch oder optisch geschehen. Die bekannten Maßnahmen erwiesen sich jedoch aus verschiedenen Gründen als unvorteilhaft, beispielsweise wegen schlechter Qualität oder schlechter Begrenzung der Rechteckform, wegen eines Verlustes an Strahlungsenergie oder wegen ungleichförmiger Energieverteilung. Ein bekanntes Verfahren besteht darin, daß Strahlungsbündei durch eine Öffnung einer undurchlässigen Blendenplatte zu führen, wobei die Öffnung oder dtr Durchbruch eine Gestalt besitzt, welche der gewünschten Querschnittsgestalt des Strahlungsbündels entspricht. Bei diesem Verfahren geht ein beträchtlicher Anteil der Strahlung verloren, da Teile des Strahlungsbündels notwendigerweise auf die undurchlässigen Bereiche der Blendenplatte auftreffen und oort aufgehalten werden.

Aus der DE-OS 15 65 144 und der FR-PS 15 61 369 ist es bekannt, annähernd eine Rechteckform des Querschnittes des Laserstrahlenbündels in einer Abbildungsebene durch Verwendung einer Zylinderlinsenanordnung zu erzielen. Bei Verwendung solcher Systeme in Laser-Materialabtragungsmaschinen ist es jedoch schwierig, vor dem Bearbeitungsvorgang festzustellen, wo der angenähert rechteckige Strahlenquerschnitt auftritt. Hierdurch wird eine leichte Verwendbarkeit des Gerätes unter Beobachtung durch Fernsehwiedergabegeräte und durch unmittelbare Betrachtung über ein Okular in einem geschlossenen, koaxialen Beobachtungsstrahlengang verhindert. Auch ist die Annäherung der gewünschten Rechteckform des Strahlenquerschnittes vergleichsweise schlecht, Insbesondere ergibt sich bei einer Kompression des zunächst im wesentlichen runden Strahlquerschnittes in einer Richtung durch eine Zylinderlinse eine im Wesentlichen sinusförmige Energieverteilung über die lange Redhteckseite him

Durch die Erfindung soll die Aufgabe gelöst Werden, eine Einrichtung der eingangs beschriebenen Art so auszugestalten, daß ohne einen Wesentlichen Verlust Von Energie des Laserstrahlenbündels in der Abbil-

ZD Z/ OZZ

dungsebene gegenüber dem Ausgangsstrahlenbündel eine bessere Annäherung an die Rechteckform des Querschnittes in dieser Abbildungsebene und eine höhere Gleichmäßigkeit der Energiedichte erzielt werden.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die genannten Ablenkmittel ein Paar in solchem Abstand einander gegenüberliegender optischer Ablenkelemente enthalten, daß sie jeweils einander gegenüberliegende Seitenbereiche des Laserstrahlenbündels von diesem abtrennen und gesondert auf eine Sammellinse lenken, während ein zwischen den Ablenkelementen durchtretendes, verbleibendes Teilstrahlenbündel unmittelbar auf die Sammellinse auftrifft, die sämtliche Teile des Laserstrahlenbündels in der Abbildungsebene in den Umriß des gewünschten Rechteckquerschnittes fokussiert

Das System gestattet eine optische Betrachtung über die Achse des Strahlungsbündels sowie die Überlagerung eines auf der Achse gelegenen Fadenkreuzes und dergleichen. Weiter ist das System hervorragend 7ur Verwendung von Fernsehaufnahmekameras und -Wiedergabegeräten zum Zwecke der Steuerung und Überwachung geeignet.

Zweckmäßige Weiterbildungen und Ausgestaltungen bilden Gegenstand der Unteransprüche. Nachfolgend werden einige Ausführungsbeispiele unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert. Es stellt dar

F i g. 1 eine perspektivische Ansicht eines Gerätes zur Durchführung eines Laser-Materialabtragungsverfahrens,

F i g. 2 eine Aufsicht auf eine Einrichtung zur Formung des Querschnittes eines Laserstrahlsnbündels,

F i g. 3 eine perspektivische, schematische Abbildung der gesamten optischen Einrichtungen des Gerätes nach Fig. 1,

F i g. 4 eine schematische Abbildung einer Strahlungsbündel-Kompressionseinrichtung zum vorbereitenden Bündeln eines Laserstrahls vor der Eingabe in die Einrichtung zur Formung des Laserstrahlenbündels,

Fig.5 eine Kurvendarstellung zur Verdeutlichung der Verteilung der Strahlungsintensität am Ausgang des stabförmigen Lasers,

F i g. 6 eine ähnliche Abbildung wie F i g. 2 von einer anderen Ausführungsform einer Einrichtung zur Formung des Querschnittes eines Strahlungsbündels.

In den Zeichnungen sind einander entsprechende Teile in den verschiedenen Ansichten auch mit gleichen Bezugszahlen bezeichnet F i g. 1 zeigt eine Laser-Materialabtragungsmaschine mit einer auf einem tischartigen Untergestell montierten Konsole 10, weiche den Laser und die zugehörigen optischen Einrichtungen enthält und eine Türkonstruktion 12 aufweist, über weiche eine Bedienungsperson Zugang zu dem Arbeitsraum erhält. Ein Fernseh-Wiedergabegerät 13 ist so angeordnet und eingestellt, daß sein Bildschirm vom Arbeitsplatz aus betrachtbar ist. Einstellmittel auf der Vorderseite des Gerätes sind leicht erreichbar.

Wenn die Türen 12 geöffnet werden, so kann von der Bedienungsperson ein Werkstück, beispielsweise eine in Fi g. 3 schematisch dargestellte Mikroschaltung 14, auf einen geeigneten, einstellbaren Support gelegt werden. Sind die Türen 12 geschlossen, so kann die BedienungS' person einen Laser betätigen, welcher ein Laserstrahl ienbündel Strahlung auf das Werkstück richtet, so daß in dem von dem Laserstrahl getroffenen Werkstückbereich Material entfernt wird.

Bei gebräuchlichen, impulsweise betriebenen Lasern hat das Lasermedium die Form eines Rubinstabes oder Yttrium-AIuminium-Granatstabes oder dergleicher. Wirkt auf dieses Lasermedium eine Pumpstrahlung in bekannter Weise ein, so wird das Strahlungsbündel erzeugt, welches von einem Ende des stabförmigen Lasermediums austritt Nachdem die Kristallstäbe im allgemeinen die Form eines massiven Zylinders haben, hat das erzeugte Strahlungsbündel im allgemeinen im Querschnitt kreisscheibenförmige Gestalt, wobei eine

ίο Energiedichteverteilung festzustellen ist, welche der Kurve 16 nach Fi g. 5 entspricht Man erkennt, daß die Energiedichte im mittleren Bereich des Strahlungsbündels bedeutend größer als in den Randbereichen ist
Durch die hier angegebenen Maßnahmen wird nun

is die kreisscheibenförmige Querschnittsgestalt des Laser-Strahlungsbündels in eine im wesentlichen rechteckige Form umgewandelt ohne daß eine wesentliche Mindenang der Gesamtstrahlungsintensität eintritt wobei außerdem eine Verbesserung der Gleichförmigkeit der Strahlungsdichte über die g. »arme Breite und die gesamte Stärke des Strahiungsb'ndeis erzielt werden kann, derart daß in einer Projektionsebene das Bild des Strahlungsbündels im wesentlichen gleichförmige Energiedichte über seine gesamte Fläche hin aufweis'

Die Änderung der Querschnittsgestalt des Strahlungsbündels geschieht nach F i g. 2 durch ein Paar langgestreckter, schmaler, plattenförmiger Reflektoren 20 und 22. Die Reflektoren können von Glasplatten gebildet sein, die verhältnismäßig glatte, reflektierende Oberflächen besitzen. Die plattenförmigen Reflektoren 20 und 22 haben geringen Abstand voneinander und bilden zueinander in der dargestellten Weise einen geringen Winkel, so daß ein konisch zulaufender Lichtübertragungskanal entsteht durch welchen hindurch das Laserstrahlungsbündel geleitet wird. Aus F i g. 2 ist zu erkennen, daß das Laserstrahlungsbündel 24 dort zwischen die beiden Reflektoren eintri.t, wo diese den grftßprpn Abstand voneinander haben, und an der Stelle geringeren Abstandes zwischen den Reflektoren wieder austritt, von wo aus das Strahlungsbündel über eine Sammellinse 26 zu einer Abbildungsebene 38 gelangt welche von dem Werkstück 14 gebildet sein kann.

Das Strahlungsbündel besitzt beim Eintreten zwischen die Reflektoren 20 und 22 kreisscheibenförmigen Querschnitt und tritt als im Querschnitt langgestrecktes, schmales, nahezu rechteckiges Strahlungsbündel aus den Reflektoren wieder aus. Dies beruht darauf, daß einander gegenüberliegende Seitenbereiche des Strahlungsbündels auf die jeweiligen inneren schrägen Oberflächen der plattenförmigen Reflektoren auftreffen und '"Λΐ diesen durch den schmalen Spalt zwischen den Reflektoren nach außen reflektiert werden. Dies ist in F i g. 2 durch die 3ezugszahl 28 deutlich gemacht, welche denjenigen Seitenbereich des Strahlungsbündels bezeichnet, der auf die reflektierende Fläche 30 des plattenförmigen Reflektors 20 fällt. Man entnimmt aus F i g. 2, daß der Anteil 28 des Strahlungsbündels einmal vollständig reflektiert wird und nach Austreten aus der Kompressionseinrichtung 18 praktisch ein getrenntes Strahlungsbündel 32 wird, welches auf einen Teil der Sammellinse 26 trifft. In gleicher Weise wird der gegenüberliegende Seitenbereich des Laserstrahlungsbündeis 24 einmal von der innenliegenden Oberfläche des plattenförmigen Reflektors 22 reflektiert und tritt aus dem schmalen Spalt zwischen den Reflektoren als ein drittes, gesondertes Strahlungsbündel 34 aus, das

von der Sammellinse 26 so gebrochen wird, daß es sich zusammen mit dem Strahlungsbündel 32 und dem mittleren, Unfeflektierten Teil des Ausgangs-Laserstrahlungsbündels in der Äbbildungsebene 36 überlagert, so daß ein einziges Bild 38 entsteht, das im wesentlichen rechteckige Gestalt besitzt Nachdem ferner sehr wenig Energie des AUsgängsstrahlungsbündels bei dem Reflexionsvorgang verlorengeht, ist in dem Bild 38 auf der Abbildungsebene 36 im wesentlichen sämtliche Energie des AUsgangs^Strahlenbündels festzustellen.

Wie in Fig.5 gezeigt, hat die Verteilung der Ausgangsstrahlung am emittierenden Ende des Laserstabes normalerweise die Gestalt einer Kurve 16. Während des Reflexionsvorganges werden jedoch die Seitenbereiche 40 und 42 in der Abbildungsebene dem mittleren Bereich des Strahlungsbündels überlagert, so daß die Gesamtstrahlungsdichte im mittleren Teil erhöht wird und der Scheitel oder die Spitze des mittleren Bereiches der Kurve 16 rechteckig gemacht wird.

Die Seitenbereiche des Laserstrahlungsbündels 24 erfahren vorzugsweise eine einmalige Reflexion. Es können jedoch weitere Reflexionen vorgesehen sein, je nachdem, welche optischen Parameter gewählt werden und welche Größe des Bildes erwünscht ist. Die Breite des Bildes beträgt vorzugsweise 0,025 mm bis 0,05 mm. Diese Größe kann dadurch verändert werden, daß die ausgangsseitigen Enden der plattenförmigen Reflektoren 20 und 22 symmetrisch auseinanderbewegt oder einander angenähert werden, was in einfacher Weise durch einen Mikrometerantrieb und ein entsprechendes Verbindungsgestänge geschehen kann. Zu diesem Zwecke können die eingangsseitigen Enden der plattenförmigen Reflektoren scharnierartig miteinander verbunden sein. Die Veränderung der genannten Abmessung hat keinen Einfluß auf den Gesamt-Energiegehalt des Strahlungsbündels.

Die Längenabmessung des Bildes 38 beträgt beispielsweise 0,154 mm. Nahe der Ausgangsseite der Reflektoren 20, 22 ist eine einstellbare Schlitzblende 44 vorgesehen, weiche die Aufgabe hat, die genaue Länge des Bildes 3ö einzustellen.

Zwar geschieht das Zusammendrücken des Laserstrahlungsbündels 24 in erster Linie durch die Reflektoren 20, 22, doch ist festzustellen, daß für ein Strahlungsbündel mit einem Durchmesser von 635 mm bereits verhältnismäßig große Reflektoren erforderlich sind, um die gewünschte Verringerung der Querschnittsabmessungen des Strahlungsbündels zu erreichen. Im allgemeinen ist es daher wünschenswert eine zusätzliche Strahlungsbünüel-Kompressionseinrichtung zu verwenden, welche vorzugsweise zwischen dem Ausgang des Lasers und den Reflektoren 20, 22 vorgesehen ist Diese zusätzliche Kompressionseinrichtung kann ein Paar von Prismen 46 und 48 (F i g. 4) enthalten, welche das Strahlungsbündel 24 zunächst in einer Richtung zusammendrücken. Das Strahlungsbündel 24 tritt mit der ursprünglichen, bei 50 angedeuteten Querschnittsform in das erste Prisma 46 ein und ist nach dem Verlassen des Prismas, wie bei 52 angedeutet deformiert, wonach eine weitere Zusammendrückung des Querschnittes erfolgt wenn das Strahlungsbündel durch das Prisma 48 geführt wird, wie durch die Querschnittsform 54 deutlich gemacht ist Zwischen den ReRektoren 2O_; 22 tritt also nur das im Querschnitt zusammengedrückte Strahlungsbündel 54 ein.

Anstelle der im Winkel zueinander stehenden, plattenförmigen Reflektoren 20 und 22 kann, wie in F i g. 6 gezeigt ist, ein Paar im Abstand voneinander angeordneter Prismen 124 und 126 vorgesehen sein. Das eintreffende, nicht komprimierte oder nur teilweise komprimierte Strahlenbündel 24 wird von den Prismen 124 und 126 in insgesamt drei Strahlungsbündelanteile 28, 30 und 32 aufgespalten, welche durch die Sammellinse 26 einander überlagert und auf die Bildebene 36 fokussiert werden; Wo sich ein einziges, im wesentlichen rechteckiges Bild oder ein einziger Fleck 38 ergibt.

Bei dem System gemäß Fig.3 ist ein impulsweise betriebener Laser 56 vorgesehen, welcher ein Strahlungsbündel 24 erzeugt, das für das Materialabtragungsverfahren verwendet wird, wobei der Laserkristall beispielsweise von einem Rubin-Kristallstab 58 gebildet ist. Das stirnseitige Ende des Rubinstabes 58 besitzt eine Oberfläche, welche als FresnePsche Reflexionen erzeugender Ausgangsspiegel ausgebildet ist während das gegenüberliegende Ende durch Beschichtung reflexionsfrei ausgebildet ist. Ein zu 100% reflektierender Spiegel 60 ist in bestimmtem Abstand vom hinteren Ende des Kristallstabes 58 angeordnet und wirkt mit dem am stirnseitigen Ende vorgesehenen Oberflächenspiegel zur Schaffung eines Resonanzraumes zusammen, wie dies für Laser der hier betrachteten Art bekannt ist Der Rubinstab 58 und eine dazu parallel verlaufende Xenort-Blitzlampe 62 zur Erzeugung der Pumpenergie sind jeweils an den Brennpunkten eines elliptischen Reflektors 64 angeordnet der mit dem Rubinstab 58 in solcher Weise zusammenwirkt, daß das Laserstrahlungsbündel 24 in Gestalt von Impulsen hoher Strahlungsenergie bei bis zu lOpps abgegeben wird Die Energieversorgung (nicht dargestellt) kann in dem tischartigen Untergestell 66 untergebracht sein.

Das Strahlungsbündel 24 wird durch die seinen Querschnitt deformierenden Prismen 46 und 48 geführt und wird dadurch in einer Richtung in seinem Querschnitt zusammengedrückt wie zuvor anhand von Fig.4 ausgeführt worden ist Das danach teilweise

-to zusammengedrückte Strahlungsbündel 54 tritt dann zwischen die anhand von Fig.2 beschriebenen Reflek-

ίυι cn

mc wciicic rvuitipicastwti 011^15·-

Die Laserenergie tritt dann aus dtn Reflektoren 20, 22 in Gestalt von drei schmalen Strahlungsbündeln aus, welche von der Sammellinse 26 auf eine Abbildungsebene fokussiert werden, weiche von der Oberfläche des Werkstückes 14 gebildet ist

Das anfänglich im Querschnitt kreisscheibenförmige Strahlungsbündel ist in der Abbildungsebene zu einem Rechteckquerschnitt verformt Die Länge dieses Rechtecks wird durch die einstellbare Schlitzblende 44 auf der Ausgangsseite der Reflektoren eingestellt

Die beschriebene Einrichtung erweist sich als besonders zweckmäßig bei der Herstellung von Halbleiteranordnungen, beispielsweise Mikroschaltungen, bei deren Herstellung es oft wünschenswert ist selektiv Bereiche einer dünnen Materialschicht von einem Träger zu entfernen.

Die Laser-Materialabtragungsmaschine kann programmgesteuert werden, so daß bestimmte Leiterverbindungen in der jeweils gewünschten Weise aufgetrennt werden können.

Gemäß Fig.3 wird zunächst zur Einstellung und Vorbereitung des Gerätes das Werkstück 14 auf einen crppicmptpn Snnnnrt fnpisnipT«ra/pi<:e snf einen Tisrh 102

eines Kreuzsupportes, gesetzt Eine Einstellung in der Höhe kann ebenso vorgesehen sein, und mittels einer Handbedienungseinrichtung 104 vorgenommen werden.

UiH einen ßildflcck oder ßrcnnfleck auf dem Werkstück sichtbar machen und beobachten zu können, ist ein weiterer, geringere Leistung aufweisender Laser (06 vorgesehen, der Gin HcliunvNeon-Lascr sein kann und einen sichtbaren Bildflcck auf dem Werkstück an genau derjenigen Stelle erzeugt, auf welche das .SU/t-llurigsbündcl 24 des hohe Leistung besitzenden Rubinlasers auftrifft. Der weitere Laser 106 liefert ein kontinuierliches Strahlenbündel 108. Welches von cinerii Spiegel IIO zu dem Prisma 46 hin fcfluWtiefi wird und dann auf demselben Wege verläuft wie das Strahlenbündel 24 des impulsweise betriebenen Lasers, so daß auch dieses Strahlenbündel komprimiert und fokussiert wird, lim einen kleinen, im wesentlichen rechteckigen Bildflcck auf dem Werkstück zu erhallen.

Eine unmittelbare Beobachtung des Bildflccks kann

von der Bedienungsperson über ein binokulares oder in anderer Weise ausgebildetes Mikroskop 112 sowie über geeignete Spiegel 114 und 118 und einen mit einer Perforation versehenen Eifiklappspiegel 118 vorgenommen wcrdch, Welcher im Strahlengang des Slrahlüngsbündcls hinter der Kompressionseinrichtung 18 vorgesehen ist. Außerdem kann eine Fernsehkamera 120 öplisch auf das Werkstück 114 ausgerichtet werden, Was mit Hilfe eines geeigneten, im Strahlengang des komprimierten Slfählürigsbündels vorgesehenen Spiegels 122 in der dargestellten Weise erreicht wird;

Schließlich läßt sich bei der hier vorgeschlagenen Einrichtung, was in den Zeichnungen nicht gezeigt ist, in einfacher Weise das Bild eines Fadenkreuzes dem Bild des Werkstückes 14 überlagern.

HiefXU 2 Biatl ZerchminüL'M

•30 263/172

Claims

Patentansprüche:

1. Einrichtung zur Erzeugung eines in einer Abbildungsebene der Rechteckform angenäherten Querschnittes eines Laserstrahlenbündels, insbesondere für Laser-Materialabtragungsmaschinen, mit einem Laser, dessen Ausgangsstrahlenbündel zunächst im wesentlichen runden Querschnitt aufweist, und mit Ablenkmitteln, weiche Teile des Ausgangsstrahlenbündels derart ablenken, daß diese Teile in der Abbildungsebene innerhalb des gewünschten Rechteckquerschnittes liegen, dadurch gekennzeichnet, daß die Ablenkmittel ein Paar in solchem gegenseitigen Abstand einander gegenüberliegender optischer Ablenkelemente (20, 22 bzw. 124, 126) enthalten, daß sie jeweils einander gegenüberliegende Seitenbereiche des Laserstrahlenbündels von diesem abtrennen und gesondert auf eine Sammellinse (26) lenken, während ein zwischen den Ablenkelementen durchtretendes, verbleibendes Teilstrahlenbündel unmittelbar auf die Sammellinse auftrifft, die sämtliche Teile des Laserstrahlenbündels in der Abbildungsebene in den Umriß des gewünschten Rechteckquerschnittes (38) fokussiert

2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ablenkelem^nte von einem Paar im Abstand voneinander angeordneter, einen Winkel zueinander bildender, reflektierender Platten (20, 22) gebildet sind.

3. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dat. die Ablenkelemente von einem Paar im Abstand voneinander ar geordneter Prismen (124,126) gebildet sind.

4. Einrichtung nach einem de Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß den Ablenkelementen im Strahlengang eine Prismenanordnung (46, 48) vorgeschaltet ist, weiche das Ausgangsstrahlenbündel (24) in einer Richtung teilweise zusammendrückt (54).