EP0053278B1 - Unterdruck-Haltevorrichtung für flache Werkstücke - Google Patents

Unterdruck-Haltevorrichtung für flache Werkstücke Download PDF

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EP0053278B1
EP0053278B1 EP81108978A EP81108978A EP0053278B1 EP 0053278 B1 EP0053278 B1 EP 0053278B1 EP 81108978 A EP81108978 A EP 81108978A EP 81108978 A EP81108978 A EP 81108978A EP 0053278 B1 EP0053278 B1 EP 0053278B1
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vacuum
workholding
workpiece
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sealing member
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Lawrence Patrick Hayes
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International Business Machines Corp
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    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25BTOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
    • B25B11/00Work holders not covered by any preceding group in the subclass, e.g. magnetic work holders, vacuum work holders
    • B25B11/005Vacuum work holders
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    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
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    • Y10T279/11Vacuum
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T408/00Cutting by use of rotating axially moving tool
    • Y10T408/55Cutting by use of rotating axially moving tool with work-engaging structure other than Tool or tool-support
    • Y10T408/554Magnetic or suction means
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T83/00Cutting
    • Y10T83/748With work immobilizer

Definitions

  • the invention relates to a vacuum holding device for flat workpieces, which consists of a plurality of support elements, each with a vacuum supply and an annular flexible sealing element enclosing the vacuum space, which is mounted on the support element so that it is initially effective as a support for the workpiece and with Reaching and releasing the placement of the workpiece on the surface of the support element under the effect of the intended negative pressure.
  • Devices for holding workpieces by means of negative pressure are known in many designs and applications.
  • Flat workpieces, in particular plates have special requirements with regard to the support and the holding force, especially when the workpieces are very sensitive and the thickness in relation to the diameter is very small.
  • the workpiece initially rests on a sealing ring made of rubber or soft plastic, which lies in a corresponding groove in a support element, and an opening opens into the inside of the sealing ring the support line leading vacuum line.
  • the groove for the sealing ring has such a cross-section, e.g. in hyperboloid form that when the intended negative pressure is reached in the space between the support element, sealing ring and workpiece, the sealing ring is compressed and deformed to such an extent that the workpiece finally comes to rest on the rigid surface of the support element.
  • the invention has for its object to provide a vacuum holding device of the type described above, which does not change the specified shape of the workpiece or at least not significantly, but can nevertheless be used for workpieces of different shapes and sizes. This object has been achieved by the device specified in claim 1.
  • the vacuum holding device offers the possibility of fixing even very sensitive workpieces, such as wafers, masks and the like, which are required for the production of integrated electrical circuits, practically without deformation, for example during a manufacturing or machining process or for testing purposes.
  • the support surface of the support element can be designed as a pin arranged centrally to the sealing element or can be formed by a ball embedded in the surface of the support element.
  • the sealing element is preferably designed as a sealing ring resting in an annular groove in the surface of the support element, the annular groove having an enlarged cross section to completely accommodate the sealing ring when the negative pressure takes effect.
  • the sealing element can also be formed as a sealing ring resting in an annular groove on the circumference of the support element, or a bellows arranged axially concentrically to the support element is used, the interior of which is connected to the vacuum line.
  • the workpiece shown in FIG. 1 is a mask M, as is used in the semiconductor industry for the production of integrated circuits.
  • Such masks often consist of glass plates of about 3 mm thick and for example 100 mm in diameter, but other dimensions can also be found. Although such plates appear completely flat to the eye, they still contain certain irregularities in terms of surface flatness. In order to make this clear, the mask M according to FIG. 1 is shown exaggeratedly deformed.
  • the holding device shown in FIG. 1 can, as can be seen, cause a certain deformation on the mask M, deviating from the original shape according to FIG. 1. This is due to the structure and the mode of operation this holding device conditionally.
  • the device according to FIG. 2 contains a base plate 10 with a number of support elements 11, two of which are shown. Each support element 11 be consists of a cylindrical support body with a central axial line 15, which is aligned with a line 16 in the base plate 10, which in turn is connected via a valve to a vacuum pump (not shown).
  • Such holding devices are usually operated in such a way that the workpiece is first placed on the support elements and then negative pressure is supplied, as a result of which the plate is held on the support element by means of atmospheric pressure.
  • a sealing ring 17 made of elastic material, such as rubber, soft plastic or the like, and of circular cross-section, as is generally known under the name O-ring.
  • the annular groove 18 has a cross section which is different from the cross section of the sealing ring 17 in the relaxed state and which is designed such that the sealing ring initially acts as a support for the workpiece, but is completely pressed into the annular groove 18 under the influence of the negative pressure.
  • the volume of the annular groove 18 is accordingly sufficient to accommodate the entire sealing ring 17.
  • the space between the surface 19 of the support element 11 and the workpiece between the sealing ring 17 comes under negative pressure, and the workpiece is pulled down onto the sealing ring 17 .
  • the sealing ring 17 is made of soft, easily deformable material, it is compressed more and more with increasing vacuum until the mask rests on the surface 19. Since the volume of the annular groove 18 is greater than the volume of the sealing ring 17, it is completely absorbed by the annular groove 18.
  • FIG. 3 The arrangement according to the invention shown in FIG. 3 consists of a base plate 30 with a number of support elements 31, two of which are shown in the drawing.
  • Each support element 31 consists of a hollow-cylindrical support body 32, in the center of which a pin 33 with a dome of convex shape is arranged.
  • the pin 33 protrudes beyond the surface 38 of the support body 32.
  • the interior of the support body 32 is connected to a vacuum line 35.
  • a sealing ring 36 is located in an annular groove 37 in the surface of the support body 32 and extends concentrically to the pin 33 and to the interior of the support body 32. 2 agree when the volume of the annular groove 37 is sufficient to completely accommodate the sealing ring 36 in the compressed state.
  • the sealing ring 36 As long as the sealing ring 36 is unloaded, it has a shape such that the surface formed by its upper edge projects beyond the tip 34 of the pin 33.
  • the negative pressure supplied through line 35 becomes effective, the chamber in support body 32 also comes under negative pressure, and the force exerted by mask M on sealing ring 36 increases under the increasing effect of atmospheric pressure, until mask M tangentially on tip 34 of the pin 33 rests. This position is shown in Fig. 3.
  • a further compression of the sealing ring 36 cannot therefore take place, so that the mask M is prevented from resting on the surface 38 of the support body 32.
  • the sealing ring 36 is shown to a greater extent on the right side of the support body 32 than on the left side, which is due to the original shape of the mask M, cf. Fig. 1.
  • a bellows 41 is fastened on a base plate 40, inside which a pin 42 with a crest 43 is arranged on the base plate 40.
  • a line 44 connects a vacuum source to the interior of the bellows 41. If a flat workpiece is placed on the upper surface of the bellows 41 and the vacuum is switched on, the bellows 41 is compressed until the workpiece rests on the crest 43 of the pin 42. as shown in FIG. 3.
  • a pin 50 with a Y-branched line 51 is fastened on a base plate 54 in such a way that the line 51 can be connected directly through the base plate 54 to a vacuum source.
  • a cuff 52 is arranged on the circumference of the pin 50, the upper area of which is designed in the form of a bead and protrudes somewhat beyond the pin 50.
  • the sleeve 52 is made of flexible material, namely rubber, soft plastic or the like, such that when the negative pressure takes effect in the space between the pin 50 and the sleeve 52, the workpiece comes to rest on the surface of the pin 50.
  • the Y-shaped branching of the line 51 has the purpose that the mouths of the lines in the surface of the pin 50 are not unintentionally covered by the workpiece.
  • a cylinder 60 is mounted on a base plate 61, and a line 62 leads through both, which line can be connected to a vacuum source.
  • a V-shaped annular groove 63 in which a sealing ring 64 rests, is arranged on the circumference of the cylinder 60 near its surface.
  • a Ku in a corresponding cutout Gel 65 used, which protrudes beyond the surface of the cylinder 60.
  • the mode of operation of this embodiment is basically the same as that of the embodiments according to FIGS. 3, 4 and 5.

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Unterdruck-Haltevorrichtung für flache Werkstücke, die aus einer Mehrzahl Auflageelementen mit je einer Unterdruckzufuhr und einem den Unterdruckraum einschliessenden, ringförmigen flexiblen Dichtelement besteht, das am Auflageelement so gelagert ist, dass es zunächst als Auflage für das Werkstück wirksam ist und mit Erreichen und unter der Wirkung des vorgesehenen Unterdruckes das Auflegen des Werkstücks auf die Oberfläche des Auflageelements freigibt.
  • Vorrichtungen zum Festhalten von Werkstükken mittels Unterdruck sind in vielen Ausführungen und Anwendungen bekannt. Bei flachen Werkstücken, insbesondere Platten, werden hinsichtlich der Auflage und der Haltekraft besondere Anforderungen gestellt, und zwar speziell dann, wenn es sich um sehr empfindliche Werkstücke handelt, bei denen die Dicke im Verhältnis zum Durchmesser sehr gering ist.
  • Bei einer derartigen Unterdruck-Haltevorrichtung, wie sie in der US-PS 2730370 beschrieben ist, liegt das Werkstück zunächst auf einem Dichtring aus Gummi oder weichem Kunststoff auf, der in einer entsprechenden Nut in einem Auflageelement liegt, und im Innern des Dichtringes mündet eine durch das Auflageelement führende Unterdruckleitung. Die Nut für den Dichtring hat einen solchen Querschnitt, z.B. in Hyperboloidform, dass mit Erreichen des vorgesehenen Unterdrucks in dem Raum zwischen Auflageelement, Dichtring und Werkstück der Dichtring soweit zusammengedrückt und verformt wird, dass das Werkstück schliesslich auf der starren Oberfläche des Auflageelements zu liegen kommt.
  • Bei dieser bekannten Haltevorrichtung kann es vorkommen, dass das Werkstück unerwünscht verformt wird, und zwar entweder, weil die Oberfläche des Auflageelements bzw. der Auflageebene nicht genau eben ist, oder weil - bei ebener Auflagefläche - das Werkstück hinsichtlich seiner Planfläche gewisse Unregelmässigkeiten aufweist. Eine im Prinzip ähnliche Anordnung zeigt die US-PS 3484093, wo der Dichtring in einem achsial beweglichen Kolben liegt. Eine sich an die Werkstückoberfläche selbstangleichende Unterdruckhaltevorrichtung ist aus DE-B 1 109 984 bekannt.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Unterdruck-Haltevorrichtung der oben beschriebenen Art zu schaffen, welche die vorgegebene Form des Werkstücks nicht oder jedenfalls nicht nennenswert verändert, gleichwohl aber für Werkstücke unterschiedlicher Form und Grösse einsetzbar ist. Diese Aufgabe ist durch die im Anspruch 1 angegebene Vorrichtung gelöst worden.
  • Die erfindungsgemässe Unterdruck-Haltevorrichtung bietet die Möglichkeit, auch sehr empfindliche Werkstücke, wie etwa Wafer, Masken und ähnliche, die für die Herstellung integrierter elektrischer Schaltungen benötigt werden, praktisch ohne Verformung zu fixieren, etwa während eines Herstell- oder Bearbeitungsprozesses oder zu Prüfzwecken.
  • Die Erfindung bietet zahlreiche Möglichkeiten für unterschiedliche konstruktive Gestaltungen. So kann die Auflagefläche des Auflageelements als zentrisch zum Dichtelement angeordneter Stift ausgebildet sein oder durch eine in die Oberfläche des Auflageelements eingebettete Kugel gebildet werden. Das Dichtelement ist vorzugsweise als in einer Ringnut in der Oberfläche des Auflageelements ruhender Dichtring ausgebildet, wobei die Ringnut einen vergrösserten Querschnitt zur vollständigen Aufnahme des Dichtringes beim Wirksamwerden des Unterdrucks aufweist. Andererseits kann das Dichtelement aber auch als in eine Ringnut am Umfang des Auflageelements ruhender Dichtring ausgebildet werden, oder es wird ein achsial konzentrisch zum Auflageelement angeordneter Faltenbalg verwendet, dessen Innenraum an die Unterdruckleitung angeschlossen ist.
  • Die Erfindung wird im folgenden anhand der Zeichnungen im Vergleich zum Stand der Technik in mehreren Ausführungsformen erläutert. Es zeigen:
    • Fig. 1 die Seitenansicht eines plattenförmigen dünnen Werkstücks mit einer gewissen Verformung, die zur Verdeutlichung übertrieben dargestellt ist;
    • Fig. 2 das Werkstück gemäss Fig. 1 in Halteposition auf einer Unterdruck-Haltevorrichtung nach dem bekannten Stand der Technik;
    • Fig. 3 das Werkstück gemäss Fig. 1 in Halteposition auf einer Unterdruck-Haltevorrichtung nach der Erfindung;
    • Fig. 4 eine abgewandelte Ausführungsform eines Auflageelements;
    • Fig. 5 eine weitere Ausführungsform eines Auflageelements und
    • Fig. 6 eine weitere Ausführungsform eines Auflageelements.
  • Das in Fig. 1 dargestellte Werkstück ist eine Maske M, wie sie in der Halbleiterindustrie für die Herstellung integrierter Schaltungen verwendet wird. Derartige Masken bestehen häufig aus Glasplatten von etwa 3 mm Dicke und beispielsweise 100 mm Durchmesser, jedoch sind auch andere Abmessungen anzutreffen. Obwohl solche Platten dem Auge völlig eben erscheinen, enthalten sie dennoch gewisse Unregelmässigkeiten hinsichtlich der Oberflächenebenheit. Um dies deutlich zu machen, ist die Maske M gemäss Fig. 1 übertrieben verformt dargestellt.
  • Die in Fig. 1 dargestellte Haltevorrichtung, wie sie nach dem Stand der Technik bekannt ist, kann, wie ersichtlich, auf die Maske M eine gewisse Verformung bewirken, abweichend von der ursprünglichen Form gemäss Fig. 1. Dies ist durch den Aufbau und die Wirkungsweise dieser Haltevorrichtung bedingt. Die Vorrichtung gemäss Fig.2 enthält eine Grundplatte 10 mit einer Anzahl Auflageelementen 11, von denen zwei dargestellt sind. Jedes Auflageelement 11 besteht aus einem zylindrischen Auflagekörper mit einer zentralen achsialen Leitung 15, die mit einer Leitung 16 in der Grundplatte 10 fluchtet, die ihrerseits über ein Ventil an eine Unterdruckpumpe angeschlossen ist (nicht gezeigt).
  • Derartige Haltevorrichtungen werden üblicherweise so betrieben, dass das Werkstück zunächst auf die Auflageelemente aufgelegt und dann Unterdruck zugeführt wird, in dessen Folge die Platte mittels des Atmosphärendruckes auf dem Auflageelement festgehalten wird. In einer Ringnut 18 in der Oberfläche 19 des Auflagekörpers 14 befindet sich ein Dichtring 17 aus elastischem Werkstoff, wie Gummi, weichem Kunststoff oder ähnlichem, und von kreisförmigem Querschnitt, wie er allgemein unter der Bezeichnung O-Ring bekannt ist. Die Ringnut 18 hat einen vom Querschnitt des Dichtrings 17 in entspanntem Zustand unterschiedlichen Querschnitt, der so gestaltet ist, dass der Dichtring zunächst als Auflage für das Werkstück wirksam ist, unter dem Einfluss des Unterdrucks jedoch vollständig in die Ringnut 18 gedrückt wird. Das Volumen der Ringnut 18 ist demgemäss ausreichend, um den gesamten Dichtring 17 aufzunehmen.
  • Wenn die Maske M auf die Auflageelemente 11 aufgelegt und der Unterdruck durch die Leitungen 16 und 15 wirksam ist, gelangt der Raum zwischen der Oberfläche 19 des Auflageelements 11 und dem Werkstück zwischen dem Dichtring 17 unter Unterdruck, und das Werkstück wird auf den Dichtring 17 herabgezogen. Da der Dichtring 17 aus weichem, leicht verformbarem Werkstoff besteht, wird er mit zunehmendem Unterdruck mehr und mehr zusammengedrückt, bis die Maske auf der Oberfläche 19 aufliegt. Da das Volumen der Ringnut 18 grösser ist als das Volumen des Dichtringes 17, wird dieser vollständig von der Ringnut 18 aufgenommen. Mit dem Auflegen der Maske auf die Oberfläche 19 des Auflageelements 11 wird, wie Fig.2 im Vergleich zu Fig.1 deutlich macht, die Maske M bezüglich ihrer ursprünglichen Form verformt, da ihre untere Fläche eben auf der Oberfläche 19 des Auflageelements 11 aufliegt.
  • Die in Fig.3 dargestellte, erfindungsgemässe Anordnung besteht aus einer Grundplatte 30 mit einer Anzahl Auflageelementen 31, von denen zwei in der Zeichnung dargestellt sind. Jedes Auflageelement 31 besteht aus einem hohl-zylindrischen Auflagekörper 32, in dessen Zentrum ein Stift 33 mit einer Kuppe von konvexer Form angeordnet ist. Der Stift 33 ragt über die Oberfläche 38 des Auflagekörpers 32 hinaus. Der Innenraum des Auflagekörpers 32 ist an eine Unterdruckleitung 35 angeschlossen. Ein Dichtring 36 liegt in einer Ringnut 37 in der Oberfläche des Auflagekörpers 32 und verläuft konzentrisch zum Stift 33 und zum Innenraum des Auflagekörpers 32. Die Ausbildung des Stiftringes 36 und der Ringnut 37 stimmt insoweit mit derjenigen des Stiftrings 17 und der Ringnut 18 nach Fig.2 überein, als das Volumen der Ringnut 37 ausreicht, den Dichtring 36 in zusammengedrücktem Zustand vollständig aufzunehmen.
  • Solange der Dichtring 36 unbelastet ist, hat er eine solche Form, dass die durch seinen oberen Rand gebildete Fläche über die Kuppe 34 des Stiftes 33 hinausragt. Mit dem Wirksamwerden des durch die Leitung 35 zugeführten Unterdrucks gelangt auch die Kammer im Auflagekörper 32 unter Unterdruck, und die von der Maske M auf den Dichtring 36 ausgeübte Kraft vergrössert sich unter der zunehmenden Wirkung des Atmosphärendruckes, bis die Maske M tangential auf der Kuppe 34 des Stiftes 33 aufliegt. Diese Position ist in Fig. 3 dargestellt. Ein weiteres Zusammendrücken des Dichtringes 36 kann daher nicht stattfinden, so dass ein Aufliegen der Maske M auf der Oberfläche 38 des Auflagekörpers 32 verhindert ist. In der Fig. 3 ist jeweils auf der rechten Seite des Auflagekörpers 32 der Dichtring 36 in stärkerem Masse zusammengedrückt dargestellt als auf der linken Seite, was durch die ursprüngliche Form der Maske M bedingt ist, vgl. Fig.1.
  • In den Fig. 4, 5 und 6 sind alternative Ausführungsformen der Vorrichtung nach Fig. 3 dargestellt, mit denen gleichfalls ein Verformen der aufgelegten Maske M bzw. eines ähnlichen Werkstücks verhindert werden kann.
  • Gemäss Fig. 4 ist auf einer Grundplatte 40 ein Faltenbalg 41 befestigt, in dessen Innerem auf der Grundplatte 40 ein Stift 42 mit einer Kuppe 43 angeordnet ist. Eine Leitung 44 verbindet eine Unterdruckquelle mit dem Innenraum des Faltenbalgs 41. Wird ein flaches Werkstück auf die obere Fläche des Faltenbalges 41 aufgesetzt und der Unterdruck eingeschaltet, so wird der Faltenbalg 41 soweit zusammengedrückt, bis das Werkstück auf der Kuppe 43 des Stiftes 42 aufliegt, entsprechend der Darstellung in Fig. 3.
  • Bei der Ausführung gemäss Fig. 5 ist ein Stift 50 mit einer Y-förmig verzweigten Leitung 51 so auf einer Grundplatte 54 befestigt, dass die Leitung 51 durch die Grundplatte 54 hindurch unmittelbar mit einer Unterdruckquelle verbunden werden kann. Am Umfang des Stiftes 50 ist eine Manschette 52 angeordnet, deren oberer Bereich wulstförmig gestaltet ist und etwas über den Stift 50 hinausragt. Die Manschette 52 besteht aus flexiblem Werkstoff, nämlich Gummi, weichem Kunststoff oder ähnlichem, derart, dass beim Wirksamwerden des Unterdrucks in dem Raum zwischen Stift 50 und Manschette 52 das Werkstück auf der Oberfläche des Stiftes 50 zur Auflage gelangt. Die Y-förmige Verzweigung der Leitung 51 hat hierbei den Zweck, dass die Mündungen der Leitungen in der Oberfläche des Stiftes 50 nicht unbeabsichtigt vom Werkstück abgedeckt werden.
  • Bei der Ausführungsform nach Fig. 6 ist ein Zylinder 60 auf einer Grundplatte 61 montiert, und durch beide führt eine Leitung 62, die an eine Unterdruckquelle anschliessbar ist. Am Umfang des Zylinders 60 nahe dessen Oberfläche ist eine V-förmige Ringnut 63 angeordnet, in der ein Dichtring 64 ruht. In der Mitte der oberen Fläche des Zylinders 60, also zentrisch zum Dichtring 64, ist in einem entsprechenden Ausschnitt eine Kugel 65 eingesetzt, die über die Oberfläche des Zylinders 60 hinausragt. Die Wirkungsweise dieser Ausführung stimmt grundsätzlich mit derjenigen der Ausführungsformen nach den Fig. 3, 4 und 5 überein.

Claims (9)

1. Unterdruck-Haltevorrichtung für flache Werkstücke, bestehend aus einer Mehrzahl Auflageelementen (31/33; 42; 50; 60/65) mit einer Unterdruck-Zuführleitung und einem den Unterdruckraum einschliessenden, ringförmigen flexiblen Dichtelement (17; 36; 41; 52; 64), das am Auflageelement so gelagert ist, dass es zunächst als Auflage für das Werkstück (M) wirksam ist und mit Erreichen und unter der Wirkung des vorgesehenen Unterdruckes das Auflegen des Werkstücks (M) auf die Oberfläche des Auflageelements freigibt, dadurch gekennzeichnet, dass jedes Auflageelement (33; 42; 50; 60/65) eine als konvexe Oberfläche (34; 43; 65) ausgebildete Auflagefläche aufweist, die vor dem Wirksamwerden des Unterdrucks vom Dichtelement (17; 36; 41; 52; 64) überragt wird und mit Erreichen des vorgesehenen Unterdrucks zur tangentialen Auflage des Werkstücks (M) dient.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Auflagefläche des Auflageelements als zentrisch zum Dichtelement (36; 41; 52) angeordneter Stift (33; 42; 50) ausgebildet ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die konvexe Oberfläche durch eine in die Oberfläche des Auflageelements (60) teilweise eingebettete Kugel (65) gebildet ist.
4. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Dichtelement als in einer Ringnut (37) in der Oberfläche des Auflageelements (32) ruhender Dichtring (36) ausgebildet ist, wobei die Ringnut einen vergrösserten Querschnitt zur vollständigen Aufnahme des Dichtringes beim Wirksamwerden des Unterdrucks aufweist.
5. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Dichtelement als in einer Ringnut (63) am Umfang des Auflageelements (60) ruhender Dichtring (64) ausgebildet ist.
6. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Dichtelement als achsial konzentrisch zum Auflageelement (42) angeordneter, an die Unterdruckleitung angeschlossener Faltenbalg (41) ausgebildet ist.
7. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Dichtelement als das Auflageelement (50) umschliessende Manschette (52) ausgebildet ist.
8. Vorrichtung nach den Ansprüchen 2 und 7, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Stift (50) eine achsiale, sich in die konvexe Oberfläche verzweigende Unterdruckleitung (51) angeordnet ist.
EP81108978A 1980-11-28 1981-10-27 Unterdruck-Haltevorrichtung für flache Werkstücke Expired EP0053278B1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
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US06/210,936 US4357006A (en) 1980-11-28 1980-11-28 Distortion free 3 point vacuum fixture

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EP0053278A3 EP0053278A3 (en) 1983-07-20
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Application Number Title Priority Date Filing Date
EP81108978A Expired EP0053278B1 (de) 1980-11-28 1981-10-27 Unterdruck-Haltevorrichtung für flache Werkstücke

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US (1) US4357006A (de)
EP (1) EP0053278B1 (de)
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