DE2356954C2 - Einrichtung zum Verändern der Oberflächengestalt eines dünnen Werkstücks, insbesondere eines Halbleiterplättchens - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zum Verändern der Oberflächengesta¹' eines dünnen Werkstückes, Insbesondere eines Halbleiterplättchens, enthaltend ein rahmenartiges Gestell, eine im Gestell angeordnete Spann- und Biegestelle, in der mehrere, an besonders ausgewählten Stellen des Werkstücks angrenzende Blegestempel längs, etwa senkrecht zur Werkstückoberfläche, verschiebbar geführt sind, die durch Antriebselnrlchtungen betätigbar sind, um der Werkstückoberfläche die gewünschte Gestalt zu geben, die werkstückseitlg Haltemittel zum Festhalten der Ihnen zugewandten Oberfläche

ίο (nachfolgend Rückfläche genannt) des Werkstücks tragen, wobei diese Haltemittel gleichfalls durch eine Betätigungseinrichtung spann- und lösbar sind, und eine Meßeinrichtung zum Ermitteln der Istform der anderen Seite des Werkstücks (nachfolgend Bearbeitungs- oder Auftragsfläche genannt).

Bei der Herstellung integrierter Schaltungen werden bei photolithographischen Verfahrensschritten Photolackschlchten auf Halbleiteroberflächen durch Masken belichtet. Sowohl bei dem heute noch gebräuchlichsten Belichtungsverfahren, bei dem die Maske mit der Phoiolackschlcht Kontakt hat, als auch beim Verfahren der Projektionsbelichtung, bei dem die Maske auf die Photolackschlcht projiziert wird, 1st eine völlig ebene Plättchenoberfläche eine wesentliche Voraussetzung für eine verzerrungsfreie und scharfe Wiedergabe der Muster.

Bei Halbleiterplättchen muß aber eine Welligkeit mit Höhenun>erschleden bis zu 5 um in Kauf genommen werden, und die Abweichung der Plättchen von der PIanarltät kann bei einem Durchmesser von etwa 40 mm bis

j» zu 1 mm betragen.

Zum temporären Ausrichten der Oberfläche einer dünnen Platte, Insbesondere zum Ausrichten von Halbleiterplättchen, wird In der DE-PS 23 04 489 eine Vorrichtung mit einer Reihe von verschiebbaren Haltevorrichtungen zum Festhalten der der auszurichtenden Oberfläche abgewandten Seite der Platte und einer Meßvorrlchiung zum Erfassen der Form der Oberfläche vorgeschlagen, bei der als Meßvorrichtung über der auszurichtenden Oberfläche angeordnete, und den Abstand zwischen sich und der Platte erfassende Meßfühler vorgesehen sind, bei der jeder Haltevorrichtung ein Meßfühler zugeordnet ist. bei der zu jedem Meßfühler ein Vergleicher gehört und bei der mittels der einzelnen Haltevorrichtungen Bereiche der Platte von den Vergleichern gesteuert, auf den gefordenen Abstand einstellbar sind. Das Festhalten des Werkstücks mit den Haltevorrichtungen erfolgt dabei am einfachsten mittels Saugnäpfen, welche einer Vakuumleitung angeschlossen sind. Diese Art des Festhaltens Ist bereits aus der DE-AS 11 61 519 bekannt. In der dort

3" beschriebenen Vorrichtung werden die Haltevorrichtungen beispielsweise dazu benutzt, um zwei Werkstücke, welche miteinander verlötet werden sollen, in die richtige Ausrichtung zueinander zu bringen und in dieser /u halten. Nach dem Ausrichten der Oberfläche wird bei der

V' vorgeschlagenen Vorrichtung die Meßvorrlchiung mit den Verglelchern abgenommen oder weggescrmenki. Das ausgerichtete, auf den Haltevorrichtungen festsitzende Plättchen kann anschließend belichtet oder einem anderen Bearbeitungsschritt, bei dem eine Ausrichtung

t>o notwendig oder erwünscht Ist, unterworfen werden. Lassen die Haltevorrichtungen die Platte los. so nimmt diese wieder ihre ursprüngliche Form an.

Die vorgeschlagene Vorrichtung Ist /war in hervorragender Welse dazu geeignet, dünne Platten in eine

to gewünschte Form auszurichten und sie beliebig lange in der ausgerichteten Form zu halten, sie ist aber insolern nicht ganz befriedigend, als sie für Ihre eigentliche AuI-gi;be, nämlich das Ausrichten In eine bestimmte Form

Immer nur relativ kurze Zelt zur Verfügung steht und die übrige Zeit für die relativ unkritische Operation des Festhaltens der Platte in der ausgerichteten Form in Beschlag genommen 1st. Hinzu kommt, daß sich die Anordnung bei manchen Bearbeitungsschritten, bei denen die Platt- "> chen in einer ausgerichteten Form vorliegen müssen, als unhandlich erwiesen hat, und daß es nicht Immer leicht ist, die Anordnung in eine vorhandene Bearbeitungsapparatur einzupassen.

Es ist deshalb die Aufgabe der Erfindung, eine Ein- ι» richtung ''Jm Verändern der Oberflächengestalt' eines dünnen Werkstücks anzugeben, welche den größeren Teil der Betriebszeit für das Ausrichten der dünnen Platten zur Verfügung tteht, bei der das Umgehen mit den ausgerichteten Platten vereinfacht ist, höchstens geringfügige Umbauten nötig sind, um die ausgerichteten Platten in konventionellen Maschinen bearbeiten zu können, ohne daß dabei die Zuverlässigkeit, mit der die ausgerichtete Form gehalten wird. In Irgendeiner Welse beeinträchtigt wird.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Spann- und Biegestelle als ein aus dem rahmenartigen Gestell der Einrichtung herausnehmbarer Tragkörper ausgebildet ist, Klemmvorrichtungen im Tragkörper angeordnet sind zum Festklemmen der Biegestempel beim Erreichen der vorbestimmten Oberflächengestalt, damit beim Entnehmen des Tragkörpers aus dem Gestell zur weiteren Bearbeitung des Werkstücks die vorbestimmte Oberflächengestalt der Bearbeitungs- oder Auftragsfläche des Werkstücks erhalten bleibt. jo

Die erfindungsgemäße Einrichtung erfüllt die Voraussetzung der Zuverlässigkeit und ist klein und kompakt und deshalb ohne größere Schwierigkeiten in konventionellen Maschinen zu verwenden. Ohne wesentliche Mehrkosten 1st es möglich, eine größere Anzahl der erfindungsgemäßen Einrichtungen zusammen mit einer Anordnung zum Ausrichten der Form einer dünnen Platte zu verwenden und so ein Plättchen auszurichten, während das vorhergehende, bzw. die vorhergehenden Plättchen im ausgerichteten Zustand weiter verarbeitet werden können. Bei einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung, besteht, wenn die erfindungsgemäße Einrichtung nach Lösen der Verriegelung aus der Anordnung herausgenommen worden ist, keinerlei Verbindungen mehr zwischen Ihr und der Anordnung z. B. über Kabel oder Schläuche.

Es Ist vorteilhaft, wenn zum Blockieren der Biegestempel einen radialen Druck auf die Biegestempel ausübende Mittel vorhanden sind. Auf diese Welse Ist eine konstruktiv besonders einfache Lösung möglich, well die beiden Enden der vorzugsweise stabförmlgen Biegestempel dann einerseits zum Festhalten des auszurichtenden Werkstücks und andererseits zum Angreifen der Antriebsmittel frei sind.

Der radiale Druck läßt sich besonders wirkungsvoll auf als Stifte ausgebildete Biegestempel übertragen, wenn diese über einen Teil Ihrer Länge von einer mit radialen Schlitzen ausgestatteten Klemmhülse umgeben sind. Im nicht druckbelasteten Zustand geben die Klemmhülsen die Stifte so weit frei, daß eine leichte Verschiebbarkeit der Stifte gewährleistet ist.

Die Erfindung wird anhand von durch Zeichnungen erläuterten Ausführungsbeispielen beschrieben. Es zeigt

Fig. 1 die Einrichtung in teilweise aufgeschnittener Seltenansicht, in die die beschriebene Spann- und Biegestelle eingebaut Ist,

Flg. 2 die beschriebene Spann- und Blegestelle In Aufsicht, wobei die obere Deckplatte teilweise entfernt Ist, FI g. 3 in einer teilweise aufgeschnittenen Seitenansicht die beschriebene Spann- und Biegestelle, die eine Ausführungsform zum Festhalten der Haltevorrichtungen zeigt, und

F1 g. 4 im Schnitt eine andere Ausführungsform zum Festhalten der Haltevorrichtungen in der beschriebenen Spann- und Blegestelle.

In der Flg. 1 ist eine Einrichtung 10 zum Biegen der Oberfläche eines dünnen Elements, w?e z. B. eines HaIbleiterplättchens, in eine bestimmte Form gezeigt. In der folgenden Beschreibung wird unter »Plättchen« ein dünnes Element beliebiger geometrischer Form verstanden, dessen Oberfläche In eine bestimmte Form gebracht werden soll. An dem rahmenartigen Gestell 12 der Einrichtung 10 ist eine Spann- und Biegestelle 20 so befestigt, daß die Verbindung leicht gelöst werden kann. Die Spann- und Biegestelle 20 enthält eine Vielzahl von einzelnen Biegestempel 21, mit denen die Oberfläche WA des Plättchens 11 an bestimmten Plätzen festgehalten werden kann, und die .a Richtung ihrer Achse zum Formen der entgegengesetzten Oberfläche 115 des Plättchens 11 bewegt werden können.

Gegenüber der entgegengesetzten Oberfläche llß des Plättchens, aber in einem bestimmten Abstand davon, befinden sich mehrere Meßfühler 13 zum Abfühlen der Form der Oberfläche Hfl des Plättchens. Die Vergleicher 14 sind mit jedem der Meßfühler verbunden, und vergleichen die von den Meßfühlern ermittelte Istform mit der Sollform der Oberfläche llß des Plättchens 11. Jeder der Meßfühler 113 1st über den zugehörigen Vergleicher

14 mit einer Antriebseinrichtung 16 in dem unteren Teil

15 der Anordnung 10 verbunden. Die Antriebseinrlchtungen 16 sind in der Lage, die Biegestempel 21 zu bewegen, und dadurch die Oberfläche WA des Plättchens 11 zu bewegen. Jede der Antriebseinrichtungen 16, mit welchem die Vergleicher 14 verbunden sind, besteht aus einem Schrittmotor 16/), einer Untersetzung 16fl und einer Schraube 16C, welche eine Drehung eines Exzenters 16Ü bewirkt, was eine Auf- oder Abbewegung eines einseitig mit einer Feder vorgespannten Stiftes 16£ zur Folge hat. Jede Antriebseinrichtung 16 tritt immer dann in Funktion, wenn der ihm zugeordnete Verglelcher eine Differenz zwischen der gewünschten und der wirklichen Form der Oberfläche llß des Plättchens U feststellt. Die Biegestempel 21 halten die Oberfläche WA des Plättchens an einzelnen Stellen so fest, daß unter Kraftaufwand die gegenüberliegende Oberfläche llß des Plättchens In eine gewünschte Form entsprechend der vom Verglelcher kommenden Befehle gebracht werden kann.

Wie schon erwähnt, kann die Spann- und Blegestelle 20 aus dem Gestell 12 der Einrichtung 10 gelöst werden, so daß es mit der Einrichtung 10 - eine genügende Anzahl von Spann- und Biegestellen 20 vorausgesetzt möglich 1st, die Oberflächen von Plättchen der Reihe nach zu formen und die so manipulierten Plättchen ohne die festgelegte und gewünschte Form der Oberfläche Hfl des Plättchens zu verlieren, zu einer entfernten Fertigungsstation zu bringen. Zu diesem Zweck enthält die Spann- und Blegestelle 20, wie die Flg. 2 und 3 zeigen, Biegestempel 21, von denen jede einen Stift 22 enthält, der so in eine Bohrung 23 eingebaut Ist, daß er hin und her bewegt werden kann, und der durch die Spann- und Blegestelle 20 hindurchgeht. Jeder Stift 22 hat die Form eines Rohrschaftes, welcher an seinem oberen Ende in eine ringförmige Saugscheibe 24 übergeht, die aus der oberen Oberfläche ISA der Deckplatte 25 herausragt. Am unteren Ende jeden Stifts 22 befindet sich ein verbreiteter Abschnitt 26 mit einer unteren Oberfläche 26.4, die so

gestaltet lsi, daß sie sich an den Stift 16£ der Antriebseinrichtung 16 (siehe Flg. 1) ankoppeln läßt. Das untere Ende der Spann- und Biegestelle 20 schließt einen ringförmigen, nach unten hängenden Flansch 27 ein, auf welchem die Spann- und Blegestelle 20 steht, mit Hohlräumen 28, In welche die unteren verbreiterten Abschnitte 26 der Stifte 22 hineinragen.

Zwischen dem verbreiterten unteren Abschnitt 26 jeden Stiftes und der Inneren unteren Oberfläche 29 der Spann- und Blegestelle sind MIttel zum einseitigen Span- nen vorgesehen, wobei es sich bei der hler beschriebenen Spann- und Blegestelle um eine Druckfeder 30 handelt, welche die Tendenz hat, den Stift In der Bohrung 23 nach unten zu bewegen. Um die durch die Druckfeder 30 bewirkte Abwärtsbewegung des Stifts zu begrenzen, Ist ein Schnappring 31 mit dem Stift benachbart zu der ringförmigen Saugscheibe befestigt, der auf der oberen Oberfläche 32 der Spann- und Blegestelle aufliegt. Um die untere Oberfläche MA des Plättchens kräftig festzuhalten, sind Mittel vorgesehen, um die ringförmigen Saugscheiben 24 über die rohrförmigen Stifte 22 mit einer Saugvorrichtung zu verbinden. Zu diesem Zweck 1st, wie die Fig. 3 zeigt, jeder Stift 22 mit einer Bohrung 33 versehen, welche sich axial zum oberen Ende der Stifte hin öffnet und In einer Öffnung 33Λ endet, die mit einer Kammer 34 In Verbindung steht, die über einen Nippel 35, auf den ein Vakuumschlauch 36 aufgesteckt Ist, mit einer Vakuumquelle verbunden 1st. Mittels der ringförmigen Saugscheibe 24 hält jeder Stift den über ihm liegenden Teil des Plättchens fest. Da die Strecke, um die die einzelnen Stifte bewegt werden müssen, klein 1st, 1st nur notwendig, daß die Kammer 34 eine ausreichende Höhe hat, damit In jeder Stellung die Verbindung zwischen der Vakuumquelle und den ringförmigen Saugscheiben 24 vorhanden 1st.

Nachdem das Plättchen 11 In der festgelegten Welse geformt 1st, Ist es wünschenswert, die Stifte und damit das Plättchen In der gewünschten Form festzuhalten, so daß die Spann- und Blegestelle aus der Anordnung heraus gelöst werden kann. Zu diesem Zweck gehört, wie to die Fig. 2 und 3 zeigen, zu jedem der Stifte 22 eine Klemmvorrichtung In Form einer Klemmhülse 37, die den Stift umgibt und die In Ihrer Wand eine Reihe von axial sich erstreckenden Schlitzen 38 hat. Ein verbreiterter, zylindrischer unterer Abschnitt 39, der in eine Aussparung 40 In dem Körper der Spann- und Biegestelle 20 paßt und gegen den die Druckfeder 30 drückt, verhindert eine axiale Bewegung der Klemmhülse. Der Abschnitt der Klemmhülse 37 mit den Schlitzen sollte relativ lang und dünn im Verhältnis zu dem unteren Abschnitt 39 sein, so daß die Klernrnhülse wie die Backen eines Spannfutters wirken kann, wenn ein radialer Druck auf sie ausgeübt wird.

Um .einen gehörigen radialen Druck mittels der Klemmhülse 37 auf den Stift 22 auszuüben, sind in dem Innenraum der Spann- und Blegestelle Durchgänge vorgesehen, die In den Fig. 2 und 3 als In einem bestimmten Abstand übereinander liegende, und benachbarte Stifte miteinander verbindende Durchgänge 42 und 43 gezeichnet sind. Die Durchgänge 42 und 43 haben erwei- ^ω terte Ausbuchtungen 42A bzw. 43/4 durch welche die einzelnen Stifte hindurchgehen. In den Durchgängen verlaufen elastische, flexible und radial ausdehnbare Schläuche 44 bzw. 44Λ, und zwar, wie die Fig. 2 zeigt, in der Welse, daß jeder Stift im wesentlichen von dem Schlauch umgeben ist. Die Schläuche 44 und 44A sind an ihren Enden mit dem Verteiler 45 verbunden, der es gestattet, z. B. durch Zuführen von Luft, die Schläuche 44 und 44A aufzublasen. Die Durchgänge 42 und 43 sind so dimensioniert, daß sie von den Schläuchen Im aufgeblasenen Zustand vollständig ausgefüllt werden.

Wie oben bemerkt, sind die Klemmhülsen 38 aus einem relativ dünnen Material hergestellt und so dimensioniert, daß sie zwar einerseits die Stifte gut passend umgeben, aber andererseits eine Bewegung der Stifte In Ihre Achsenrichtung ohne starke Reibung gestatten. Ist das Plättchen entsprechend der gewünschten Form gebogen, wird der Verteiler 45 über den Schlauch 46 unter Druck gesetzt, was eine Ausdehnung der Schläuche 44 und 44/1 In radialer Richtung bewirkt, was zur Folge hat, daß die Backen der Klemmhülse gegen die Stifte gepreßt werden, wodurch die Stifte In Ihrer Lage blockiert werden.

Der zweite bzw. tiefer Hegende Schlauch 44A hilft die Blocklerkraft auf die Klemmhülse zu erhöhen. Zwar Ist ein einzelner Schlauch ausreichend, um ein Blockleren der Stifte zu bewirken, aber aus Gründen der Sicherheit und Zuverlässigkeit Ist es .günstig, einen zweiten Schlauch vorzusehen. Es Ist auch möglich, auf derselben Ebene einen zweiten bzw. separaten Schlauch vorzusehen, wobei dann jeder Schlauch nur einen Teil der Stifte blockiert. Eine solche Ausführungform ist In F i g. 2 gezeigt, wo die Stifte am Rand von einem Schlauch 47 umgeben sind, der z. B. von einem Verteiler 48 aus unter Druck gesetzt werden kann.

Nachdem die Stifte blockiert sind, kann die Spann- und Blegestelle 20 aus der Einrichtung zum Formen der Plättchenoberfläche herausgelöst und zu einer anderen Station bewegt werden, wo das Plättchen dem nächsten Fabrikationsschritt unterworfen wird. Die Anordnung 1st dann frei, eine andere Spann- und Blegestelle 20 aufzunehmen und das nächste Plättchen in die gewünschte Form zu biegen. Zu diesem Zweck Ist, wie die FI g. 3 zeigt, die Spann- und Biegestelle 20 In den Rahmen 12 mittels Paßstlften, wie l. B. des in Fig. 3 gezeigten Paßstiftes 50, eingepaßt, wobei dann in dem Rahmen 12 verankerte und nach oben gerichtete Stützen 51 durch Bohrungen hindurchgehen, die sich in den entgegengesetzten Ecken der Deckplatte 25 der Spann- und Biegestelle befinden. Um eine unbeabsichtigte Bewegung der Spann- und Blegestelle während der Operation der Anordnung zu verhindern, sind Mittel vorgesehen, um die Spann- und Blegestelle 20 an den Rahmen 12 anzuklammern. In der gezeigten Ausführung bestehen die Mittel zum Anklammern aus einem Riegel 53, der um einen Drehbolzen 54 gedreht werden kann, und zu dem ein Haken 55 gehört, durch den der mit einem Gewinde versehene obere Teil 51.4 der Stützen 51 hindurchgeht. Mittels einer Mutter 56 ist der Riegel 53 fest mit der Stütze 51 verbunden. Wird diese Verbindung gelöst und der Riegel 53 entfernt, kann man die Spann- und BlegesteUe 20 aus dem Rahmen 12 lösen und weitertransportieren.

Es 1st leicht einzusehen, daß es, um das Plättchen in der gewünschten Form festzuhalten, nötig 1st, daß der Schlauch 36, der mit dem Vakuum in Verbindung steht, und der mit dem Verteiler 45 in Verbindung stehende Schlauch 46 bzw. der mit dem Verteiler 48 in Verbindung stehende Schlauch, der den Druck für die elasti schen Schläuche 44, bzw. 4AA ausübt, mit der Spann- und Biegestelle 20 verbunden bleiben muß, wenn diese weitertransportiert wird. Die oben beschriebene Spann- und Blegestelle ist zwar die bevorzugte Ausführungsform, well sie sicherstellt, daß sich die Stifte nicht bewegen, auch wenn die Spann- und Blegestelle von der Einrichtung wegbewegt wird, aber es können auch andere Mittel zum Blockleren der Stifte benützt werden. In der

Flg. 4 Ist ζ. B. ein Teil einer Spann- und Biegestelle 60 gezeichnet mit einem Stift 61, der Identische Konstruktionsmerkmale, wie der oben beschriebene hat, und zu dem eine Saugscheibe 62 gehört, die über eine Öffnung 62/) und eine Bohrung In dem Stift mit einer Kammer 63 zur Übermittlung des Vakuums In Verbindung steht. Die Mittel zum Blockleren des Stifts bestehen In der dargestellten Ausführung aus einer Klammer und einer von der Klammer umfaßten Klemmhülse, wobei die Klammer zwischen einer Position, In welcher der Stift In der Klemmhülse verschoben werden kann, und einer Position, in der die Klemmhülse den Stift blockiert, bewegt werden kann. Wie die Fig. 4 zeigt, schließen die Mittel zum Blockleren des Stifts eine Klemmhülse 65 mit einer konischen Außenfläche 66 ein, über die Im vorliegenden Fall eine Manschette 67 mit einer In Ihrer Steigung zu der Außenfläche 66 der Klemmhülse passenden konischen Innenfläche geschoben 1st. Der Stift 61 wird durch eine Druckfeder 69 nach unten gedrückt. Die Manschette 67 hat unten einen Flansch 70 und auf diesen Flansch drückt eine Druckfeder 71, was zur Folge hat, daß die Klemmhülse gegen den Stift 61 gedrückt wird, was den Stift blockiert. Unter dem Flansch 70 der Manschette liegt ein Schlauch 72, der während der Phase, In der der Stift 61 verschiebbar sein muß, unter Druck steht, wodurch die Manschette 67 angehoben wird, wodurch der Stift 61 von dem durch die Klemmhülse ausgeübten Druck befreit wird. Wird der Schlauch 72 druckentspannt, so drückt die Feder 71 die Manschette 67 nach unten, wodurch die Klemmhülse gegen den Stift 61 gedrückt wird und dadurch dieser In der festgelegten Position blockiert wird. Da also in der In der Fig. 4 gezeigten Ausführung eine Bewegung umso mehr blokklert wird, je weniger der Schlauch 72 unter Druck steht, kann die Druckleitung, die mit dem Verteiler 45 verbunden Ist, abmontiert werden, wenn es wünschenswert ist, die Spann- und Biegestelle 60 aus der Einrichtung heraus zu nehmen.

Hierzu 3 Blatt Zeichnungen

Claims (4)

Patentansprüche:

1. Einrichtung zum Verändern der Oberflächengestalt eines dünnen Werkstückes, Insbesondere eines Halblelterplättchens, enthaltend

1.1 ein rahmenartiges Gestell,

1.2 eine Im Gestell angeordnete Spann- und Biegestelle, In der mehrere, an besonders ausgewählten Stellen des Werkstücks angrenzende Biegestempel längs, etwa senkrecht zur Werkstückoberfläche, verschiebbar geführt sind, die

1.2.1 durch Antriebseinrichtungen betätigbar sind, um der Werkstückoberfläche die gewünschte Gestalt zu geben,

1.2.2 werkstückseltig Haltemittel zum Festhalten der ihnen zugewandten Oberfläche (nachfolgend Rückfläche genannt) des Werkstücks tragen, wobei diese Haltemittel gleichfalls durch eine Betätigungseinrichtung spann- und lösbar sind, und

1.3 eine Meßeinrichtung zum Ermitteln der Istform der anderen Seite des Werkstücks (nachfolgend Bearbeltungs- oder Auftragsfläche genannt),

dadurch gekennzeichnet, daß

1.4 die Spann- und Biegestelle als ein aus dem rahmenartigen Gestell (12) der Einrichtung (10) herausnehmbarer Tragkörper (20) ausgebildet Ist,

1.5 Klemmvorrichtungen (37) Im Tragkörper (20) angeordnet sind zum Festklemmen der Biegestempel (21) beim Erreichen der vorbestimmten Oberflächengestalt, damit beim Entnehmen des Tragkörpers (20) aus dem Gestell (12) zur weiteren Bearbeitung des Werkstücks die vorbestimmte Oberflächengestalt der Bearbeltungs- oder Auftragsriäche (UB) des Werkstücks erhalten bleibt.

2. Einrichtung nach Anspruch 1. dadurch gekennzeichnet, daß die Biegestempel (21) aus Stiften (22) bestehen, die als einseitig geschlossenes Rohr ausgebildet sind und je eine axiale Bohrung (33) besitzen, auf der eine ringförmige Saugscheibe (24) aufsitzt, bei denen die Rohrwandung eine Öffnung (33.4) hat, die nach außen In einem evakuierbaren Raum (34) Innerhalb der Spann- und Biegestelle (20) endet, und von einem die Bewegung des rohrförmigen Endes In die Spann- und Blegestelle hinein begrenzenden Ring (31) umgeben Ist, und an denen das andere Ende flanschartlg verdickt 1st, und daß eine auf dem Flansch (26) und auf dem Körper der Spann- und Blegestelle (20) aufsitzende, den Stift (22) In Richtung der Antriebseinrichtung (16) drückende Druckfeder (30) vorhanden Ist.

3. Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß zum Blockleren der Biegestempel (21) einen radialen Druck auf die Biegestempel (21) ausübende MIttel vorhanden sind.

4. Einrichtung nach den Ansprüchen 2 und 3, dadurch gekennzeichnet, daß Klemmvorrichtungen die Form von mit radialen Schlitzen ausgestatteten Klemmhülsen (37, 65) haben, welche die Stifte (22) über einen Teil Ihrer Länge umgeben.