EA029169B1

EA029169B1 - Подложка с мультислойным покрытием, имеющим термические свойства, в частности, для получения обогреваемого стеклопакета

Info

Publication number: EA029169B1
Application number: EA201391010A
Authority: EA
Inventors: Стефан Лоран; Роберт Дрезе
Original assignee: Сэн-Гобэн Гласс Франс
Priority date: 2011-01-06
Filing date: 2012-01-06
Publication date: 2018-02-28
Also published as: BR112013015402A2; CN102803175A; DE202012102879U1; FR2970248B1; HUE034237T2; EP2661417A1; CN102803175B; KR101949297B1; EP2661417B1; US20140198389A1; MX2013007748A; KR20140003460A; BR112013015402B8; MX348052B; ES2634515T3; PT2661417T; CA2822399A1; FR2970248A1; BR112013015402B1; JP6054881B2

Abstract

Изобретение относится к подложке (10), в частности прозрачной стеклянной подложке, снабженной тонкопленочным мультислоем, включающим в чередующемся порядке "n" металлических функциональных пленок (40, 80, 120), в частности функциональных пленок на основе серебра или металлического сплава, содержащего серебро, и "(n+1)" антиотражающих покрытий (20, 60, 100, 140), где n представляет собой целое число ≥3, причем каждое антиотражающее покрытие включает по меньшей мере одну противоотражающую пленку, при этом каждая функциональная пленка (40, 80, 120) размещена между двумя антиотражающими покрытиями (20, 60, 100, 140), отличающейся тем, что указанный мультислой включает по меньшей мере две противоотражающие пленки с высоким показателем преломления (25, 145), каждая из которых имеет показатель преломления ≥2,15, так что антиотражающее покрытие (20), помещенное под первой, начиная от подложки, функциональной пленкой (40), и антиотражающее покрытие, помещенное на последней, начиная от подложки, функциональной пленке, каждое, включает по меньшей мере одну противоотражающую пленку с высоким показателем преломления (25, 145), и каждое антиотражающее покрытие (60, 100), помещенное между двумя функциональными пленками, не включает в себя пленку с высоким показателем преломления.

Description

Изобретение относится к подложке (10), в частности прозрачной стеклянной подложке, снабженной тонкопленочным мультислоем, включающим в чередующемся порядке "п" металлических функциональных пленок (40, 80, 120), в частности функциональных пленок на основе серебра или металлического сплава, содержащего серебро, и "(п+1)" антиотражающих покрытий (20, 60, 100, 140), где п представляет собой целое число >3, причем каждое антиотражающее покрытие включает по меньшей мере одну противоотражающую пленку, при этом каждая функциональная пленка (40, 80, 120) размещена между двумя антиотражающими покрытиями (20, 60, 100, 140), отличающейся тем, что указанный мультислой включает по меньшей мере две противоотражающие пленки с высоким показателем преломления (25, 145), каждая из которых имеет показатель преломления >2,15, так что антиотражающее покрытие (20), помещенное под первой, начиная от подложки, функциональной пленкой (40), и антиотражающее покрытие, помещенное на последней, начиная от подложки, функциональной пленке, каждое, включает по меньшей мере одну противоотражающую пленку с высоким показателем преломления (25, 145), и каждое антиотражающее покрытие (60, 100), помещенное между двумя функциональными пленками, не включает в себя пленку с высоким показателем преломления.

029169

Изобретение относится к прозрачной подложке, в частности, изготовленной из жесткого минерального материала, такого как стекло, причем указанная подложка покрыта тонкопленочным мультислоем, включающим множество функциональных пленок, которые могут воздействовать на солнечное излучение и/или инфракрасное излучение длинноволновой области.

Более конкретно, изобретение относится к подложке, в частности, прозрачной стеклянной подложке, снабженной тонкопленочным мультислоем, включающим, в чередующемся порядке, "п" металлических функциональных пленок, в частности, функциональных пленок на основе серебра или металлического сплава, содержащего серебро, и "п+1" антиотражающих покрытий, где п представляет собой целое число >3, так что каждая функциональная пленка помещена между двумя антиотражающими покрытиями. Каждое покрытие включает по меньшей мере одну противоотражающую пленку, и каждое покрытие предпочтительно состоит из множества пленок, из которых по меньшей мере одна пленка, или даже любая пленка, является противоотражающей пленкой.

Более конкретно, изобретение относится к использованию таких подложек для изготовления теплоизолирующих и/или защищающих от солнечного излучения стеклопакетов. Данные стеклопакеты могут быть предназначены как для оснащения зданий, так и для оснащения транспортных средств, в особенности, с целью снижения нагрузки на кондиционирование воздуха и/или предотвращения перегрева (так называемое "солнцезащитное остекление") и/или снижения количества энергии, рассеивающейся в окружающую среду (так называемое "энергосберегающее" или "низкоэмиссионное стекло"), что вызвано все более возрастающим использованием остекленных поверхностей в зданиях и пассажирских салонах транспортных средств.

Данные подложки можно, в частности, включить в состав электронных устройств, и тогда мультислой может служить в качестве электрода для того, чтобы проводить электрический ток (осветительное устройство, дисплей, фотоэлектрическая панель, электрохромный стеклопакет и т.д.), или их можно включить в состав стеклопакетов, имеющих особую цель, таких как обогреваемые стеклопакеты и, в частности, обогреваемые стеклопакеты для лобовых стекол автомобиля.

В контексте настоящего изобретения подразумевается, что мультислой, включающий множество функциональных пленок, обозначает мультислой, включающий в себя по меньшей мере три функциональные пленки.

Известны пленочные мультислой, включающие в себя множество функциональных пленок.

В данном типе мультислоя каждая функциональная пленка помещается между двумя антиотражающими покрытиями, каждое из которых обычно включает в себя множество противоотражающих пленок, каждая из которых изготовлена из нитрида и, в особенности из нитрида и/или оксида кремния или алюминия. С оптической точки зрения, цель данных покрытий, которые граничат с функциональной пленкой, состоит в придании данной функциональной пленке "антиотражающих" свойств. Данные противоотражающие пленки иногда называют "диэлектрическими пленками", в отличие от функциональных пленок металлической (и, следовательно, проводящей) природы.

Однако между одним или каждым антиотражающим покрытием и соседней функциональной пленкой иногда помещают очень тонкий блокирующий слой: блокирующий слой, помещенный под функциональной пленкой, в направлении подложки, и/или блокирующий слой, помещенный на функциональной пленке, напротив от подложки, защищает данную пленку от повреждения, которое может произойти в течение нанесения последующего антиотражающего покрытия или в течение осуществляемых высокотемпературных тепловых обработок, таких как термообработка для изгиба и/или закалки.

Данные блокирующие слои не являются частью антиотражающих покрытий, поскольку, в общем, их не учитывают при определении оптических свойств мультислоя.

Мультислои, включающие множество функциональных пленок, известны из уровня техники, например из международной заявки на патент \УО 2005/051858.

В мультислоях, включающих три или четыре функциональные пленки, представленные в указанном документе, использованные противоотражающие пленки, как обычно считается, представляют собой так называемые пленки со "средним" показателем преломления, т.е. имеющие показатель преломления, который является ни высоким, ни низким.

Конкретно, в тонкопленочных мультислоях принято, что пленки с "низким" показателем преломления имеют показатель преломления, равный 1,60 или менее, пленки со "средним" показателем преломления имеют показатель преломления от >1,60 до <2,15, и пленки с "высоким" показателем преломления имеют показатель преломления 2,15 или более.

Следует обратить внимание, что п обозначает действительный показатель преломления материала при данной длине волны, и к представляет мнимую часть показателя преломления при данной длине волны.

На всем протяжении настоящего документа показатель преломления пленок представляет собой показатель преломления, измеренный при длине волны 550 нм, что является обычным; для цели простоты показатели преломления даются до двух десятичных знаков без округления. Коэффициент экстинкции к также дается для длины волны 550 нм.

- 1 029169

Оказалось, что конфигурация примеров в заявке \УО 2005/051858 не является полностью удовлетворительной.

Для ряда областей использования является желательным, чтобы светопропускание мультислоя (и, следовательно, стеклопакета, включающего мультислои) являлось бы более высоким, в то время как поверхностное сопротивление мультислоя поддерживалось низким, и/или чтобы светоотражение мультислоя (и, следовательно, стеклопакета, включающим мультислой) являлось бы более низким, в то время как поверхностное сопротивление мультислоя поддерживалось низким, и/или чтобы цвет при отражении был бы менее выраженным, со значениями, измеренными, например, в системе ЬаЬ, которые находятся ближе к нулю, в то время как поверхностное сопротивление мультислоя поддерживают низким. Низкое поверхностное сопротивление слоя здесь представляет собой сопротивление, равное 1 ом/_ или менее.

Предшествующий уровень техники также включает Европейскую заявку на патент ЕР 2030954.

В указанном документе одну из по меньшей мере двух пленок, называемых пленками "диэлектрического поглотителя", обе из которых, кроме того, являются "нейтральными" поглотителями, помещают под первую металлическую функциональную пленку, начиная от подложки, мультислоя, включающего, по меньшей мере, две металлические функциональные пленки, а другую пленку "диэлектрического поглотителя" помещают на последнюю металлическую функциональную пленку, начиная от подложки, указанного мультислоя.

Пленки диэлектрического поглотителя из указанного документа имеют заметный коэффициент поглощения к, составляющий по меньшей мере 0,1.

Пленки диэлектрического поглотителя из указанного документа, таким образом, квалифицируются как "диэлектрические", чтобы дать возможность отличить их от металлических функциональных пленок, которые также поглощают до определенной степени. В качестве информации, коэффициент к серебра, из которого изготовлены металлические функциональные пленки, составляет примерно 3,34 при 550 нм.

Более того, "нейтральное" поглощение фактически соответствует сбалансированному поглощению в диапазоне видимых длин волн, со сбалансированным отношением коэффициента к при коротких длинах волн (380<λ<450 нм) в видимой области к коэффициенту к при длинных длинах волн (650<λ<760 нм) в видимой области, т.е. примерно 1 и, более точно, находящимся в диапазоне от 0,52 до 1,9.

Цель решения указанного документа состоит в увеличении способности мультислоя поглощать солнечное излучение (в частности, в инфракрасной области), в то же время, чтобы он имел цвет, определенный как "приятный", посредством использования пленок нейтрального поглотителя и располагая указанные пленки в мультислое особым образом.

Необходимое следствие данного решения состоит в том, что мультислой не может иметь высокое светопропускание в видимой области, поскольку пленки диэлектрического поглотителя поглощают не только в диапазоне инфракрасных длин волн, но также, в значительной мере, в диапазоне видимых длин волн.

Фиг. 7 и 8 Европейской заявки на патент ЕР 2030954 показывают, соответственно, коэффициент экстинкции к и показатель преломления η двух соединений нитридов кремния и титана, одно из которых включает 45% ΤίΝ и 55% нитрида кремния, а другое 71% ΤίΝ и 29% нитрида кремния.

Коэффициент к ΤίΝ при 550 нм составляет примерно 1,88 и коэффициент к δί₃Ν₄ при 550 нм составляет примерно 0,0135. По логике фиг. 7 показывает, что значения к для двух соединений находятся между двумя данными значениями. Более того, фиг. 7 показывает, что значения к для двух соединений являются относительно высокими: включение δί₃Ν₄ в количестве 29 и 55% в ΤίΝ, следовательно, оказывает незначительное воздействие на коэффициент к ΤίΝ.

Показатель преломления η ΤίΝ при 550 нм составляет примерно 0,97, и показатель преломления δί₃Ν₄ при 550 нм составляет примерно 2,02. Логично, следует ожидать, что показатели преломления соединений, состоящих из смесей данных двух материалов, находятся в диапазоне между двумя данными значениями; однако совершенно неожиданно фиг. 8 показывает, что показатель преломления данных соединений при 550 нм выше, чем показатель δί₃Ν₄, а именно между 2,4 и 2,5, что, следовательно, является нелогичным. Более того, что касается слабого "разбавления" коэффициента к ΤίΝ с помощью δί₃Ν₄, показанного на фиг. 7, следует ожидать, что фиг. 8 покажет, что показатели преломления двух данных соединений будут ниже и на них вряд ли хоть как-то повлияет введение δί₃Ν₄, делая фиг. 8 еще более нелогичной.

Фактически, соединение, состоящее из смеси нитрида кремния и нитрида титана, неизбежно имеет показатель преломления, находящийся в диапазоне от показателя преломления δί₃Ν₄ до показателя ΤίΝ.

Цель изобретения состоит в создании мультислоя, который имеет очень низкое поверхностное сопротивление слоя для того, чтобы, в частности, стеклопакет, включающий данный мультислой, был способен показать высокое отражение энергии и/или очень низкую излучающую способность и/или был способен нагреваться посредством приложения электрического тока между двумя шинами, электрически присоединенными к мультислою, и высокое светопропускание и относительно нейтральный цвет, в частности, при получении ламинированных многослойных структур, и данные свойства предпочтительно получают после одной (или более) высокотемпературной обработки изгибом и/или закалкой, и/или отжигом, или в действительности данные свойства получают перед одной или более высокотемпературной

- 2 029169

обработки изгибом и/или закалкой, и/или отжигом, и данные свойства сохраняются внутри ограниченного диапазона, независимо от того, подвергается или нет данный мультислой одной (или более) такой термообработке(ам). Светопропускание и светоотражение, о которых идет речь в настоящем документе, конечно, представляют собой светопропускание и светоотражение в диапазоне видимых длин волн.

Одним предметом изобретения, в его наиболее широком смысле, таким образом, является подложка, в особенности, прозрачная стеклянная подложка, как заявлено в п.1 формулы изобретения. Зависимые пункты формулы изобретения определяют преимущественные варианты осуществления данной подложки.

Подложка по изобретению, таким образом, обеспечивается тонкопленочным мультислоем, включающим, в чередующемся порядке, "п" металлических функциональных пленок, в частности, функциональных пленок на основе серебра или металлического сплава, содержащего серебро, и "п+1" антиотражающих покрытий, где п представляет собой целое число >3, причем каждое антиотражающее покрытие включает, по меньшей мере, одну противоотражающую пленку, чтобы каждая функциональная пленка помещалась между двумя антиотражающими покрытиями. Настоящее изобретение особенно подходит для мультислоев, включающий п=3 или п = 4 функциональных пленок.

Данная подложка достойна упоминания в том смысле, что указанный мультислой включает, по меньшей мере, две противоотражающие пленки с высоким показателем преломления, причем каждая имеет показатель преломления >2,15, так что антиотражающее покрытие, помещенное под первой, начиная от подложки, функциональной пленкой, и антиотражающее покрытие, помещенное на последней, начиная от подложки, функциональной пленке, каждое, включает по меньшей мере одну противоотражающую пленку с высоким показателем преломления, и каждое антиотражающее покрытие, помещенное между двумя функциональными пленками, не включает пленку с высоким показателем преломления (т.е. каждое антиотражающее покрытие, помещенное между двумя функциональными пленками, не включает противоотражающую пленку с высоким показателем преломления, имеющую показатель преломления >2,15).

Благодаря своей истинной природе, в области техники данного изобретения, противоотражающая пленка не может быть поглощающей пленкой, поскольку обычно термин "антиотражение" означает непоглощающую пленку.

Пленки с высоким показателем преломления по изобретению можно, в этом отношении, квалифицировать как прозрачные пленки, поскольку они не являются поглощающими; каждая из них имеет незначительный коэффициент поглощения к ниже 0,1 и даже ниже 0, 01.

С большим основанием пленки с высоким показателем преломления по изобретению действительно не показывают "нейтральное" поглощение; они не показывают сбалансированное поглощение в диапазоне видимых длин волн со сбалансированным отношением коэффициента к при коротких длинах волн (380<λ<450 нм) в видимой области к коэффициенту к при длинных длинах волн (650<λ<760 нм) в видимой области, т.е. примерно 1 и, более точно, находящимся в диапазоне от 0,52 до 1,9, поскольку данное отношение имеет смысл только для существенных значений к.

Данные пленки с высоким показателем преломления по изобретению также можно было бы назвать "диэлектрическими противоотражающими пленками с высоким показателем преломления" в противоположность металлической (и, следовательно, проводящей) природе функциональных пленок.

Антиотражающее покрытие, помещенное под первой, начиная от подложки, функциональной пленкой, предпочтительно состоит, в данном порядке, начиная от подложки, из одной или более противоотражающих пленок с высоким показателем преломления и затем смачивающей противоотражающей пленки со средним показателем преломления, имеющей показатель преломления в диапазоне от 1,60 до 2,15, исключая данные значения, и имеет в качестве основы кристаллический оксид, в особенности, имеет в качестве основы оксид цинка, необязательно легированный по меньшей мере одним другим элементом, таким как алюминий.

В конкретном варианте антиотражающее покрытие, помещенное на последней, начиная от подложки, функциональной пленке, состоит только из одной или более противоотражающей пленки с высоким показателем преломления; следовательно, оно не включает пленку со средним или низким показателем преломления.

Предпочтительно, по меньшей мере, одна, любая, противоотражающая пленка с высоким показателем преломления в качестве основы имеет нитрид кремния-циркония. Другой возможный материал для противоотражающей пленки с высоким показателем преломления можно выбрать из: МпО (показатель преломления 2,16 при 550 нм), \7О₃ (показатель преломления 2,15 при 550 нм), Ν6₂Ο₅ (показатель преломления 2,3 при 550 нм), Βί₂Ο₃ (показатель преломления 2,6 при 550 нм) и Ζγ₃Ν₄ (показатель преломления 2,55 при 550 нм).

Известно, что тонкие пленки с высоким показателем преломления имеют показатель преломления, самое большее 3,1 при 550 нм. Каждая противоотражающая пленка с высоким показателем преломления по изобретению предпочтительно имеет показатель преломления 2,6 или менее или даже 2,3 или менее.

Когда выбирают противоотражающую пленку с высоким показателем преломления на основе нит- 3 029169

рида кремния-циркония, доля кремния относительно циркония предпочтительно составляет от 40 до 80% δί для диапазона Ζτ от 25 до 45%, конечно, с общим содержанием по массе в мишени, равным 100%, чтобы получить желаемый высокий показатель преломления.

Когда доля кремния является высокой (выше 40 мас.% в мишени), можно использовать другой элемент, такой как, например, А1, чтобы увеличить проводимость мишени. В данном случае, чтобы получить желаемый показатель преломления, предпочтительно, чтобы элементы δί, Ζτ и А1 присутствовали в пропорциях по массе в мишени в следующих диапазонах соответственно:

для δί: от 45 до 75%, включая данные значения; для Ζτ: от 20 до 50%, включая данные значения; и

для А1: от 1 до 10%, включая данные значения; конечно, с общим содержанием по массе в мишени, равным 100%.

Более того, когда одна или более пленок с высоким показателем преломления из последнего антиотражающего покрытия представляет собой одну или более нитридных пленок, антиотражающее покрытие, помещенное на последней, начиная от подложки, функциональной пленке, предпочтительно состоит только из нитридных пленок, чтобы сделать более легким изготовление мультислоя.

Кроме того, по меньшей мере одна, даже каждая, противоотражающая пленка с высоким показателем преломления предпочтительно не имеет в качестве основы оксид титана, ΤίΟ₂ или ΤίΟ_γ.

В одном варианте толщина е_х каждой функциональной пленки мультислоя (т.е., по меньшей мере, функциональных пленок в ряду 2 и ряду 3, начиная от подложки) меньше толщины предшествующей функциональной пленки, в направлении подложки, и является такой, что е_х=ае_х-1, где х представляет собой ряд, начиная от подложки, функциональной пленки; х-1 представляет собой ряд, в направлении подложки, предшествующей функциональной пленки; и α является целым числом, так что 0,5<α<1 и, предпочтительно, 0,55<α<0,95, или 0,6<α<0,95.

В другом варианте толщина е_х каждой функциональной пленки мультислоя (т.е., по меньшей мере, функциональных пленок в ряду 2 и ряду 3, начиная от подложки) равна толщине предшествующей функциональной пленки, в направлении подложки, и является такой, что е_х=ае_х-1, где х представляет собой ряд, начиная от подложки, функциональной пленки; х-1 представляет собой ряд, в направлении подложки, предшествующей функциональной пленки; и α является целым числом, так что 0,85<α<1,15 и, предпочтительно, 0,90<α<1,1, или 0,95<α<1,05.

Термин "ряд", как подразумевается в настоящем изобретении, означает целое число, начиная от подложки, каждой функциональной пленки: функциональная пленка, наиболее близкая к подложке, является функциональной пленкой ряда 1, следующая пленка, при движении далее от подложки, является пленкой ряда 2 и т.д.

Толщина первой, начиная от подложки, металлической функциональной пленки (т.е. пленки ряда 1) является такой, что 10<е1 <18 в нм и предпочтительно 11 <е1 <15 в нм.

Таким образом, когда 0,55<α<0,95, толщина первой, начиная от подложки, металлической функциональной пленки является такой, что 10<е1<18 в нм и предпочтительно 11<е1<15 в нм, и когда 0,6<α<0,95, толщина первой, начиная от подложки, металлической функциональной пленки является такой, что 10<е1<18 в нм и предпочтительно 11<е1<15 в нм.

Кроме того, является возможным, чтобы 0,6<α<0,9 и толщина первой, начиная от подложки, металлической функциональной пленки были такими, чтобы 10<е1<18 в нм и, предпочтительно, 11<е1<15 в нм, или чтобы 0,6<α<0,85 и толщина первой, начиная от подложки, металлической функциональной пленки были такими, чтобы 10<е1<18 в нм и, предпочтительно, 11<е1<15 в нм.

Более того, поскольку ключевая цель изобретения состоит в предложении мультислоя, имеющего низкое поверхностное сопротивления слоя, общая толщина металлических функциональных пленок составляет, в особенности, когда 11<е₁<15 в нм, предпочтительно более 30 нм и, в особенности, находится в диапазоне от 30 до 60 нм, включая данные значения, или данная общая толщина находится в диапазоне от 35 до 50 нм для тонкопленочного мультислоя, включающего три функциональные пленки, или данная общая толщина находится в диапазоне от 40 до 60 нм для тонкопленочного мультислоя, включающего четыре функциональные пленки.

Предпочтительно значение α является различным (по меньшей мере на 0,02, предпочтительнее по меньшей мере на 0,05) для всех функциональных пленок ряда 2 или более мультислоя, к которому применяется формула е_х=ае_х-1.

Следует отметить, что снижение в распределении толщины не является снижением в распределении всех пленок мультислоя (принимая во внимание противоотражающие пленки), но только снижение в распределении толщин функциональных пленок.

Внутри мультислоя, включающего функциональные пленки с уменьшающейся толщиной, начиная от подложки, все функциональные пленки имеют различные толщины; однако распределение в толщине функциональных пленок внутри мультислоя тогда дает возможность, совершенно неожиданным образом, получить лучшее поверхностное сопротивление слоя по сравнению с сопротивлением, достигаемым

- 4 029169

для конфигурации, включающей функциональные пленки постоянной толщины или включающей функциональные пленки увеличивающейся толщины, начиная от подложки.

Если не указано иное, толщина, данная в настоящем документе, является физической, или реальной толщиной (и не оптической толщиной).

Кроме того, когда указывается вертикальное положение пленки (например, на/под), принимается, что подложка-носитель всегда расположена горизонтально, снизу, а мультислой находится на ней. Когда указывается, что пленка нанесена непосредственно на другую, это означает, что нет никакой(их) другой(их) пленки(ок) между данными двумя пленками. Ряд функциональных пленок здесь всегда определяется, начиная от подложки, на которой находится мультислой (подложка, на лицевую поверхность которой нанесен мультислой).

Толщина каждой функциональной пленки предпочтительно составляет от 8 до 20 нм, включая данные значения, даже от 10 до 18 нм, включая данные значения, и более предпочтительно от 11 до 15 нм, включая данные значения.

Общая толщина металлических функциональных пленок предпочтительно превышает 30 нм и, в частности, находится в диапазоне от 30 до 60 нм, включая данные значения, или данная общая толщина находится в диапазоне от 35 до 50 нм для тонкопленочного мультислоя, включающего три функциональные пленки, или данная общая толщина находится в диапазоне от 40 до 60 нм для тонкопленочного мультислоя, включающего четыре функциональные пленки.

Мультислой по изобретению представляет собой мультислой с низким поверхностным сопротивлением, так что его поверхностное сопротивление слоя К в ом/з предпочтительно составляет 1 ом/и или менее после необязательной термообработки типа изгиба, закалки или отжига, или даже 1 Ом или менее перед термообработкой, поскольку такая обработка, в общем, снижает поверхностное сопротивление слоя.

В конкретном варианте изобретения каждое из антиотражающих покрытий, помещенное между двумя функциональными пленками, которые не включают противоотражающую пленку с высоким показателем преломления, включает по меньшей мере одну противоотражающую пленку на основе нитрида кремния, необязательно легированную по меньшей мере одним другим элементом, таким как алюминий.

В особом варианте изобретения последняя пленка каждого антиотражающего покрытия, находящаяся под функциональной пленкой, представляет собой смачивающую противоотражающую пленку на основе кристаллического оксида, в особенности оксида цинка, необязательно легированного по меньшей мере одним другим элементом, таким как алюминий.

Кроме того, настоящее изобретение относится к стеклопакету, включающему по меньшей мере одну подложку по изобретению, необязательно связанную по меньшей мере с одной другой подложкой, и, в особенности, к многокомпонентному стеклопакету, такому как двойной или тройной стеклопакет или ламинированный многослойный стеклопакет и, в частности, к многослойному стеклопакету, включающему средство, электрически соединяющее тонкопленочный мультислой, для того, чтобы дать возможность получить обогреваемый многослойный стеклопакет, причем указанную подложку, на которой находится мультислой, возможно, изгибают и/или закаливают.

Каждая подложка стеклопакета может быть прозрачной или тонированной. Одна из подложек, по меньшей мере, может быть по существу изготовлена из тонированного в массе стекла. Выбор типа тонировки зависит от уровня светопропускания и/или колориметрического аспекта, требующегося для стеклопакета после изготовления.

Стеклопакет по изобретению может иметь ламинированную многослойную структуру, в частности соединяющую, по меньшей мере, две жесткие стеклянные подложки с, по меньшей мере, одним листом термопластичного полимера, чтобы обеспечить структуру стекло/тонкопленочный мультислой/лист(ы)/стекло. Полимер может, в частности, иметь в качестве основы поливинилбутираль (ПВБ), этиленвинилацетат (ЭВА), полиэтилентерефталат (ПЭТФ) или поливинилхлорид (ПВХ).

Стеклопакет при этом может иметь структуру стекло/тонкопленочный мультислой/полимерный(ые) лист(ы)/стекло.

Стеклопакеты по изобретению способны выдержать термообработку без повреждения тонкопленочного мультислоя.

Поэтому их при необходимости подвергают изгибу и/или закалке.

Стеклопакет можно подвергнуть изгибу и/или закалке, в то время как он состоит из одиночной подложки, снабженной мультислоем. Тогда стеклопакет называют "монолитным". В случае, когда стеклопакеты изгибают, в особенности с целью получения автомобильного стекла, тонкопленочный мультислой, предпочтительно, помещают на, по меньшей мере, частично, неплоской стороне.

Стеклопакет также может представлять собой многокомпонентный стеклопакет, в особенности двойной стеклопакет, причем, по меньшей мере, подложка, на которой находится мультислой, может быть, подвергнута изгибу и/или закалке. В многослойной стеклянной конфигурации мультислой предпочтительно расположен таким образом, чтобы быть следующим к промежуточной заполненной газом полости. В ламинированной многослойной структуре подложка, на которой находится мультислой, может быть в контакте с полимерным листом.

- 5 029169

Стеклопакет также может представлять собой тройной стеклопакет, состоящий из трех оконных стекол, попарно разделенных заполненной газом полостью. В конструкции тройного стеклопакета подложка, на которой находится мультислой, может быть на стороне 2 и/или лицевой поверхности 5, если принять, что падающий солнечный свет проходит через лицевые поверхности в возрастающем числовом порядке.

Когда стеклопакет представляет собой монолитный, многокомпонентный (двойной или тройной) или ламинированный многослойный стеклопакет, по меньшей мере, подложка, на которой находится мультислой, может быть изготовлена из изогнутого или закаленного стекла, причем подложку, возможно, подвергают изгибу или отжигают до или после того, как мультислой был нанесен.

Изобретение также относится к применению подложки по изобретению для получения стеклопакета с высоким отражением энергии и/или стеклопакета с очень низкой излучательной способностью и/или обогреваемого стеклопакета с прозрачным покрытием, нагреваемым электрическим током.

Изобретение также относится к применению подложки по изобретению для получения прозрачного электрода для электрохромного стеклопакета или для осветительного устройства, или для дисплейного устройства, или для фотоэлектрической панели.

Подложку по изобретению можно, в частности, использовать для получения подложки с высоким отражением энергии и/или подложки, обладающей очень низкой излучательной способностью, и/или нагреваемого прозрачного покрытия для обогреваемых стеклопакетов.

Подложку по изобретению можно, в частности, использовать для получения прозрачного электрода для электрохромного стеклопакета (данный стеклопакет представляет собой монолитный, многокомпонентный (двойной или тройной) или ламинированный многослойный стеклопакет) или для осветительного устройства, или для дисплейного экрана, или для фотоэлектрической панели. (Под термином прозрачный здесь понимается "не являющийся непрозрачным").

Мультислой по изобретению позволяет получить очень низкое поверхностное сопротивление слоя, высокое светопропускание (>70% и даже >72% в ламинированном состоянии), низкое светоотражение (<14% в ламинированном состоянии) и цвет при отражении, который не сильно выражен (с координатами а* и Ь* в системе ЬаЬ, которые близки к нулю, или, в любом случае, ниже, чем +2 для а*) и который, более того, не изменяется в значительной степени в виде функции угла обзора.

Конкретно, кажется, что предоставление по меньшей мере одной противоотражающей пленки с высоким показателем преломления в первом антиотражающем покрытии под первой функциональной пленкой и по меньшей мере одной противоотражающей пленки с высоким показателем преломления в последнем антиотражающем покрытии на последней функциональной пленке, без предоставления противоотражающей пленки с высоким показателем преломления в промежуточных антиотражающих покрытиях, каждое из которых помещено между двумя функциональными пленками, дает возможность увеличить светопропускание и получить цвет при отражении, который очень близок к нулю и который очень незначительно меняется в виде функции угла обзора, без чрезмерного усложнения нанесения мультислоя, или без существенного увеличения его стоимости (за счет того, что в общем, противоотражающую пленку с высоким показателем преломления труднее нанести по сравнению с противоотражающей пленкой со средним показателем преломления, и ее стоимость выше, чем у противоотражающей пленки со средним показателем преломления).

Антиотражающие покрытия мультислоя по изобретению не содержат никаких поглощающих пленок.

Кроме того, применение уменьшения, начиная от подложки, распределения толщин функциональных пленок дает возможность получить для мультислоя очень низкое поверхностное сопротивление слоя, в то время как цвет при отражении в виде функции угла остается приемлемым, хотя, следует признать, не таким хорошим как цвет, получаемый при увеличении распределения толщины, и в то же время все еще получая приемлемое изменение цвета при отражении в виде функции угла.

Однако при этом является важным, чтобы разница в толщине от одной функциональной пленки к другой, в направлении подложки или в направлении от подложки, не была слишком большой. Это является причиной, почему α>0,5 и, предпочтительно, α>0,55, даже α>0,6.

Детали и преимущественные черты изобретения станут понятными из следующих ниже неограничивающих примеров, иллюстрированных с использованием приложенных фигур, показывающих:

фиг. 1 - мультислой, включающий три функциональные пленки по изобретению, причем каждая функциональная пленка не обеспечивается нижележащим блокирующим слоем, но обеспечивается вышележащим блокирующим слоем, и мультислой дополнительно обеспечивается необязательным защитным покрытием; и

фиг. 2 - мультислой, включающий четыре функциональные пленки по изобретению, причем каждая функциональная пленка обеспечивается нижележащим блокирующим слоем, но не обеспечивается вышележащим блокирующим слоем, и мультислой дополнительно обеспечивается необязательным защитным покрытием.

На фиг. 1 и 2 толщина различных слоев не показана в масштабе для лучшего восприятия.

- 6 029169

Фиг. 1 иллюстрирует структуру мультислоя, включающую три функциональные пленки 40, 80, 120, причем данную структуру наносят на прозрачную стеклянную подложку 10.

Каждую функциональную пленку 40, 80, 120 помещают между двумя антиотражающими покрытиями 20, 60, 100, 140 так, что первую, начиная от подложки, функциональную пленку 40 помещают между антиотражающими покрытиями 20, 60; вторую функциональную пленку 80 помещают между антиотражающими покрытиями 60, 100; и третью функциональную пленку 120 помещают между антиотражающими покрытиями 100, 140.

Каждое из данных антиотражающих покрытий 20, 60, 100, 140 включает по меньшей мере одну противоотражающую пленку 25/24, 28; 62, 65/64, 68; 102, 105/104, 108; 145/144.

Необязательно, каждую функциональную пленку 40, 80, 120 можно, с одной стороны, нанести на нижележащий блокирующий слой (не показан), размещенный между расположенным ниже антиотражающим покрытием и функциональной пленкой, или каждую функциональную пленку можно, с другой стороны, нанести непосредственно под вышележащим блокирующим слоем 55, 95, 135, размещенным между функциональной пленкой и антиотражающим покрытием, расположенным ниже данной пленки.

Фиг. 1 показывает мультислой, заканчивающийся необязательной защитной пленкой 200, которая не присутствует в примерах, указанных ниже. В общем, данная защитная пленка является очень тонкой и не принимается во внимание при определении оптических свойств последнего антиотражающего покрытия мультислоя.

Во всех примерах, указанных ниже, тонкопленочный мультислой наносят на прозрачную подложку из натрий-кальциевого стекла с толщиной 1,6 мм, продаваемого 8ат1-ОоЪат.

В каждом из примеров, указанных ниже, условия нанесения пленок, которые наносили напылением (магнетронным напылением), были следующими:

Таблица 1

Пленка	Применяемая мишень	Давление нанесения	Газ	Показатель преломления при 550 нм
5ΪΑ1Ν	5ί:Α1 при 92:8 масс. О. о	3,2х10_³мбар (0,32 Па)	Аг/ (Αγ+Ν₂) при 55%	2,03
5ΪΖγΝ	5ί:Ζγ:А1 при 58,5:36,5:5 масс. %	2,2х10_³мбар (0,22 Па)	Аг/ (Αγ+Ν₂) при 56%	2,24
ΖηΟ	Ζη:Α1 при 98:2 масс. О. о	1, 8х10_³мбар (0,18 Па)	Аг/ (Аг+О₂) при 63%	1,95
ΝίΟτ	Νϊ:Ογ при 80:20 масс. О. о	2,5х10~³мбар (0,25 Па)	Аг при 100%
Ад	Ад	Зх10_³ мбар (0,3 Па)	Аг при 100%

Получали первый набор из четырех образцов; данные примеры пронумерованы от 1 до 4 ниже. Все четыре были включены в многослойную стеклянную структуру: стеклянная подложка толщиной 1,6 мм, на которой находится мультислой/промежуточный слой листа ПВБ толщиной 0,76 мм/стеклянная подложка толщиной 1,6 мм.

Табл. 2 ниже сопоставляет материалы и толщину в нанометрах каждого слоя и составы слоев, которые формируют мультислой в порядке своего расположения относительно подложки, на которой находится мультислой, (последняя строчка в нижней части таблицы); числа в 1-ом и 2-ом столбцах соответствуют номерам позиций на фиг. 1.

Таблица2

	Прим. 1	Прим. 2	Прим. 3	Прим. 4
Стекло
ПВБ

- 7 029169

140	145	3ιΖγΝ		30		30
144	3ίΑ1Ν	35		35
135		ΝίΟη	1	1	1	1
120		АдЗ	13	13	13	13
100	108	ΖηΟ	7	7	7	7
105	3ίΖτΝ		58	58
104	3ίΑ1Ν	63			63
102	ΖηΟ	7	7	7	7
95		ΝίΟη	1	1	1	1
80		Ад 2	13	13	13	13
60	68	ΖηΟ	7	7	7	7
65	3ίΖηΝ		58	58
64	3ίΑ1Ν	63			63
62	ΖηΟ	7	7	7	7
55		ΝίΟη	1	1	1	1
40		Ад1	13	13	13	13
20		ΖηΟ	7	7	7	7
	3ίΖηΝ		30		30
	3ίΑ1Ν	35		35
		Стекло

Каждое антиотражающее покрытие 20, 60, 100, расположенное ниже функциональной пленки 40, 80, 120, включает последнюю смачивающую пленку 28, 68, 108 на основе кристаллического оксида цинка, легированного алюминием, которая создает контакт с функциональной пленкой 40, 80, 120, нанесенной непосредственно выше.

Каждое антиотражающее покрытие 20, 60, 100, 140 включает

либо противоотражающую пленку со средним показателем преломления 24, 64, 104, 144 на основе нитрида кремния, легированного алюминием, называемым в настоящем описании 8ΪΆ1Ν с целью упрощения, хотя истинная природа данной пленки, фактически, представляет собой 8ί₃Ν₄:Ά1, как объяснено выше;

либо антиотражающее покрытие с высоким показателем преломления 25, 65, 105, 145 на основе нитрида кремния,

легированного цирконием, называемым в настоящем описании 8ϊΖγΝ с целью упрощения, хотя истинная природа данной пленки, фактически, представляет собой 8ϊ₃Ν₄:Ζγ, как объяснено выше.

Данные пленки являются важными для получения эффекта кислородного барьера в течение термообработки.

Кроме того, данные четыре примера имеют преимущество в том, что их можно подвергнуть закалке и изгибу.

Общая толщина функциональных пленок и распределение в толщине функциональных пленок является одним и тем же в данных четырех примерах: следовательно, мультислои имеют одно и то же поверхностное сопротивление слоя; однако они не имеют одни и те же светопропускание, светоотражение или цвет при отражении.

Табл. 3 сравнивает, для примеров 1-4, измеренное поверхностное сопротивление слоя, после термообработки (изгиб при 640°С), каждой подложки, на которой находится мультислои, и основные оптические свойства, измеренные для укомплектованного многослойного стеклопакета, включающего подложку, на которой находится мультислои.

Таблица 3

		Прим. 1	Прим. 2	Прим. 3	Прим. 4
Т_ь	%	72,43	73, 62	72, 65	73, 42
К_ь	О. О	11,04	9, 87	10, 91	9, 97
Κ_Π	Ом/0	1, 00	1, 00	1, 00	1,00
Цвет при отражении	^КО*	-2,0	-1,4	-2,7	-1,9
Ько*	-1,9	-2,2	-2, 1	-ι,ο
Цвет при отражении	ЭкбО*	-6,3	-5,3	-6,6	-5, 0
Ькбо*	1,25	0, 8	1,1	0, 8

Для данных подложек

Т_Е представляет светопропускание в видимой области в %, измеренное при источнике света А с 10° наблюдателем;

представляет светоотражение в видимой области в %, измеренное при источнике света А с 10°

- 8 029169

наблюдателем;

представляет поверхностное сопротивление слоя в ом/С после термообработки (изгиба); а_к0* и Ь_к0* представляют координаты ЬаЬ а* и Ь* цвета при отражении, измеренные при источнике

света Ό65 с 10° наблюдателем и, таким образом, измеренные, по существу, под прямым углом по отношению к стеклопакету; и

а_К60* и Ь_К60* представляют координаты ЬаЬ а* и Ь* цвета при отражении, измеренные при источнике света Ό65 с 10° наблюдателем при угле 60° к нормали по отношению к стеклопакету.

Таким образом, при сравнении примера 2 с примером 1, наблюдается то, что использование противоотражающих барьерных пленок 25, 65, 105, 145, изготовленных из δίΖτΝ, вместо изготовления каждой барьерной пленки 24, 64, 104, 144 из δίΑΙΝ, позволяет увеличить светопропускание стеклопакета более чем на 1%, в то время как светоотражение остается по существу таким же, и цвет при отражении при 0 и при 60° остается приемлемым.

Однако пример 2 трудно осуществить на линии промышленного получения, поскольку центральные противоотражающие барьерные пленки 65, 105, изготовленные из δίΖτΝ, т.е. пленки, граничащие с двумя функциональными пленками, являются толстыми (58 нм).

Сравнение примера 3 с примерами 1 и 2 показывает, что использование только центральных противоотражающих барьерных пленок 65, 105, изготовленных из δίΖτΝ, вместо изготовления каждой барьерной пленки 64, 104 из δίΑΙΝ, в то же время, при изготовлении первой и последней противоотражающей барьерной пленки 24, 144 из δίΑΙΝ, не позволяет значительно увеличить светопропускание стеклопакета (только на величину примерно + 0,2%).

Каждая из пленок δίΑΙΝ и δίΖτΝ имеет коэффициент экстинкции к менее 0,01; коэффициент к δίΑΙΝ при 550 нм составляет примерно 1,3х10^-5 и коэффициент к δίΖτΝ при 550 нм составляет примерно 7,5х10^-5.

Сравнение примера 4 с примерами 1-3 показывает, что использование только первой и последней противоотражающих барьерных пленок 25, 145, изготовленных из δίΖτΝ, вместо первой и последней противоотражающих барьерных пленок 24, 144, изготовленных из δίΑΙΝ, в то же время, изготавливая каждую центральную противоотражающую барьерную пленку 64, 104 со средним показателем преломления из δίΑΙΝ, позволяет, как в примере 2, значительно увеличить светопропускание стеклопакета (примерно на +1%); однако данный пример проще и легче осуществить, чем пример 2, и, более того, его стоимость меньше.

В данном ряду примеров, от 1 до 4, только пример 4 является примером по изобретению, поскольку антиотражающее покрытие 20, помещенное под первой, начиная от подложки, функциональной пленкой 40, и антиотражающее покрытие 140, помещенное на последней, начиная от подложки, функциональной пленке 120, каждое, включает по меньшей мере одну противоотражающую пленку 25, 145 с высоким показателем преломления, и каждое антиотражающее покрытие 60, 100, помещенное между двумя функциональными пленками, не включает противоотражающую пленку с высоким показателем преломления.

Пример 1 не является примером по изобретению, поскольку ни одно из антиотражающих покрытий 20, 60, 100, 140 не включает противоотражающую пленку с высоким показателем преломления.

Пример 2 не является примером по изобретению, поскольку все антиотражающие покрытия 20, 60, 100, 140 включают противоотражающую пленку с высоким показателем преломления.

Пример 3 также не является примером по изобретению, поскольку ни антиотражающее покрытие 20, помещенное под первой, начиная от подложки, функциональной пленкой 40, ни антиотражающее покрытие 140, помещенное на последней, начиная от подложки, функциональной пленке 120, не включает по меньшей мере одну противоотражающую пленку с высоким показателем преломления, и каждое антиотражающее покрытие 60, 100, помещенное между двумя функциональными пленками, включает противоотражающую пленку 65, 105 с высоким показателем преломления.

В данном первом ряду примеров, от 1 до 4, толщины трех пленок из серебра каждого примера были идентичны и все составляли примерно 13 нм.

Второй ряд из четырех примеров получали, используя такие же условия нанесения, как для первого ряда (табл. 1); данные примеры пронумерованы как 5-8 ниже. Все четыре были включены в многослойную стеклянную структуру: стеклянная подложка с толщиной 1,6 мм, на которой находится мультислой/промежуточный слой ПВБ с толщиной 0,76 мм/стеклянная подложка с толщиной 1,6 мм.

В данном втором ряду общая толщина функциональных пленок была идентична от одного примера к другому, и была идентична общей толщине функциональных пленок в первом ряду примеров; однако, в отличие от первого ряда примеров, все три функциональные пленки имели разную толщину: функциональная пленка, ближайшая к подложке (Α§1), была толще, чем следующая пленка (Α§2), которая сама была толще, чем следующая далее пленка (Α§3). Следовательно, в ряду примеров от 5 до 8 имеется уменьшение, начиная от подложки, распределения толщин функциональных пленок, посредством этого придерживаясь описания международной заявки на патент, поданной под номером РСТ/РК2010/051732 и опубликованной под номером \УО 2011/020974.

Табл. 4 ниже сопоставляет материалы и толщину в нанометрах каждого слоя и состава слоев, кото- 9 029169

рые формируют мультислой в порядке своего расположения относительно подложки, на которой находится мультислой, (последняя линия в нижней части таблицы) для примеров 5-8; числа в 1-ом и 2-ом столбцах соответствуют номерам позиций на фиг. 1.

Таблица 4

			Прим. 5	Прим. 6	Прим. 7	Прим. 8
		Стекло
		ПВБ
140	145	3ιΖγΝ		30		30
144	3ίΝ	35		35
135		ΝίΟη	1	1	1	1
120		АдЗ	11	11	11	11
100	108	ΖηΟ	Ί	Ί	Ί	Ί
105	3ίΖτΝ		58	58
104	3ίΝ	63			63
	102	ΖηΟ	7	7	7	7
95		ΝίΟη	1	1	1	1
80		Ад 2	13	13	13	13
60	68	ΖηΟ	7	7	7	7
65	3ιΖγΝ		58	58
64	3ίΝ	63			63
62	ΖηΟ	7	7	7	7
55		ΝίΟη	1	1	1	1
40		Ад1	15	15	15	15
20	28	ΖηΟ	7	7	7	7
25	5ίΖηΝ		30		30
24	3ίΝ	35		35
	10	Стекло

Толщина ех каждой функциональной пленки 80, 120 меньше толщины предшествующей функциональной пленки в направлении подложки 10, и является такой, что: е_х=ае_х-1, где:

х представляет собой ряд, начиная от подложки 10, функциональной пленки;

х-1 представляет собой ряд, в направлении подложки 10, предшествующей функциональной пленки;

α является целым числом, так что 0,5<α<1 и предпочтительно 0,55<α<0,95 или 0,6<α<0,95; и толщина первой, начиная от подложки, металлической функциональной пленки является такой, что

10<е₁<18 и предпочтительно 11<е₁<15 в нм.

Толщина е₂ второй функциональной пленки 80 равна е₂=0,87е₁, где α, таким образом, =0,87; и толщина е₃ третьей функциональной пленки 120 равна е₃=0,85е₂, где α, таким образом, =0,85. Значение α отличается (на 0,02) для всех функциональных пленок ряда 2 или более для мультислоя.

Табл. 5 сравнивает, для примеров 5-8, измеренное поверхностное сопротивление слоя, после термообработки (изгиб при 640°С), каждой подложки, на которой находится мультислой, и основные оптические свойства, измеренные для укомплектованного многослойного стеклопакета, включающего подложку, на которой находится мультислой, причем все данные измерения проводили таким же способом, как в примерах 1-4.

Таблица 5

		Прим. 5	Прим. 6	Прим. 7	Прим. 8
Ть	%	71,86	72,99	72,03	72,84
Н_ь	%	11,06	10, 04	11,01	10,06
Ε	Ом/П	1,00	1,00	1, 00	1,00
Цвет при отражении	&КО*	0,1	1, 1	-0,2	-1, 1
Ько*	-3,5	-3,1	-3, 3	-3,2
Цвет при отражении	^аК6О*	-4,8	-3,8	-5,3	-3, 5
Ькбо*	1,4	1, 1	1,5	1,0

Таким образом, в данном втором наборе примеров наблюдается, при сравнении примера 6 с примером 5, что использование противоотражающих барьерных пленок 25, 65, 105, 145, изготовленных из δίΖτΝ, вместо изготовления каждой барьерной пленки 24, 64, 104, 144 из δίΛΙΝ, позволяет увеличить

- 10 029169

светопропускание стеклопакета более чем на 1%, в то время как светоотражение остается по существу таким же, и цвет при отражении при 0° и при 60° остается приемлемым.

Однако пример 6 трудно осуществить на линии промышленного получения, поскольку центральные противоотражающие барьерные пленки 65, 105, изготовленные из δίΖτΝ, т.е. пленки, граничащие с двумя функциональными пленками, являются толстыми (58 нм).

Сравнение примера 7 с примерами 5 и 6 показывает, что использование только центральных противоотражающих барьерных пленок 65, 105, изготовленных из δίΖτΝ, вместо изготовления каждой центральной барьерной пленки 64, 104 из δίΑΙΝ, в то же время, при изготовлении первой и последней противоотражающей барьерной пленки 24, 144 из δίΑΙΝ, не позволяет значительно увеличить светопропускание стеклопакета (только на величину примерно +0,2%).

Сравнение примера 8 с примерами 5-7 показывает, что использование только первой и последней противоотражающих барьерных пленок 25, 145, изготовленных из δίΖτΝ, вместо первой и последней противоотражающих барьерных пленок 24, 144, изготовленных из δίΑΙΝ, в то же время, изготавливая каждую центральную противоотражающую барьерную пленку 64, 104 из δίΑΙΝ, позволяет, как в примере 6, значительно увеличить светопропускание стеклопакета (примерно на +1%); однако данный пример проще и легче осуществить, чем пример 6, и, более того, его стоимость меньше.

В данном наборе примеров от 5 до 8 только пример 8 является примером по изобретению, поскольку антиотражающее покрытие 20, помещенное под первой, начиная от подложки, функциональной пленкой 40, и антиотражающее покрытие 140, помещенное на последней, начиная от подложки, функциональной пленке 120, каждое, включает по меньшей мере одну противоотражающую пленку 25, 145 с высоким показателем преломления, и каждое антиотражающее покрытие 60, 100, помещенное между двумя функциональными пленками, не включает противоотражающую пленку с высоким показателем преломления.

Пример 5 не является примером по изобретению, поскольку ни одно из антиотражающих покрытий 20, 60, 100, 140 не включает противоотражающую пленку с высоким показателем преломления.

Пример 6 не является примером по изобретению, поскольку все антиотражающие покрытия 20, 60, 100, 140 включают противоотражающую пленку с высоким показателем преломления.

Пример 7 также не является примером по изобретению, поскольку ни антиотражающее покрытие 20, помещенное под первой, начиная от подложки, функциональной пленкой 40, ни антиотражающее покрытие 140, помещенное на последней, начиная от подложки, функциональной пленке 120, не включает по меньшей мере одну противоотражающую пленку с высоким показателем преломления, и каждое антиотражающее покрытие 60, 100, помещенное между двумя функциональными пленками, включает противоотражающую пленку 65, 105 с высоким показателем преломления.

Из-за большой общей толщины пленок из серебра (и, следовательно, получаемого низкого поверхностного сопротивления слоя) и хороших оптических свойств (в частности, светопропускания в видимой области), можно, кроме того, использовать подложку, покрытую мультислоем по изобретению, для получения подложки для прозрачного электрода.

Данная подложка для прозрачного электрода может подходить для органического светоизлучающего устройства, в частности, если часть противоотражающей пленки 145 на основе нитрида кремнияциркония из примера 4 заменена проводящей пленкой (в частности, имеющей сопротивление меньше, чем 1х 10⁵ Ом-см), и, в особенности, пленкой на основе оксида. Данную пленку можно, например, изготовить из оксида олова или на основе оксида цинка, необязательно легированного Α1 или Са, или на основе смешанного оксида и, в особенности, оксида индия-олова (ΙΤΟ), оксида индия-цинка (ΙΖΟ) или необязательно легированного (например, δό и/ил Р) оксида олова-цинка (δηΖηΟ). Данное органическое светоизлучающее устройство можно использовать для получения осветительного устройства или дисплейного устройства (экрана).

Фиг. 2 иллюстрирует структуру мультислоя, включающую четыре функциональные пленки 40, 80, 120, 160, причем данная структура нанесена на прозрачную стеклянную подложку 10.

Каждая функциональная пленка 40, 80, 120, 160 находится между двумя антиотражающими покрытиями 20, 60, 100, 140, 180 так, что первая, начиная от подложки, функциональная пленка 40 находится между антиотражающими покрытиями 20, 60; вторая функциональная пленка 80 находится между антиотражающими покрытиями 60, 100; третья функциональная пленка 120 находится между антиотражающими покрытиями 100, 140; и четвертая функциональная пленка 160 находится между антиотражающими покрытиями 14 0, 180.

Каждое данное антиотражающее покрытие 20, 60, 100, 140, 180 включает, по меньшей мере, одну противоотражающую пленку 25/24, 28; 62, 65/64, 68; 102, 105/104, 108; 145/144, 148; 184/185.

Необязательно, каждую функциональную пленку 40, 80, 120, 160 можно, с одной стороны, нанести на нижележащий блокирующий слой 35, 75, 115, 155, расположенный между нижележащим антиотражающим покрытием и функциональной пленкой, или каждую функциональную пленку, с другой стороны, можно нанести непосредственно под вышележащий блокирующий слой (не показан), расположенный между функциональной пленкой и вышележащим антиотражающим покрытием.

Фиг. 2 показывает мультислой, заканчивающийся необязательной защитной пленкой 200, в частно- 11 029169

сти пленкой на основе оксида, в особенности субстехиометрической по кислороду пленкой.

Каждое антиотражающее покрытие 20, 60, 100, 140, расположенное под функциональной пленкой 40, 80, 120, 160, включает последнюю смачивающую противоотражающую пленку 28, 68, 108, 148 на основе кристаллического, легированного алюминием оксида цинка, которая, соответственно, создает контакт с функциональной пленкой 40, 80, 120, 160, нанесенной непосредственно выше.

Каждое антиотражающее покрытие 20, 60, 100, 140, 180 включает

либо противоотражающую пленку со средним показателем преломления 24, 64, 104, 144, 184 на основе нитрида кремния, легированного алюминием, называемым в настоящем описании 8ΪΑ1Ν с целью упрощения, хотя истинная природа данной пленки фактически представляет собой 8ι₃Ν₄:Λ1, как объяснено выше;

либо антиотражающее покрытие с высоким показателем преломления 25, 65, 105, 145, 185 на основе нитрида кремния, легированного цирконием, называемым в настоящем описании 8ιΖγΝ с целью упрощения, хотя истинная природа данной пленки фактически представляет собой 8ι₃Ν₄:Ζγ, как объяснено выше;

Третий ряд из четырех примеров получали, используя такие же условия нанесения, как для первого ряда и второго ряда (табл. 1); данные примеры пронумерованы как 9-12 ниже. Все четыре были включены в многослойную стеклянную структуру: стеклянная подложка с толщиной 1,6 мм, на которой находится мультислой/промежуточный слой ПВБ с толщиной 0,76 мм/стеклянная подложка с толщиной 1,6 мм.

В данном втором ряду общая толщина функциональных пленок была идентична от одного примера к другому, и все четыре функциональные пленки имели одну и ту же толщину.

Табл. 6 ниже сопоставляет материалы и толщину в нанометрах каждого слоя и состава слоев, которые формируют мультислой в порядке своего расположения относительно подложки, на которой находится мультислой, (последняя линия в нижней части таблицы) для примеров 9-12; числа в 1-ом и 2-ом столбцах соответствуют номерам позиций на фиг. 2.

Таблица 6

			Прим. 9	Прим. 10	Прим. 11	Прим. 12
		Стекло
		ПВБ
180	185	3ιΖγΝ		30		30
184	3ίΝ	35		35
175		ΝίΟη	1	1	1	1
160		Ад 4	11,5	11,5	11,5	11,5
140	148	ΖηΟ	7	7	7	7
145	3ίΖτΝ		58	58
144	3ίΝ	63			63
142	ΖηΟ	7	7	7	7
135		ΝίΟη	1	1	1	1
120		АдЗ	11,5	11,5	11,5	11,5
100	108	ΖηΟ	7	7	7	7
105	3ιΖγΝ		58	58
104	3ίΝ	63			63
102	ΖηΟ	7	7	7	7
95		ΝίΟτ	1	1	1	1
80		Ад 2	11,5	11,5	11,5	11,5
60	68	ΖηΟ	7	7	7	7
65	3ιΖγΝ		58	58
64	3ίΝ	63			63
62	ΖηΟ	7	7	7	7
55		ΝίΟη	1	1	1	1
40		Ад1	11,5	11,5	11,5	11,5
20	28	ΖηΟ	7	7	7	7
25	3ίΖηΝ		30		30
24	3ίΝ	35		35
	10	Стекло

Табл. 7 сравнивает для примеров 9-12 измеренное поверхностное сопротивление слоя после термообработки (изгиб при 640°С) каждой подложки, на которой находится мультислой, и основные оптические свойства, измеренные для укомплектованного многослойного стеклопакета, включающего подлож- 12 029169

ку, на которой находится мультислой, причем все данные измерения проводили таким же способом, как в примерах 1-8.

Таблица 7

		Прим. 9	Прим. 10	Прим. 11	Прим. 12
Ть	О-	72,05	72,82	72,24	72, 61
Ϊ+	%	9, 02	8,43	9, 02	8,44
Та	Ом/П	0, 85	0, 85	0, 85	0, 85
Цвет при отражении	Эко*	6, 1	5, 4	6, 1	5, 6
Ько*	-4,4	-3, 9	-4,9	-3,7
Цвет при отражении	&К6О*	5, 8	4,9	5, 8	5, 0
Ькбо*	-3,0	-2,7	-3,6	-2,3

Таким образом, в данном третьем наборе примеров наблюдается, при сравнении примера 10 с примером 9, что использование противоотражающих барьерных пленок 25, 65, 105, 145, 185, изготовленных из δίΖτΝ, вместо изготовления каждой барьерной пленки 24, 64, 104, 144, 184 из δίΛΙΝ, позволяет увеличить светопропускание стеклопакета более чем на 1%, в то время как светоотражение остается по существу таким же, и цвет при отражении при 0° и при 60° остается приемлемым.

Однако пример 10 трудно осуществить на линии промышленного получения, поскольку центральные противоотражающие барьерные пленки 65, 105, 145, изготовленные из 8ιΖγΝ, т.е. пленки, граничащие с двумя функциональными пленками, являются толстыми (58 нм).

Сравнение примера 11 с примерами 9 и 10 показывает, что использование только центральных противоотражающих барьерных пленок 65, 105, 145, изготовленных из 8ιΖγΝ, вместо изготовления каждой центральной противоотражающей барьерной пленки 64, 104, 144 из δίΛΙΝ, в то же время изготавливая первую и последнюю противоотражающую барьерную пленку 24, 184 из δίΛΙΝ, не позволяет значительно увеличить светопропускание стеклопакета (только на величину примерно +0,2%).

Сравнение примера 12 с примерами 9-11 показывает, что использование только первой и последней противоотражающих барьерных пленок 25, 185, изготовленных из 8ιΖγΝ, вместо первой и последней противоотражающих барьерных пленок 24, 184, изготовленных из δίΛΙΝ, в то же время изготавливая каждую центральную противоотражающую барьерную пленку 64, 104, 144 из δίΛΙΝ, позволяет, как в примере 10, значительно увеличить светопропускание стеклопакета; однако данный пример 12 проще и легче осуществить, чем пример 10, и, более того, его стоимость меньше.

В данном наборе примеров, от 9 до 12, только пример 12 является примером по изобретению, поскольку антиотражающее покрытие 20, помещенное под первой, начиная от подложки, функциональной пленкой 40, и антиотражающее покрытие 180, помещенное на последней, начиная от подложки, функциональной пленке 160, каждое, включает по меньшей мере одну противоотражающую пленку 25, 185 с высоким показателем преломления, и каждое антиотражающее покрытие 60, 100, 140, помещенное между двумя функциональными пленками, не включает противоотражающую пленку с высоким показателем преломления.

Пример 9 не является примером по изобретению, поскольку ни одно из антиотражающих покрытий 20, 60, 100, 140, 180 не включает противоотражающую пленку с высоким показателем преломления. Пример 10 не является примером по изобретению, поскольку все антиотражающие покрытия 20, 60, 100, 140, 180 включают противоотражающую пленку с высоким показателем преломления. Пример 11 также не является примером по изобретению, поскольку ни антиотражающее покрытие 20, помещенное под первой, начиная от подложки, функциональной пленкой 40, ни антиотражающее покрытие 180, помещенное на последней, начиная от подложки, функциональной пленке 160, не включает по меньшей мере одну противоотражающую пленку с высоким показателем преломления, и каждое антиотражающее покрытие 60, 100, 140, помещенное между двумя функциональными пленками, включает противоотражающую пленку 65, 105, 145 с высоким показателем преломления.

Как правило, подложка прозрачного электрода может подходить для использования в качестве нагреваемой подложки для обогреваемого стеклопакета и, в частности, для многослойного обогреваемого лобового стекла. Она также может подойти для использования в виде подложки прозрачного электрода для электрохромного стеклопакета, экрана дисплея или даже для использования в фотоэлектрической ячейке, особенно в виде фронтальной или тыльной подложки для прозрачной фотоэлектрической ячейки.

Настоящее изобретение было описано выше посредством примера. Конечно, специалист в данной области будет способен сделать различные альтернативные формы изобретения, не отклоняясь от объема патента, определяемого формулой изобретения.

Claims

ФОРМУЛА ИЗОБРЕТЕНИЯ

1. Стеклянная подложка (10), снабженная тонкопленочным мультислоем, включающим в чередующемся порядке η металлических функциональных пленок (40, 80, 120), в частности функциональных пленок на основе серебра или металлического сплава, содержащего серебро, и (η+1) антиотражающих

- 13 029169

покрытий (20, 60, 100, 140), где η представляет собой целое число >3, причем каждое антиотражающее покрытие включает по меньшей мере одну противоотражающую пленку, при этом каждая функциональная пленка (40, 80, 120) размещена между двумя антиотражающими покрытиями (20, 60, 100, 140), отличающаяся тем, что указанный мультислой включает по меньшей мере две противоотражающие пленки с высоким показателем преломления (25, 145), каждая из которых имеет показатель преломления >2,15 и коэффициент поглощения к ниже 0,1, измеренные при длине волны 550 нм, так что антиотражающее покрытие (20), помещенное под первой, начиная от подложки, функциональной пленкой (40), и антиотражающее покрытие, помещенное на последней, начиная от подложки, функциональной пленке, каждое, включает по меньшей мере одну противоотражающую пленку с высоким показателем преломления (25, 145), и каждое антиотражающее покрытие (60, 100), помещенное между двумя функциональными пленками, не включает в себя пленку с высоким показателем преломления.
2. Подложка (10) по п.1, отличающаяся тем, что антиотражающее покрытие (20), помещенное под первой, начиная от подложки, функциональной пленкой (40), состоит, в данном порядке, начиная от подложки, из одной или более противоотражающих пленок с высоким показателем преломления (25) и затем смачивающей противоотражающей пленки со средним показателем преломления (28), имеющей показатель преломления в диапазоне от 1,60 до 2,15, исключая данные значения, и имеет в качестве основы кристаллический оксид, в особенности оксид цинка, необязательно легированный по меньшей мере одним другим элементом, таким как алюминий.
3. Подложка (10) по любому из пп.1 или 2, отличающаяся тем, что антиотражающее покрытие, помещенное на последней, начиная от подложки, функциональной пленке, состоит только из одной или нескольких противоотражающих пленок с высоким показателем преломления.
4. Подложка (10) по любому из пп.1-3, отличающаяся тем, что по меньшей мере одна, даже каждая, противоотражающая пленка с высоким показателем преломления (25, 145) в качестве основы имеет нитрид кремния, легированный цирконием (δί₃Ν₄:Ζτ).
5. Подложка (10) по любому из пп.1-4, отличающаяся тем, что толщина βί первой, начиная от подложки, металлической функциональной пленки является такой, что 10<е₃<18 в нм и предпочтительно 11<С]<15 в нм, толщина е_х последующей в направлении от подложки (10) функциональной пленки (80, 120) меньше толщины предшествующей функциональной пленки и является такой, что

^ех^_аех-1^,

где х представляет собой ряд функциональной пленки, начиная от подложки (10);

х-1 представляет собой ряд предшествующей функциональной пленки, начиная от подложки (10);

α является числом, удовлетворяющим следующему выражению 0,5<α<1 и предпочтительно

0,55<α<0,95 или 0,6<α<0,95.
6. Подложка (10) по п.5, отличающаяся тем, что значение α является различным для всех функциональных пленок ряда 2 или более.
7. Подложка (10) по любому из пп.1-6, отличающаяся тем, что общая толщина металлических функциональных пленок предпочтительно больше чем 30 нм и, в особенности, находится в диапазоне от 30 до 60 нм, включая данные значения, или данная общая толщина находится в диапазоне от 35 до 50 нм для тонкопленочного мультислоя, включающего три функциональные пленки, или данная общая толщина находится в диапазоне от 40 до 60 нм для тонкопленочного мультислоя, включающего четыре функциональные пленки.
8. Подложка (10) по любому из пп.1-7, отличающаяся тем, что каждое из указанных антиотражающих покрытий (60, 100), помещенных между двумя функциональными пленками, которые не включают противоотражающую пленку с высоким показателем преломления, включает по меньшей мере одну противоотражающую пленку (64, 104) на основе нитрида кремния или нитрида кремния, легированного по меньшей мере одним другим элементом, в частности алюминием.
9. Подложка (10) по любому из пп.1-8, отличающаяся тем, что последняя пленка каждого антиотражающего покрытия, расположенного ниже функциональной пленки (40, 80, 120), представляет собой смачивающую противоотражающую пленку (28, 68, 108) на основе кристаллического оксида, в особенности оксида цинка, необязательно легированного по меньшей мере одним другим элементом, таким как алюминий.
10. Подложка (10) по любому из пп.1-8, отличающаяся тем, что она выполнена с возможностью использования в обогреваемом стеклопакете с нагреваемым прозрачным покрытием или в электрохромном стеклопакете с прозрачным электродом, или для осветительного устройства, или для дисплейного устройства, или для фотоэлектрической панели.
11. Стеклопакет, включающий по меньшей мере одну подложку (10) по любому из пп. 1-10, необязательно связанную по меньшей мере с одной другой подложкой, и, в особенности, многокомпонентный стеклопакет, такой как двойной или тройной стеклопакет, или ламинированный многослойный стеклопакет и, в частности, многослойный стеклопакет, включающий средство, электрически соединяющее тонкопленочный мультислой для обеспечения возможности получить обогреваемый многослойный стеклопакет, причем указанная подложка, на которой находится мультислой, возможно подвергнута изгибу

- 14 029169

и/или закалке.