EA024205B1 - Лазерное устройство и способ маркировки объекта - Google Patents

Лазерное устройство и способ маркировки объекта Download PDF

Info

Publication number
EA024205B1
EA024205B1 EA201490244A EA201490244A EA024205B1 EA 024205 B1 EA024205 B1 EA 024205B1 EA 201490244 A EA201490244 A EA 201490244A EA 201490244 A EA201490244 A EA 201490244A EA 024205 B1 EA024205 B1 EA 024205B1
Authority
EA
Eurasian Patent Office
Prior art keywords
laser
tubes
output
blocks
mirror
Prior art date
Application number
EA201490244A
Other languages
English (en)
Other versions
EA201490244A1 (ru
Inventor
Кевин Л. Армбрустер
Брэд Д. Гилмартин
Петер Дж. Кюкендаль
Бернард Дж. Ричард
Даниэль Дж. Райан
Original Assignee
Алльтек Ангевандте Лазерлихт Технологи Гмбх
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Алльтек Ангевандте Лазерлихт Технологи Гмбх filed Critical Алльтек Ангевандте Лазерлихт Технологи Гмбх
Publication of EA201490244A1 publication Critical patent/EA201490244A1/ru
Publication of EA024205B1 publication Critical patent/EA024205B1/ru

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/0604—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by a combination of beams
    • B23K26/0608—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by a combination of beams in the same heat affected zone [HAZ]
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10—Scanning systems
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
    • B23K26/082—Scanning systems, i.e. devices involving movement of the laser beam relative to the laser head
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • B23K26/142—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor for the removal of by-products
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/70—Auxiliary operations or equipment
    • B23K26/702—Auxiliary equipment
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/70—Auxiliary operations or equipment
    • B23K26/702—Auxiliary equipment
    • B23K26/703—Cooling arrangements
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/005—Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
    • H01S3/0071—Beam steering, e.g. whereby a mirror outside the cavity is present to change the beam direction
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
    • H01S3/06—Construction or shape of active medium
    • H01S3/07—Construction or shape of active medium consisting of a plurality of parts, e.g. segments
    • H01S3/073—Gas lasers comprising separate discharge sections in one cavity, e.g. hybrid lasers
    • H01S3/076—Folded-path lasers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/23—Arrangements of two or more lasers not provided for in groups H01S3/02 - H01S3/22, e.g. tandem arrangements of separate active media
    • H01S3/2383—Parallel arrangements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41M—PRINTING, DUPLICATING, MARKING, OR COPYING PROCESSES; COLOUR PRINTING
    • B41M5/00—Duplicating or marking methods; Sheet materials for use therein
    • B41M5/24—Ablative recording, e.g. by burning marks; Spark recording
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41M—PRINTING, DUPLICATING, MARKING, OR COPYING PROCESSES; COLOUR PRINTING
    • B41M5/00—Duplicating or marking methods; Sheet materials for use therein
    • B41M5/26—Thermography ; Marking by high energetic means, e.g. laser otherwise than by burning, and characterised by the material used
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/04—Arrangements for thermal management
    • H01S3/041—Arrangements for thermal management for gas lasers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
    • H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
    • H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/14—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range characterised by the material used as the active medium
    • H01S3/22—Gases
    • H01S3/223—Gases the active gas being polyatomic, i.e. containing two or more atoms
    • H01S3/2232—Carbon dioxide (CO2) or monoxide [CO]

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Lasers (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

Лазерное устройство, содержащее по меньшей мере два лазерных блока (10), послойно собранных в стопу, причем каждый лазерный блок содержит лазерные трубки (12), сообщающиеся между собой по текучей среде и образующие общее трубчатое пространство; соединительные элементы (20, 21) для соединения взаимно примыкающих лазерных трубок с образованием петлевидного контура; помещенные в соединительные элементы зеркала (22) для переноса лазерного излучения между лазерными трубками (12), заднее зеркало (44) и частично отражающий выходной компонент (42) для выведения лазерного пучка. В каждом лазерном блоке интегральный выходной фланец (40) содержит заднее зеркало, частично отражающий выходной компонент и выходное зеркало (46), которое отклоняет лазерный пучок, проходящий сквозь выходной компонент, на сканирующее устройство (80), находящееся в центральном пространстве (8), окруженном лазерными трубками. Изобретение относится также к способу маркировки объекта.

Description

Область техники
Изобретение относится к лазерному устройству, раскрытому в п.1, и к способу маркировки объекта, раскрытому в п.10.
Предшествующий уровень техники
Из уровня техники известны лазерные устройства, которые содержат газоразрядные баллоны, обычно имеющие трубчатую форму и именуемые лазерными трубками или просто трубками, и имеют, как показано на фиг. 1, сложенную конструкцию. Такая конструкция позволяет получить образованное трубками трубчатое пространство большой длины. Поскольку выходная мощность лазерного устройства определяется длиной трубчатого пространства, конкретно расстоянием между задним (глухим) зеркалом и выходным компонентом, эта лазерная конструкция способна обеспечить значительную выходную мощность. Подобный лазер может, например, использоваться для маркировки объекта лазерным пучком, выводимым из лазерного устройства.
В ИЗ 5115446 описана несущая конструкция для фланцев и других элементов двух ветвей траектории лазерного пучка. Несущая конструкция имеет геометрически центральную плоскую зону, которая расположена между геометрически центральных плоских зон двух ветвей траектории лазерного пучка и параллельно им, так что несущая конструкция содержит фланцы первой и второй указанных ветвей.
Сущность изобретения
Задача, на решение которой направлено изобретение, состоит в создании лазерного устройства, преимущественно для маркировки объекта, которое является компактным и обеспечивает высокое качество маркировки. Изобретение направлено также на создание экономичного способа маркировки объекта.
Согласно изобретению данные задачи решены посредством лазерного устройства с признаками, включенными в п.1, и способа с признаками, включенными в п.10 прилагаемой формулы. Предпочтительные варианты раскрыты в зависимых пунктах.
Лазерное устройство согласно изобретению содержит по меньшей мере два лазерных блока, послойно собранных в стопу. При этом каждый лазерный блок, сконфигурированный с возможностью испускать лазерный пучок, содержит: лазерные трубки для активного газа, механически соединенные одна с другой и образующие общее трубчатое пространство, соединительные элементы для соединения взаимно примыкающих лазерных трубок, возбуждающие средства, возбуждающие активный газ в лазерных трубках для генерирования лазерного излучения, помещенные в соединительные элементы зеркала для переноса лазерного излучения между лазерными трубками, полностью отражающее заднее зеркало и частично отражающий выходной компонент для выведения лазерного пучка.
При осуществлении способа маркировки объекта посредством описанного лазерного устройства лазерные пучки лазерных блоков направляют в свободное центральное пространство, окруженное лазерными трубками. В этом свободном центральном пространстве могут быть установлены одно или более отклоняющих средств, чтобы отклонять лазерные пучки в зону нахождения маркируемого объекта.
Лазерное устройство согласно изобретению может являться газовым лазером, в частности СО2 лазером, в котором газ, находящийся в резонаторе (в лазерных трубках), содержит СО2. Принцип действия таких лазерных устройств хорошо известен специалистам, так что его подробное описание не приводится.
Лазерное устройство может, в частности, представлять собой маркировочную головку, т. е. преимущественно применяться для маркировки или гравирования объекта лазерным пучком. Трубки каждого из лазерных блоков образуют общее трубчатое пространство, которое может именоваться также резонатором лазерного блока. Другими словами, каждый лазерный блок содержит резонатор, образованный лазерными трубками, которые могут сообщаться между собой по текучей среде.
В резонаторы введен активный газ, который возбуждается посредством возбуждающих средств, чтобы генерировать в резонаторах, т. е. в лазерных трубках, лазерное излучение.
Заднее зеркало, которое предпочтительно является полностью отражающим, установлено на первом конце общего трубчатого пространства лазерного блока. Выходной компонент, например в виде частично отражающего зеркала, установлен на противоположном, втором конце общего трубчатого пространства. Таким образом, резонатор задается задним зеркалом и выходным компонентом, находящимися на его противоположных, в осевом направлении, концах. Часть лазерного излучения, присутствующего в трубчатом пространстве, выводится в виде лазерного пучка через выходной компонент.
Одна из базовых идей изобретения состоит в создании лазерного устройства, содержащего множество индивидуальных лазерных блоков, у каждого из которых имеется выход для выведения лазерного пучка. Таким образом, лазерные блоки образуют базовые блоки для построения многопучкового лазера. Лазерные блоки накладывают друг на друга с образованием стопы, т. е. упорядоченного набора лазерных блоков. Такой набор лазерных блоков позволяет сформировать на маркируемом объекте маркировку на основе точечной матрицы. В зависимости от количества собранных в стопу лазерных блоков можно получить любое количество кодовых точек или линий. Собранные в стопу лазерные блоки могут обеспечить получение монолитного линейного набора.
У каждого лазерного блока имеется индивидуальный выход для выведения лазерного пучка. Эти
- 1 024205 выходы индивидуальных лазерных блоков предпочтительно упорядочены в виде линейного набора или линии.
Желательно, чтобы лазерные блоки согласно изобретению были, по существу, двумерными, т. е. плоскими модулями, газоразрядные баллоны которых находятся в одной плоскости. Двумерная геометрическая форма лазерных блоков (базовых конструктивных блоков лазерного устройства) позволяет собирать блоки в стопу и, тем самым, формировать их упорядоченный набор.
Таким образом, желательно, чтобы индивидуальные трубки лазерного блока находились в одной плоскости, т. е. трубки первого лазерного блока находятся в первой плоскости, трубки второго лазерного блока находятся во второй плоскости и т. д. Другими словами, трубки каждого лазерного блока могут быть размещены в индивидуальной, отдельной плоскости (в отдельном слое). Это дает плоскую конструкцию для каждого лазерного блока, так что они могут быть легко собраны в стопу с образованием очень компактного лазерного устройства в виде стопы из множества лазерных блоков. Благодаря плоской конструкции лазерных блоков можно минимизировать расстояние между индивидуальными лазерными пучками.
Особенно желательно, чтобы слой, в котором находятся лазерные трубки по меньшей мере одного из лазерных блоков, имел форму плоской плиты. Двумерная структура плиты, лежащей, по существу, в одной плоскости, позволяет легко собрать стопу лазерных блоков.
В другом предпочтительном варианте частично отражающие выходные компоненты лазерных блоков, которые, в частности, являются частично отражающими зеркалами, сконфигурированы с возможностью выводить параллельные лазерные пучки. Параллельные лазерные пучки, выведенные из лазерных блоков, можно затем отклонять посредством отклоняющих средств, чтобы добиться желательной формы и/или желательного разрешения маркировки, наносимой на объект.
Мощность лазерного устройства принципиально зависит от длины трубчатого пространства (резонатора), образующего полость лазерного устройства, внутри которого лазерное излучение отражается между задним зеркалом на одном конце и частично отражающим выходным компонентом на противоположном конце. Чтобы получить компактное и мощное лазерное устройство, желательно расположить лазерные трубки каждого лазерного блока, содержащие активный газ, в форме открытого (незамкнутого) или замкнутого кольца, окружающего свободное центральное пространство между трубками. Благодаря кольцеобразному контуру, образованному лазерными трубками, свободное пространство по меньшей мере частично окружено ими. В частности, свободное пространство задается трубками, находящимися по меньшей мере на двух его боковых гранях и доступно по меньшей мере через одну или обе торцевые грани.
За счет складывания резонатора вокруг свободного центрального пространства длина резонатора по сравнению с линейным резонатором может быть увеличена без увеличения общей длины лазерного устройства. Кроме того, кольцевой контур формирует в лазерном устройстве свободное пространство, в которое могут быть помещены дополнительные компоненты лазерного устройства. Этими дополнительными компонентами могут быть, например, электронные компоненты, такие как драйверы для возбуждающих средств, линзы или дополнительные зеркала для отклонения лазерных пучков. Данные компоненты можно безопасно размещать в полости, находящейся в центральной зоне лазерного устройства. Кольцевое размещение позволяет также реализовать эффективное охлаждение трубок.
Чтобы сформировать свободное пространство в центральной области лазерного устройства, трубки располагают по сложенному контуру или кольцу, задающему границы свободного пространства. Трубки могут быть прямыми (линейными) трубками, т. е. их продольные оси представляют собой прямые линии. Между взаимно примыкающими лазерными трубками могут быть образованы угловые зоны. Таким образом, форма резонатора лазерного блока может быть описана также, как многоугольное кольцо, которое может быть замкнутым или разомкнутым, т. е. имеющим разрыв между двумя своими трубками.
Согласно изобретению угол, образованный каждыми двумя взаимно примыкающими лазерными трубками лазерного блока, предпочтительно превышает аналогичный угол в известной сложенной конструкции лазерных трубок, показанной, например, на фиг. 1. Желательно, чтобы этот угол превышал 60°, более желательно, чтобы он составлял по меньшей мере 90°. Кроме того, согласно изобретению углы между взаимно примыкающими лазерными трубками равны друг другу.
В угловых зонах между лазерными трубками каждого лазерного блока находятся соединительные элементы (угловые фланцы), присоединенные в каждом случае к двум взаимно примыкающим трубкам. В соединительные элементы помещены зеркала для переноса лазерного излучения между трубками. Соединительные элементы, которые могут именоваться также промежуточными угловыми фланцами, предпочтительно содержат керамический материал. В дополнение, в каждом лазерном блоке могут иметься концевые фланцы, присоединенные к трубкам на противоположных осевых концах общего трубчатого пространства. Соответствующие концевые фланцы содержат выходной компонент и заднее зеркало.
Очень компактное лазерное устройство, в частности для маркировки объекта, можно получить, если сконфигурировать лазерные блоки с возможностью испускать лазерные пучки в свободное центральное пространство, окруженное лазерными трубками. С этой целью в каждом лазерном блоке может быть
- 2 024205 предусмотрено отклоняющее зеркало, которое отклоняет лазерный пучок, проходящий сквозь выходной компонент в направлении свободного центрального пространства. Отклоняющее зеркало, которое может именоваться также выходным зеркалом, предпочтительно находится вне резонатора соответствующего лазерного блока. Вместо множества индивидуальных выходных зеркал, может быть предусмотрено общее выходное зеркало для множества лазерных блоков.
Принципиальное преимущество отклонения лазерного пучка в направлении пространства, окруженного лазерными трубками, состоит в том, что внутрь лазерного устройства могут быть помещены дополнительные оптические компоненты, такие как линзы или дополнительные зеркала для отклонения и/или переформирования лазерного пучка, что приведет к очень компактной конструкции.
В предпочтительном варианте изобретения лазерные трубки каждого лазерного блока установлены по треугольному, прямоугольному, квадратному или И-образному контуру. В треугольном контуре резонатор каждого лазерного блока содержит три лазерные трубки, тогда как в прямоугольном или квадратном контуре он образован четырьмя лазерными трубками. В других предпочтительных вариантах могут быть использованы пять или более трубок, установленных по многоугольному контуру. Конструкция лазерных блоков согласно изобретению с расположением трубок по контуру типа кольца позволяет оптимизировать геометрию резонатора в зависимости от требуемой мощности и ограничений на объем, определяемых конкретным приложением. И-образный контур, являющийся вариантом незамкнутого кольца, может иметь меньшую высоту и поэтому являться пригодным в приложениях, в которых высота является базовым ограничением.
В другом предпочтительном варианте индивидуальные лазерные блоки имеют одинаковые формы. Одинаковые формы или контуры лазерных блоков позволяют легко собрать лазерные блоки в стопу, чтобы получить многопучковое лазерное устройство. Соседние лазерные трубки смежных лазерных блоков предпочтительно имеют одинаковую длину. Лазерные блоки могут иметь, в частности, идентичную конструкцию.
Еще в одном предпочтительном варианте в свободное центральное пространство помещено множество перестраивающих зеркал для уменьшения расстояния между лазерными пучками индивидуальных лазерных блоков и/или для перестройки (изменения взаимного положения) лазерных пучков. Особенно желательно, чтобы имелось по меньшей мере одно перестраивающее зеркало на каждый лазерный блок.
В другом предпочтительном варианте используется сканирующее устройство, которое содержит по меньшей мере одно подвижное зеркало для отклонения в заданных направлениях лазерных пучков, выводимых через выходные компоненты лазерных блоков. Чтобы одновременно отклонять все лазерные пучки всех лазерных блоков, сканирующее устройство может использовать одно или более зеркал.
В особенно предпочтительном варианте сканирующее устройство установлено в свободном центральном пространстве, окруженном лазерными трубками. Это позволяет создать компактное лазерное устройство, в котором сканирующее устройство находится в безопасном положении, внутри свободного центрального пространства, окруженного лазерными трубками. Сканирующее устройство перенаправляет лазерные пучки через соответствующее отверстие из внутреннего объема лазерного устройства в наружное пространство, например для маркировки объекта, находящегося снаружи лазерного устройства.
Согласно изобретению желательно, чтобы для создания в каждом лазерном блоке общего трубчатого пространства в каждом из соединительных элементов лазерных блоков имелась внутренняя полость, сообщающаяся по текучей среде по меньшей мере с двумя взаимно примыкающими лазерными трубками соответствующего лазерного блока, присоединенными к соединительному элементу. Внутренняя полость может иметь форму трубки с первым торцевым отверстием на ее первом осевом конце и вторым торцевым отверстием на втором осевом конце. Первый осевой конец полости может быть соединен с первой лазерной трубкой, а ее второй осевой конец - со второй лазерной трубкой. В дополнение, внутренняя полость, сформированная в соединительном фланце, может иметь третье отверстие в угловой части фланца, и в этом отверстии может быть закреплено зеркало для отражения лазерного излучения между лазерными трубками.
Соединительные (угловые) элементы каждого лазерного блока могут быть установлены друг на друга и соединены посредством соединительных средств. Однако в предпочтительном варианте соединительные элементы лазерных блоков интегрированы в общую несущую конструкцию, сформированную в угловой зоне лазерного устройства с образованием соответствующих угловых элементов. Цельный корпус общей несущей конструкции охватывает несколько лазерных блоков. Такие цельные угловые конструкции обеспечивают снижение временных затрат и производственных расходов.
В особенно предпочтительном варианте лазерные трубки каждого лазерного блока образуют петлевидный контур и каждый лазерный блок содержит интегральный выходной фланец, установленный между двумя лазерными трубками и присоединенный к ним. Данный фланец содержит выходной компонент и заднее зеркало соответствующего лазерного блока. Замкнутый петлевидный (кольцевой) контур лазерных блоков повышает стабильность и обеспечивает компактность конструкции. Интегральный выходной фланец находится в угловой зоне между двумя лазерными трубками каждого лазерного блока. Эти лазерные трубки могут именоваться концевыми лазерными трубками общего трубчатого пространства лазерного блока. Интегральный выходной фланец, который может именоваться также соединительным
- 3 024205 элементом, содержит по меньшей мере два зеркала: заднее зеркало и выходной компонент. Интегральный выходной фланец может обеспечивать или не обеспечивать связь по текучей среде между присоединенными к нему трубками.
В предпочтительном варианте заднее зеркало каждого лазерного блока расположено на первой стороне интегрального выходного фланца, а выходной компонент на его второй стороне. Вторая сторона предпочтительно ориентирована под углом к первой стороне. Первая сторона может быть, в частности, расположена перпендикулярно первой лазерной трубке, присоединенной к интегральному выходному фланцу, а вторая сторона - перпендикулярно второй лазерной трубке, присоединенной к этому фланцу.
Желательно, чтобы интегральный выходной фланец каждого лазерного блока содержал также установленное на его третьей стороне выходное зеркало для отклонения в заданном направлении лазерного пучка, проходящего сквозь выходной компонент. Выходное зеркало, которое может, в частности, являться третьим зеркалом интегрального выходного фланца каждого лазерного блока, может быть установлено таким образом, чтобы отклонять лазерный пучок, выводимый через частично отражающий выходной компонент, в свободное центральное пространство, окруженное лазерными трубками.
В предпочтительном варианте интегральный выходной фланец каждого лазерного блока содержит первый корпус, к которому присоединены концевые лазерные трубки резонатора, и второй корпус, соединенный с первым. Между первым и вторым корпусами образован зазор, в котором размещены заднее зеркало и/или выходной компонент. Заднее зеркало и/или выходной компонент предпочтительно образуют с первым корпусом газонепроницаемое соединение и задают осевой конец общего трубчатого пространства.
Первый и/или второй корпуса образуют полость для лазерного пучка, выводимого через частично отражающий выходной компонент. Выходное зеркало, предпочтительно прикрепленное ко второму корпусу в его угловой (скошенной) части, отклоняет лазерный пучок в направлении свободного центрального пространства.
Согласно изобретению желательно, чтобы трубчатое пространство (резонатор) лазерных блоков в каждом случае являлся замкнутой газовой системой. Это, в частности, означает, что резонатор каждого лазерного блока является полностью замкнутой полостью и что отсутствует какой-либо постоянный поток газа через резонатор. Газ, находящийся в резонаторе, т. е. в общем трубчатом пространстве, заменяется только через определенные временные интервалы, когда лазерное устройство не функционирует. Поэтому отсутствуют как вход, так и выход для газа, которые требовались бы в случае постоянного потока газа через трубчатое пространство, и не требуется никакого пространства для оборудования, прокачивающего газ через систему.
Возбуждающее средство по меньшей мере для одной из лазерных трубок предпочтительно содержит по меньшей мере один электрод, например радиочастотный. Такие электроды могут, в частности, проходить по длине лазерных трубок. По соображениям эффективности и для обеспечения однородного возбуждения газа в лазерной трубке к электродам могут быть подключены радиочастотные (РЧ) индукторы. РЧ индуктор может быть выполнен, например, в виде спиральной обмотки. Однако с этим решением связана проблема, состоящая в том, что РЧ индуктор со спиральной обмоткой существенно увеличивает размеры лазера и является дорогостоящим.
Согласно изобретению особенно компактная и плоская конструкция лазерного устройства может быть получена, если по меньшей мере один электрод и/или РЧ индуктор выполнен с плоской обмоткой. В конструкции с плоской обмоткой и обмотка, и электрод могут находиться на одной плоской поверхности. В предпочтительном варианте обмотка может быть спиральной.
Особенно желательно, чтобы возбуждающее средство по меньшей мере для одной из лазерных трубок содержало по меньшей мере два электрода, проходящих по длине соответствующей лазерной трубки. Эти электроды могут находиться, в частности, на противоположных сторонах лазерных трубок. Например, могут иметься верхний и нижний электроды, проходящие по длине лазерной трубки.
Перечень фигур, чертежей
Изобретение будет далее описано со ссылками на прилагаемые чертежи.
На фиг. 1 показано расположение лазерных трубок лазерного устройства согласно уровню техники.
На фиг. 2 представлен вариант лазерного устройства согласно изобретению с установленными друг на друга индивидуальными угловыми элементами.
На фиг. 3 представлен вариант лазерного устройства согласно изобретению с интегрированными угловыми конструкциями.
На фиг. 4 представлен вариант лазерного устройства согласно изобретению, содержащий перестраивающие зеркала и сканирующее устройство.
На фиг. 5 представлен вариант лазерного устройства согласно изобретению, содержащий телескопы и сканирующее устройство.
На фиг. 6 представлен вариант лазерного устройства согласно изобретению, содержащий охлаждающие плиты, прикрепленные к лазерному устройству, чтобы охлаждать лазерные трубки.
На фиг. 7 представлен вариант лазерного устройства согласно изобретению, содержащий воздушную завесу.
- 4 024205
На фиг. 8 показано лазерное устройство по фиг. 7 с установленными корпусными деталями.
На фиг. 9 представлен вариант лазерного устройства согласно изобретению с И-образными лазерными блоками и воздушной завесой.
На фиг. 10 показано лазерное устройство по фиг. 4 или 5 с установленными корпусными деталями.
На фиг. 11 представлен вариант электрода согласно изобретению.
На всех чертежах идентичные или соответствующие компоненты идентифицированы посредством идентичных обозначений.
Сведения, подтверждающие возможность осуществления изобретения
На фиг. 1 иллюстрируется сложенная конфигурация лазерных трубок 12' лазерного устройства 1' согласно уровню техники. Лазерное устройство 1' содержит единственный лазерный блок, который испускает единственный лазерный пучок. Лазерные трубки 12' расположены вплотную и почти параллельно одна другой, чтобы получить малое поперечное сечение.
На фиг. 2 представлен первый вариант лазерного устройства 1 согласно изобретению. Лазерное устройство 1 содержит множество лазерных блоков 10, установленных друг за другом (или друг на друга) и параллельно друг другу. В представленном варианте лазерное устройство 1 содержит 9 лазерных блоков 10, что обеспечивает разрешение 9 пикселей в направлении, поперечном направлению движения маркируемого объекта.
Лазерное устройство 1 может, в частности, являться лазерным устройством для маркировки объекта посредством множества лазерных пучков, т. е. оно может также рассматриваться как маркировочная головка для маркировки объекта.
Каждый индивидуальный лазерный блок 10 содержит лазерные трубки 12, которые могут быть изготовлены, например, из оксида алюминия. Лазерные трубки 12 лазерного блока 10 образуют часть общего трубчатого пространства, которое может рассматриваться также как резонатор соответствующего лазерного блока 10. Трубки 12 по меньшей мере частично окружены возбуждающими средствами 70 в форме радиочастотных электродов 71 (см. фиг. 11), служащих для возбуждения активного газа, находящегося в лазерных трубках 12. Электроды 71 проходят, по существу, по всей длине этих трубок. На внутренней стороне лазерных трубок, обращенной к свободному центральному пространству 8, может находиться внутренний электрод 71, а на их наружной стороне - наружный электрод 71.
Лазерное устройство 1 имеет форму куба с четырьмя боковыми гранями и двумя торцевыми гранями. Во внутренней области лазерного устройства 1 образовано свободное центральное пространство 8, которое окружено по боковым граням кубического лазерного устройства 1 лазерными трубками 12 лазерных блоков 10.
В представленном варианте каждый лазерный блок 10 содержит 4 лазерные трубки 12, расположенные в форме прямоугольника. Однако вместо прямоугольной формы резонатор может иметь также форму квадрата, И-образную или треугольную форму. Вместо резонатора, имеющего четыре стороны, возможен резонатор только с тремя сторонами или более чем с четырьмя сторонами. При этом конструкция может быть оптимизирована в зависимости от требуемой мощности и ограничений на объем, определяемых конкретным приложением.
Лазерные трубки 12 каждого лазерного блока 10 находятся в отдельных, индивидуальных плоских слоях. У каждой трубки 12 имеется продольная ось. Продольные оси трубок 12 одного лазерного блока 10 лежат в одной общей плоскости. Лазерные блоки 10, по существу, идентичны, причем они установлены друг на друга (или друг за другом) и взаимно параллельно. Лазерные блоки 10 соединены друг с другом посредством соответствующих соединительных средств, таких как болты, винты и т. д. В трех из четырех углов каждого лазерного блока 10 находятся соединительные элементы 20, 21, предпочтительно в форме керамических треугольников, которые служат для соединения взаимно примыкающих лазерных трубок 12. Каждый из соединительных элементов 20, 21 снабжен зеркалом 22 для отражения лазерного излучения от одной трубки 12 к примыкающей к ней трубке 12, обеспечивая связь по лазерной энергии между трубками 12. У каждого из соединительных элементов 20, 21 имеется корпус 24, к которому прикреплены трубки 12. Зеркало 22 также крепится к корпусу 24.
Каждый лазерный блок 10 содержит, на осевом конце одной из трубок 12, заднее зеркало 44. Кроме того, каждый лазерный блок содержит выходной компонент 42, установленный на осевом конце другой трубки 12. Заднее зеркало 44 и выходной компонент 42 образуют осевые концы общего трубчатого пространства, т. е. резонатора лазерного блока 10. Выходной компонент 42 является частично отражающим зеркалом, которое отражает часть лазерного излучения в трубчатое пространство и выводит из него лазерный пучок.
Лазерный пучок каждого лазерного блока 10 выводится в угловой зоне этого блока 10, так что из угловой (краевой) зоны кубического лазерного устройства 1 выводится упорядоченный набор лазерных пучков. Другими словами, выходные пучки лазерных блоков взаимно параллельны и лежат в одной плоскости, отходящей от одного края куба, формируя многопучковый выход 2 лазерного устройства 1.
В варианте по фиг. 2 две лазерные трубки 12 каждого лазерного блока 10, которые могут именоваться концевыми лазерными трубками, связаны между собой интегральным выходным фланцем 40. Другими словами, четвертый угол блока сконструирован так, что на одной его поверхности 58 находится
- 5 024205 заднее зеркало 44, а на другой поверхности 56 - частично отражающий выходной компонент 42.
Интегральный выходной фланец 40 лазерного блока 10 имеет первый, внутренний корпус 50 и второй, наружный корпус 52. Между первым и вторым корпусами 50, 52 сформирована (в форме зазора) внутренняя полость 62. В зазоре 62 размещены заднее зеркало 44 и выходной компонент 42. В первом корпусе 50 выполнены также два сквозных отверстия для приема двух взаимно примыкающих трубок 12.
В угловой зоне интегрального выходного фланца 40 находится выходное зеркало 46 для отражения лазерного пучка, выводимого через выходной компонент 42, в заданном направлении. Выходное зеркало 46 установлено так, что лазерный пучок отражается в направлении свободного центрального пространства 8 лазерного устройства 1. Выходное зеркало 46 присоединено ко второму корпусу 52 интегрального выходного фланца 40. Более конкретно, выходное зеркало 46 установлено на третьей поверхности 60, которая образует острые углы с первой и второй поверхностями 56, 58. Третья поверхность 60 является угловой поверхностью второго корпуса 52. Для соединения смежных лазерных блоков 10 используется монтажный (соединительный) фланец 54.
В первом корпусе 50 интегрального выходного фланца 40 выполнено выходное отверстие 48, через которое лазерный пучок, отклоненный выходным зеркалом 46, может проходить в свободное центральное пространство 8. Выходные отверстия 48 лазерных блоков 10 формируют индивидуальные выходные лазерные пучки лазерных блоков 10.
Каждый соединительный элемент 21 имеет дополнительную входную часть для подсоединения трубки 14 (см. фиг. 4), служащей газовым резервуаром. Эта трубка свободна от возбуждающего средства и является дополнительным газовым балластом для лазерных трубок 12 лазерного блока 10. В предпочтительном варианте каждый из лазерных блоков 10 содержит по меньшей мере одну такую трубкугазовый резервуар.
Трубка 14 расположена в составе лазерного блока 10 параллельно одной из лазерных трубок 12. Ее размеры могут отличаться от размеров лазерных трубок 12; например, она может иметь больший диаметр.
На фиг. 3 представлен второй вариант лазерного устройства 1 согласно изобретению. Данное лазерное устройство 1 не имеет дополнительных газовых балластных трубок, а лазерные пучки лазерных блоков 10 направлены наружу, а не в свободное центральное пространство 8, окруженное лазерными трубками 12. Кроме того, угловые элементы 20 и интегральные выходные фланцы 40 индивидуальных лазерных блоков 10 объединены в интегральные угловые элементы 34, 64, проходящие вдоль нескольких или всех лазерных блоков 10. Следует понимать, что элементы, показанные на различных чертежах, можно комбинировать различными способами.
Лазерное устройство 1, показанное на фиг. 3, содержит три находящихся на кромках кубического лазерного устройства 1 угловых элемента 34, к которым подсоединены лазерные трубки 12 каждого лазерного блока 10. Угловые элементы 34 имеют цельный корпус 24 с выполненными в нем отверстиями, с которыми могут сопрягаться лазерные трубки 12. Отверстия для подсоединения трубок 12 сгруппированы в два столбца. К корпусу 24 прикреплено общее для всех модулей зеркало 22 для переноса лазерного излучения между лазерными трубками 12 каждого из лазерных блоков 10.
В четвертом углу кубического лазерного устройства 1 находится угловой элемент 64, содержащий множество интегральных выходных фланцев 40. У углового элемента 64 имеется цельный корпус 66, перекрывающий несколько или все лазерные блоки 10. Угловой элемент 64 содержит множество выходных компонентов 42 и множество задних зеркал 44. Корпус 66 выполнен, как единственная деталь, расположенная вдоль кромки кубического лазерного устройства 1.
Другой вариант лазерного устройства 1 согласно изобретению представлен на фиг. 4. Лазерное устройство согласно этому варианту, в основном, соответствует лазерному устройству по фиг. 2. В дополнение, лазерное устройство 1 содержит устройство 90 попиксельного преобразования, содержащее набор перестраивающих зеркал 92, которые используются для преобразования линейной конфигурации лазерных пучков в другую конфигурацию и/или для уменьшения расстояния между пучками индивидуальных лазерных блоков 10. В предпочтительном варианте каждому лазерному блоку 10 соответствует по меньшей мере одно перестраивающее зеркало 92. В устройство 90 попиксельного преобразования, находящееся внутри куба, вводятся пучки в составе упорядоченного набора индивидуальных выходных пучков.
В свободном центральном пространстве 8 лазерного устройства 1 находится, кроме того, сканирующее устройство 80. Оно содержит два подвижных зеркала 82, каждое из которых установлено на гальванометрический привод (сканер) 84. На подвижные зеркала 82 направляют лазерные пучки из лазерных блоков 10. Гальванометрические сканеры используются, чтобы перемещать пучок в поле зрения выходной оптики согласно требованиям конкретного приложения. В дополнение, может использоваться набор линз 96, размещенный, например, между выходными отверстиями 48 для лазерных пучков и перестраивающими зеркалами 92. Кроме того, могут иметься одно или более дополнительных отклоняющих зеркал 94 для отражения лазерных пучков в составе упорядоченного набора.
На фиг. 5 иллюстрируется конструкция другого варианта лазерного устройства 1 согласно изобретению. Как и раньше, лазерное устройство 1 (в данном случае печатающая головка) имеет кубический профиль, причем лазерные пучки выводятся в одном углу между двумя гранями куба. Массив лазеров
- 6 024205 образован стопой прямоугольных двумерных базовых лазерных блоков (модулей) 10. В центральном пространстве 8 находится радиочастотный драйвер 6 для приведения в действие возбуждающих средств 70 лазерных трубок 12. На траектории лазерных пучков, между выходными отверстиями 48 и сканирующим устройством 80 размещены телескопы 98. К тем наружным сторонам кубического лазерного устройства 1, на которых закреплены лазерные трубки 12, прикреплены охлаждающие блоки 76. В охлаждающих блоках 76 выполнено множество каналов, по которым может циркулировать хладагент.
На фиг. 6 представлено лазерное устройство 1 по фиг. 3 с прикрепленными к лазерным трубкам 12 возбуждающими средствами 70 и охлаждающими блоками 76. На каждой стороне кубического лазерного устройства 1 имеется охлаждающий блок 76, который охлаждает лазерные трубки 12 различных лазерных блоков 10. В охлаждающие блоки 76 могут быть интегрированы возбуждающие средства 70, например электроды 71.
На фиг. 7 и 8 представлен еще один вариант лазерного устройства 1 согласно изобретению. Показана стопа двумерных лазерных блоков 10 в квадратной конфигурации с защитным кожухом в зоне 2 выведения пучков излучения. Этот защитный кожух может содержать воздушный нож (воздушную завесу) 4, который (которая) использует воздух под повышенным давлением, чтобы предотвратить попадание частиц пыли и влаги на выходную оптику лазеров. Показан также находящийся на задней части устройства входной элемент для прикрепления шланга 7. На фиг. 8 устройство показано с установленными наружными корпусными деталями 5 и со шлангом 7. На фиг. 7 устройство показано со снятыми боковыми корпусными деталями 5, чтобы проиллюстрировать установку драйверов 6 для возбуждающих средств 70 в центральной части куба, образованного печатающей головкой.
На фиг. 9 представлен другой вариант, в котором, вместо квадратных блоков, используется стопа Иобразных блоков (модулей) 10. и-образный блок может иметь меньшую высоту и поэтому являться пригодным в приложениях, в которых высота является ограничением для увеличения количества модулей. Для повышения стабильности лазерной головки между концевыми фланцами, т. е. между выходным фланцем 41, содержащим выходной компонент 42, и задним фланцем 43, содержащим заднее зеркало 44, установлены опорные средства 18.
На фиг. 10 проиллюстрирован наружный вид маркировочной головки с установленным внутри нее сканирующим устройством. Лазерные пучки лазерных блоков направлены во внутреннее пространство лазерного устройства 1 и перенаправляются сканирующим устройством для их выведения через отверстие на передней стороне 3, т. е. данное отверстие служит выходом 2 для многопучкового излучения лазерного устройства 1.
На фиг. 11 представлено возбуждающее средство 70 согласно изобретению. Оно представляет собой электрод 71, имеющий одну или более обмоток 72 в виде спиралей, лежащих в одной плоскости. Обмотки 72 лежат на несущей пластине 74.

Claims (9)

ФОРМУЛА ИЗОБРЕТЕНИЯ
1. Лазерное устройство, содержащее по меньшей мере два лазерных блока (10), послойно собранных в стопу, причем каждый лазерный блок (10), сконфигурированный с возможностью испускать лазерный пучок, содержит лазерные трубки (12) с активным газом, расположенные вдоль петлевидного контура, механически соединенные одна с другой и образующие общее трубчатое пространство;
соединительные элементы (20) для соединения взаимно примыкающих лазерных трубок (12); возбуждающие средства (70), возбуждающие активный газ в лазерных трубках (12) для генерирования лазерного излучения;
помещенные в соединительные элементы (20) зеркала (22) для переноса лазерного излучения между лазерными трубками (12);
частично отражающий выходной компонент (42) для выведения лазерного пучка; полностью отражающее заднее зеркало (44) и интегральный выходной фланец (40), установленный между двумя лазерными трубками (12) и присоединенный к ним, при этом указанный фланец содержит заднее зеркало (44), установленное на первой поверхности (56) указанного фланца (40), и выходной компонент (42), установленный на второй поверхности (58) указанного фланца (40), отличающееся тем, что интегральный выходной фланец (40) каждого лазерного блока (10) дополнительно содержит выходное зеркало (46), установленное на его третьей поверхности (60) для отклонения лазерного пучка, проходящего сквозь выходной компонент (42), в центральное пространство (8), окруженное лазерными трубками (12), а в центральном пространстве (8), окруженном лазерными трубками (12), установлено сканирующее устройство (80), содержащее по меньшей мере одно подвижное зеркало (82) для отклонения в заданных направлениях лазерных пучков, выводимых через выходные компоненты (42) лазерных блоков (10).
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что слой, в котором находятся лазерные трубки (12) по меньшей мере одного из лазерных блоков (10), имеет форму плоской плиты.
3. Устройство по п.1 или 2, отличающееся тем, что частично отражающие выходные компоненты (42) лазерных блоков (10) сконфигурированы с возможностью испускать параллельные лазерные пучки.
4. Устройство по любому из пп.1-3, отличающееся тем, что лазерные трубки (12) каждого лазерного блока (10) установлены по замкнотому контуру, окружающему центральное пространство (8).
5. Устройство по любому из пп.1-4, отличающееся тем, что лазерные трубки (12) каждого лазерного блока (10) установлены по треугольному, прямоугольному, квадратному или ϋ-образному контуру.
6. Устройство по любому из пп.1-5, отличающееся тем, что лазерные блоки (10) имеют одинаковую форму.
7. Устройство по любому из пп.1-6, отличающееся тем, что в каждом из соединительных элементов (20) лазерных блоков (10) имеется внутренняя полость, сообщающаяся по текучей среде по меньшей мере с двумя взаимно примыкающими лазерными трубками (12), присоединенными к соединительному элементу (20).
- 7 024205
8. Устройство по любому из пп.1-7, отличающееся тем, что соединительные элементы (20) лазерных блоков (10) объединены между собой в каждой угловой зоне лазерного устройства (1).
9. Способ маркировки объекта, отличающийся тем, что для нанесения маркировки используют лазерное устройство по любому из пп.1-8, при этом лазерные пучки лазерных блоков (10) направляют посредством выходного зеркала (46), установленного на третьей поверхности (60) интегрального выходного фланца (40), в центральное пространство (8), окруженное лазерными трубками (12), отклоняют лазерные пучки в заданных направлениях посредством сканирующего устройства (80), установленного в центральном пространстве (8), и осуществляют маркировку объекта лазерными пучками, отклоненными посредством сканирующего устройства (80).
EA201490244A 2011-09-05 2012-07-19 Лазерное устройство и способ маркировки объекта EA024205B1 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP11007186.7A EP2565994B1 (en) 2011-09-05 2011-09-05 Laser device and method for marking an object
PCT/EP2012/003070 WO2013034215A1 (en) 2011-09-05 2012-07-19 Laser device and method for marking an object

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EA201490244A1 EA201490244A1 (ru) 2014-09-30
EA024205B1 true EA024205B1 (ru) 2016-08-31

Family

ID=46724307

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EA201490244A EA024205B1 (ru) 2011-09-05 2012-07-19 Лазерное устройство и способ маркировки объекта

Country Status (8)

Country Link
US (1) US9664898B2 (ru)
EP (1) EP2565994B1 (ru)
CN (1) CN103765702B (ru)
BR (1) BR112014003931A2 (ru)
DK (1) DK2565994T3 (ru)
EA (1) EA024205B1 (ru)
ES (1) ES2452529T3 (ru)
WO (1) WO2013034215A1 (ru)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA172005S (en) * 2016-12-01 2017-08-11 Riegl Laser Measurement Systems Gmbh Laser scanner for surveying, for topographical and distance measurement
AU2020299104A1 (en) * 2019-07-03 2021-12-23 SEC Technologies, s.r.o. Method for limiting the deflection of a laser beam from a laser head during temperature changes and a laser head
CN116174952B (zh) * 2022-12-05 2023-09-22 无锡法维莱机械有限公司 一种具备水冷通道的激光焊接机机柜

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0157546A2 (en) * 1984-04-05 1985-10-09 Videojet Systems International, Inc. Laser marking apparatus
US4912718A (en) * 1987-10-13 1990-03-27 Hans Klingel Device for a power laser
US5115446A (en) * 1990-09-19 1992-05-19 Trumpf Lasertechnik Gmbh Device for a power laser
US5268921A (en) * 1989-07-03 1993-12-07 Mclellan Edward J Multiple discharge gas laser apparatus

Family Cites Families (277)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2359780A (en) 1938-10-29 1944-10-10 Muffly Glenn Refrigerating mechanism
GB1016576A (en) 1962-08-22 1966-01-12 Varian Associates Optical maser
US3628175A (en) 1963-11-29 1971-12-14 Perkin Elmer Corp Optical maser having concentric reservoirs and cylindrical resonator
US3564452A (en) 1965-08-23 1971-02-16 Spectra Physics Laser with stable resonator
US3465358A (en) 1966-07-21 1969-09-02 Bell Telephone Labor Inc Q-switched molecular laser
US3533012A (en) 1967-02-10 1970-10-06 Optics Technology Inc Laser apparatus and method of aligning same
US3638137A (en) 1969-01-10 1972-01-25 Hughes Aircraft Co Method of q-switching and mode locking a laser beam and structure
GB1269892A (en) 1969-03-20 1972-04-06 Messerschmitt Boelkow Blohm Weapon system for the detection of and use against stationary or moving objects
US3596202A (en) 1969-03-28 1971-07-27 Bell Telephone Labor Inc Carbon dioxide laser operating upon a vibrational-rotational transition
US3721915A (en) 1969-09-19 1973-03-20 Avco Corp Electrically excited flowing gas laser and method of operation
US3646476A (en) 1969-11-24 1972-02-29 Coherent Radiation Lab Pulsed gas ion laser
US3662281A (en) 1970-02-11 1972-05-09 Union Carbide Corp Method and means for compensating birefringence in laser systems
US3602837A (en) 1970-03-31 1971-08-31 Us Army Method and apparatus for exciting an ion laser at microwave frequencies
CH522287A (de) 1970-04-13 1972-06-15 Inst Angewandte Physik Niederdruck-Gasentladungsrohr für Laser
US3801929A (en) 1972-07-31 1974-04-02 Asahi Optical Co Ltd Gas laser apparatus having low temperature sensitivity
US3851272A (en) 1973-01-02 1974-11-26 Coherent Radiation Gaseous laser with cathode forming optical resonator support and plasma tube envelope
US3900804A (en) 1973-12-26 1975-08-19 United Aircraft Corp Multitube coaxial closed cycle gas laser system
US3919663A (en) 1974-05-23 1975-11-11 United Technologies Corp Method and apparatus for aligning laser reflective surfaces
US4053851A (en) 1975-07-10 1977-10-11 The United States Of America As Represented By The United States Energy Research And Development Administration Near 16 micron CO2 laser system
GB1495477A (en) 1975-10-31 1977-12-21 Taiwan Fan Shun Co Ltd Drinking water supply apparatus for vehicles
IL49999A (en) 1976-01-07 1979-12-30 Mochida Pharm Co Ltd Laser apparatus for operations
US4131782A (en) 1976-05-03 1978-12-26 Lasag Ag Method of and apparatus for machining large numbers of holes of precisely controlled size by coherent radiation
US4122853A (en) 1977-03-14 1978-10-31 Spectra-Med Infrared laser photocautery device
US4125755A (en) 1977-06-23 1978-11-14 Western Electric Co., Inc. Laser welding
US4189687A (en) 1977-10-25 1980-02-19 Analytical Radiation Corporation Compact laser construction
US4170405A (en) * 1977-11-04 1979-10-09 United Technologies Corporation Resonator having coupled cavities with intercavity beam expansion elements
US4376496A (en) 1979-10-12 1983-03-15 The Coca-Cola Company Post-mix beverage dispensing system syrup package, valving system, and carbonator therefor
JPS5764718A (en) 1980-10-09 1982-04-20 Hitachi Ltd Laser beam printer
US4404571A (en) * 1980-10-14 1983-09-13 Canon Kabushiki Kaisha Multibeam recording apparatus
JPS5843588A (ja) 1981-09-09 1983-03-14 Hitachi Ltd レ−ザ発生装置
US4500996A (en) 1982-03-31 1985-02-19 Coherent, Inc. High power fundamental mode laser
US4477907A (en) 1982-05-03 1984-10-16 American Laser Corporation Low power argon-ion gas laser
US4554666A (en) 1982-11-24 1985-11-19 Rca Corporation High-energy, single longitudinal mode hybrid laser
EP0129603A4 (en) 1982-12-17 1985-06-10 Inoue Japax Res CUTTING DEVICE WITH LASER.
US4512639A (en) 1983-07-05 1985-04-23 The United States Of American As Represented By The Secretary Of The Army Erectable large optic for outer space application
US4596018A (en) 1983-10-07 1986-06-17 Minnesota Laser Corp. External electrode transverse high frequency gas discharge laser
FR2556262B1 (fr) 1983-12-09 1987-02-20 Ressencourt Hubert La presente invention concerne un centre de faconnage de materiaux en feuilles a commande numerique
US4660209A (en) 1983-12-29 1987-04-21 Amada Engineering & Service Co., Inc. High speed axial flow type gas laser oscillator
US4614913A (en) 1984-04-30 1986-09-30 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Inherently boresighted laser weapon alignment subsystem
US4655547A (en) 1985-04-09 1987-04-07 Bell Communications Research, Inc. Shaping optical pulses by amplitude and phase masking
US4744090A (en) 1985-07-08 1988-05-10 Trw Inc. High-extraction efficiency annular resonator
DD256440A3 (de) 1986-01-09 1988-05-11 Halle Feinmech Werke Veb Anordnung zur wellenlaengenselektion und internen leistungsmodulation der strahlung von hochleistungs-co tief 2-lasern
DD256439A3 (de) 1986-01-09 1988-05-11 Halle Feinmech Werke Veb Verfahren zur steuerung der inneren und unterdrueckung der aeusseren strahlungsrueckkopplung eines co tief 2-hochleistungslasers
EP0258328B1 (de) 1986-03-12 1991-10-09 Prc Corporation Verfahren zur stabilisierung des betriebes eines axialgaslasers und axialgaslaser
US4672620A (en) 1986-05-14 1987-06-09 Spectra-Physics, Inc. Fast axial flow carbon dioxide laser
US4720618A (en) 1986-08-07 1988-01-19 Videojet Systems International, Inc. Method and apparatus for equalizing power output in a laser marking system
US4727235A (en) 1986-08-07 1988-02-23 Videojet Systems International, Inc. Method and apparatus for equalizing power output in a laser marking system
US4831333A (en) 1986-09-11 1989-05-16 Ltv Aerospace & Defense Co. Laser beam steering apparatus
JPS6394695A (ja) 1986-10-08 1988-04-25 Nec Corp ガスレ−ザ発振器
US4779278A (en) 1986-12-05 1988-10-18 Laser Photonics, Inc. Laser apparatus and method for discriminating against higher order modes
US4846550A (en) 1987-01-07 1989-07-11 Allied-Signal Inc. Optical wedges used in beam expander for divergence control of laser
US5162940A (en) 1987-03-06 1992-11-10 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Multiple energy level, multiple pulse rate laser source
WO1989006872A1 (en) 1988-01-21 1989-07-27 Siemens Aktiengesellschaft Gas laser
US5012259A (en) 1988-01-28 1991-04-30 Konica Corporation Color recorder with gas laser beam scanning
JP2592085B2 (ja) 1988-02-09 1997-03-19 マツダ株式会社 アンチロック装置
US4819246A (en) 1988-03-23 1989-04-04 Aerotech, Inc. Single frequency adapter
US4770482A (en) 1988-07-17 1988-09-13 Gte Government Systems Corporation Scanning system for optical transmitter beams
US5052017A (en) 1988-12-01 1991-09-24 Coherent, Inc. High power laser with focusing mirror sets
US5023886A (en) 1988-12-01 1991-06-11 Coherent, Inc. High power laser with focusing mirror sets
US4953176A (en) 1989-03-07 1990-08-28 Spectra-Physics Angular optical cavity alignment adjustment utilizing variable distribution cooling
US4958900A (en) 1989-03-27 1990-09-25 General Electric Company Multi-fiber holder for output coupler and methods using same
GB8912765D0 (en) 1989-06-02 1989-07-19 Lumonics Ltd A laser
DE3937370A1 (de) 1989-11-09 1991-05-16 Otto Bihler Laser
US4991149A (en) 1989-12-07 1991-02-05 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Underwater object detection system
US5065405A (en) 1990-01-24 1991-11-12 Synrad, Incorporated Sealed-off, RF-excited gas lasers and method for their manufacture
US5109149A (en) 1990-03-15 1992-04-28 Albert Leung Laser, direct-write integrated circuit production system
US5214658A (en) 1990-07-27 1993-05-25 Ion Laser Technology Mixed gas ion laser
DE4029187C2 (de) 1990-09-14 2001-08-16 Trumpf Lasertechnik Gmbh Längsgeströmter CO¶2¶-Laser
GB2249843A (en) 1990-10-25 1992-05-20 Robert Peter Sunman Image production
HU217738B (hu) 1991-01-17 2000-04-28 United Distillers Plc. Eljárás és berendezés mozgó tárgyak megjelölésére
US5229573A (en) 1991-10-15 1993-07-20 Videojet Systems International, Inc. Print quality laser marker apparatus
US5229574A (en) 1991-10-15 1993-07-20 Videojet Systems International, Inc. Print quality laser marker apparatus
JPH05129678A (ja) 1991-10-31 1993-05-25 Shibuya Kogyo Co Ltd レーザマーキング装置
EP1159986A3 (en) 1991-11-06 2004-01-28 LAI, Shui, T. Corneal surgery device and method
US5199042A (en) 1992-01-10 1993-03-30 Litton Systems, Inc. Unstable laser apparatus
JPH0645711A (ja) 1992-01-14 1994-02-18 Boreal Laser Inc スラブレーザのアレイ
US5572538A (en) 1992-01-20 1996-11-05 Miyachi Technos Corporation Laser apparatus and accessible, compact cooling system thereof having interchangeable flow restricting members
JP2872855B2 (ja) 1992-02-19 1999-03-24 ファナック株式会社 レーザ発振器
DE4212390A1 (de) 1992-04-13 1993-10-14 Baasel Carl Lasertech Strahlführungssystem für mehrere Laserstrahlen
US5337325A (en) 1992-05-04 1994-08-09 Photon Imaging Corp Semiconductor, light-emitting devices
US5339737B1 (en) 1992-07-20 1997-06-10 Presstek Inc Lithographic printing plates for use with laser-discharge imaging apparatus
JP2980788B2 (ja) 1992-10-21 1999-11-22 三菱電機株式会社 レーザ装置
JP2725569B2 (ja) 1992-11-18 1998-03-11 松下電器産業株式会社 レーザ発振器
US5274661A (en) 1992-12-07 1993-12-28 Spectra Physics Lasers, Inc. Thin film dielectric coating for laser resonator
JP3022016B2 (ja) 1992-12-28 2000-03-15 松下電器産業株式会社 軸流形レーザ発振器
US5729568A (en) 1993-01-22 1998-03-17 Deutsche Forschungsanstalt Fuer Luft-Und Raumfahrt E.V. Power-controlled, fractal laser system
US5294774A (en) 1993-08-03 1994-03-15 Videojet Systems International, Inc. Laser marker system
US5431199A (en) 1993-11-30 1995-07-11 Benjey, Robert P Redundant seal for vehicle filler neck
JPH07211972A (ja) 1994-01-20 1995-08-11 Fanuc Ltd レーザ発振器
DE4402054A1 (de) 1994-01-25 1995-07-27 Zeiss Carl Fa Gaslaser und Gasnachweis damit
US5386427A (en) 1994-02-10 1995-01-31 Massachusetts Institute Of Technology Thermally controlled lenses for lasers
EP0745282B1 (en) 1994-02-15 1999-05-12 Coherent, Inc. System for minimizing the depolarization of a laser beam due to thermally induced birefringence
JPH07246488A (ja) 1994-03-11 1995-09-26 Fanuc Ltd レーザ加工装置
US5767477A (en) 1994-03-23 1998-06-16 Domino Printing Sciences Plc Laser marking apparatus for marking twin-line messages
US5568306A (en) 1994-10-17 1996-10-22 Leonard Tachner Laser beam control and imaging system
JPH08139391A (ja) 1994-11-02 1996-05-31 Fanuc Ltd レーザ共振器
US5929337A (en) 1994-11-11 1999-07-27 M & A Packaging Services Limited Non-mechanical contact ultrasound system for monitoring contents of a moving container
US5550853A (en) 1994-12-21 1996-08-27 Laser Physics, Inc. Integral laser head and power supply
US5659561A (en) 1995-06-06 1997-08-19 University Of Central Florida Spatial solitary waves in bulk quadratic nonlinear materials and their applications
US5689363A (en) 1995-06-12 1997-11-18 The Regents Of The University Of California Long-pulse-width narrow-bandwidth solid state laser
JP3427573B2 (ja) 1995-06-27 2003-07-22 松下電器産業株式会社 マイクロ波励起ガスレーザ発振装置
US5646907A (en) 1995-08-09 1997-07-08 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Method and system for detecting objects at or below the water's surface
DE29514319U1 (de) 1995-09-07 1997-01-16 Sator Alexander Paul Vorrichtung zum Beschriften von Gegenständen
US5592504A (en) 1995-10-10 1997-01-07 Cameron; Harold A. Transversely excited non waveguide RF gas laser configuration
US5661746A (en) 1995-10-17 1997-08-26 Universal Laser Syatems, Inc. Free-space gas slab laser
US5682262A (en) 1995-12-13 1997-10-28 Massachusetts Institute Of Technology Method and device for generating spatially and temporally shaped optical waveforms
US5720894A (en) 1996-01-11 1998-02-24 The Regents Of The University Of California Ultrashort pulse high repetition rate laser system for biological tissue processing
FR2748519B1 (fr) 1996-05-10 1998-06-26 Valeo Thermique Moteur Sa Dispositif de refroidissement d'un moteur avec reservoir de fluide thermiquement isole
US5837962A (en) 1996-07-15 1998-11-17 Overbeck; James W. Faster laser marker employing acousto-optic deflection
US5808268A (en) 1996-07-23 1998-09-15 International Business Machines Corporation Method for marking substrates
US6050486A (en) 1996-08-23 2000-04-18 Pitney Bowes Inc. Electronic postage meter system separable printer and accounting arrangement incorporating partition of indicia and accounting information
DE19634190C2 (de) 1996-08-23 2002-01-31 Baasel Carl Lasertech Mehrkopf-Lasergravuranlage
US5864430A (en) 1996-09-10 1999-01-26 Sandia Corporation Gaussian beam profile shaping apparatus, method therefor and evaluation thereof
CN1157676C (zh) 1996-09-11 2004-07-14 多米诺公司 激光器装置
US6064034A (en) 1996-11-22 2000-05-16 Anolaze Corporation Laser marking process for vitrification of bricks and other vitrescent objects
US5815523A (en) 1996-11-27 1998-09-29 Mcdonnell Douglas Corporation Variable power helix laser amplifier and laser
DE69840287D1 (de) 1997-03-14 2009-01-15 Demaria Electrooptics Inc Hochfrequenz-angeregter wellenleiterlaser
US6141030A (en) 1997-04-24 2000-10-31 Konica Corporation Laser exposure unit including plural laser beam sources differing in wavelength
US6122562A (en) 1997-05-05 2000-09-19 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for selectively marking a semiconductor wafer
FR2766115B1 (fr) 1997-07-18 1999-08-27 Commissariat Energie Atomique Dispositif et procede de decoupe a distance etendue par laser, en mode impulsionnel
DE19734715A1 (de) 1997-08-11 1999-02-25 Lambda Physik Gmbh Vorrichtung zum Spülen des Strahlenganges eines UV-Laserstrahles
US6069843A (en) 1997-08-28 2000-05-30 Northeastern University Optical pulse induced acoustic mine detection
US6263007B1 (en) 1998-03-23 2001-07-17 T & S Team Incorporated Pulsed discharge gas laser having non-integral supply reservoir
JP3041599B2 (ja) 1998-05-14 2000-05-15 セイコーインスツルメンツ株式会社 座標出し光学式観察装置および位置情報蓄積方法
US6898216B1 (en) 1999-06-30 2005-05-24 Lambda Physik Ag Reduction of laser speckle in photolithography by controlled disruption of spatial coherence of laser beam
US6181728B1 (en) 1998-07-02 2001-01-30 General Scanning, Inc. Controlling laser polarization
US6057871A (en) 1998-07-10 2000-05-02 Litton Systems, Inc. Laser marking system and associated microlaser apparatus
DE19840926B4 (de) 1998-09-08 2013-07-11 Hell Gravure Systems Gmbh & Co. Kg Anordnung zur Materialbearbeitung mittels Laserstrahlen und deren Verwendung
JP2002529776A (ja) 1998-11-02 2002-09-10 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 陰極線管用のレーザ照射装置。
US6229940B1 (en) 1998-11-30 2001-05-08 Mcdonnell Douglas Corporation Incoherent fiber optic laser system
TW444247B (en) 1999-01-29 2001-07-01 Toshiba Corp Laser beam irradiating device, manufacture of non-single crystal semiconductor film, and manufacture of liquid crystal display device
EP1066666B1 (de) 1999-02-03 2008-08-06 TRUMPF LASERTECHNIK GmbH Laser mit einer einrichtung zur veränderung der verteilung der intensität des laserlichtes über den laserstrahlquerschnitt
US6678291B2 (en) 1999-12-15 2004-01-13 Lambda Physik Ag Molecular fluorine laser
US6356575B1 (en) 1999-07-06 2002-03-12 Raytheon Company Dual cavity multifunction laser system
JP2001023918A (ja) 1999-07-08 2001-01-26 Nec Corp 半導体薄膜形成装置
US6335943B1 (en) 1999-07-27 2002-01-01 Lockheed Martin Corporation System and method for ultrasonic laser testing using a laser source to generate ultrasound having a tunable wavelength
US6944201B2 (en) 1999-07-30 2005-09-13 High Q Laser Production Gmbh Compact ultra fast laser
US20090168111A9 (en) 1999-09-01 2009-07-02 Hell Gravure Systems Gmbh Printing form processing with fine and coarse engraving tool processing tracks
US6886284B2 (en) 1999-10-08 2005-05-03 Identification Dynamics, Llc Firearm microstamping and micromarking insert for stamping a firearm identification code and serial number into cartridge shell casings and projectiles
US6256121B1 (en) 1999-10-08 2001-07-03 Nanovia, Lp Apparatus for ablating high-density array of vias or indentation in surface of object
US6420675B1 (en) 1999-10-08 2002-07-16 Nanovia, Lp Control system for ablating high-density array of vias or indentation in surface of object
US6653593B2 (en) 1999-10-08 2003-11-25 Nanovia, Lp Control system for ablating high-density array of vias or indentation in surface of object
US6310701B1 (en) 1999-10-08 2001-10-30 Nanovia Lp Method and apparatus for ablating high-density array of vias or indentation in surface of object
US6833911B2 (en) 1999-10-08 2004-12-21 Identification Dynamics, Inc. Method and apparatus for reading firearm microstamping
US6735232B2 (en) 2000-01-27 2004-05-11 Lambda Physik Ag Laser with versatile output energy
JP2001276986A (ja) 2000-03-29 2001-10-09 Nec Corp レーザ加工装置及び方法
EP1143584A3 (en) 2000-03-31 2003-04-23 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Semiconductor laser array
US6791592B2 (en) 2000-04-18 2004-09-14 Laserink Printing a code on a product
US7394591B2 (en) 2000-05-23 2008-07-01 Imra America, Inc. Utilization of Yb: and Nd: mode-locked oscillators in solid-state short pulse laser systems
US6605799B2 (en) 2000-05-25 2003-08-12 Westar Photonics Modulation of laser energy with a predefined pattern
JP3858695B2 (ja) 2000-05-30 2006-12-20 松下電器産業株式会社 レーザ発振装置
US6904073B2 (en) 2001-01-29 2005-06-07 Cymer, Inc. High power deep ultraviolet laser with long life optics
DE20011508U1 (de) 2000-06-30 2000-10-12 Termotek Laserkuehlung Gmbh Kühlvorrichtung für einen Laser
JP2002045371A (ja) 2000-08-01 2002-02-12 Nidek Co Ltd レーザ治療装置
DE10043269C2 (de) 2000-08-29 2002-10-24 Jenoptik Jena Gmbh Diodengepumpter Laserverstärker
US6585161B1 (en) * 2000-08-30 2003-07-01 Psc Scanning, Inc. Dense pattern optical scanner
ATE478454T1 (de) 2000-08-31 2010-09-15 Trumpf Laser & Systemtechnik Gaslaser
EP1332494A4 (en) 2000-09-21 2005-04-20 Gsi Lumonics Corp DIGITAL CONTROL SERVO SYSTEM
DE10047020C1 (de) 2000-09-22 2002-02-07 Trumpf Lasertechnik Gmbh Laser mit wenigstens zwei Elektrodenrohren und einer Kühleinrichtung, Verfahren zur Herstellung eines Lasers sowie Vorrichtung zur Durchführung eines derartigen Verfahrens
US20020061045A1 (en) 2000-11-21 2002-05-23 Access Laser Company Portable low-power gas discharge laser
US6693930B1 (en) 2000-12-12 2004-02-17 Kla-Tencor Technologies Corporation Peak power and speckle contrast reduction for a single laser pulse
DE50004515D1 (de) 2000-12-16 2003-12-24 Trumpf Lasertechnik Gmbh Koaxialer Laser mit einer Einrichtung zur Strahlformung eines Laserstrahls
US7496831B2 (en) 2001-02-22 2009-02-24 International Business Machines Corporation Method to reformat regions with cluttered hyperlinks
WO2002075865A2 (en) 2001-03-19 2002-09-26 Nutfield Technologies, Inc. Monolithic ceramic laser structure and method of making same
US6370884B1 (en) 2001-03-30 2002-04-16 Maher I. Kelada Thermoelectric fluid cooling cartridge
US6768765B1 (en) 2001-06-07 2004-07-27 Lambda Physik Ag High power excimer or molecular fluorine laser system
JP4113495B2 (ja) 2001-06-13 2008-07-09 オーボテック リミテッド マルチビーム微細機械加工システム及び方法
US6804269B2 (en) 2001-06-19 2004-10-12 Hitachi Via Mechanics, Ltd. Laser beam delivery system with trepanning module
US6915654B2 (en) 2001-06-20 2005-07-12 Ross Johnson Portable cooling mechanism
US6914232B2 (en) 2001-10-26 2005-07-05 Bennett Optical Research, Inc. Device to control laser spot size
CN1791839A (zh) 2001-11-07 2006-06-21 应用材料有限公司 光点格栅阵列光刻机
DE10202036A1 (de) 2002-01-18 2003-07-31 Zeiss Carl Meditec Ag Femtosekunden Lasersystem zur präzisen Bearbeitung von Material und Gewebe
US6804287B2 (en) 2002-02-02 2004-10-12 The Regents Of The University Of Colorado, A Body Corporate Ultrashort pulse amplification in cryogenically cooled amplifiers
US20040028108A1 (en) 2002-02-07 2004-02-12 Govorkov Sergei V. Solid-state diode pumped laser employing oscillator-amplifier
US6750421B2 (en) 2002-02-19 2004-06-15 Gsi Lumonics Ltd. Method and system for laser welding
US6756563B2 (en) 2002-03-07 2004-06-29 Orbotech Ltd. System and method for forming holes in substrates containing glass
US6826219B2 (en) 2002-03-14 2004-11-30 Gigatera Ag Semiconductor saturable absorber device, and laser
US7058100B2 (en) 2002-04-18 2006-06-06 The Boeing Company Systems and methods for thermal management of diode-pumped solid-state lasers
US20030219094A1 (en) * 2002-05-21 2003-11-27 Basting Dirk L. Excimer or molecular fluorine laser system with multiple discharge units
JPWO2004017392A1 (ja) 2002-08-13 2005-12-08 株式会社東芝 レーザ照射方法
US20040202220A1 (en) 2002-11-05 2004-10-14 Gongxue Hua Master oscillator-power amplifier excimer laser system
US6903824B2 (en) 2002-12-20 2005-06-07 Eastman Kodak Company Laser sensitometer
US7145926B2 (en) 2003-01-24 2006-12-05 Peter Vitruk RF excited gas laser
US20050094697A1 (en) 2003-01-30 2005-05-05 Rofin Sinar Laser Gmbh Stripline laser
TWI248244B (en) 2003-02-19 2006-01-21 J P Sercel Associates Inc System and method for cutting using a variable astigmatic focal beam spot
US7321105B2 (en) 2003-02-21 2008-01-22 Lsp Technologies, Inc. Laser peening of dovetail slots by fiber optical and articulate arm beam delivery
US7499207B2 (en) 2003-04-10 2009-03-03 Hitachi Via Mechanics, Ltd. Beam shaping prior to harmonic generation for increased stability of laser beam shaping post harmonic generation with integrated automatic displacement and thermal beam drift compensation
US7408687B2 (en) 2003-04-10 2008-08-05 Hitachi Via Mechanics (Usa), Inc. Beam shaping prior to harmonic generation for increased stability of laser beam shaping post harmonic generation with integrated automatic displacement and thermal beam drift compensation
EP1616215A4 (en) 2003-04-24 2010-04-07 Bae Systems Information MONOLITHIC OBJECTIVE TELESCOPES AND PHANTOM IMAGE CORRECTION USED TO FORM A LASER BEAM
US20060287697A1 (en) 2003-05-28 2006-12-21 Medcool, Inc. Methods and apparatus for thermally activating a console of a thermal delivery system
GB0313887D0 (en) 2003-06-16 2003-07-23 Gsi Lumonics Ltd Monitoring and controlling of laser operation
US6856509B2 (en) 2003-07-14 2005-02-15 Jen-Cheng Lin Cartridge assembly of a water cooled radiator
US7521651B2 (en) 2003-09-12 2009-04-21 Orbotech Ltd Multiple beam micro-machining system and method
US7364952B2 (en) 2003-09-16 2008-04-29 The Trustees Of Columbia University In The City Of New York Systems and methods for processing thin films
US6894785B2 (en) 2003-09-30 2005-05-17 Cymer, Inc. Gas discharge MOPA laser spectral analysis module
US20050205778A1 (en) 2003-10-17 2005-09-22 Gsi Lumonics Corporation Laser trim motion, calibration, imaging, and fixturing techniques
WO2005037478A2 (en) 2003-10-17 2005-04-28 Gsi Lumonics Corporation Flexible scan field
ATE498928T1 (de) 2003-10-30 2011-03-15 Metal Improvement Company Llc Relay teleskop, laserverstärker, und laserschockbestrahlungsverfahren und dessen vorrichtung
US7291805B2 (en) 2003-10-30 2007-11-06 The Regents Of The University Of California Target isolation system, high power laser and laser peening method and system using same
JP2005144487A (ja) 2003-11-13 2005-06-09 Seiko Epson Corp レーザ加工装置及びレーザ加工方法
AT412829B (de) 2003-11-13 2005-07-25 Femtolasers Produktions Gmbh Kurzpuls-laservorrichtung
JP4344224B2 (ja) 2003-11-21 2009-10-14 浜松ホトニクス株式会社 光学マスクおよびｍｏｐａレーザ装置
US7376160B2 (en) 2003-11-24 2008-05-20 Raytheon Company Slab laser and method with improved and directionally homogenized beam quality
US7046267B2 (en) 2003-12-19 2006-05-16 Markem Corporation Striping and clipping correction
US20050190809A1 (en) 2004-01-07 2005-09-01 Spectra-Physics, Inc. Ultraviolet, narrow linewidth laser system
US7199330B2 (en) 2004-01-20 2007-04-03 Coherent, Inc. Systems and methods for forming a laser beam having a flat top
KR20060131849A (ko) 2004-01-23 2006-12-20 지에스아이 그룹 코포레이션 가상 레이저 마킹 시스템 및 방법
JP2005268445A (ja) 2004-03-17 2005-09-29 Hamamatsu Photonics Kk 半導体レーザ装置
US7486705B2 (en) 2004-03-31 2009-02-03 Imra America, Inc. Femtosecond laser processing system with process parameters, controls and feedback
JP2005294393A (ja) 2004-03-31 2005-10-20 Fanuc Ltd レーザ発振器
US7711013B2 (en) 2004-03-31 2010-05-04 Imra America, Inc. Modular fiber-based chirped pulse amplification system
US7565705B2 (en) 2004-05-11 2009-07-28 Biocool Technologies, Llc Garment for a cooling and hydration system
EP1751967A2 (en) 2004-05-19 2007-02-14 Intense Limited Thermal printing with laser activation
JP4182034B2 (ja) 2004-08-05 2008-11-19 ファナック株式会社 切断加工用レーザ装置
ATE343148T1 (de) 2004-09-30 2006-11-15 Trumpf Laser Gmbh & Co Kg Vorrichtung zur fokussierung eines laserstrahls
US20060092995A1 (en) 2004-11-01 2006-05-04 Chromaplex, Inc. High-power mode-locked laser system
US7204298B2 (en) 2004-11-24 2007-04-17 Lucent Technologies Inc. Techniques for microchannel cooling
JP3998067B2 (ja) 2004-11-29 2007-10-24 オムロンレーザーフロント株式会社 固体レーザ発振器
US20060114956A1 (en) 2004-11-30 2006-06-01 Sandstrom Richard L High power high pulse repetition rate gas discharge laser system bandwidth management
US7346427B2 (en) 2005-01-14 2008-03-18 Flymg J, Inc. Collecting liquid product volume data at a dispenser
US7295948B2 (en) 2005-01-15 2007-11-13 Jetter Heinz L Laser system for marking tires
US7394479B2 (en) 2005-03-02 2008-07-01 Marken Corporation Pulsed laser printing
US7430230B2 (en) 2005-04-07 2008-09-30 The Boeing Company Tube solid-state laser
DE102005024931B3 (de) 2005-05-23 2007-01-11 Ltb-Lasertechnik Gmbh Transversal elektrisch angeregter Gasentladungslaser zur Erzeugung von Lichtpulsen mit hoher Pulsfolgefrequenz und Verfahren zur Herstellung
US7334744B1 (en) 2005-05-23 2008-02-26 Gentry Dawson Portable mister and cooling assembly for outdoor use
US8278590B2 (en) 2005-05-27 2012-10-02 Resonetics, LLC Apparatus for minimizing a heat affected zone during laser micro-machining
WO2007008727A2 (en) 2005-07-12 2007-01-18 Gsi Group Corporation System and method for high power laser processing
US20100220750A1 (en) 2005-07-19 2010-09-02 James Hayden Brownell Terahertz Laser Components And Associated Methods
JP2007032869A (ja) 2005-07-22 2007-02-08 Fujitsu Ltd 冷却装置および冷却方法
JP2007029972A (ja) 2005-07-25 2007-02-08 Fanuc Ltd レーザ加工装置
EP1934687A4 (en) 2005-10-11 2009-10-28 Kilolambda Tech Ltd COMBINED OPTICAL POWER SWITCHING LIMITATION DEVICE AND METHOD FOR PROTECTING IMAGING AND NON-IMAGING SENSORS
US20070098024A1 (en) 2005-10-28 2007-05-03 Laserscope High power, end pumped laser with off-peak pumping
CN101331592B (zh) 2005-12-16 2010-06-16 株式会社半导体能源研究所 激光照射设备、激光照射方法和半导体装置的制造方法
US20090312676A1 (en) 2006-02-02 2009-12-17 Tylerton International Inc. Metabolic Sink
JP2007212118A (ja) 2006-02-08 2007-08-23 Makoto Fukada 冷感度を高めた水冷式冷風扇
US7543912B2 (en) 2006-03-01 2009-06-09 Lexmark International, Inc. Unitary wick retainer and biasing device retainer for micro-fluid ejection head replaceable cartridge
US20070235458A1 (en) 2006-04-10 2007-10-11 Mann & Hummel Gmbh Modular liquid reservoir
US9018562B2 (en) 2006-04-10 2015-04-28 Board Of Trustees Of Michigan State University Laser material processing system
US20070247499A1 (en) 2006-04-19 2007-10-25 Anderson Jr James D Multi-function thermoplastic elastomer layer for replaceable ink tank
US7545838B2 (en) 2006-06-12 2009-06-09 Coherent, Inc. Incoherent combination of laser beams
JP4146867B2 (ja) 2006-06-22 2008-09-10 ファナック株式会社 ガスレーザ発振器
US7626152B2 (en) 2006-08-16 2009-12-01 Raytheon Company Beam director and control system for a high energy laser within a conformal window
CN100547863C (zh) 2006-10-20 2009-10-07 香港理工大学 光纤气体激光器和具有该激光器的光纤型环形激光陀螺仪
US7784348B2 (en) 2006-12-22 2010-08-31 Lockheed Martin Corporation Articulated robot for laser ultrasonic inspection
US20090323739A1 (en) 2006-12-22 2009-12-31 Uv Tech Systems Laser optical system
US7729398B2 (en) 2007-04-10 2010-06-01 Northrop Grumman Systems Corporation Error control for high-power laser system employing diffractive optical element beam combiner
US7733930B2 (en) 2007-04-10 2010-06-08 Northrop Grumman Systems Corporation Error control for high-power laser system employing diffractive optical element beam combiner with tilt error control
DE102007023017B4 (de) 2007-05-15 2011-06-01 Thyssenkrupp Lasertechnik Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen von Tailored Blanks
US20080297912A1 (en) 2007-06-01 2008-12-04 Electro Scientific Industries, Inc., An Oregon Corporation Vario-astigmatic beam expander
JP5129678B2 (ja) 2007-07-18 2013-01-30 株式会社クボタ 作業車
US7924894B2 (en) 2008-01-18 2011-04-12 Northrop Grumman Systems Corporation Digital piston error control for high-power laser system employing diffractive optical element beam combiner
US7756169B2 (en) 2008-01-23 2010-07-13 Northrop Grumman Systems Corporation Diffractive method for control of piston error in coherent phased arrays
US8126028B2 (en) 2008-03-31 2012-02-28 Novasolar Holdings Limited Quickly replaceable processing-laser modules and subassemblies
GB0809003D0 (en) 2008-05-17 2008-06-25 Rumsby Philip T Method and apparatus for laser process improvement
GB2460648A (en) 2008-06-03 2009-12-09 M Solv Ltd Method and apparatus for laser focal spot size control
DE102008030868A1 (de) 2008-06-30 2009-12-31 Krones Ag Vorrichtung zum Beschriften von Behältnissen
US8038878B2 (en) 2008-11-26 2011-10-18 Mann+Hummel Gmbh Integrated filter system for a coolant reservoir and method
EP2377375B1 (en) 2008-12-13 2016-01-27 M-Solv Limited Method and apparatus for laser machining relatively narrow and relatively wide structures
GB0900036D0 (en) 2009-01-03 2009-02-11 M Solv Ltd Method and apparatus for forming grooves with complex shape in the surface of apolymer
EP2394336B1 (en) 2009-02-04 2023-05-24 The General Hospital Corporation Apparatus and method for utilization of a high-speed optical wavelength tuning source
US20100206882A1 (en) 2009-02-13 2010-08-19 Wessels Timothy J Multi chamber coolant tank
KR101603816B1 (ko) 2009-03-04 2016-03-16 퍼펙트 아이피, 엘엘씨 렌즈 형성 및 변경을 위한 시스템 그리고 그에 따라 형성된 렌즈
US8184361B2 (en) 2009-08-07 2012-05-22 Northrop Grumman Systems Corporation Integrated spectral and all-fiber coherent beam combination
US8184363B2 (en) 2009-08-07 2012-05-22 Northrop Grumman Systems Corporation All-fiber integrated high power coherent beam combination
US8514485B2 (en) 2009-08-07 2013-08-20 Northrop Grumman Systems Corporation Passive all-fiber integrated high power coherent beam combination
US8320056B2 (en) 2009-08-20 2012-11-27 Lawrence Livermore National Security, Llc Spatial filters for high average power lasers
US8212178B1 (en) 2009-09-28 2012-07-03 Klein Tools, Inc. Method and system for marking a material using a laser marking system
US8337618B2 (en) 2009-10-26 2012-12-25 Samsung Display Co., Ltd. Silicon crystallization system and silicon crystallization method using laser
JP2011156574A (ja) 2010-02-02 2011-08-18 Hitachi High-Technologies Corp レーザ加工用フォーカス装置、レーザ加工装置及びソーラパネル製造方法
JP5634088B2 (ja) 2010-03-17 2014-12-03 キヤノン株式会社 インクジェット記録装置およびインクタンク
CN101807772B (zh) * 2010-04-12 2011-07-20 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 高功率tea气体激光器环形谐振激光腔
US10072971B2 (en) 2010-04-16 2018-09-11 Metal Improvement Company, Llc Flexible beam delivery system for high power laser systems
US8233511B2 (en) 2010-05-18 2012-07-31 Lawrence Livermore National Security, Llc Method and system for modulation of gain suppression in high average power laser systems
US8432691B2 (en) 2010-10-28 2013-04-30 Asetek A/S Liquid cooling system for an electronic system
EP2564972B1 (en) 2011-09-05 2015-08-26 ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung Marking apparatus with a plurality of lasers, deflection means and telescopic means for each laser beam
EP2565673B1 (en) 2011-09-05 2013-11-13 ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung Device and method for marking of an object by means of a laser beam
ES2544269T3 (es) 2011-09-05 2015-08-28 ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung Aparato de marcado con una pluralidad de láseres de gas con tubos de resonancia y medios de deflexión ajustables individualmente

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0157546A2 (en) * 1984-04-05 1985-10-09 Videojet Systems International, Inc. Laser marking apparatus
US4912718A (en) * 1987-10-13 1990-03-27 Hans Klingel Device for a power laser
US5268921A (en) * 1989-07-03 1993-12-07 Mclellan Edward J Multiple discharge gas laser apparatus
US5115446A (en) * 1990-09-19 1992-05-19 Trumpf Lasertechnik Gmbh Device for a power laser

Also Published As

Publication number Publication date
US20140202998A1 (en) 2014-07-24
CN103765702A (zh) 2014-04-30
ES2452529T3 (es) 2014-04-01
US9664898B2 (en) 2017-05-30
DK2565994T3 (en) 2014-03-10
EP2565994A1 (en) 2013-03-06
WO2013034215A1 (en) 2013-03-14
BR112014003931A2 (pt) 2017-03-14
EP2565994B1 (en) 2014-02-12
CN103765702B (zh) 2016-05-18
EA201490244A1 (ru) 2014-09-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5271031A (en) High efficiency mode-matched solid-state laser with transverse pumping and cascaded amplifier stages
EP0310241B1 (en) High efficiency mode matched solid state laser with transverse pump
US9573223B2 (en) Marking apparatus with a plurality of gas lasers with resonator tubes and individually adjustable deflection means
EP0384738A1 (en) High efficiency mode-matched solid state laser with transverse pumping
EP0354807A2 (en) High efficiency mode-matched solid-state laser with trasverse pumping
EA024205B1 (ru) Лазерное устройство и способ маркировки объекта
CN105870770A (zh) 平直折叠式陶瓷板条激光器
US5696786A (en) Solid-state laser system
US9077140B2 (en) Laser device and method for generating laser light
US20140029640A1 (en) Solid-state laser device
JP2006093586A (ja) レーザ装置、レーザ光の合波方法、画像表示装置、結合素子及びその製造方法
EA024427B1 (ru) Газовый лазер и способ маркировки объекта посредством указанного лазера
EA026025B1 (ru) Газовый лазер, снабженный емкостью для газа
JP4048429B2 (ja) 固体レーザ発振装置
JPH05121802A (ja) 半導体励起固体レーザ
JPH03242984A (ja) レーザ装置
JPH0387083A (ja) レーザ装置
JPH03150885A (ja) 半導体レーザ励起固体レーザ装置

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Lapse of a eurasian patent due to non-payment of renewal fees within the time limit in the following designated state(s)

Designated state(s): AM AZ BY KZ KG TJ TM RU