CN103765702A - 一种激光器设备以及一种用于标记物体的方法 - Google Patents

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Abstract

一种激光器设备，包括至少两个气体激光器单元(10)，堆叠成多层，每一个激光器单元包括多个谐振管(12)，这些谐振管互相流体连通并且形成共同的管状空间；连接元件(20,21)，用于连接相邻的谐振管从而形成一个回路；反射镜(22)，被设置在连接元件中，用于反射谐振管之间的激光；背光镜(44)；以及部分反射输出耦合器(42)，用于耦合出激光束。在每一个激光器单元中，集成输出法兰(40)包括背光镜、部分反射输出耦合器和输出镜(46)，该输出镜(46)将传输通过输出耦合器的激光束偏转至位于被谐振管包围的中央空间(8)的扫描设备(80)内。本发明还涉及一种标记物体的方法。

Description

一种激光器设备以及一种用于标记物体的方法
技术领域
本发明涉及一种如权利要求1所述的激光器设备以及一种如权利要求10所述的标记物体的方法。
背景技术
如图1所示，在现有技术中，存在已知的激光器设备，其具有多个常常形状为管状并且被称为谐振管或者管道的被折叠的气体排放导管。折叠设计提供了由管道形成的长管状空间。由于激光器设备的输出功率是通过管状空间的长度，尤其是背光镜与输出耦合器之间的距离决定的，这种激光器设计能提供可观的输出功率。举例来说，这种激光器能被用于使用由该激光器设备耦合出的激光束来标记物体。
美国专利US5115446公开了一种用于法兰以及两条激光束光路的其他元件的承载结构。该承载结构具有位于两条激光束光路的几何中心平面区之间并且与之平行的一几何中心平面区，从而该承载结构包含第一激光束光路的法兰和第二激光束光路的法兰。
发明内容
本发明的目的在于提供一种激光器设备，尤其用于标记物体，其是紧凑的并且提供良好的标记质量。进一步的目的是提供一种用于标记物体的经济的方法。
根据本发明通过具有权利要求1的特征的一种激光器设备以及具有权利要求10的特征的一种方法以解决本发明的目的。优选实施例在从属权利要求中给出。
根据本发明，该激光器设备包括至少两个激光器单元，其堆叠成多层，每一个激光器单元被配置为发出激光束，并且每一个激光器单元包括：多个用于待激发气体的谐振管，这些谐振管互相机械连接并且形成共同的管状空间；连接元件，用于连接相邻的谐振管；用于谐振管的激发装置，用于激发谐振管中的气体来产生激光；反射镜，被设置在连接元件中，用于在谐振管之间反射激光；全反射背光镜；以及部分反射输出耦合器，用于耦合出激光束。
通过使用如上所述的激光器设备，标记物体的方法得以实现。激光器单元的激光束被定向至被谐振管包围的自由中央空间。在自由中央空间中，可以设置一个或者多个偏转装置来偏转激光束至将待标记的物体的范围。
本发明的激光器设备可以是一种气体激光器并且尤其可以是一种二氧化碳(CO2)激光器设备，其中在谐振器或者谐振管中的气体包含二氧化碳(CO2)。这种激光器设备的原理是本领域中公知的，从而在此将省略其详细描述。
该激光器设备尤其可以是一种打标头，并且被优选地使用于利用激光束标记或者雕刻物体。激光器单元的管道每一个都形成共同的管状空间，也可被称为激光器单元的谐振器。换句话说，激光器单元在各种情况下都包括了包含有多个可流体连通的管道的谐振器，也就是说谐振器间互相流体连接。
在谐振器中容纳有激发气体。该气体通过激发装置被激发，为了在谐振器和谐振管内分别产生激光。
背光镜，尤其是全反射镜，被设置在激光器单元的共同的管状空间的第一端。输出耦合器，尤其是部分反射镜，被设置在激光器单元的共同的管状空间的相对的第二端。因此，该谐振器被背光镜和输出耦合器确定于相对的轴向端。管状空间内的部分激光通过输出耦合器作为激光束被耦合出。
本发明的一个基本理念是要提供一种具有多个独立的激光器单元的激光器设备，每一个激光器单元具有激光束的激光束输出。因此，这些激光器单元构成了多束激光器的基本构建块。这些激光器单元被堆叠在彼此的顶部，从而提供了一个激光器单元的阵列。该激光器单元的阵列允许在将待标记的物体上创建点阵标记。依靠堆叠的激光器单元的数量，任何数量的点或者任何行数的代码都能被生成。这些堆叠的激光器单元可提供单片线性阵列。
每一个激光器单元具有独立的激光束输出。独立的激光器单元的激光输出被优选设置为一个线性阵列或者一条线。
根据本发明，优选地，激光器单元基本上是二维结构或者平面单元，其中气体排放导管被设置在一个单独的平面上。作为该激光器设备的核心构建块，激光器单元的二维几何形态允许了块的堆叠，并因此创建阵列。
于是，优选地，激光器单元的独立的管道被设置在一个平面上。即，第一激光器单元的管道被设置在第一平面上，第二激光器单元的管道被设置在第二平面上，以此类推。换句话说，每一个激光器单元的管道可被设置在一个独立的、分开的平面或者层面上。这提供了每个激光器单元的一种扁平设计，从而激光器单元能被轻易堆叠，由此形成一种带有多个堆叠的激光器单元的非常紧凑的激光器设备。基于该激光器单元的扁平设计，独立的激光束之间的距离可被最小化。
尤其优选地是，设置有至少一个激光器单元的谐振管的层面，是平板。该平板的二维结构在一个平面上延伸，允许了激光器单元的以简单方式的堆叠。
本发明的另一个优选实施例中，激光器单元的部分反射输出耦合器，尤其是部分反射镜，被配置为发出平行激光束。激光器单元的被耦合出的平行激光束可以通过偏转装置被进一步偏转，为了提供被应用于物体上的标记所需的形状和/或分辨率。
激光器设备的功率根本上是由管状空间或者谐振器的长度决定的，管状空间或者谐振器形成激光器设备的空腔，在空腔中激光在处于一端的背光镜和处于相对端的部分反射输出耦合器之间被反射。为了提供一种紧凑并且大功率的激光器设备，优选地，含有每个激光器单元的气体排放的谐振管被设置成被在谐振管之间的自由中央空间包围的开环或者闭环形状。基于谐振管的环形图形，该自由空间至少被管道部分包围。尤其地，该自由空间被管道定义在至少两侧面，并且是通过至少一个或者两个端面进入的。
相比于线形谐振器，通过折叠自由中央空间周围的谐振器，在不增加该激光器设备总长度的同时，谐振器的长度可被增加。此外，环形图形在该激光器设备内提供了自由空间，在该自由空间内可放置该激光器设备的附加部件。举例来说，这样的附加部件可以是诸如激发装置的驱动器的电子部件、透镜、或者用于激光束的偏转的附加镜。这样的部件可被稳定地容纳于该激光器设备中心的自由空腔内。环形设置还允许了管道的有效的冷却。
为了在该激光器设备的中心区域内提供自由空间，这些管道被设置成确定了该自由空间的回路或者环。这些管道尤其可以是直形管，即它们具有沿着直线延伸的纵轴，并在相邻的管道之间形成了拐角区域。因此，一个激光器单元的谐振器的形态还可以被描述为倾斜环，它可以是以环路为形态的闭环或者在谐振器的两根管道之间具有间隙的开环。
根据本发明，举例来说，如图1所示，在激光器单元的每两个相邻的激光管之间形成的角度优选地大于激光管的典型的折叠设计中的角度。该角度尤其优选地大于60°，更优选地为至少90°。根据本发明还优选地是，两根相邻的管道之间形成的角度均相等。
连接元件或者拐角法兰被设置在每一个激光器单元的谐振管之间的拐角处，并且在每一个情况下都与两根相邻的管道连接。在管道之间用于耦合激光的反射镜被容纳于连接元件内。这些还可被称为中间拐角法兰的连接元件或者拐角法兰优选地包含陶瓷材料。另外，在每一个激光器单元中可以有端部法兰，在共同的管状空间的相对的轴向端处与管道连接。这些端部法兰分别含有输出耦合器和背光镜。
通过激光器单元被配置为发出它们的激光束至被谐振管包围的自由中央空间内，获得一种非常紧凑的激光器设备，尤其是用于标记物体的激光器设备。为此，可在每一个激光器单元提供偏转镜，将传输通过输出耦合器的激光束偏转至自由中央空间的方向。还可被称为输出镜的偏转镜被优选地设置在各个激光器单元的谐振器外部。还可提供用于多个激光器单元的共同的输出镜，而不是提供多个独立的输出镜。
偏转激光束至被谐振管包围的空间的一个根本优势是，该激光器设备的附加部件，诸如透镜或者用于偏转和/或重新设置激光束的附加反射镜，可被放置于该激光器设备内，从而提供一种非常紧凑的设计。
本发明的一个优选实施例中，每一个激光器单元的谐振管被设置成三角形、矩形、正方形或者U形图形。在三角形图形中，每一个激光器单元的谐振器包含三根激光管，然而在矩形或者正方形图形中，谐振器由四根谐振管组成。在其他优选实施例中，五根或者更多的管道可被提供并且被设置成多边形形态。本发明的带有管道的环状设置的激光器单元的设计允许谐振器的几何形状被优化，举例来说被优化至所需求的功率和特定应用中的体积限制。U形图形作为开环或者回路的一种实施例，可具有较低的高度，并因此能适配到那些高度是集成约束的应用中。
在另一个优选实施例中，独立的激光器单元具有相等的形态。为了形成一种多束激光器设备，激光器单元的相同的形态或者形状允许了激光器单元的简易堆叠。优选地，相邻的激光器单元的邻近的谐振管具有相同的长度。这些激光器单元尤其可以是同样的结构。
在又一个优选实施例中，多个映射镜被设置在自由中央空间中，用于缩小独立激光器单元的激光束之间的间隔和/或重新设置激光束。尤其优选的是，对应每一激光器单元提供至少一块映射镜。
在另一个优选实施例中，提供了扫描设备，包含至少一块可移动的反射镜，用于将通过输出耦合器耦合出的激光束偏转至预定方向。该扫描设备可包含一块或者更多反射镜用于设在一起的激光器单元的所有激光束。
在一个尤其优选的实施例中，扫描设备被设置在被谐振管包围的自由中央空间中。这提供了一种紧凑的激光器设备，其中扫描设备被稳定地容纳于被谐振管包围的自由中央空间中。该扫描设备通过一个开口将激光束从该激光器设备的内部重定向至该激光器设备的外部，尤其是用于标记位于激光器设备外部的物体。
为了提供每一个激光器单元的共同的管状空间，根据本发明，优选地，激光器单元的连接元件每一个都包括内腔，该内腔可与各个与连接元件连接的激光器单元的至少两根相邻的谐振管流体连通。该内腔可具有在空腔的第一轴向端有第一轴向开口以及在空腔的第二轴向端有第二轴向开口的管状或者管道状形态。空腔的第一轴向端可与第一谐振管连接，并且空腔的第二轴向端可与第二谐振管连接。此外，该形成于连接法兰中的内腔可在拐角部分具有第三开口，反射镜可被附连到第三开口上，用于反射谐振管之间的激光。
每一个激光器单元的连接元件或者弯角件可被堆叠在彼此的顶部，并且通过连接装置连接。然而，在一个优选实施例中，激光器单元的多个连接元件被集成到在该激光器设备的拐角区域或者边缘形成的普通的支撑结构中，它们形成了弯角件或者拐角元件。优选地，普通的支撑结构的一个单独的基体延伸横穿几个激光器单元。该集成拐角结构减少了成本以及制造时间。
本发明的一个尤其优选的实施例中，每一个激光器单元的谐振管被设置成环路，并且每一个激光器单元包含连接在两根谐振管之间的集成输出法兰，该集成输出法兰包括各个激光器单元的输出耦合器和背光镜。激光器单元的封闭环路或者闭环增强了稳定性并且提供了一种尤其紧凑的设计。集成输出法兰被设置在每一个激光器单元的两根谐振管之间的拐角处。这些谐振管可被称为激光器单元的共同的管状空间的端谐振管。集成输出法兰，还可被称为连接元件，包括至少两块反射镜，即背光镜和输出耦合器。该集成输出法兰可在或者可不在与之连接的管道之间提供流体连接。
在一个优选实施例中，每一个激光器单元的背光镜被提供于集成输出法兰的第一面，且输出耦合器被提供于集成输出法兰的第二面。该第二面优选地相对于第一面倾斜。该第一面尤其可被设置为垂直于与集成输出法兰连接的第一谐振管，并且该第二面可被设置为垂直于与集成输出法兰连接的第二谐振管。
优选地，每一个激光器单元的集成输出法兰包括提供于第三面的输出镜，用于将传输通过输出耦合器的激光束偏转至预定方向。可以设置输出镜，该输出镜尤其可以是每一个激光器单元的集成输出法兰的第三反射镜，使得通过部分反射输出耦合器耦合出的激光束被偏转至被谐振管包围的自由中央空间中。
在一个优选实施例中，每一个激光器单元的集成输出法兰包括与谐振器的端谐振管连接的第一基体。该集成输出法兰进一步包括与第一基体连接的第二基体。在第一和第二基体之间形成了间隔或者间隙，于其中容纳有背光镜和输出耦合器至少其中一块。背光镜和/或输出耦合器优选地以气密方式与第一基体连接，并且定义了共同的管状空间的轴向端。
第一和/或第二基体包含空腔，用于通过部分反射输出耦合器耦合出的激光束。优选地，在第二基体的拐角部分，输出镜与第二基体连接，并且将激光束偏转至中央自由空间。
根据本发明，优选地，激光器单元的管状空间或者谐振腔在每一种情况下都是封闭的气体系统。这尤其意味着每一个激光器单元的谐振器都是完全封闭的空腔，并且没有恒定的气流通过谐振器。谐振器中的气体，也就是在共同的管状空间中的气体，仅当该激光器设备停止工作时，在一定的时间间隔内被替换。因此，并没有为通过管状空间的恒定气流提供气体进口和气体出口，也不需要泵送通过系统的气体的器材的空间。
用于至少一个谐振管的激发装置优选包含至少一个电极，尤其是射频电极。该电极尤其可以沿着谐振管的轴向长度延伸。出于对效率方面的考虑以及对谐振管中的气体的均匀激发，射频(RF)电感器可与电极连接。举例来说，该电极可具有螺旋线圈设计。这种方案的一个公知的问题是，射频电感器的螺旋线圈设计会大幅度增加该激光器设备的尺寸，代价高昂。
根据本发明，通过至少一个电极和/或射频(RF)电感器具有平面线圈设计，可获得一种尤其紧凑且扁平的激光器设备的设计。在该平面线圈设计中，线圈与电极尤其可被设置在一个单独的平坦的平面。在一个优选实施例中，线圈可被设置成盘旋形态。
尤其优选地，用于至少一个谐振管的激发装置包含至少两个沿着各个谐振管的纵轴延伸的电极。这两个电极尤其可被设置在谐振管的相对侧，举例来说，可以有上部电极和下部电极，它们都沿着谐振管的长度延伸。
附图说明
本发明将参考附图进一步地描述，其中：
图1所示的是根据现有技术的激光器设备的一种谐振管的设置；
图2所示的是根据本发明所述的带有堆叠的独立的拐角元件的激光器设备的一个实施例；
图3所示的是根据本发明所述的带有集成拐角结构的激光器设备的一个实施例；
图4所示的是根据本发明所述的包含映射镜和扫描设备的激光器设备的一个实施例；
图5所示的是根据本发明所述的包含望远镜（telescope）和扫描设备的激光器设备的一个实施例；
图6所示的是根据本发明所述的包含附连在该激光器设备中用于冷却谐振管的冷却板的激光器设备的一个实施例；
图7所示的是根据本发明所述的包含空气盾的激光器设备的一个实施例；
图8所示的是包含壳体的如图7所示的激光器设备；
图9所示的是根据本发明所述的带有U形激光器单元和空气盾的激光器设备的一个实施例；
图10所示的是包含壳体的如图4或图5所示的激光器设备；以及
图11所示的是根据本发明所述的电极的一个实施例。
在所有附图中，相同的或相应的组件由相同的附图标记标识。
具体实施方式
图1所示的是根据现有技术的激光器设备1’的谐振管12’的折叠设计。该激光器设备1’包含一个单独的激光器单元，该激光器单元发出一束单独的激光束。谐振管12’互相靠近设置，并且基本平行，以便提供一个小的横截面。
图2所示的是根据本发明的激光器设备1的第一个实施例。该激光器设备1包括多个以平行的方式一个接一个设置的激光器单元10。在所示的实施例中，该激光器设备1包含九个激光器单元10，允许横向于待标记的物体的移动方向的九个像素的分辨率。
该激光器设备1尤其可以是一种用于通过多束激光束标记物体的激光器设备。该激光器设备1还可被叫做用于标记物体的打标头。
独立的激光器单元10每一个都具有多根谐振管12，尤其可以是氧化铝管。激光器单元10的谐振管12形成了一部分可被称为各个激光器单元10的谐振器的共同的管状空间。管道12被以射频电极71为形态用于激发管道12中含有的气体的激发装置70至少部分闭合。用于激发在管道12内的气体的电极71基本上沿着谐振管12的整个长度延伸。内部电极71可被设置在谐振管12面向自由中央空间8的内侧，外部电极71可被设置在谐振管12外面。
该激光器设备1具有一种具有四个侧面和两个端面的立方体的形态。在该激光器设备1的内部区域形成了自由中央空间8。该空间8在该立方体激光器设备1的侧面上被激光器单元10的谐振管12包围。
在所示的实施例中，每一个激光器单元10包括被设置成正方形的四根谐振管12。然而，若不是正方形谐振器，该谐振器还可以呈矩形、U形或者三角形的形状。若不是由四条边组成的谐振器，它还可以由仅仅三条边或者四条以上边构成。该设计能被优化至所需求的功率和特定应用中的三维空间限制。
每一个激光器单元10的谐振管12被设置在独立的、分开的扁平层面上。每一根管道12具有纵轴。一个激光器单元10的管道12的纵轴在一个共同的平面上延伸。激光器单元10基本上是同样的并且以平行的方式被堆叠在彼此的顶部。激光器单元10通过合适的连接设备，诸如螺栓、螺丝及类似设备，互相连接。
每一个激光器单元10的四个角中的三个角内，连接元件20、21，优选地以陶瓷三角形为形态，被设置用于连接相邻的谐振管12。每一个连接元件20、21具有一块反射镜22，用于将激光从一根管道12反射至相邻的管道12，由此耦合管道12之间的激光能量。连接元件20、21每一个都具有基体24，管道12与之连接。反射镜22被附连到基体24上。
每一个激光器单元10在一根管道12的轴向端处包括背光镜44。此外，每一个激光器单元具有被设置在另一根管道12的轴向端处的输出耦合器42。背光镜44和输出耦合器42形成了共同的管状空间的轴向端，也就是激光器单元10的谐振器的轴向端。输出耦合器42是部分反射镜，将管状空间内的部分激光反射并且耦合出激光束。
每一个激光器单元10的激光束在各个激光器单元10的拐角区域被耦合出，以便激光束的线性阵列在该立方体激光器设备1的拐角处或者边缘处被耦合出。换句话说，激光器单元的输出被设置成沿着该立方体一条边缘的线，形成了该激光器设备1的多束输出2。
在图2的图示实施例中，每一个激光器单元10的两根谐振管12，可被叫做端谐振管，通过集成输出法兰40互相连接。也就是说，构造第四个拐角，使得一个面56含有背光镜44，且另一个面58含有部分反射输出耦合器42。
激光器单元的集成输出法兰40包括第一内部基体50以及第二外部基体52。在第一和第二基体50、52之间形成了内腔或者间隔62。背光镜44和输出耦合器42被设置在间隔62内。第一基体50进一步包含两个用于容纳两根相邻的管道12的通孔。
在集成输出法兰40的拐角区域，提供了输出镜46，用于将通过输出耦合器42耦合出的激光束反射至预定方向。设置输出镜46，使得激光束被反射至该激光器设备1的自由中央空间8中。输出镜46与集成输出法兰40的第二基体52连接。尤其地，输出镜46被安装在相对于第一和第二面56、58倾斜的第三面60上。第三面60是第二基体52的拐角面。安装法兰或者连接法兰54被提供用于连接相邻的激光器单元10。
在集成输出法兰40的第一基体50中形成了输出孔48，通过该孔，被输出镜46偏转的激光束可传输至自由中央空间8。激光器单元10的输出孔48形成了激光器单元10的独立的激光输出。
连接元件20、21，连接元件21，它们之二具有额外的用于连接气藏管14的入口部。该气藏管14没有激发装置，并且向激光器单元10的谐振管12供给了额外的气镇。在一个优选实施例中，每一个的激光器单元10包括至少一个气藏管14。
激光器单元10的气藏管14被设置成平行于一根谐振管12。气藏管可具有不同的尺寸，尤其是具有比谐振管12更大的直径。
图3所示的是本发明的激光器设备1的第二个实施例。这个激光器设备1不具有额外的气镇管道，并且激光器单元10的激光束被定向至外部，而不是被谐振管12包围的自由中央空间8。此外，独立的激光器单元10的拐角元件20和集成输出法兰40被集成到延伸横穿几个或者所有激光器单元10的整体拐角元件34、64中。一般可以理解的是，在本申请的不同的图中显示的特征还能被结合。
如图3所示的激光器设备1具有设置在立方体激光器设备1的边缘处的三个拐角元件34，每一个激光器单元10的两根谐振管12与它们连接。拐角元件34具有整体基体24，包括谐振管12可连接到的多个孔。用于连接管道12的孔被设置成两个线性阵列。普通的反射镜元件22与基体24连接，用于在谐振管12之间耦合激光器单元10的激光。
在该立方体激光器设备1的第四个拐角中，包括了多个集成输出法兰40的拐角元件64被设置。拐角元件64具有沿着几个或者所有激光器单元10延伸的整体基体66。拐角元件64包括多个输出耦合器42和多个背光镜44。该基体66是由沿着该立方体激光器设备1的边缘延伸的单件形成的。
如图4所示的是根据本发明的激光器设备1的另一个实施例。根据这个实施例的激光器设备基本上对应于如图2所示的激光器设备。另外，该激光器设备1包括像素映射器90，包括多块映射镜92。映射镜92被用作将激光束的线性设置映射成另一种设置，和/或用作缩小独立的激光器单元10的光束之间的间隔。在一个优选实施例中，对应每一激光器单元10有至少一块映射镜92。独立输出的阵列的光束被输入至被设置在该立方体的内部的像素映射器90。
此外，扫描设备80被设置在该激光器设备1的自由中央空间8中。该扫描设备80包含两块可移动的反射镜82，每一块都安装在振镜84上。激光器单元10的激光束被定向至可移动的反射镜82上。根据本应用的需求，振镜扫描器被用来在输出光学仪器的视场内移动光束。另外，多个透镜96可被设置，尤其是在激光束的输出48和映射镜92之间。此外，可提供一个或多个附加偏转镜94，用于偏转激光束的阵列。
图5所示的是本发明的激光器设备1的另一个实施例的内部结构。如前，该激光器设备1或者打印头具有一种立方体轮廓，在该立方体两个面之间的一个拐角中有着激光束输出。该激光器阵列是由矩形二维激光器构建块或者单元10的堆叠构成的。用于驱动谐振管12的激发装置70，射频驱动6被设置在中央空间8中。多个望远镜98被设置在输出孔48和扫描设备80之间的激光束的光路上。冷却块76被附连到那些设置有谐振管12的立方体激光器设备1的外部。冷却块76具有多个通道，通过该通道，冷却液可循环。
图6所示的是连同有激发装置70和被附连到谐振管12上的冷却块76的图3的激光器设备。该立方体激光器设备1的每一边有一个冷却块76，冷却不同的激光器设备10的多根谐振管12。激发装置70，尤其是电极71，可被集成到冷却块76中。
图7和图8所示的是本发明的激光器设备1的另一个实施例。呈正方形几何形状的二维激光器单元10的堆叠与在多光束输出2上的保护罩一同被示出。这个保护罩可由风刀或者空气盾4组成，利用正气压来阻止微粒和水分接触激光器的输出光学仪器。该模块的背面所示的是用于附连连接缆（umbilical）7的连接输入。图8所示的是带有罩子或者壳体5的完整的模块以及连接缆7。在图7中，罩子5已经从边上移除，为了示出在立方体形状的打印头模块的中央部分，用于激发装置70的驱动6的设置。
图9所示的是另一个实施例，借此，阵列由一堆替代正方形模块的U形模块或者单元10构成。U形模块可具有较低的高度，并因此能适配到高度是集成约束的应用中。支撑装置18被设置在端部法兰之间，即包括输出耦合器42的输出法兰41和包括背光镜44的背部法兰43之间，来提供激光头更好的稳定性。
图10所示的是在其内部带有扫描设备的打标头的外观。激光器单元的激光束被定向至该激光器设备1的内部空间并且通过在端面3的开口被扫描设备重定向。该开口形成了该激光器设备1的多束输出2。
图11所示的是根据本发明的激发装置70。激发装置70或者电极71包括被以盘旋的方式设置在一个单独平面上的一组或者多组线圈72。线圈72被设置在安装板74上。

Claims (10)

1.一种激光器设备，包括至少两个激光器单元(10)，堆叠成多层，每一个激光器单元(10)被配置为发出激光束，并且每一个激光器单元(10)包括：
-多个用于待激发气体的谐振管(12)，所述谐振管(12)被设置成环路并且互相机械连接并且形成共同的管状空间；
-连接元件(20)，用于连接相邻的谐振管(12)；
-用于谐振管(12)的激发装置(70)，用于激发所述谐振管(12)中的气体来产生激光；
-反射镜(22)，被设置在所述连接元件(20)中，用于在所述谐振管(12)之间反射激光；
-部分反射输出耦合器(42)，用于耦合出激光束；
-背光镜(44)；以及
-连接在两根谐振管(12)之间的集成输出法兰(40)，所述集成输出法兰(40)包括所述输出耦合器(42)和所述背光镜(44)，其中所述背光镜(44)被提供于所述集成输出法兰(40)的第一面(56)，并且所述输出耦合器(42)被提供于所述集成输出法兰(40)的第二面(58)；
其特征在于：
每一个激光器单元(10)的所述集成输出法兰(40)包括提供于第三面(60)的输出镜(46)，用于将传输通过所述输出耦合器(42)的所述激光束偏转至被所述谐振管(12)包围的中央空间(8)中；以及
在被所述谐振管(12)包围的所述中央空间(8)中设置扫描设备(80)，所述扫描设备(80)包含至少一块可移动的反射镜(82)，用于将通过所述激光器单元(10)的所述输出耦合器(42)耦合出的所述激光束偏转至预定方向。
2.如权利要求1所述的激光器设备，其特征在于：层是平坦的平面，至少一个所述激光器单元(10)的所述谐振管(12)被设置于其中。
3.如权利要求1或2所述的激光器设备，其特征在于：所述激光器单元(10)的所述部分反射输出耦合器(42)被配置为发出平行激光束。
4.如权利要求1至3任一项所述的激光器设备，其特征在于：每一个激光器单元(10)的所述谐振管(12)被设置成包围在它们之间的所述中央空间(8)的闭环的形状。
5.如权利要求1至4任一项所述的激光器设备，其特征在于：所述激光器单元(10)被配置为发出它们的激光束至被所述谐振管(12)包围的所述中央空间(8)中。
6.如权利要求1至5任一项所述的激光器设备，其特征在于：每一个激光器单元(10)的所述谐振管(12)被设置成三角形、矩形、正方形或者U形图形。
7.如权利要求1至6任一项所述的激光器设备，其特征在于：所述激光器单元(10)具有相等的形态。
8.如权利要求1至7任一项所述的激光器设备，其特征在于：所述激光器单元(10)的所述连接元件(20)每一个包括内腔，所述内腔与所述至少两个与所述连接元件(20)连接的相邻的谐振管(12)流体连通。
9.如权利要求1至8任一项所述的激光器设备，其特征在于：所述激光器单元(10)的多个连接元件(20)被集成到在所述激光器设备(1)的拐角区域形成的普通的支撑结构(34)中。
10.一种使用激光器设备，尤其是如权利要求1至9任一项所述的激光器设备，标记物体的方法，包括至少两个激光器单元(10)，堆叠成多层，每一个激光器单元(10)被配置为发出激光束，并且每一个激光器单元(10)包括：
-多个用于待激发气体的谐振管(12)，所述谐振管(12)被设置成环路并且互相机械连接并且形成共同的管状空间(8)；
-连接元件(20)，用于连接相邻的谐振管(12)；
-用于谐振管(12)的激发装置(70)，用于激发所述谐振管(12)中的气体从而产生激光；
-反射镜(22)，被设置在所述连接元件(20)中，用于在所述谐振管(12)之间反射激光；
-部分反射输出耦合器(42)，用于耦合出激光束；
-背光镜(44)；以及
-连接在两根谐振管(12)之间的集成输出法兰(40)，所述集成输出法兰(40)包括所述输出耦合器(42)和所述背光镜(44)，其中所述背光镜(44)被提供于所述集成输出法兰(40)的第一面(56)，并且所述输出耦合器(42)被提供于所述集成输出法兰(40)的第二面(58)；
其特征在于：
-所述激光器单元(10)的激光束通过被提供于所述集成输出法兰(40)的第三面(60)的输出镜(46)被定向至被所述谐振管(12)包围的中央空间(8)中；
-通过设置在所述中央空间(8)的扫描设备(80)，所述激光束被偏转至预定方向；以及
-所述物体是使用通过所述扫描设备(80)被偏转的所述激光束被标记的。
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