DE10043269C2 - Diodengepumpter Laserverstärker - Google Patents
Diodengepumpter LaserverstärkerInfo
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Description
Die Erfindung betrifft einen diodengepumpten
Laserverstärker mit mindestens einem laseraktiven
Festkörpermedium, das von modenangepassten Strahlen einer
Pumpstrahlung und einer zu verstärkenden Laserstrahlung
durchsetzt ist und in dem sich infolge der eingestrahlten
Pumpstrahlung eine thermische Linse mit unterschiedlicher
Stärke in zueinander senkrechten Ebenen ausbildet.
Es ist allgemein bekannt, dass Grundmodeoszillatoren im
Festkörperlaserbereich aufgrund der optothermischen
Eigenschaften der verwendeten laseraktiven Medien nur bis
zu einer bestimmten Ausgangsleistung ausgelegt werden
können. Zur Erzeugung hoher Leistungen werden Oszillatoren
deshalb häufig mit im Strahlengang nachgeordneten
Laserverstärkern kombiniert, mit denen die hohe
Strahlqualität der Oszillatorstrahlung aufrechterhalten
werden kann.
Eine solche Oszillator-Verstärker-Anordnung hat auch den
Vorteil, einen Oszillator gezielt mit relativ niedriger
Leistung betreiben zu können. Bei einem modengekoppelten
Kurzpulslaser kann auf diese Weise ein resonatorintern
angeordneter sättigbarer Halbleiterabsorber vor einer zu
starken Belastung geschützt werden.
Bekannte Anordnungen, wie z. B. nach der US 5 237 584,
haben den Nachteil einer hohen Justierempfindlichkeit. Dem
aus mehreren Stufen bestehenden Verstärker wird die
Oszillator-Ausgangsstrahlung modenangepasst zugeführt. Der
Verstärker enthält diodengepumpte Laserkristalle mit
gegenüberliegend angeordneten Faltspiegeln. Zur
Kompensation der sich in den Kristallen ausbildenden
starken thermischen Linsen ist eine hochgenaue Abstimmung
der Krümmungsradien der Spiegel und deren Abstände zu den
Laserkristallen erforderlich. Ansonsten ist ein stabiles
optisches System nicht gewährleistet. Gravierender
Nachteil in solchen seriellen Aufbauten ist, dass
individuelle Exemplarschwankungen immer nachjustiert
werden müssen. Bereits geringfügige Änderungen, wie z. B.
alterungsbedingte oder andere Schwankungen der
Diodenparameter sowie Exemplarschwankungen der Kristalle
führen durch die sehr geringe Toleranzbreite zum
Systemzusammenbruch.
Noch stärker ausgeprägt sind die genannten Nachteile bei
einem Lasersystem nach der US 5 696 786, da hier auf
zwischenabbildende Elemente verzichtet wird und somit
keine Möglichkeiten einer Anpassung des Strahlengangs
hinsichtlich der thermischen Linsen existieren. Solche
Laseranordnungen haben typischerweise nur kleine
Betriebsfenster bezüglich der Diodenströme.
Alternativ kann der gefaltete Strahlengang auch in einem
Kristall realisiert werden (US 5 271 031), indem mehrfach
hintereinander verschiedene gepumpte Bereiche dieses
Kristalls durchlaufen werden. Auch diese Anordnung weist
die Nachteile der US 5 696 786 auf.
Schließlich ist es nach der DE 195 21 943 für eine
longitudinal gepumpte Festkörperlaservorrichtung bekannt,
dass sich mit einem langgestreckten Pumpspot aufgrund des
sich in dem Laserkristall ausbildenden Isothermenfeldes
von der Gestalt relativ flacher Ellipsen spontan und
unkontrolliert konvexe torische oder Zylinderlinsen
erzeugen lassen.
Aufgabe der Erfindung ist es, die Toleranz der
Verstärkeranordnung gegenüber Schwankungen der
Eingangsparameter wesentlich zu erhöhen, so dass auf
Feinabstimmungen zur Gewährleistung der Stabilität des
Verstärkers verzichtet werden kann.
Die Aufgabe wird durch einen diodengepumpten
Laserverstärker mit mindestens einem laseraktiven
Festkörpermedium gelöst, das von modenangepassten Strahlen
einer Pumpstrahlung und einer zu verstärkenden
Laserstrahlung durchsetzt ist und in dem sich infolge der
eingestrahlten Pumpstrahlung eine thermische Linse mit
unterschiedlicher Stärke in zueinander senkrechten Ebenen
ausbildet, indem der Strahl der Laserstrahlung in der
Ebene mit starker thermischer Linse fokussiert in das
laseraktive Festkörpermedium gerichtet ist, wobei eine
sich bildende Strahltaille im Bereich der thermischen
Linse liegt.
Zur Strahltaillenbildung dient ein in der Ebene mit
starker thermischer Linse fokussierendes Element, z. B. in
Form einer Zylinderlinse, die, mit dem Abstand ihrer
Brennweite vom Ort der thermischen Linse entfernt, im
Strahlengang der Laserstrahlung angeordnet ist.
Da der herzustellende Abstand zwischen der Zylinderlinse
und dem laseraktiven Medium keine Funktion der thermischen
Linse ist, reicht die einmalige Einstellung des nominalen
Abstandes der Brennweite aus. Individuelle thermische
Linsen, wie sie in laseraktiven Festkörpermedien bei
Verstärkern mit mehreren Verstärkerstufen vorzufinden
sind, brauchen zur Herstellung eines stabilen Systems
nicht mehr berücksichtigt werden. Es hat sich gezeigt,
dass eine im Bereich einer Strahltaille liegende
thermische Linse die Strahlpropagation nicht beeinflusst.
Im Gegensatz zu den Lösungen des Standes der Technik, bei
denen der Einfluss von thermischen Linseneffekten auf den
Strahlenverlauf durch hochempfindliche Justierarbeiten
kompensiert werden muss, ist die Wirkung der thermischen
Linse bei der Erfindung bereits durch die
Verstärkerkonfiguration praktisch beseitigt. Der
Laserstrahl erfährt eine Modenanpassung, die in Ebenen mit
unterschiedlich starken thermischen Linsen unabhängig
voneinander ist. Da dadurch Verstärkung, Strahlqualität
und Strahlparameter des Verstärkers auch unempfindlich
gegenüber Schwankungen der Diodenparameter sind, können
die als Laserdiodenzeilen ausgebildeten Pumpdioden
elektrisch in Serie und bei derselben Temperatur betrieben
werden. Durch voneinander verschiedene individuelle
Diodenlaserkennlinien und spektrale Eigenschaften
hervorgerufene unterschiedliche thermische Linsen
verlieren im Gegensatz zu den Lösungen des Standes der
Technik ebenfalls ihre Wirkung und brauchen nicht durch
aufwendige Justiermaßnahmen ausgeglichen werden.
Mit Hilfe der Erfindung lässt sich ein kompakter,
kostengünstiger Verstärker aufbauen, welcher in der Anzahl
seiner streng modularen Verstärkerstufen skalierbar ist,
indem der Ausgang einer jeden Verstärkerstufe, mit
Ausnahme einer Endstufe, den Eingang einer nachfolgenden
Verstärkerstufe bildet. Es wird eine Verstärkeranordnung
zur Verfügung gestellt, bei der trotz einer vorhandenen
geringen Exemplarschwankung des Verstärkers breite
Fertigungstoleranzen bei der Herstellung der benötigten
einfachen Standardkomponenten zugelassen sind.
Mit der Anordnung kann die Strahlung von Oszillatoren mit
niedriger Leistung und insbesondere bei modengekoppeltem
Betriebsregime unter Beibehaltung der vom Oszillator
definierten und durch die Beugungsmaßzahl M2 bestimmten
Strahlqualität verstärkt werden. Es ist gelungen, einen
seriellen Verstärker mit hoher Stabilität und
Reproduzierbarkeit aufzubauen. Des weiteren kann mit Hilfe
der Erfindung der Einsatz von preiserhöhenden und die
Effektivität verschlechternden Strahlformungsoptiken für
die Pumpdioden vermieden werden, mit denen sonst eine
Umordnung im Sinne einer Symmetrisierung der
Strahlparameterprodukte für die schnelle und die langsame
Achse der Diode erfolgt.
Vorteilhafterweise wird als Pumpstrahlenquelle mindestens
eine Laserdiodenzeile eingesetzt, bei der Mittel zur
Kollimation der schnellen Achse und Mittel zum Fokussieren
der Diodenstrahlung in einen elliptischen Pumpfokus zur
Erzeugung der in zueinander senkrechten Ebenen mit
unterschiedlicher Stärke ausgebildeten thermischen Linse
vorgesehen sind.
Zur Verbesserung der Strahlqualität der Laserdiodenzeile
kann auch eine zusätzliche Kollimation der langsamen Achse
vorteilhaft sein.
Für die Einstellung der Polarisation kann eine λ/2-
Phasenverzögerungsplatte vorgesehen sein.
Die Pumpstrahlung und die Laserstrahlung sind durch sich
gegenüberliegende Strahldurchtrittsflächen in das
laseraktive Festkörpermedium gerichtet. Da die
Strahldurchtrittsfläche für die Pumpstrahlung
hochreflektierend für die Wellenlänge der Laserstrahlung
ausgebildet ist, tritt die Laserstrahlung nach einer
Reflexion erneut durch das laseraktive Festkörpermedium
und das fokussierende Element hindurch.
Ein zur Laserstrahlaufweitung in der Ebene mit schwacher
thermischer Linse dienendes optisches Element am Eingang
des Verstärkers kann als Zylinderlinsen-Galilei-Teleskop
oder als anamorphotisches Prismenpaar ausgebildet sein.
Es ist von Vorteil, wenn im Strahlengang der
Laserstrahlung mindestens ein abbildendes Element zur
Kompensation der in der einen Ebene schwachen thermischen
Linse vorgesehen ist. Das kann entweder ein als
Faltspiegel ausgelegter Zylinderspiegel oder sphärischer
Spiegel sein oder man ordnet im Strahlengang des aus dem
laseraktiven Festkörpermedium austretenden Laserstrahls
eine langbrennweitige konvexe Zylinderlinse oder eine
langbrennweitige sphärische Linse an.
Als laseraktives Festkörpermedium kann ein Nd.YVO4-
Kristall mit 0,5% Dotierung dienen, der mit einer
Wellenlänge in einem Bereich von 803 nm bis 809 nm gepumpt
wird.
Die Erfindung soll nachstehend anhand der schematischen
Zeichnung näher erläutert werden. Es zeigen:
Fig. 1 den Aufbau eines Verstärkermoduls
Fig. 2 den Strahlengang im Verstärkermodul in der
Sagittalebene
Fig. 3 den Strahlengang im Verstärkermodul in der
Tangentialebene
Fig. 4 einen vierstufigen Verstärker, bestehend aus
vier Verstärkermodulen
Fig. 5 den Verlauf des Strahldurchmessers in einem
Verstärker gemäß Fig. 4 in der Sagittalebene
Fig. 6 den Strahldurchmesser in den Laserkristallen
des Verstärkers nach Fig. 4 in Abhängigkeit
von der Stärke der thermischen Linse in der
Sagittalebene
Fig. 7 den Strahldurchmesser am Verstärkerausgang des
Verstärkers nach Fig. 4 in Abhängigkeit von
der Stärke der thermischen Linse in der
Sagittalebene
Fig. 8 den Verlauf des Strahldurchmessers im
Verstärker gemäß Fig. 4 in der Tangentialebene
Das in Fig. 1 dargestellte Verstärkermodul dient zur
Verstärkung einer Laserstrahlung, insbesondere eines
kollimierten Laserstrahls 1, der von einem
nichtdargestellten Oszillator erzeugt wird und im
vorliegenden Ausführungsbeispiel von kreisförmigem
Strahlquerschnitt Qkr ist.
Ein als Laserkristall 2 ausgeführtes laseraktives
Festkörpermedium weist zwei sich gegenüberliegende
Strahldurchtrittsflächen 3, 4 auf, von denen eine
unmittelbar benachbart zu einem Pumpspiegel 5 angeordnet
ist. Der Pumpspiegel 5, der auch als
Oberflächenbeschichtung der Strahldurchtrittsfläche 4
ausgebildet sein kann, ist für die Pumpwellenlänge
durchlässig und für die Wellenlänge der Laserstrahlung
hochreflektierend. Die optisch aktive
die Laserwellenlänge in Normalschnitt anti-reflektierend
beschichtet sein. Die erforderliche Pumpwellenlänge liegt
für den vorzugsweise als Nd:YVO4-Kristall mit einer
beispielsweise 0,5%igen Dotierung ausgebildeten
Laserkristall 2 zwischen 803 und 809 nm. Für das
vorliegende Ausführungsbeispiel sind Kristalle in den
Abmessungen von 1 × 4 × 4 mm3 geeignet. Außer Nd:YVO4
Kristallen können auch andere Seltenerd-dotierte Kristalle
verwendet werden.
Der eingestrahlte Laserstrahl 1 wird zunächst in einer
ersten Ebene, der Tangentialebene Etan, mittels eines
Zylinderlinsen-Galilei-Teleskops 6 in einen elliptischen
Strahlquerschnitt Qel von geringem Halbachsenverhältnis
(Aufweitung um das 2 bis 3-fache) entsprechend dem
Vergrößerungsfaktor des Teleskops 6 aufgeweitet.
Alternativ kann dafür auch ein anamorphotisches
Prismenpaar verwendet werden. Sofern der Oszillator
bereits einen elliptischen Laserstrahl zur Verfügung
stellt, kann selbstverständlich auf die eingangsseitige
Strahlformung verzichtet werden. Ein im Strahlengang
nachgeordneter erster Faltspiegel 7 lenkt den Laserstrahl
1 durch eine Zylinderlinse 8, die den kollimierten
Laserstrahl 1 in einer zweiten Ebene, der Sagittalebene
Esag, in den Laserkristall 2 fokussiert. Der in der
Tangentialebene Etan nach wie vor kollimierte Laserstrahl 1
(Fig. 3) durchsetzt den Laserkristall 2, modenangepasst
zum Pumpstrahl, mit einem stark elliptischen Fokus Qstel.
Die Zylinderlinse 8 ist im Abstand ihrer Brennweite fzyl
von einer sich im Laserkristall 2 bildenden thermischen
Linse TL angeordnet, so dass die entstehende Strahltaille
in deren Bereich liegt (Fig. 2).
Der an dem Pumpspiegel 5 reflektierte Laserstrahl 1 ist
nach seinem zweiten Durchtritt durch die Zylinderlinse 8
auch in der Sagittalebene Esag wieder kollimiert mit dem
gleichen elliptischen Querschnitt wie vor dem ersten
Durchtritt durch die Zylinderlinse 8.
Zur Pumpstrahlerzeugung ist ein Diodenlasermodul 9
vorgesehen, das in einem nichtdargestellten abgedichteten
Gehäuse mindestens eine Laserdiodenzeile 10 mit einer
Kollimationsoptik 11 für die schnelle Achse, eine
optionale λ/2-Phasenverzögerungsplatte 12 zur Einstellung
der Polarisation und eine Asphäre 13 zur
Pumpstrahlfokussierung in den Laserkristall 2 enthält.
Nicht dargestellt ist eine optionale Kollimation der
langsamen Achse zur Verbesserung der Strahlqualität der
Laserdiodenzeile 10. Des weiteren ist es auch möglich,
anstatt der Asphäre 13 eine sphärische Linse oder
Linsenanordnung zu verwenden.
Das Gehäuse schützt die Modulelemente vor Staub, Feuchte,
chemischen Dämpfen, elektrostatischer Entladung und
mechanischer Beschädigung. Die Laserdiodenzeile 10 ist mit
geeigneten Montagetechnologien auf einem als Wärmesenke
dienenden Kupferkörper 14 befestigt.
Der mit diesen Mitteln erzeugte Pumpstrahl ist wie der
Laserstrahl 1 stark elliptisch ausgebildet, wobei der
Strahlquerschnitt innerhalb des quasi-longitudinal
gepumpten Laserkristalls 2 durch eine Ausdehnung in der
sagittalen Ebene von beispielsweise 1 µm bis 500 µm und in
der tangentialen Ebene von beispielsweise 0,5 mm bis 3 mm
gekennzeichnet ist. Ein derartig elliptisch ausgebildeter
Pumpstrahl verursacht in dem Laserkristall 2 eine
thermische Linse, die in den zueinander senkrecht
stehenden Ebenen Esag und Etan aufgrund eines
richtungsabhängig unterschiedlichen Temperaturgradienten
verschieden stark ausgebildet ist. So können die
Brennweiten der thermischen Linse in der Sagittalebene
Esag, in der auch die schnelle Achse der Laserdiodenzeile
10 verläuft, in einem Bereich von 40 mm bis 200 mm und in
der Tangentialebene Etan von 1000 mm bis 4000 mm liegen.
Die thermische Linse in der Tangentialebene Etan besitzt
aufgrund ihrer langen Brennweite kaum eine störende
abbildende Funktion in Bezug auf den zu verstärkenden
Laserstrahl 1. Mit zunehmender Brennweite kann die Wirkung
praktisch ausgeschlossen werden.
Eine schwache Restwirkung der thermischen Linse in der
Tangentialebene Etan kann aber auch in einfacher Weise
durch zusätzlich im Verstärkermodul angeordnete abbildende
Elemente, wie durch eine langbrennweitige, konvex
gekrümmte Zylinderlinse oder eine sphärische Linse oder
aber durch eine besondere Ausbildung vorhandener Elemente
kompensiert werden. Dafür kann ein im Strahlengang am
Ausgang des Verstärkermoduls angeordneter zweiter
Faltspiegel 15 benutzt werden, mit dem der Laserstrahl 1
durch Reflexion beispielsweise einer nächsten
Verstärkerstufe in Form eines weiteren Verstärkermoduls
zur Verfügung gestellt werden kann. Der hier gestrichelt
dargestellte Faltspiegel 15 ist zu diesem Zweck
zylindrisch oder sphärisch konvex auszuführen und
erforderlichenfalls entsprechend zu neigen. Beim Einsatz
von sphärischen Spiegeln ist die Beeinflussung der
Strahlung in der Sagittalebene Esag aufgrund von großen
Krümmungsradien nur gering, was in Fig. 5 deutlich wird.
Das trifft auch auf die langbrennweitigen sphärischen
Linsen zu, da in der Sagittalebene Esag nur
kurzbrennweitige Linsen die Abbildung bestimmen. In jedem
Fall ist eine unabhängige Anpassung der Moden in der
Tangentialebene Etan über die Einstellung des
Linsenabstands im Zylinderlinsenteleskop 6 möglich.
Sofern eine Korrektur der Restwirkung der thermischen
Linse TL in der Tangentialebene Etan nicht erforderlich ist
oder durch Korrekturlinsen erfolgt, kann der zweite
Faltspiegel 15 auch als Planspiegel ausgebildet sein.
Der in Fig. 4 dargestellte mehrstufige Verstärker enthält
eine der Anzahl der Verstärkerstufen angepasste Zahl an
Verstärkermodulen, deren Elemente gleichbezeichnet zu den
Elementen in Fig. 1 sind. Die den Laserkristallen 2
zugeordneten Diodenlasermodule 9 bilden die
Pumpeinrichtung für den Verstärker. Die einzelnen
Laserdiodenzeilen 10 werden elektrisch vorzugsweise in
Serienschaltung und bei derselben Diodentemperatur
betrieben.
Dem hier pro Verstärkerstufe vorgesehenen Laserkristall
können auch mehrere Laserdiodenzeilen zugeordnet sein.
Denkbar sind aber ebenso auch Anordnungen mit mehreren
Laserkristallen pro Laserdiodenzeile.
Für die abbildenden Elemente vorgesehene Justiermittel 16
bis 22 dienen dazu, einen justierten Zustand für den
Verstärker herzustellen. Da dieser Zustand ebenso wie der
durch die Brennweite fzyl bestimmte Abstand zwischen der
Zylinderlinse 8 und der thermischen Linse unabhängig von
der Größe der starken thermischen Linse in der
Sagittalebene Esag ist, sind weitere Anpassungen,
insbesondere bei einer Änderung des Diodenstromes nicht
erforderlich.
Während die Modenanpassung in Fig. 1 nur eingangsseitig
zum Verstärkermodul mit Hilfe von Zylinderlinsen erfolgt,
ist, basierend auf der Symmetrie der Anordnung, auch am
Ausgang eine geeignete Modenanpassung in Form eines
Zylinderlinsenteleskops 23 vorgesehen, um zueinander
symmetrische Strahlen am Eingang- und am Ausgang zu
erzeugen. Die weit unterhalb ihrer Bruchgrenze betriebenen
Laserkristalle 2 sind mit Hilfe von geeigneten
Montagetechnologien, wie Löten, Pressen in Indium oder
Kleben auf einer Wärmesenke 24 befestigt.
Der mehrstufige Verstärker gemäß Fig. 4 weist die in den
Fig. 5 bis 8 dargestellten Strahlcharakteristika auf.
In Abhängigkeit vom Abstand zu dem nichtdargestellten
Oszillator ist der Strahldurchmesser des Laserstrahls 1 in
der Sagittalebene Esag hauptsächlich durch die Wirkung der
Zylinderlinsen 8 bestimmt (Fig. 5). Je stärker die Wirkung
der Zylinderlinsen 8 ist, desto geringer wirken sich
Fluktuationen im System aus. Der Einfluss der sphärisch
konvex ausgeführten Faltspiegel 15 ist durch das hohe
Brennweitenverhältnis zwischen den langen
Spiegelbrennweiten in der Tangentialebene Etan und den
kurzen Brennweiten der Zylinderlinsen 9 in der
Sagittalebene Esag ausreichend korrigiert. Die in der
Sagittalebene Esag starken thermischen Linsen TLsag wirken
sich nicht in störender Weise auf die Strahlpropagation im
Laserkristall 2 (Fig. 6) und am Ausgang des Verstärkers
(Fig. 7) aus. In beiden Fällen sind mit einer Veränderung
der Brennweite der starken thermischen Linsen TLsag nur
geringfügige Schwankungen der Strahldurchmesser verbunden.
Gemäß Fig. 8 durchläuft der durch ein
Zylinderlinsenteleskop 6 in der Tangentialebene Etan
aufgeweitete Laserstrahl 1 schwache thermische Linsen
TLtan, wobei eine Korrektur mit Hilfe der sphärisch konvex
ausgeführten Faltspiegel 15 erfolgt. Am Verstärkerausgang
findet eine Symmetrisierung mit Hilfe des
Zylinderlinsenteleskops 23 statt. Zu beachten ist, dass in
der Tangentialebene Etan die wesentlich schlechtere
Pumpstrahlqualität der langsamen Achse wirksam ist.
Claims (15)
1. Diodengepumpter Laserverstärker mit mindestens einem
laseraktiven Festkörpermedium, das von modenangepassten
Strahlen einer Pumpstrahlung und einer zu verstärkenden
Laserstrahlung durchsetzt ist und in dem sich infolge
der eingestrahlten Pumpstrahlung eine thermische Linse
mit unterschiedlicher Stärke in zueinander senkrechten
Ebenen ausbildet, dadurch gekennzeichnet, dass der
Strahl (1) der Laserstrahlung in der Ebene mit starker
thermischer Linse fokussiert in das laseraktive Medium
gerichtet ist, wobei eine sich bildende Strahltaille im
Bereich der thermischen Linse (TL) liegt.
2. Laserverstärker nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, dass als Pumpstrahlenquelle mindestens
eine Laserdiodenzeile (10) eingesetzt ist, bei der
Mittel zur Kollimation der schnellen Achse und Mittel
zum Fokussieren der Diodenstrahlung in einen
elliptischen Pumpfokus zur Erzeugung der in zueinander
senkrechten Ebenen mit unterschiedlicher Stärke
ausgebildeten thermischen Linse (TL) vorgesehen sind.
3. Laserverstärker nach Anspruch 2, dadurch
gekennzeichnet, dass zur Verbesserung der
Strahlqualität der Laserdiodenzeile zusätzlich eine
Kollimation der langsamen Achse vorgesehen ist.
4. Laserverstärker nach Anspruch 3, dadurch
gekennzeichnet, dass zur Einstellung der Polarisation
eine λ/2-Phasenverzögerungsplatte (12) vorgesehen ist.
5. Laserverstärker nach Anspruch 4, dadurch
gekennzeichnet, dass die Pumpstrahlung und die
Laserstrahlung durch sich gegenüberliegende
Strahldurchtrittsflächen (3, 4) in das laseraktive
Festkörpermedium gerichtet sind und die
Strahldurchtrittsfläche (4) für die Pumpstrahlung
hochreflektierend für die Wellenlänge der
Laserstrahlung ausgebildet ist, wodurch die
Laserstrahlung nach einer Reflexion erneut durch das
laseraktive Festkörpermedium und das fokussierende
Element hindurchtritt.
6. Laserverstärker nach Anspruch 5, dadurch
gekennzeichnet, dass dem Eingang des Verstärkers ein
optisches Element zur Laserstrahlaufweitung in der
Ebene mit schwacher thermischer Linse vorgeordnet ist.
7. Laserverstärker nach Anspruch 6, dadurch
gekennzeichnet, dass als optisches Element ein
Zylinderlinsen-Galilei-Teleskop (6) dient.
8. Laserverstärker nach Anspruch 6, dadurch
gekennzeichnet, dass als optisches Element ein
anamorphotisches Prismenpaar dient.
9. Laserverstärker nach Anspruch 7 oder 8, dadurch
gekennzeichnet, dass im Strahlengang der Laserstrahlung
mindestens ein abbildendes Element zur Kompensation der
in der einen Ebene schwachen thermischen Linse am
Verstärkerausgang vorgesehen ist.
10. Laserverstärker nach Anspruch 9, dadurch
gekennzeichnet, dass das abbildende Element ein am
Verstärkerausgang angeordneter, als Faltspiegel (15)
ausgelegter Zylinderspiegel ist.
11. Laserverstärker nach Anspruch 9, dadurch
gekennzeichnet, dass das abbildende Element ein am
Verstärkerausgang angeordneter als Faltspiegel (15)
ausgelegter sphärischer Spiegel ist.
12. Laserverstärker nach Anspruch 9, dadurch
gekennzeichnet, dass das abbildende Element eine im
Strahlengang des aus dem laseraktiven Festkörpermedium
austretenden Laserstrahls angeordnete langbrennweitige
konvexe Zylinderlinse ist.
13. Laserverstärker nach Anspruch 14, dadurch
gekennzeichnet, dass das abbildende Element eine im
Strahlengang des aus dem laseraktiven Festkörpermedium
austretenden Laserstrahls angeordnete langbrennweitige
sphärische Linse ist.
14. Laserverstärker nach Anspruch 10 bis 13, dadurch
gekennzeichnet, dass das laseraktive Festkörpermedium
ein Nd:YVO4-Kristall mit 0,5% Dotierung ist.
15. Laserverstärker nach Anspruch 14, dadurch
gekennzeichnet, dass die Pumpwellenlänge in einem
Bereich von 803 nm bis 809 nm liegt.
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US09/939,401 US6661568B2 (en) | 2000-08-29 | 2001-08-24 | Diode-pumped laser amplifier |
GB0120928A GB2370684B (en) | 2000-08-29 | 2001-08-29 | Diode-pumped laser amplifier |
JP2001259734A JP4374162B2 (ja) | 2000-08-29 | 2001-08-29 | ダイオードでポンピングされるレーザー増幅器 |
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DE10240599A1 (de) * | 2002-08-30 | 2004-03-18 | Jenoptik Laser, Optik, Systeme Gmbh | Anordnung und Verfahren zur Erzeugung ultrakurzer Laserimpulse |
US6898231B2 (en) * | 2002-11-21 | 2005-05-24 | Coherent, Inc. | Off-peak optical pumping of yttrium orthovanadate |
WO2005018062A2 (en) * | 2003-08-11 | 2005-02-24 | Raydiance, Inc. | Optical pulse stretching and compressing |
US8921733B2 (en) | 2003-08-11 | 2014-12-30 | Raydiance, Inc. | Methods and systems for trimming circuits |
US9022037B2 (en) | 2003-08-11 | 2015-05-05 | Raydiance, Inc. | Laser ablation method and apparatus having a feedback loop and control unit |
US7535633B2 (en) * | 2005-01-10 | 2009-05-19 | Kresimir Franjic | Laser amplifiers with high gain and small thermal aberrations |
US7386019B2 (en) | 2005-05-23 | 2008-06-10 | Time-Bandwidth Products Ag | Light pulse generating apparatus and method |
US9066194B2 (en) | 2005-07-14 | 2015-06-23 | Binj Laboratories, Inc. | System and method for detecting and controlling transmission devices |
CN100555016C (zh) * | 2005-09-09 | 2009-10-28 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 数码相机镜头及应用该镜头的数码相机模组 |
US20070098024A1 (en) * | 2005-10-28 | 2007-05-03 | Laserscope | High power, end pumped laser with off-peak pumping |
US9130344B2 (en) | 2006-01-23 | 2015-09-08 | Raydiance, Inc. | Automated laser tuning |
US8232687B2 (en) | 2006-04-26 | 2012-07-31 | Raydiance, Inc. | Intelligent laser interlock system |
US7408971B2 (en) * | 2006-02-28 | 2008-08-05 | Quantronix Corporation | Longitudinally pumped solid state laser and methods of making and using |
KR100815483B1 (ko) * | 2007-05-09 | 2008-03-20 | 한국전기연구원 | 비등방성 레이저 결정을 이용한 다이오드 펌핑된 레이저장치 |
US7573930B2 (en) * | 2007-06-14 | 2009-08-11 | Innovavent Gmbh | Anamorphotic solid-sate laser |
US7903326B2 (en) | 2007-11-30 | 2011-03-08 | Radiance, Inc. | Static phase mask for high-order spectral phase control in a hybrid chirped pulse amplifier system |
US7773655B2 (en) * | 2008-06-26 | 2010-08-10 | Vadim Chuyanov | High brightness laser diode module |
US20110164649A1 (en) * | 2008-09-05 | 2011-07-07 | Ams Research Corporation | Laser system having switchable power modes |
US8897326B2 (en) | 2008-09-08 | 2014-11-25 | Ams Research Corporation | Pump energy wavelength stabilization |
US8498538B2 (en) | 2008-11-14 | 2013-07-30 | Raydiance, Inc. | Compact monolithic dispersion compensator |
JP2011099631A (ja) * | 2009-11-06 | 2011-05-19 | Denso Corp | 熱交換器 |
DE102010009048A1 (de) * | 2010-02-23 | 2011-08-25 | LPKF Laser & Electronics AG, 30827 | Laseranordnung |
JP2011199181A (ja) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Kataoka Seisakusho:Kk | レーザ増幅器 |
WO2012021748A1 (en) | 2010-08-12 | 2012-02-16 | Raydiance, Inc. | Polymer tubing laser micromachining |
US9120181B2 (en) | 2010-09-16 | 2015-09-01 | Coherent, Inc. | Singulation of layered materials using selectively variable laser output |
US8554037B2 (en) | 2010-09-30 | 2013-10-08 | Raydiance, Inc. | Hybrid waveguide device in powerful laser systems |
ES2544034T3 (es) | 2011-09-05 | 2015-08-27 | ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Aparato de marcado con al menos un láser de gas y un termodisipador |
ES2452529T3 (es) | 2011-09-05 | 2014-04-01 | ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Dispositivo láser y procedimiento para marcar un objeto |
EP2564973B1 (de) * | 2011-09-05 | 2014-12-10 | ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Markierungsvorrichtung mit mehreren Lasern und einem Mischungsdeflektorsmittel |
EP2564972B1 (de) * | 2011-09-05 | 2015-08-26 | ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Markierungsvorrichtung mith mehreren Lasern, Deflektionmitteln und Telescopikmitteln für jeden Laserstrahl |
ES2544269T3 (es) * | 2011-09-05 | 2015-08-28 | ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Aparato de marcado con una pluralidad de láseres de gas con tubos de resonancia y medios de deflexión ajustables individualmente |
ES2530070T3 (es) * | 2011-09-05 | 2015-02-26 | ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Aparato de marcado con una pluralidad de láseres y conjuntos ajustables individualmente de medios de desviación |
EP2565996B1 (de) | 2011-09-05 | 2013-12-11 | ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Lasergerät mit Lasereinheit und Flüssigkeitsbehälter für eine Kühlvorrichtung dieser Lasereinheit |
ES2438751T3 (es) | 2011-09-05 | 2014-01-20 | ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Dispositivo y procedimiento para marcar un objeto por medio de un rayo láser |
US10239160B2 (en) | 2011-09-21 | 2019-03-26 | Coherent, Inc. | Systems and processes that singulate materials |
WO2014050720A1 (ja) | 2012-09-27 | 2014-04-03 | 株式会社 村田製作所 | 圧電アクチュエータとその製造方法、磁気ディスク装置 |
US9769913B2 (en) | 2013-02-01 | 2017-09-19 | Inter-University Research Institute Corporation High Energy Accelerator Research Organization | Burst-laser generator using an optical resonator |
WO2020144743A1 (ja) * | 2019-01-08 | 2020-07-16 | 三菱電機株式会社 | レーザ増幅器 |
US11796817B2 (en) | 2022-01-21 | 2023-10-24 | Lightspace Group, Inc. | Optical arrangement for expanding and uniformizing light beams |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5237584A (en) * | 1991-11-08 | 1993-08-17 | Lightwave Electronics Corporation | High power optical cavity for end-pumped solid state laser |
US5271031A (en) * | 1985-05-01 | 1993-12-14 | Spectra Physics Laser Diode Systems | High efficiency mode-matched solid-state laser with transverse pumping and cascaded amplifier stages |
US5696786A (en) * | 1993-04-15 | 1997-12-09 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Solid-state laser system |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5103457A (en) * | 1990-02-07 | 1992-04-07 | Lightwave Electronics Corporation | Elliptical mode cavities for solid-state lasers pumped by laser diodes |
US5046070A (en) * | 1990-05-22 | 1991-09-03 | Coherent, Inc. | Longitudinally laser pumped laser with compensation for thermal lens effects |
US5528612A (en) * | 1993-11-19 | 1996-06-18 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Laser with multiple gain elements |
US5561547A (en) * | 1994-02-04 | 1996-10-01 | Spectra-Physics Lasers, Inc. | Thermal lens of controlled ellipicity |
US5461637A (en) * | 1994-03-16 | 1995-10-24 | Micracor, Inc. | High brightness, vertical cavity semiconductor lasers |
US5530711A (en) * | 1994-09-01 | 1996-06-25 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Low threshold diode-pumped tunable dye laser |
GB9511688D0 (en) * | 1995-06-09 | 1995-08-02 | Lumonics Ltd | Laser system |
US5757842A (en) * | 1996-06-28 | 1998-05-26 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for compensating thermal lensing effects in a laser cavity |
US5875160A (en) * | 1996-12-14 | 1999-02-23 | Ricoh Company, Ltd. | Method and device for initializing optical recording medium of phase change type, and optical recording medium |
US5912912A (en) * | 1997-09-05 | 1999-06-15 | Coherent, Inc. | Repetitively-pulsed solid-state laser having resonator including multiple different gain-media |
US6141143A (en) * | 1998-05-01 | 2000-10-31 | Light Solutions Corporation | CW laser amplifier |
US6022114A (en) * | 1998-05-01 | 2000-02-08 | Nikon Corporation | Anamorphic afocal beam shaping assembly |
DE19845786A1 (de) * | 1998-09-21 | 2000-05-25 | Bernd Ozygus | Optische Anordnung zur Verbesserung der Fokussierbarkeit der Strahlung von Laserdioden |
US6417955B1 (en) * | 1999-12-14 | 2002-07-09 | Spectra Physics Lasers, Inc. | Stack pumped vanadate amplifier |
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5271031A (en) * | 1985-05-01 | 1993-12-14 | Spectra Physics Laser Diode Systems | High efficiency mode-matched solid-state laser with transverse pumping and cascaded amplifier stages |
US5237584A (en) * | 1991-11-08 | 1993-08-17 | Lightwave Electronics Corporation | High power optical cavity for end-pumped solid state laser |
US5696786A (en) * | 1993-04-15 | 1997-12-09 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Solid-state laser system |
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Publication number | Publication date |
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