EA024427B1 - Газовый лазер и способ маркировки объекта посредством указанного лазера - Google Patents

Газовый лазер и способ маркировки объекта посредством указанного лазера Download PDF

Info

Publication number
EA024427B1
EA024427B1 EA201490236A EA201490236A EA024427B1 EA 024427 B1 EA024427 B1 EA 024427B1 EA 201490236 A EA201490236 A EA 201490236A EA 201490236 A EA201490236 A EA 201490236A EA 024427 B1 EA024427 B1 EA 024427B1
Authority
EA
Eurasian Patent Office
Prior art keywords
laser
volumes
active
laser according
active volumes
Prior art date
Application number
EA201490236A
Other languages
English (en)
Other versions
EA201490236A1 (ru
Inventor
Кевин Л. Армбрустер
Брэд Д. Гилмартин
Петер Дж. Кюкендаль
Бернард Дж. Ричард
Даниэль Дж. Райан
Original Assignee
Алльтек Ангевандте Лазерлихт Технологи Гмбх
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Алльтек Ангевандте Лазерлихт Технологи Гмбх filed Critical Алльтек Ангевандте Лазерлихт Технологи Гмбх
Publication of EA201490236A1 publication Critical patent/EA201490236A1/ru
Publication of EA024427B1 publication Critical patent/EA024427B1/ru

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
    • H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
    • H01S3/08059—Constructional details of the reflector, e.g. shape
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
    • H01S3/0385—Shape
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
    • H01S3/06—Construction or shape of active medium
    • H01S3/07—Construction or shape of active medium consisting of a plurality of parts, e.g. segments
    • H01S3/073—Gas lasers comprising separate discharge sections in one cavity, e.g. hybrid lasers
    • H01S3/076—Folded-path lasers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
    • H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
    • H01S3/081—Construction or shape of optical resonators or components thereof comprising three or more reflectors
    • H01S3/083—Ring lasers
    • H01S3/0835—Gas ring lasers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/14—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range characterised by the material used as the active medium
    • H01S3/22—Gases
    • H01S3/223—Gases the active gas being polyatomic, i.e. containing two or more atoms
    • H01S3/2232—Carbon dioxide (CO2) or monoxide [CO]
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/04—Arrangements for thermal management
    • H01S3/0407—Liquid cooling, e.g. by water
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/04—Arrangements for thermal management
    • H01S3/041—Arrangements for thermal management for gas lasers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Lasers (AREA)

Abstract

Изобретение относится к газовому лазеру, содержащему по меньшей мере три линейных активных объема (12) с активным газом и соединительные элементы (20) для связывания взаимно примыкающих активных объемов (12), механически соединенных друг с другом и формирующих общее трехмерное пространство. Кроме того, в устройстве имеются: возбуждающие средства (50), возбуждающие активный газ в активных объемах (12) для генерирования лазерного излучения; зеркала (22), помещенные в соединительные элементы (20) для перенаправления лазерного излучения между активными объемами; полностью отражающее заднее зеркало (44) и частично отражающий выходной компонент (42) для выведения лазерного пучка. Активные объемы (12) установлены по разомкнутому или замкнутому контуру, окружающему свободное центральное пространство (8), причем заднее зеркало (44) установлено на первом конце общего трехмерного пространства, а выходной компонент (42) установлен на противоположном, втором конце общего трехмерного пространства. Изобретение относится также к способу маркировки объекта.

Description

Изобретение относится к газовому лазеру, более конкретно к газовому лазеру для маркировки объекта лазерным пучком, а также к способу маркировки объекта. Предлагаемые устройство и способ раскрыты соответственно в п.1 и 13 прилагаемой формулы изобретения.
Предшествующий уровень техники
Известно лазерное устройство, содержащее по меньшей мере три линейных активных объема с активным газом и соединительные элементы для соединения таких объемов, примыкающих друг к другу (далее - взаимно примыкающие объемы). Активные объемы лазерного устройства механически сопряжены друг с другом с образованием общего трехмерного (трубчатого) пространства. Кроме того, лазерное устройство содержит возбуждающие средства, взаимодействующие с активными объемами, возбуждая находящийся в этих объемах газ, чтобы обеспечить генерацию лазерного излучения; зеркала, установленные в соединительных элементах и перенаправляющие лазерное излучение между активными объемами; полностью отражающее заднее зеркало и частично отражающий выходной компонент для выведения лазерного пучка.
В известном способе маркировки объекта используют лазерное устройство, конкретно, устройство, содержащее по меньшей мере три линейных активных объема с активным газом, соединительные элементы для соединения взаимно примыкающих активных объемов, возбуждающие средства, взаимодействующие с активными объемами, возбуждая находящийся в этих объемах газ, чтобы обеспечить генерацию лазерного излучения; зеркала, установленные в соединительных элементах и перенаправляющие лазерное излучение между активными объемами; полностью отражающее заднее зеркало и частично отражающий выходной компонент для выведения лазерного пучка, причем активные объемы механически сопряжены друг с другом с образованием общего трубчатого пространства.
Выходная мощность лазерного устройства определяется длиной активного трехмерного (трубчатого) пространства, конкретно суммарным линейным расстоянием вдоль активных объемов между выходным компонентом и задним зеркалом. Это означает, что для повышения требуемой мощности нужно увеличить длину лазера. Для многих приложений, когда мощность лазера выходит на уровень 20-30 Вт, использование лазерного устройства, содержащего единственный активный объем, может стать непрактичным для многих применений.
Чтобы минимизировать увеличение длины ценой увеличения поперечного сечения, разработчики лазеров использовали сложенные (ГоМеП) трубчатые пространства, как это проиллюстрировано на фиг. 1. При этом их конструктивный подход был направлен на минимизацию поперечного сечения лазера путем расположения плеч, образующих указанное пространство, как можно ближе одно к другому.
Однако во многих приложениях, в которых важна длина трубчатого пространства (в частности, в приложениях, связанных с маркировкой), лазерная конструкция с большой длиной, но маленьким поперечным сечением усложняет решение проблем компоновки или делает такое решение вообще невозможным.
В общем случае для приложений, связанных с маркировкой, выходной пучок лазерного устройства проходит через сканирующий блок, который содержит зеркала с гальванометрическим приводом. Возможности таких маркировочных систем ограничены скоростью сканирующего блока по отношению к скорости проходящего перед ним объекта. В результате у сканирующего блока не хватает времени, чтобы во время прохождения объекта нанести маркировку. Это является физическим ограничением сканирующего блока.
Другое известное техническое решение заключается в том, что на объект наносится маркировка на основе точечной матрицы. Для этого используют набор индивидуальных лазерных устройств, записывающих колонку (столбец) точек, когда объект проходит перед таким набором. По сравнению с маркировочной системой на основе сканирующего блока данное техническое решение обеспечивает гораздо более высокую скорость маркировки. Однако оно создает известную проблему, связанную с тем, что количество лазерных устройств, которое можно использовать в наборе, ограничено их индивидуальными размерами. В результате оказываются ограниченными и количество точек в распечатываемом знаке, и количество линий кода. Это ограничение существующей технологии лазерной маркировки является общепризнанным.
И8 2005/0094697 А1 описывает слэб-лазер (щелевой лазер), содержащий несколько разрядных камер и установленные между разрядными камерами зеркала, обеспечивающие получение сложенной конструкции и перенаправляющие лазерные пучки из одной разрядной камеры в соседнюю разрядную камеру. В документе указано, что разрядные камеры могут быть расположены с образованием квадратной или прямоугольной траектории разряда.
ΌΕ 4029187 А1 описывает СО2 лазер, у которого траектория лазерного пучка состоит из нескольких сегментов, формирующих сложенную траекторию, причем эти сегменты расположены в виде треугольника или прямоугольника. Предлагается также опорная конструкция по меньшей мере для двух таких сегментов.
ОВ 2211019 А описывает газовый лазер, содержащий четыре лазерные трубки, расположенные в виде прямоугольника.
- 1 024427 \νϋ 00/46891 описывает газовый лазер, содержащий несколько лазерных трубок, которые расположены в виде прямоугольника.
Сущность изобретения
Задача, на решение которой направлено изобретение, состоит в создании компактного лазерного устройства, пригодного преимущественно для маркировочных приложений. Изобретение направлено также на создание экономичного способа маркировки объекта.
Согласно изобретению данные задачи решены посредством газового лазера с признаками, включенными в п.1, и способа с признаками, включенными в п.13 прилагаемой формулы. Предпочтительные варианты раскрыты в зависимых пунктах.
Г азовый лазер согласно изобретению характеризуется тем, что его активные объемы расположены по разомкнутому или замкнутому контуру, окружающему находящееся между ними свободное центральное пространство. Согласно изобретению предпочтительно придать активным объемам цилиндрическую (трубчатую) форму, в связи с чем далее эти объемы будут именоваться также трубками. Должно быть понятно, что для активных объемов могут быть использованы и другие конфигурации.
Способ по изобретению характеризуется тем, что лазерное излучение направляют выходным зеркалом на сканирующий блок, расположенный в свободном центральном пространстве, и осуществляют маркировку объекта при помощи указанного сканирующего блока. В этом свободном пространстве может быть установлен сканирующий блок, имеющий одно или более подвижных зеркал и направляющий лазерный пучок на маркируемый объект.
Согласно изобретению лазерное устройство предпочтительно является устройством, предназначенным для маркировки или гравирования объекта лазерным пучком (в частности, маркирующей головкой). Активные объемы лазера, т. е. лазерные трубки, образуют в лазерном устройстве общее трехмерное пространство, которое может именоваться также резонатором лазерного устройства. Другими словами, лазерное устройство содержит резонатор, образованный из нескольких лазерных трубок, которые могут быть механически соединены между собой. В резонатор введен активный газ, который возбуждается посредством возбуждающих средств, чтобы генерировать в соответствующих лазерных трубках лазерное излучение.
Лазерное устройство может являться газовым лазером, в частности СО2 лазером, в котором газ, находящийся в резонаторе, содержит СО2. Принцип действия таких лазерных устройств хорошо известен специалистам, так что его подробное описание не приводится.
Мощность лазерного устройства определяется, в первую очередь, длиной трехмерного пространства (резонатора), образующего в устройстве полость, в которой лазерное излучение посредством отражений перенаправляется между задним зеркалом, расположенным у одного конца, и частично отражающим выходным компонентом, расположенным у противоположного конца. За счет складывания резонатора вокруг свободного центрального пространства длина резонатора по сравнению с линейным резонатором может быть увеличена без увеличения общей длины лазерного устройства. Кроме того, если лазерные трубки установлены не по зигзагообразному контуру, а по контуру в форме кольца, обеспечивающего наличие свободного пространства внутри лазерного устройства, поперечное сечение устройства может быть небольшим.
Таким образом, базовая идея изобретения состоит в создании свободного пространства, которое расположено в поперечном сечении лазерного устройства и может быть использовано, например, для размещения в нем дополнительного объекта. Согласно изобретению свободное пространство может быть по меньшей мере частично окружено лазерными трубками.
Чтобы сформировать свободное пространство в центральной области лазерного устройства или, соответственно, маркировочной головки, лазерные трубки располагают по сложенному контуру (кольцу), задающему границы свободного пространства. Трубки могут быть прямыми (линейными) трубками, т.е. их продольные оси представляют собой прямые линии, а между взаимно примыкающими лазерными трубками могут быть образованы угловые зоны. Таким образом, форма резонатора может быть описана также, как многоугольное кольцо, которое может быть замкнутым в виде петли или разомкнутым, т. е. имеющим разрыв между двумя своими трубками.
Согласно изобретению угол, образованный каждыми двумя взаимно примыкающими лазерными трубками, превышает аналогичный угол в известной сложенной конструкции лазерных трубок, показанной, например, на фиг. 1. В особенности желательно, чтобы этот угол превышал 60°. Это позволяет обеспечить улучшенное и гораздо более эффективное перенаправление лазерного излучения между трубками. Кроме того, согласно изобретению углы, образованные каждыми двумя взаимно примыкающими лазерными трубками, предпочтительно равны друг другу.
В угловых зонах между лазерными трубками находятся соединительные элементы, в которые помещены зеркала для перенаправления лазерного излучения между трубками. Соединительные элементы могут быть угловыми фланцами, присоединенными к двум взаимно примыкающим лазерным трубкам, и именоваться также промежуточными угловыми фланцами. Соединительные элементы (угловые фланцы), в частности, могут содержать керамический материал. Дополнительно может быть предусмотрено наличие концевых фланцев, присоединенных к лазерным трубкам на противоположных осевых концах обще- 2 024427 го трехмерного пространства и содержащих соответственно выходной компонент и заднее зеркало.
В предпочтительном варианте изобретения активные объемы лазерного устройства установлены по треугольному, прямоугольному или квадратному контуру. В треугольном контуре резонатор лазерного устройства содержит три лазерные трубки, тогда как в прямоугольном или квадратном контуре он образован четырьмя лазерными трубками. В других предпочтительных вариантах могут быть использованы пять или более трубок, установленных по многоугольному контуру. Конструкция согласно изобретению с расположением трубок по контуру типа кольца позволяет оптимизировать геометрию резонатора, например, в зависимости от требуемой мощности и ограничений на объем, определяемых конкретным приложением.
В другом предпочтительном варианте активные объемы установлены по незамкнутому многоугольному (в частности, И-образному) контуру. И-образный контур, являющийся вариантом незамкнутого кольца, обеспечивает легкий доступ к свободному центральному пространству через свой просвет. Таким образом, нужный объект может быть введен в свободное центральное пространство через просвет между двумя лазерными трубками, примыкающими к этому просвету.
В другом предпочтительном варианте лазерного устройства активные объемы находятся в одной плоскости. Их расположение в общей плоскости позволяет создать для лазерного устройства очень компактную и плоскую конструкцию. Кроме того, данный вариант позволяет собрать несколько лазерных устройств в стопу, т.е. сформировать лазерную конструкцию в виде стопы из нескольких лазерных устройств. Такая стопа плоских лазерных устройств обеспечивает наличие набора индивидуальных лазерных устройств, позволяющего сформировать на маркируемом объекте маркировку на основе точечной матрицы. Благодаря плоской конструкции индивидуальных лазерных устройств, в которых лазерные трубки установлены в одной плоскости по сложенному контуру, можно минимизировать расстояние между индивидуальными лазерными пучками.
Очень компактное лазерное устройство, в частности для маркировки объекта, можно получить, если сконфигурировать лазерное устройство с возможностью направлять лазерный пучок в свободное центральное пространство, окруженное активными объемами. С этой целью может быть предусмотрено отклоняющее зеркало, которое отклоняет лазерный пучок, проходящий сквозь выходной компонент, в направлении свободного центрального пространства. Отклоняющее зеркало, которое может именоваться также выходным зеркалом, предпочтительно находится вне резонатора, задаваемого у своих противоположных концов задним зеркалом и выходным компонентом. Выходное зеркало может быть выполнено подвижным, тогда оно может отражать лазерный пучок в различных направлениях, причем предусмотрена также возможность установить вместо одного несколько таких зеркал. Кроме того, одно или более подвижных выходных зеркал может быть использовано для направления пучка на другой набор, состоящий из одного или более подвижных зеркал и именуемый сканирующим блоком.
Принципиальное преимущество отклонения лазерного пучка в направлении пространства, окруженного лазерными трубками, состоит в том, что в это пространство можно поместить сканирующий блок, средства возбуждения газа и/или средства охлаждения лазерных трубок, не увеличивая габаритных размеров лазерного устройства. Такое небольшое лазерное устройство легко разместить вблизи маркируемого объекта. Для маркировки объекта лазерный пучок может перенаправляться сканирующим блоком через соответствующее отверстие из внутреннего объема лазерного устройства в наружное пространство.
Согласно изобретению для создания общего трехмерного пространства желательно, чтобы по меньшей мере в одном из соединительных элементов имелась внутренняя полость, наличие которой позволяет газу перетекать между по меньшей мере двумя взаимно примыкающими активными газовыми объемами, присоединенными к соответствующему соединительному элементу. Эта полость может иметь форму трубки с первым торцевым отверстием на ее первом осевом конце и вторым торцевым отверстием на втором осевом конце. Первый осевой конец полости может быть соединен с первой лазерной трубкой, а второй осевой конец полости - со второй лазерной трубкой. В дополнение, внутренняя полость, сформированная в соединительном фланце, может иметь третье отверстие в угловой части фланца, и в этом отверстии может быть закреплено зеркало для перенаправления лазерного излучения между лазерными трубками.
В другом варианте лазерные трубки устройства индивидуально герметизированы, чтобы между соединенными трубками не было сообщения по газу. Однако лазерному излучению проходить между взаимно примыкающими лазерными трубками позволяет внутренняя полость соединительных элементов.
В следующем предпочтительном варианте у первого и второго (противоположного) концов общего трехмерного пространства установлены соответственно заднее зеркало и выходной компонент. Заднее зеркало, которое может именоваться также концевым, может быть, в частности, полностью отражающим зеркалом, в то время как выходной компонент может быть частично отражающим зеркалом. Через выходной компонент часть лазерного излучения, находящегося в трехмерном пространстве, может быть выведена наружу в виде лазерного пучка.
В особенно предпочтительном варианте изобретения активные объемы расположены вдоль петлевидного контура, причем предусмотрено наличие интегрального выходного фланца, установленного ме- 3 024427 жду двумя активными объемами и присоединенного к ним. Данный фланец содержит выходной компонент и заднее зеркало. Замкнутая петлевидная (кольцевая) конфигурация лазерного устройства повышает стабильность и обеспечивает особенную компактность конструкции. Интегральный выходной фланец находится в угловой зоне между двумя лазерными трубками, которые могут именоваться концевыми лазерными трубками общего трехмерного пространства. Интегральный выходной фланец, который может именоваться также соединительным элементом, содержит по меньшей мере два зеркала: заднее зеркало и выходной компонент в виде частично отражающего зеркала. Сообщение по газу между присоединенными к нему трубками данный фланец может обеспечивать или не обеспечивать. Предусмотрена возможность установить полностью отражающее и выходное зеркала, конкретно, так, чтобы лазерные пучки, выходящие из двух концевых лазерных трубок, в интегральном выходном фланце не пересекались.
В предпочтительном варианте заднее зеркало расположено на первой стороне интегрального выходного фланца, а выходной компонент - на его второй стороне. Вторая сторона предпочтительно ориентирована под углом к первой стороне. Первая и вторая стороны могут быть, в частности, перпендикулярны соответственно первой и второй лазерным трубкам, присоединенным к данному фланцу.
Желательно, чтобы интегральный выходной фланец содержал также установленное на его третьей стороне выходное зеркало для отклонения в заданном направлении лазерного пучка, проходящего сквозь выходной компонент. Выходное зеркало, которое может, в частности, являться третьим зеркалом интегрального выходного фланца, может быть установлено таким образом, чтобы отклонять лазерный пучок, выводимый через частично отражающий выходной компонент, в свободное центральное пространство, окруженное лазерными трубками. В предпочтительном варианте предусмотрена возможность установить выходное зеркало на интегральном выходном фланце подвижным образом.
В предпочтительном варианте интегральный выходной фланец содержит первый корпус, к которому присоединены концевые лазерные трубки резонатора, и второй корпус, соединенный с первым. Между первым и вторым корпусами образован зазор, в котором размещены заднее зеркало и/или выходной компонент. Заднее зеркало и/или выходной компонент предпочтительно образуют с первым корпусом газонепроницаемое соединение и задают осевой конец общего трехмерного пространства.
Второй корпус образует полость для лазерного пучка, выводимого через частично отражающее выходное зеркало. Выходное зеркало, предпочтительно прикрепленное ко второму корпусу в его угловой (скошенной) части, отклоняет лазерный пучок в направлении свободного центрального пространства, образованного между лазерными трубками устройства.
Желательно, чтобы трехмерное пространство (резонатор) лазерного устройства являлось замкнутой газовой системой. Это, в частности, означает, что резонатор лазерного устройства является полностью замкнутой полостью и что отсутствует какой-либо постоянный поток газа через резонатор. Газ, находящийся в резонаторе, т. е. в общем трехмерном пространстве, заменяется только через определенные временные интервалы, когда лазерное устройство не функционирует. Поэтому отсутствуют как вход, так и выход для газа, которые требовались бы в случае постоянного потока газа через трехмерное пространство, и не требуется никакого пространства для оборудования, прокачивающего газ через систему.
Как известно, возбуждающее средство по меньшей мере для одного из активных объемов содержит по меньшей мере один электрод, например радиочастотный (РЧ). Такой электрод может, в частности, проходить по длине лазерной трубки. Известно также, что по соображениям эффективности и для обеспечения однородного возбуждения газа в резонаторе к корпусам электродов нужно подключить РЧ индукторы. Такой индуктор может быть выполнен, например, в виде спиральной обмотки. Однако, с этим решением связана проблема, состоящая в том, что РЧ индуктор с такой обмоткой существенно увеличивает размеры лазера и является дорогостоящим.
Согласно изобретению особенно компактная и плоская конструкция лазерного устройства может быть получена, если по меньшей мере один радиочастотный электрод (конкретно, РЧ индуктор) выполнен с плоской обмоткой. В такой конструкции и обмотка, и электрод могут находиться, в частности, в одной плоскости. В предпочтительном варианте обмотка может быть спиральной.
Особенно желательно, чтобы возбуждающее средство для лазерных трубок содержало по меньшей мере два радиочастотных электрода, проходящих по длине соответствующей лазерной трубки. Эти электроды могут находиться, в частности, на противоположных сторонах лазерной трубки. Например, могут иметься верхний и нижний электроды, проходящие по длине лазерной трубки.
Перечень фигур чертежей
Далее изобретение будет описано со ссылками на прилагаемые чертежи.
На фиг. 1 показано расположение лазерных трубок лазерного устройства согласно уровню техники.
На фиг. 2 представлен вариант газового лазера согласно изобретению.
На фиг. 3 представлен вариант интегрального выходного фланца согласно изобретению.
На фиг. 4 представлен пример РЧ индуктора, обычно используемого в известных решениях для настройки газового лазера.
На фиг. 5 представлен вариант радиочастотного электрода, встроенного в плоский РЧ индуктор, который используется для настройки лазерной трубки согласно изобретению.
- 4 024427
На фиг. 6 представлены лазерная трубка согласно изобретению и электроды согласно изобретению, предназначенные для возбуждения газа в данной трубке.
На всех чертежах идентичные или соответствующие компоненты идентифицированы посредством идентичных обозначений.
Сведения, подтверждающие возможность осуществления изобретения
На фиг. 1 иллюстрируется сложенная конфигурация лазерных трубок 12' лазерного устройства 10' согласно уровню техники. В этой конфигурации лазерные трубки 12' расположены вплотную и почти параллельно одна другой, чтобы получить малое поперечное сечение.
На фиг. 2 представлен вариант лазерного устройства 10 согласно изобретению.
Устройством 10 может быть, конкретно, газовый лазер для маркировки объекта лазерным пучком. Для выполнения маркировки объекта одно или более таких устройств 10 может быть установлено в маркировочную головку.
Лазерное устройство 10 содержит активные объемы (лазерные трубки) 12, которые могут быть изготовлены, например, из оксида алюминия. Лазерные трубки 12 образуют часть общего трехмерного пространства, которое может рассматриваться также как резонатор устройства 10. Для возбуждения активного газа, находящегося в лазерных трубках 12, они окружены радиочастотными электродами 51. Электроды 51 проходят, по существу, по всей длине этих трубок.
В представленном варианте лазерное устройство 10 содержит четыре лазерные трубки 12, расположенные по прямоугольнику и образующие замкнутую петлю. Во внутренней области лазерного устройства 10 сформировано свободное центральное пространство 8, которое окружено лазерными трубками
12. У каждой трубки 12 имеется продольная ось. Продольные оси трубок 12 лежат в одной общей плоскости.
В общем случае комплект лазерных трубок 12 состоит из двух концевых трубок и по меньшей мере одной промежуточной трубки, устанавливающей сообщение по текучей среде между концевыми трубками. В представленном варианте использованы две промежуточные лазерные трубки. В угловых зонах между промежуточными лазерными трубками, а также в местах сопряжения концевых лазерных трубок с примыкающими к ним промежуточными лазерными трубками находятся соединительные элементы (угловые фланцы) 20.
Каждый из соединительных элементов 20 снабжен зеркалом 22 для отражения лазерного излучения от одной трубки 12 к примыкающей к ней трубке 12. У соединительных элементов 20, которые имеют, в целом, треугольную форму, имеется корпус 24, к которому прикреплены лазерные трубки 12. Кроме того, у элементов 20 имеется монтажный фланец 26 с зеркалом 22. Корпус 24 имеет два входных участка для присоединения лазерных трубок 12 и полость (трубку) 28 для газа, которая сформирована для установления сообщения по текучей среде между лазерными трубками 12, прикрепленными к соединительному элементу 20.
У конца одной из лазерных трубок 12 установлено заднее (концевое) зеркало 44, отражающее лазерное излучение в трубку 12. У конца второй лазерной трубки 12 установлен выходной компонент 42, выводящий лазерный пучок и представляющий собой частично отражающее зеркало.
В проиллюстрированном варианте две лазерные трубки 12 (конкретно, концевые лазерные трубки) связаны между собой интегральным выходным фланцем 40, который содержит выходной компонент 42 для выведения лазерного пучка и заднее зеркало 44, расположенное у конца одной из лазерных трубок 12 и предназначенное для отражения лазерного излучения у противоположного конца резонатора. Выходной компонент 42 и заднее зеркало 44 установлены на наружных сторонах выходного фланца 40, а пучки излучения пересекаются в трехмерном пространстве (конкретно, во фланце 40) под углом 90°.
Второй вариант интегрального выходного фланца 40 показан на фиг. 3. В данном случае он имеет два входных участка для присоединения двух лазерных трубок 12.
В угловой зоне интегрального выходного фланца 40 находится выходное зеркало 46 для отражения лазерного пучка, выводимого через выходной компонент 42, в заданном направлении. Выходное зеркало 46 установлено так, что лазерный пучок отражается в свободное центральное пространство 8 лазерного устройства 10.
Интегральный выходной фланец 40 имеет первый, внутренний корпус 60 и второй, наружный корпус 62. Между первым и вторым корпусами 60, 62 сформирована (в форме зазора) внутренняя полость 72, в которой размещены заднее зеркало 44 и выходной компонент 42. К первому корпусу 60 присоединены концевые лазерные трубки 12 резонатора, а ко второму корпусу 62 - выходное зеркало 46 для отклонения лазерного излучения, выходящего из трехмерного пространства через выходной компонент 42.
Заднее зеркало 44 прикреплено к первой поверхности 66 интегрального выходного фланца 40, конкретно, к одной из поверхностей первого корпуса 60. Выходной компонент 42 прикреплен к второй поверхности 68 фланца 40, которая также является поверхностью первого корпуса 60. На третьей поверхности 70 фланца 40 установлено выходное зеркало 46, причем поверхность 70 - это угловая поверхность второго корпуса 62. Первая и вторая поверхности 66, 68 являются внутренними поверхностями интегрального выходного фланца 40, в то время как третья поверхность 70 находится снаружи. К этой поверхности присоединен также монтажный фланец 64.
- 5 024427
Во втором корпусе 62 выполнен канал для лазерного пучка, проходящего между частично отражающим выходным компонентом 42 и выходным зеркалом 46, которое отклоняет пучок в направлении центрального свободного пространства 8, сформированного между лазерными трубками 12 устройства
10. В первом корпусе 60 интегрального выходного фланца 40 выполнено выходное отверстие 48, через которое лазерный пучок, отклоненный выходным зеркалом 46, может проходить в свободное центральное пространство 8. Таким образом, выходное отверстие 48 связывает выходное зеркало 46 с центральным пространством 8.
На фиг. 4 представлен первый вариант возбуждающего средства 50. Оно представляет собой электрод с обмоткой 52 в виде спирали.
На фиг. 5 показан плоский электрод 51 с обмоткой 52 в виде спирали, лежащей в одной плоскости с электродом. Обмотка 52 расположена на несущей пластине 54. Как показано на фиг. 5, электрод может иметь две отдельные обмотки 52, находящиеся на несущей пластине 54.
Лазерная трубка 12 с установленным на ней возбуждающим электродом 51 представлена на фиг. 6. Электрод 51 проходит по нижней стороне лазерной трубки 12, по существу, по всей ее длине. Предусмотрена возможность установить на верхней стороне трубки 12 второй электрод 51. Кроме того, в представленном варианте на верхней стороне трубки 12 расположен охлаждающий блок 56, имеющий каналы, по которым для охлаждения трубки 12 может циркулировать хладагент.

Claims (13)

  1. ФОРМУЛА ИЗОБРЕТЕНИЯ
    1. Газовый лазер, содержащий по меньшей мере три линейных активных объема (12) с активным газом, соединительные элементы (20) для связывания взаимно примыкающих активных объемов (12), которые механически соединены друг с другом и формируют общее трехмерное пространство, возбуждающие средства (50), возбуждающие активный газ в активных объемах (12) для генерирования лазерного излучения, помещенные в соединительные элементы (20) зеркала (22) для перенаправления лазерного излучения между активными объемами (12), полностью отражающее заднее зеркало (44) и частично отражающий выходной компонент (42) для выведения лазерного пучка, при этом активные объемы (12) установлены по разомкнутому или замкнутому контуру, окружающему свободное центральное пространство (8), причем заднее зеркало (44) установлено на первом конце общего трехмерного пространства, а выходной компонент (42) установлен на противоположном, втором конце общего трехмерного пространства, отличающийся тем, что содержит выходное зеркало (46) для отклонения лазерного пучка, выходящего из выходного компонента (42) в свободное центральное пространство (8).
  2. 2. Лазер по п.1, отличающийся тем, что активные объемы (12) установлены по треугольному, прямоугольному или квадратному контуру.
  3. 3. Лазер по п.1, отличающийся тем, что активные объемы (12) установлены по И-образному контуру.
  4. 4. Лазер по любому из пп.1-3, отличающийся тем, что активные объемы (12) расположены в одной плоскости.
  5. 5. Лазер по любому из пп.1-4, отличающийся тем, что по меньшей мере один из соединительных элементов (20) имеет внутреннюю полость, обеспечивающую возможность газу перетекать по меньшей мере между двумя взаимно примыкающими активными объемами (12), присоединенными к соединительному элементу (20).
  6. 6. Лазер по любому из пп.1-5, отличающийся тем, что линейные активные объемы являются трубками.
  7. 7. Лазер по любому из пп.1-6, отличающийся тем, что активные объемы (12) расположены по замкнутому контуру и дополнительно включен интегральный выходной фланец (40), который установлен между двумя активными объемами (12) и присоединен к ним, при этом указанный фланец (40) содержит указанные выходной компонент (42) и заднее зеркало (44).
  8. 8. Лазер по п.7, отличающийся тем, что заднее зеркало (44) установлено на первой поверхности (66) интегрального выходного фланца (40), а выходной компонент (42) установлен на его второй поверхности (68).
  9. 9. Лазер по п.7 или 8, отличающийся тем, что интегральный выходной фланец (40) дополнительно содержит установленное на его третьей поверхности (70) выходное зеркало (46).
  10. 10. Лазер по любому из пп.1-9, отличающийся тем, что общее трехмерное пространство является замкнутой газовой системой.
  11. 11. Лазер по любому из пп.1-10, отличающийся тем, что возбуждающее средство (50) по меньшей мере для одного из активных объемов (12) содержит по меньшей мере один радиочастотный электрод (51) с плоской обмоткой.
    - 6 024427
  12. 12. Лазер по любому из пп.1-11, отличающийся тем, что возбуждающее средство (50) по меньшей мере для одного из активных объемов (12) содержит по меньшей мере два радиочастотных электрода (51), проходящих вдоль продольной оси соответствующего активного объема (12).
  13. 13. Способ маркировки объекта, отличающийся тем, что для нанесения маркировки используют лазер по любому из пп.1-12, при этом направляют излучение выходным зеркалом (46) на сканирующий блок, расположенный в свободном центральном пространстве (8), и осуществляют маркировку объекта при помощи указанного сканирующего блока.
EA201490236A 2011-09-05 2012-07-19 Газовый лазер и способ маркировки объекта посредством указанного лазера EA024427B1 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP11007189A EP2565998A1 (en) 2011-09-05 2011-09-05 Gas ring laser device
PCT/EP2012/003073 WO2013034218A1 (en) 2011-09-05 2012-07-19 Laser device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EA201490236A1 EA201490236A1 (ru) 2014-08-29
EA024427B1 true EA024427B1 (ru) 2016-09-30

Family

ID=46750268

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EA201490236A EA024427B1 (ru) 2011-09-05 2012-07-19 Газовый лазер и способ маркировки объекта посредством указанного лазера

Country Status (6)

Country Link
US (1) US9071034B2 (ru)
EP (1) EP2565998A1 (ru)
CN (1) CN103765706B (ru)
BR (1) BR112014003937A2 (ru)
EA (1) EA024427B1 (ru)
WO (1) WO2013034218A1 (ru)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109814226B (zh) * 2019-04-03 2021-11-16 烟台魔技纳米科技有限公司 一种镜片连接系统

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4744090A (en) * 1985-07-08 1988-05-10 Trw Inc. High-extraction efficiency annular resonator
GB2211019A (en) * 1987-10-13 1989-06-21 Trumpf Gmbh & Co Gas laser
EP0427229A2 (de) * 1989-11-09 1991-05-15 Otto Bihler Laser
DE4029187A1 (de) * 1990-09-14 1992-03-19 Trumpf Lasertechnik Gmbh Vorrichtung fuer einen leistungslaser
WO2000046891A1 (de) * 1999-02-03 2000-08-10 Trumpf Lasertechnik Gmbh Laser mit einer einrichtung zur veränderung der verteilung der intensität des laserlichtes über den laserstrahlquerschnitt
EP1184946A1 (de) * 2000-08-31 2002-03-06 TRUMPF LASERTECHNIK GmbH Gaslaser
US20050094697A1 (en) * 2003-01-30 2005-05-05 Rofin Sinar Laser Gmbh Stripline laser

Family Cites Families (71)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH522287A (de) 1970-04-13 1972-06-15 Inst Angewandte Physik Niederdruck-Gasentladungsrohr für Laser
US3919663A (en) 1974-05-23 1975-11-11 United Technologies Corp Method and apparatus for aligning laser reflective surfaces
GB1495477A (en) 1975-10-31 1977-12-21 Taiwan Fan Shun Co Ltd Drinking water supply apparatus for vehicles
US4131782A (en) 1976-05-03 1978-12-26 Lasag Ag Method of and apparatus for machining large numbers of holes of precisely controlled size by coherent radiation
US4189687A (en) 1977-10-25 1980-02-19 Analytical Radiation Corporation Compact laser construction
JPS5764718A (en) 1980-10-09 1982-04-20 Hitachi Ltd Laser beam printer
US4376946A (en) 1980-11-28 1983-03-15 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Superluminescent LED with efficient coupling to optical waveguide
JPS5843588A (ja) 1981-09-09 1983-03-14 Hitachi Ltd レ−ザ発生装置
US4652722A (en) 1984-04-05 1987-03-24 Videojet Systems International, Inc. Laser marking apparatus
US4727235A (en) 1986-08-07 1988-02-23 Videojet Systems International, Inc. Method and apparatus for equalizing power output in a laser marking system
US4720618A (en) 1986-08-07 1988-01-19 Videojet Systems International, Inc. Method and apparatus for equalizing power output in a laser marking system
JPS6394695A (ja) 1986-10-08 1988-04-25 Nec Corp ガスレ−ザ発振器
US5012259A (en) 1988-01-28 1991-04-30 Konica Corporation Color recorder with gas laser beam scanning
US5268921A (en) 1989-07-03 1993-12-07 Mclellan Edward J Multiple discharge gas laser apparatus
US4991149A (en) 1989-12-07 1991-02-05 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Underwater object detection system
US5109149A (en) 1990-03-15 1992-04-28 Albert Leung Laser, direct-write integrated circuit production system
FR2666938B1 (fr) 1990-09-19 1997-12-05 Trumpf Lasertechnik Gmbh Dispositif pour un laser de puissance.
GB2249843A (en) 1990-10-25 1992-05-20 Robert Peter Sunman Image production
US5229573A (en) 1991-10-15 1993-07-20 Videojet Systems International, Inc. Print quality laser marker apparatus
US5229574A (en) 1991-10-15 1993-07-20 Videojet Systems International, Inc. Print quality laser marker apparatus
JPH05129678A (ja) 1991-10-31 1993-05-25 Shibuya Kogyo Co Ltd レーザマーキング装置
US5572538A (en) 1992-01-20 1996-11-05 Miyachi Technos Corporation Laser apparatus and accessible, compact cooling system thereof having interchangeable flow restricting members
DE4212390A1 (de) 1992-04-13 1993-10-14 Baasel Carl Lasertech Strahlführungssystem für mehrere Laserstrahlen
US5337325A (en) 1992-05-04 1994-08-09 Photon Imaging Corp Semiconductor, light-emitting devices
US5339737B1 (en) 1992-07-20 1997-06-10 Presstek Inc Lithographic printing plates for use with laser-discharge imaging apparatus
US5729568A (en) 1993-01-22 1998-03-17 Deutsche Forschungsanstalt Fuer Luft-Und Raumfahrt E.V. Power-controlled, fractal laser system
US5431199A (en) 1993-11-30 1995-07-11 Benjey, Robert P Redundant seal for vehicle filler neck
JP3427573B2 (ja) * 1995-06-27 2003-07-22 松下電器産業株式会社 マイクロ波励起ガスレーザ発振装置
US5646907A (en) 1995-08-09 1997-07-08 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Method and system for detecting objects at or below the water's surface
DE29514319U1 (de) 1995-09-07 1997-01-16 Sator, Alexander Paul, 20249 Hamburg Vorrichtung zum Beschriften von Gegenständen
US5592504A (en) 1995-10-10 1997-01-07 Cameron; Harold A. Transversely excited non waveguide RF gas laser configuration
US5661746A (en) 1995-10-17 1997-08-26 Universal Laser Syatems, Inc. Free-space gas slab laser
US6050486A (en) 1996-08-23 2000-04-18 Pitney Bowes Inc. Electronic postage meter system separable printer and accounting arrangement incorporating partition of indicia and accounting information
DE69703697T2 (de) 1996-09-11 2001-08-09 Domino Corp Laservorrichtung
US5815523A (en) 1996-11-27 1998-09-29 Mcdonnell Douglas Corporation Variable power helix laser amplifier and laser
US6141030A (en) 1997-04-24 2000-10-31 Konica Corporation Laser exposure unit including plural laser beam sources differing in wavelength
US6122562A (en) 1997-05-05 2000-09-19 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for selectively marking a semiconductor wafer
US6069843A (en) 1997-08-28 2000-05-30 Northeastern University Optical pulse induced acoustic mine detection
US6263007B1 (en) 1998-03-23 2001-07-17 T & S Team Incorporated Pulsed discharge gas laser having non-integral supply reservoir
JP3041599B2 (ja) 1998-05-14 2000-05-15 セイコーインスツルメンツ株式会社 座標出し光学式観察装置および位置情報蓄積方法
US6057871A (en) 1998-07-10 2000-05-02 Litton Systems, Inc. Laser marking system and associated microlaser apparatus
US6229940B1 (en) 1998-11-30 2001-05-08 Mcdonnell Douglas Corporation Incoherent fiber optic laser system
US6335943B1 (en) 1999-07-27 2002-01-01 Lockheed Martin Corporation System and method for ultrasonic laser testing using a laser source to generate ultrasound having a tunable wavelength
JP2001276986A (ja) 2000-03-29 2001-10-09 Nec Corp レーザ加工装置及び方法
EP1143584A3 (en) 2000-03-31 2003-04-23 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Semiconductor laser array
DE20011508U1 (de) 2000-06-30 2000-10-12 Termotek Laserkuehlung Gmbh Kühlvorrichtung für einen Laser
JP2002045371A (ja) 2000-08-01 2002-02-12 Nidek Co Ltd レーザ治療装置
AU2002237668A1 (en) 2000-11-21 2002-06-03 Michael R. Adams Portable low-power gas discharge laser
US7496831B2 (en) 2001-02-22 2009-02-24 International Business Machines Corporation Method to reformat regions with cluttered hyperlinks
AU2002306742A1 (en) 2001-03-19 2002-10-03 Nutfield Technologies, Inc. Monolithic ceramic laser structure and method of making same
US6370884B1 (en) 2001-03-30 2002-04-16 Maher I. Kelada Thermoelectric fluid cooling cartridge
US6915654B2 (en) 2001-06-20 2005-07-12 Ross Johnson Portable cooling mechanism
WO2003040830A2 (en) 2001-11-07 2003-05-15 Applied Materials, Inc. Optical spot grid array printer
US6804287B2 (en) 2002-02-02 2004-10-12 The Regents Of The University Of Colorado, A Body Corporate Ultrashort pulse amplification in cryogenically cooled amplifiers
US6856509B2 (en) 2003-07-14 2005-02-15 Jen-Cheng Lin Cartridge assembly of a water cooled radiator
US7521651B2 (en) 2003-09-12 2009-04-21 Orbotech Ltd Multiple beam micro-machining system and method
US7509692B2 (en) 2004-05-11 2009-03-31 Biocool Technologies, Llc Wearable personal cooling and hydration system
WO2005114979A2 (en) 2004-05-19 2005-12-01 Intense Limited Thermal printing with laser activation
US7346427B2 (en) 2005-01-14 2008-03-18 Flymg J, Inc. Collecting liquid product volume data at a dispenser
US7295948B2 (en) 2005-01-15 2007-11-13 Jetter Heinz L Laser system for marking tires
JP2007032869A (ja) 2005-07-22 2007-02-08 Fujitsu Ltd 冷却装置および冷却方法
CN101331592B (zh) 2005-12-16 2010-06-16 株式会社半导体能源研究所 激光照射设备、激光照射方法和半导体装置的制造方法
JP2007212118A (ja) 2006-02-08 2007-08-23 Makoto Fukada 冷感度を高めた水冷式冷風扇
JP4137961B2 (ja) * 2006-07-13 2008-08-20 ファナック株式会社 ガスレーザ発振装置
CN100547863C (zh) 2006-10-20 2009-10-07 香港理工大学 光纤气体激光器和具有该激光器的光纤型环形激光陀螺仪
US7784348B2 (en) 2006-12-22 2010-08-31 Lockheed Martin Corporation Articulated robot for laser ultrasonic inspection
DE102007023017B4 (de) 2007-05-15 2011-06-01 Thyssenkrupp Lasertechnik Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen von Tailored Blanks
US8126028B2 (en) 2008-03-31 2012-02-28 Novasolar Holdings Limited Quickly replaceable processing-laser modules and subassemblies
DE102008030868A1 (de) 2008-06-30 2009-12-31 Krones Ag Vorrichtung zum Beschriften von Behältnissen
JP2011156574A (ja) 2010-02-02 2011-08-18 Hitachi High-Technologies Corp レーザ加工用フォーカス装置、レーザ加工装置及びソーラパネル製造方法
ES2544269T3 (es) 2011-09-05 2015-08-28 ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung Aparato de marcado con una pluralidad de láseres de gas con tubos de resonancia y medios de deflexión ajustables individualmente

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4744090A (en) * 1985-07-08 1988-05-10 Trw Inc. High-extraction efficiency annular resonator
GB2211019A (en) * 1987-10-13 1989-06-21 Trumpf Gmbh & Co Gas laser
EP0427229A2 (de) * 1989-11-09 1991-05-15 Otto Bihler Laser
DE4029187A1 (de) * 1990-09-14 1992-03-19 Trumpf Lasertechnik Gmbh Vorrichtung fuer einen leistungslaser
WO2000046891A1 (de) * 1999-02-03 2000-08-10 Trumpf Lasertechnik Gmbh Laser mit einer einrichtung zur veränderung der verteilung der intensität des laserlichtes über den laserstrahlquerschnitt
EP1184946A1 (de) * 2000-08-31 2002-03-06 TRUMPF LASERTECHNIK GmbH Gaslaser
US20050094697A1 (en) * 2003-01-30 2005-05-05 Rofin Sinar Laser Gmbh Stripline laser

Also Published As

Publication number Publication date
EA201490236A1 (ru) 2014-08-29
CN103765706B (zh) 2016-05-18
US20140233597A1 (en) 2014-08-21
BR112014003937A2 (pt) 2017-03-14
WO2013034218A1 (en) 2013-03-14
EP2565998A1 (en) 2013-03-06
US9071034B2 (en) 2015-06-30
CN103765706A (zh) 2014-04-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103518295A (zh) 陶瓷板条、自由空间和波导激光器
US5475703A (en) Radio frequency-excited gas laser
JP6154955B2 (ja) 寄生モードを抑制するレーザ共振器
EA024427B1 (ru) Газовый лазер и способ маркировки объекта посредством указанного лазера
EP3054540B1 (en) Flat-folded ceramic slab lasers
EA024205B1 (ru) Лазерное устройство и способ маркировки объекта
EP2565993B1 (en) Laser device and method for generating laser light
EP3284148B1 (en) Air-cooled carbon-dioxide laser
EA026025B1 (ru) Газовый лазер, снабженный емкостью для газа
CN101849331A (zh) 具有分布电感的激光器
CN107534263B (zh) 水冷二氧化碳激光器
US11095088B1 (en) Multi-pass coaxial molecular gas laser
EP1429432B1 (en) Gas laser oscillation device
JPS6331182A (ja) ガスレ−ザ−装置
EA024428B1 (ru) Устройство для маркировки объекта, содержащее по меньшей мере один газовый лазер и радиатор
JP2013080744A (ja) レーザ発振装置
JP2013080743A (ja) レーザ発振装置
JPH08148742A (ja) ガスレーザ装置
JP2009071203A (ja) 導波管レーザ発振装置
JP2001053363A (ja) ガスレーザ発振装置

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Lapse of a eurasian patent due to non-payment of renewal fees within the time limit in the following designated state(s)

Designated state(s): AM AZ BY KZ KG TJ TM RU