EA024428B1 - Устройство для маркировки объекта, содержащее по меньшей мере один газовый лазер и радиатор - Google Patents

Устройство для маркировки объекта, содержащее по меньшей мере один газовый лазер и радиатор Download PDF

Info

Publication number
EA024428B1
EA024428B1 EA201490245A EA201490245A EA024428B1 EA 024428 B1 EA024428 B1 EA 024428B1 EA 201490245 A EA201490245 A EA 201490245A EA 201490245 A EA201490245 A EA 201490245A EA 024428 B1 EA024428 B1 EA 024428B1
Authority
EA
Eurasian Patent Office
Prior art keywords
laser
gas
heat
tubes
marking
Prior art date
Application number
EA201490245A
Other languages
English (en)
Other versions
EA201490245A1 (ru
Inventor
Кевин Л. Армбрустер
Брэд Д. Гилмартин
Петер Дж. Кюкендаль
Бернард Дж. Ричард
Даниэль Дж. Райан
Original Assignee
Алльтек Ангевандте Лазерлихт Технологи Гмбх
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Алльтек Ангевандте Лазерлихт Технологи Гмбх filed Critical Алльтек Ангевандте Лазерлихт Технологи Гмбх
Publication of EA201490245A1 publication Critical patent/EA201490245A1/ru
Publication of EA024428B1 publication Critical patent/EA024428B1/ru

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02Constructional details
    • H01S3/04Arrangements for thermal management
    • H01S3/0407Liquid cooling, e.g. by water
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/352Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring for surface treatment
    • B23K26/355Texturing
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/36Removing material
    • B23K26/361Removing material for deburring or mechanical trimming
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/36Removing material
    • B23K26/362Laser etching
    • B23K26/364Laser etching for making a groove or trench, e.g. for scribing a break initiation groove
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02Constructional details
    • H01S3/03Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H01S3/038Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
    • H01S3/0385Shape
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02Constructional details
    • H01S3/04Arrangements for thermal management
    • H01S3/041Arrangements for thermal management for gas lasers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/05Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
    • H01S3/06Construction or shape of active medium
    • H01S3/07Construction or shape of active medium consisting of a plurality of parts, e.g. segments
    • H01S3/073Gas lasers comprising separate discharge sections in one cavity, e.g. hybrid lasers
    • H01S3/076Folded-path lasers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/005Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02Constructional details
    • H01S3/03Constructional details of gas laser discharge tubes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/05Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
    • H01S3/08Construction or shape of optical resonators or components thereof
    • H01S3/08059Constructional details of the reflector, e.g. shape
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/05Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
    • H01S3/08Construction or shape of optical resonators or components thereof
    • H01S3/081Construction or shape of optical resonators or components thereof comprising three or more reflectors
    • H01S3/083Ring lasers
    • H01S3/0835Gas ring lasers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/23Arrangements of two or more lasers not provided for in groups H01S3/02 - H01S3/22, e.g. tandem arrangements of separate active media
    • H01S3/2383Parallel arrangements

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Lasers (AREA)
  • Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)

Abstract

Изобретение относится к маркировочному аппарату для маркировки объекта лазерным излучением. Аппарат содержит по меньшей мере один газовый лазер, испускающий по меньшей мере один лазерный пучок с целью маркировки объекта. Данный лазер содержит несколько лазерных трубок (12), заполняемых активным газом, и несколько теплорассеивателей (30) для рассеивания тепла, выделяющегося из лазерных трубок (12). При этом каждая лазерная трубка (12) приведена в тепловой контакт с одним из теплорассеивателей (320), каждый из которых имеет микроканалы для заполнения их охлаждающей текучей средой.

Description

Изобретение относится к маркировочному аппарату (устройству для маркировки) согласно ограничительной части п.1, предназначенному для маркировки объекта посредством лазерного излучения.
Предшествующий уровень техники
Известен маркировочный аппарат для маркировки объекта лазерным излучением, содержащий по меньшей мере один газовый лазер для испускания по меньшей мере одного маркирующего лазерного пучка.
Генерируемое лазерное излучение нагревает среду в зоне газового лазера и должно быть рассеяно.
Для этого известные маркировочные аппараты оборудуются охлаждающим устройством, которое в типичном варианте размещено в том же корпусе, где находятся газовые лазеры и многие другие компоненты маркировочного аппарата. Известные охлаждающие устройства занимают довольно много места, лишая аппарат мобильности, что ограничивает область его применения.
В конструкцию известных маркировочных аппаратов заложен компромисс между охлаждающей способностью и гибкостью использования. В частности, для обеспечения гибкого применения аппарата могут быть пригодны простые и компактные охлаждающие устройства, ограниченные по подаче воздуха и по количеству ребер охлаждения. Однако эти преимущества достигаются за счет уменьшения охлаждающей способности.
В 1Р 63094695 описан газовый лазер с прямоугольным расположением лазерных трубок. Для их охлаждения рядом с ними установлены металлические трубки, содержащие охлаждающую текучую среду.
Другой газовый лазер описан в υδ 3705999. Рядом с лазерной трубкой в нем выполнено множество охлаждающих каналов.
Решение, описанное в υδ 4500998, направлено на создание газового лазера, в котором охлаждающая трубка позиционирована внутри трубки, которая содержит активный газ, используемый для получения лазерного излучения.
В υδ 5982803 описан щелевой газовый лазер, выполненный с возможностью охлаждения посредством водяных охлаждающих каналов, которым придана извилистая форма. В порядке альтернативы, может быть предусмотрено наличие ребристого теплоотводящего устройства и вентилятора, обеспечивающих воздушное охлаждение.
Решение, описанное в 1Р 05129678, направлено на создание лазерного маркировочного аппарата с охлаждающими водяными каналами, проходящими рядом с лазерными газоразрядными полостями.
В υδ 5115446 А описана несущая конструкция для компонентов газового лазера, обеспечивающая горизонтальное положение лазерной трубки.
Сущность изобретения
Задача, на решение которой направлено изобретение, состоит в создании маркировочного аппарата, обладающего особенно эффективным охлаждением и, в то же время, удовлетворяющего умеренным требованиям в отношении занимаемого пространства.
Данная задача решена посредством маркировочного аппарата с признаками, включенными в п.1.
Предпочтительные варианты раскрыты в зависимых пунктах, а также в нижеследующем описании, содержащем ссылки на прилагаемые чертежи.
Согласно изобретению аппарат описанного типа характеризуется тем, что по меньшей мере один газовый лазер содержит лазерные трубки, заполняемые активным газом, и предусмотрено наличие нескольких радиаторов (теплорассеивателей) для рассеивания тепла, выделяющегося из лазерных трубок. Каждая лазерная трубка находится в тепловом контакте с одним из теплорассеивателей, а каждый теплорассеиватель имеет микроканалы для заполнения их охлаждающей текучей средой.
В качестве основной идеи изобретения может рассматриваться использование охлаждающей текучей среды для поглощения тепла, производимого газовым лазером, а также для отведения тепла от газового лазера. Параметры микроканалов обеспечивают особенно эффективную теплопередачу от их стенок к содержащейся в микроканалах охлаждающей текучей среде. Преимущество заключается в возможности посредством данной среды отводить тепло от газового лазера. Тогда теплообменник, переносящий тепло из охлаждающей текучей среды в окружающее пространство, не будет нагревать непосредственное окружение газового лазера и не ухудшит свою охлаждающую способность.
Микроканалы, к которым обычно относят каналы с высоким значением отношения длины к ширине, могут иметь гидравлический диаметр примерно 1 мм. В принципе, любой канал с размером гидравлического диаметра меньше 2 мм или, альтернативно, меньше 1 мм можно считать микроканалом.
Охлаждающие устройства на основе микроканалов наиболее часто используют в приложениях, отличающихся высокой плотностью теплового излучения, т.е. наличием источника тепла, локализованного в небольшом объеме. Так, данные устройства находят применение в компьютерах, где они охлаждают, например, процессоры, в том числе и центральные. В зоне локализованного источника тепла можно выполнить много таких каналов. Поэтому за счет относительно большой площади поверхности хладагента, отводящего тепло, в этих устройствах получают высокую эффективность охлаждения.
Однако маленький гидравлический диаметр в какой-то степени приводит к тому, что проходящий через устройство поток становится полностью сформированным, т.е. ламинарным. Чтобы обеспечить
- 1 024428 скорость потока, достаточную для создания его турбулентности в таком небольшом канале, может потребоваться чрезмерно большой насос. В типичных приложениях, использующих микроканалы с небольшой длиной, достигаемое незначительное улучшение охлаждающей способности не оправдывает применение мощных насосов.
Обычные СО2-лазеры имеют большие габариты, так что тепло распределяется по большой площади поверхности. Такая конструкция не способствует микроканальному охлаждению, поэтому подобные охлаждающие средства в обычных СО2-лазерах применения не находят.
Но в предлагаемой конструкции СО2-лазера по изобретению плотность теплового потока достаточно высока, что позволяет эффективно использовать микроканальное охлаждение. При этом желательно выполнить остальную часть охлаждающей системы настолько маленькой, насколько это возможно.
В принципе, охлаждающая текучая среда может находиться в любом состоянии, т.е. как в газообразном, так и в жидком. В этом качестве может быть использована вода или жидкость, у которой удельная теплоемкость больше, чем у воды. Предпочтительна охлаждающая текучая среда, согласующаяся с принципом действия обычного воздушного кондиционера. Это означает, что температура испарения охлаждающей текучей среды должна быть ниже рабочей температуры газовых лазеров. В этом случае тепла, выделяемого лазерными трубками, будет достаточно для испарения охлаждающей текучей среды внутри микроканалов, что выразится в особенно эффективном охлаждении лазерных трубок. Одним из примеров такой охлаждающей текучей среды являются фторированные углеводороды.
Теплорассеиватели, содержащие микроканалы, можно также рассматривать как тепловые коллекторы, поскольку они принимают или поглощают тепло лазерных трубок. Материалом теплорассеивателей может служить любое вещество, пригодное для выполнения в нем микроканалов. Предпочтительно выбрать этот материал так, чтобы его коэффициент теплового расширения соответствовал этому же параметру для лазерных трубок. Тем самым, независимо от температуры охлаждаемых лазерных трубок, обеспечивается хороший тепловой контакт. Сообщение по тепловому потоку между лазерными трубками и теплорассеивателем можно обеспечить посредством механического контакта. Дополнительно или альтернативно, между ними может быть введен материал с высоким коэффициентом теплопередачи, например термореактивный компаунд или теплопроводная паста.
По меньшей мере одним газовым лазером может быть, в принципе, любой лазер известного типа, такой как Не-Ν лазер, СО-лазер, аргоновый лазер, азотный лазер или эксимерный лазер. В данном случае предпочтителен СО2-лазер, способный функционировать в непрерывном или импульсном режимах. Активный газ должен рассматриваться как газовая смесь, соответствующая типу лазера, т.е. она может содержать СО2, Ν2 и Не.
Маркировка объекта может создаваться посредством любых различимых изменений поверхности объекта, например путем гравирования, вырезания или изменения цвета/яркости. Маркировкой может быть точка или линия, которые в возможном варианте являются частью знака, буквы или изображения. Соответственно, по меньшей мере один газовый лазер можно активировать на короткие периоды, чтобы сформировать точки на объекте, или в течение заданного времени, чтобы сформировать линии определенной длины.
В контексте изобретения маркируемым объектом может быть любой продукт или изделие с поверхностью, которую можно изменить под воздействием излучения газовых лазеров. В частности, объект может являться упаковкой, например для пищевого продукта или напитка, фруктом или этикеткой. К другим сферам приложения относится печатная информация на ярлыках для почтовых отправлений или на таблетках. Материалом объекта могут быть, в частности, пластики, бумага, металлы, керамика, материи, композиты или ткани органического происхождения.
Несколько лазерных трубок одного газового лазера сообщаются одна с другой, образуя один общий объем, в который введен активный газ. Данный объем герметизирован, т.е. во время нормального функционирования активный газ не обновляется. По сравнению с лазером, использующим проточный активный газ, это позволяет создать компактную конструкцию. Однако в то время как в лазере, использующем проточный активный газ, нагретый газ можно легко заменить, использование активного газа, заключенного в герметизированных трубках, предъявляет к охлаждению более жесткие требования.
Каждая лазерная трубка может быть прямой. Предусмотрена возможность соединить эти прямые трубки под углом одна к другой посредством соединительных элементов (соединительных трубок). Для перенаправления лазерного излучения, генерируемого внутри лазерных трубок, из одной лазерной трубки в примыкающую к ней трубку в каждую соединительную трубку может быть установлено зеркало.
Согласно предпочтительному варианту изобретения по меньшей мере у одной стенки микроканала имеются отклонения от ее базовой поверхности, такие как ступеньки или другие выступы. Они выполняют функцию средства, возмущающего ламинарный поток и индуцирующего нарушение граничного слоя охлаждающей текучей среды у поверхностей стенок микроканала. Данный граничный слой обладает высоким термосопротивлением по отношению к переносу тепла в охлаждающую текучую среду. Нарушение граничного слоя понижает это термосопротивление и улучшает охлаждающую способность микроканала. При таком подходе появляется возможность использовать более длинные каналы, причем нет необходимости прибегать к высоким скоростям потока. Преимущество заключается в том, что неста- 2 024428 ционарный турбулентный поток образует завихрения, которые переносят в микроканалах нагретую у стенок охлаждающую текучую среду к центру. В отличие от полностью сформированного ламинарного потока, это приводит к достаточно равномерному распределению температуры по поперечному сечению микроканалов, в результате чего улучшается поглощение тепла охлаждающей текучей средой.
Другой предпочтительный вариант изобретения характеризуется тем, что микроканалы каждого теплорассеивателя проходят, по существу, по всей длине соответствующей лазерной трубки, т.е. в тепловом контакте с ним находится вся лазерная трубка. Преимущество заключается в возможности поглощения тепла по всей длине трубок, а это повышает охлаждающую способность. Прикрепив теплорассеиватели к соединительным трубкам, соединяющим смежные лазерные трубки, можно получить жесткую конструкцию.
Предусмотрена возможность соединить микроканалы одного теплорассеивателя между собой и расположить их в любой конфигурации, предпочтительно взаимно параллельно или извилистым образом. Каждый теплорассеиватель можно снабдить входным и выходным каналами, предназначенными соответственно для введения охлаждающей текучей среды в его микроканалы и выведения ее наружу.
Предусмотрена возможность приведения внутренних каналов всех теплорассеивателей в сообщение по текучей среде с общей подающей магистралью, выполненной в виде трубопровода или шланга и переносящей охлаждающую текучую среду после ее охлаждения охлаждающим устройством. Соответственно, все выходные каналы могут быть подключены к одной общей магистрали, рассеивающей тепло посредством отведения охлаждающей текучей среды после ее нагрева лазерами.
Альтернативно, выходной канал одного теплорассеивателя может быть подключен к входному каналу другого теплорассеивателя. В таком варианте устройство имеет только один входной канал, подключенный к подающей магистрали, и только один выходной канал, подключенный к теплорассеивающей магистрали.
Предпочтительно для каждой лазерной трубки предусмотреть наличие по меньшей мере одного электрода, возбуждающего введенный в нее активный газ, а каждый теплорассеиватель сформировать в виде корпуса, заключающего в себе микроканалы и по меньшей мере один из электродов. Каждый корпус может быть сформирован цельным. В этом корпусе обеспечено наличие микроканалов, а также электрода. Другой электрод можно установить напротив соответствующей лазерной трубки, т.е. вне теплорассеивателя. Электроды служат для возбуждения активного газа внутри трубок. Для этого к ним по электрическим линиям подается постоянный или переменный ток, причем предпочтителен переменный ток с частотой, лежащей в радиодиапазоне.
Предпочтительно возбуждать электроды с помощью плоских обмоток, т.е. обмоток, лежащих только в двумерной плоскости. Тем самым дополнительно минимизируется требуемое пространство.
Предпочтительный вариант маркировочного аппарата по изобретению характеризуется тем, что в нем предусмотрен коннектор (соединительный элемент, конкретно патрубок или втулка) для присоединения гибкого кабеля со шлангом, по которому охлаждающая текучая среда подается в маркировочный аппарат и выводится из него. Таким образом, отпадает необходимость устанавливать в кожухе маркировочного аппарата теплорассеивающий компонент, рассеивающий тепло охлаждающей текучей среды в окружающее пространство. Вместо этого шланг в составе гибкого кабеля направляет охлаждающую текучую среду в дополнительный теплорассеивающий компонент, расположенный в базовом блоке, вне маркировочного аппарата. В результате размер маркировочного аппарата дополнительно уменьшается. Предпочтительно разместить в базовом блоке, вне маркировочного аппарата также и источник питания, например аккумуляторную батарею или трансформатор, который преобразует напряжение сети до уровня, пригодного для газовых лазеров. В таком варианте нет необходимости устанавливать источник питания в маркировочном аппарате, что, в свою очередь, позволяет дополнительно понизить требования, предъявляемые к занимаемому пространству. В дополнение к сказанному, отпадает необходимость рассеивать из аппарата тепло, выделяемое источником питания.
Согласно другому иллюстративному варианту изобретения на поверхности лазерных трубок сформированы канавки, принимающие охлаждающую текучую среду. Предусмотрена возможность плотно прикрепить теплорассеиватель к лазерным трубкам таким образом, чтобы из канавок сформировались каналы, закрытые по периферии. Кроме того, по меньшей мере, некоторые из микроканалов теплорассеивателей проходят перпендикулярно продольным осям тех лазерных трубок, с которыми теплорассеиватель соответствующих микроканалов находится в тепловом контакте, причем, по меньшей мере, некоторые из этих микроканалов сопряжены по текучей среде с канавками, выполненными на поверхности лазерных трубок. Другими словами, по меньшей мере, некоторые из микроканалов теплорассеивателей проходят, по существу, перпендикулярно канавкам, сформированным на поверхности лазерных трубок. Канавки на лазерных трубках могут иметь такой же диаметр, как у микроканалов теплорассеивателей, так что они также могут считаться микроканалами. Предусмотрена возможность герметизировать канавки, механически прикрепив теплорассеиватели к лазерным трубкам, причем теплорассеиватель может быть сформирован в виде пластины, выполненной, например, из пластиков, металла или керамики и с возможностью покрывать канавки на поверхности лазерной трубки. Микроканалы теплорассеивателей могут быть сформированы в виде микрофорсунок или отверстий, проделанных в пластине. Тем самым
- 3 024428 достигается повышение эффективности, поскольку микроканалы оказываются расположенными очень близко к источнику тепла, т.е. к газовому лазеру.
Альтернативно канавкам или дополнительно к ним, в стенках лазерных трубок можно выполнить микроканалы и соединить их с микроканалами теплорассеивателей.
Далее предпочтительно, по меньшей мере, частично окружить лазерными трубками внутреннее пространство и разместить в нем оптические компоненты и/или электронику. Частичное окружение внутреннего пространства следует понимать в том смысле, что это пространство окружено лазерными трубками в пределах центрального угла, составляющего по меньшей мере 180°, т.е. полукруг. Таким образом, из лазерных трубок могут быть сформированы разомкнутая или замкнутая петля (кольцо).
При таком расположении лазерных трубок их суммарная длина может быть гораздо больше длины аппарата. В комплект электроники могут входить драйверные контура для управления электродами. В число оптических компонентов, изменяющих направление лазерного пучка, излученного газовым лазером, могут входить зафиксированные зеркала и сканирующие зеркала или световоды. Размещение электроники и/или оптических компонентов во внутреннем пространстве обеспечивает преимущество при создании конструкции, занимающей мало места.
В отличие от сложенной конфигурации расположения лазерных трубок, в которой лазерные трубки одного лазера примыкают одна к другой по зигзагообразному или извилистому контуру, их расположение согласно варианту изобретения позволяет разместить электронику и оптические компоненты между трубками. В обоих вариантах габаритные размеры аппарата сопоставимы, однако, в конструкции по изобретению расстояние между лазерными трубками больше, а этим обеспечивается преимущество при их охлаждении. Кроме того, увеличивается та часть поверхности лазерных трубок, которая используется для теплового контакта с теплорассеивателями.
Согласно предпочтительному варианту изобретения аппарат дополнительно содержит направляющие средства, такие как по меньшей мере одно зеркало, для направления лазерного пучка или лазерных пучков во внутреннее пространство. В принципе, возможен также вариант, в котором средства для направления пучков сформированы зеркалами выходных компонентов газовых лазеров. В этом случае в каждом газовом лазере концевой участок лазерной трубки может быть ориентирован в сторону внутреннего пространства. Кроме того, во внутреннем пространстве предусмотрено наличие средств, отклоняющих лазерный пучок в сторону маркируемого объекта. В число этих средств может входить по меньшей мере одно отклоняющее средство на каждый лазерный пучок, а конкретно - по меньшей мере одно, а предпочтительно - по меньшей мере два зеркала или световода на каждый лазерный пучок, индивидуально отклоняющие каждый из лазерных пучков в желаемом направлении. С этой целью для каждого отклоняющего средства предусмотрена возможность индивидуальной регулировки обеспечиваемого им направления отклонения и/или индивидуального смещения. Предпочтительна механизированная регулировка отклоняющих средств под контролем блока управления, в частности для выполнения сканирования.
Другой предпочтительный вариант изобретения характеризуется тем, что обеспечено наличие множества газовых лазеров (по меньшей мере одного газового лазера). Кроме того, предусмотрен блок управления для индивидуального активирования каждого из газовых лазеров, чтобы получить лазерный пучок, соответствующий маркируемому знаку. Каждый газовый лазер содержит лазерные трубки, по меньшей мере, частично окружающие внутреннее пространство, причем газовые лазеры установлены один над другим с образованием стопы таким образом, чтобы каждая лазерная трубка одного газового лазера располагалась параллельно одной из лазерных трубок другого газового лазера.
Другими словами, совокупность лазерных трубок одного газового лазера состоит из первой лазерной трубки и по меньшей мере второй лазерной трубки, причем все первые лазерные трубки установлены в стопу и расположены параллельно одна другой. Аналогично, все вторые лазерные трубки установлены в стопу и расположены параллельно одна другой. В данном варианте лазерные пучки, испускаемые газовыми лазерами, образуют упорядоченный (конкретно - линейный) набор лазерных пучков, проходящих параллельно друг другу.
Желательно, чтобы для этих лазерных трубок, установленных в стопу и расположенных параллельно одна другой, из нескольких теплорассеивателей в составе аппарата использовался один, имеющий тепловой контакт со всеми этими параллельными трубками. Другими словами, все лазерные трубки различных газовых лазеров, расположенные параллельно одна другой и одна над другой (в виде стопы), используют один теплорассеиватель.
Предпочтительный вариант аппарата по изобретению характеризуется тем, что каждый газовый лазер содержит соединительные элементы, которыми соединяются его взаимно примыкающие лазерные трубки с образованием общего трубчатого пространства, причем в каждом из соединительных элементов газовых лазеров имеется внутренняя полость, сообщающаяся по текучей среде по меньшей мере с двумя взаимно примыкающими лазерными трубками, присоединенными к соединительному элементу.
Согласно следующему предпочтительному варианту изобретения лазерные трубки каждого газового лазера установлены в виде треугольника, прямоугольника, многоугольника, квадрата, разомкнутого/замкнутого кольца или по И-образному контуру. Термин замкнутое кольцо может означать, что
- 4 024428 обеспечено наличие одного соединительного элемента, который заключает в себе как концевое зеркало газового лазера, отражающее лазерное излучение обратно во внутренний лазерный объем, так и частично отражающий выходной компонент для выведения лазерного пучка. Соответственно, термин разомкнутое кольцо следует понимать в том смысле, что в одном и том же газовом лазере концевое зеркало и выходной компонент установлены в разных концевых элементах (т.е. не в одном соединительном элементе).
В замкнутой конструкции активный газ может сформировать единый объем или объемы, разделенные внутри соединительного элемента, заключающего в себе выходной компонент и концевое зеркало.
Изобретение относится также к маркировочной установке, которая содержит описанный маркировочный аппарат, а также насос, который предназначен для прокачивания охлаждающей текучей среды через микроканалы и может относиться к любому распространенному типу насосов. Одним из примеров такого насоса является электроосмотический насос, использующий внешнее электрическое поле, которое проникает, например, через стеклокерамический слой типа фритты и перемещает ионы во внутреннем объеме охлаждающей текучей среды, после чего просто за счет торможения ионов индуцируется перемещение охлаждающей текучей среды в целом.
Согласно другому иллюстративному варианту маркировочной установки по изобретению все газовые лазеры установлены в первом кожухе, а насос помещен во второй кожух или в базовый блок. Теплорассеивающий компонент, рассеивающий тепло охлаждающей текучей среды в окружающее пространство, также можно разместить во втором кожухе. Оба кожуха соединены гибким кабелем со шлангом. В результате получают маркировочный аппарат меньшего размера. Поскольку гибкий кабель эластичен, улучшается мобильность маркировочного аппарата. Для перемещения маркировочного аппарата относительно второго кожуха может быть использован двигатель с приводом.
Предусмотрена возможность дополнительной регулировки мощности накачки в зависимости от температуры лазерных трубок. Чтобы определять эту температуру, можно обеспечить наличие соответствующего датчика, поместив его в первом кожухе вместе с лазерными трубками или во втором кожухе, где могут быть установлены насос и дополнительный теплорассеивающий компонент. Во втором варианте такой датчик может определять температуру охлаждающей текучей среды, нагретой лазерными трубками, а в первом его можно установить на поверхность одной из лазерных трубок. Альтернативно, датчик температуры может быть выполнен в виде резистора, установленного в том кожухе, где находится один из электродов для возбуждения активного газа.
Перечень фигур, чертежей
Изобретение будет далее описано на примере своих предпочтительных вариантов, проиллюстрированных на прилагаемых чертежах.
На фиг. 1 схематично, в перспективном изображении, представлена часть газового лазера маркировочного аппарата по изобретению.
На фиг. 2 представлен, в перспективном изображении, газовый лазер маркировочного аппарата по изобретению.
На фиг. 3 представлен комплект газовых лазеров маркировочного аппарата по изобретению.
На фиг. 4 представлен вариант маркировочного аппарата по изобретению.
На фиг. 5 представлен другой вариант маркировочного аппарата по изобретению.
На фиг. 6 представлен вариант маркировочной установки по изобретению.
На всех чертежах эквивалентные компоненты идентифицированы посредством идентичных обозначений.
Сведения, подтверждающие возможность осуществления изобретения
На фиг. 1 схематично представлена часть газового лазера маркировочного аппарата по изобретению. Проиллюстрированы одна из лазерных трубок 12 аппарата, а также теплорассеиватель 30 и электроды 20, 31.
Лазерная трубка 12 заполнена активным газом. Ее концы присоединены к соединительным элементам (не показаны), формируя герметизированный объем.
Для возбуждения активного газа в каждой лазерной трубке 12 предусмотрено наличие двух электродов 20, 31. Теплорассеиватель 30 помещен внутрь электрода 20 или напрямую прикреплен к нему.
Электрод 20 приведен в контакт с лазерной трубкой 12 по всей своей длине, т.е. в осевом направлении. Чтобы сформировать большую площадь контакта, поверхности электрода 20, обращенной к лазерной трубке 12, придана вогнутая форма, отвечающая выпуклой форме лазерной трубки 12. Желательно, чтобы площадь контакта охватывала по меньшей мере четвертую часть периметра лазерной трубки 12. Чтобы избежать воздушного зазора, предусмотрена возможность прижать электрод 20 к лазерной трубке 12. Альтернативно или дополнительно, между ними можно ввести термореактивный компаунд.
Желательно, чтобы материал теплорассеивателя 30 имел высокий коэффициент теплопередачи. Для этого могут быть использованы медь или алюминий. Внутри теплорассеивателя 30 выполнены микроканалы для переноса охлаждающей текучей среды, которая вводится через входной микроканал, проходящий перпендикулярно продольной оси лазерной трубки 12. Входной микроканал сообщается с одним или несколькими продольными микроканалами, проходящими вдоль продольной оси лазерной трубки
- 5 024428
12, а эти микроканалы приведены в сообщение с выходным микроканалом, через который охлаждающая текучая среда может быть откачана из теплорассеивателя 30. Выходной канал можно считать также теплорассеивающим микроканалом.
Во время функционирования газового лазера активный газ и, таким образом, лазерная трубка 12 нагреваются. Высокая температура отрицательно влияет на эффективность генерации лазерного излучения и может даже вызвать ее срыв. Поэтому избыточное тепло необходимо рассеять. Для этого предусмотрено наличие теплорассеивателя 30 с микроканалами. В первую очередь, теплорассеиватель 30 поглощает выделяющееся через электрод 20 тепло лазерной трубки 12, что приводит к соответствующему нагреву охлаждающей текучей среды в микроканалах. Диаметр микроканалов очень мал и может составлять менее 2 мм или даже менее 1 мм. Вследствие наличия отклонений от базовой поверхности, выполненных по меньшей мере на одной стенке каждого микроканала, поток охлаждающей текучей среды внутри микроканалов (по меньшей мере, внутри продольных микроканалов) имеет турбулентный характер, за счет которого улучшается теплообмен между теплорассеивателем и охлаждающей текучей средой.
Количество продольных микроканалов может превышать количество входных и выходных микроканалов. В этом случае поперечное сечение входных и выходных микроканалов по сравнению с поперечным сечением продольных микроканалов можно увеличить и выбрать его равным суммарному поперечному сечению всего комплекта продольных микроканалов.
На фиг. 2 схематично показан газовый лазер 10а, содержащий несколько лазерных трубок 12. В представленном варианте использованы четыре трубки 12, составляющие прямоугольник. Однако, в принципе, возможно любое количество лазерных трубок, которые устанавливаются по выпуклому кольцеобразному периметру (например в форме, близкой к окружности).
В трех углах прямоугольника находятся соединительные элементы 16 для соединения взаимно примыкающих лазерных трубок 12. Эти соединительные элементы 16 выполнены в виде полых трубок, так что лазерные трубки 12 образуют общий объем газа, который герметизирован, чтобы избежать утечек активного газа.
Критичным условием является обеспечение постоянства газовой смеси, введенной в общий объем, поскольку ее изменения могут привести к снижению эффективности лазера. С целью замедлить эти изменения предусмотрен дополнительный газовый резервуар в виде газовой трубки 13. Эта трубка заполнена активным газом, но не снабжена электродами, т.е. в процессе функционирования лазера 10а газ в газовой трубке 13 не возбуждают. Трубка 13 расположена параллельно одной из лазерных трубок 12 и образует совместно с лазерными трубками 12 общий объем газа. С этой целью по меньшей мере два соединительных элемента 16 снабжены дополнительным отверстием для подсоединения газовой трубки 13.
В четвертом углу прямоугольной конструкции, составленной из лазерных трубок, взаимно примыкающие лазерные трубки 12 поддерживаются соединительным элементом 17, который несет заднее зеркало 15 и выходной компонент 18. В проиллюстрированном примере общий объем на одном своем конце завершается концевым зеркалом 15, а на другом - выходным компонентом 18, так что в соединительном элементе 17 отсутствуют соединения по текучей среде (по газу).
Выходным компонентом 18 может быть частично отражающее зеркало, выводящее лазерный пучок наружу. Лазерный пучок перенаправляется средством 19, которым может быть зеркало 19, прикрепленное к наружной поверхности соединительного элемента 17. Зеркало 19 направляет лазерный пучок через выполненное в соединительном элементе 17 отверстие во внутреннее пространство 5, т.е. в пространство, охваченное лазерными трубками 12. Предусмотрена возможность установить во внутреннем пространстве 5 дополнительные оптические компоненты для отклонения лазерного пучка в направлении маркируемого объекта.
Хотя на фиг. 2 представлен только один газовый лазер 10а, предпочтительно использовать множество газовых лазеров, каждый из которых можно сформировать в виде лазера по фиг. 2. В частности, каждый газовый лазер может иметь такие собственные детали, как электроды, выходной компонент, заднее зеркало и установленные во внутреннем пространстве оптические компоненты.
Комплект, состоящий из множества газовых лазеров, представлен на фиг. 3. В данном примере в комплект входят девять газовых лазеров 10, установленных друг над другом. Конкретно, над каждой лазерной трубкой первого газового лазера расположена лазерная трубка второго газового лазера.
Для газовых лазеров 10 использованы общие соединительные элементы 16, 17. В таком варианте в каждом соединительном элементе 16 имеются отверстия для соединения двух лазерных трубок каждого газового лазера. В представленном варианте с девятью лазерами это соответствует 18 отверстиям. Тем самым повышается стабильность и уменьшаются производственные затраты. Предпочтительно объемы различных газовых лазеров сообщаются через соединительные элементы 16. Это повышает однородность и стабильность активной газовой смеси, поскольку изменение в составе газа в лазерных трубках одного газового лазера распределяется по всем газовым лазерам и, тем самым, разбавляется. Кроме того, благодаря сообщению объемов различных лазеров посредством соединительных элементов 16 достаточно иметь единственную газовую трубку (не показана) с дополнительным газом для всех лазеров 10.
Каждый соединительный элемент 16 содержит зеркало для перенаправления лазерного излучения из одной лазерной трубки 12 одного газового лазера в другую лазерную трубку 12 того же лазера. Со- 6 024428 единительные элементы 16 предпочтительно снабжены дополнительным отверстием, в котором данное зеркало может быть закреплено снаружи маркировочного аппарата, что упрощает его изготовление.
Общий соединительный элемент 17 несет один выходной компонент 18 и одно заднее зеркало 15 на каждый газовый лазер. Дополнительное упрощение изготовления достигается, если в соединительном элементе 17 выполнены дополнительные отверстия, перекрываемые выходными компонентами 18 и/или задними зеркалами 15. Таким образом, общий соединительный элемент 17 может иметь отверстия на четырех своих сторонах: к двум из этих сторон подведены соединяемые лазерные трубки 12, тогда как в отверстиях на двух остальных сторонах закреплены снаружи выходные компоненты 18 и задние зеркала 15.
Каждая лазерная трубка 12 каждого из газовых лазеров 10 снабжена собственной парой электродов 20, 31, служащих для возбуждения активного газа. Когда лазерные трубки 12 собраны в стопу, электроды 31, обращенные к внутреннему пространству, и электроды 20 на противоположных сторонах лазерных трубок 12 также образуют соответствующие стопы. Все электроды 31 в составе одной стопы лазерных трубок предпочтительно расположены в первом общем кожухе или на первой общей опоре. Аналогично, все электроды 20 в составе одной стопы лазерных трубок предпочтительно расположены во втором общем кожухе или на второй общей опоре.
С наружной стороны лазерных трубок 12, т.е. с их стороны, противоположной внутреннему пространству 5, размещены теплорассеиватели 30. Каждая стопа лазерных трубок 12 предпочтительно находится в тепловом контакте с общим теплорассеивателем 30, чтобы микроканалы внутри него поглощали тепло, поступающее от всей соответствующей стопы.
Использование общих теплорассеивателей позволяет обойтись в нем только одним входным микроканалом и одним выходным микроканалом. Преимущество в данном случае заключается в упрощении конструкции.
В принципе, предусмотрена возможность установить общий теплорассеиватель 30 или электроды 20 ближе к стопе лазерных трубок 12. Если ближе установлен общий теплорассеиватель 30, т.е. если он находится между трубками 12 и электродами 20, входной и выходной микроканалы проходят через вторую общую опору с расположенными на ней электродами 20 или через второй общий кожух с расположенными в нем электродами 20.
Предусмотрена возможность приведения теплорассеивателя 30 и второй общей опоры с электродами во взаимный механический контакт или формирования их заодно с общим корпусом. В таких вариантах преимуществом является дополнительное уменьшение размеров маркировочного аппарата.
В примере, представленном на фиг. 3, во внутреннем пространстве 5 размещена электроника, например драйверные контура для управления электродами 20, 31. Однако лазерные пучки, прошедшие через выходные компоненты 18, в пространство 5 не попадают.
Другой иллюстративный вариант изобретения, относящийся к маркировочному аппарату 100, представлен на фиг. 4. Как и в предыдущем примере, аппарат 100 содержит множество газовых лазеров 10, в каждом из которых имеется один выходной компонент для выведения лазерного пучка.
Однако в данном случае испускаемые лазерные пучки направляются во внутреннее пространство 5. Для этого соединительный элемент 17 сформирован из первой и второй соединительных деталей 17а, 17Ь. Во второй соединительной детали 17Ь выполнены два отверстия на каждый газовый лазер для соединения лазерных трубок 12. Кроме того, вторая соединительная деталь 17Ь снабжена двумя дополнительными отверстиями на каждый газовый лазер, перекрытыми задним зеркалом 15 и выходным компонентом 18. К первой соединительной детали 17а прикреплены направляющие средства 19, такие как зеркала, служащие для перенаправления лазерных пучков, выводимых сквозь выходные компоненты 18, во внутреннее пространство 5.
Во внутреннем пространстве 5 размещены другие оптические компоненты 7, а также электронные компоненты 6. В число оптических компонентов 7 может входить набор 8 отклоняющих средств, содержащий одно отклоняющее средство на каждый газовый лазер. Отклоняющим средством может являться зеркало или световод. Благодаря такому выполнению набор 8 отклоняющих средств позволяет индивидуально перенаправлять каждый испускаемый лазерный пучок. В состав оптических компонентов 7 могут входить также один или два гальванометрических сканера 9, каждый из которых содержит зеркало, на которое падают пучки всех газовых лазеров. Посредством гальванометрических сканеров 9 лазерные пучки могут сканироваться в пределах поля зрения маркировочного аппарата 100.
На фиг. 5 представлен другой вариант маркировочного аппарата 100 по изобретению. Здесь каждый газовый лазер содержит три лазерных трубки 12, расположенные по И-образному контуру. Пространство между двумя ветвями этого контура должно рассматриваться как внутреннее пространство 5. На одном своем конце И-образный контур завершается первым соединительным элементом, к которому прикреплены задние зеркала 15, но не выходные компоненты 18. Соответственно, на другом своем конце этот контур завершается вторым соединительным элементом, к которому прикреплены выходные компоненты 18, но не задние зеркала 15.
Предусмотрен также коннектор 40 (в форме втулки или гнезда) для присоединения гибкого кабеля со шлангом. Через этот коннектор в аппарат может подаваться охлаждающая текучая среда, которая за- 7 024428 тем может проходить по микроканалам. Нагретая в микроканалах охлаждающая текучая среда может выводиться из аппарата через коннектор 40.
Коннектор 40 можно дополнительно снабдить электрическими контактами, через которые к маркировочному аппарату 100 по гибкому кабелю может подводиться электропитание.
На фиг. 6 представлен вариант осуществления маркировочной установки 120 по изобретению. Установка 120 содержит по меньшей мере один маркировочный аппарат 100, установленный в первом кожухе 101. В проиллюстрированном примере использовано четыре маркировочных аппарата 100, каждый из которых заключен в собственный первый кожух 101. Предпочтительно выполнить кожух 101 пыленепроницаемым и обеспечить защиту от воды при погружении на глубину по меньшей мере до одного метра.
Для каждого маркировочного аппарата 100 в установке 120 предусмотрен отдельный базовый блок, сформированный вторым кожухом 102, в котором установлены источник питания и охлаждающее устройство для соответствующего маркировочного аппарата 100. Каждый аппарат 100 подключен к своему базовому блоку 102 через гибкий кабель 50 со шлангом. Гибкость кабеля 50 позволяет выполнять разнообразное позиционирование каждого аппарата 100 относительно базового блока 102.
В дополнение к сказанному, блок 25 управления находится в управляющем модуле (т.е. в отдельном кожухе) 103. Этот блок подключен к каждому из базовых блоков 102 и выполнен с возможностью активирования маркировочных аппаратов 100 через базовые блоки 102 и гибкие кабели 50.
Каждое из охлаждающих устройств базовых блоков 102 снабжено насосом для прокачивания охлаждающей текучей среды. Охлаждающие устройства могут быть пассивными, т.е. не использующими для охлаждения электрическую энергию. В таком варианте охлаждающая текучая среда, нагретая лазерами, может быть охлаждена посредством теплообменника. В случае активного охлаждающего устройства охлаждающая текучая среда дополнительно или альтернативно охлаждается за счет применения электрической энергии, например, с использованием термоэлектрического элемента.
Таким образом, реализуется преимущество, заключающееся в особенно маленьких размерах конструкции. Эффективное охлаждение достигается посредством микроканалов, в которых охлаждающая текучая среда протекает, испытывая возмущения. Пространственные ограничения, накладываемые на маркировочный аппарат, могут быть дополнительно ослаблены путем переноса источника питания, электронных компонентов и/или охлаждающего устройства в отдельный второй кожух, относительно которого маркировочный аппарат можно свободно перемещать, например, с помощью двигателя. Кроме того, тепло, выделяемое в маркировочном аппарате, отводится по шлангу в составе гибкого кабеля. Таким образом, поскольку происходит перенос тепла от охлаждающей текучей среды в окружающее пространство, непосредственное окружение маркировочного аппарата не нагревается, а это обеспечивает желательное увеличение эффективности охлаждения.

Claims (12)

  1. ФОРМУЛА ИЗОБРЕТЕНИЯ
    1. Маркировочный аппарат (100) для маркировки объекта лазерным излучением, имеющий по меньшей мере один газовый лазер (10) для испускания по меньшей мере одного лазерного пучка с целью маркировки объекта, причем по меньшей мере один газовый лазер (10) содержит лазерные трубки (12), заполненные активным газом;
    предусмотрено наличие теплорассеивателей (30) для рассеивания тепла, выделяющегося из лазерных трубок (12);
    каждая лазерная трубка (12) приведена в тепловой контакт с одним из теплорассеивателей (30), отличающийся тем, что каждый теплорассеиватель (30) имеет микроканалы, заполняемые охлаждающей текучей средой, при этом наименьший размер микроканалов составляет менее 2 мм, а по меньшей мере одна стенка каждого микроканала выполнена с отклонениями от ее базовой поверхности, в частности в форме выступов, способных придать потоку охлаждающей текучей среды турбулентный характер.
  2. 2. Маркировочный аппарат по п.1, отличающийся тем, что микроканалы каждого из теплорассеивателей (30) проходят, по существу, по всей длине соответствующей лазерной трубки (12).
  3. 3. Маркировочный аппарат по п.1 или 2, отличающийся тем, что каждая лазерная трубка (12) снабжена по меньшей мере одним электродом (20) для возбуждения находящегося в ней активного газа, а каждый теплорассеиватель (30) сформирован в виде корпуса, в котором находятся микроканалы теплорассеивателя (30) и который несет, по меньшей мере, указанный электрод (20).
  4. 4. Маркировочный аппарат по любому из пп.1-3, отличающийся тем, что снабжен коннектором (40), в частности в форме патрубка, для подсоединения гибкого кабеля (50) со шлангом, используемым для подведения охлаждающей текучей среды к маркировочному аппарату (100) и отведения ее от маркировочного аппарата (100).
  5. 5. Маркировочный аппарат по любому из пп.1-4, отличающийся тем, что лазерные трубки (12) единственного или каждого газового лазера (10), по меньшей мере, частично окружают внутреннее пространство (5), в котором установлены оптические компоненты (7) и/или электроника.
    - 8 024428
  6. 6. Маркировочный аппарат по п.5, отличающийся тем, что дополнительно содержит направляющие средства (19) для направления лазерных пучков во внутреннее пространство (5) и отклоняющие средства (8) для направления лазерных пучков в сторону маркируемого объекта, причем отклоняющие средства (8) установлены во внутреннем пространстве (5).
  7. 7. Маркировочный аппарат по любому из пп.1-6, отличающийся тем, что содержит множество газовых лазеров (10) и блок (25) управления для индивидуального активирования каждого из газовых лазеров (10) для получения лазерного пучка, соответствующего маркируемому знаку, при этом каждый из газовых лазеров (10) содержит лазерные трубки (12), которые, по меньшей мере, частично окружают внутреннее пространство (5), а газовые лазеры (10) установлены один над другим с образованием стопы таким образом, что каждая лазерная трубка (12) одного из газовых лазеров (10) располагается параллельно одной из лазерных трубок (12) другого газового лазера (10).
  8. 8. Маркировочный аппарат по п.7, отличающийся тем, что для лазерных трубок (12), установленных в стопу и расположенных параллельно одна другой, использован общий теплорассеиватель (30) из нескольких теплорассеивателей (30), входящих в состав указанного аппарата, причем указанный общий теплорассеиватель (30) приведен в тепловой контакт со всеми указанными лазерными трубками (12), которые установлены в стопу и расположены взаимно параллельно.
  9. 9. Маркировочный аппарат по любому из пп.1-8, отличающийся тем, что лазерные трубки (12) единственного или каждого газового лазера (10) установлены по замкнутому или разомкнутому контуру, в частности по И-образному контуру или в виде треугольника, прямоугольника или квадрата.
  10. 10. Маркировочный аппарат по любому из пп.1-9, отличающийся тем, что единственный или каждый газовый лазер (10) содержит соединительные элементы (16), связывающие взаимно примыкающие лазерные трубки (12) единственного или соответствующего газового лазера (10) для образования общего трубчатого пространства, причем каждый из указанных соединительных элементов (16) имеет внутреннюю полость, которая сообщается по потоку по меньшей мере с двумя взаимно примыкающими лазерными трубками (12), присоединенными к соединительному элементу (16).
  11. 11. Маркировочная установка, отличающаяся тем, что содержит маркировочный аппарат (100), выполненный согласно любому из пп.1-10, и насос для прокачивания охлаждающей текучей среды через микроканалы.
  12. 12. Маркировочная установка по п.11, отличающаяся тем, что по меньшей мере один газовый лазер (10) установлен в первом кожухе (101); насос установлен во втором кожухе (102);
    во втором кожухе (102) установлен теплорассеивающий компонент для рассеивания в окружающее пространство тепла, содержащегося в охлаждающей текучей среде, а первый кожух (101) и второй кожух (102) соединены гибким кабелем (50).
EA201490245A 2011-09-05 2012-07-19 Устройство для маркировки объекта, содержащее по меньшей мере один газовый лазер и радиатор EA024428B1 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP11007187.5A EP2564976B1 (en) 2011-09-05 2011-09-05 Marking apparatus with at least one gas laser and heat dissipator
PCT/EP2012/003071 WO2013034216A1 (en) 2011-09-05 2012-07-19 Marking apparatus with at least one gas laser and heat dissipator

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EA201490245A1 EA201490245A1 (ru) 2014-09-30
EA024428B1 true EA024428B1 (ru) 2016-09-30

Family

ID=46682787

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EA201490245A EA024428B1 (ru) 2011-09-05 2012-07-19 Устройство для маркировки объекта, содержащее по меньшей мере один газовый лазер и радиатор

Country Status (7)

Country Link
US (1) US10236654B2 (ru)
EP (1) EP2564976B1 (ru)
CN (1) CN103764334B (ru)
BR (1) BR112014003930A2 (ru)
EA (1) EA024428B1 (ru)
ES (1) ES2544034T3 (ru)
WO (1) WO2013034216A1 (ru)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113794090B (zh) * 2021-09-17 2022-12-13 深圳市启扬光学科技有限公司 一种高压激励气体激光器谐振腔散热结构及其散热方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3705999A (en) * 1970-04-13 1972-12-12 Inst Angewandte Physik Gas discharge tube for a laser
US4500998A (en) * 1981-09-09 1985-02-19 Hitachi, Ltd. Gas laser
JPS6394695A (ja) * 1986-10-08 1988-04-25 Nec Corp ガスレ−ザ発振器
US5115446A (en) * 1990-09-19 1992-05-19 Trumpf Lasertechnik Gmbh Device for a power laser
JPH05129678A (ja) * 1991-10-31 1993-05-25 Shibuya Kogyo Co Ltd レーザマーキング装置
US5982803A (en) * 1995-10-17 1999-11-09 Universal Laser Systems, Inc. Free-space gas slab laser

Family Cites Families (276)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2359780A (en) 1938-10-29 1944-10-10 Muffly Glenn Refrigerating mechanism
GB1016576A (en) 1962-08-22 1966-01-12 Varian Associates Optical maser
US3628175A (en) 1963-11-29 1971-12-14 Perkin Elmer Corp Optical maser having concentric reservoirs and cylindrical resonator
US3564452A (en) 1965-08-23 1971-02-16 Spectra Physics Laser with stable resonator
US3465358A (en) 1966-07-21 1969-09-02 Bell Telephone Labor Inc Q-switched molecular laser
US3533012A (en) 1967-02-10 1970-10-06 Optics Technology Inc Laser apparatus and method of aligning same
US3638137A (en) 1969-01-10 1972-01-25 Hughes Aircraft Co Method of q-switching and mode locking a laser beam and structure
GB1269892A (en) 1969-03-20 1972-04-06 Messerschmitt Boelkow Blohm Weapon system for the detection of and use against stationary or moving objects
US3596202A (en) 1969-03-28 1971-07-27 Bell Telephone Labor Inc Carbon dioxide laser operating upon a vibrational-rotational transition
US3721915A (en) 1969-09-19 1973-03-20 Avco Corp Electrically excited flowing gas laser and method of operation
US3646476A (en) 1969-11-24 1972-02-29 Coherent Radiation Lab Pulsed gas ion laser
US3609584A (en) 1970-02-11 1971-09-28 Union Carbide Corp Method and means for compensating thermal lensing in a laser system
US3602837A (en) 1970-03-31 1971-08-31 Us Army Method and apparatus for exciting an ion laser at microwave frequencies
US3670259A (en) * 1970-04-13 1972-06-13 American Optical Corp Double q-switch laser
US3801929A (en) 1972-07-31 1974-04-02 Asahi Optical Co Ltd Gas laser apparatus having low temperature sensitivity
US3851272A (en) 1973-01-02 1974-11-26 Coherent Radiation Gaseous laser with cathode forming optical resonator support and plasma tube envelope
US3900804A (en) 1973-12-26 1975-08-19 United Aircraft Corp Multitube coaxial closed cycle gas laser system
US3919663A (en) 1974-05-23 1975-11-11 United Technologies Corp Method and apparatus for aligning laser reflective surfaces
US4053851A (en) 1975-07-10 1977-10-11 The United States Of America As Represented By The United States Energy Research And Development Administration Near 16 micron CO2 laser system
GB1495477A (en) 1975-10-31 1977-12-21 Taiwan Fan Shun Co Ltd Drinking water supply apparatus for vehicles
IL49999A (en) 1976-01-07 1979-12-30 Mochida Pharm Co Ltd Laser apparatus for operations
US4131782A (en) 1976-05-03 1978-12-26 Lasag Ag Method of and apparatus for machining large numbers of holes of precisely controlled size by coherent radiation
US4122853A (en) 1977-03-14 1978-10-31 Spectra-Med Infrared laser photocautery device
US4125755A (en) 1977-06-23 1978-11-14 Western Electric Co., Inc. Laser welding
US4189687A (en) 1977-10-25 1980-02-19 Analytical Radiation Corporation Compact laser construction
US4170405A (en) 1977-11-04 1979-10-09 United Technologies Corporation Resonator having coupled cavities with intercavity beam expansion elements
US4376496A (en) 1979-10-12 1983-03-15 The Coca-Cola Company Post-mix beverage dispensing system syrup package, valving system, and carbonator therefor
JPS5764718A (en) 1980-10-09 1982-04-20 Hitachi Ltd Laser beam printer
US4404571A (en) 1980-10-14 1983-09-13 Canon Kabushiki Kaisha Multibeam recording apparatus
US4376946A (en) 1980-11-28 1983-03-15 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Superluminescent LED with efficient coupling to optical waveguide
US4500996A (en) 1982-03-31 1985-02-19 Coherent, Inc. High power fundamental mode laser
US4477907A (en) 1982-05-03 1984-10-16 American Laser Corporation Low power argon-ion gas laser
US4554666A (en) 1982-11-24 1985-11-19 Rca Corporation High-energy, single longitudinal mode hybrid laser
US4689467A (en) 1982-12-17 1987-08-25 Inoue-Japax Research Incorporated Laser machining apparatus
US4512639A (en) 1983-07-05 1985-04-23 The United States Of American As Represented By The Secretary Of The Army Erectable large optic for outer space application
US4596018A (en) 1983-10-07 1986-06-17 Minnesota Laser Corp. External electrode transverse high frequency gas discharge laser
FR2556262B1 (fr) 1983-12-09 1987-02-20 Ressencourt Hubert La presente invention concerne un centre de faconnage de materiaux en feuilles a commande numerique
US4660209A (en) 1983-12-29 1987-04-21 Amada Engineering & Service Co., Inc. High speed axial flow type gas laser oscillator
US4652722A (en) 1984-04-05 1987-03-24 Videojet Systems International, Inc. Laser marking apparatus
US4614913A (en) 1984-04-30 1986-09-30 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Inherently boresighted laser weapon alignment subsystem
US4655547A (en) 1985-04-09 1987-04-07 Bell Communications Research, Inc. Shaping optical pulses by amplitude and phase masking
US4744090A (en) 1985-07-08 1988-05-10 Trw Inc. High-extraction efficiency annular resonator
DD256440A3 (de) 1986-01-09 1988-05-11 Halle Feinmech Werke Veb Anordnung zur wellenlaengenselektion und internen leistungsmodulation der strahlung von hochleistungs-co tief 2-lasern
DD256439A3 (de) 1986-01-09 1988-05-11 Halle Feinmech Werke Veb Verfahren zur steuerung der inneren und unterdrueckung der aeusseren strahlungsrueckkopplung eines co tief 2-hochleistungslasers
ATE68294T1 (de) 1986-03-12 1991-10-15 Prc Corp Verfahren zur stabilisierung des betriebes eines axialgaslasers und axialgaslaser.
US4672620A (en) 1986-05-14 1987-06-09 Spectra-Physics, Inc. Fast axial flow carbon dioxide laser
US4727235A (en) 1986-08-07 1988-02-23 Videojet Systems International, Inc. Method and apparatus for equalizing power output in a laser marking system
US4720618A (en) 1986-08-07 1988-01-19 Videojet Systems International, Inc. Method and apparatus for equalizing power output in a laser marking system
US4831333A (en) 1986-09-11 1989-05-16 Ltv Aerospace & Defense Co. Laser beam steering apparatus
US4779278A (en) 1986-12-05 1988-10-18 Laser Photonics, Inc. Laser apparatus and method for discriminating against higher order modes
US4846550A (en) 1987-01-07 1989-07-11 Allied-Signal Inc. Optical wedges used in beam expander for divergence control of laser
US5162940A (en) 1987-03-06 1992-11-10 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Multiple energy level, multiple pulse rate laser source
SE460570B (sv) 1987-10-13 1989-10-23 Trumpf Gmbh & Co Anordning foer en effektlaser
DE3990051D2 (en) 1988-01-21 1991-01-10 Siemens Ag Gaslaser
US5012259A (en) 1988-01-28 1991-04-30 Konica Corporation Color recorder with gas laser beam scanning
JP2592085B2 (ja) 1988-02-09 1997-03-19 マツダ株式会社 アンチロック装置
US4819246A (en) 1988-03-23 1989-04-04 Aerotech, Inc. Single frequency adapter
US4770482A (en) 1988-07-17 1988-09-13 Gte Government Systems Corporation Scanning system for optical transmitter beams
US5052017A (en) 1988-12-01 1991-09-24 Coherent, Inc. High power laser with focusing mirror sets
US5023886A (en) 1988-12-01 1991-06-11 Coherent, Inc. High power laser with focusing mirror sets
US4953176A (en) 1989-03-07 1990-08-28 Spectra-Physics Angular optical cavity alignment adjustment utilizing variable distribution cooling
US4958900A (en) 1989-03-27 1990-09-25 General Electric Company Multi-fiber holder for output coupler and methods using same
GB8912765D0 (en) 1989-06-02 1989-07-19 Lumonics Ltd A laser
US5268921A (en) 1989-07-03 1993-12-07 Mclellan Edward J Multiple discharge gas laser apparatus
DE3937370A1 (de) 1989-11-09 1991-05-16 Otto Bihler Laser
US4991149A (en) 1989-12-07 1991-02-05 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Underwater object detection system
US5065405A (en) 1990-01-24 1991-11-12 Synrad, Incorporated Sealed-off, RF-excited gas lasers and method for their manufacture
US5109149A (en) 1990-03-15 1992-04-28 Albert Leung Laser, direct-write integrated circuit production system
US5214658A (en) 1990-07-27 1993-05-25 Ion Laser Technology Mixed gas ion laser
DE4029187C2 (de) 1990-09-14 2001-08-16 Trumpf Lasertechnik Gmbh Längsgeströmter CO¶2¶-Laser
GB2249843A (en) 1990-10-25 1992-05-20 Robert Peter Sunman Image production
WO1992012820A1 (en) 1991-01-17 1992-08-06 United Distillers Plc Dynamic laser marking
US5229574A (en) 1991-10-15 1993-07-20 Videojet Systems International, Inc. Print quality laser marker apparatus
US5229573A (en) 1991-10-15 1993-07-20 Videojet Systems International, Inc. Print quality laser marker apparatus
JPH07503382A (ja) 1991-11-06 1995-04-13 ライ,シュイ,ティー. 角膜手術装置及び方法
US5199042A (en) 1992-01-10 1993-03-30 Litton Systems, Inc. Unstable laser apparatus
DE4300700A1 (en) * 1992-01-14 1993-07-29 Boreal Laser Inc Carbon di:oxide plate laser group arrangement - has channel between wave-conducting electrode surfaces subdivided into multiple parallel laser resonators
US5572538A (en) 1992-01-20 1996-11-05 Miyachi Technos Corporation Laser apparatus and accessible, compact cooling system thereof having interchangeable flow restricting members
JP2872855B2 (ja) 1992-02-19 1999-03-24 ファナック株式会社 レーザ発振器
DE4212390A1 (de) 1992-04-13 1993-10-14 Baasel Carl Lasertech Strahlführungssystem für mehrere Laserstrahlen
US5337325A (en) 1992-05-04 1994-08-09 Photon Imaging Corp Semiconductor, light-emitting devices
US5339737B1 (en) 1992-07-20 1997-06-10 Presstek Inc Lithographic printing plates for use with laser-discharge imaging apparatus
JP2980788B2 (ja) 1992-10-21 1999-11-22 三菱電機株式会社 レーザ装置
JP2725569B2 (ja) 1992-11-18 1998-03-11 松下電器産業株式会社 レーザ発振器
US5274661A (en) 1992-12-07 1993-12-28 Spectra Physics Lasers, Inc. Thin film dielectric coating for laser resonator
JP3022016B2 (ja) 1992-12-28 2000-03-15 松下電器産業株式会社 軸流形レーザ発振器
US5729568A (en) 1993-01-22 1998-03-17 Deutsche Forschungsanstalt Fuer Luft-Und Raumfahrt E.V. Power-controlled, fractal laser system
US5294774A (en) 1993-08-03 1994-03-15 Videojet Systems International, Inc. Laser marker system
US5431199A (en) 1993-11-30 1995-07-11 Benjey, Robert P Redundant seal for vehicle filler neck
JPH07211972A (ja) 1994-01-20 1995-08-11 Fanuc Ltd レーザ発振器
DE4402054A1 (de) 1994-01-25 1995-07-27 Zeiss Carl Fa Gaslaser und Gasnachweis damit
US5386427A (en) 1994-02-10 1995-01-31 Massachusetts Institute Of Technology Thermally controlled lenses for lasers
DE69509638T2 (de) 1994-02-15 2000-03-02 Coherent Inc System zur minimisierung der durch thermisch induzierte doppelbrechung bedingten depolarisation eines laserstrahls
JPH07246488A (ja) 1994-03-11 1995-09-26 Fanuc Ltd レーザ加工装置
US5767477A (en) 1994-03-23 1998-06-16 Domino Printing Sciences Plc Laser marking apparatus for marking twin-line messages
US5568306A (en) 1994-10-17 1996-10-22 Leonard Tachner Laser beam control and imaging system
JPH08139391A (ja) 1994-11-02 1996-05-31 Fanuc Ltd レーザ共振器
US5929337A (en) 1994-11-11 1999-07-27 M & A Packaging Services Limited Non-mechanical contact ultrasound system for monitoring contents of a moving container
US5550853A (en) 1994-12-21 1996-08-27 Laser Physics, Inc. Integral laser head and power supply
US5659561A (en) 1995-06-06 1997-08-19 University Of Central Florida Spatial solitary waves in bulk quadratic nonlinear materials and their applications
US5689363A (en) 1995-06-12 1997-11-18 The Regents Of The University Of California Long-pulse-width narrow-bandwidth solid state laser
JP3427573B2 (ja) 1995-06-27 2003-07-22 松下電器産業株式会社 マイクロ波励起ガスレーザ発振装置
US5646907A (en) 1995-08-09 1997-07-08 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Method and system for detecting objects at or below the water's surface
DE29514319U1 (de) 1995-09-07 1997-01-16 Sator Alexander Paul Vorrichtung zum Beschriften von Gegenständen
US5592504A (en) 1995-10-10 1997-01-07 Cameron; Harold A. Transversely excited non waveguide RF gas laser configuration
US5682262A (en) 1995-12-13 1997-10-28 Massachusetts Institute Of Technology Method and device for generating spatially and temporally shaped optical waveforms
US5720894A (en) 1996-01-11 1998-02-24 The Regents Of The University Of California Ultrashort pulse high repetition rate laser system for biological tissue processing
FR2748519B1 (fr) 1996-05-10 1998-06-26 Valeo Thermique Moteur Sa Dispositif de refroidissement d'un moteur avec reservoir de fluide thermiquement isole
US5837962A (en) 1996-07-15 1998-11-17 Overbeck; James W. Faster laser marker employing acousto-optic deflection
US5808268A (en) 1996-07-23 1998-09-15 International Business Machines Corporation Method for marking substrates
US6050486A (en) 1996-08-23 2000-04-18 Pitney Bowes Inc. Electronic postage meter system separable printer and accounting arrangement incorporating partition of indicia and accounting information
DE19634190C2 (de) 1996-08-23 2002-01-31 Baasel Carl Lasertech Mehrkopf-Lasergravuranlage
US5864430A (en) 1996-09-10 1999-01-26 Sandia Corporation Gaussian beam profile shaping apparatus, method therefor and evaluation thereof
US6421159B1 (en) 1996-09-11 2002-07-16 The Domino Corporation Multiple beam laser marking apparatus
US6064034A (en) 1996-11-22 2000-05-16 Anolaze Corporation Laser marking process for vitrification of bricks and other vitrescent objects
US5815523A (en) 1996-11-27 1998-09-29 Mcdonnell Douglas Corporation Variable power helix laser amplifier and laser
EP0904616B1 (en) 1997-03-14 2008-12-03 Demaria Electrooptics inc Rf excited waveguide laser
US6141030A (en) 1997-04-24 2000-10-31 Konica Corporation Laser exposure unit including plural laser beam sources differing in wavelength
US6122562A (en) 1997-05-05 2000-09-19 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for selectively marking a semiconductor wafer
FR2766115B1 (fr) 1997-07-18 1999-08-27 Commissariat Energie Atomique Dispositif et procede de decoupe a distance etendue par laser, en mode impulsionnel
DE19734715A1 (de) 1997-08-11 1999-02-25 Lambda Physik Gmbh Vorrichtung zum Spülen des Strahlenganges eines UV-Laserstrahles
US6069843A (en) 1997-08-28 2000-05-30 Northeastern University Optical pulse induced acoustic mine detection
US6263007B1 (en) 1998-03-23 2001-07-17 T & S Team Incorporated Pulsed discharge gas laser having non-integral supply reservoir
JP3041599B2 (ja) 1998-05-14 2000-05-15 セイコーインスツルメンツ株式会社 座標出し光学式観察装置および位置情報蓄積方法
US6898216B1 (en) 1999-06-30 2005-05-24 Lambda Physik Ag Reduction of laser speckle in photolithography by controlled disruption of spatial coherence of laser beam
US6181728B1 (en) 1998-07-02 2001-01-30 General Scanning, Inc. Controlling laser polarization
US6057871A (en) 1998-07-10 2000-05-02 Litton Systems, Inc. Laser marking system and associated microlaser apparatus
DE19840926B4 (de) 1998-09-08 2013-07-11 Hell Gravure Systems Gmbh & Co. Kg Anordnung zur Materialbearbeitung mittels Laserstrahlen und deren Verwendung
WO2000026936A1 (en) 1998-11-02 2000-05-11 Koninklijke Philips Electronics N.V. Laser illumination arrangement for a cathode ray tube
US6229940B1 (en) 1998-11-30 2001-05-08 Mcdonnell Douglas Corporation Incoherent fiber optic laser system
TW444247B (en) 1999-01-29 2001-07-01 Toshiba Corp Laser beam irradiating device, manufacture of non-single crystal semiconductor film, and manufacture of liquid crystal display device
US6539045B1 (en) 1999-02-03 2003-03-25 Trumpf Lasertechnik Gmbh Laser with device for modifying the distribution of laser light intensity across the laser beam cross-section
US6678291B2 (en) 1999-12-15 2004-01-13 Lambda Physik Ag Molecular fluorine laser
US6356575B1 (en) 1999-07-06 2002-03-12 Raytheon Company Dual cavity multifunction laser system
JP2001023918A (ja) 1999-07-08 2001-01-26 Nec Corp 半導体薄膜形成装置
US6335943B1 (en) 1999-07-27 2002-01-01 Lockheed Martin Corporation System and method for ultrasonic laser testing using a laser source to generate ultrasound having a tunable wavelength
US6944201B2 (en) 1999-07-30 2005-09-13 High Q Laser Production Gmbh Compact ultra fast laser
US20090168111A9 (en) 1999-09-01 2009-07-02 Hell Gravure Systems Gmbh Printing form processing with fine and coarse engraving tool processing tracks
US6256121B1 (en) 1999-10-08 2001-07-03 Nanovia, Lp Apparatus for ablating high-density array of vias or indentation in surface of object
US6420675B1 (en) 1999-10-08 2002-07-16 Nanovia, Lp Control system for ablating high-density array of vias or indentation in surface of object
US6886284B2 (en) 1999-10-08 2005-05-03 Identification Dynamics, Llc Firearm microstamping and micromarking insert for stamping a firearm identification code and serial number into cartridge shell casings and projectiles
US6310701B1 (en) 1999-10-08 2001-10-30 Nanovia Lp Method and apparatus for ablating high-density array of vias or indentation in surface of object
US6653593B2 (en) 1999-10-08 2003-11-25 Nanovia, Lp Control system for ablating high-density array of vias or indentation in surface of object
US6833911B2 (en) 1999-10-08 2004-12-21 Identification Dynamics, Inc. Method and apparatus for reading firearm microstamping
US6735232B2 (en) 2000-01-27 2004-05-11 Lambda Physik Ag Laser with versatile output energy
JP2001276986A (ja) 2000-03-29 2001-10-09 Nec Corp レーザ加工装置及び方法
EP1143584A3 (en) 2000-03-31 2003-04-23 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Semiconductor laser array
US6791592B2 (en) 2000-04-18 2004-09-14 Laserink Printing a code on a product
US7394591B2 (en) 2000-05-23 2008-07-01 Imra America, Inc. Utilization of Yb: and Nd: mode-locked oscillators in solid-state short pulse laser systems
US6605799B2 (en) 2000-05-25 2003-08-12 Westar Photonics Modulation of laser energy with a predefined pattern
EP1248332B1 (en) 2000-05-30 2004-05-12 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Laser oscillating device
US6904073B2 (en) 2001-01-29 2005-06-07 Cymer, Inc. High power deep ultraviolet laser with long life optics
DE20011508U1 (de) 2000-06-30 2000-10-12 Termotek Laserkuehlung Gmbh Kühlvorrichtung für einen Laser
JP2002045371A (ja) 2000-08-01 2002-02-12 Nidek Co Ltd レーザ治療装置
DE10043269C2 (de) 2000-08-29 2002-10-24 Jenoptik Jena Gmbh Diodengepumpter Laserverstärker
US6585161B1 (en) 2000-08-30 2003-07-01 Psc Scanning, Inc. Dense pattern optical scanner
DE50015974D1 (de) 2000-08-31 2010-09-30 Trumpf Laser & Systemtechnik Gaslaser
WO2002025640A2 (en) 2000-09-21 2002-03-28 Gsi Lumonics Corporation Digital control servo system
DE10047020C1 (de) 2000-09-22 2002-02-07 Trumpf Lasertechnik Gmbh Laser mit wenigstens zwei Elektrodenrohren und einer Kühleinrichtung, Verfahren zur Herstellung eines Lasers sowie Vorrichtung zur Durchführung eines derartigen Verfahrens
AU2002237668A1 (en) 2000-11-21 2002-06-03 Michael R. Adams Portable low-power gas discharge laser
US6693930B1 (en) 2000-12-12 2004-02-17 Kla-Tencor Technologies Corporation Peak power and speckle contrast reduction for a single laser pulse
EP1215774B1 (de) 2000-12-16 2003-11-19 TRUMPF LASERTECHNIK GmbH Koaxialer Laser mit einer Einrichtung zur Strahlformung eines Laserstrahls
US7496831B2 (en) 2001-02-22 2009-02-24 International Business Machines Corporation Method to reformat regions with cluttered hyperlinks
AU2002306742A1 (en) 2001-03-19 2002-10-03 Nutfield Technologies, Inc. Monolithic ceramic laser structure and method of making same
US6370884B1 (en) 2001-03-30 2002-04-16 Maher I. Kelada Thermoelectric fluid cooling cartridge
US6768765B1 (en) 2001-06-07 2004-07-27 Lambda Physik Ag High power excimer or molecular fluorine laser system
US7642484B2 (en) 2001-06-13 2010-01-05 Orbotech Ltd Multiple beam micro-machining system and method
US6804269B2 (en) 2001-06-19 2004-10-12 Hitachi Via Mechanics, Ltd. Laser beam delivery system with trepanning module
US6915654B2 (en) 2001-06-20 2005-07-12 Ross Johnson Portable cooling mechanism
US6914232B2 (en) 2001-10-26 2005-07-05 Bennett Optical Research, Inc. Device to control laser spot size
KR20050044371A (ko) 2001-11-07 2005-05-12 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 광학 스폿 그리드 어레이 프린터
DE10202036A1 (de) 2002-01-18 2003-07-31 Zeiss Carl Meditec Ag Femtosekunden Lasersystem zur präzisen Bearbeitung von Material und Gewebe
US6804287B2 (en) 2002-02-02 2004-10-12 The Regents Of The University Of Colorado, A Body Corporate Ultrashort pulse amplification in cryogenically cooled amplifiers
US20040028108A1 (en) 2002-02-07 2004-02-12 Govorkov Sergei V. Solid-state diode pumped laser employing oscillator-amplifier
US6750421B2 (en) 2002-02-19 2004-06-15 Gsi Lumonics Ltd. Method and system for laser welding
US6756563B2 (en) 2002-03-07 2004-06-29 Orbotech Ltd. System and method for forming holes in substrates containing glass
US6826219B2 (en) 2002-03-14 2004-11-30 Gigatera Ag Semiconductor saturable absorber device, and laser
US7058100B2 (en) 2002-04-18 2006-06-06 The Boeing Company Systems and methods for thermal management of diode-pumped solid-state lasers
US20030219094A1 (en) 2002-05-21 2003-11-27 Basting Dirk L. Excimer or molecular fluorine laser system with multiple discharge units
WO2004017392A1 (ja) 2002-08-13 2004-02-26 Kabushiki Kaisha Toshiba レーザ照射方法
US20040202220A1 (en) 2002-11-05 2004-10-14 Gongxue Hua Master oscillator-power amplifier excimer laser system
US6903824B2 (en) 2002-12-20 2005-06-07 Eastman Kodak Company Laser sensitometer
US7145926B2 (en) 2003-01-24 2006-12-05 Peter Vitruk RF excited gas laser
US20050094697A1 (en) 2003-01-30 2005-05-05 Rofin Sinar Laser Gmbh Stripline laser
TWI248244B (en) 2003-02-19 2006-01-21 J P Sercel Associates Inc System and method for cutting using a variable astigmatic focal beam spot
US7321105B2 (en) 2003-02-21 2008-01-22 Lsp Technologies, Inc. Laser peening of dovetail slots by fiber optical and articulate arm beam delivery
US7499207B2 (en) 2003-04-10 2009-03-03 Hitachi Via Mechanics, Ltd. Beam shaping prior to harmonic generation for increased stability of laser beam shaping post harmonic generation with integrated automatic displacement and thermal beam drift compensation
US7408687B2 (en) 2003-04-10 2008-08-05 Hitachi Via Mechanics (Usa), Inc. Beam shaping prior to harmonic generation for increased stability of laser beam shaping post harmonic generation with integrated automatic displacement and thermal beam drift compensation
EP1616215A4 (en) 2003-04-24 2010-04-07 Bae Systems Information MONOLITHIC OBJECTIVE TELESCOPES AND PHANTOM IMAGE CORRECTION USED TO FORM A LASER BEAM
US20060287697A1 (en) 2003-05-28 2006-12-21 Medcool, Inc. Methods and apparatus for thermally activating a console of a thermal delivery system
GB0313887D0 (en) 2003-06-16 2003-07-23 Gsi Lumonics Ltd Monitoring and controlling of laser operation
US6856509B2 (en) 2003-07-14 2005-02-15 Jen-Cheng Lin Cartridge assembly of a water cooled radiator
US7521651B2 (en) 2003-09-12 2009-04-21 Orbotech Ltd Multiple beam micro-machining system and method
US7364952B2 (en) 2003-09-16 2008-04-29 The Trustees Of Columbia University In The City Of New York Systems and methods for processing thin films
US6894785B2 (en) 2003-09-30 2005-05-17 Cymer, Inc. Gas discharge MOPA laser spectral analysis module
CN100544877C (zh) 2003-10-17 2009-09-30 通明国际科技公司 活动扫描场
US20050205778A1 (en) 2003-10-17 2005-09-22 Gsi Lumonics Corporation Laser trim motion, calibration, imaging, and fixturing techniques
EP1528645B1 (en) 2003-10-30 2011-02-16 Metal Improvement Company, LLC. Relay telescope, laser amplifier, and laser peening method and system using same
US7291805B2 (en) 2003-10-30 2007-11-06 The Regents Of The University Of California Target isolation system, high power laser and laser peening method and system using same
AT412829B (de) 2003-11-13 2005-07-25 Femtolasers Produktions Gmbh Kurzpuls-laservorrichtung
JP2005144487A (ja) 2003-11-13 2005-06-09 Seiko Epson Corp レーザ加工装置及びレーザ加工方法
JP4344224B2 (ja) 2003-11-21 2009-10-14 浜松ホトニクス株式会社 光学マスクおよびmopaレーザ装置
US7376160B2 (en) 2003-11-24 2008-05-20 Raytheon Company Slab laser and method with improved and directionally homogenized beam quality
US7046267B2 (en) 2003-12-19 2006-05-16 Markem Corporation Striping and clipping correction
WO2005069450A2 (en) 2004-01-07 2005-07-28 Spectra-Physics, Inc. Ultraviolet, narrow linewidth laser system
US7199330B2 (en) 2004-01-20 2007-04-03 Coherent, Inc. Systems and methods for forming a laser beam having a flat top
DE602005011248D1 (de) 2004-01-23 2009-01-08 Gsi Group Corp System und verfahren zum optimieren der zeichenmarkierungsleistung
JP2005268445A (ja) * 2004-03-17 2005-09-29 Hamamatsu Photonics Kk 半導体レーザ装置
US7711013B2 (en) 2004-03-31 2010-05-04 Imra America, Inc. Modular fiber-based chirped pulse amplification system
JP2005294393A (ja) 2004-03-31 2005-10-20 Fanuc Ltd レーザ発振器
US7486705B2 (en) 2004-03-31 2009-02-03 Imra America, Inc. Femtosecond laser processing system with process parameters, controls and feedback
US7565705B2 (en) 2004-05-11 2009-07-28 Biocool Technologies, Llc Garment for a cooling and hydration system
EP1751967A2 (en) 2004-05-19 2007-02-14 Intense Limited Thermal printing with laser activation
JP4182034B2 (ja) 2004-08-05 2008-11-19 ファナック株式会社 切断加工用レーザ装置
DE502004001824D1 (de) 2004-09-30 2006-11-30 Trumpf Laser Gmbh & Co Kg Vorrichtung zur Fokussierung eines Laserstrahls
US20060092995A1 (en) 2004-11-01 2006-05-04 Chromaplex, Inc. High-power mode-locked laser system
US7204298B2 (en) * 2004-11-24 2007-04-17 Lucent Technologies Inc. Techniques for microchannel cooling
JP3998067B2 (ja) 2004-11-29 2007-10-24 オムロンレーザーフロント株式会社 固体レーザ発振器
US20060114956A1 (en) 2004-11-30 2006-06-01 Sandstrom Richard L High power high pulse repetition rate gas discharge laser system bandwidth management
US7346427B2 (en) 2005-01-14 2008-03-18 Flymg J, Inc. Collecting liquid product volume data at a dispenser
US7295948B2 (en) 2005-01-15 2007-11-13 Jetter Heinz L Laser system for marking tires
US7394479B2 (en) 2005-03-02 2008-07-01 Marken Corporation Pulsed laser printing
US7430230B2 (en) 2005-04-07 2008-09-30 The Boeing Company Tube solid-state laser
DE102005024931B3 (de) 2005-05-23 2007-01-11 Ltb-Lasertechnik Gmbh Transversal elektrisch angeregter Gasentladungslaser zur Erzeugung von Lichtpulsen mit hoher Pulsfolgefrequenz und Verfahren zur Herstellung
US7334744B1 (en) 2005-05-23 2008-02-26 Gentry Dawson Portable mister and cooling assembly for outdoor use
US8278590B2 (en) 2005-05-27 2012-10-02 Resonetics, LLC Apparatus for minimizing a heat affected zone during laser micro-machining
US7672343B2 (en) 2005-07-12 2010-03-02 Gsi Group Corporation System and method for high power laser processing
US20100220750A1 (en) 2005-07-19 2010-09-02 James Hayden Brownell Terahertz Laser Components And Associated Methods
JP2007032869A (ja) 2005-07-22 2007-02-08 Fujitsu Ltd 冷却装置および冷却方法
JP2007029972A (ja) 2005-07-25 2007-02-08 Fanuc Ltd レーザ加工装置
EP1934687A4 (en) 2005-10-11 2009-10-28 Kilolambda Tech Ltd COMBINED OPTICAL POWER SWITCHING LIMITATION DEVICE AND METHOD FOR PROTECTING IMAGING AND NON-IMAGING SENSORS
US20070098024A1 (en) 2005-10-28 2007-05-03 Laserscope High power, end pumped laser with off-peak pumping
WO2007069516A1 (en) 2005-12-16 2007-06-21 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Laser irradiation apparatus, laser irradiation method, and manufacturing method of semiconductor device
US20090312676A1 (en) 2006-02-02 2009-12-17 Tylerton International Inc. Metabolic Sink
JP2007212118A (ja) 2006-02-08 2007-08-23 Makoto Fukada 冷感度を高めた水冷式冷風扇
US7543912B2 (en) 2006-03-01 2009-06-09 Lexmark International, Inc. Unitary wick retainer and biasing device retainer for micro-fluid ejection head replaceable cartridge
WO2007145702A2 (en) 2006-04-10 2007-12-21 Board Of Trustees Of Michigan State University Laser material processing systems and methods with, in particular, use of a hollow waveguide for broadening the bandwidth of the pulse above 20 nm
US20070235458A1 (en) 2006-04-10 2007-10-11 Mann & Hummel Gmbh Modular liquid reservoir
US20070247499A1 (en) 2006-04-19 2007-10-25 Anderson Jr James D Multi-function thermoplastic elastomer layer for replaceable ink tank
US7545838B2 (en) 2006-06-12 2009-06-09 Coherent, Inc. Incoherent combination of laser beams
JP4146867B2 (ja) 2006-06-22 2008-09-10 ファナック株式会社 ガスレーザ発振器
US7626152B2 (en) 2006-08-16 2009-12-01 Raytheon Company Beam director and control system for a high energy laser within a conformal window
CN100547863C (zh) 2006-10-20 2009-10-07 香港理工大学 光纤气体激光器和具有该激光器的光纤型环形激光陀螺仪
US20090323739A1 (en) 2006-12-22 2009-12-31 Uv Tech Systems Laser optical system
US7784348B2 (en) 2006-12-22 2010-08-31 Lockheed Martin Corporation Articulated robot for laser ultrasonic inspection
US7729398B2 (en) 2007-04-10 2010-06-01 Northrop Grumman Systems Corporation Error control for high-power laser system employing diffractive optical element beam combiner
US7733930B2 (en) 2007-04-10 2010-06-08 Northrop Grumman Systems Corporation Error control for high-power laser system employing diffractive optical element beam combiner with tilt error control
DE102007023017B4 (de) 2007-05-15 2011-06-01 Thyssenkrupp Lasertechnik Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen von Tailored Blanks
US20080297912A1 (en) 2007-06-01 2008-12-04 Electro Scientific Industries, Inc., An Oregon Corporation Vario-astigmatic beam expander
JP5129678B2 (ja) 2007-07-18 2013-01-30 株式会社クボタ 作業車
US7924894B2 (en) 2008-01-18 2011-04-12 Northrop Grumman Systems Corporation Digital piston error control for high-power laser system employing diffractive optical element beam combiner
US7756169B2 (en) 2008-01-23 2010-07-13 Northrop Grumman Systems Corporation Diffractive method for control of piston error in coherent phased arrays
US8126028B2 (en) 2008-03-31 2012-02-28 Novasolar Holdings Limited Quickly replaceable processing-laser modules and subassemblies
GB0809003D0 (en) 2008-05-17 2008-06-25 Rumsby Philip T Method and apparatus for laser process improvement
GB2460648A (en) 2008-06-03 2009-12-09 M Solv Ltd Method and apparatus for laser focal spot size control
DE102008030868A1 (de) 2008-06-30 2009-12-31 Krones Ag Vorrichtung zum Beschriften von Behältnissen
US8038878B2 (en) 2008-11-26 2011-10-18 Mann+Hummel Gmbh Integrated filter system for a coolant reservoir and method
CN102318451B (zh) 2008-12-13 2013-11-06 万佳雷射有限公司 用于激光加工相对窄和相对宽的结构的方法和设备
GB0900036D0 (en) 2009-01-03 2009-02-11 M Solv Ltd Method and apparatus for forming grooves with complex shape in the surface of apolymer
WO2010091190A2 (en) 2009-02-04 2010-08-12 The General Hospital Corporation Apparatus and method for utilization of a high-speed optical wavelength tuning source
US20100206882A1 (en) 2009-02-13 2010-08-19 Wessels Timothy J Multi chamber coolant tank
JP5462288B2 (ja) 2009-03-04 2014-04-02 パーフェクト アイピー エルエルシー レンズを形成および修正するためのシステムならびにそれによって形成されたレンズ
US8184363B2 (en) 2009-08-07 2012-05-22 Northrop Grumman Systems Corporation All-fiber integrated high power coherent beam combination
US8514485B2 (en) 2009-08-07 2013-08-20 Northrop Grumman Systems Corporation Passive all-fiber integrated high power coherent beam combination
US8184361B2 (en) 2009-08-07 2012-05-22 Northrop Grumman Systems Corporation Integrated spectral and all-fiber coherent beam combination
US8320056B2 (en) 2009-08-20 2012-11-27 Lawrence Livermore National Security, Llc Spatial filters for high average power lasers
US8212178B1 (en) 2009-09-28 2012-07-03 Klein Tools, Inc. Method and system for marking a material using a laser marking system
US8337618B2 (en) 2009-10-26 2012-12-25 Samsung Display Co., Ltd. Silicon crystallization system and silicon crystallization method using laser
JP2011156574A (ja) 2010-02-02 2011-08-18 Hitachi High-Technologies Corp レーザ加工用フォーカス装置、レーザ加工装置及びソーラパネル製造方法
JP5634088B2 (ja) 2010-03-17 2014-12-03 キヤノン株式会社 インクジェット記録装置およびインクタンク
US10072971B2 (en) 2010-04-16 2018-09-11 Metal Improvement Company, Llc Flexible beam delivery system for high power laser systems
US8233511B2 (en) 2010-05-18 2012-07-31 Lawrence Livermore National Security, Llc Method and system for modulation of gain suppression in high average power laser systems
US8432691B2 (en) 2010-10-28 2013-04-30 Asetek A/S Liquid cooling system for an electronic system
ES2438751T3 (es) 2011-09-05 2014-01-20 ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung Dispositivo y procedimiento para marcar un objeto por medio de un rayo láser
EP2564972B1 (en) 2011-09-05 2015-08-26 ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung Marking apparatus with a plurality of lasers, deflection means and telescopic means for each laser beam
EP2564974B1 (en) 2011-09-05 2015-06-17 ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung Marking apparatus with a plurality of gas lasers with resonator tubes and individually adjustable deflection means

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3705999A (en) * 1970-04-13 1972-12-12 Inst Angewandte Physik Gas discharge tube for a laser
US4500998A (en) * 1981-09-09 1985-02-19 Hitachi, Ltd. Gas laser
JPS6394695A (ja) * 1986-10-08 1988-04-25 Nec Corp ガスレ−ザ発振器
US5115446A (en) * 1990-09-19 1992-05-19 Trumpf Lasertechnik Gmbh Device for a power laser
JPH05129678A (ja) * 1991-10-31 1993-05-25 Shibuya Kogyo Co Ltd レーザマーキング装置
US5982803A (en) * 1995-10-17 1999-11-09 Universal Laser Systems, Inc. Free-space gas slab laser

Also Published As

Publication number Publication date
BR112014003930A2 (pt) 2017-03-14
CN103764334B (zh) 2015-08-26
EA201490245A1 (ru) 2014-09-30
ES2544034T3 (es) 2015-08-27
EP2564976B1 (en) 2015-06-10
CN103764334A (zh) 2014-04-30
WO2013034216A1 (en) 2013-03-14
EP2564976A1 (en) 2013-03-06
US20140209580A1 (en) 2014-07-31
US10236654B2 (en) 2019-03-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5469168B2 (ja) 半導体ダイを冷却するための冷却装置
EP2990722B1 (en) Wavelength conversion device and related light emitting device
EP2561271B1 (en) Liquid cooled led lighting device
JP6126644B2 (ja) 光照射装置
KR101081550B1 (ko) 엘이디 조명장치
US20110216536A1 (en) Illumination device
EP2655962B1 (en) Cooling system and method for electronic components
JP6599379B2 (ja) 放熱装置及びそれを備える光照射装置
TW201606228A (zh) 光照射裝置
JP2006319103A (ja) 発光ダイオードの冷却装置
JP6659651B2 (ja) 光照射装置
US20140153225A1 (en) Led lighting device
JP2018092755A (ja) 照射装置
EA024428B1 (ru) Устройство для маркировки объекта, содержащее по меньшей мере один газовый лазер и радиатор
KR20100003923U (ko) 냉각장치용 방열구조
RU2619912C2 (ru) Светодиодный осветительный прибор
JP6423900B2 (ja) 放熱装置及びそれを備える光照射装置
KR20160100712A (ko) 직접 냉각식 발광다이오드 조명기기
CA2897344C (en) Led lighting apparatus
CN108432351B (zh) 组件和包括组件的照明设备
JP2006120971A (ja) 放熱筐体

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Lapse of a eurasian patent due to non-payment of renewal fees within the time limit in the following designated state(s)

Designated state(s): AM AZ BY KZ KG TJ TM RU