DK169061B1 - Polerskive - Google Patents

Polerskive Download PDF

Info

Publication number
DK169061B1
DK169061B1 DK584189A DK584189A DK169061B1 DK 169061 B1 DK169061 B1 DK 169061B1 DK 584189 A DK584189 A DK 584189A DK 584189 A DK584189 A DK 584189A DK 169061 B1 DK169061 B1 DK 169061B1
Authority
DK
Denmark
Prior art keywords
mat
disc
parts
hard
total
Prior art date
Application number
DK584189A
Other languages
English (en)
Other versions
DK584189A (da
DK584189D0 (da
Inventor
Georges Broido
Original Assignee
Lam Plan Sa
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=9371247&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=DK169061(B1) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Lam Plan Sa filed Critical Lam Plan Sa
Publication of DK584189D0 publication Critical patent/DK584189D0/da
Publication of DK584189A publication Critical patent/DK584189A/da
Application granted granted Critical
Publication of DK169061B1 publication Critical patent/DK169061B1/da

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B1/00—Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/11—Lapping tools
    • B24B37/12—Lapping plates for working plane surfaces
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
    • B24D7/00—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting otherwise than only by their periphery, e.g. by the front face; Bushings or mountings therefor
    • B24D7/06—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting otherwise than only by their periphery, e.g. by the front face; Bushings or mountings therefor with inserted abrasive blocks, e.g. segmental
    • B24D7/063—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting otherwise than only by their periphery, e.g. by the front face; Bushings or mountings therefor with inserted abrasive blocks, e.g. segmental with segments embedded in a matrix which is rubbed away during the grinding process
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S451/00—Abrading
    • Y10S451/905—Metal lap

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Removal Of Insulation Or Armoring From Wires Or Cables (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
  • Prostheses (AREA)

Description

i DK 169061 B1
Opfindelsen angår en polerskive eller lapningsskive af især den art, der anvendes på en polermaskine, hvor der findes en skive, der drives i rotation om sin akse, en emneholder, der er forskudt i forhold til ski-5 ven, og som drives, især ved friktion, til rotation om sin akse, og der er en opslæmning af slibemateriale mellem emnet og skiven, idet emnet med et givet tryk presses mod skiven.
Fra beskrivelsen til US patent nr. 3.913.279 10 kender man en polerskive, hvis plane flade er udformet med bløde dele, der har form som øer og som er jævnt fordelt i en sammenhængende, hård del. I nærværende beskrivelse bruges udtrykket "hårde dele" for at betegne de dele, der er hårdere end skivens bløde dele. De blø-15 de dele er jævnt fordelt i koncentriske cirkler på skiven. Der lægges ingen vægt på længden af intervallerne mellem de hårde dele og både på tegningen og på de tilsvarende, i handelen tilgængelige skiver er der meget store intervaller.
20 Fra beskrivelsen til CH patent nr. 641.396 ken der man en polerskive, hvor de bløde dele er opstillede i en kontinuert spiral. Bredden af denne spiral er ikke specificeret. På den tilsvarende, i handelen tilgængelige skive er denne bredde på ca. 10 mm, og længden 25 svarer til, hvad der er anvist på tegningen, hvis det antages, at den viste skive har den diameter, som man normalt anvender.
Det har nu uventet vist sig, at længden af intervallerne mellem de hårde dele spiller en afgørende 30 rolle, hvad angår poleringseffektiviteten eller mængden af materiale, der aftages pr. tidsenhed.
Opfindelsen giver således anvisning på en polerskive, der sikrer højere effektivitet.
Med henblik herpå er en polerskive ifølge opfin-35 delsen ejendommelig ved, at mere end 50% af buer, der i de bløde dele tegnes af en imaginær cirkel med radius på 9/20-dele af skivens radius, og med centrum i af- DK 169061 B1 2 stand fra skivens centrum på det halve af skivens radius, har en længde på mellem 0,5 og 8 mm.
Den kurve, der tegner disse buer, er faktisk sporet på polerskiven af et punkt af det emne, der skal 5 poleres. Sådanne kurver vises på tegningen, men for forenklings skyld kan de med tilstrækkelig tilnærmelse for at forklare opfindelsen opfattes som imaginære cirkler.
Der er 80% og fortrinsvis 90% af disse buer, der 10 har en længde på mellem 0,5 og 5 mm, fortrinsvis på mellem 1 og 4 mm.
Der er således tale om buelængde, der er væsentlig mindre end i den kendte teknik, hvorved der fås optimalt udbytte.
15 Hvis man for at gøre fremstillingen nemmere øn sker at forme de hårde dele ensartet, kan den ovenfor angivne definition af strukturen i henhold til opfindelsen være opfyldt, hvis de hårde dele udgør øer i en blød matrix, der er sammmenhængende, dvs udformet som 20 ét stykke. Denne udformning er modsat den, man kender fra tidligere udførelsesformer. Det viser sig også, at man herved også får en skive med bedre planhed.
Øerne er fortrinsvis rektangulære med sidelængdeforholdet på mellem 1,5 og 3. Resultaterne forbed-25 res, hvis der i langsiderne er dannet indtrykninger.
I den kendte teknik anså man, at der kunne opnås optimalt udbytte, hvis der var 70% hårde dele og 30% bløde dele. Når kriteriet for buelængde imidlertid er opfyldt viser det sig, at det bedste udbytte opnås, når 30 de hårde dele andrager 85-95% af summen af de hårde og de bløde dele.
Skivens hårde dele kan bestå af pulver af støbejern, jern, kobber, rustfrit stål, krom, karbid, oxyder, navnlig aluminiumoxyd, fortrinvis blandet sammen 35 med harpiks såsom polyester-, akryl og fenolformalde-hydharpiks. De bløde dele kan udgøres af metalpulver, 3 DK 169061 B1 f.eks. kobber, bronce, kobber/blylegering, kobber/alu-minium-legering, aluminium, tin, zink, fortrinsvis også i sammenblanding med harpiks, navnlig polyester-, akryl- og fenolformaldehyd-harpiks. I disse blandinger 5 af harpiks og metalpulver kan harpiksen hensigtsmæssigt andrage 20-40% af den samlede vægt.
De anvendte slibemidler er produkter, der har en Mosh-hårdhed på mindst 9 og en Knoop-hårdhed på mindst 1200. Disse slibemidler, der er hårdere end de hårde 10 dele af skiven, er f.eks. korund, smeltet aluminiumoxyd, siliciumkarbid, borkarbid og diamant, som iøvrigt er at foretrække. Slibemidlet er fortrinsvis i form af en opslæmning af ovennævnte stoffer i et bindemiddel, og slibemiddelpartiklerne har kornstørrelse på mellem 15 l og 200 pm, fortrinsvis mellem 20 og 40 pm, og slibemidlet andrager 0,2-5 vægtprocent, fortrinsvis 1-3 vægtprocent af bindemidlet. Bindemidlet kan eksempelvis være en blanding af vand og glycol i en proportion på 10-60%, fortrinsvis 20-50% af bindemidlets totale vægt.
20 Bindemidlet kan også være en blanding af vand og petroleum i en proportion på 40-60% af bindemidlets totale vægt.
Opfindelsen forklares nærmere i det følgende under henvisning til den skematiske tegning, hvor 25 figur 1-4 er planbilleder af skiver i henhold til opfindelsen, hvilke skiver har en diameter på 230 mm, og figur 5 viser en graf til forklaring af opfindelsen.
Den i figur 1 viste lapningsskive består af en 30 harpiks/kobber-matrix 1, hvor harpiksen andrager 2/3 vægtdele af blandingen. Matrixen 1 er sammenhængende og udgør de bløde dele. De hårde dele udgøres af øer 2, hvis overflade, der flugter med skivens overflade, har cirkelform med diameter på 25 mm.
35 Kurven C svarer til sporet på polerskiven af et punkt af et emne, der skal poleres. I den bløde matrix 4 DK 169061 B1 definerer kurven C buer, af hvilke mere end 50% har en længde på mellem 1 og 5 mm. Kurven kan sammenlignes med en imaginær cirkel C, hvis radius er på det halve af skivens radius, og hvis centrum befinder sig i en af-5 stand fra skivens centrum på det halve af skivens radius. På den bløde matrix danner denne cirkel buer 3-13, hvis respektive længder er på 8, 3, 6, 12, 2, 17, 10, 7, 8, 6, 2 og 12.
I figur 2 har øerne 23 i hovedsagen rektangu-10 lær form med indtrykninger i rektanglernes langsider. Afstanden mellem et rektangels kortsider 23 er på 2 mm. Afstanden mellem to indtrykninger 24 på et rektangels langsider er ligeledes på 2 mm. Afstanden mellem langsiderne umiddelbart ved kortsiderne 23 er på 15 2 mm. Afstanden mellem de afsnit, der forbinder ind- trykningerne med resten af langsiderne er på kun 1 mm.
I figur 3 er de hårde rektangulære øer 32 spredt i en matrix 33. Afstanden mellem to øer, målt langs deres sider, er på 2 mm.
20 I figur 4 er de hårde øer 42 spredt i en blød matrix 41 og afstanden mellem to øer er af en sådan størrelse, at de buer, der tegnes på de bløde dele, har længder på mellem 0,5 og 2 mm.
Til bestemmelse af skivernes effektivitet er der 25 foretaget lapning på seks cylindriske emner af diameter på 20 mm under et tryk på 265 g/cm2 i en lapningsmaskine med rotationshastighed på 150 omdr/min og med emne-holder-rotationshastighed på 175 omdr/min, svarende til en lineær hastighed på emnerne på 0,8 m/s. Der er fore-30 taget seks cyklus*er på 5 min hver. Som abrasivt materiale blev der anvendt flydende diamant-middel MM 381 fra ansøgerfirmaet. Materialeaftagning måles i μ hvert 5 minut på de seks emner. Den totale materialeaftagning måles også over samtlige emner i samtlige cyklus'er.
35 Por ansøgerens tidligere kendte skiver, jfr.
ovennævnte US patenskrift, andrager materialeaftagnin- 5 DK 169061 B1 gen 615. Denne værdi for materialeaftagning benyttes som basisindeks på 100.
De opnåede resultater fremgår af Tabel I. For Tabel Ii's vedkommende er de bløde øer på skiven af i 5 og for sig kendt art erstattet med hårde øer på en sådan måde, at disse andrager 71% af skivens areal, medens de bløde øer på den kendte skive androg 70% af arealet. De opnåede resultater fremgår af Tabel II.
Tabel I
Nr. mat. mat. mat. mat. mat.
_af tagn. af tagn. af tagn. af tagn. af tagn.__ 1 19 20 20 20 24 2 16 20 20 26 22 3 16 21 17 19 21 4 19 22 19 21 22 5 20 20 25 21 23 6 22 20 22 24 24 total total mat.
mat. 112 123 123 121 136 aftagn./5 af tagn._ cyklus1 er middelværdi 3,73 4,1 4,1 4,03 4,53 615 divergens 6 6 8 8 3 DK 169061 Bl
Nr. mat. mat. mat. mat. mat.
_aftagn. aftaqn. aftagn. aftaqn. aftaqn._
Tabel II
6 1 31 26 31 31 29 2 27 27 28 24 26 3 27 27 28 26 23 4 33 30 26 28 29 5 36 27 32 33 35 total mat.
6 34 28 36 26 38 aftagn./5 __cyklus1 er total mat. 193 167 178 168 180 886 aftaqn._ middelværdi 6,43 5,56 5,93 5,6 6 divergens 9 4 11 7 15
Udbyttet er på 144.
Tabel III angiver resultaterne for en skive af den i figur 1 viste type med øer med diameter på 20 mm. Øerne andrager 70%. Udbyttet er på 141. Tabel IV angi-5 ver resultaterne for en skive af den i figur 1 viste type med øer med diameter på 13 mm. Øerne andrager 72% og udbyttet er på 135.
Tabel V-X angiver resultaterne for en skive i henhold til figur 2, men med afstande mellem de hårde 10 øers to kortsider og mellem de indtrykkede dele af de hårde øers langsider på henholdsvis 0,5, 1, 2, 4, 6 og 8 mm. Por de hårde øer er procentdelene henholdsvis 95, 91, 81, 69, 57 og 51. Udbytteværdierne er på 126, 131, 148, 137, 122, 103. Grafen i figur 5 angiver variatio- 7 DK 169061 B1 nen i materialeaftagning i relation til afstanden mellem de hårde dele. Det ses klart, at der er et maksimum i materialeaftagning ved en værdi tæt ved 2 mm, og at området fra 0,5 til 6 mm svarer til materialeaftagning 5 på over 750. Der er tæt korrelation mellem længden af buerne i de bløde dele og afstandene mellem de hårde dele.
Af dissse tabeller fremgår det også, at jo større forskellen mellem måleværdierne (divergens) for em-10 nerne er for de forskelllige cyklus'er, desto bedre er udbyttet.
Tabel XI giver resultaterne for en skive i henhold til figur 3 og Tabel XII for en skive i henhold til figur 4. Udbytteværdierne er på 147 og 140.
DK 169061 B1
Tabel III
8
Nr. mat. mat. mat. mat. mat.
_aftagn. aftaqn. aftagn. aftagn. aftagn._ 1 27 23 34 32 29 2 24 27 29 30 24 3 22 29 30 24 22 4 28 27 28 26 25 5 30 33 32 32 31 total mat.
6 32 25 32 36 32 aftagn./5 _cyklus1 er total mat. 163 174 185 180 163 865 aftagn._ middelværdi 5,43 5,8 6,16 6 5,43 divergens 10 8 6 8 10
Tabel IV
Nr. mat. mat. mat. mat. mat.
_aftaqn. aftaqn. aftaqn. aftagn. aftagn._ 9 DK 169061 B1 1 22 26 30 28 31 2 20 22 28 28 29 3 21 23 26 27 30 4 23 23 35 26 32 5 31 24 34 35 29 total mat.
6 24 28 34 36 29 aftagn./5 _cyklus1 er total mat. 141 146 186 180 180 833 aftaqn._ middelværdi 4,7 4,86 8,2 6 6 divergens 11 6 10 10 3
Nr. mat. mat. mat. mat. mat.
_aftaqn. aftagn. aftagn. aftaqn. aftagn._ 10
Tabel V
DK 169061 B1 1 22 25 27 29 23 2 23 27 23 33 24 3 19 27 30 29 24 4 21 24 31 31 24 5 19 26 29 29 23 total mat.
6 22 25 27 28 23 aftagn./5 _cyklus1 er total mat. 126 154 177 179 139 775 aftagn._ middelværdi 4,2 5,13 5,9 5,96 4,6 divergens 4 3 8 5 1
Nr. mat. mat. mat. mat. mat.
_aftagn. aftagn. aftagn. aftagn. aftagn._ 11
Tabel VI
DK 169061 B1 1 24 27 27 27 27 2 25 26 28 31 25 3 24 28 29 30 27 4 29 26 28 30 27 5 24 26 29 27 26 total mat.
6 24 24 28 28 28 aftagn./5 _cyklus1 er total mat. 150 157 169 173 157 806 aftagn._ middelværdi 5 5,23 5,63 5,76 5,2 divergens 5 5 2 4 3
Nr. mat. mat. mat. mat. mat.
_aftaqn. aftagn. aftagn. aftaqn. aftaqn._ 12
Tabel VII
DK 169061 B1 1 28 28 32 31 30 2 30 30 32 32 31 3 31 31 32 33 31 4 29 30 32 32 28 5 28 29 32 31 29 total mat.
6 29 28 31 30 29 aftagn./5 _cyklu1 ser total mat. 175 176 191 189 178 909 aftaqn._ divergens 3 3 13 3
Nr. mat. mat. mat. mat. mat.
_aftaqn. aftagn. aftaqn. aftagn. aftaqn._ 13
Tabel VIII
DK 169061 B1 1 26 29 27 22 26 2 26 30 27 30 30 3 28 29 29 30 28 4 29 27 30 30 29 5 27 28 29 27 28 total mat.
6 25 28 26 29 27 aftagn./5 _cyklus1 er total mat. 161 171 168 175 168 843 aftaqn._ middelværdi 5,36 5,7 5,6 5,83 5,6 divergens 4 4 4 8 4
Nr. mat. mat. mat. mat. mat.
_aftaqn. aftaqn. aftaqn. aftaqn. aftaqn._ DK 169061 B1 14
Tabel IX
1 23 26 24 24 24 2 23 27 25 25 25 3 25 27 26 26 27 4 26 26 25 24 29 5 24 26 24 25 24 total mat.
6 23 26 24 25 24 aftagn./5 _cyklus1 er total mat. 144 158 148 149 153 752 aftaqn._ divergens 3 3 2 2 5
Nr. mat. mat. mat. mat. mat.
_aftagn. aftagn. aftagn. aftagn. aftagn._ 15
Tabel X
DK 169061 B1 1 20 21 22 21 21 2 22 22 21 20 22 3 22 21 22 21 23 4 19 22 21 20 23 5 21 21 20 21 20 total mat.
6 19 22 19 21 22 aftagn./5 _cyklus1 er total mat. 123 129 125 124 131 632 aftagn._ divergens 3 13 13 DK 169061 Bl
Nr. mat. mat. mat. mat. mat.
_aftagn. aftaqn. aftagn. aftaqn. aftagn._ 16
Tabel XI
1 26 32 30 31 31 2 31 29 30 32 31 3 30 29 31 33 31 4 32 27 33 33 29 5 29 28 31 31 28 total mat.
6 27 31 28 30 29 aftagn./5 _cyklus1 er total mat. 193 167 178 168 180 903 aftaqn.___ divergens 6 5 5 3 3 17
Tabel XII
Nr. mat. mat. mat. mat. mat.
_aftaqn. aftaqn. aftaqn. aftaqn. aftagn._ DK 169061 B1 1 27 28 28 30 30 2 28 30 27 33 29 3 28 29 30 33 30 4 28 29 26 33 29 5 29 26 30 30 29 total mat.
6 28 26 28 30 29 aftagn./5 _cyklus1 er total mat. 168 168 169 189 167 861 aftaqn._ divergens 2 4 4 3 1

Claims (7)

1. Cirkulær polerskive med centrum, radius og plan overflade, hvori der er bløde og hårde dele, der flugter med overfladen, kendetegnet ved, at mere end 50% af buer, der i de bløde dele tegnes af en 5 imaginær cirkel med radius på 9/20-dele af skivens radius, og med centrum i afstand fra skivens centrum på det halve af skivens radius, har en længde på mellem 0,5 og 8 mm.
2. Polerskive ifølge krav l, kendeteg-10 net ved, at mindst 80% og fortrinsvis mindst 90% af buerne har en længde på mellem 0,5 og 5 mm.
3. Polerskive ifølge krav 1 eller 2, k ende-tegnet ved, at længden af buerne er på mellem 1 og 4 mm.
4. Polerskive ifølge krav 1, kendeteg net ved, at de hårde dele danner øer i en sammenhængende, blød matrix.
5. Polerskive ifølge krav 4, kendetegnet ved at øerne er rektangulære med sidelængdefor- 20 holdet på mellem 1,5 og 3.
6. Polerskive ifølge krav 5, kendetegnet ved, at der er dannet indtrykninger i langsiderne.
7. Polerskive ifølge krav l eller 2, k e n d e -25 tegnet ved, at de hårde dele andrager 85-95% af summen af hårde og bløde dele.
DK584189A 1988-11-22 1989-11-21 Polerskive DK169061B1 (da)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR8813919 1988-11-22
FR8813919A FR2639278B1 (fr) 1988-11-22 1988-11-22 Plateau de polissage

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DK584189D0 DK584189D0 (da) 1989-11-21
DK584189A DK584189A (da) 1990-05-23
DK169061B1 true DK169061B1 (da) 1994-08-08

Family

ID=9371247

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DK584189A DK169061B1 (da) 1988-11-22 1989-11-21 Polerskive

Country Status (13)

Country Link
US (1) US5022191A (da)
EP (1) EP0370843B1 (da)
JP (1) JPH02262957A (da)
KR (1) KR0150779B1 (da)
AT (1) ATE78205T1 (da)
CA (1) CA2003381C (da)
DE (1) DE68902131T2 (da)
DK (1) DK169061B1 (da)
ES (1) ES2033542T3 (da)
FR (1) FR2639278B1 (da)
GR (1) GR3005624T3 (da)
HU (1) HUT53001A (da)
IE (1) IE62270B1 (da)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2985490B2 (ja) * 1992-02-28 1999-11-29 信越半導体株式会社 研磨機の除熱方法
FR2740716B1 (fr) * 1995-11-08 1998-01-02 Lam Plan Sa Rodoir et son procede de fabrication
TW349896B (en) * 1996-05-02 1999-01-11 Applied Materials Inc Apparatus and chemical mechanical polishing system for polishing a substrate
WO1998050201A1 (en) * 1997-05-09 1998-11-12 Rodel Holdings, Inc. Mosaic polishing pads and methods relating thereto
JP3056714B2 (ja) * 1997-10-06 2000-06-26 松下電子工業株式会社 半導体基板の研磨方法
FR2786118B1 (fr) * 1998-11-19 2000-12-22 Lam Plan Sa Dispositif de rodage ou polissage
US6634929B1 (en) * 1999-04-23 2003-10-21 3M Innovative Properties Company Method for grinding glass
US6616513B1 (en) * 2000-04-07 2003-09-09 Applied Materials, Inc. Grid relief in CMP polishing pad to accurately measure pad wear, pad profile and pad wear profile
WO2017033280A1 (ja) * 2015-08-25 2017-03-02 株式会社クリスタル光学 研磨工具及び研磨工具の製造方法
CN108188945B (zh) * 2018-03-12 2023-08-01 桂林创源金刚石有限公司 一种薄片齿拼合式金刚石砂轮及制作方法

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US342943A (en) * 1886-06-01 Process of and apparatus for making felt boots
US1622942A (en) * 1923-01-17 1927-03-29 Elroy A Chase Buffing wheel
US1926321A (en) * 1930-10-10 1933-09-12 Turek Johann Grinding wheel
FR1104941A (fr) * 1954-05-19 1955-11-25 Perfectionnement aux meules notamment aux meules diamant
FR2203301A5 (da) * 1972-10-18 1974-05-10 Lam Plan Sa
USRE27962E (en) * 1973-03-05 1974-04-02 Abrasive disc
US3921342A (en) * 1973-12-17 1975-11-25 Spitfire Tool & Machine Co Inc Lap plate
JPS6013789B2 (ja) * 1975-07-01 1985-04-09 イプレツツ エス．エイ． 複合板状つや出し工具
US4037367A (en) * 1975-12-22 1977-07-26 Kruse James A Grinding tool
JPS5894965A (ja) * 1981-11-30 1983-06-06 Yoshiaki Hagiuda 複合ラツプ工具
US4581853A (en) * 1982-02-01 1986-04-15 Marcus Ralph S Apparatus for internal finishing of metal parts

Also Published As

Publication number Publication date
KR0150779B1 (ko) 1998-10-15
US5022191A (en) 1991-06-11
IE62270B1 (en) 1995-01-11
DE68902131D1 (de) 1992-08-20
GR3005624T3 (da) 1993-06-07
KR900007550A (ko) 1990-06-01
DK584189A (da) 1990-05-23
CA2003381A1 (en) 1990-05-22
ES2033542T3 (es) 1993-03-16
HU895835D0 (en) 1990-01-28
JPH02262957A (ja) 1990-10-25
HUT53001A (en) 1990-09-28
EP0370843B1 (fr) 1992-07-15
FR2639278A1 (fr) 1990-05-25
CA2003381C (en) 1999-07-13
ATE78205T1 (de) 1992-08-15
EP0370843A1 (fr) 1990-05-30
IE893728L (en) 1990-05-22
DE68902131T2 (de) 1993-01-14
DK584189D0 (da) 1989-11-21
FR2639278B1 (fr) 1991-01-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100210409B1 (ko) 기재에 패턴화된 표면을 제공하는 방법
DK169061B1 (da) Polerskive
US6299508B1 (en) Abrasive article with integrally molded front surface protrusions containing a grinding aid and methods of making and using
US5005319A (en) Knife sharpener
EP2012972B1 (en) Structured abrasive article and method of making and using the same
CA2163761A1 (en) Method of providing a smooth surface on a substrate
JPH09510405A (ja) 回転可能な研削／研磨ディスクの上に置くための研削／研磨用カバーシート
EP1102659A1 (en) Abrasive article with embossed isolation layer and methods of making and using
EP1102660B1 (en) Abrasive article with separately formed front surface protrusions containing a grinding aid and methods of making
EP1095733A1 (en) Method of polishing stainless steel laminate press plates to a nondirectional finish
JP3020434B2 (ja) 電着ホイール及びその製造方法
Ratnasingam et al. The productivity imperatives in coated abrasives–Application in furniture manufacturing
JPS62292367A (ja) ダイヤモンド被覆弾性粒研磨シ−ト
JP3222849U (ja) 包丁の地金曇り出し砥石
JP2652020B2 (ja) セラミック製刃物の刃研ぎ方法
JP3223236U (ja) 包丁の地金曇り出し砥石
US20220388114A1 (en) Abrasive composition and method of manufacturing same
JPH0248155A (ja) アイススケイトエッヂ用、ダイヤモンド研磨機
JPH04250983A (ja) 研削用複合砥石
SU1750944A1 (ru) Дисковый нож
JPH027016Y2 (da)
JPS59175957A (ja) 研摩研削部材
JPH0621665Y2 (ja) 刃物砥ぎ器
KR870000426B1 (ko) 고속회전 숫돌(高速回轉 砥石)
RU2051781C1 (ru) Абразвный доводочный инструмент

Legal Events

Date Code Title Description
B1 Patent granted (law 1993)
PUP Patent expired