DE973552C - Verfahren zum Herstellen von einen Isolierueberzug tragenden keramischen Halbleiterkoerpern fuer elektrische Widerstaende, insbesondere zu Heizzwecken - Google Patents

Description

• Verfahren zum Herstellen von einen Isolierüberzug tragenden keramischen Halbleiterkörpern für elektrische Widerstände, insbesondere zu Heizzwecken Es ist bereits bekannt, keramische Halbleiterkörper dadurch herzustellen, daß das Ausgangsmaterial, welches zum Teil aus Titandioxyd besteht, zunächst in einem ersten Brennprozeß neutral bis oxydierend gebrannt wird, so daß ein Körper mit verschwindend geringem Verlustwinkel und mit dem für keramische Hochfrequenzkondensatoren üblichen Wert der Dielektrizitätskonstante entsteht und daß dieser Körper sodann in einem zweiten Prozeß in einer reduzierenden Atmosphäre gebrannt wird. Die Erfindung bezieht sich auf die Herstellung von solchen, einen Isolierüberzug tragenden keramischen Harlbleiterkörpern für elektrische Widerstände, insbesondere zu Heizzwecken. Das Ausgangsmaterial, welches ganz oder zum Teil aus Titandioxyd besteht, wird dabei ebenfalls dem obenerwähnten ersten und zweiten Brennprozeß unterworfen.
• Das Verfahren nach der Erfindung besteht darin, daß der zweite Brennprozeß nur so lange dürchgeführt wird, bis das Innere des Körpers Halbleitereigenschaften aufweist, seine als Isolierüberzug dienende Oberflächenschicht aber den erforderlichen höheren ohmschen Widerstand besitzt als sein Inneres.
• Das an sich überraschende Ergebnis, daß man durch reduzierenden Brand eines bereits durch einen ersten Brennprozeß hindurchgegangenen keramischen Körpers, der nach diesem ersten Prozeß einen sehr geringen Verlustwinkel besitzt; unter Erhaltung des hohen Isolationswiderstandes seiner Oberflächenschicht einen Halbleiter herstellen kann, ist möglicherweise dadurch zu erklären, daß der Sauerstoff zum Teil aus dem Inneren des Körpers herausdiffundiert, aber dabei die Oberflächenschicht, obwohl sie selbst schon Sauerstoffmoleküle an das Reduktionsmittel abgegeben hat, wieder durch den von innen nach außen diffundierenden Sauerstoff angereichert wird und infolgedessen bei rechtzeitiger Unterbrechung des zweiten Brennprozesses ihren hohen Isolationswiderstand beibehält.
• Man kann somit durch rechtzeitige Unterbrechung des an sich bekannten zweiten Brennprozesses für einen Körper, der den obenerwähnten an sich ebenfalls bekannten ersten Brennpr ozeß durchlaufen hat, Halbleitereigenschaften erzeugen und gleichzeitig auf der Oberfläche dieses Körpers eine Isolierschicht herstellen. Die Isolierschicht kann an denjenigen Stellen, an denen Elektroden an den Halbleiterkörper angeschlossen werden sollen, durch Abschleifen leicht entfernt werden.

Claims (1)

1. PATENTANSPRUCIi: Verfahren zum Herstellen von einen Isolierüberzug tragenden Halbleiterkörpern, die ganz oder zum Teil aus Titandioxyd bestehen, für elektrische Widerstände, insbesondere zu Heizzwecken, bei dem die keramischen Körper zunächst in einem ersten Brennprozeß neutral bis oxydierend gebrannt werden, so daß Körper mit verschwindend geringem Verlustwinkel und mit dem für keramische Hochfrequenzkondensatoren üblichen Wert der Dielektrizitätsko.nstante entstehen, und die sodann in einem zweiten Brennprozeß in einer reduzierenden Atmosphäre gebrannt werden, dadurch gekennzeichnet, daß der zweite Brennprozeß nur so lange durchgeführt wird, bis das Innere des Körpers Halbleitereigenschaften aufweist, seine als Isolierüberzug dienende Oberflächenschicht jedoch den erforderlichen höheren ohrnschen Widerstand besitzt als sein Inneres. In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschriften Nr. 2o6 1o9, 639 66o. 712538.