DE959937C

DE959937C - Vorrichtung zur Erzeugung einer geforderten Intensitaetsverteilung einer gegebenen Strahlung

Info

Publication number: DE959937C
Application number: DES28795A
Authority: DE
Inventors: Dr Konrad Gund; Dr Walter Humbach; Dipl-Phys Rudolf Schittenhelm
Original assignee: Siemens Reiniger Werke AG
Current assignee: Siemens Reiniger Werke AG
Priority date: 1952-06-04
Filing date: 1952-06-04
Publication date: 1957-03-14

Description

Vorrichtung zur Erzeugung einer geforderten Intensitätsverteilung einer gegebenen Strahlung Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Erzeugung einer geforderten Intensitätsverteilung einer vorgegebenen energiereichen Korpuskularstrahlung. Sie betrifft insbesondere eine Vorrichtung zur Erzeugung einer konstanten Intensitätsverteilung pro Raumwinkel- oder Flächeneinheit einer vorgegebenen Strahlung energiereicher Elektronen.
Es ist hierzu bekannt, Streukörper in dem Strahlengang der S.trahlung anzuordnen. Diese Streukörper verändern die Intensitätsverteilung der auf sie treffenden Strahlung und vergrößern überdies den Divergenzwinkel der Strahlung. In vielen Fällen stellt sich nun die Aufgabe dar, einerseits den. Divergenzwinkel einer vorgegebenen Strahlung so aufzuwedten, daß die Strahlung das zu bestrahlende Feld ausleuchtet und überdies innerhalb dieses awfgeweiteten Divergenzwinkels die Intensitätsverteilung der Strahlung so zu verschieben, daß sie einer vorgegebenen Funktion gehorcht, beispielsweise, daß sie innerhalb des aufgeweiteten Divergenzwinkels konstant ist. Bei den bekannten Vorrichtungen genannter Art werden diese beiden Aufgaben durch geeignete Formung nur eines Streukörpers gelöst. Das 'ist dann nachteilig, wenn die geeignete Fonngebung des Streun körpers durch Probieren gefunden werden muß, da man bei einer Veränderung der Form des Streukörpers gleichzeitig die Au£weitung dies. Divergenzwinkels der Strahlung verändert und die Intensitätsvon -t6ilung der Strahlung innerhalb dieses D,ivergenzwinkels. Derartige Streukörper sind auch dann nachteilig, wenn durch sie während des Betriebes der Strahlenquelle einerseits eine vorgegebene Intensitätsverteilung bewirkt, andererseits und unabhängig hiervon aber der Divergenzwinkel dieser vorgegebenen-etwa pro Raum-,vinkeleinheit konstanten - Intensitätsverteilung verändert werden soll. Weiterhin ist die Berechnung der Form des Streukörpers nur dann einfach, wenn durch die vorgegebene Strahlung das zu be, strahlende Feld bereits ausgeleuchtet wird und durch den Streukörper nur Änderungen der Intensitätsverteilung innerhalb dieses Feldes zu # erzeugen sind.
Eine wesentlich voheinander unabhängige Beeinflussung einerseits der Intensitätsverteilung und andererseits des Divergenzwinkels einer vorgegebenen energiereichen Korpuskularstrahlung wird erfindungsgemäß dadurch bewirkt, daß als Streukörper zwei Streufilter vorgesehen sind, von denen das eine zur Aufweitung des D.iwergenzwinke,ls der Strahlung dient, so daß die allein von ihm gestreute Strahlung das zu bestrahlende Feld ungefähr ausleuchtet, während das zweite Filter eine derartige Massenbelegung aufweist, daß die zusätzlich von ihm gestreute Strahlung die geforderte Intensitätsverteilung in dem zu bestrahlenden Feld hervorbringt. In Ausbildung der Erfindung umfaßt das zweite Filter nur denjenigen: Teil des aus dem ersten Filter austretenden Strahlenbündels, dessen Intensität höher ist, als der geforderten. Verteilung entspricht. Durch dieses zweite Filter wird die überschüssige Intensität durch nochmalige Streuung zu einem möglichst hohen Bruchteil - entsprechend der geforderten Intensitätsverteilung - auf das zu bestrahlende Feld verteilt. Hierdurch ist der Vorteil gegeben, daß man. eine - etwa konstante - Intensitätsverteilung über das Bestrahlungsfeld unter optimaler Ausnutzung der im Strahlenbündel enthaltenem, Gesamtstrahlung erreicht. Die überschüssige Intensität wird nicht einfach aus dem zu bestrahlenden Feld weggestreut, sondern so auf das zu bestrahlende Feld verteilt, daß möglichst wenig Strahlung verlorengeht.
Die Herstellung der Streufilter erfolgt in, Ausbildung der Erfindung zweckmäßig durch Aufdampfen der streuendem: Substanz auf einen Träger. Es kann etwa die Massenbelegung des Streufilters durch geeignet zeitlich veränderliche Wandergeschwindigkeit des zu bedampfenden Trägers über dem Spalt eines Aufdampfofens erzeugt werden, oder auch durch Einstellung einer geeigneten zeitlichen Veränderung der Aufdämpfgeschwindigkeit bei Bewegung des zu bedampfenden Trägers über dem Spalt eines Aufdampfofens. Ejitsprechend können auch die Streufilter elektrolytisch aus dem vollen Streumaterial hergestellt werden..Iin Rahmen der Erfindung ist die Herstellung der Streufilter auf die beschriebene, billige und leicht mechanisierbare Weise besonders vorteilhaft, da die Filter nur jeweils eine der eingangs genannten Aufgaben zu erfüllen. haben. Die Wahrscheinlichkeit, daß die hergestellten Filter ihrer jeweils einen Aufgabe nicht genügen, also als Ausschuß zu betrachten sind, ist nämlich. geringer als dis Wahrscheinlichkeit, daß ein zur Lösung beider Aufgaben bestimmtes Filter die eine oder die andere Aufgabe oder auch beide nicht erfüllt.

Claims

PATENTANSPRÜCHE: i. Vorrichtung zur Erzeugung einer geforderten Intensitätsverteilung, insbesondere einer konstanten Intensitätsverteilung pro Raumwinkel oder Flächeneinheit, einer vorgegebenen energiereichen Korpuskularstrahlung vorzugsweise energiereicher Elektronen, mittels im Strahlengang angeordneter Streukörper, dadurch gekennzeichnet, daß als Streukörper zwei Streufilter vorgesehen sind, von denen das eine zur Aufweitung des Divergenzwinkels der Strahlung dient, so daß die allein von ihm gestreute Strahlung das zu betstrahlende Feld ungefähr ausleuchtet, während das andere Filter eine derartige Massenbelegung aufweist, daß die zusätzlich von ihm gestreute Strahlung die geforderte Intensitätsverteilung in dem zu bestrahlenden Feld hervorbringt. a. Vorrichtung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß das zweite Filter nur denjenigen Teil des aus dem ersten Filter austretenden Strahlenbündels umfaßt, dessen Intensität höher ist, als der geforderten Verteilung entspricht. 3. Vorrichtung nach Anspruch. i, dadurch gekennzeichnet, daß die Streufilter durch Aufdampfen der streuenden Substanz auf einen Träger hergestellt sind. 4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Massenbelegung der Streufilter durch geeignet zeitlich. veränderliche Wandergeschwindigkeit des zu bedampfenden Trägers über dem Spalt eines Au£dampfofens erzeugt ist. 5. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Massenbelegung der Streufilter durch Einstellung einer geeigneten zeitlichen Veränderung der Aufdampfgeschwindigkeit bei Bewegung des zu bedampfenden Trägers über dem Spalt eines Aufdampfofer -erzeugt ist. 6. Vorrichtung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die Streufilter elektrolytisch aus dem vollen Streumaterial hergestellt sind. In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschrift Nr. 838 931; französische Patentschrift Nr. 5743i8 und Zusatzpatentschrift Nr. 28 839 hierzu.