DE907331C - Einrichtung zum Erzeugen einer zusaetzlichen Regelspannung zu einer hohen Gleichspannung zum Veraendern der Brennweite elektrostatischer Linsen in elektronenoptischen Geraeten - Google Patents

Einrichtung zum Erzeugen einer zusaetzlichen Regelspannung zu einer hohen Gleichspannung zum Veraendern der Brennweite elektrostatischer Linsen in elektronenoptischen Geraeten

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DE907331C
DE907331C DES22214A DES0022214A DE907331C DE 907331 C DE907331 C DE 907331C DE S22214 A DES22214 A DE S22214A DE S0022214 A DES0022214 A DE S0022214A DE 907331 C DE907331 C DE 907331C
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electron
optical devices
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Expired
Application number
DES22214A
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Inventor
Dr-Ing Siegfried Panzer
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SUEDDEUTSCHE LABORATORIEN GmbH
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SUEDDEUTSCHE LABORATORIEN GmbH
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/24—Circuit arrangements not adapted to a particular application of the tube and not otherwise provided for

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf Einrichtungen zum Erzeugen einer zusätzlichen Regelspannung in einer hohen Gleichspannung zum Verändern der Brennweite elektrostatischer Linsen in elektronenoptischen Geräten, insbesondere Elektronenmikroskopen.
  • Die Brennweite einer elektrostatischen Linse läßt sich durch Verändern der ihr zugeführten Hochspannung variieren. Bisher war es erforderlich, die zur Variation nötige Spannung Batterien zu entnehmen, die in Reihe mit der Strahlstromquellelagen, wobei die Spannung über ein Potentiometer aus in Reihe geschalteten Widerständen verändert werden konnte. Die hohen Spannungen verboten die Verwendung von Draht- oder Schichtpotentiometern, wodurch die Feinheit der Regelung litt, was bei der zur elektronenmikroskopischen Scharfstellung erforderlichen Veränderung der Linsenbrennweite von maßgebender Bedeutung ist. Die fehlenden 'Scharfstellungsbereiche mußten durch mechanische Höhenverschiebung des Objektes überbrückt werden, was weitere fertigungsmäßige Schwierigkeiten und eine Komplikation der Bedienung des Mikroskops bedeutete.
  • Gemäß der Erfindung wird die Einrichtung so getroffen, daß ein Hochfrequenzsender mit Isoliertransformator vorgesehen ist und die dem Isoliertransformator entnommene Hochfrequenzspannung nach Gleichrichten und Glätten der an Hochspannung gegen Erde liegenden Elektrode der elektrostatischen Linse zugeführt wird.
  • Die .Figur zeigt als Ausführungsbeispiel in zum Teil schematischer Darstellung die Schaltung eines Gerätes gemäß der Erfindung. Ein kleiner Rückkopplungssender i von 0,5 bis 2 Watt Leistung erzeugt eine HF-Spannung. Die Windungen des Isoliertransformators 2 sind durch eine Isolierplatte hochspannungsmäßig voneinander getrennt, so daß durch die regelbare Anodenspannung des Senders die sekundäre Zusatzspannung stufenlos im Wert von o bis zu einigen Kilovolt verändert werden kann. Die mechanische Objekthöhenverstellung fällt durch den großen Variationsbereich fort. Der Regelknopf zum Einstellen der Scharfstellung ist jetzt unabhängig vom Ort der Erzeugung der hierzu benötigten Spannungen.

Claims (2)

  1. PATENTANSPRÜCHE: i. Einrichtung zum Erzeugen einer zusätzlichen Regelspannung in einer hohen Gleichspannung zum Verändern der Brennweite elektrostatischer Linsen in elektronenoptischen Geräten, insbesondere Elektronenmikroskopen, dadurch gekennzeichnet, daß ein Hochfrequenzsender (i) mit Isoliertransformator (2) vorgesehen ist und die dem Isoliertransformator (2) entnommene Hochfrequenzspannung nach Gleichrichten und Glätten der an Hochspannung gegen Erde liegenden Elektrode (Mittelelektrode) der elektrostatischen Linse zugeführt wird.
  2. 2. Einrichtung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß zwecks Veränderung der an der Elektrode liegenden Spannung die Anodenspannung des-Senders; (Rückkopplungssenders i) regelbar ist.
DES22214A 1951-03-06 1951-03-06 Einrichtung zum Erzeugen einer zusaetzlichen Regelspannung zu einer hohen Gleichspannung zum Veraendern der Brennweite elektrostatischer Linsen in elektronenoptischen Geraeten Expired DE907331C (de)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1035814B (de) * 1955-06-21 1958-08-07 Zeiss Jena Veb Carl Verfahren zur Justierung des Strahlenbuendels in einem elektrostatischen Elektronenmikroskop

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