DE3239337C2 - - Google Patents
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- H01J1/02—Main electrodes
- H01J1/13—Solid thermionic cathodes
- H01J1/135—Circuit arrangements therefor, e.g. for temperature control
-
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Description
Die Erfindung betrifft eine Hilfsspannungsquelle zur Versorgung
von auf Hochspannungspotential liegenden elektrischen
Schaltungen, insbesondere von Steuer-, Meß- und Regel
schaltungen, für eine mit der Hochspannung versorgte
Elektronenstrahlkanone, die eine durch einen Heizstromkreis
beheizbare Kathode für die Erzeugung eines Elektronenstrahls
aufweist und mit einer im Heizstromkreis liegenden Spannungs
versorgungseinrichtung versehen ist, die einen Wechselstrom
bereich aufweist und deren Ausgangsstrom regelbar ist.
Die Verwendung von Hilfsspannungsquellen für den genannten
Zweck ist bekannt. Hilfsspannungsquellen dienen beispiels
weise zur Versorgung der Anode einer Regelröhre, einer Heiz
stromversorgung dieser Röhre oder generell zur Versorgung
der Elektronik dieser Röhre, einer Meßelektronik für die
Strahlstrom-Istwert-Erfassung etc.
Durch die DE-PS 15 65 145 ist eine Elektronenstrahlkanone
mit mehreren Regelkreisen bekannt, die mit Hilfs- oder Bezugs
spannungsquellen ausgestattet sind. Diese Hilfsspannungsquellen
befinden sich jedoch nahezu auf Erdpotential, so daß eine
Hilfsspannungsquelle auf Hochspannungspotential nicht zur
Verfügung steht. Die bekannte Lösung besitzt keinerlei
elektrische Schaltung für Steuer-, Meß- und Regelzwecke,
die auf Hochspannungspotential liegt, so daß eine hierfür
notwendige Hilfsspannung nicht erforderlich ist.
Durch die DE-PS 24 60 424 ist gleichfalls eine Elektronen
strahlkanone mit Regeleinrichtungen bekannt, die auf
Hochspannungspotential liegende Regel- und Stellglieder
aufweist. Über die Versorgung dieser Regel- und Stell
glieder mit einer Hilfsspannung schweigt sich die betreffende
Schrift aus; bei einer praktischen Ausführungsform der
bekannten Regelanordnung bestehen die Hilfsspannungs
quellen aus einem mit dem Netz verbundenen Trenntransformator
mit einer Sekundärwicklung, dem ein weiterer Transformator
mit mehreren Sekundärwicklungen nachgeschaltet ist. Die
Ausgänge dieser Sekundärwicklungen sind Spannungsregler
aufgeschaltet bzw. mit dem Heizstromkreis der Regelröhren
verbunden. Dieser zusätzliche Trenntransformator, der für
hohe Potentialdifferenzen von beispielsweise 150 kV oder
darüber ausgelegt ist, muß entsprechend isoliert werden
und ist damit schwer, groß und teuer. Ein weiterer Trenn
transformator ist in jedem Falle für die Kathodenheizung
erforderlich, so daß die bekannte Anordnung mindestens
zwei Trenntransformatoren bedingt. Unter dem Begriff
"Trenntransformator" werden solchen Transformatoren ver
standen, die aufgrund ihrer besonderen Bauform Potential
differenzen von mindestens 10 kV widerstehen können.
Die Anordnung von Regelschaltungen und Stellgliedern auf
Hochspannungspotential ist deswegen wünschenswert, weil
hiermit ein Regelverhalten mit besonders kurzer Zeit
konstante herbeigeführt werden kann.
Aus der DE-OS 29 18 426 ist es bei Elektronenstrahl
verdampfern bekannt, im Strahlstromkreis einen Strom-
wandler vorzusehen, der mit einem Schaltkreis verbunden ist,
durch den bei Auftreten von Kurzschlüssen im Elektronenstrahlver-
dampfer die an diesem anliegende Hochspannung gesperrt wird.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Hilfsspannungsquelle der eingangs genannten Art anzugeben, bei der der Aufwand
durch Wegfall des für hohe Potentialdifferenzen isolierten
Trenntransformators verringert ist.
Die Lösung der gestellten Aufgabe erfolgt bezüglich der
eingangs angegebenen Hilfsspannungsquelle erfindungsgemäß
dadurch, daß im Wechselstrombereich des Heizstromkreises
der Kathode die Primärwicklung eines Stromwandlers liegt,
dessen mindestens eine Sekundärwicklung über einen Gleich
richter mit einem Parallel-Regler verbunden ist, an dessen
Ausgang die Hilfsspannung ansteht.
Durch die erfindungsgemäße Maßnahme wird erreicht, daß der
ohnehin auf Hochspannungspotential liegende Heizstromkreis
der Kathode als Quelle für die Hilfsspannung herangezogen
werden kann, ohne daß es eines ausgesprochenen Trenntrans
formators für die Versorgung der gleichfalls auf Hochspannungs
potential liegenden Steuer-, Meß-und Regelschaltungen bedarf.
Hierbei ist von Bedeutung, daß der im Heizstromkreis
fließende Strom nur innerhalb bestimmter Grenzen Ver
änderungen unterliegt. Bei Elektronenstrahlkanonen für
Schmelz- und Verdampfungszwecke wird der Heizstrom zur
Regelung des Emissionsstroms der Kanone gezielt beein
flußt. Bei Elektronenstrahlkanonen für Schweißzwecke
wird der Ausgangsstrom der Spannungsversorgungseinrichtung
für den Kathoden-Heizstromkreis in der Regel auf einen
konstanten Wert geregelt. In diesem Sonderfall wird der
Emissionsstrom über den Wehnelt-Zylinder geregelt, der
gleichfalls unter Hochspannung steht. Einzelheiten werden
im Rahmen der Detailbeschreibung noch näher erläutert.
Der Parallel-Regler, häufig auch als Shunt-Regler
bezeichnet, hat die Wirkung, daß eine Änderung der Ausgangs
belastung keine oder keine merklichen Rückwirkungen auf
die Quelle bzw. die Eingangsspannung hat. Da der Eingangs
kreis mit einem konstanten Strom betrieben wird, führt
dies zu dem Vorteil, daß die ansonsten belastungsabhängig
eintretende Änderung der Strahlleistung, bedingt durch den
geänderten Heizstrom der Kathode, unterbleibt. Jede Ver
änderung der Strahlparameter wie Spannung oder Strom hätte
letztendlich eine Veränderung des Arbeitsverfahrens zur
Folge, für das der Elektronenstrahl eingesetzt wird. Ganz
besonders empfindlich auf Änderungen der Strahlparameter
reagieren Elektronenstrahlkanonen für Schweißzwecke, da ge
änderte Schweißparameter der Qualität der Schweißnaht unter
Umständen abträglich sind.
Im einfachsten Fall kann der Parallel-Regler aus einer
Zener-Diode bestehen, wenn geringfügige Rückwirkungen auf
die Quelle tolerierbar sind.
Die Hilfsspannungen, von denen hier die Rede ist, liegen
im Bereich der Kleinspannungen, schliessen also Spannungen
von beispielsweise 15 oder 24 V ein. Es kann dabei gemäß
einer Weiterbildung der Erfindung besonders vorteilhaft sein, wenn
der Stromwandler eine zweite Sekundärwicklung mit einer
mehrfach größeren Windungszahl aufweist, die über einen
weiteren Gleichrichter und einen weiteren Parallelregler
dem Stellglied für die Wehnelt-Spannung aufgeschaltet ist.
Durch die größere Windungszahl können hierbei je nach
Bedarf höhere Hilfsspannungen erzielt werden, die bei
spielsweise zwischen 0,5 und 2,0 kV liegen können. Der
artige Spannungen können ohne weiteres für die leistungslose
Regelung verwendet werden, wie sie beispielsweise bei
Schweißkanonen für die Regelung der Wehnelt-Spannung und
damit des Emissionsstromes erforderlich sind.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen des Erfindungsgegenstandes
sind in den übrigen Unteransprüchen beschrieben.
Ein Ausführungsbeispiel des Erfindungsgegenstandes wird
nachfolgend anhand der einzigen Figur näher erläutert, die
beispielhaft den Einsatz bei einer Elektronenstrahl-Schweiß
kanone zeigt.
In der Figur ist eine Elektronenstrahl-Schweißmaschine 1
nur sehr schematisch dargestellt. Sie enthält eine Vakuum
kammer 2 mit einem Werkstückträger 3 und einem Werkstück 4,
welches das Gegenpotential für einen von einer Elektronen
strahlkanone 5 emittierten Elektronenstrahl 6 darstellt.
Das Werkstück 4 ist ebenso wie die Vakuumkammer 2 an Masse
gelegt und bildet, relativ gesehen, die Anode für den
Elektronenstrahl 6.
Die Elektronenstrahlkanone 5 enthält einen Wehnelt-Zylinder 7
und eine durch Stromdurchfluß direkt beheizte Kathode 8.
Die Kathode 8 befindet sich auf hohem negativen Potential
von 150 kV, und der Wehnelt-Zylinder läßt sich auf ein noch
größeres negatives Potential einstellen, wodurch die Strahl
leistung entsprechend veränderbar ist.
Zur Kathode 8 gehört ein Heizstromkreis 9, der seine Leistung
über einen üblichen Trenntransformator 10 und einen vorge
schalteten Heizungsregler 11 bezieht. Im Heizstromkreis 9
liegt weiterhin ein Symmetrierglied 12, welches Elemente
für die Gleichrichtung und Glättung des Heizstromes enthält.
Der Aufbau solcher Symmetrierglieder ist Stand der Technik,
so daß sich ein weiteres Eingehen hierauf erübrigt.
Das Symmetrierglied 12 besitzt einen Ausgang 13 für die
Erfassung des Strahlstrom-Ist-Wertes, der an einem Meßwider
stand 14 abgegriffen werden kann. Der Meßwert wird über
Leitungen 15 und 16 einer Meßwert-Erfassungsschaltung 17
zugeführt, zu der ein Spannungs-Frequenz-Wandler 18 ge
hört.
Der Ausgang 13 ist über eine weitere Leitung 19 einem Stell
glied 20 für die Wehnelt-Spannung aufgeschaltet, das seiner
seits über eine Leitung 21 mit dem Wehnelt-Zylinder 7 ver
bunden ist. Dem Stellglied 20 ist ein Frequenz-Spannungs-
Wandler 22 vorgeschaltet, auf dessen Funktion nachstehend
noch näher eingegangen wird.
Der Heizstromkreis 9 besitzt einen Wechselstrombereich 23,
mit dem derjenige Teil des Stromkreises bezeichnet wird,
der vor dem im Symmetrierglied 12 vorhanden Gleichrichter
liegt. Es wird bemerkt, daß ein derartiger Gleich
richter bei Elektronenstrahlkanonen für Schmelz- und
Verdampfungszwecke in der Regel nicht vorhanden ist, so daß
in diesem Falle der Wechselstrombereich 23 den gesamten
Heizstromkreis 9 darstellt.
Im Wechselstrombereich 23 liegt die Primärwicklung 24
eines Stromwandlers 25, dessen Sekundärwicklung 26 einem
Gleichrichter 27 aufgeschaltet ist. Dieser Gleichrichter,
der für Schmelzzwecke auch mit Glättungsmitteln ausge
stattet sein kann, ist einem Parallel-Regler 28 (Shunt-
Regler) aufgeschaltet, der im einfachsten Fall aus einer
Zener-Diode bestehen kann. Der Ausgang 29 des
Parallel-Reglers 28 ist in Parallelschaltung dem Spannungs-
Frequenz-Wandler 18, dem Frequenz-Spannungs-Wandler 22 und
dem Stellglied 20 für die Wehnelt-Spannung aufgeschaltet.
Die auf diese Weise erzeugte Hilfsspannung ist die Ver
sorgungsspannung für die vorgenannten, nachgeschalteten
Elemente.
Der Spannungs-Frequenz-Wandler 18 besitzt einen nicht näher
bezeichneten potentialfreien, d. h. nicht-elektrischen Ausgang,
der gleichzeitig den Eingang einer potentialtrennenden
Übertragerstrecke 31 darstellt, die zusammen mit ihrer
Wirkungsrichtung durch einen Pfeil symbolisiert wird.
Eine derartige Übertragerstrecke kann als Lichtleiter
ausgebildet sein oder durch ein System aus optischen
oder akustischen Sendern und Empfängern gebildet werden.
Als übertragende Energieform kann beispielsweise Licht
strahlung (Infrarot) oder Ultraschall dienen. Am Ende
der Übertragungsstrecke 29 befindet sich ein Frequenz-
Spannungs-Wandler 32 mit einem nun wieder elektrischen
Ausgang 33, der einem Strahlstrom-Regler 34 aufgeschaltet
ist. Im Strahlstromregler wird das am Ausgang 33 an
stehende Signal mit einem Sollwert w1 verglichen und
das daraus gebildete Regelsignal einem Spannungs-Frequenz-
Wandler 35 zugeführt, von dem es wiederum über eine
potentialtrennende Übertragerstrecke 36 dem Frequenz-
Spannungs-Wandler 22 zugeführt wird. Auch diese Über
tragerstrecke 36 wird ebenso wie ihre Wirkungsrichtung
durch einen Pfeil symbolisiert.
Die Wandler 32 und 35 liegen ebenso wie der Strahlstrom
regler 34 auf Erdpotential; sie werden durch weitere
Hilfsspannungsquellen üblicher Bauart versorgt, die
der Einfachheit halber nicht dargestellt sind. In den
Spannungs-Frequenz-Wandlern 18 und 35 werden die jeweils
eingehenden elektrischen Signale (Spannungen) in nicht
elektrische Signale umgesetzt, deren Frequenz, Amplitude,
Modulation etc. ein dem Spannungswert proportionales
Abbild darstellen. In den Frequenz-Spannungs-Wandlern 32 und 22
erfolgt die umgekehrte Umsetzung in Spannungssignale. Die
Übertragerstrecken 31 und 36 überbrücken die Potential
differenz zum Hochspannungspotential.
Es ergibt sich auf diese Weise, daß der am Ausgang 13 bzw.
am Meßwiderstand 14 abgegriffene Wert für den Strahlstrom
noch auf der Hochspannungsseite verarbeitet werden kann
und wahlweise dort oder am Ende der Übertragerstrecke 31
auf Erdpotential einem Endzweck zugeführt werden kann, wie
beispielsweise zur Anzeige des Meßwertes oder zur Um
setzung in eine Stellgröße mittels des Strahlstromreglers 34.
Auch die Kathodenspannung kann auf die gezeigte Weise abge
griffen und zur Anzeige gebracht werden.
Im unteren Teil der Figur ist ein Stromwandler 25a darge
stellt, der an die Stelle des Stromwandlers 25 gesetzt
werden kann. Zum Unterschied vom Stromwandler 25 besitzt
der Stromwandler 25a außer der Primärwicklung 24 und der
ersten Sekundärwicklung 26 eine zweite Sekundärwicklung 37,
die einem weiteren Gleichrichter 38 und einem weiteren
spannungsstabilisierten Parallel-Regler 39 aufgeschaltet
ist. Die zweite Sekundärwicklung 37 besitzt eine wesent
lich größere Windungszahl, so daß hier beispielsweise
leistungslos eine Spannung von 1 kV erzeugt werden kann,
die dem Stellglied 20 für die Wehnelt-Spannung aufge
schaltet ist. Auf diese Weise wird der bereits vorhandenen
hohen Kathodenspannung eine Spannung überlagert, die gegen
über der Kathodenspannung nochmals um 1 kV negativ ist.
Durch Variation dieser Spannung mittels des Stellgliedes 20
kann der Strahlstrom in an sich bekannter Weise geregelt
werden. Es ist erkennbar, daß auf die angegebene Weise
auf Hochspannungspotential auch die Wehnelt-Spannung erzeugt
und geregelt werden kann, und zwar durch die gleichfalls
auf Hochspannungspotential befindliche Hilfsspannungs
quelle, die aus den Bauelementen 25, 27 und 28 besteht.
Claims (5)
1. Hilfsspannungsquelle zur Versorgung von auf Hochspannungs
potential liegenden elektrischen Schaltungen, insbe
sondere von Steuer-, Meß- und Regelschaltungen, für
eine mit der Hochspannung versorgte Elektronenstrahl
kanone, die eine durch einen Heizstromkreis beheizbare
Kathode für die Erzeugung eines Elektronenstrahls auf
weist und mit einer im Heizstromkreis liegenden
Spannungsversorgungseinrichtung versehen ist, die einen
Wechselstrombereich aufweist und deren Ausgangsstrom
regelbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß im Wechsel
strombereich (23) des Heizstromkreises (9) der
Kathode (8) die Primärwicklung (24) eines Strom
wandlers (25, 25a) liegt, dessen mindestens eine
Sekundärwicklung (26) über einen Gleichrichter (27)
mit einem Parallelregler (28) verbunden ist, an dessen
Ausgang (29) die Hilfsspannung ansteht.
2. Hilfsspannungsquelle nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß der Ausgang des Parallelreglers (28) als
Versorgungsspannung mit einer Meßwert-Erfassungsschaltung (17)
für den Strahlstrom-Istwert verbunden ist.
3. Hilfsspannungsquelle nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß der Ausgang des Parallelreglers (25) als Ver
sorgungsspannung mit einem Stellglied (20) für
die Wehnelt-Spannung einer Elektronenstrahl-Schweiß
kanone (5) verbunden ist.
4. Hilfsspannunqsquelle nach Anspruch 2, dadurch gekenn
zeichnet, daß der Ausgang des Parallelreglers (28) als Versorgungsspannung einem
Spannungs-Frequenz-Wandler (18)
aufgeschaltet ist und daß der Ausgang des Spannungs-
Frequenz-Wandlers über eine potentialtrennende Über
tragerstrecke (31) dem Eingang eines Strahlstrom
reglers (34) aufgeschaltet ist.
5. Hilfsspannungsquelle nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß der Stromwandler (25a) eine zweite Sekundär
wicklung (37) mit einer mehrfach größeren Windungszahl
aufweist, die über einen weiteren Gleichrichter (38)
und einen weiteren Parallelregler (39) einem Stellglied (20)
für die Wehnelt-Spannung aufgeschaltet ist.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19823239337 DE3239337A1 (de) | 1982-10-23 | 1982-10-23 | Hilfsspannungsquelle zur versorgung von auf hochspannungspotential liegenden elektrischen schaltungen |
US06/544,402 US4525652A (en) | 1982-10-23 | 1983-10-21 | Auxiliary-voltage source for supplying electric circuits which are at a high potential |
FR8316822A FR2535108B1 (fr) | 1982-10-23 | 1983-10-21 | Source de tension auxiliaire pour l'alimentation de montages electriques portes a un potentiel haute tension |
JP58197714A JPS59132552A (ja) | 1982-10-23 | 1983-10-24 | 補助電源 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19823239337 DE3239337A1 (de) | 1982-10-23 | 1982-10-23 | Hilfsspannungsquelle zur versorgung von auf hochspannungspotential liegenden elektrischen schaltungen |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3239337A1 DE3239337A1 (de) | 1984-04-26 |
DE3239337C2 true DE3239337C2 (de) | 1991-06-20 |
Family
ID=6176470
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19823239337 Granted DE3239337A1 (de) | 1982-10-23 | 1982-10-23 | Hilfsspannungsquelle zur versorgung von auf hochspannungspotential liegenden elektrischen schaltungen |
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JP (1) | JPS59132552A (de) |
DE (1) | DE3239337A1 (de) |
Families Citing this family (3)
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DE4031286C2 (de) * | 1990-10-04 | 1995-05-11 | Leybold Ag | Einrichtung für die Stromversorgung einer Glühkathode |
DE102005020815B4 (de) * | 2005-05-04 | 2007-05-10 | Applied Materials Gmbh & Co. Kg | Anordnung für die Regelung der Elektronenstrahlleistung einer Elektronenstrahlkanone |
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---|---|---|---|---|
DE2918426A1 (de) * | 1979-05-08 | 1980-11-20 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Hochspannungsversorgungseinrichtung fuer leistungs-elektronenstrahlkanonen |
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1982
- 1982-10-23 DE DE19823239337 patent/DE3239337A1/de active Granted
-
1983
- 1983-10-24 JP JP58197714A patent/JPS59132552A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
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