JPS59132552A - 補助電源 - Google Patents

補助電源

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JPS59132552A
JPS59132552A JP58197714A JP19771483A JPS59132552A JP S59132552 A JPS59132552 A JP S59132552A JP 58197714 A JP58197714 A JP 58197714A JP 19771483 A JP19771483 A JP 19771483A JP S59132552 A JPS59132552 A JP S59132552A
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JP
Japan
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voltage
circuit
current
auxiliary power
frequency
Prior art date
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Pending
Application number
JP58197714A
Other languages
English (en)
Inventor
ヴオルフガング・シユペルツエル
ヨハン・シユテユルマ−
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Original Assignee
Leybold Heraeus GmbH
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Filing date
Publication date
Application filed by Leybold Heraeus GmbH filed Critical Leybold Heraeus GmbH
Publication of JPS59132552A publication Critical patent/JPS59132552A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J1/00Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J1/02Main electrodes
    • H01J1/13Solid thermionic cathodes
    • H01J1/135Circuit arrangements therefor, e.g. for temperature control
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/24Circuit arrangements not adapted to a particular application of the tube and not otherwise provided for
    • H01J37/242Filament heating power supply or regulation circuits

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の属する技術分野 本発明は、高電位にある電気回路に給電するための補助
電源に関する。この電気回路は、例えば、高電圧で給電
される電子銃の制御回路、測定回路、または調整回路で
ある。この場合電子銃は、ヒータ電流回路によって加熱
され、かつ電子ビームを発生す−るカソードを有し、ま
たヒータ電流回路には電圧給電装置が設けられている。
この電圧給電装置は交流電流が流れる部分を有し、その
出力電流は調整可能である。
上述の目的に補助電源を使用することは公知てあろ一補
助電源は、例えば可変増幅管のアノード゛へ給電するた
め、この増幅管にビームNRを給電するため、増幅管の
電子回路に給電するため、あるいはビーム電流実際値検
出回路へ給電ずろために用いられる。
ドイツ連邦共和国特許第1565145号明細書から、
補助電源および基準電源を備えた複数の調整回路を有す
る電子銃は公知である。しかしこの補助゛電源の電位は
アース電位に近く、高電位の補助電源としては使用でき
ない。つまり、公知の電子銃は制御、測定および調整を
目的とした高電位の電気回路を有しておらず、従ってこ
の回路のための補助電源も必要ないのである。
また、ドイツ連邦共和国特許第2460424号゛明細
書から、高電位の調整素子および調節素子を備えた調整
装置を有する電子銃は公知である。しかしこの明細書で
は、補助電源による調整素子、調節素子への給電につい
ては何も述べられていない。つまり、その調整装置の実
施例では、補助電源は商用電源と接続され2次巻線を有
する絶縁トランスから成り、それには複数の2次巻線を
有する別のトランスが後置接続されている。複数の2次
巻線の出力側は、電圧調整器、ないし可変増幅管のヒー
タ電流路と接続されている。この付加的な絶縁l・ラン
スには、■50kVないしそれ以上という大きな電位差
が生じるので、相応の絶縁を施さねばならない。−従っ
て、重く、大きく、高価なものになる、また、別の絶縁
 トランスはカソードの加熱のために必要である。その
ため、公知の装置は少くとも2つの絶縁トランスを備え
ている。ここで1絶縁トランス“とは、その特別な構造
によって少くとも10kVの電位差に耐え得るトランス
を意味する。
以上述べた理由から、高電位にある調整回路および調節
素子に対する補助電源が要望される。
と言うのも、それによって時定数の極めて短℃・調整特
性が得られるからである。
発明の、目的 本発明の目的は、高電位差に耐える絶縁トランスを省略
することによってコストを低減し、かつ少くとも1つの
補助電源を提供することである。
発明の構成と効果 本発明によればこの課題は次のようにして解決される、
即ち、冒頭に述べた補助電源をもとにして、カソードに
対するヒータ電流回路の交流電流の流れる部分に変流器
の1次巻線を配置し、変流器の少なくとも1つの2次巻
線を整流器を介して並列調整器と接続し、その出力側に
補助電圧を発生させるのである。
本発明の構成によれば5元来高電位にあるカソードのヒ
ータ電流回路を補助電圧源として使用できるので、同じ
く高電位にあ−る制御、測定および調整回路へ給電する
ための上記絶縁トラ、ンスは不必要となる。この場合に
重要なのは、ヒータ電流回路を流れろ電流が所定の範囲
内でのみ変化するということである。材料の融解や蒸発
を目的とした電子銃では、ヒータ電流は電子銃から放射
されろ電子ビームの調整のために用いられる。また溶接
用の電子銃では、カソード・ヒータ電流回路に対する電
圧給電装置の出力電流は二定値に調整されるのが通例で
ある。
この特別な場合には、高い電圧が印加されたウェーネル
ト電極を介して放射電子ビームが調整されろ。次に以上
のことについて詳しく説明する0 並列調整器(シャント調整器と呼ばれることも多い)の
目的は、出力負荷の変化が電源ないし入力電圧に全く、
あるいはほとんど反作用を与えないようにすることであ
る。本発明では入力回路が一定電流で、駆動されるので
、カソード・ヒータ電流の変化により負荷に依存して生
ずるビーム出力の変動は、抑圧される。電圧や電流など
のビーム・・ξラメータの変化は常に、電子ビームが用
いられる作業工程の変化をもたらす。溶接用の電子銃は
−このような・ξラメータの変化に極めて敏感に反応す
る。なぜなら、溶接・?ラメータの変化が溶接継手の品
質劣化を招くこともあるからである。
電源への反作用カー極めて僅かで許容範囲内にある場合
、並列調整器を簡単にツェナーダイオードから形成する
ことができる。
いま1問題にしている補助電源は、低い範囲の電圧、例
えば15Vまたは24Vの電圧を供給する、この場合、
本発明の変形実施例を次のように構成すると有利である
。即ち、変流器が巻線数の極めて多い2次巻線を有し、
この2次巻線が別の整流器および並列調整器を介してウ
ェーネルト電圧調節素子と接続されるようにするのであ
る。この際、巻線数を多くするので、例えば0.5〜2
.0 kVの高い補助電圧を必要に応じて供給すること
ができろ。このような高い補助電圧は無損失調整のため
に用いることができる。
無損失調整は、例えば、溶接用電子銃においてウェーネ
ルト電圧を調整する場合、従って放射電子ビームを調整
する場合に必要である。
実施例の説明 次に図面を参照しながら本発明について詳しく説明する
第1図は、電子ビーム溶接装置lをごく概略的に示して
いる。溶接装置1は真空室2を有し、その中に設けられ
た工作物支持台3には工作物生が置かれている。〒作物
牛は、電子銃5が放射する電子ビーム6に対して対向極
になる電位を有している。また、工作物牛は真空室2と
共にアースと接続され一電子ビーム6に対して相対的な
アノードとなっている。
電子銃5は、ウェーネルト電極7と、電流によって直接
加熱されろカソード8を有している。
カソード骨には、150kVという高い負電位が加えら
れている。ウェーネルト電極はさらに高い負電位に調節
され、それによって電子ビームの出力が相応に制御され
る。
カソード8には、ヒータ電流回路9が接続され、それに
は通常の絶縁トランス1oを介して、前置接続されたヒ
ータ調節器11から電力が供給されろ。ヒータ電流回路
9にはシンメトリ回路12が設げられ、それはヒータ電
流を整流、平滑する素子を有している。このシンメトリ
回路の構造は技術水準に属しているので、ここでは詳述
しない。
シンメトリ回路12は電子ビームの実際値を検出するた
め出力側13を有し、実際値は測定抵抗14から取出さ
れる。この測定値は、線路15.16を介して測定値検
出回路17へ供給される。測定値検出回路17には電圧
−周波数変換器18が設けられている。
出力側13は、線路コ−9を介してウェーネルトド電圧
の調節素子20とも接続されている。調節素子20は、
線路21を介してウェーネルト電極7と接続されている
。また調節素子20には周波数−電圧変換器22が前置
接続されている。周波数−電圧変換器22の機能につい
−ては後で詳述する。
ヒータ電流回路9には一交流の流れる部分23が設けら
れている。それは、シンメトリ回路12の整流器より前
の部分を指している。一般IC5試料の溶融、蒸発を目
的とした電子銃にはこのような整流器は設けられない。
従ってその場合には、ヒータ電流回路9の全体が交流電
流が流れろ部分23となる。
交流電流が流れろ部分23には変流器2−5の1次巻線
24が配置されており、その2次巻線26は整流器27
と接続されている。溶融の目的で平滑素子をも備えてい
るこの整流器27は、並列調整器(シャン) (5hu
nt )調整器)28と接続されている。この調整器は
、最も簡単な場合にはツェナーダイオードから形成され
る。並列調整器28の出力側29は、電圧−周波数変換
器18、周波数−電圧変換器22、およびウェーネルト
電圧調節素子20に対して並列に接続されている。この
ようにして発生した補助電圧は、上述の後置接続された
素子群に対する給電電圧となる。
電圧−周波数変換器18は、詳しくは図示しないが、電
位の加わらない、従って非電気的な出力側を有している
。この出力側は、同時に電位から分離された伝送区間3
1の入力側を形成している。伝送区間31は、その作用
方向も含めて矢印により示されている。このような伝送
区間は、光導波体として構成するが、あるいは光学的な
いし音響的な送信機と受信機から形成することができる
。伝送されるエネルギー媒体としては、光線(赤外線)
または超音波が挙げられる。伝送区間31の終端には周
波数−電圧変換器32が配置される。周波数−電圧変換
器(32)は電気出力側33を有し、それはビーム電流
調整器3牛と接続されている。ビーム電流調整器の入力
側33に加えられた信号は設定値W1と比較され、それ
により形成された調整信号は電圧−周波数変換器35へ
供給される。電圧−周波数変換器35からは、周波数−
電圧変換器22まで電位から分離された伝送区間36が
延びている。この伝送区間36も、作用方向を含め矢印
で宗されている。
変換器32.35とビーム電流調整器34はアース電位
につながっている。これらに対しては通常構造の別の補
助電圧が給電されているが、この構造は簡単のために図
示しない・電圧−周波数変換器18.35は、入力した
電気信号(へ、圧)を非電気的な信号に変換するが、こ
の信号の周波数、振幅、変調度などが電圧値に比例して
変化する。周波数−電圧変換器32.22ではこれと逆
の変換が行なわれ、電圧信号が取出される。
このようにして、出力側13ないし測定抵抗1牛で取出
されたビーム電流値は、高電圧側で処理され、さらに最
終目的、例えば測定値の表示や、ビーム電流調整器34
を介した調整量への変換のために、高電圧側またはアー
ス電位にある伝送区間31の終端へ選択的に送られる。
また力ノートゞ電圧も、上述のようにして取出され、表
示することができる。
図の下部に、変流器25aが示されている。
この変流器は変流器25の代わりに設けるーことがてき
る、変流器25と25aの違いは、1次巻線24、と2
次巻線26の他に第2の2次巻線37を有し、それに整
流器38と電圧安定化並列調整器39が接続されている
ことである。第一 2の2次巻線37の巻線数はかなり
多く、従ってそれは1 kVの電圧を損失なく発生し、
ウェーネルト電圧調節素子2oに供給することができる
。このようにして、既存の高いカソード電圧に、それよ
りもl ’kVだけ負の電圧を重畳することができる。
調節素子20を介してこのように電圧を変化−させるこ
とによって、公知のようにビーム電流を調整できる。ま
た、上述のようにして、素子25 、2 ’7 、28
から成り、高電位側にある補助電圧源によって、高電位
側でウェーネルト電圧を発生、調整することができる。
第2図は、以下に述べるような付加回路を有する第1図
の回路の一部を示すブロック図である。この付加回路の
1つへ、電圧−周波数変換器1δの入力側に設けられた
、並列調整器28゛の出力と測定値X1(線路15.1
6)に対する直流電圧源40である。電圧源40は、予
選択可能な直流電位を供給する。別の付加回路として+
 1jlll定値x1に対する直流電圧源41がビーム
電流調整器34の入力側に設けられている。直流電圧源
41は、電圧源40と符号が反対の直流電位を供給する
。当然ながら、符号の評価は変換器間の回路素子によっ
て行なわれる。
上述の回路によって、伝送区間31の1次側では信号の
エンファシスが、2次側ではそれに応じて信号のデエン
ファシスが行なわれる、これには次のような利点がある
。即ち、伝送区間31の前では、電圧Uがそれ梃しに、
比例する周波数Fに変換される。従って、電圧が低い時
には相応に低い周波数が発生することになる。
高速で変化する直流電圧、例えば立上り縁や立下り縁が
急峻な信号を伝達する場合、約1KHzの周波数までは
、周波数−電圧発生器の中で逆変換した後、伝送周波数
に高いリプルが残留するという問題が生じる。従ってこ
れを防止するために、一様な、ないしはゝ平滑な“直流
電圧を伝送する必要がある。
第2図に示した付加回路によって、伝送路31の1次側
で電圧信号に直流電圧が加えられる。
電圧信号が例えば0〜+5■の間で変動すると、伝送さ
れる周波数領域は0〜10 Q’K Hzの間で変化す
る。この電圧信号に、100 KHzの周波数に相応す
る+5Vの直流電圧を付加すると、伝送される電圧領域
は+5V〜+IOVになり、従って伝送周波数は100
〜200 KHzとなる。
+5Vの付加電流は2次側で取除かれ、そこでは所望の
一意的な電圧信号が得られる。つまり。
○〜+5Vの有効信号を調整の目的で利用できろ0 電圧−周波数変換器35にも、ビーム電流調整器34の
出力信号に対する直流電圧源42が接続され−これも予
選択可能な直流電位を供給する。上述の場合と同じく、
ここでも伝送線路3Gで周波数め逓昇が行なわれろ。周
波数−電圧変換器22に後置接続された調節素子20に
は、変換器22の出力信号に対する直流電圧源43が接
続されている。この直流電圧源は、電圧源42と極性の
異なる直流電位を供給する。
このようにして、伝送周波数が低い場合に生じる問題は
解消する。従って第2図に示す回路は2低い電圧を伝送
する場合に使用すると有利である0
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による補助電源の実施例のブロック図、
第2図は同じく別の実施例のブロック図で゛ある・ 1 電子ビーム溶接装置、2・・・真空室、3・・・工
作物支持台、牛・工作物、5・・・電子銃、6.。 電子ビーム、7゛°ウェーネルト電極、8・・・カソー
ド、9・ ヒータ電流回路、10・絶縁トランス、11
・・加熱調整器、12・・シンメ) IJ回路、17・
・測定値検出回路、18.35・・電圧−周波数変換器
、20・・・ウェーネルト電圧調節素子、22.32・
・周波数−電圧変換器、24・ 1次巻線、25.25
a・・変流器、26.37・・2次巻線、27.38・
整流器、28.39・・・並列調整器、31.36 ・
伝送区間、34・ビーム電流調整器、午○〜43・・・
直流電源。 図面の浄書(内容に変更なし) FIG、 2 手続補正書(方式) 昭和59年2 月 13日 41−許庁長官殿 18  事件の表示 昭和58年特許願第197714
号2、発明の名称 補助電源 3 補正をする名 事件との関係 q寺許出1顧人 名 称  ライボルドーへレーウス・ゲゼル/ヤフト・
ミツト・ベシュンンクテル・ハフンング 4復代理人 昭和158年1 月 31日   (発送日)6 補正
の対象 但し図面の浄書(内容に変更なし)

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、高電位にある電気回路に給電するための補助電源で
    あって、前記電気回路が高電圧で給電される電子銃のた
    めに使用され、該電子銃がヒータ電流回路により加熱さ
    れる電子ビームを発生するためのカソードを有し、また
    ヒータ電流回路には電圧給電装置が設けられ、該電圧給
    電装置が交流電流が流れる部分を有し、またその出力電
    流が調整可能である、補助電源において、カソード(8
    )のヒータ電流回路(9)の交流電流が流れる部分(2
    3)に変流器(2,5,25a)の1次巻線(24)が
    配置され、−該変流器の少なくとも1つの2次巻線(2
    6)が整流器(27)を介して並列調整器(28)と接
    続され、該並列調整器の出力側(29)に補助電圧が現
    われるようにしたことを特徴とする補助電源。
JP58197714A 1982-10-23 1983-10-24 補助電源 Pending JPS59132552A (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19823239337 DE3239337A1 (de) 1982-10-23 1982-10-23 Hilfsspannungsquelle zur versorgung von auf hochspannungspotential liegenden elektrischen schaltungen
DE32393377 1982-10-23
DE33307288 1983-08-26

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DE4031286C2 (de) * 1990-10-04 1995-05-11 Leybold Ag Einrichtung für die Stromversorgung einer Glühkathode
DE102005020815B4 (de) * 2005-05-04 2007-05-10 Applied Materials Gmbh & Co. Kg Anordnung für die Regelung der Elektronenstrahlleistung einer Elektronenstrahlkanone
DE102007042108B4 (de) 2007-09-05 2010-02-11 Siemens Ag Elektronenquelle mit zugehöriger Messwerterfassung

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