DE873728C

DE873728C - Zwischenbildleuchtschirm fuer Elektronenmikroskope

Info

Publication number: DE873728C
Application number: DES6939D
Authority: DE
Inventors: Ernst Dr-Ing Ruska
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1939-07-14
Filing date: 1939-07-14
Publication date: 1953-04-16

Description

Es sind Elektronenmikroskope ibekannt, -bei idenenein Elektronenstrahl auf das Objekt gelenkt wird und zur vergrößerten Abbildung nacheinander durch eine oder mehrere Elektronenlinsen fällt. Es kann aber auch ein durch eine oder mehrere Linsen verkleinerter Elektronen.strahlquerschnitt zum AbrasteTn des Objektes (engster Querschnitt in Objektebene) oder zur ruhenden Schattenprojektion dies Objektes (engster Querschnitt kurz vor dem Ob- jekt) verwendet werden. Um die vergrößerten Bilder des Objektes sichtbar zu machen, sind dabei im Strahlengang Leuchtschirme angeordnet, die von außen betrachtet werden können. Es ist bekannt, eine geringere Vergrößerungsstufe auf einem Zwischenbildleuchtschirm sichtbar zu machen; um den jeweils -besonders zu vergrößernden geeigneten Bildausschnitt gut einstellen zu können. Derartige Zwischenbildleuchtschirme werden mit einem Loch versehen, durch welches die Elektronenstrahlen hindurchtreten, die Aden noch weiter zu vergrößernden Bildausschnitt abbilden. Bei solchen Zwisc!henbildleuchtschirmen besteht das Bedürfnis niac'h einflachen Einrichtungen, mit deren Hilfe es möglich ist, das Zwischenbild im Dunkeln auf die öffnung in ,der Schirmmitte einstellen zu können. Außerdem ist es erforderlich, daß der Zwischenbildleuchtschirm einen Maßstab zum Ausmessendes Zwischenbildes besitzt. Der Leuchtschirm muß ferner so angeordnet sein, daß er eine durch !diesen Maßstab nicht beeinträchtigte Fläche zur Feinbeobachtung besitzt. Die zuletzt genannten Bedingungen hat man dadurch erfüllt, daß! in den Schirmträger eine Meß= skala eingearbeitet wurde; welche nur auf der einen Schirmhälfte die Beobachtungsmöglichkeit der Bildeinzelheiten beeinträchtigte.
Gemäß der Erfindung wird die Einstellung des Zwischenbildes auf tdie Öffnung in der Mitte in einfacher Weise dadurch ermöglicht, daß der Rand des Leuchtschirmes mit symmetrnsch zum zentralen Loch angeordneten Marken versehen ist"so daß das Zwischenbild nach Augenmaß mittels der am Elektronenmikroskop vorhandenen Einstellmöglichkeiten in die Schirmmitte gebracht werden kann. Zur Einstellung des Zwischenbildes kann l:>ei@spielsweise eine Verstellvorrichtung :dienen; welche eine Querverschiebung des Ojektes .gegenüber der Achse -des Elektronenstrahls gestattet: Gemäß der weiteren Erfindung werden vorzugsweise selbstleuchtende, beispielsweise Phosphormarken für die Einstellung des Zwischenbildes auf dem Zwischenbildleuchtschirm verwendet. Es ergibt sich auf diese Weise mit einfachen Mitteln die Orientierungsmöglichkeit, ohne daß die Feinbeobachtung .des Schirmes -durch die Marken beeinträchtigt wird.
Eine Au.sführungsform derErfindung, bei welcher der Schirm am Rande einen selbstleuchtenden Phosphorstreifen .besitzt, ist in .den Figuren dargestellt.
Fig. z zeigt eine Draufsicht auf den Zwischenbildleuchtschirm, Fig. ä den dazugehörigen Querschnitt.
Der Zwi@schenbildleuchtsahirm ist in diesem Fall tellerförmig ausgeführt. Die Leuchtfläche @s ist in der Mitte durch ein zentrales Loch 2 unterbrochen, durch welches die Elektronenstrahlen hindurchfallen, welche den noch weiter zu vergrößernden Bildausschnitt abbilden. Mit 3 ist eine erhabene oder vertiefte Meßsl<,al:a bezeichnet. Diese Skala ist, wie man aus -der Fig. r sieht, so angeordnet, daß sich große- unversehrte Leuchtschirmflächen für die Feinbeobachtung ergeben. Auf .dem Rande ödes Leuehtschirmnes ist ein nachleuchtender Streifen 4. vorgesehen, der es gestattet, nach Augenmaß das Zwischenbild mit Hilfe der Objektverschiebung in die Sahizmmitte zu bringen.

Claims

PATENTANSPRÜCHE: z. Zwischenbildleuchtschirm für Elektronenmikroskope, der mit einem zentralen Loch für den Durchtritt,der Elektronenstrahlen versehen ist, die -den noch weiter zu vergrößernden Bildausschnitt.abbilden,dadurch gekennzeichnet, daß der Randdes . Leuchtschirmes mit symmetrisch zum zentralen Loch angeordneten Marken versehen ist, so daß das Zwischenbild nach Augenmaß mit Hilfe der am Elektronenmikroskop vorhandenen Einstellmöglichkeiten in die Schirmmitte gebracht werden kann.
2. Schirm nach Anspruch z, gekennzeichnet durch die Verwendung selbstleuchtender Marken.
3. Schirm nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Schirm am Rande mit einem selbstleuchtenden Streifen (Phosphorstreifen) versehen ist.