DE868091C - Vorrichtung zur Herstellung von Metallueberzuegen auf laufenden Baendern durch Bedampfen im Vakuum - Google Patents

Description

• Vorrichtung zur Herstellung von Metallüberzügen auf laufenden Bändern durch Bedampfen im Vakuum Die sogenannten selbstausheilenden Kondensatoren sind bekanntlich aus metallisierten dielektrischen Bändern vorwiegend in Wickelform hergestellt. Die Metallisierung der Bänder wird dabei durchweg durch Metallbedampfung im Vakuum durchgeführt, und zwar im allgemeinen mit Hilfe von Vertikalverdampfern und darauf aufgesetzten Düsen, aus denen der Metalldampf austritt und sich auf dem an der Austrittsstelle vorbgibewegten zu metallisierenden Band in sehr dünner Schicht niederschlägt. Mit Rücksicht auf den konstruktiven Aufbau der Verdampfer können damit Bänder mit einer Preite von höchstens r2o bis r5o mm bedampft werden, während vielfach das Bedürfnis besteht, größere Bandbreiten zu bedampfen.
• Auf Grund von Versuchen zur Ermittlung einer zu diesem Zweck geeigneten Verdampferform wurden die bisher üblichen Vertikalverdampfer gemäß der Erfindung durch ein der Breite der zu bedampfenden Bänder angepaßtes, mit dem Verdampferbad in Verbindung stehendes, in den Bedampfungsraum horizontal hineinragendes Rohr ersetzt, das auf seiner der zu bedampfenden Bandoberfläche zugekehrten Seite mit einer sich etwa über die ganze der Bandbreite entsprechende Rohrlänge erstreckenden schlitzförmigen Öffnung für den Durchtritt des in dem Rohr vorhandenen Metalldampf versehen ist. Ein derartiges Verdampferrohr weist den wesentlichen Vorteil auf, daß es jeder zu bedampfenden Bandbreite lediglich durch Veränderung seiner Länge, insbesondere der Länge der schlitzförmigen Öffnung, angepaßt werden kann. Außerdem ergeben sich wesentlich günstigere Einbauverhältnisse, wenn der Badteil des Verdampfers und derjenige Teil, aus dem die Dämpfe austreten, nicht vertikal übereinanderliegen, sondern horizontal nebeneinander. Daraus ergibt sich auch die Möglichkeit, den Badteil in einen Teil der Bedampfungsapparatur zu legen, an den keine zu hohen Anforderungen an hohes Vakuum gestellt zu werden brauchen. Es kann z: B. der Bädteil des Verdampfers ohne weiteres an die Außenwand der Bedampfungsanlage angeflanscht werden, wodurch auch die Erneuerung des Bades und seine Beheizung wesentlich erleichtert ist, gegenüber einer Anlage, bei welcher der Verdampfer als geschlossene Einheit im eigentlichen Bedampfungsraum liegt.
• In der Zeichnung ist ein Röhrenverdampfer nach der Erfindung perspektivisch dargestellt.
• Er besteht im wesentlichen aus einem'-.Verdampfer- und einem Düsenteil. Der Verdämpferteil umfaßt einen Rohrabschnitt z und einen Rohrabschnitt 2. Der Abschnitt z weist einen größeren Durchmesser auf als der Abschnitt 2 und dient zur Aufnahme eines Tiegels 3 mit dem Verdampfungsgut. An seinem Ende ist der Rohrteil r durch einen Dekkel q. abgeschlossen. Aus dem Tiegel 3 im Rohrteil z gelangt der Metalldampf durch den Rohrteile, der eine lichte Weite von beispielsweise 2"5 mm aufweist, zu dem Düsenteil 5, der von dem Verdampferteil z, 2- abnehmbar ist, um einen leichten Einbau zu ermöglichen. Der Düsenteils besteht aus einem Rohrstück mit demselben Durchmesser wie der Rohrabschnitt 2. Er ist jedoch bei dem gezeichneten Ausführungsbeispiel mit einem düsenförmigen Ansatz 6 versehen, in welchem sich die schlitzförmige Öffnung 7 für den Austritt des Metalldampfs befindet. Selbstverständlich kann diese Öffnung auch ohne düsenförmigen Ansatz unmittelbar in der Wand des Rohrs 5 liegen. Die Öffnung 7 selbst ist in dem vorliegenden Fall nicht über die ganze Länge gleich breit, sie ist vielmehr in der Mitte an der Stelle 8 beispielsweise doppelt so breit wie an den seitlich davon gelegenen Stellen. Bei einem ausgeführten Röhrenverdampfer der beschriebenen Art betrug die Breite der Öffnung 4 mm, an der Stelle 8 aber & min, um in dieser Zone eine verstärkte Bedampfung des an der Öffnung vorbeibewegten Bandes zu erreichen. In ihrer Länge erstreckte sich die Öffnung auf 25o mm, es können aber auch Verdampfer mit wesentlich längeren Austrittsöffnungen gebaut werden, je nach den Bandbreiten die von Fall zu Fall bedampft werden müssen.
• - Aus den angegebenen Abmessungen ergibt sich, daß die Fläche der Öffnung für die ausströmenden Metalldämpfe mindestens doppelt so groß ist wie die Querschnittsfläche des Verdampferrohrs, durch welches die Dämpfe der Austrittsöffnung zugeleitet werden.
• Mit einem derartigen Verdampfer können über die ganze Breite der _Dampfaustrittsöffnung sich erstreckende Bänder mit gleichmäßiger Schichtdicke bedampft werden, obwohl das Metallbad nicht wie bei den üblichen Vertikalverdampfern unmittelbar unter, sondern seitlich von den zu bedampfenden Flächen angeordnet ist und der Dampf daher -der Verdampf erdüse nur von einer Seite zugeführt wird.. Die Gleichmäßigkeit der Dampfverteilung über die ganze Düsenbreite ist darauf zurückzuführen, daß der Strömungswiderstand des Dampfes in den Rohrteilen 2 und 5 kleiner ist als der Austrittswiderstand durch die Düse 7, 8 bzw. eine entsprechende schlitzförmige Öffnung in dem Verdampferrohr selbst, obwohl diese, wie schon erwähnt wurde, mindestens die doppelte Durchgangsfläche aufweist wie das Verteiler- und Zuführungsrohr. Dabei ist der Weg vom Tiegel 3 des Verdampfers zur Düse 7, 8 in dem gezeichneten Ausführungsbeispiel etwa ebenso lang wie die Düsenöffnung 7, 8 selbst.
• In eingebautem Zustand ist der Verdampfer von einer nicht gezeichneten Heizwicklung umgeben, durch welche der Bädteil des Verdampfers auf die für die Verdampfung des Verdampfungsgutes erforderliche Temperatur gebracht und durch welche die Zuleitung zum Düsenteil des Verdampfers und dieser selbst auf einer Temperatur gehalten wird, welche eine Kondensation der durch den Verdampfer streichenden Metalldämpfe und damit eine Verengung des Zuleitungsquerschnitts und der Dampfaustrittsöffnung verhindert. Die Trennung von Bad- und Düsenteil des Verdampfers ermöglicht auch eine getrennte Heizung und damit die Einstellung verschiedener Temperaturen an den beiden Verdampferteilen.

Claims (6)

1. PATENTAN-SPRUGHE: z. Vorrichtung zur Herstellung von Metallüberzügen auf laufenden Bändern durch Metallbedampfung im Vakuum, gekennzeichnet durch ein der- Breite der zu bedampfenden Bänder angepaßtes, mit dem Verdampferbad in Verbindung stehendes Rohr, das auf seiner der zu bedampfenden Bandoberfläche zugekehrten Seite mit einer über die ganze, der Bandbreite entsprechende Rohrlänge sich erstreckenden, schlitzförmigen Öffnung für den Durchtritt des in dem Rohr vorhandenen Metalldampfes versehen ist.
2. 2. Vorrichtung nach Anspruch z, dadurch gekennzeichnet, daß' das Rohr mit einem düsenförmigen Ansatz versehen ist, in welchem sich die schlitzförmige Öffnung für den Austritt des Metalldampfes befindet.
3. 3. Vorrichtung nach Anspruch z und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die schlitzförmige Öffnung für den Austritt des Metalldampfes aus dem Rohr an denjenigen Stellen verbreitert ist, an denen die Metallisierung der zu bedampfenden Bänder eine größere Schichtdicke aufweisen soll als an den benachbarten Stellen. . q..
4. Vorrichtung nach Anspruch r bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Fläche der Austrittsöffnung für den Metalldampf mindestens doppelt sQ groß ist wie die Qüerschnittsfläche des Rohrs.
5. 5. Vorrichtung nach Anspruch i bis q., dadurch gekennzeichnet, daß, sich das Verdampferbad außerhalb des Bedampfungsraums befindet.
6. 6. Vorrichtung nach Anspruch z bis 5, dadurch gekennzeichnet, dag der Verdampfer auf seiner ganzen Länge beheizt ist.