DE4342574C1 - Bandbedampfungsanlage - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Bandbedampfungsanlage mit einem widerstandsbeheizten Verdampfer, insbesondere für die Beschichtung von bandförmigem Material, mit thermisch verdampfbaren, sublimierbaren Materialien.

Aus JP-A-2-118 072 (Abstract), US-A-4 351 855 und US-A-4 552 092 sind derartige Bedampfungsanlagen bekannt.

Bei der Anlage gemäß der JP-Anmeldung wird das zur Verdampfung vorgesehene Material aus einem verhältnismäßig großen Vorratsbehälter in den eigentlichen Verdampfer eingebracht. Dabei fällt das Material frei in den Verdampfer, wodurch eine Auflockerung und Vermischung stattfinden kann.

Dagegen ist bei der Anlage gemäß der US-A-4 552 092 ein Schmelztiegel für die Aufnahme des zu verdampfenden Materials vorgesehen, in welchem das Material aufgeschmolzen und dann verdampft wird.

Hiervon ausgehend liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Bedampfungsanlage der eingangs genannten Art zu schaffen, mit der nahezu kontinuierlich bandförmiges Material bedampft werden kann.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß unterhalb der Schüttung des Verdampfungsmaterials ein rotier- und/oder schwenkbarer Körper eingebaut ist, welcher das zu verdampfende Material vor der Verdampfung zu durchmischen vermag, und daß ein vakuumdicht verschließbarer Schieber in einer zwischen der Verdampfungskammer und einer Wickelkammer befindlichen Zwischenplatte angeordnet ist.

Die zu beschichtenden Bahnen stehen meist in einer Länge zur Verfügung, die eine Beschichtungszeit von 15 bis 50 Minuten ergibt. Zum Wechseln der Bahn braucht jetzt nur noch der Schieber geschlossen zu werden, so daß der Verdampfer nicht abgekühlt werden muß. Gleichzeitig kann durch den eingebauten Körper das Verdampfungsmaterial durchmischt werden, womit an der Oberfläche entstehende Krustenbildung aufgebrochen und untergemischt wird. Während der erstmaligen Aufheizphase des zu verdampfenden Materials erleichtert dieser Körper die Entgasung des bei Raumtemperatur vom Material absorbierten Wassers.

Aus der US-A-4 351 855 ist zwar eine transportable Vorrichtung bekannt, die einen Absperrschieber aufweist, welcher die Vorrichtung während des Transportes verschließen soll. Ein Rühr- bzw. Mischkörper ist dabei aber nicht vorgesehen.

Eine vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung liegt darin, daß der unterhalb der Schüttung des Verdampfungsmaterials vorgesehene rotier- und/oder schwenkbare Körper wenigstens einen Teil des unterhalb des Verdampfungsmaterials liegenden Raumes einnimmt und damit einen Verdrängungskörper bildet.

Mit einem derartigen Verdrängungskörper wird eine sehr wirkungsvolle Durchmischung erzielt.

Sehr vorteilhaft ist es dabei, wenn erfindungsgemäß der Verdrängungskörper wenigstens annähernd halbkreisförmig ausgebildet und mit seiner im wesentlichen ebenen Seite dem Verdampfungsmaterial zugekehrt ist.

Ein derartig ausgebildeter Verdrängungskörper kann nahezu vollständig unterhalb des zu verdampfenden Materials angeordnet sein, so daß dieses in einer homogenen Schicht vorhanden ist.

Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung liegt auch darin, daß der Verdampfer ein feststehendes, thermisch isoliertes Gehäuse aufweist, mit eingebauten Widerstands- Heizern und einer Anzahl von Öffnungen für den Austritt des Dampfes und einen absenkbaren, ausfahrbaren Behälter enthält, in welchem sich das Verdampfungsmaterial als Schüttgut oberhalb des Körpers befindet, wobei der Körper zentrisch in einer ihn umgebenden halbkreisförmigen Wanne angeordnet ist.

Als sehr vorteilhaft hat es sich auch ergeben, wenn erfindungsgemäß die zwischen der Wickelkammer und der Verdampfungskammer vorgesehene, den Schieber enthaltende Zwischenplatte vertikal angeordnet ist.

Ebenfalls sehr vorteilhaft ist es, wenn erfindungsgemäß die Austrittsöffnungen der Verdampferkammer sich konisch erweiternd ausgebildet sind.

Damit wird eine sehr gleichmäßige Verteilung des Dampfes erzielt.

Dabei hat es sich als sehr vorteilhaft ergeben, wenn erfindungsgemäß an jeder Austrittsöffnung eine Konusdüse vorgesehen ist.

Ebenfalls sehr günstig für die Verteilung des Dampfes ist es, wenn erfindungsgemäß zwei quer über die Austrittsöffnung bzw. alle Austrittsöffnungen verlaufende Leisten vorgesehen sind, deren einander zugekehrte Flächen einen Winkel von 0 bis 90° zwischen sich einschließen und so eine sich erweiternde Austritts-Düse bilden.

Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung liegt darin, daß die Austrittsöffnungen und/oder die Düsen- Leisten und/oder die Konusdüsen elektrisch beheizt sind.

Sehr vorteilhaft ist es auch, wenn erfindungsgemäß im Verdampfer als sublimierbare Stoffe vorzugsweise Silizium- Monoxid, Chrommetall, Zink, Magnesium oder Zinksulfid zur Verdampfung gelagert ist.

Diese Stoffe haben sich als hervorragend geeignet zum Bedampfen eines bandförmigen Materials erwiesen.

Eine vorteilhafte Ausgestaltung des Verdrängungskörpers ist erfindungsgemäß dadurch gekennzeichnet, daß der Körper die Form eines wenigstens annähernd elliptischen Rohres aufweist.

Erfindungsgemäß ist es aber auch möglich, daß der Körper aus einem exzentrisch gelagerten Rohr besteht.

Auch hiermit kann eine sehr gute Durchmischung des zu verdampfenden Materials erreicht werden.

Für das Durchmischen des zu verdampfenden Materials ist es auch sehr vorteilhaft, wenn erfindungsgemäß der Körper eine Anzahl von Armen aufweist.

Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung liegt darin, daß der Verdampfer beliebige, in einem Winkel zwischen 0 und 90° mit der Horizontalen angeordnete Austrittsöffnungen aufweist, und daß die Ebene der Zwischenplatte und des vakuumdichten Schiebers in einem Winkel zwischen 60 und 90° relativ zur Dampfaustrittsrichtung angeordnet ist.

Als sehr vorteilhaft hat es sich auch erwiesen, wenn erfindungsgemäß am Körper eine Temperaturmeßeinrichtung vorgesehen ist.

Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung liegt darin, daß die Zwischenplatte seitlich und/oder von der Verdampfungsanlage weg verfahrbar ist.

In der Zeichnung ist die Erfindung anhand mehrerer Ausführungsbeispiele veranschaulicht. Dabei zeigen:

Fig. I einen Schnitt durch die Gesamtanlage,

Fig. II einen Schnitt durch einen Verdampfungsbehälter mit mehreren Heizstab- Ausgestaltungen,

Fig. III eine Darstellung einer Dampfaustrittsdüse und

Fig. IV ein weiteres Beispiel für die Anordnung einer Bedampfungsanlage.

Eine vertikale Zwischenplatte (1) mit einem dort eingebauten vakuumdicht ver­ schließbaren Schieber (2) trennt die Bandbedampfungsanlage (3) in eine Verdamp­ fungskammer (4) und in eine Wickelkammer (5), welche horizontal an einander gereiht sind. Mindestens eine der Kammern (4) und (5) ist fahrbar angeordnet, ebenso die Zwischenplatte (1). Damit ist ein unbehinderter Zugang sowohl zum Verdampfer (6), wie auch zur Kühlwalze (7) der Wickelkammer (5) möglich. (Fig. I).

Die Verdampfungskammer (4) wie auch die Wickelkammer (5) besitzen je ein eigenes Vakuum- Pumpsystem (8) und (9). Das Bandmaterial (10) wird in bekannter Art unter Vakuum von einer Abwickelstation (11) über verschiedene Leitwalzen (12) und über eine oder mehrere Kühlwalzen (7) zu einer Aufwickelstation (13) geführt. Die entsprechenden Antriebsmotore befinden sich auf der Atmosphärenseite und über­ tragen ihr Drehmoment mittels vakuumdichter Drehdurchführungen bekannter Bauart. Eine wassergekühlte Blende (14) bekannter Bauart befindet sich zwischen dem Verdampfer (6) und dem Schieber (2). Erst nachdem das Bahnmaterial (10) eine gewisse Geschwindigkeit erreicht hat, wird diese Blende geöffnet.

Die Dampfrichtung vom Verdampfer (6) in Richtung auf das über die Kühlwalze (7) laufende Bandmaterial (10) ist im Gegensatz zur sonst üblichen Konstruktionsart horizontal. Hierdurch ergeben sich eine Reihe wesentlicher Vorteile: Die während des Prozesses unvermeidlichen Kondensatablagerungen an Anlagenteilen neben dem Bandmaterial (10) neigen ab einer gewissen Dicke, die je nach Arbeitsbedingungen schon wenige Minuten nach dem Bedampfungsbeginn erreicht sein können, zum Ablösen. Derartige Ablagerungen können bei der erfindungsgemäßen Anordnung der Anlage nicht in den Verdampfer zurückfallen und von dort wieder in Richtung auf das Bandmaterial (10) als heiße Partikel zurückgeschleudert werden. Sich ablösendes Kondensat fällt in einen Bereich, der keine Sichtverbindung zum Bandmaterial hat.

Das Verdampfungsmaterial (15) befindet sich in einem thermisch isolierten Behälter (16) in Pulver- oder in Granulatform, sofern es sich um ein sublimierendes Material handelt. Ein oder mehrere Heizer (17), welche verschiedene Ausführungsformen haben können nach Fig. II, wie z. B. als gerader Rundstab (17a), als Profilstab (17b), als Rohr (17c) in Richtung der Hauptabmessung des Verdampfers (6) bestrahlten großflächig die Oberfläche des Verdampfungsmaterials (15), ohne dieses zu berühren. Die Wärmeerzeugung an den Heizern erfolgt durch direkten Stromdurchgang. Die Strahlungswärme wird vom Verdampfungsmaterial absorbiert und bringt dieses zur Verdampfung. Der Dampf tritt aus Öffnungen (18) in horizontaler Richtung aus. Zur Erzielung einer hohen Ausbeute an verdampftem Material hat es sich als zweckmäßige Variante gezeigt, an den Öffnungen (18) Konusdüsen (19), welche elektrisch auf eine Temperatur nahe der Verdampfungstemperatur des Verdampfungsmaterials gebracht werden, anzubauen. Diese Konusdüsen (19) enden wenige Zentimeter vor dem an ihnen vorbeilaufenden Bandmaterial (10). Die Streuverluste lassen sich durch diese Maßnahme gering halten. Ausbeuten von bis zu 90% werden möglich, da bei in der Praxis zu verdampfenden Mengen von ca. 10 kg Silizium-Monoxid pro Stunde und einem Düsendurchmesser von ca. 12 bis 20 mm an der engsten Stelle der Düse dort noch laminare Strömung vorliegt. Erst nach dem Verlassen der Konusdüse entsteht ein Übergang zur Molekularströmung. In der Praxis hat es sich für eine ausreichende Gleichförmigkeit der Bedampfung quer zur Bahnrichtung als sinnvoll erwiesen, die Abstände zwischen den Öffnungen (18) in einem Verhältnis von 1 : 2 zum Abstand einer Öffnung zum Bahnmaterial zu wählen.

Eine weitere Variante zur Konusdüse ist es, nach Fig. III zwei beheizte Leisten (20) aus Molybdänblech, Wolfram, Tantal, Niob oder Graphit vor die Reihe der Öffnung (18) zu setzen. Bei einer geringfügig geringeren Materialausbeute ist diese Anordnung einfacher und kostengünstiger zu verwirklichen als einzelne, beheizte Konusdüsen.

Der Verdampfer (6) benötigt eine allseitige thermische Isolierung (21), welche nur durch die Anzahl der Öffnungen (18) unterbrochen ist. Diese Isolierung kann sowohl aus einem Fasermaterial, wie Graphitfilz oder Keramikfilz bestehen, wie auch aus mehrlagigen Strahlenblechen eines plattenförmigen Materials, welches den auf­ tretenden Temperaturen im Verdampfer standhält. Molybdänblech, Wolfram, Tantal, Niob, Graphit eignen sich hierzu, wie auch hochtemperaturfeste Keramikplatten.

Da es ein Ziel der Erfindung ist, durch Verwendung eines in einer Zwischenplatte (1) eingebauten vakuumdicht verschließbaren Schiebers (2) die Wickelkammer (5) zum Zwecke eines Tausches der Folienrolle belüften zu können, ohne daß der Verdampfer vorher unter Vakuum abgekühlt werden muß, ist es notwendig, die Verdampfungs­ kammer (4) mit ausreichend Verdampfungsmaterial (15) zu befüllen. Die Nachladung von Verdampfungsmaterial erfolgt dann normalerweise im wöchentlichen Turnus während der Wartungsintervalle der Anlage. Dies bedeutet, daß die Verdampfungs­ kammer ein Vorrat von mehreren hundert Kilogramm aufzunehmen hat.

Nach Fig. I wird als Behälter (16) eine Wanne mit halbkreisförmigen Querschnitt benutzt. In diese Wanne, die keinerlei thermischer Isolierung bedarf, ist ein ebenfalls halbkreisförmiger, rotierbarer Verdrängungskörper (22) eingebaut. Dieser besitzt einen etwas kleineren Radius und ist an seiner Außenseite mit Mitnehmern (23) ausge­ stattet, welche pulvriges Verdampfermaterial, das sich in dem Zwischenspalt (24) ansammelt, wieder aus diesem heraustransportieren kann. Der Behälter, der oberhalb der Welle (25) an seinen Seiten eine geeignete thermische Isolierung (26) trägt, wird bis zur Trennlinie (27) mit Silizium-Monoxid gefüllt. Zum Befüllen kann der Behälter (16) abgesenkt und ausgefahren werden.

Die Menge an Verdampfungsmaterial, die maximal verdampft werden kann, bevor ein Nachfüllen notwendig wird, ist die Schütthöhe oberhalb der horizontalen Wand (28) des Verdrängungskörpers (22), vermindert um eine gewisse Schütthöhe, die als thermische Isolation benötigt wird. Man sieht, daß das Verdampfungsmaterial selbst als thermische Isolation gegen den Verdrängungskörper verwendet werden kann. Bei den infragekommenden Verdampfungstemperaturen von etwa 1500°C mißt man in einer Tiefe von 50 mm der Schütthöhe nur noch eine Temperatur von etwa 1000°C. Die nach unten in Richtung auf die horizontale Wand abgeleitete Wärme kann dort als Strahlung über den Halbkreis des Verdrängungskörpers an die Wanne des Behäl­ ters (16) übertragen werden und strahlt von dort gegen die Wand der Verdampfer­ kammer (4) der Anlage.

Diese Anordnung bietet eine Reihe von Vorteilen: Pulver- oder Granulatmaterialien adsorbieren an ihren sehr großen Oberflächen monomolekulare Lagen an Wasser. Dieses Wasser ist vor dem Beginn der Verdampfung unbedingt durch Hitzeeinwirkung zu desorbieren. Beispiel: Eine Füllung von 500 kg Silizium-Monoxid mit einer Teilchengröße von 10 Mikrometern adsorbiert bei Raumtemperatur etwa 5 Liter Wasser. Dieses Wasser soll vor dem Beginn der Verdampfung bis auf geringe Spuren desorbiert werden, und zwar an allen Orten der Schüttung weitgehend gleichzeitig, damit hocherhitztes Verdampfungsmaterial nicht mit Wasserdampf, welcher aus kälteren Zonen stammt, chemisch reagieren kann.

Man erreicht eine örtlich und zeitliche gleichmäßige Ausgasung dadurch, indem der Verdrängungskörper (22) mittels seiner Welle (25) unter Vakuum langsam gedreht wird. Dadurch erfolgt eine Umwälzung des Verdampfungsmaterials und eine gleich­ mäßige Erhitzung. Die oberste, für den Ausgasungsbetrieb mögliche Temperatur ist gegeben durch die abnehmende mechanische Festigkeit des Verdrängungskörpers (22), sowie durch die Tatsache, daß ab etwa 1000°C Legierungskomponenten, wie z. B. Chrom auszudampfen beginnen und zu Produktverunreinigungen führen würden. Eine Ausgasetemperatur von 750-900°C erweist sich in der Praxis als ausreichend.

Vor Beginn der Verdampfung wird der Verdrängungskörper mit seiner Wand (28) in eine horizontale Lage gebracht. Die von den Heizern (17) angestrahlte Fläche ist ausreichend groß bemessen, so daß pro Prozeßzyklus einer Verdampfung der Pegel an Verdampfungsmaterial nur um wenige Millimeter sinkt. Da Silizium-Monoxid immer gewisse Verunreinigungen an SiO₂ besitzt, würde sich nach einigen Prozeßzyklen eine Krustenschicht an der Oberfläche des Verdampfungsmaterials bilden, welche die weitere Verdampfung behindern kann. Deshalb hat es sich als nützlich erwiesen, wenn nach jedem Prozeßzyklus der Verdrängungskörper einer vollen Rotation unterzogen wird, oder wenn er wenigstens aus seiner horizontalen Lage einige Schwenkungen von 5 bis 45 Grad ausführt. Dadurch werden gebildete Krusten entweder untergemischt oder aufgebrochen.

Für den Anlagenbediener ist es wichtig zu wissen, wann er den Verdampfer leergefahren hat. Hierzu werden im Verdrängungskörper (22) an der Wand (28) ein oder mehrere Thermoelemente (29) montiert, welche über die durchbohrte Welle (25) über Stromdurchführungen an die Atmosphäre geführt werden. Sobald die Thermoelemente (29) die maximal zulässige Grenztemperatur der Wand (28) anzeigen, darf kein weiterer Prozeßzyklus mehr gefahren werden. Der Verdampfer ist abzukühlen und neu zu beladen. Um Schleifkontakte an den Thermoelementleitungen zu vermeiden, ist es bei dieser Meßmethode zweckmäßig, die Drehbewegungen des Verdrängungskörpers (22) auf nur wenige Links-, gefolgt von einer gleichen Anzahl Rechtsläufen zu begrenzen, je nachdem, durch wieviele Spiraldrehungen die Thermoelemente mechanisch entlastet worden sind.

Um der Forderung gerecht zu werden, daß der Schieber (2) auch nach einer Vielzahl von Prozeßzyklen immer noch hochvakuumdicht schließt, ist es notwendig, die Elastomerdichtung (30), wie auch den Schieber selbst im offenen Zustand vor Bedampfung zu schützen. Hierzu eignen sich nach bekannter Bauart Abdeckungen, die sich sofort beim Öffnen des Schiebers an die Dichtflächen anlegen.

Beispiel eines Verfahrensablaufes:

Die Praxis zeigt, daß ohne Aussetzung des Verdampfers an Luft sich bei einer Füllung mit 500 kg Verdampfermaterial rund 3 Millionen m² an Folie bedampfen lassen. Es tritt als Nebeneffekt eine Energieersparnis ein, da die thermische Masse des Verdampfers nicht bei jedem Prozeßzyklus aus der Raumtemperatur gestartet werden muß, sondern es erfolgt während der Zeit des Wechsels von Folienrollen nur eine Temperaturabsenkung um knapp 200 Grad C, auf etwa 1200°C. Bei dieser Tempe­ ratur findet keine Verdampfung mehr statt. Eine Füllmenge an Verdampfungsmaterial reicht aus für einen wöchentlichen Verdampfungsbetrieb. Eine weitgehende Prozeß­ automatisierung ist möglich durch den Einsatz von geeigneten, kommerziell erhältliche Meßsystemen zur Registrierung und Regelung der aufgedampften Schichtdicke.

Die Erfindung läßt zahlreiche Varianten und Modifikationen zu. Der Verdrän­ gungskörper (22) kann flügelförmig ausgelegt werden, die Form eines elliptischen, exzentrisch gelagerten Rohres haben oder auch nur aus an der Welle (25) angebrachten Armen bestehen. Der Nachteil ist jedoch, daß eine gewisse Menge an Verdamp­ fungsmaterial ungenutzt zurückbleibt. Verzichtet man auf die Vorteile einer horizontalen Verdampfungsrichtung, wird der Verdampfer (6) mit Öffnungen (18) an seiner Oberseite versehen und er befindet sich dann unterhalb der Kühlwalze (7). Die Zwischenplatte (1) und der Schieber (2) sind in horizontaler Richtung eingebaut. Die Wickelkammer (5) der Anlage befindet sich über der Verdampfungskammer (4) nach Fig. IV.

Claims (16)

1. Bandbedampfungsanlage mit einem widerstandsbeheizten Verdampfer, insbesondere für die Beschichtung von bandförmigem Material, mit thermisch verdampfbaren, sublimierbaren Materialien und einer Austrittsrichtung des Dampfes in annähernd horizontaler Richtung, dadurch gekennzeichnet, daß unterhalb der Schüttung des Verdampfungsmaterials ein rotier- und/oder schwenkbarer Körper eingebaut ist, welcher das zu verdampfende Material vor der Verdampfung zu durchmischen vermag, und daß ein vakuumdicht verschließbarer Schieber in einer zwischen der Verdampfungskammer und einer Wickelkammer befindlichen Zwischenplatte angeordnet ist.

2. Bandbedampfungsanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der unterhalb der Schüttung des Verdampfungsmaterials vorgesehene rotier- und/oder schwenkbare Körper wenigstens einen Teil des unterhalb des Verdampfungsmaterials liegenden Raumes einnimmt und damit einen Verdrängungskörper bildet.

3. Bandbedampfungsanlage nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Verdrängungskörper wenigstens annähernd halbkreisförmig ausgebildet und mit seiner im wesentlichen ebenen Seite dem Verdampfungsmaterial zugekehrt ist.

4. Bandbedampfungsanlage nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Verdampfer ein feststehendes, thermisch isoliertes Gehäuse aufweist, mit eingebauten Widerstand-Heizern und einer Anzahl von Öffnungen für den Austritt des Dampfes und einen absenkbaren, ausfahrbaren Behälter enthält, in welchem sich das Verdampfungsmaterial als Schüttgut oberhalb des Körpers befindet, wobei der Körper zentrisch in einer ihn umgebenden halbkreisförmigen Wanne angeordnet ist.

5. Bandbedampfungsanlage nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die zwischen der Wickelkammer und der Verdampfungskammer vorgesehene, den Schieber enthaltende Zwischenplatte vertikal angeordnet ist.

6. Bandbedampfungsanlage nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Austrittsöffnungen der Verdampferkammer sich konisch erweiternd ausgebildet sind.

7. Bandbedampfungsanlage nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß an jeder Austrittsöffnung eine Konusdüse vorgesehen ist.

8. Bandbedampfungsanlage nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß zwei quer über die Austrittsöffnung bzw. alle Austrittsöffnungen verlaufende Leisten vorgesehen sind, deren einander zugekehrte Flächen einen Winkel von 0 bis 90° zwischen sich einschließen und so eine sich erweiternde Austritts-Düse bilden.

9. Bandbedampfungsanlage nach Anspruch 6, 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Austrittsöffnungen und/oder die Düsen-Leisten und/oder die Konusdüsen elektrisch beheizt sind.

10. Bandbedampfungsanlage nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß im Verdampfer als sublimierbare Stoffe vorzugsweise Silizium- Monoxid, Chrommetall, Zink, Magnesium oder Zinksulfid zur Verdampfung gelagert ist.

11. Bandbedampfungsanlage nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Körper die Form eines wenigstens annähernd elliptischen Rohres aufweist.

12. Bandbedampfungsanlage nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Körper aus einem exzentrisch gelagerten Rohr besteht.

13. Bandbedampfungsanlage nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Körper eine Anzahl von Armen aufweist.

14. Bandbedampfungsanlage nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Verdampfer beliebige, in einem Winkel zwischen 0 und 90° mit der Horizontalen angeordnete Austrittsöffnungen aufweist, und daß die Ebene der Zwischenplatte und des vakuumdichten Schiebers in einem Winkel zwischen 60 und 90° relativ zur Dampfaustrittsrichtung angeordnet ist.

15. Bandbedampfungsanlage nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß am Körper eine Temperaturmeßeinrichtung vorgesehen ist.

16. Bandbedampfungsanlage nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenplatte seitlich und/oder von der Verdampfungsanlage weg verfahrbar ist.