DE865168C - UEbermikroskop, insbesondere mit elektrostatischen Linsen - Google Patents
UEbermikroskop, insbesondere mit elektrostatischen LinsenInfo
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/10—Lenses
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Description
- Ubermikroskop, insbesondere mit elektrostatischen Linsen In übermikroskopün läßt es sich vi#elfaüh nicht vermeiden, daß während des Betriebes geringe Verunreinigungen auf den Linsenelektroden niedergeschlagen werden und damit Bildstörungen auftreten. Bei sehr geringen Blendendurchmessern,der Linsünelektroden können die Niederschläge selbst zu Strahlsperrungen führen. Es ist aus diesem Grund von Zeit zu Zeit ein Auswechseln bzw. Reinigen der Elektroden notwendig, was naturgemäß zeitraubend und umständlich ist.
- Die obenerwähnten Schwierigkeiten können bei einem übtermikroskop, insbesondere mit elektrostatischen Linsten, herabgesetzt werden ? wenn das übermikroskop in der erfindungsgemäßen Weise ausgebildet wird. Nach der Erfindung befinden sich die Linsenelektroden im Betrieb auf einer Tempieratur von mindestens 6o bis 700 C. Di#e Aufheizung der Linsrenelektroden kann durch zusätzliche Heizvorrichtungen verfolgen, welche mit den Linsenelektroden. wärmeleitend verbunden sind bzw. in dieselben eingebaut -sind. Gegebenenfalls kann aber auch die Elektronenbestrahlung zur Erhitzung der Linsenelektroden auf die gewünschte Tiempe-ZD ratur dienen.
- Es hat sich zudem noch als zweckmäßig erwiesen, die Linsenelektroden derart zu haltern, daß eine Wärm#eableitung weitgehend herabgesetzt wird. Bei solchen Linsen läßt es sich selbst beim Betrieb des übierrniI-cro#sk,ops mit, sehr schwiachen Elektronenintensitäten, was bei verschiedenen Objekten p-rforderlich ist, erreichen, #daß die wegen zusichwacher Aufheizung der Elektroden auftretenden Bildstörungen durch eine kurzdauernde stärkere Elektronenhestrahlung vermieden werde!n.
Claims (1)
- PATENTANSPRUCH: übermikroskop, insbiesondere mit elektrostatischen Linsen, dadurch gekennzeichnet, daß die Linseneliektroden sich im, Betrieb auf jeiner Temperatur von mindestens 6o bis 70' C befinden.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DEA5357D DE865168C (de) | 1944-11-21 | 1944-11-21 | UEbermikroskop, insbesondere mit elektrostatischen Linsen |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DEA5357D DE865168C (de) | 1944-11-21 | 1944-11-21 | UEbermikroskop, insbesondere mit elektrostatischen Linsen |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE865168C true DE865168C (de) | 1953-01-29 |
Family
ID=6920707
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DEA5357D Expired DE865168C (de) | 1944-11-21 | 1944-11-21 | UEbermikroskop, insbesondere mit elektrostatischen Linsen |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE865168C (de) |
-
1944
- 1944-11-21 DE DEA5357D patent/DE865168C/de not_active Expired
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