DE914288C - Verfahren zum Betrieb eines mit einer Aperturblende ausgeruesteten Elektronenmikroskops, insbesondere UEbermikroskops - Google Patents

Description

• Zur Steigerung des Auflösungsvermögens von Elektronenmikroskopen, insbesondere Übermikroskopen, wird eine Aperturbegrenzung durch Verwendung einer feinen Blende vorgenommen. Von besonderer Bedeutung ist die mechanische Aperturbegrenzung bei Dunkelfeldaufnahmen. Aber auch im Hellfeld kann eine solche Aperturbegrenzung von Vorteil sein, besonders dann, wenn es sich um die Herstellung von Aufnahmen von dickeren Objekten handelt, da dann die sonst allgemein angewandte indirekte Aperturbegrenzung durch entsprechend parallele Bestrahlung unwirksam ist. Die A,perturen für die Elektronenobjektive liegen in der Größenordnung von 1/iooo, so daß sehr feine Blenden, beispielsweise mit Bohrungen von 1/loo mm, erforderlich sind. Derartige feine Blenden haben nun den Nachteil, daß während des Betriebes sich niederschlagende geringe Verunreinigungen starke Bildstörungen verursachen. Im extremsten Fall können diese Niederschläge selbst zu Strahlsperrungen führen. Es ist daher von Zeit zu Zeit ein Auswechseln der Blenden erforderlich, was äußerst zeitraubend und umständlich ist.
• Dieser Nachteil bei der Verwendung von Aperturblenden läßt sich nun vermeiden, wenn das mit einer Aperturblende ausgerüstete Elektronenmikroskop in der erfindungsgemäßen Weise betrieben wird. Nach der Erfindung wird die Aperturblende während des Betriebes geglüht. Zu diesem Zweck kann die Blende beispielsweise mit einer zusätzlichen Heizvorrichtung versehen sein. In manchen Fällen hat es sich auch als zweckmäßig erwiesen, die Erhitzung d#r Blende durch die sowieso vorhandene Elektronenbestrahlung zu bewirken. Um eine genügende Erhitzung auf dem letzten Wege zu erzielen, d. h. die Blende auf eine Temperatur von zweckmäßig 5oo bis iooo0 zu bringen, ist es erforderlich, die Blende als Folie auszubilden. Die Dicke der Blende muß also in der Größenordnung von 1/loo min liegen. Zudem muß die Blende derart gehaltert werden, daß eine Wärmeableitung weitgehend vermieden wird. Bei einer derartigen Blende läßt es sich selbst beim Betrieb des Elektronenmikroskops mit sehr schwachen Elektronenintensitäten, was bei verschiedenen Objekten erforderlich ist, erreichen, daß die wegen zu schwacher Aufheizung auftretenden Verunreinigungen verschwinden, indem beim Auftreten von Bildstöriingen eine kurzzeitige stärkere Elektronenbestrahlung vorgenommen wird.
• Der Gegenstand der Erfindung ist im folgenden an Hand der in den Figuren dargestellten Anordnungen zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens näher erläutert. In der Fig. i ist eine aus den drei Blendenelektroden 1, 2 und 3 bestehende elektrostatische Hochspannungslinse eines übermikroskops dargestellt. Diese Objektlinse ist mit einer Aperturblende 5 versehen, die an einem Halterungskörper 4 befestigt ist. Um zu vermeiden, daß sich auf der Blende störende Verunreinigungen niederschlagen, ist innerhalb der Blendenhalterung eine Heizspirale 7 angebracht, die zur Aufheizung der Blende 5 dient. Zweckmäßig befindet sich die Heizspirale 7 vor einem Reflektor 6, so daß die von der Heizspirale ausgehenden Wärmestrahlen auf die Blende konzentriert werden.
• Wenn man von einer zusätzlichen Heizvorrichtung absehen will, kann man die Anordnung beispielsweise in der in der Fig.:2 dargestellten Weise ausbilden. In diesem Fall besteht die Blende aus einer sehr dünnen Folie von 1/loo mm Dicke, die mit einer Blendenöffnung von ebenfalls Ihoo mm versehen ist. Diese mit 5 bezeichnete Blende ist an dem Halterungskörper 4 befestigt, in dem zwischen dem Halterungskörper und der Blende als Halteringe ausgebildete Wärmewiderstände 8, 9 angebracht sind. Um die Ableitung der Wärme von den die Blendenbohrung umgebenden Teilen möglichst weitgehend herabzusetzen, hat es sich ferner als zweckmäßig erwiesen, die Blende mit einem verhältnismäßig großen Durchmesser zu versehen und lediglich an dem äußersten Rand zu haltern.

Claims (2)

1. PATENTANSPRÜCHE: i. Verfahren zum Betrieb eines mit einer Aperturblende ausgerüsteten Elektronenmikroskops, insbesondere Übermikroskops, dadurch gekennzeichnet, daß die Aperturblende während des Betriebes geglüht wird.
2. 2. Anordnung zur Ausübung des Verfahrens nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die Blende mit einer zusätzlichen Heizvorrichtung versehen ist. 3. Anordnung zur Ausübung des Verfahrens nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die durch den Elektronenstrahl aufgeheizte Blende als Folie (Dicke von der Größenordnung 1/ioo mm) ausgebildet und derart gehaltert ist, daß eine Wärmeableitung weitgehend vermieden ist. 4. Anordnung zur Ausübung des Verfahrens nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die durch den Elektronenstrahl aufgeheizte Blende an einer aus einem Wärmewiderstand bestehenden Halterung befestigt ist.