DE8524382U1 - Vorrichtung zum doppelseitigen Belichten von Leiterplatten - Google Patents
Vorrichtung zum doppelseitigen Belichten von LeiterplattenInfo
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0073—Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces
- H05K3/0082—Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces characterised by the exposure method of radiation-sensitive masks
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
- G03F7/2022—Multi-step exposure, e.g. hybrid; backside exposure; blanket exposure, e.g. for image reversal; edge exposure, e.g. for edge bead removal; corrective exposure
-
- H—ELECTRICITY
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Description
- 4 - (15 320)
Vorrichtung zum doppelseitigen Belichten von Leiterplatten
Die Neuerung betrifft eine Vorrichtung zum doppelseitigen Belichten von Leiterplatten mittels Kontaktkopie gemäß
Oberbegriff des Hauptanspruches.
Bei dieser Vorrichtung ist gemäß DE-PS 34 47 849.3 vorgesehen,
die zu belichtenden Leiterplatten mit Förderelementen in die Vorrichtung bzw. den Doppelrahmen einzubringen,
der mit seinen beiden Rahmenteilen für den eigentlichen Belichtungsvorgang zusammengefahren werden kann. Mit einer
einfachen bspw. Bandzuförderung kommt man hierbei nicht aus, da der besonderen Gestaltung der Vorrichtung nach der DE-PS
34 47 849 und den Ausrichterfordernissen Rechnung getragen
werden muß.
Der vorliegenden Neuerung liegt demgemäß die Aufgabe zugrunde, die Vorrichtung nach der DE-PS 34 47 849 dahingehend
weiter auszubilden und zu verbessern, daß der zu belichtende Gegenstand tatsächlich schnell und automatisch im Takt bei
gleichzeitiger Einjustierung paßgenau zur Vorlage ein- und ausgefördert werden kann.
Diese Aufgabe ist mit der Vorrichtung der eingangs genannten Art in Weiterbildung; nach der vorliegenden Neuerung
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.*· durch die im Kennzeichen des HaüptanspruiThes
angeführten Merkmale gelöst. Weitere vorteilhafte Ausbildungsformen hierzu ergeben sich nach
den Unteransprüchen.
Hierbei bleiben also die Transparentplatten mit den Vorlagen in dsr Vorrichtung bzw, in den beiden Rahmenteilen
des Doppelrahmens und lediglich der zu belichtende Gegenstand wird ein- und ausgefördert. Bevorzugt
wird dabei eine Ausführur^sform des Schiebers dahingehend,
daß der Schieber mit zwei Saugplatten versehen und zwischen den beiden Saugplatten eine Doppelrahmendurchgriffsöffnung
und am anderen Ende der Führungsschienen eine Gegenstandsabförderungseinrichtung angeordnet ist.
Mit dieser Ausführungsform läuft nämlich das Be- und Entladen der Belichtungsvorrichtung wie folgt ab, wobei
davon ausgegangen sei, daß sich eine Leiterplatte bereits im Doppelrahmen befindet und belichtet worden
ist, wofür selbstverständlich während der Belichtung die Doppelrahmendurchgriffsöffnung des Schiebers mittig
zum Doppelrahmen steht. Ferner sei vorausgesetzt, daß die Durchförderung der Leiterplatten durch die Belichtungsvorrichtung
von links nach rechts erfolgt. Ist die Belichtung vollzogen, so wird der untere Rahmenteil
abgesenkt, womit der Weg frei ist, um den Schieber so weit nach links verschieben zu können, daß sich
die rechte Saugplatte zwischen den beiden Rahmenteilen und damit über der belichteten Leiterplatte befindet.
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f ' Gleichzeitig ist damit die linke Saugplatte des Schiebers
in die Beladungsstellung gelangt, d.h., beide Saugplatten befinden sich in einer Stellung, in der
einerseits die nächste zu belichtende Leiterplatte von der linken Saugplatte und andererseits die belichtete
Leiterplatte von der rechten Saugplatte des Schiebers aufgenommen werden kann. Ist dies erfolgt, so wird der
gknze Schieber nach rechts verschoben, wodurch die zu
belichtende Leiterplatte in die Belichtungsstellung innerhalb der Vorrichtung kommt und die belichtete Leiterin
platte auf der anderen Seite der Vorrichtung in Abförderstellung gebracht wird. In dieser Stellung fährt das untere Rahmenteil der Belichtungsvorrichtung nach der
Hauptanmeldung an die zu belichtende Leiterplatte heran und übernimmt diese von der linken Saugplatte, wobei
gleichzeitig die rechte Saugplatte die belichtete Leiterplatte ablegt. Danach wird der Schieber wieder nach
links verschoben und zwar so weit, daß sich die Doppel-
&iacgr; rahmendurchgriffsöffnung genau in der Stellung zwischen
den beiden Rahmenteilen befindet und das untere Rahmenteil angehoben werden kann. Danach wiederholt sich der
ganze Vorgang, wie beschrieben. Dem Schieber bzw. den Führungsschienen sind dabei natürlich entsprechend und
geeignet ausgebildete Zuförder- und Abfördereinriehtungen zugeordnet, die im einzelnen noch beschrieben werden.
Zuförderseitig erfolgt das Ganze natürlich unter Beachtung der Paßgenauigkeit bei der Einförderung der jeweils
zu belichtenden Leiterplatte in die Vorrichtung,
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wofür el/enfalls noch näher zu beschreibende Ausrichtelemente
vorgesehen sind. |
Erst durch diese neuartige "■ Ausbildung der Vor- |
richtung wird es möglich, ohne ein belichtungsfertig ]
vorbereitetes Gesamtpaket einfördern zu müssen, ledig- a
lieh den zu belichtenden Gegenstand einzubringen und |
zwar im Takt kontinuierlich bei weitgehend gleichzei- >.
tig sich vollziehenden Aufnahme-, Übergabe- und Ablage- *
vorgängen. J.
Die neuartige Vorrichtung wird nachfolgend an- g|
hand der zeichnerischen Darstellung von Ausführungsbei- |
spielen näher erläutert. f
Es zeigt schematisch I
Fig. 1 die Vorrichtung in Draufsicht; J
Fig. 2 die Vorrichtung in Seitenansicht;
Fig. 3 in Draufsicht die Gegenstandsübergabe- j
und Ausrichteinrichtung und \
Fig. U in Draufsicht eine besondere AusfUhrungs- J
form des Schiebers. 1
Bei der nachfolgenden Beschreibung ist Bezug genommen |
auf eine Ausführungsform, bei de- 'er Entladiingssuhiaber
23 mit zwei Saugplatten 23', 23" und mit einer |
Doppelrahmendurchgriffsöffnung 26 versehen ist. Außerdem
sind die Belichbungseinrichtungett nicht dargestellt.
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Wie aus den Fig. 1, 2 erkennbar, sind am Vorrichtungsgestell 10 parallel zu den beiden Rahmenteilen 2, 2'
und unterhalb des oberen Rahmenteiles 2 Führungsschienen 22 angeordnet, die auf beiden Seiten über das Gestell
10 entsprechend weit herausragen. In den Führungsschienen 22 ist der Beschickungs- und Entladungsschieber
23 verschieblich gelagert, der in Form einer gegen den unteren Rahmen 2 gerichteten Saugplatte ausgebildet
ist. Beschickungsseitig ist vor dem Doppelrahmen 1 und zwischen den Führungsschienen 22 eine mit Zufördermitteln
24 beschickbare Gegenstandsübergabe- und Ausrichteinrichtung
25 angeordnet. In der bevorzugten und dargestellten Ausführungsform ist der Schieber 23 mit zwei
Saugplatten 23', 23" versehen, die die mittige Doppelrahmen-Durchgriff
söffnung 26 begrenzen. Am anderen Ende 22' ist eine Gegenstandsabförderungseinrichtung
vorgesehen.
In der in Fig. 1 dargestellten Stellung wird eine durch die Gegenstandsübergabe- und Ausrichteinrichtung 25 zugeförderte
Leiterplatte von der Saugplatte 23' aufgenommen und nach rechts in den Bereich fluchtend über
den Doppelrahmen 1 verschoben, dessen Rahmenteile 2, 2' durch Absenken des unteren Rahmenteiles 2' gespreizt
ist, so daß die Saugplatte 23* zwischen die beiden Rahmenteile 2, 2' fahren und die Leiterplatte auf dem unteren
Rahmenteil 2' ablegen kann. Sofern die Saugplatte 23" bereits eine belichtete Leiterplatte aufgenommen
hat, wird diese gleichzeitig auf der Gegenstandsabförderungseinrichtung
32 abgelegt und abgefördert.Danach
fährt der Schieber wieder nach links in die dargestellte Stellung zurück, so daß sich die Doppelrahmen-Durchgriffsöffnung
26 wieder über dem Doppelrahmen 1 befindet, der somit zusammengefahren werden kann.
Gleichzeitig befindet sich damit der Schieber wieder in Beschiekungsstellung, und die in Belichtungsstellung befindliche
Leiterplatte kann von beiden Seiten belichtet werden. Nach erfolgter Belichtung wird der Doppelrahmen
1 wieder geöffnet und der Schieber 23 weiter nach links verfahren und zwar so weit, daß sich die Saugplatte 23"
über dem unterer Rahmenteil 2' befindet und die belichtete
Leiterplatt von der Saugplatte 23" aufgenommen werden kann. Die andere Saugplatte 23' nimmt dabei eine neue,
zu belichtende Leiterplatte auf. Danach vollzieht sich der gleiche Vorgang wie beschrieben.
Die Gegenstandsübergabe- und Ausrichteinrichtung 25 ist
im dargestellten Beispiel als rostartig ausgebildeter, gegen die Schieberverstellebene 28 anhebbarer Heber ausgebildet
(siehe Fig. 3). Dies ist notwendig, um die in einer etwas tieferliegenden Ebene zugeförderte und zu
belichtende Leiterplatte gegen die Saugplatte 23' von unten und durch Saugwirkung an die Saugplatte 23'
artlegen zu können. Die Zufördermlttel 24 sind dabei in
Form von Endlossträngen 30 mindestens zum Teil zwischen
die Stäbe des rostförmig ausgebildeten Hebers 25'ein-
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greifend angeordnet. Auch die Abfeuereinrichtung 32 ist
mit entsprechenden Endlossträngen ausgestattet, so daß die darauf abgelegten, belichteten Leiterplatten in
Pfeilriohtumg abgefördert werden können.
Die Einförderung der zu belichtenden Leiterplatten muß
natürlich lagegenau zu den im Doppelrahmen 1 bzw. dessen Rahmenteilen 2, 2' befindlichen Belichtungsvorlagen erfolgen.
Gemäß Fig. 3 ist hierfür der rostartig ausgebildete Heber 25' auf einer Seite mit einem stationären und
auf der anderen Seite mit einem verstellbaren Gegenstands anschlag 29, 29' versehen, die dafür sorgen, daß die eingelaufene
Leiterplatte die richtige Seitenlage erhält. In bezug auf unterschiedliche Leiterplattenformate sind diese
Gegenstandsanschläge entsprechend einstellbar ausgejc
bildet. Sofern also eine Leiterplatte mit ihrer linken f Seitenkante noch nicht am Gegenstandsanschlag anliegen
sollte, treten die Gegenstandsanschläge 29' in Tätigkeit und drücken die Leiterplatte elastisch gegen den ande-
» ren Gegenstandsanschlag 29» Hinsichtlich der richtigen
Längsorientierung sind die Leiterplatten im Bereich ihrer vorderen Einlaufkante bspw. mit kleinen Lochungen
versehen und am Ende der Gegenstandsüb^rgabe- und Auot
richteinrichtung 25 befinden sich auf»· und absenkbare
} an ihren Enden spitzkegelförmige Paßstifte 31, die bei
zugeförderter und bereits gegen den Gegenstandsanschläg
29 ausgerichteter Leiterplatte die Leiterplätte durch ihr Absenken justieren. Ein finger- oder leistenartiger/
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in den ZufÖrderweg einstellbarer Anschlag 29" sorgt
diesbezüglich für eine Grobjustierung beim Auflaufen
des Gegenstandes auf die Zuförder- und Ausrichteinrichtung 25, so daß die Paßstifte nur noch eine Feinorientierung
zu bewirken haben, d.h., nach ZufÖrderung der Leiterplatte befinden sich deren Lochungen entweder direkt
öder äönüfi fiähözü fluchtend untsr dsn Psftstiftsn 31
< Vor Verstellung des Schiebers 23 nach rechts werden die Paßstifte 31 und der Anschlag 29" zurückgezogen, so daß
die lagegenau an der Saugplatte 23' angesaugte Leiterplatte in Belichtungsstellung gefahren und auf dem unteren
Rahmenteil 2' abgelegt werden kann, die mit entsprechenden Paßstiften versehen ist, um etwa während des
Weitertransportes in diese Stellung etwa aufgetretenen Lageungenauigkeiten zu begegnen»
Gemäß Fig. 1I kann der Schieber beschickungsseitig auch
so ausgebildet werden, daß die Saugplatte im Schieber in ihrer Anordnungsebene verbleibend, gesteuert verstellbar
in dieser Ebene ausgebildet ist. Bei dieser Ausbildungsform sind entsprechende Sensoren im Bereich der
Belichtungsstellung, d.h. am Doppelrahmen 1 angeordnet, die entsprechende Loch- od. dgl. -Markierungen an der
Leiterplatte abtasten und mit steuerbaren Ausrichtelementen 27, 2?' (Stellmotore) die Saugplatte 23 und
den daran haftenden Gegenstand mittels einer geeigneten Elektronik in die lagegenaue Belichtungsstellung bringen,
so daß auch hierbei eine übergabe der zu belichten-
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-s 12"-
den Leiterplatte an das untere Rahmenteil des Doppelrahmens und damit lagegenau zur Vorlage gewährleistet
ist* Hierfür genügen mögliche Verstellwege von + 5 mm.
Bewegliche Anschläge und Päßstifte im Bereich der Gegenstands- Und Ausrichteinrichtung 25 sind damit entbehrlich.
Bei Anordnung eines Schiebers mit zwei Saugplat
dabei natürliohnur die be-sohickungsseitige
Saugplatte derart steuerbar ausgebildet werden
Claims (1)
- t ft * ·• · * · t ti·Schutzansprüche: (15 320)1. Vorrichtung zum doppelseitigen Belichten von Leiterplatten mittels Kontaktkopie, bestehend aus einem in einem mit Förderelementen versehenen Gestell zwischen zwei Lichtquellen parallelgeführten, mit je einem Teil über und unter der Belichtungseoene angeordneten Vorlagen- und Leiterplattenhalter, wobei der Halter aus einem Doppexrahmen gebildet ist, dessen beide Rahmenteile relativ zueinander und in Parallelstellung zueinander bleibend, auseinander- und zusammenfahrbar ausgebildet sind; in den Rahmenteilen des Doppelrahmens je eine in f-inem, mindestens auf einer Seite mit Ausrichtelementen versehenen Rahmen gefaßte, in ihren gegeneinandergerichteten Flächen längs ihrer Umfangsränder mit Saugkanälen versehene Transparentplatte angeordnet ist und diese Rahmen paßgenau zueinander in die Rahmenteile einlegbar ausgebildet sind, dadurch gekennzeichnet, daß am Vorrichtungsgestell (10) parallel zu den beiden Rahmenteilen (2, 2') und unterhalb des oberen Rahmenteiles (2) Führungsschienen (22) angeordnet sind, daß in den Führungsschienen (22) ein Beschickung!=*- und Entladungsschieber (23) verschieblich gelagert und dieser in Form einer gegen den unteren Rahmen (21) gerichteten Saugplatte ausgebildet ist und daß beschickungsseitig vor dem Doppelrahmen (1) und zwischen den Führungsschienen (22) eine mit Zufördermitteln (24) beschiekbare Gegenstandsübergabe- und Ausriohteinriohtüng (25) angeordnet ist.2» Vorrichtung nach Anspruch 1,dadurch gekenn« Ii e i c h me t , daß der Schieber (23)mit zwei Saugplatten (23', 23") versehen und zwischen den beiden Saugplatten eine Doppelrahmendurch griffsöffnung (26) und am anderen Ende (22') der Führungsschienen (22) eine Gegenstandsabförderungseinrichtung (32) angeordnet ist.3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Gegenstands übergabe- und Ausrichteinrichtung (25) als flächig oder rostartig ausgebildeter, gegen die Schieberver stellebene (28) verstellbarer Heber ausgebildet ist4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet , daß der rostartig ausgebildete Heber (25') auf einer Seite mit einem stas tionären und auf der anderen Seite mit einem ver-M stellbaren Gegenstandsanschlag (29) versehen ist.* 15. Vorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Zuförder-/Abfördermittel (24) in Form von Endlosstrüngen (30) ausgebildet sind, wobei die Zuffördermittel mindestens zum Teil durch die Stabe des rostförraig ausgebild^ ten Hebers (25') eingreifend ausgebildet sind.6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die mindestens eine Saugplatte im Schieber (23), in lh-iiii ·&iacgr;.·'3 &iacgr;.?5 * »t erer Anordnungsebene verbleibend, gesteuert verstellbar in dieser Ebene ausgebildet ist'.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19858524382 DE8524382U1 (de) | 1985-08-26 | 1985-08-26 | Vorrichtung zum doppelseitigen Belichten von Leiterplatten |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19858524382 DE8524382U1 (de) | 1985-08-26 | 1985-08-26 | Vorrichtung zum doppelseitigen Belichten von Leiterplatten |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE8524382U1 true DE8524382U1 (de) | 1987-08-27 |
Family
ID=6784580
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19858524382 Expired DE8524382U1 (de) | 1985-08-26 | 1985-08-26 | Vorrichtung zum doppelseitigen Belichten von Leiterplatten |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE8524382U1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105416973A (zh) * | 2015-10-29 | 2016-03-23 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 基板传送装置及基板曝边方法 |
-
1985
- 1985-08-26 DE DE19858524382 patent/DE8524382U1/de not_active Expired
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105416973A (zh) * | 2015-10-29 | 2016-03-23 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 基板传送装置及基板曝边方法 |
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