DE8524382U1 - Vorrichtung zum doppelseitigen Belichten von Leiterplatten - Google Patents

Vorrichtung zum doppelseitigen Belichten von Leiterplatten

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DE8524382U1
DE8524382U1 DE19858524382 DE8524382U DE8524382U1 DE 8524382 U1 DE8524382 U1 DE 8524382U1 DE 19858524382 DE19858524382 DE 19858524382 DE 8524382 U DE8524382 U DE 8524382U DE 8524382 U1 DE8524382 U1 DE 8524382U1
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Klimsch & Co Kg 6000 Frankfurt De
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Klimsch & Co Kg 6000 Frankfurt De
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    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/0073Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces
    • H05K3/0082Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces characterised by the exposure method of radiation-sensitive masks
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20Exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/2022Multi-step exposure, e.g. hybrid; backside exposure; blanket exposure, e.g. for image reversal; edge exposure, e.g. for edge bead removal; corrective exposure
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/15Position of the PCB during processing
    • H05K2203/1572Processing both sides of a PCB by the same process; Providing a similar arrangement of components on both sides; Making interlayer connections from two sides

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Description

- 4 - (15 320)
Vorrichtung zum doppelseitigen Belichten von Leiterplatten
Die Neuerung betrifft eine Vorrichtung zum doppelseitigen Belichten von Leiterplatten mittels Kontaktkopie gemäß Oberbegriff des Hauptanspruches.
Bei dieser Vorrichtung ist gemäß DE-PS 34 47 849.3 vorgesehen, die zu belichtenden Leiterplatten mit Förderelementen in die Vorrichtung bzw. den Doppelrahmen einzubringen, der mit seinen beiden Rahmenteilen für den eigentlichen Belichtungsvorgang zusammengefahren werden kann. Mit einer einfachen bspw. Bandzuförderung kommt man hierbei nicht aus, da der besonderen Gestaltung der Vorrichtung nach der DE-PS 34 47 849 und den Ausrichterfordernissen Rechnung getragen werden muß.
Der vorliegenden Neuerung liegt demgemäß die Aufgabe zugrunde, die Vorrichtung nach der DE-PS 34 47 849 dahingehend weiter auszubilden und zu verbessern, daß der zu belichtende Gegenstand tatsächlich schnell und automatisch im Takt bei gleichzeitiger Einjustierung paßgenau zur Vorlage ein- und ausgefördert werden kann.
Diese Aufgabe ist mit der Vorrichtung der eingangs genannten Art in Weiterbildung; nach der vorliegenden Neuerung
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.*· durch die im Kennzeichen des HaüptanspruiThes angeführten Merkmale gelöst. Weitere vorteilhafte Ausbildungsformen hierzu ergeben sich nach den Unteransprüchen.
Hierbei bleiben also die Transparentplatten mit den Vorlagen in dsr Vorrichtung bzw, in den beiden Rahmenteilen des Doppelrahmens und lediglich der zu belichtende Gegenstand wird ein- und ausgefördert. Bevorzugt wird dabei eine Ausführur^sform des Schiebers dahingehend, daß der Schieber mit zwei Saugplatten versehen und zwischen den beiden Saugplatten eine Doppelrahmendurchgriffsöffnung und am anderen Ende der Führungsschienen eine Gegenstandsabförderungseinrichtung angeordnet ist. Mit dieser Ausführungsform läuft nämlich das Be- und Entladen der Belichtungsvorrichtung wie folgt ab, wobei davon ausgegangen sei, daß sich eine Leiterplatte bereits im Doppelrahmen befindet und belichtet worden ist, wofür selbstverständlich während der Belichtung die Doppelrahmendurchgriffsöffnung des Schiebers mittig zum Doppelrahmen steht. Ferner sei vorausgesetzt, daß die Durchförderung der Leiterplatten durch die Belichtungsvorrichtung von links nach rechts erfolgt. Ist die Belichtung vollzogen, so wird der untere Rahmenteil abgesenkt, womit der Weg frei ist, um den Schieber so weit nach links verschieben zu können, daß sich die rechte Saugplatte zwischen den beiden Rahmenteilen und damit über der belichteten Leiterplatte befindet.
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f ' Gleichzeitig ist damit die linke Saugplatte des Schiebers in die Beladungsstellung gelangt, d.h., beide Saugplatten befinden sich in einer Stellung, in der einerseits die nächste zu belichtende Leiterplatte von der linken Saugplatte und andererseits die belichtete Leiterplatte von der rechten Saugplatte des Schiebers aufgenommen werden kann. Ist dies erfolgt, so wird der gknze Schieber nach rechts verschoben, wodurch die zu belichtende Leiterplatte in die Belichtungsstellung innerhalb der Vorrichtung kommt und die belichtete Leiterin
platte auf der anderen Seite der Vorrichtung in Abförderstellung gebracht wird. In dieser Stellung fährt das untere Rahmenteil der Belichtungsvorrichtung nach der Hauptanmeldung an die zu belichtende Leiterplatte heran und übernimmt diese von der linken Saugplatte, wobei gleichzeitig die rechte Saugplatte die belichtete Leiterplatte ablegt. Danach wird der Schieber wieder nach links verschoben und zwar so weit, daß sich die Doppel-
&iacgr; rahmendurchgriffsöffnung genau in der Stellung zwischen
den beiden Rahmenteilen befindet und das untere Rahmenteil angehoben werden kann. Danach wiederholt sich der ganze Vorgang, wie beschrieben. Dem Schieber bzw. den Führungsschienen sind dabei natürlich entsprechend und geeignet ausgebildete Zuförder- und Abfördereinriehtungen zugeordnet, die im einzelnen noch beschrieben werden. Zuförderseitig erfolgt das Ganze natürlich unter Beachtung der Paßgenauigkeit bei der Einförderung der jeweils zu belichtenden Leiterplatte in die Vorrichtung,
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wofür el/enfalls noch näher zu beschreibende Ausrichtelemente vorgesehen sind. |
Erst durch diese neuartige "■ Ausbildung der Vor- |
richtung wird es möglich, ohne ein belichtungsfertig ]
vorbereitetes Gesamtpaket einfördern zu müssen, ledig- a
lieh den zu belichtenden Gegenstand einzubringen und |
zwar im Takt kontinuierlich bei weitgehend gleichzei- >.
tig sich vollziehenden Aufnahme-, Übergabe- und Ablage- *
vorgängen. J.
Die neuartige Vorrichtung wird nachfolgend an- g|
hand der zeichnerischen Darstellung von Ausführungsbei- |
spielen näher erläutert. f
Es zeigt schematisch I
Fig. 1 die Vorrichtung in Draufsicht; J
Fig. 2 die Vorrichtung in Seitenansicht;
Fig. 3 in Draufsicht die Gegenstandsübergabe- j
und Ausrichteinrichtung und \
Fig. U in Draufsicht eine besondere AusfUhrungs- J
form des Schiebers. 1
Bei der nachfolgenden Beschreibung ist Bezug genommen |
auf eine Ausführungsform, bei de- 'er Entladiingssuhiaber 23 mit zwei Saugplatten 23', 23" und mit einer |
Doppelrahmendurchgriffsöffnung 26 versehen ist. Außerdem sind die Belichbungseinrichtungett nicht dargestellt.
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Wie aus den Fig. 1, 2 erkennbar, sind am Vorrichtungsgestell 10 parallel zu den beiden Rahmenteilen 2, 2' und unterhalb des oberen Rahmenteiles 2 Führungsschienen 22 angeordnet, die auf beiden Seiten über das Gestell 10 entsprechend weit herausragen. In den Führungsschienen 22 ist der Beschickungs- und Entladungsschieber 23 verschieblich gelagert, der in Form einer gegen den unteren Rahmen 2 gerichteten Saugplatte ausgebildet ist. Beschickungsseitig ist vor dem Doppelrahmen 1 und zwischen den Führungsschienen 22 eine mit Zufördermitteln 24 beschickbare Gegenstandsübergabe- und Ausrichteinrichtung 25 angeordnet. In der bevorzugten und dargestellten Ausführungsform ist der Schieber 23 mit zwei Saugplatten 23', 23" versehen, die die mittige Doppelrahmen-Durchgriff söffnung 26 begrenzen. Am anderen Ende 22' ist eine Gegenstandsabförderungseinrichtung vorgesehen.
In der in Fig. 1 dargestellten Stellung wird eine durch die Gegenstandsübergabe- und Ausrichteinrichtung 25 zugeförderte Leiterplatte von der Saugplatte 23' aufgenommen und nach rechts in den Bereich fluchtend über den Doppelrahmen 1 verschoben, dessen Rahmenteile 2, 2' durch Absenken des unteren Rahmenteiles 2' gespreizt ist, so daß die Saugplatte 23* zwischen die beiden Rahmenteile 2, 2' fahren und die Leiterplatte auf dem unteren Rahmenteil 2' ablegen kann. Sofern die Saugplatte 23" bereits eine belichtete Leiterplatte aufgenommen
hat, wird diese gleichzeitig auf der Gegenstandsabförderungseinrichtung 32 abgelegt und abgefördert.Danach fährt der Schieber wieder nach links in die dargestellte Stellung zurück, so daß sich die Doppelrahmen-Durchgriffsöffnung 26 wieder über dem Doppelrahmen 1 befindet, der somit zusammengefahren werden kann. Gleichzeitig befindet sich damit der Schieber wieder in Beschiekungsstellung, und die in Belichtungsstellung befindliche Leiterplatte kann von beiden Seiten belichtet werden. Nach erfolgter Belichtung wird der Doppelrahmen 1 wieder geöffnet und der Schieber 23 weiter nach links verfahren und zwar so weit, daß sich die Saugplatte 23" über dem unterer Rahmenteil 2' befindet und die belichtete Leiterplatt von der Saugplatte 23" aufgenommen werden kann. Die andere Saugplatte 23' nimmt dabei eine neue, zu belichtende Leiterplatte auf. Danach vollzieht sich der gleiche Vorgang wie beschrieben.
Die Gegenstandsübergabe- und Ausrichteinrichtung 25 ist im dargestellten Beispiel als rostartig ausgebildeter, gegen die Schieberverstellebene 28 anhebbarer Heber ausgebildet (siehe Fig. 3). Dies ist notwendig, um die in einer etwas tieferliegenden Ebene zugeförderte und zu belichtende Leiterplatte gegen die Saugplatte 23' von unten und durch Saugwirkung an die Saugplatte 23' artlegen zu können. Die Zufördermlttel 24 sind dabei in Form von Endlossträngen 30 mindestens zum Teil zwischen die Stäbe des rostförmig ausgebildeten Hebers 25'ein-
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greifend angeordnet. Auch die Abfeuereinrichtung 32 ist mit entsprechenden Endlossträngen ausgestattet, so daß die darauf abgelegten, belichteten Leiterplatten in Pfeilriohtumg abgefördert werden können.
Die Einförderung der zu belichtenden Leiterplatten muß natürlich lagegenau zu den im Doppelrahmen 1 bzw. dessen Rahmenteilen 2, 2' befindlichen Belichtungsvorlagen erfolgen. Gemäß Fig. 3 ist hierfür der rostartig ausgebildete Heber 25' auf einer Seite mit einem stationären und auf der anderen Seite mit einem verstellbaren Gegenstands anschlag 29, 29' versehen, die dafür sorgen, daß die eingelaufene Leiterplatte die richtige Seitenlage erhält. In bezug auf unterschiedliche Leiterplattenformate sind diese Gegenstandsanschläge entsprechend einstellbar ausgejc bildet. Sofern also eine Leiterplatte mit ihrer linken f Seitenkante noch nicht am Gegenstandsanschlag anliegen
sollte, treten die Gegenstandsanschläge 29' in Tätigkeit und drücken die Leiterplatte elastisch gegen den ande- » ren Gegenstandsanschlag 29» Hinsichtlich der richtigen
Längsorientierung sind die Leiterplatten im Bereich ihrer vorderen Einlaufkante bspw. mit kleinen Lochungen
versehen und am Ende der Gegenstandsüb^rgabe- und Auot richteinrichtung 25 befinden sich auf»· und absenkbare
} an ihren Enden spitzkegelförmige Paßstifte 31, die bei
zugeförderter und bereits gegen den Gegenstandsanschläg 29 ausgerichteter Leiterplatte die Leiterplätte durch ihr Absenken justieren. Ein finger- oder leistenartiger/
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in den ZufÖrderweg einstellbarer Anschlag 29" sorgt diesbezüglich für eine Grobjustierung beim Auflaufen des Gegenstandes auf die Zuförder- und Ausrichteinrichtung 25, so daß die Paßstifte nur noch eine Feinorientierung zu bewirken haben, d.h., nach ZufÖrderung der Leiterplatte befinden sich deren Lochungen entweder direkt öder äönüfi fiähözü fluchtend untsr dsn Psftstiftsn 31 < Vor Verstellung des Schiebers 23 nach rechts werden die Paßstifte 31 und der Anschlag 29" zurückgezogen, so daß die lagegenau an der Saugplatte 23' angesaugte Leiterplatte in Belichtungsstellung gefahren und auf dem unteren Rahmenteil 2' abgelegt werden kann, die mit entsprechenden Paßstiften versehen ist, um etwa während des Weitertransportes in diese Stellung etwa aufgetretenen Lageungenauigkeiten zu begegnen»
Gemäß Fig. 1I kann der Schieber beschickungsseitig auch so ausgebildet werden, daß die Saugplatte im Schieber in ihrer Anordnungsebene verbleibend, gesteuert verstellbar in dieser Ebene ausgebildet ist. Bei dieser Ausbildungsform sind entsprechende Sensoren im Bereich der Belichtungsstellung, d.h. am Doppelrahmen 1 angeordnet, die entsprechende Loch- od. dgl. -Markierungen an der Leiterplatte abtasten und mit steuerbaren Ausrichtelementen 27, 2?' (Stellmotore) die Saugplatte 23 und den daran haftenden Gegenstand mittels einer geeigneten Elektronik in die lagegenaue Belichtungsstellung bringen, so daß auch hierbei eine übergabe der zu belichten-
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den Leiterplatte an das untere Rahmenteil des Doppelrahmens und damit lagegenau zur Vorlage gewährleistet ist* Hierfür genügen mögliche Verstellwege von + 5 mm. Bewegliche Anschläge und Päßstifte im Bereich der Gegenstands- Und Ausrichteinrichtung 25 sind damit entbehrlich. Bei Anordnung eines Schiebers mit zwei Saugplat
dabei natürliohnur die be-sohickungsseitige
Saugplatte derart steuerbar ausgebildet werden

Claims (1)

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    Schutzansprüche: (15 320)
    1. Vorrichtung zum doppelseitigen Belichten von Leiterplatten mittels Kontaktkopie, bestehend aus einem in einem mit Förderelementen versehenen Gestell zwischen zwei Lichtquellen parallelgeführten, mit je einem Teil über und unter der Belichtungseoene angeordneten Vorlagen- und Leiterplattenhalter, wobei der Halter aus einem Doppexrahmen gebildet ist, dessen beide Rahmenteile relativ zueinander und in Parallelstellung zueinander bleibend, auseinander- und zusammenfahrbar ausgebildet sind; in den Rahmenteilen des Doppelrahmens je eine in f-inem, mindestens auf einer Seite mit Ausrichtelementen versehenen Rahmen gefaßte, in ihren gegeneinandergerichteten Flächen längs ihrer Umfangsränder mit Saugkanälen versehene Transparentplatte angeordnet ist und diese Rahmen paßgenau zueinander in die Rahmenteile einlegbar ausgebildet sind, dadurch gekennzeichnet, daß am Vorrichtungsgestell (10) parallel zu den beiden Rahmenteilen (2, 2') und unterhalb des oberen Rahmenteiles (2) Führungsschienen (22) angeordnet sind, daß in den Führungsschienen (22) ein Beschickung!=*- und Entladungsschieber (23) verschieblich gelagert und dieser in Form einer gegen den unteren Rahmen (21) gerichteten Saugplatte ausgebildet ist und daß beschickungsseitig vor dem Doppelrahmen (1) und zwischen den Führungsschienen (22) eine mit Zufördermitteln (24) beschiekbare Gegenstandsübergabe- und Ausriohteinriohtüng (25) angeordnet ist.
    2» Vorrichtung nach Anspruch 1,dadurch gekenn« Ii e i c h me t , daß der Schieber (23)
    mit zwei Saugplatten (23', 23") versehen und zwischen den beiden Saugplatten eine Doppelrahmendurch griffsöffnung (26) und am anderen Ende (22') der Führungsschienen (22) eine Gegenstandsabförderungseinrichtung (32) angeordnet ist.
    3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Gegenstands übergabe- und Ausrichteinrichtung (25) als flächig oder rostartig ausgebildeter, gegen die Schieberver stellebene (28) verstellbarer Heber ausgebildet ist
    4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet , daß der rostartig ausgebildete Heber (25') auf einer Seite mit einem stas tionären und auf der anderen Seite mit einem ver-
    M stellbaren Gegenstandsanschlag (29) versehen ist.
    * 15. Vorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Zuförder-/Abfördermittel (24) in Form von Endlosstrüngen (30) ausgebildet sind, wobei die Zuffördermittel mindestens zum Teil durch die Stabe des rostförraig ausgebild^ ten Hebers (25') eingreifend ausgebildet sind.
    6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die mindestens eine Saugplatte im Schieber (23), in lh-
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    rer Anordnungsebene verbleibend, gesteuert verstellbar in dieser Ebene ausgebildet ist'.
DE19858524382 1985-08-26 1985-08-26 Vorrichtung zum doppelseitigen Belichten von Leiterplatten Expired DE8524382U1 (de)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105416973A (zh) * 2015-10-29 2016-03-23 深圳市华星光电技术有限公司 基板传送装置及基板曝边方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN105416973A (zh) * 2015-10-29 2016-03-23 深圳市华星光电技术有限公司 基板传送装置及基板曝边方法

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