DE740430C - Vakuummesser - Google Patents

Vakuummesser

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Publication number
DE740430C
DE740430C DEL100164D DEL0100164D DE740430C DE 740430 C DE740430 C DE 740430C DE L100164 D DEL100164 D DE L100164D DE L0100164 D DEL0100164 D DE L0100164D DE 740430 C DE740430 C DE 740430C
Authority
DE
Germany
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elements
thermocouples
bridge
pressure
series
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Expired
Application number
DEL100164D
Other languages
English (en)
Inventor
Dr Wilhelm Jan Henri Moll
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Original Assignee
E Leybolds Nachfolger AG
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Filing date
Publication date
Application filed by E Leybolds Nachfolger AG filed Critical E Leybolds Nachfolger AG
Priority to DEL100164D priority Critical patent/DE740430C/de
Application granted granted Critical
Publication of DE740430C publication Critical patent/DE740430C/de
Expired legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L21/00Vacuum gauges
    • G01L21/10Vacuum gauges by measuring variations in the heat conductivity of the medium, the pressure of which is to be measured
    • G01L21/14Vacuum gauges by measuring variations in the heat conductivity of the medium, the pressure of which is to be measured using thermocouples

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

  • Vakuummesser Es sind Vakuummesser bekannt, die auf der Tatsache beruhen, daß die Wärmeleitfähigkeit eines Gases unterhalb eines gewissen Druckes vom Druck abhängig ist. Man arbeitet dabei mit Thermoelementen, die in dem Gasraum angeordnet sind, dessen Druck gemessen werden soll, und auf irgendeine Weise erhitzt werden. Die Temperatur der Thermoelemente hängt dann von der Wärmeleitfähigkeit des Gases ab, und die elektromotorische Kraft der Thermoelemente ist daher ein Maß für den Druck.
  • Die Durchführung der Messung ist an die Größe der Thermoelemente gebunden und dadurch erheblich eingeengt. Denn ,die Abhängigkeit der Wärmeleitfähigkeit vom Druck beginnt erst, wenn der Druck einen gewissen Wert unterschreibet, wenn nämlich die freie Weglänge der Gasmoleküle in der Größenordnung der Abmessungen des Themoelementes liegt. Aber auch nach unten ist der Meßbereich derartiger Vakuummesser begrenzt.
  • Denn mit weiter absinkendem Druck überwiegt schließlich gegenüber der Wärmeleitfähigkeit des Gases die Wärmeableitung durch die metallischen Zuleitungen. Diese untere Grenze des Meßbereiches ist demnach ebenfalls durch die Abmessung ,der Thermoelemente bestimmt.
  • Mit Thermoelementen von verschieden großer Oberfläche kann man zwar Vakuummesser mit verschiedenen Meßbereichen herstellen. Der Meßbereich jedes solchen Gerätes ist jedoch begrenzt und umfaßt stets nur einen Druckbereich von etwa zwei Zehnerpotenzen mm Hg.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, von der durch die Abmessungen der Thermoelemente gegebenen beiderseitigen Einschränkann des Meßbereiches freizukommen, also Vakuummesser der in Rede stehenden Art mit einem erheblich größeren Meßbereich zu schaffen. Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß in dem Gasraum mindestens zwei Thermoelemente verschiedener Abmessungen angeordnet sind, deren einzelne durch die Abmessungen gegebene Meßbereiche sich zu einem größeren Gesamtmeßbereich ergänzen.
  • Mit einem solchen Vakuummesser ist es möglich, einen Druckbereich von vier oder noch mehr Zehnerpotenzen mm Hg zu erfassen.
  • Es ist möglich, die verschieden großen Thermoelemente auf elektrisch getrennteMeßinstrumente arbeiten zu lassen. Da sich die Einrichtung leicht so abstimmen läßt, daß immer nur an einem der Instrumente der Zeiger einen Ausschlag zeigt, während die Zeiger der anderen sich am einen oder anderen Ende der Skala befinden, ist eine fehlerfreie Ablesung möglich. Die einzelnen Instrumente können dabei räumlich vereinigt werden.
  • Die Messung gestaltet sich indessen wesentlich bequemer, wenn man gemäß der bevor: zugten Ausführung des Gegenstandes der Erfindung die verschieden bemessenen Thermoelemente hintereinanderschaltet und mit einem einzigen Anzeigegerät verbindet, dessen Ausschlag der Summe der elektromotorischen Kräfte der einzelnen Thermoelemente entspricht.
  • Die Größe des Meßbereiches hängt. wie aus dem eingangs Gesagten hervorgeht, davon ab, wie stark die Abmessungen der Elemente voneinander verschieden sind. Eine Verschiedenheit um eine Größenordnung entspricht der Erhöhung des Meßbereiches um eine Zehnerpotenz mm Hg. Man kann die Unterschiede natürlich auch kleiner oder großer machen.
  • Die Zuführung der Wärme zu den Thermoelementen kann auf verschiedene bekannte Weise erfolgen. Man kann z. B. eine die Thermoelemente umgebende Heizspirale verwenden oder einen Heizdraht, der mit der Lötstelle des Elementes in gutem Wärmekontakt steht. Ferner kann man die Elemente durch Wärmestrahlung heizen. Für die Erfindung ist indessen die Beheizung durch einen die Elemente selbst durchfließenden Strom, und zwar am besten einen Wechselstrom, zu bevorzugen. Eine für diesen Fall zweckmäßige Schaltungsanordnung besteht erfindungsgemäß darin, daß zwei Paare von Elementen verschiedenen Meßbereichs derart in einer Brücke angeordnet sind, daß die beiden Paare von Elementen in zwei anliegenden Zweigen in Reihe zueinander und zu dem im Nulleiter liegenden Meßgerät angeordnet sind, während der Heizstrom durch den Außenleiter der Brücke zugeleitet wird, der an dem Verbindungspunkt der die Elemente enthaltenden Zweige und an dem gegenüberliegenden Brückenpunkt angeschlossen ist.
  • Die Anordnung mehrerer hintereinandergeschalteter Elemente ineinemVakuummesser, die in Reihe geschaltet sind und auf dasselbe Millivoltmeter wirken, ist zwar bekannt. Diese Elemente haben aber die gleiche Abmessung, und sie wirken in dem gleichen WIeßbereich.
  • Sie wirken immer gleichzeitig auf das NIillivoltmeter. Für das neue Gerät ist wesentlich, daß die Elemente in verschiedenen NIeßbereichen wirksam sind und nacheinander auf dem WIillivoltmeter die dem Druck entsprechend veränderte Anzeige hervorrufen.
  • Ferner ist bei Geräten der in Rede stehenden Art mit Heizung der Elemente durch durchfließenden Strom bekannt, mehrere Elemente so in einen Heizstromkreis zu legen. daß die an dem Millivoltmeter liegenden Spannungen gleich sind und dieses Nilillivoltmeter nicht von Heizstrom durchflossen wird. Die Benutzung einer Brückenschaltung, in der die Elemente und geeignet bemessene Widerstände in den Brückenzweigen und das Millivoltmeter im Brückendraht liegen, gestattet demgegenüber unter Erreichung des gleichen Vorteils, daß das Meßgerät nicht vom Heizstrom durchflossen wird, die Verwendung von Elementen von verschiedenem Ohmschen Widerstand.
  • Die Zeichnung stellt in Abb. 1 md 2 ein Ausführungsbeispiel des Erfindungsgegenstandes dar, und zwar zeigt Abb. I die Anordnung der Thermoelemente in einem Glaskolben und Abb. 2 ein Schaltschema.
  • Abb. 3 zeigt ein Beispiel einer Eichkurve des neuen Vakuummessers im Vergleich mit Eichkurven bekannter Vakuummesser.
  • In Abb. 1 sind Thermoelemente I, 2, 3 und 4 mittels Durchführungen 5, 6, 7 und 8 und Stützen g und 10 in einem Quetschfuß ii eines Glaskolbens 12 eingeschmolzen, der mittels eines Schliffs I3 auf das Gefäß gesetzt werden kann, dessen Druck gemessen werden soll.
  • Die Thermoelemente I und 2 sind um etwa eine Größenordnung kleiner als die Thermoelemente 3 und 3. Die Durchführungen 5. 6, 7 und 8 und die Stützeng und 10 bestehen aus Metall und sorgen infolge ihrer großen Wärmeleitfähigkeit dafür, daß die Lötstellen entgegengesetzter Polarität auf niedriger Temperatur gehalten werden. An die Durchführungen sind Zuleitungen 14, I5 und I6, 17 angeschlossen, so daR einerseits die Thermoelemente I und 3 und andererseits die Thermoelemente 2 -und 4 hintereinandergeschaltet sind.
  • Die zugehörige Schaltung ist in Abb. 2 dargestellt. Die hintereinandergeschalteten Thermoelemente I und 3 und die gleichfalls hintereinandergescllalteten Thermoelemente 2 und 4 bilden je einen Zweig einer Brückenschaltung. Die beiden anderen Zweige werden von je einem Widerstand I8, 19 gebildet. In der eigentlichen Brücke 20 liegt ein empfindliches Gleichstrommillivoltmeter 21. An den äußeren Klemmen liegt eine Wechselspannung 23. In der einen Wechselstromzuleitung liegt ein Eisenwasserstoffwiderstand 24 sowie ein Vorwiderstand 25. Die Widerstände I8, 19 können leicht so groß gemacht werden, daß der durch die Thermoelemente erzeugte Gleichstrom im wesentlichen über die Brücke 20 fließt.
  • Bei der Messung wird der Heizstrom durch den Eisenwasserstoffwiderstand24 konstant gehalten. Die eine Hälfte des Heizstromes durchfließt den Widerstand I8 und die Thermoelemente I und 3, die andere Hälfte den Widerstand 19 und die Thermoelemente 2 und 4. Dadurch werden die Thermoelemente durch gleiche Ströme erwärmt. Die wirksamen Lötstellen der Thermoelemente nehmen eine höhere Temperatur an als die Lötstellen entgegengesetzter Polarität, die durch die Zuführungen und die Stützen gekühlt werden. Das Instrument 20 zeigt infolgedessen einen Ausschlag, der der Summe der elektromotorischen Kräfte der Thermoelemente I bis 4 entspricht.
  • Mit sinkendem Druck in dem bei I3 angeschlossenen Gefäß bleibt, da die Wärmeabteilung durch das Gas zunächst vom Druck unabhängig ist, anfänglich der Ausschlag des Instrumentes 21 konstant. Auf diesen Ausschlag wird der Anfang der Skala festgesetzt.
  • Von dem Augenblick an, wo der Druck in dem Gefäß so weit vermindert ist, daß die freie Weglänge der Gasmoleküle in der Größenordnung der Abmessung der kleineren Thermoelemente I und 2 liegt, vermindert sich die von diesen Thermoelementen durch das Gas abgeleitete Wärme, d. h. die Temperatur dieser Elemente steigt und der Ausschlag des Instrumentes 21 ändert sich entsprechend der wachsenden elektromotorischen Kraft. Schließlich überwiegt jedoch die Wärmeableitung von den Thermoelementen I und 2 durch die Zuleitungen und Stützen, so daß eine weitere Druc,kabnahme beine merkliche Temperaturerhöhung der Thermoelemente I und 2 mehr bringt. Die elektromotorische Kraft dieser Thermoelemente bleibt also bei weiterer Druckahnahme konstant. Bis zu diesem Augenblick ist die elektromotorische Kraft der größeren Thermoelemente 3 und 4 konstant geblieben, weil gegenüber ihren Abmessungen die freie Weglänge der Gasmoleküle noch zu klein war.
  • Die elektromotorische Kraft der Elemente 3 und 4 steigt ierst, wenn der Anstieg der elektromotorischen Kraft an den Elementen I und 2 beendet ist und der Druck weiter vermindert wird. Da die elektromotorischen Kräfte der sämtlichen Thermoelemente sich addieren, nimmt der Ausschlag des Instrumentes dabei weiter zu, bis schließlich auch hier die Wärmeableitung durch die Zuleitungen überwiegt.
  • Das Ausführungsbeispiel zeigt den einfachsten Fall der Anordnung von zwei Thermoelemente verschiedener Abmessungen, durch die der Meßbereich um rund zwei Zehnerpotenzen mm Hg erhöht wird. Man kann, um den Meßbereich weiter zu vergrößern, weitere Thermoelemente mit noch größeren bzw. noch kleineren Abmessungen dazuschalten.
  • Um eine großere elektromotorische Kraft zu erhalten, kann man statt je eines Thermoelementes mehrere gleich große Thermoelemente hintereinanderschalten. Die Veribindungsstelleu liegen dann auf je einer gut wärmeleitenden Stütze.
  • Wie aus dem anfangs Gesagten folgt, besteht die Kurve, die den Verlauf der elektromotorischen Kraft eines einzelnen Thermoelementes in Abhängigkeit vom Gasdruck wiedergibt, aus einem ungefähr linear ansteigenden mittleren Zweig, an den sich beiderseits waagerecht verlaufende Zweige anschließen. Beim Vakuummesser nach der Erfindung ergibt sich, wenn die einzelnen Elemente auf ein einziges Instrument geschaltet sind, die Eichkurve aus der Summe der Ordinaten der Druckspannungskurven der einzelnen Elemente. Man wird, obwohl dies nicht unerläßlich ist, die Größe der Elemente so wählen, daß die ansteigenden Zweige der Einzelkurven sich ohne Unterbrechung aneinander anschließen. Ferner wird man, um eine ungefähr homogene Teilung zu erhalten, die Elemente so bemessen, daß die ansteigenden Zweige der Einzelkurven möglichst gleiche Steigung besitzen. Man erhält dann eine kuickfreie, praktisch lineare Eichkurve.
  • In Abb. 3 ist als Beispiel die experimentell ermittelte Eichkurve a eines Messers mit je zwei hintereinandergeschalteten Thermoelementen verschiedener Abmessungen gezeichnet. Außerdem sind zum Vergleich die Eichkurven b des Thermoelements mit kleiner Oberfläche und c des Thermoelements mit großer Oberfläche gezeichnet. Die Abszissen gegen den Druck in mm Hg und die Ordinaten die elektromotorische Kraft in Skalenteilen an. Die Ordinaten der Kurven sind aus den Summen der entsprechenden Ordinaten der Kurven b und c gebildet.

Claims (3)

  1. PATENTANSPRÜCHE: I. Vakuummesser, bestehend aus beheizten Thermoelementen, die in dem Gasraum angeordnet sindt dessen Druck gemessen werden soll, und deren elektromotorische Kraft ein Maß für den Gasdruck ist, dadurch gelrennzeichnet, daß in dem Gasraum mindestens zwei Thermoelemente verschiedener Abmessungen angeordnet sind, deren einzelne durch die Abmessungen gegebene Meßbereiche sich zu einem größeren Gesamtmeßbereich ergänzen.
  2. 2. Vakuummesser nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß die versehe. den bemessenen Elemente hintereinandergeschaltet und mit einem einzigen Anzeigegerät verbunden sind, dessen Ausschlag der Summe der elektromotorischen Kräfte der Elemente entspricht.
  3. 3. Val;uummesser nach Anspruch I und 2 mit Heizung der Elemente durch elektrischen Strom, dadurch gekennzeichnet, daß zwei Paare von Elementen verschiedenen SIeßbereiches derart in einer Brücke angeordnet sind, daß die beiden Paare von Elementen in zwei anliegenden Zweigen in Reihe zueinander und zu dem im Nulleiter liegenden NIeßgerät angeordnet sind, während der Heizstrom durch den Außenleiter der Briicke zugeleitet wird, der an dem Verbindungspunkt der die Elemente enthaltenden Zweige und an dem gegenüberliegenden Brückenpunkt angeschlossen ist.
DEL100164D 1940-02-18 1940-02-18 Vakuummesser Expired DE740430C (de)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE963107C (de) * 1952-05-17 1957-05-02 Leybold S Nachfolger E Thermoelektrisches Vakuummeter

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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