DE737273C

DE737273C - Anordnung zur Herstellung elektronenmikroskopischer Aufnahmen von Objekten, die sichin Luft befinden muessen

Info

Publication number: DE737273C
Application number: DES131688D
Authority: DE
Inventors: Dr-Ing Bodo Von Borries; Dr Med Helmut Ruska
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1938-04-13
Filing date: 1938-04-14
Publication date: 1943-07-09

Description

Anordnung zur Herstellung elektronenmikroskopischer Aufnahmen von Objekten, die sich in Luft befinden müssen Bei der vergrößerten Abbildung von Objekten in Elektronenmikroskopen ergibt sich häufig die Notwendigkeit, die zu untersuchenden Substanzen in Luft zu untersuchen. Es ist bereits bekannt, das zu untersuchende Ol)-jekt in Luft normalen Druckes anzuordnen und den Vakuumraum des ElektronenmikrosIzopes durch Lenardfenster abzuschließen, durch die die Elektronenstrahlen hindurchtreten. Bei einer solchen Anordnung ist es aber notwendig, für die elektronenmikroskopischen Untersuchungen in Luft ein besonderes Gerät zu verwenden, dessen Benutzung für Untersuchungen im Vaktium nicht möglich ist. Abgesehen davon, weisen die bekannten Einrichtungen insofern einen empfindlichen Nachteil auf, als der Abstand zwischen dem in Luft befindlichen Objekt und dein Ein- bzw. Austrittsfenster der El(#lctronenstrahlen nicht gering genug gehalten werden kann, um eine merkliche Absorption der Kathodenstrahlen in der Luft zu vermeiden.
Bei dem vorliegenden `'erfahren zur Herstellung elektronenmikroskopischer Aufnahnien von Objekten, die sich in .Luft befinden müssen, insbesondere mittels eines magnetischen Elektronenmikroskopes, sind die oben erwähntem Nachteile gänzlich vermieden.
Bei den magnetischen Elektronenmikroskopen der bekannten Bauart ist es üblich, das Objekt in den Vakuumraum des Mikroskopes einzuschleusen. Das Objekt wird dabei in der Regel von einer Folie getragen. die an einer Objektträgerblende befestigt ist. Gemäß der Erfindung werden nun bei der vorliegenden Anordnung an der Objektträgerblende vor deren Einschleusung in den Vakuumrauin zwei Folien, zwischen cl:#nen sich die zu untersuchenden Substanzen befinden. derart angebracht, daß der zwischen ihnen liegende Raum Luft enthält und nach außen gasdicht abgeschlossen ist. Die Objektträgerblende kann dabei aus mehreren Teilen bestehen, beispielsweise aus zwei Teilen, zwischen denen beide Folien befestigt sind. Man kann aber auch vorteilhaft eine einteilige Objektträ gerblende bei dem -"erfahren der vorliegenden Art verwenden und je eine Folie an den beiden Seiten vor der Blendenöffnung anordnen.
In der Zeichnung sindAnwendungsbeispiele für die Anordnung nach der 33rfindung sclieniatisch dargestellt.
In Fig. i sind finit a und b Teile einer Objektträgerblende bezeichnet, zwischen denen die Folien c und d befestigt sind. Auf der unteren Folie ruht der durch mehrere Punkte angedeutete Stoff e, der elektronenmikroskopisch untersucht «erden soll. Wenn eine derartig ausgebildete Objektträgerblende in den Vakuumraum des 'Mikroskops eingeschleust wird, dann werden sich die Folien c und d so durchbiegen, wie es in Fig. i gezeigt wird, weil in dein Raum, den sie einschliellJen, infolge der dort anwesenden Luftmenge ein Überdruck gegenüber dem Vakuum des Nlikroskopes entsteht. Dadurch wird ein Luftraum geschaffen, in dein die zti untersuchenden Substanzen während der Beobachtung ruhen. Bei elektronemnikroskopischen Aufnahmen von längerer Dauer ist zu erwarten, cfaß zum mindesten ein Teil der -zwischen den Folien vorhandenen Luftmenge durch diese hindurch in den Vakuumraum diffundiert. Uni zu verhindern, daß der Luftdruck in dein Raum zwischen den Folien unter eine zulässige Grenze absinkt, wird daher zweckmäßig eine Objektträgerblende verwendet, bei der während der Aufnahmen der Raum zwischen den Folien mit einem Luftbehälter in Verbindung gehalten wird, dessen Luftinhalt groß ist gegenüber dem des Raumes zwischen den Folien. Dadurch wird sicher erreicht, daß der infolge Diffusion durch die Folien verschwindende Teil der eingeschlossenen Luft wieder ersetzt wird. Es kann dabei der Luftbehälter zusammen mit der Objektträgerblende eingeschleust werden; nian kann ihn aber auch mit der Objektträgerblende oder mit einem Teil dieser Blende mechanisch verbinden.
Ein weiteres Anwendungsbeispiel ist in Fig. g dargestellt, in der der Blendenkörper ebenfalls finit a bezeichnet ist. Die Folien c und d sind in diesem Falle auf der oberen Seite der Objektträgerblende angeordnet: ihre Ilefestigung kann in beliebiger Weise erfolgen, beispielsweise durch einen Ring, der bei j angedeutet ist. Auch bei diesem An«-endungsbeispiel ist der zu untersuchende Stoff bej e angedeutet und wird sich nach dem Finsclileusen der Objektträgerblende in den @`akuumraum ebenso wie bei dein An ivendungsbcispielnach Fig. I in Luft befinden.
Bei dein Anwendungsbeispiel in Fig.3 ist je eine Folie c bzw. d zu beiden Seiten der Objektträgerblende angeordnet. Bei einer solchen Anordnung ist nach dem Einschleusen der Objektträgerblende ein et@cas gi-dlierer Luftinhalt vorhanden als bei den übrigen in den Fig. i und 2 dargestellten Beispielen.

Claims

PATENTANSPRÜCHE: i. Anordnung zur Herstellung elektronenniikroskopischer Aufnahmen an Objekten, die sich in Luft befinden müssen, insbesondere mittels eines niagnetischen Elektronenmikroskops, dadurch gekenn-r_eichnet, dafl, an der Objektträ gUrblende zwei Folien, zwischen denen :ich die zti untersuchenden Substanzen befinden. derart angebracht sind, daß der z«-ischen ihnen liegende Raum Luft enthält und nach außen gasdicht abgeschlossen ist. .
2. -@nor(Inung nach Anspruch i. dadurch gekennzeichnet, daß eine zweiteilige Objektträgerblende verwendet wird, bei der die Folien zwischen den beiden Teilen angeordnet sind. 3. Anordnung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß eine einteilige Ol)-jektträ gerblende verwendet wird, hei der an beiden Seiten vor der Blendeiie>ifnung je eine Folie angeordnet ist. Anordnung nach den Ansprüchen i bis 3, dadurch gekennzeichnet. daß der Raum zwischen den Folien während der Aufnahme mit eineue Luftbehälter in Verbindung stellt, dessen Luftinhalt groll ist gegeniiber dein des Raumes zwischen deii Folien.
3. Anordnung nach den Ansprüchen i bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Luftbehälter mit eingeschleust wird. <. Anordnung nach den Ansprüchen i bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Luftbehälter finit der Objektträgerblendr oder mit einer der beiden @bjehtträgerblenden mechanisch verbunden ist.