DE737273C

DE737273C - Arrangement for the production of electron microscope images of objects which must be in the air

Info

Publication number: DE737273C
Application number: DES131688D
Authority: DE
Inventors: Dr-Ing Bodo Von Borries; Dr Med Helmut Ruska
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1938-04-13
Filing date: 1938-04-14
Publication date: 1943-07-09

Description

Anordnung zur Herstellung elektronenmikroskopischer Aufnahmen von Objekten, die sich in Luft befinden müssen Bei der vergrößerten Abbildung von Objekten in Elektronenmikroskopen ergibt sich häufig die Notwendigkeit, die zu untersuchenden Substanzen in Luft zu untersuchen. Es ist bereits bekannt, das zu untersuchende Ol)-jekt in Luft normalen Druckes anzuordnen und den Vakuumraum des ElektronenmikrosIzopes durch Lenardfenster abzuschließen, durch die die Elektronenstrahlen hindurchtreten. Bei einer solchen Anordnung ist es aber notwendig, für die elektronenmikroskopischen Untersuchungen in Luft ein besonderes Gerät zu verwenden, dessen Benutzung für Untersuchungen im Vaktium nicht möglich ist. Abgesehen davon, weisen die bekannten Einrichtungen insofern einen empfindlichen Nachteil auf, als der Abstand zwischen dem in Luft befindlichen Objekt und dein Ein- bzw. Austrittsfenster der El(#lctronenstrahlen nicht gering genug gehalten werden kann, um eine merkliche Absorption der Kathodenstrahlen in der Luft zu vermeiden.Arrangement for the production of electron microscope images of Objects that must be in the air When objects are magnified In electron microscopes there is often the need to examine the Investigate substances in air. It is already known that to be investigated Ol) -ject to be arranged in air of normal pressure and the vacuum space of the electron microscope to be closed by Lenard windows through which the electron beams pass. With such an arrangement, however, it is necessary for the electron microscopic Investigations in air to use a special device, its use for investigations is not possible in Vaktium. Apart from that, the well-known facilities exhibit in so far as the distance between the in air located object and your entry or exit window of the El (#lctronenstrahl cannot be kept low enough to cause an appreciable absorption of the cathode rays to avoid in the air.

Bei dem vorliegenden `'erfahren zur Herstellung elektronenmikroskopischer Aufnahnien von Objekten, die sich in .Luft befinden müssen, insbesondere mittels eines magnetischen Elektronenmikroskopes, sind die oben erwähntem Nachteile gänzlich vermieden.In the case of the present '' experience for the production of electron microscopic Recordings of objects that must be in the air, in particular by means of of a magnetic electron microscope, the above-mentioned disadvantages are entirely avoided.

Bei den magnetischen Elektronenmikroskopen der bekannten Bauart ist es üblich, das Objekt in den Vakuumraum des Mikroskopes einzuschleusen. Das Objekt wird dabei in der Regel von einer Folie getragen. die an einer Objektträgerblende befestigt ist. Gemäß der Erfindung werden nun bei der vorliegenden Anordnung an der Objektträgerblende vor deren Einschleusung in den Vakuumrauin zwei Folien, zwischen cl:#nen sich die zu untersuchenden Substanzen befinden. derart angebracht, daß der zwischen ihnen liegende Raum Luft enthält und nach außen gasdicht abgeschlossen ist. Die Objektträgerblende kann dabei aus mehreren Teilen bestehen, beispielsweise aus zwei Teilen, zwischen denen beide Folien befestigt sind. Man kann aber auch vorteilhaft eine einteilige Objektträ gerblende bei dem -"erfahren der vorliegenden Art verwenden und je eine Folie an den beiden Seiten vor der Blendenöffnung anordnen.In the magnetic electron microscope of the known type it is common to smuggle the object into the vacuum space of the microscope. The object is usually supported by a foil. those on a slide aperture is attached. According to the invention are now in the present arrangement the slide aperture before it is introduced into the vacuum roughness two Foils, between cl: # can be the substances to be examined. like that attached that the space between them contains air and gas-tight to the outside is completed. The slide aperture can consist of several parts, for example from two parts, between which the two foils are attached. Man but can also advantageously have a one-piece Objektträ gerblende in the - "experience of the present type and a film on each side in front of the aperture arrange.

In der Zeichnung sindAnwendungsbeispiele für die Anordnung nach der 33rfindung sclieniatisch dargestellt.The drawing shows application examples for the arrangement according to the The invention is shown in a classic way.

In Fig. i sind finit a und b Teile einer Objektträgerblende bezeichnet, zwischen denen die Folien c und d befestigt sind. Auf der unteren Folie ruht der durch mehrere Punkte angedeutete Stoff e, der elektronenmikroskopisch untersucht «erden soll. Wenn eine derartig ausgebildete Objektträgerblende in den Vakuumraum des 'Mikroskops eingeschleust wird, dann werden sich die Folien c und d so durchbiegen, wie es in Fig. i gezeigt wird, weil in dein Raum, den sie einschliellJen, infolge der dort anwesenden Luftmenge ein Überdruck gegenüber dem Vakuum des Nlikroskopes entsteht. Dadurch wird ein Luftraum geschaffen, in dein die zti untersuchenden Substanzen während der Beobachtung ruhen. Bei elektronemnikroskopischen Aufnahmen von längerer Dauer ist zu erwarten, cfaß zum mindesten ein Teil der -zwischen den Folien vorhandenen Luftmenge durch diese hindurch in den Vakuumraum diffundiert. Uni zu verhindern, daß der Luftdruck in dein Raum zwischen den Folien unter eine zulässige Grenze absinkt, wird daher zweckmäßig eine Objektträgerblende verwendet, bei der während der Aufnahmen der Raum zwischen den Folien mit einem Luftbehälter in Verbindung gehalten wird, dessen Luftinhalt groß ist gegenüber dem des Raumes zwischen den Folien. Dadurch wird sicher erreicht, daß der infolge Diffusion durch die Folien verschwindende Teil der eingeschlossenen Luft wieder ersetzt wird. Es kann dabei der Luftbehälter zusammen mit der Objektträgerblende eingeschleust werden; nian kann ihn aber auch mit der Objektträgerblende oder mit einem Teil dieser Blende mechanisch verbinden.In Fig. I finitely a and b parts of a slide aperture are designated, between which the foils c and d are attached. The rests on the lower foil Substance e indicated by several points, which is examined with an electron microscope «Should be grounded. When such a designed slide aperture in the vacuum space of the microscope is introduced, then the foils c and d will bend so that as shown in Fig. i, because in your space, which they include, as a result the amount of air present there is an overpressure compared to the vacuum of the microscope arises. This creates an air space in which the substances to be examined can be found rest during observation. For electron microscopic recordings of longer Duration is to be expected, at least a part of what is present between the foils Amount of air diffuses through this into the vacuum space. To prevent uni, that the air pressure in your space between the foils falls below a permissible limit, it is therefore advisable to use a slide aperture during the recordings the space between the foils is kept in contact with an air reservoir, its air content is large compared to that of the space between the foils. Through this it is reliably achieved that the disappearing as a result of diffusion through the foils Part of the trapped air is replaced again. It can be the air tank be introduced together with the slide aperture; But nian can do it too mechanically connect to the slide diaphragm or to a part of this diaphragm.

Ein weiteres Anwendungsbeispiel ist in Fig. g dargestellt, in der der Blendenkörper ebenfalls finit a bezeichnet ist. Die Folien c und d sind in diesem Falle auf der oberen Seite der Objektträgerblende angeordnet: ihre Ilefestigung kann in beliebiger Weise erfolgen, beispielsweise durch einen Ring, der bei j angedeutet ist. Auch bei diesem An«-endungsbeispiel ist der zu untersuchende Stoff bej e angedeutet und wird sich nach dem Finsclileusen der Objektträgerblende in den @`akuumraum ebenso wie bei dein An ivendungsbcispielnach Fig. I in Luft befinden.Another application example is shown in Fig. G, in which the diaphragm body is also designated finite a. The foils c and d are in this one Trap placed on the upper side of the slide diaphragm: its attachment can be done in any way, for example by a ring indicated at j is. The substance to be examined is also indicated in this application example and after fincliling the slide aperture it will also move into the @ `acuum room as in the application example according to Fig. 1 are in the air.

Bei dein Anwendungsbeispiel in Fig.3 ist je eine Folie c bzw. d zu beiden Seiten der Objektträgerblende angeordnet. Bei einer solchen Anordnung ist nach dem Einschleusen der Objektträgerblende ein et@cas gi-dlierer Luftinhalt vorhanden als bei den übrigen in den Fig. i und 2 dargestellten Beispielen.In your application example in FIG. 3, a film c or d is arranged on both sides of the slide aperture. With such an arrangement, after the slide diaphragm has been introduced, the air content is slightly higher than in the other examples shown in FIGS.

Claims

PATENT CLAIMS: i. Arrangement for the production of electron microscopic Recordings of objects that must be in the air, in particular by means of a niagnetic electron microscope, marked by that, on the slide gUrblende two foils, between which: I the substances to be examined are located. are attached in such a way that the space lying between them contains air and afterwards outside is sealed gas-tight. .

2. - @ nor (Inung according to claim i. Characterized in that that a two-part slide aperture is used, in which the films between the two parts are arranged. 3. Arrangement according to claim i, characterized in that that a one-piece oil) -jektträ gerblende is used, that is, on both sides a film is arranged in front of the aperture. Arrangement according to the claims i to 3, characterized. that the space between the slides during recording with a new air tank, the air content of which is resentful towards it your of the space between the foils.

3. Arrangement according to claims i to 4, characterized in that the air tank is also introduced. <. arrangement according to claims i to 5, characterized in that the air container is finite the slide aperture or mechanically with one of the two slide apertures connected is.