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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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1. Erfindungsgebiet
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Die
vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Wärmebehandlung
eines Substrats und ein Verfahren zum Trennen des Substrats von
der Vorrichtung, wobei das Substrat Halbleiterwafer, Glasstrukturen
für LCDs
und dergleichen umfasst.
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2. Beschreibung des Standes
der Technik
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In
einem Verfahren zur Herstellung von Halbleitern ist es in weitem
Umfang üblich,
ein Werkstück, wie
beispielsweise Halbleiterwafer, Glassubstrate für LCD und dergleichen auf einer
Werkstückhalteplatte zu
montieren und das Werkstück
auf eine vorbestimmte Weise zu bearbeiten. Beispielsweise sind für eine Vorrichtung
zum Erwärmen
des Substrats mehrere Beispiele solcher Vorrichtungen in den offengelegten
japanischen Patentanmeldungen Nr. Hei7-201718 und Hei6-97269 gezeigt,
wobei eine Vorrichtung zur Wärmebehandlung
des Substrats, d. h. eine sogenannte Heizplatte, verwendet ist.
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Die 7, 8 und 9 zeigen
ein Beispiel einer herkömmlichen
Vorrichtung zur Wärmebehandlung
des Substrats. Diese herkömmliche
Vorrichtung ist versehen mit: einer Werkstückhalteplatte 60 zum
Tragen eines Substrats "G" als einem Werkstück darauf;
einem Heizelement 62 zum Zuführen von Wärme zu dem Substrat "G" durch die Werkstückhalteplatte 60;
einer Anzahl von Hebestiften 70 zum Abheben des Substrats "G"; und einem Abdeckelement 66 zum
Definieren eines Behandlungsraums 64, das über dem
Substrat "G" vorgesehen ist,
das dazu dient, Gase auszustoßen,
die während
der Wärmebehandlungsvorgänge des
Werkstücks
erzeugt worden sind. Eine Anzahl von Durchgangslöchern 68 sind sowohl
in der Werkstückhalteplatte 60 als
auch dem Heizelement 62 ausgebildet. In jedem dieser Durchgangslöcher 68 ist
jeweils einer der Anhebestifte 70 so eingesetzt, dass er
relativ zu dem Durchgangsloch auf und ab bewegbar ist. Im Betrieb,
wenn der Anhebestift 70 durch einen Kolben 78 eines
Zylindermechanismus 76 auf und ab bewegt wird, wird das
Substrat "G" von der Werkstückhalteplatte 60 auf eine
außerhalb
liegende Einrichtung transferiert oder umgekehrt.
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In
diesem Fall ist die Werkstückhalteplatte 60 aus
einer quadratischen Aluminiumlegierungsplatte aufgebaut, die eine
ausgezeichnete Wärmeleitfähigkeit
hat und an ihrer Oberfläche
mit einer Aluminiumoxidschicht versehen ist. Ferner ist, wie in
der 8 gezeigt, eine Oberfläche der Werkstückhalteplatte 60 durch
Vorsehen einer Anzahl von konzentrischen ringförmigen Nuten 71 aufgeraut.
Andererseits ist das Heizelement 62 ebenfalls aus einer
Aluminiumlegierungsplatte aufgebaut, welche in der Draufsicht die
im Wesentlichen gleiche Form wie die der Werkstückhalteplatte 60 aufweist.
In diesem Heizelement 62 ist eine Heizvorrichtung eingebaut.
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Ferner
ist, wie in der 7 gezeigt, um einen Außenumfangsteil
der Werkstückhalteplatte 60 ein hülsenartiges
Verschlusselement 80 so angeordnet, dass es relativ zu
der Werkstückhalteplatte 60 auf und
ab bewegbar ist. Dieses Verschlusselement 80 ist mit einem
Kolben 82 eines Verschlussantriebszylinders 82 verbunden,
der das Verschlusselement 80 auf und ab bewegen kann. Daraus
folgend ist es möglich,
das Volumen des Bearbeitungsraums 64 durch auf und ab Bewegen
des Verschlusselements 80 zu steuern.
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Ferner
ist, wie in der 8 gezeigt, auch an der Oberseite
der Werkstückhalteplatte 60 ein
Abstandsstück 85 vorgesehen,
um zu verhindern, dass das Substrat "G" mit
der Werkstückhalteplatte 60 in Kontakt
gebracht wird. Das Abstandsstück 85 erstreckt
sich entlang des Außenumfangsteils
einer ein Werkstück
(d. h. das Substrat "G") tragenden Fläche der
Werkstückhalteplatte 60.
Dieses Abstandsstück 85 ist
aus einem flachen ovalförmigen
Keramiksegment aufgebaut und ist mit einer Anzahl von Durchgangslöchern in
seinen Endteilen versehen, wobei in jedem der Durchgangslöcher eine
Befestigungsschraube 86 eingesetzt ist und mit einem Gewindeloch 87,
das an der Oberseite der Werkstückhalteplatte 60 ausgebildet
ist, eingeschraubt ist.
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Nun
wird die Vorrichtung zur Wärmebehandlung
des Substrats "G" im Betrieb beschrieben.
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Zunächst wird
das Substrat "G", das auf der Werkstückhalteplatte 60 montiert
ist, auf die Anhebestifte 70 transferiert, die nach oben
bewegt worden sind. Wenn die Anhebestifte 70 nach unten
bewegt sind, ist das Substrat "G" auf dem Abstandsstück 85 über der
Werkstückhalteplatte 60 montiert.
Dann wird der Verschluss angetrieben, sodass eine Bearbeitungssektion
der Vorrichtung von der Außenseite
abgetrennt ist. In dieser Bearbeitungssektion der Vorrichtung wird
Wärme von
dem Heizelement 62 auf die Werkstückhalteplatte 60 und
weiter auf das Substrat "G" über die Oberfläche der
Werkstückhalteplatte 60 übertragen.
Da in diesem Fall die Wärmeübertragung von
dem Heizelement 62 auf die Werkstückhalteplatte 60 durch
die gesamten Kontaktflächen,
welche die untere Fläche
der Werkstückhalteplatte 60 und
die Oberfläche
des Heizelements 62 umfassen, bewerkstellig wird, wird
die Werkstückhalteplatte 60 als
Ganzes gleichförmig
erwärmt.
Daraus folgend ist die Verteilung der Wärme, welche von dem Heizelement 62 auf
das Substrat "G" über die Werkstückhalteplatte 60 übertragen
wird, gleichförmig,
sodass das Substrat "G" gleichförmig wärmebehandelt
wird.
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Nach
der Beendigung der vorstehenden Wärmebehandlung wird das Substrat "G" von der Werkstückhalteplatte 60 getrennt,
wenn die Anhebestifte 70 angehoben werden. Zu diesem Zeitpunkt wird
jedoch, da das Substrat "G", welches die Tendenz
hat, elektrostatische Ladungen zu tragen, an die Oberfläche der
Werkstückhalteplatte 60 infolge der
elektrostatischen Ladungen angezogen. Infolge einer derartigen Anziehung
ist es schwierig, das Substrat "G" von der Werkstückhalteplatte 60 zu
trennen, was häufig
zu einer Fehlausrichtung der Anordnung des Substrats "G" und/oder einer Zerstörung einer Vorrichtung,
weil das Substrat "G" fällt, führt. Ferner besteht
die Gefahr, dass infolge der aufgebauten elektrostatischen Ladungen
feiner Schmutz angezogen wird, und dass infolge der elektrostatischen
Entladung die Vorrichtung zerstört
wird.
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Da
in dieser Hinsicht bei der vorstehenden herkömmlichen Vorrichtung die Nuten 71 in
einem solchen Ausmaß vorgesehen
sind, dass sie die Gleichförmigkeit
der Temperatur der Oberfläche
der Werkstückhalteplatte 60 nicht
stören,
wird das Aufbauen der elektrostatischen Ladungen bis zu einem gewissen
Maß unterdrückt. Infolgedessen
ist es möglich,
das Auftreten der vorstehenden Probleme zu unterdrücken.
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Ein
derartiges Vorsehen der Nuten 71 nur in der Oberfläche der
Werkstückhalteplatte 60 ist
jedoch nicht ausreichend, um das Aufbauen der elektrostatischen
Ladungen zu unterdrücken.
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Daraus
folgt, dass die vorstehend genannten Probleme in der herkömmlichen
Vorrichtung noch nicht vollständig
gelöst
sind.
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In
der US-A-5 683 518 ist ebenfalls eine Vorrichtung zur Wärmebehandlung
eines Substrats gemäß dem Oberbegriff
des Patentanspruchs 1 offenbart.
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ZUSAMMENFASSUNG
DER ERFINDUNG
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Unter
solchen Umständen
wurde die vorliegende Erfindung durchgeführt. Daraus folgend ist es eine
Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vorrichtung zur Wärmebehandlung
eines Substrats und ein Verfahren zum Trennen des Substrats von
der Vorrichtung zu schaffen, bei der das Phänomen, dass das Substrat elektrische
Ladungen infolge seiner Trennung von einer Werkstückhaltefläche trägt, zuverlässig am
Auftreten verhindert ist.
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Gemäß einem
ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird die vorstehende Aufgabe
der vorliegenden Erfindung durch Vorsehen einer Vorrichtung gemäß dem Patentanspruch
1 gelöst.
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In
dieser Vorrichtung gemäß der vorliegenden
Erfindung kann die werkstücktragende
Oberfläche
des Werkstückhalteplattenkörpers mit
der entsprechenden Werkstücktragefläche der
Anhebe/Absenk-Ringplatte bündig
gemacht sein, um eine Oberfläche
(d. h. die Werkstücktragefläche) der
Werkstückhalteplatte
zu bilden, auf welcher Oberfläche das
Substrat montiert ist und der Wärmebehandlung unterzogen
wird, wie dies bei der herkömmlichen Werkstückhalteplatte
der Fall ist.
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Nach
der Beendigung einer derartigen Wärmebehandlung wird im Fall,
dass das Substrat von der Werkstückhalteplatte
getrennt wird, zunächst
die Anhebe/Absenk-Ringplatte gesenkt, um das Substrat von der Werkstücktragefläche der
Anhebe/Absenk-Ringplatte
zu trennen. Dann wird der Anhebestift nach oben bewegt, um das Substrat
von der Werkstücktragefläche des
Werkstückhalteplattenkörpers anzuheben.
Wie vorstehend beschrieben, wird die Trennung des Substrats von
der Werkstücktragefläche in den
zwei vorstehend beschriebenen Schritten durchgeführt, um die Kontaktfläche schrittweise zu
verringern. Daraus folgt im Vergleich mit den Fällen, bei denen die gesamte
Oberfläche
des Substrats von der Werkstücktragefläche auf
einmal getrennt wird, dass es für
die Vorrichtung gemäß der vorliegenden
Erfindung möglich
ist, die Menge der elektrostatischen Ladungen, welche sich zum Zeitpunkt
des Trennens des Substrats von der Werkstücktragefläche bildet, zu reduzieren.
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Gemäß einer
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung ist in der Anhebe/Absenk-Ringplatte eine Heizvorrichtung
eingebaut.
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Bei
dieser Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung ist es möglich, die Gleichförmigkeit
der Temperatur des Substrats beim Erwärmen zu verbessern.
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Gemäß einer
weiteren Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung ist in der Werkstückhaltefläche der Werkstückhalteplatte
eine feine Unregelmäßigkeit
ausgebildet, um die Kontaktfläche
der Werkstückhaltefläche zu verringern,
mittels welcher Kontaktfläche
die Werkstückhaltefläche mit
dem Substrat in Kontakt gebracht ist.
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Bei
der vorstehenden Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung ist es möglich, die Kontaktfläche des
Substrats zu verringern, da in der Werkstückhaltefläche die feine Unregelmäßigkeit
vorgesehen ist, mittels welcher Kontaktfläche das Substrat mit der Werkstückhaltefläche in Kontakt
gebracht ist, wodurch die Menge der elektrostatischen Ladungen infolge
des Trennens des Substrats von der Werkstückhaltefläche reduziert ist.
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Da
in der vorliegenden Erfindung die Hebe/Absenk-Ringplatte in der
Aufnahmenut aufgenommen ist, wirken die Seitenwände der Aufnahmenut als Führungsmittel
zur Stabilisierung der Hebe/Absenk-Ringplatte bei ihrer auf und
ab Bewegung.
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In
der Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung
ist es möglich,
da in der Aufnahmenut Stoppmittel vorgesehen sind, dass die Werkstückhaltefläche der
Hebe/Absenk-Ringplatte das gleiche Niveau wie dasjenige des Werkstückhalteplattenkörpers erreicht,
indem die Hebe/Absenk-Ringplatte bis zu ihrer Anhebegrenze angehoben
wird.
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Gemäß einer
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung ist die Hebe/Absenk-Ringplatte aus einem
Ringteil und vier Vorsprüngen
aufgebaut, die um einen Außenumfangsteil
des Ringteils angeordnet sind, wobei die vier Vorsprünge zueinander
in gleichen Winkelabständen
von ungefähr
90 Grad beabstandet sind, wodurch die Hebe/Absenk-Ringplatte in
der Draufsicht die Form eines Kreisverkehrskreuzung einnimmt.
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Gemäß einer
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung sind sowohl der Werkstückhalteplattenkörper als
auch die Hebe/Absenk-Ringplatte der Werkstückhalteplatte mit einem Vakuumsaugloch und
einem Luftblasloch versehen.
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In
diesem Fall ist es möglich,
das Unterdrucksaugloch und das Luftblasloch getrennt voneinander
anzuordnen. Es ist auch möglich,
ein vorbestimmtes Loch jeweils für
das Unterdrucksaugloch und das Luftblasloch zu verwenden, vorausgesetzt, dass
das vorbestimmte Loch mit einem geeigneten Schaltventil und der
gleichen Vorrichtung zum Schalten des vorbestimmten Lochs vom Unterdrucksaugloch
auf das Luftblasloch und umgekehrt, verbunden ist.
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Das
Substrat kann durch das Unterdrucksaugloch durch Unterdruck angesaugt
sein und mit der Werkstückhalteplatte
beim Montieren des Substrats auf derselben in engen Kontakt gebracht
werden, wodurch die Gleichförmigkeit
der Erwärmung und
die Verbesserung der Effizienz der Vorrichtung realisiert wird.
Ferner ist durch Treiben eines Luftstroms durch das Luftblasloch
es möglich,
das Trennen des Substrats von der Werkstückhalteplatte zu verbessern.
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Insbesondere
wenn die Vorrichtung sowohl mit dem Unterdrucksaugloch als auch
dem Luftblasloch sowohl in dem Werkstückhalteplattenkörper als auch
der Hebe/Absenk-Ringplatte
versehen ist, ist es möglich,
den Luftstrom durch das Luftblasloch in der Hebe/Absenk-Ringplatte
unter einer Bedingung zu treiben, bei der das Unterdruckansaugen
durch das Unterdrucksaugloch in dem Werkstückhalteplattenkörper durchgeführt wird,
wodurch es möglich
wird, das Substrat reibungslos von der Hebe/Absenk-Ringplatte zu trennen.
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Gemäß der vorliegenden
Erfindung ist auch ein Verfahren gemäß dem Anspruch 6 vorgesehen.
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Bei
diesem Verfahren der vorliegenden Erfindung wird zunächst die
Hebe/Absenk-Ringplatte
gesenkt und dann werden die Anhebestifte angehoben, um das Substrat
von dem Werkstückhalteplattenkörper anzuheben.
Daraus folgt, dass das Trennen des Substrats von der Werkstückhaltefläche in zwei Schritten
durchgeführt
wird, wodurch es möglich wird,
die Kontaktfläche
zwischen dem Substrat und der Werkstückhaltefläche schrittweise zu verringern. Daher
kann im Vergleich mit Fällen,
bei denen die gesamte Fläche
des Substrats von der Werkstückhaltefläche auf
einmal getrennt wird, es möglich
sein, bei dem Verfahren der vorliegenden Erfindung das Maß der elektrostatischen
Ladungen, die sich auf einmal beim Trennen des Substrats von der
Werkstückhaltefläche aufbauen,
zu reduzieren.
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Gemäß einer
Ausführungsform
des Verfahrens der vorliegenden Erfindung ist in der Hebe/Absenk-Ringplatte
eine Heizvorrichtung eingebaut.
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Gemäß einer
weiteren Ausführungsform
des Verfahrens der vorliegenden Erfindung sind in der Werkstückhaltefläche der
Werkstückhalteplatte
feine Unregelmäßigkeiten
ausgebildet, um die Kontaktfläche
der Werkstückhaltefläche, durch
welche die Werkstückhaltefläche mit
dem Substrat in Kontakt gebracht ist, zu verringern.
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Gemäß einer
weiteren Ausführungsform
des Verfahrens der vorliegenden Erfindung ist in die Hebe/Absenk-Ringplatte
eine Heizeinrichtung eingebaut, und in die Werkstückhaltefläche der
Werkstückhalteplatte
ist eine feine Unregelmäßigkeit
ausgebildet, um die Kontaktfläche
der Werkstückhaltefläche, mit
welcher Kontaktfläche
die Werkstückhaltefläche mit
dem Substrat in Kontakt gebracht ist, zu reduzieren.
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Gemäß einer
Ausführungsform
des Verfahrens der vorliegenden Erfindung ist die Hebe/Absenk-Ringplatte
aus einem Ringteil und vier Vorsprüngen aufgebaut, die um einen
Außenumfangsteil des
Ringteils angeordnet sind, wobei die vier Vorsprünge zueinander in gleichen
Winkelabständen von
ungefähr
90 Grad beabstandet sind; wodurch die Hebe/Absenk-Ringplatte in
der Draufsicht die Form ähnlich
einer Kreisverkehrskreuzung einnimmt.
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Gemäß einer
Ausführungsform
des Verfahrens der vorliegenden Erfindung ist in der Hebe/Absenk-Ringplatte
eine Heizeinrichtung eingebaut;
die Hebe/Absenk-Ringplatte
ist aus einem Ringteil und vier Vorsprüngen, die um einen Außenumfangsteil
des Ringteils angeordnet sind, aufgebaut, wobei die vier Vorsprünge zueinander
in gleichen Winkelabständen
von ungefähr
90 Grad beabstandet sind;
wodurch die Hebe/Absenk-Ringplatte
in der Draufsicht eine ähnlich
Form wie eine Kreisverkehrskreuzung einnimmt.
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Gemäß einer
Ausführungsform
des Verfahrens der vorliegenden Erfindung sind in der Werkstückhaltefläche der
Werkstückhalteplatte
feine Unregelmäßigkeiten
ausgebildet, um die Kontaktfläche der
Werkstückhaltefläche, mit
welcher die Kontaktfläche
der Werkstückhaltefläche mit
dem Substrat in Kontakt gebracht ist, zu reduzieren;
die Hebe/Absenk-Ringplatte
ist aus einem Ringteil und vier Vorsprüngen aufgebaut, die um einen
Außenumfangsteil
des Ringteils angeordnet sind, wobei die vier Vorsprünge zueinander
in gleichen Winkelabständen
von annähernd
90 Grad beabstandet sind;
wodurch die Hebe/Absenk-Ringplatte
in der Draufsicht eine ähnliche
Form wie die einer Kreisverkehrskreuzung einnimmt.
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Gemäß einer
Ausführungsform
des Verfahrens der vorliegenden Erfindung sind sowohl der Werkstückhalteplattenkörper als
auch die Hebe/Absenk-Ringplatte der Werkstückhalteplatte mit einem Unterdrucksaugloch
und einem Luftblasloch versehen.
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Gemäß einer
Ausführungsform
des Verfahrens der vorliegenden Erfindung ist in der Hebe/Absenk-Ringplatte
eine Heizeinrichtung eingebaut; sowohl der Werkstückhalteplattenkörper als
auch die Hebe/Absenk-Ringplatte der Werkstückhalteplatte sind mit einem
Unterdrucksaugloch und einem Luftblasloch versehen.
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Gemäß einer
Ausfürungsform
des Verfahrens der vorliegenden Erfindung sind in der Werkstückhaltefläche der
Werkstückhalteplattform
feine Unregelmäßigkeiten
ausgebildet, um eine Kontaktfläche,
mit welcher Kontaktfläche
die Werkstückhaltefläche mit
dem Substrat in Kontakt gebracht ist, zu reduzieren;
wobei
sowohl der Werkstückhalteplattenkörper als auch
die Hebe/Absenk-Ringplatte der Werkstückhalteplatte mit einem Unterdrucksaugloch
und einem Luftblasloch versehen sind.
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Gemäß einer
Ausführungsform
des Verfahrens der vorliegenden Erfindung ist die Hebe/Absenk-Ringplatte
aus einem Ringteil und vier Vorsprüngen, die um ein Außenumfangsteil
des Ringteils angeordnet sind, aufgebaut, wobei die vier Vorsprünge zueinander
in gleichen Winkelabständen von
annähernd
90 Grad beabstandet sind; und
sowohl der Werkstückhalteplattenkörper als
auch die Hebe/Absenk-Ringplatte der Werkstückhalteplatte mit einem Unterdrucksaugloch
und einem Luftblasloch versehen sind.
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Bei
dem vorstehenden Verfahren wird zunächst die Hebe/Absenk-Ringplatte
gesenkt und dann werden die Anhebestifte angehoben, um das Substrat
von dem Werkstückhalteplattenkörper anzuheben.
Daraus folgt, dass die Trennung des Substrats von der Werkstückhaltefläche in zwei
Schritten durchgeführt
wird, wodurch es möglich
wird, die Kontaktfläche
zwischen dem Substrat und der Werkstückhaltefläche schrittweise zu reduzieren.
Daher ist es im Vergleich mit Fällen,
bei denen die gesamte Fläche
des Substrats von der Werkstückhaltefläche auf
einmal getrennt wird, möglich,
bei dem vorstehenden Verfahren der vorliegenden Erfindung das Maß der elektrostatischen
Ladungen, die sich aufbauen, wenn das Substrat getrennt wird, zu
verringern.
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KURZE BESCHREIBUNG
DER ZEICHNUNGEN
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Die
vorstehenden und weitere Aufgaben, Vorteile und Merkmale der vorliegenden
Erfindung gehen aus der folgenden Beschreibung anhand der begleitenden
Zeichnungen im Einzelnen hervor, in welchen zeigt:
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1(a) eine perspektivische Ansicht der Werkstückhalteplatte
der Vorrichtung gemäß der vorliegenden
Erfindung zur Veranschaulichung des darauf montierten Substrats;
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1(b) eine perspektivische Ansicht der in der 1(a) gezeigten Werkstückhalteplatte in einem Zustand,
bei dem die Hebe/Absenk-Ringplatte abgesenkt ist;
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1(c) eine perspektivische Ansicht der in der 1(a) gezeigten Werkstückhalteplatte in einem Zustand,
bei dem die Anhebestifte angehoben sind, um das Substrat von der
Werkstückhalteplatte abzuheben;
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2 eine
explosionsartige perspektivische Ansicht der Vorrichtung gemäß der vorliegenden
Erfindung zur Wärmebehandlung
des Substrats gemäß 1(a);
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3(a) eine Ansicht im Schnitt der Vorrichtung gemäß der vorliegenden
Erfindung zur Wärmebehandlung
des Substrats, entlang der Schnittlinie A-A in 2;
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3(b) eine Ansicht im Schnitt durch die Vorrichtung
gemäß der vorliegenden
Erfindung zur Wärmebehandlung
des Substrats entlang der Schnittlinie B-B in 2;
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3(c) eine Ansicht im Schnitt der Vorrichtung gemäß der vorliegenden
Erfindung zur Wärmebehandlung
des Substrats entlang der Schnittlinie C-C in 2;
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4(a) eine Ansicht im Schnitt durch die in der 1(a) gezeigte Werkstückhalteplatte zur Veranschaulichung
der Betriebsweise der wesentlichen Teile derselben;
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4(b) eine Ansicht im Schnitt der in der 1(b) gezeigten Werkstückhalteplatte zur Veranschaulichung
der Funktionsweise ihrer wesentlichen Teile;
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4(c) eine Ansicht im Schnitt durch die in der 1(c) gezeigte Werkstückhalteplatte zur Veranschaulichung
der Funktionsweise ihrer wesentlichen Teile;
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5 eine
Seitenansicht der Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung
zur Wärmebehandlung
des Substrats zur Veranschaulichung einer schematischen Gesamtkonstruktion
der Vorrichtung;
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6 eine
schematische perspektivische Ansicht eines Bearbeitungssystems mit
der Vorrichtung gemäß der vorliegenden
Erfindung zur Wärmebehandlung
des Substrats;
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7 eine
Seitenansicht der herkömmlichen Vorrichtung
zur Wärmebehandlung
des Substrats;
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8 eine
Draufsicht auf einen wesentlichen Teil der herkömmlichen Vorrichtung zur Wärmebehandlung
des Substrats; und
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9 eine
Seitenansicht des wesentlichen Teils der herkömmlichen Vorrichtung zur Wärmebehandlung
des Substrats.
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DETAILLIERTE
BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
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Nun
wird die vorliegende Erfindung im Einzelnen unter Bezugnahme auf
die begleitenden Zeichnungen beschrieben, welche wesentliche Teile der
Konstruktion der Vorrichtung gemäß der vorliegenden
Erfindung zur Wärmebehandlung
des Substrats und deren Funktionsweise gemäß der Ausführungsformen der vorliegenden
Erfindung zeigen.
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Genauer
gesagt werden Ausführungsformen der
vorliegenden Erfindung, bei denen eine Vorrichtung gemäß der vorliegenden
Erfindung zur Wärmebehandlung
eines Substrats bei einem Resist-Beschichtungsphänomensystem für ein LCD-Substrat verwendet
wird, beschrieben.
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Zunächst wird
anhand der 6 das gesamte System, bei welchem
die vorliegende Erfindung angewandt ist, angegeben.
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Wie
in der 6 gezeigt, hat dieses System: einen Ladeteil 40 zum
Laden und Entladen eines Substrats "G" als
einem Werkstück;
eine Bürstenwascheinheit 42 für das Substrat "G"; eine Wasserstrahlwascheinheit 44 zum
Waschen des Substrats "G" mit einem Hochdruckwasserstrahl;
eine Adhäsionsbehandlungseinheit 46,
um die Oberfläche
des Substrats "G" hydrophob zu machen;
eine Kühlbehandlungseinheit 48 zum
Kühlen
des Substrats "G" auf eine vorbestimmte
Temperatur; eine Resist-Aufbringeinheit 50 zum Beschichten
der Oberfläche
des Substrats "G" mit einer Resist-Flüssigkeit;
eine Wärmebehandlungseinheit 52 zum
Durchführen
eines Prä-
oder Post-Wärmebehandlungsvorgangs
des Substrats "G" durch Erwärmen des
Substrats "G" vor oder nach dem
Aufbringen der Resist-Flüssigkeit
auf die Oberfläche
des Substrats "G"; einer Resist-Entfernungseinheit 54 zum
Entfernen des Resists, das auf einem Umfangsteil des Substrats "G" ausgebildet ist; und eine Entwicklungseinheit 55.
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In
einem zentralen Bereich des vorstehenden Systems ist ein Substratförderkanal 56 vorgesehen,
der sich in der Längsrichtung
des Systems erstreckt. Dieser Substratförderkanal 56 ist durch
einen zentralen Verlängerungsteil 57 unterteilt.
Die einzelnen Einheiten 40 bis 54, wie vorstehend
beschrieben, sind so angeordnet, dass sie dem Substratförderkanal 56 gegenüber liegen.
Eine Anzahl von Substratfördermechanismen 58 jeweils
zum Transferieren des Substrats "G" zwischen benachbarten
Einheiten 40 bis 54 sind entlang des Substratförderkanals 56 so
vorgesehen, dass sie parallel zu dem Substratförderkanal 56 bewegbar
sind.
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Der
Substratfördermechanismus 58 ist
mit einem Arm 59 versehen, der das Substrat "G" unter Verwendung von Unterdruckansaugung
hält. Nebenbei
gesagt ist die Wärmebehandlungseinheit 52 mit einem Öffnungsteil 52A versehen,
der dem Substratförderkanal 56 zugewandt
ist. Eine Anzahl von solchen Wärmebehandlungseinheiten 52 sind
gestapelt, um einen Block zu bilden, wobei eine Anzahl solcher Blöcke nebeneinander
parallel zueinander angeordnet sind.
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Als
nächstes
wird mit Bezug auf die 1(a) bis 5 eine
Ausführungsform
der Vorrichtung der vorliegenden Erfindung zur Wärmebehandlung des Substrats "G", welche die Vorrichtung ist, welche
als Wärmebehandlungseinheit 52 wie
vorstehend beschrieben, verwendet wird, im Einzelnen beschrieben.
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Wie
in den 1(a), 1(b), 1(c) und 5 gezeigt,
hat eine Ausführungsform
der Vorrichtung der vorliegenden Erfindung zur Wärmebehandlung des Substrats "G": eine Werkstückhalteplatte 1, auf
welcher das Substrat "G" getragen oder montiert ist;
ein Heizelement 2 zum Zuführen von Wärme zum Substrat "G" auf der Werkstückhalteplatte 1 über die Platte 1;
und eine Anzahl von Anhebestiften 8 zum Anheben des Substrats "G" auf der Werkstückhalteplatte 1 durch
Anheben von den zurückgezogenen Positionen,
die innerhalb der Werkstückhalteplatte 1 liegen,
wenn das Substrat "G" transferiert wird.
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Die
Werkstückhalteplatte 1 besteht
aus einer Aluminiumlegierung, die eine ausgezeichnete Wärmeleitfähigkeit
hat, und ist auf dem Heizelement 2 so montiert, dass die
Werkstückhalteplatte 1 ihre
untere Oberfläche
in engen Kontakt zu einer oberen Oberfläche des Heizelements 2 gebracht
hat. Das Heizelement 2 besteht aus der gleichen Aluminiumlegierung
wie die Werkstückhalteplatte 1 und
hat eine Heizvorrichtung (nicht gezeigt) in der Konstruktion eingebaut.
Nebenbei gesagt ist es beim Befestigen der Werkstückhalteplatte 1 auf
dem Heizelement 2 vorzuziehen, auf die untere Oberfläche der
Werkstückhalteplatte 1 ein
geeignetes Material, wie beispielsweise Silikonfette und der gleichen
mit ausgezeichneter Wärmeleitfähigkeit
aufzubringen, um die Wärmeleitfähigkeit
der Werkstückhalteplatte 1 zu verbessern.
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Diese
Werkstückhalteplatte 1 ist
unterteilt in: einen Werkstückhalteplattenkörper 3,
der einen Hauptteil (der einen Wert von 30 bis 70% der gesamten
Fläche
der Werkstückhaltefläche einnimmt)
der Werkstückhaltefläche zum
Halten des Substrats "G" darauf bildet; und
eine Hebe/Absenk-Ringplatte 4, die den verbleibenden Teil
(welcher einen Wert von 70 bis 30% der gesamten Fläche der
Werkstückhaltefläche einnimmt)
der Werkstückhaltefläche bildet, um
das Substrat "G" darauf zu tragen.
Die Hebe/Absenk-Ringplatte 4 ist
in einer Aufnahmenut 5 des Werkstückhalteplattenkörpers 3 so
aufgenommen, dass die Hebe/Absenk-Ringplatte 4 in der Aufnahmenut 5 angehoben
und abgesenkt werden kann.
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Die
Hebe/Absenk-Ringplatte 4 ist aufgebaut aus: einem Ringteil 4a;
und vier Vorsprüngen 4b,
die um einen Außenumfangsteil
des Ringteils 4a angeordnet sind. Diese vier Vorsprünge 4b sind
zueinander in gleichen Winkelabständen von annähernd 90 Grad
beabstandet, wodurch die Hebe/Absenk-Ringplatte 4 in der
Draufsicht eine ähnliche
Form wie eine Kreisverkehrskreuzung einnimmt. Die Aufnahmenut 5 nimmt
im Wesentlichen die gleiche Form wie diejenige der Hebe/Absenk-Ringplatte 4 ein
und ist versehen mit: einem Ringnutteil 5a, in welchem
der Ringteil 4a aufgenommen ist; und vier linearen Nutenteilen 5b,
in welchen die vier Vorsprünge 4b aufgenommen
sind.
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Die
Hebe/Absenk-Ringplatte 4 ist im Inneren der Aufnahmenut 5 im
Wesentlichen ohne jeglichen Spalt aufgenommen. In dem vorstehenden
Zustand ist die Hebe/Absenk-Ringplatte 4 so angeordnet, dass
sie in gleichem Maß wie
die Tiefe der Aufnahmenut 5 leicht angehoben und abgesenkt
werden kann. In diesem Fall ist die Hebe/Absenk-Ringplatte 4 in
ihrer Auf- und Abbewegung durch einen Gleitkontakt ihrer Außenfläche mit
einer Innenfläche
der Aufnahmenut 5 geführt.
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Wie
in den 2 bis 3(c) gezeigt,
ist der lineare Nutteil 5b der Aufnahmenut 5 mit
einem Paar Stoppelementen 6 an ihren oberen Öffnungsendteilen
so versehen, dass diese Stoppelemente 6 einander gegenüber liegend
angeordnet sind und in nach innen vorstehender Weise vorgesehen
sind, um die Hebe/Absenk-Ringplatte 4 bezüglich ihrer
Anhebebewegung an einer Position zu stoppen, wo die Werkstückhaltefläche der
Hebe/Absenk-Ringplatte 4 mit der des Werkstückhalteplattenkörpers 3 fluchtet.
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Der
Grund dafür,
warum die Werkstückhaltefläche der
Hebe/Absenk-Ringplatte 4 mit derjenigen des Werkstückhalteplattenkörpers 3 zum
Fluchten gebracht wird, besteht darin, dass es notwendig ist, die
Werkstückhaltefläche bezüglich ihrer
Wärmeleitfähigkeit
auf das Substrat "G" zu verbessern. Der Vorsprung 4b der
Hebe/Absenk-Ringplatte 4 hat im Querschnitt eine konvexe
Form, sodass er mit den Stoppelementen 6 zusammenwirkt.
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Für den Fall,
dass die Hebe/Absenk-Ringplatte 4 in die Aufnahmenut 5 einzusetzen
ist, in welcher jeweils die Stoppelemente 6 in vorstehender Weise
vorgesehen sind, hat jeder der Vorsprünge 4b der Hebe/Absenk-Ringplatte 4 im
Querschnitt eine konvexe Form, bei der ein weiteres Element 14 an
einem unteren Endteil des Vorsprungs 4b in eingesetzter
Weise montiert ist, wie dies in der 3(a) gezeigt
ist.
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Im
den Vorsprung 4b der Hebe/Absenk-Ringplatte 4 ist
eine Heizvorrichtung 10 eingebaut, die in den Vorsprung 4b von
dessen Endfläche her
eingesetzt ist. Diese Heizvorrichtung 10 hält die Hebe/Absenk-Ringplatte 4 immer
auf der gleichen Temperatur wie diejenige des Werkstückhalteplattenkörpers 3 mit
einer Temperaturänderung
von ±2°C. Ferner
sind in einem unteren Teil der Hebe/Absenk-Ringplatte 4 eine
Anzahl von Hebe/Absenk-Stützstifte 15 vorgesehen.
Jeder Hebe/Absenk-Stützstift 15 geht
durch ein Durchgangsloch 25 in einem unteren Teil der Aufnahmenut 5 des
Werkstückhalteplattenkörpers 3 und
ist mit einem Hebe/Absenk-Antriebsmechanismus 34 (siehe 5) verbunden,
der unterhalb der Werkstückhalteplatte 1 angeordnet
ist. Ferner geht auch jeder der Anhebestifte 8 durch ein
Durchgangsloch 7 des Werkstückhalteplattenkörpers 3 und
ist mit einem Hebe/Absenk-Antriebsmechanismus 38 verbunden,
der unterhalb des Werkstückhalteplattenkörpers 3 angeordnet
ist.
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Diese
Hebe/Absenk-Antriebsmechanismen 34, 38 können durch
Kombinieren von Zylindern oder Antriebsmotoren, Zahnrädern und
derartigen Bauteilen aufgebaut sein. In diesem Fall können die
Hebe/Absenk-Ringplatte 4 und die Hebe/Absenk-Antriebsmechanismen 34, 38 der
Anhebestifte 8 eine gemeinsame Antriebskraft verwenden.
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Sowohl
in der Hebe/Absenk-Ringplatte 4 als auch dem Werkstückhalteplattenkörper 3 sind
eine Anzahl von Luftlöchern 11, 12 vorgesehen
und sind an der Werkstückhaltefläche offen.
Diese Luftlöcher 11, 12 dienen
im Betrieb als Unterdrucksauglöcher oder
Luftblaslöcher.
Es ist möglich,
dass das Luftloch sowohl als Unterdrucksaugluftloch als auch als
Luftblasloch dient, indem die Verbindung eines derartigen Luftlochs
mittels einer geeigneten Schalteinrichtung, wie beispielsweise Ventilen
oder dergleichen, umgeschaltet wird.
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Genauer
gesagt ist jedes der Luftlöcher 11, 12 mit
Leitungen 21, 22 verbunden. Die Leitung 21 ist mit
dem Luftloch 11 der Hebe/Absenk-Ringplatte 4 verbunden
und steht mit einem Durchgangsloch 23 in Verbindung, welches
in dem unteren Teil der Aufnahmenut 5 des Werkstückhalteplattenkörpers 3 vorgesehen
ist.
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Die
Werkstückhaltefläche der
Werkstückhalteplatte 1,
welche aus dem Werkstückhalteplattenkörper 3 und
der Hebe/Absenk-Ringplatte 4 aufgebaut ist, ist mit feinen
Unregelmäßigkeiten
(nicht dargestellt) versehen, um die Kontaktfläche des Substrats "G" zu verringern, vorausgesetzt, dass
die feinen Unregelmäßigkeiten
bis zu einem solchen Ausmaß vorgesehen
sind, dass die Unregelmäßigkeiten
nicht die Werkstückhaltefläche bezüglich ihrer
Wärmeleitfähigkeit
auf das Substrat "G" beeinträchtigen.
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Nun
wird die Behandlung des Substrats "G" beschrieben.
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Beim
Montieren des Substrats "G" auf der Werkstückhalteplatte 1 sind
die Anhebestifte 8 angehoben, um das Substrat "G" auf ihnen zu halten. Unter solchen
Umständen
werden die Anhebestifte 8 dann in eine Position niedriger
als die Werkstückhaltefläche abgesenkt,
sodass das Substrat "G" auf die Werkstückhaltefläche (d.
h. die obere Oberfläche) der
Werkstückhalteplatte 1 transferiert
wird. Die Hebe/Absenk-Ringplatte 4 kann in diesem Stadium
angehoben werden oder kann zuvor angehoben worden sein.
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Wenn
das Substrat "G" auf der Werkstückhalteplatte 1 montiert
worden ist, wird das Substrat "G" mittels der Luftlöcher 11 der
Hebe/Absenk-Ringplatte sowie der Luftlöcher 12 des Werkstückhalteplattenkörpers 3 angesaugt,
sodass die gesamte Oberfläche
des Substrats "G" in engen Kontakt
mit der Werkstückhalteoberfläche gebracht
wird, wodurch es möglich
wird, die Wärmeleitfähigkeit
zwischen Werkstückhaltefläche und
Substrat "G" zu verbessern. Gleichzeitig
ist es auch möglich,
das Brechen des Substrats "G" infolge einer Fehlausrichtung seiner
Positionierung zu verhindern. Die 1(a) und 4(a) zeigen diesen Zustand.
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Bei
einer derartigen Wärmebehandlung
wie vorstehend beschrieben ist es möglich, das Substrat "G" gleichförmig zu erwärmen, da die Heizeinrichtung 10 in
die Hebe/Absenk-Ringplatte 4 der
Vorrichtung eingebaut ist. Nach Beendigung einer derartigen Wärmebehandlung
wird das Substrat "G" von der Werkstückhalteplatte 1 getrennt.
Zu diesem Zeitpunkt wird zunächst
wie in den 1(b) und 4(b) gezeigt,
die Hebe/Absenk-Ringplatte 4 abgesenkt, um ihre Werkstückhaltefläche von
dem Substrat "G" getrennt zu haben.
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Zu
diesem Zeitpunkt wird das Substrat "G" mittels
der Luftlöcher 12 des
Werkstückhalteplattenkörpers 3 angesaugt,
während
die Luftlöcher 11 der Hebe/Absenk-Ringplatte 4 Luft
blasen, wodurch es möglich
wird, das Substrat "G" reibungslos von
der Werkstückhaltefläche der
Hebe/Absenk-Ringplatte 4 zu trennen. Danach wird das Unterdruckansaugen des
Substrats "G" gestoppt und, wie
in den 1(c) und 4(c) gezeigt,
werden die Anhebestifte 8 angehoben, um das Substrat "G" von der Werkstückhaltefläche des Werkstückhalteplattenkörpers 3 anzuheben
und zu trennen.
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Wie
vorstehend beschrieben, wird das Trennen des Substrats "G" von der Werkstückhalteplatte 1 in
zwei Schritten ausgeführt,
um die Kontaktfläche des
Substrats "G" schrittweise zu
verringern. Daraus folgt, dass im Vergleich mit dem Fall, bei dem
das Trennen des Substrats "G" von der Werkstückhalteplatte 1 auf
einmal durchgeführt
wird, es möglich
ist, das Maß der
elektrostatischen Ladungen, die in dem Substrat "G" zum
Zeitpunkt des Trennens des Substrats "G" von
der Werkstückhaltefläche aufgebaut werden,
zu reduzieren. Als Ergebnis ist es möglich, das Substrat "G" von der Werkstückhalteplatte 1 reibungsfrei
zu trennen, ohne dass die Gefahr des Aufbaus von elektrostatischen
Ladungen in dem Substrat "G" besteht.
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Da
insbesondere in der Werkstückhaltefläche sowohl
des Werkstückhalteplattenkörpers 3 als auch
der Hebe/Absenk-Ringplatte 4 feine Unregelmäßigkeiten
vorgesehen sind, um die Kontaktfläche zu verringern, ist es in
einer Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung möglich,
die Gefahr des Aufbaus von elektrostatischen Ladungen weiter zu
verringern.
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Da
ferner die Hebe/Absenk-Ringplatte 4 eine ringähnliche
Form einnimmt, ist es möglich,
die Hebe/Absenk-Ringplatte 4 mit dem Substrat "G" in einen gut ausbalancierten Kontakt
zu bringen, was ein gleichförmiges
Erwärmen
des Substrats "G" realisiert. Ferner
ist es beim Trennen des Substrats "G" von
der Hebe/'Absenk-Ringplatte 4 auch
möglich, eine
gut ausgeglichene Trennung der Kontaktfläche des Substrats "G" zu realisieren, wodurch es möglich wird,
wirksam das Aufbauen von elektrostatischen Ladungen in dem Substrat "G" zum Zeitpunkt des Trennens des Substrats "G" von der Werkstückhaltefläche wirksam zu verhindern.
Da ferner die Hebe/Absenk-Ringplatte 4 in der Draufsicht
eine ähnliche
Form wie eine Kreisverkehrskreuzung einnimmt, ist es möglich, in
die vier Vorsprünge 4b der
Hebe/Absenk-Ringplatte 4 die Heizvorrichtungen 10 von
den Endflächen
her einzusetzen, was das Anschließen der Leiterdrähte und
dergleichen erleichtert.
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Obwohl
die Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung im Einzelnen unter Bezugnahme auf die
Zeichnungen beschrieben worden sind, ist die konkrete Konstruktion
der vorliegenden Erfindung nicht allein auf die vorstehenden Ausführungsformen begrenzt.
Jegliche Modifikationen und Änderungen
in der Gestaltung, welche nicht vom Umfang der vorliegenden Erfindung,
wie in den Ansprüchen
definiert, abweichen, gehören
zu der vorliegenden Erfindung. Beispielsweise kann die Hebe/Absenk-Ringplatte 4 irgendwelche
Formen, wie beispielsweise quadratische Formen, Doppelkreisformen
und dergleichen, zusätzlich
zu den ringartigen Formen einnehmen. Ferner können Gase, welche aus den Luftlöchern 11, 12 ausgegeben
worden sind, irgendwelche Gase, wie beispielsweise ionisierte Luft,
und Inertgase, wie beispielsweise Stickstoffgas und dergleichen,
zusätzlich
zu Luft sein. Die Inertgase und dergleichen sind insofern vorteilhaft,
als sie wirksam das Aufbauen von elektrostatischen Ladungen verhindern.
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Obwohl
das Resist-Aufbringentwicklungssystem, bei dem die Vorrichtung gemäß der vorliegenden
Erfindung zur Wärmebehandlung
des Substrats angewendet ist, vorstehend beschrieben worden ist,
ist es ferner für
die Vorrichtung der vorliegenden Erfindung auch möglich, dass
sie an irgendwelchen anderen Systemen, wie beispielsweise Orientierungs-Vorwärmebehandlungseinheit, Ätzflüssigkeitsausbringen,
Entwicklungseinheiten und dergleichen, angewandt werden kann.
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Beim
Trennen des Substrats "G" von der Werkstückhaltefläche wird
zuerst die Hebe/Absenk-Ringplatte 4 gesenkt, um das Substrat "G" von der Werkstückhaltefläche der Hebe/Absenk-Ringplatte 4 zu
trennen. Danach werden die Anhebestifte 8 angehoben, um
das Substrat "G" von der Werkstückhaltefläche des
Werkstückhalteplattenkörpers 3 zu
trennen.
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Anders
ausgedrückt,
wie vorstehend beschrieben, ist es bei der vorliegenden Erfindung
möglich,
das Trennen des Substrats "G" von der Werkstückhaltefläche in zwei
Schritten auszuführen,
wodurch es möglich
wird, die Kontaktfläche
des Substrats "G" schrittweise zu
reduzieren. Daraus folgt, dass im Vergleich zu dem Fall, bei dem
die gesamte Fläche
des Substrats "G" von der Werkstückhaltefläche auf
einmnal getrennt wird, es möglich
ist, bei der vorliegenden Erfindung das Maß der elektrostatischen Ladungen,
die sich zum Zeitpunkt des Trennens des Substrats "G" von der Werkstückhaltefläche ausbauen, zu reduzieren,
wodurch es möglich wird,
zu verhindern, dass das Substrat "G" infolge des
Aufbauens von elektrostatischen Ladungen zerstört oder zerbrochen wird, und
es wird auch möglich, eine
gleichförmige
Wärmebehandlung
des Substrats "G" zu realisieren.
Ferner ist es bei der vorliegenden Erfindung möglich, zu verhindern, dass
Teilchen auftreten, das die Gefahr der elektrostatischen Ladungen,
die in dem Substrat "G" aufgebaut werden,
reduziert ist, und es kann jeglicher Ausfall, der bei der Herstellung
der Vorrichtungen auftritt, vorab vermieden werden, wodurch das
Produkt und die Ausbeute verbessert wird.
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Gemäß einer
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung ist die Heizvorrichtung in die Hebe/Absenk-Ringplatte
eingebaut. Daraus folgend ist es für die Vorrichtung möglich, die
Gleichförmigkeit ihrer
Wärmebehandlung
des Substrats zu verbessern.
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Gemäß einer
weiteren Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung sind in der Werkstückhaltefläche der Werkstückhalteplatte
feine Unregelmäßigkeiten
ausgebildet. Dar aus folgend ist es möglich, dass die Vorrichtung
die Kontaktfläche
der Werkstückhaltefläche, über welche
Kontaktfläche
die Werkstückhaltefläche mit
dem Substrat in Kontakt gebracht wird, zu reduzieren. Infolge einer
solchen Verringerung der Kontaktfläche ist es ebenfalls möglich, die
Gefahr des Aufbauens von elektrostatischen Ladungen zum Zeitpunkt
des Trennens des Substrats zu verringern.
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Gemäß einer
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung ist die Hebe/Absenk-Ringplatte mit einem
Ringteil versehen. Daraus folgend ist es für die Vorrichtung möglich, eine
gut ausbalancierte Halterung des Substrats auf dem Ringteil zu bewerkstelligen,
wodurch die Gleichförmigkeit
der Wärmebehandlung
des Substrats verbessert wird. Ferner ist es beim Trennen der Hebe/Absenk-Ringplatte
von dem Substrat auch möglich,
eine gut ausbalancierte Trennung der Kontaktfläche des Substrats oder der
Hebe/Absenk-Ringplatte zu bewerkstelligen, wodurch das Aufbauen
von elektrostatischen Ladungen verhindert wird. Wenn ferner die
Hebe/Absenk-Ringplatte mit vier Vorsprüngen um den Außenumfang
des Ringteils versehen ist, ist es möglich, die Heizvorrichtungen
in diese Vorsprünge
einzubauen, wodurch das Anschließen von Leiterdrähten vereinfacht
ist.
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Gemäß einer
weiteren Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung ist sowohl der Werkstückhalteplattenkörper als
auch die Hebe/Absenk-Ringplatte der Werkstückhalteplatte mit den Unterdrucksauglöchern und
den Luftblaslöchern
versehen. Daraus folgend ist es für die Vorrichtung möglich, dass
das Substrat in engen Kontakt mit der Werkstückhalteplatte unter Einfluss
des Unterdrucksaugens gebracht wird, wodurch die Wärmebehandlung
des Substrats bezüglich
Gleichförmigkeit
und Effizienz verbessert wird.
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Ferner
ist es durch Blasen von Luft möglich, das
Trennen des Substrats von der Werkstückhalteplatte zu verbessern.
Insbesondere durch Blasen der Luft in der Hebe/Absenk-Ringplatte
in einem Zustand, bei dem das Substrat in dem Werkstückhalteplattenkörper angesaugt
ist, ist es möglich,
die Hebe/Absenk-Ringplatte vom Substrat reibungslos zu trennen.
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Gemäß dem Verfahren
der vorliegenden Erfindung wird das Trennen des Substrats von der Werkstückhaltefläche in zwei
Schritten ausgeführt, wodurch
es möglich
wird, schrittweise die Kontaktfläche
zwischen dem Substrat und der Werkstückhaltefläche zu verringern. Daher ist
es im Vergleich mit den Fällen,
bei denen die gesamte Fläche
des Substrats von der Werkstückhaltefläche auf
einmal getrennt wird, möglich,
bei dem Verfahren gemäß der vorliegenden
Erfindung das Maß der
elektrostatischen Ladungen zu verringern, die zum Zeitpunkt des
Trennens des Substrats von der Werkstückhaltefläche aufgebaut werden.
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Es
ist somit klar zu ersehen, dass die vorliegende Erfindung nicht
auf die vorstehenden Ausführungsformen
begrenzt ist, sondern ohne Abweichen vom Umfang der Erfindung, wie
in den Ansprüchen definiert,
geändert
und modifiziert werden kann.