DE69930584T2 - Optische Abtastvorrichtung - Google Patents

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Description

  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine optische Abnehmervorrichtung, und im Besonderen auf eine optische Abnehmervorrichtung, die durch Verwendung einer Festkörper-Immersionslinse (SIL) Informationen mit hoher Dichte aufzeichnen/wiedergeben kann.
  • Dokument WO-A-98/58370 wird bis heute als der nächste Stand der Technik betrachtet (unter Artikel 54 (3) EPC, deshalb wurde es nach dem Zeitrang-Datum der vorliegenden Anmeldung veröffentlicht, weist aber selbst ein früheres Zeitrang-Datum auf), und es beschreibt das Ersetzen einer klassischen Festkörper-Immersionslinse (SIL) durch eine Gradienten-Linsenfläche.
  • Bezug nehmend auf 1, die eine herkömmliche optische Abnehmervorrichtung zum Aufzeichnen/Wiedergeben von Informationen mit hoher Dichte zeigt, trifft von einem Lichtmodul 1 emittiertes Licht über ein Reflexionselement 5 auf eine Festkörper-Immersionslinse (SIL) 10 und wird durch die Festkörper-Immersionslinse (SIL) 10 fokussiert, um einen Strahlfleck auf einer Aufzeichnungsebene einer Scheibe 19 zu erzeugen.
  • Das Lichtmodul 1 umfasst eine Lichtquelle, eine Einrichtung, um eine Bewegungsbahn auftreffenden Lichtes umzuformen, und einen Fotodetektor zum Empfangen des von der Aufzeichnungsebene der Scheibe 19 reflektierten Lichtes.
  • Das Reflexionselement 5 bewirkt feine Veränderungen am Auftreffwinkel des auftreffenden Lichtes, um durch allmähliches Verschieben der Position des auf der Scheibe 19 erzeugten Strahlflecks exakte Führung auszuüben.
  • Die Festkörper-Immersionslinse 10 wird durch ein Gleitstück 15 gehalten, das sich, wenn die Scheibe 19 rotiert, durch einen Luftpolstereffekt von der Scheibe 19 im Bereich von einigen zehn Nanometern hebt. Eine Auftrefffläche 10a der Festkörper-Immersionslinse 10 ist gekrümmt, um auf diese Weise auftreffendes Licht zu fokussieren, wohingegen eine der Scheibe 19 zugewandte Fläche 10b der Festkörper-Immersionslinse 10 plan ist.
  • Die Größe des auf der Scheibe 19 ausgebildeten Strahlflecks kann im Wesentlichen so dargestellt werden: λ/2NA (1),wobei λ die Wellenlänge des von einer Lichtquelle emittierten Lichtes, und NA die numerische Apertur der Licht fokussierenden Vorrichtung ist. Folglich muss, um die Größe eines Strahlflecks zum Aufnehmen/Wiedergeben mit hoher Dichte zu reduzieren, die Wellenlänge des Lichtes verringert oder die numerische Apertur vergrößert werden. Die maximale theoretisch in der Luft vorhandene numerische Apertur ist jedoch annähernd 1.
  • Da sich die Fläche 10b der Festkörper-Immersionslinse 10 sehr nah an der Scheibe 19 befindet, wenn der Brechungskoeffizient der Festkörper-Immersionslinse 10 nSIL ist, ist die Wellenlänge des Lichtes in der Festkörper-Immersionslinse 10 und der Scheibe 19 gleich λ/nSIL,was vergleichbar mit Gleichung (1) ist, so dass die numerische Apertur der Festkörper-Immersionslinse 10 in Bezug auf die Wellenlänge des von einer Lichtquelle emittierten Lichtes, das heißt λ, größer als oder gleich 1 ist, und dadurch die Größe des Strahlflecks verringert. In diesem Fall weist die Festkörper-Immersionslinse 10 einen Brechungskoeffizienten auf, der im Wesentlichen derselbe wie der einer Schutzschicht zum Schutz der Aufzeichnungsebene der Scheibe 19 ist.
  • Wie oben beschrieben ist bei Verwendung der Festkörper-Immersionslinse 10, da der Abstand zwischen der Festkörper-Immersionslinse 10 und der Scheibe 19 auf Grund eines Luftkisseneffektes während der Rotation der Scheibe 19 im Bereich von einigen zehn Nanometern beibehalten wird, der Strahlfleck nicht der Luft ausgesetzt und deshalb ist die numerische Apertur größer als oder gleich 1, wodurch die Größe des Strahlflecks verringert wird.
  • Wie oben beschrieben, kann die Festkörper-Immersionslinse 10, die eine gekrümmte Oberfläche aufweist, jedoch nicht sowohl sphärische Aberration als auch Koma-Aberration beseitigen. In anderen Worten kann, wenn die Auftrefffläche 10a der Festkörper-Immersionslinse 10, wie in 2 gezeigt, elliptisch gekrümmt ist, die sphärische Aberration beseitigt werden. Die elliptisch gekrümmte Fläche 10a, von welcher die sphärische Aberration beseitigt wird, genügt jedoch nicht der Abbe'schen Sinusbedingung, so dass sie sehr empfindlich für die Neigung von auftreffendem Licht wird. Folglich entsteht, wie in 2 und 3 gezeigt, die Koma-Aberration beim Licht S1, das schräg auftrifft und durch die Festkörper-Immersionslinse 10 fokussiert wird. Wenn die Auftrefffläche 10a der Festkörper-Immersionslinse 10 halbkugelförmig gekrümmt ist, wird die Koma-Aberration beseitigt, aber Defokussierung und sphärische Aberration sind noch vorhanden.
  • Da, wie oben beschrieben, ein optisches Aufzeichnungs-/Wiedergabesystem, das die Festkörper-Immersionslinse 10 verwendet, sehr empfindlich für Neigung ist und so Koma-Aberration erzeugt, ist seine Herstellung sehr schwierig.
  • Herkömmlicherweise wurde, wie in 4 gezeigt, eine optische Abnehmervorrichtung vorgeschlagen, die eine separat zwischen dem Lichtmodul 1 und der Festkörper-Immersionslinse 10 installierte fokussierende Objektivlinse 7 aufweist. In diesem Fall werden durch die Objektivlinse 7 sphärische Aberration und Koma-Aberration beseitigt, und die Festkörper-Immersionslinse 10 dient dazu, die numerische Apertur zu vergrößern. Da jedoch die optische Abnehmervorrichtung, die die vorher erwähnte Anordnung aufweist, zwei Linsen verwenden muss, das heißt, die Objektivlinse 7 und die Festkörper-Immersionslinse 10, wird das System unübersichtlich und sperrig.
  • Mit dem Ziel, die oben erwähnten Probleme zu lösen oder zu verringern, ist es ein Ziel von Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung, eine optische Abnehmervorrichtung zur Verfügung zu stellen, die nicht empfindlich für die Neigung von auftreffendem Licht ist und eine große numerische Apertur aufweist, so dass sie zur Aufzeichnung/Wiedergabe mit hoher Dichte geeignet ist, während sie durch Verwendung einer einzigen Linse einfach und kompakt ist.
  • Nach einem ersten Aspekt der Erfindung wird eine optische Abnehmervorrichtung zur Verfügung gestellt, die ein Lichtmodul, das Licht emittiert und von einem Aufzeichnungsmedium reflektiertes Licht empfängt, und ein Festkörper-Immersionslinsenelement (SIL) beinhaltet, das auf einem Lichtweg zwischen dem Lichtmodul und dem Aufzeichnungsmedium angeordnet ist, und außerdem eine plane Fläche, die dem Aufzeichnungsmedium zugewandt ist, und eine Vielzahl elliptisch gekrümmter Flächen aufweist, die unterschiedliche Krümmungsradien haben, so dass sie in Bezug auf eine Mittelachse an ihrer Auftrefffläche, auf die das Licht von dem Lichtmodul auftrifft, symmetrisch sind, um das auftreffende Licht zu fokussieren und einen Strahlfleck auf einer Aufzeichnungsebene des Aufzeichnungsmediums auszubilden.
  • Vorzugsweise ist unter der Vielzahl elliptisch gekrümmter Flächen der Krümmungsradius einer elliptisch gekrümmten Fläche, die weiter von der Mittelachse entfernt angeordnet ist, größer als der einer elliptisch gekrümmten Fläche, die näher an dieser Mittelachse angeordnet ist.
  • Vorzugsweise umfasst die Vorrichtung weiterhin ein Reflexionselement, das auf dem Lichtweg zwischen dem Lichtmodul und dem Festkörper-Immersionslinsenelement (SIL) installiert ist, um eine Neigung von auftreffendem Licht zu regulieren.
  • Vorzugsweise umfasst die Vorrichtung weiterhin eine Lichtleitfaser, die auf dem Lichtweg zwischen dem Lichtmodul und dem Festkörper-Immersionslinsenelement (SIL) installiert ist, um Licht zwischen ihnen zu übertragen.
  • Für ein besseres Verständnis der Erfindung und um zu zeigen, wie Ausführungsformen derselben verwirklicht werden können, wird jetzt mittels Beispielen Bezug auf die begleitenden schematischen Zeichnungen genommen, in welchen gilt:
  • 1 ist eine schematische Darstellung, die eine herkömmliche, zum Aufzeichnen/Wiedergeben mit hoher Dichte geeignete, optische Abnehmervorrichtung veranschaulicht;
  • 2 ist eine Darstellung, die eine Festkörper-Immersionslinse (SIL) veranschaulicht, die in der in 1 gezeigten optischen Abnehmervorrichtung verwendet wird;
  • 3 ist eine Darstellung, die schematisch einen durch die in der in 1 gezeigten optischen Abnehmervorrichtung verwendete Festkörper-Immersionslinse (SIL) fokussierten Strahlfleck veranschaulicht;
  • 4 ist eine schematische Darstellung, die ein anderes Beispiel für eine herkömmliche, zum Aufzeichnen/Wiedergeben mit hoher Dichte geeignete optische Abnehmervorrichtung veranschaulicht;
  • 5 ist eine schematische Darstellung, die eine zum Aufzeichnen/Wiedergeben mit hoher Dichte geeignete optische Abnehmervorrichtung nach einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung veranschaulicht;
  • 6 ist eine Darstellung, die eine in der in 5 gezeigten optischen Abnehmervorrichtung verwendete Festkörper-Immersionslinse (SIL) veranschaulicht;
  • 7 ist eine Darstellung, die schematisch einen durch die Festkörper-Immersionslinse (SIL), die in der in 5 gezeigten optische Abnehmervorrichtung verwendet wird, fokussierten Strahlfleck veranschaulicht; und
  • 8 ist eine schematische Darstellung, die eine zum Aufzeichnen/Wiedergeben mit hoher Dichte geeignete optische Abnehmervorrichtung nach einer anderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung veranschaulicht.
  • Bezug nehmend auf 5 umfasst eine optische Abnehmervorrichtung nach einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ein Lichtmodul 21, das Licht emittiert und von einem Aufzeichnungsmedium 19 reflektiertes Licht empfängt, und ein Festkörper-Immersionslinsenelement (SIL) 30, das auf einem Lichtweg zwischen dem Lichtmodul 21 und dem Aufzeichnungsmedium 19 angeordnet ist.
  • Das Lichtmodul 21 kann ein in einer herkömmlichen optischen Abnehmervorrichtung verwendetes Lichtmodul sein, und umfasst
    eine Lichtquelle (nicht gezeigt),
    eine Einrichtung zum Umformen der Bewegungsbahn auftreffenden Lichtes (nicht gezeigt), und
    einen Fotodetektor (nicht gezeigt) zum Empfangen des vom Aufzeichnungsmedium 19 reflektierten Lichtes, das auch die Einrichtung zum Umformen des Lichtwegs durchströmt hat.
  • Die Einrichtung zum Umformen des Lichtwegs kann ein Strahlenteiler oder ein Hologrammgerät sein.
  • Das Festkörper-Immersionslinsenelement (SIL) 30 fokussiert auftreffendes Licht und erzeugt auf der Aufzeichnungsebene des Aufzeichnungsmediums 19 einen Strahlfleck. Eine Auftrefffläche 33 des Festkörper-Immersionslinsenelementes (SIL) 30 ist gekrümmt ausgebildet, damit auftreffendes Licht vom Lichtmodul 21 so fokussiert wird, dass es auf der Aufzeichnungsebene des Aufzeichnungsmediums 19 auftrifft. Außerdem ist eine andere, dem Aufzeichnungsmedium 19 zugewandte Fläche 31 plan ausgebildet.
  • In dieser Ausführungsform weist die Auftrefffläche 33, wie in 6 gezeigt, eine Vielzahl von elliptisch gekrümmten Flächen 33a und 33b auf, die unterschiedliche Krümmungsradien haben, so dass sie in Bezug auf eine Mittelachse (c) symmetrisch sind. Vorzugsweise werden die Krümmungsradien der elliptisch gekrümmten Oberflächen 33a und 33b größer, je weiter die Mittelachse (c) entfernt ist.
  • Das Festkörper-Immersionslinsenelement (SIL) 30, das die oben beschriebene elliptisch gekrümmte Fläche aufweist, erzeugt geringe sphärische Aberration und gleicht auf Grund einer Neigung auftreffenden Lichtes Koma-Aberration aus. Deshalb wird, wie in 6 gezeigt, das in Bezug auf das Festkörper-Immersionslinsenelement (SIL) 30 schräg auftreffende Licht fokussiert, um, wie in 7 gezeigt, einen Strahlfleck S2 zu erzeugen.
  • Das Festkörper-Immersionslinsenelement (SIL) 30 wird, wie in 5 gezeigt, von einem Gleitstück 35 gehalten. Das Festkörper-Immersionslinsenelement (SIL) 30 und das Gleitstück 35 werden, wenn das scheibenförmige Aufzeichnungsmedium 19 rotiert, durch einen Luftpolstereffekt leicht vom Aufzeichnungsmedium 19 abgehoben. Das Festkörper-Immersionslinsenelement (SIL) 30 weist im Wesentlichen denselben Brechungskoeffizienten wie eine Schutzschicht zum Schutz der Aufzeichnungsebene des Aufzeichnungsmediums 19 auf, und das Prinzip des Vergrößerns der numerischen Apertur durch Anwendung des Festkörper-Immersionslinsenelementes (SIL) 30 wurde oben mit Bezug auf 1 beschrieben und dessen Erklärung wird weggelassen.
  • Vorzugsweise wird ein Reflexionselement 25, um eine Neigung von auftreffendem Licht zu regulieren, zusätzlich auf einem Lichtweg zwischen dem Lichtmodul 21 und dem Festkörper-Immersionslinsenelement (SIL) 30 zur Verfügung gestellt. Ein Auftreffwinkel auf dem Festkörper-Immersionslinsenelement (SIL) 30 auftreffenden Lichtes kann durch Drehen des Reflexionselementes 25 exakt abgeändert werden. Auf diese Weise kann durch Verändern der Position des nach und nach auf dem Aufzeichnungsmedium 19 erzeugten Strahlflecks exakte Führung ausgeübt werden.
  • Nach der vorliegende Erfindung kann durch Verwendung des Festkörper-Immersionslinsenelementes (SIL) 30, das eine Vielzahl elliptisch gekrümmter Flächen aufweist, ein Auftreten von Koma-Aberration um etwa 1/3 unterdrückt werden, verglichen mit der optischen Abnehmervorrichtung, die eine herkömmliche Festkörper-Immersionslinse (10 in 1) verwendet.
  • Bezug nehmend auf 8, umfasst eine optische Abnehmervorrichtung nach einer anderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung eine auf einem Lichtweg zwischen dem Lichtmodul 21 und dem Festkörper-Immersionslinsenelement (SIL) 30 installierte Lichtleitfaser 40 zum Übertragen von Licht. Die Lichtleitfaser 40 ist ein Kanal zum Übertragen von Licht vom Lichtmodul 21 zum Festkörper-Immersionslinsenelement (SIL) 30 und vom Festkörper-Immersionslinsenelement (SIL) 30 zum Lichtmodul 21. Durch das zur Verfügung Stellen der Lichtleitfaser 40 wird die Herstellung eines optischen Aufzeichnungs-/Wiedergabesystems erleichtert und der exakte Führungsbereich kann erweitert werden.
  • Da die optische Abnehmervorrichtung nach Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung ein einziges Festkörper-Immersionslinsenelement (SIL) verwendet, das eine Vielzahl von elliptisch gekrümmten Flächen aufweist, wird die gesamte Vorrichtung vereinfacht und kompakt. Ebenso ist die optische Abnehmervorrichtung beträchtlich weniger von Koma-Aberration betroffen, so dass sie nicht empfindlich für eine Neigung auftreffenden Lichtes ist und ein exakter Führungsbereich größer wird. Ebenso kann, da die numerische Apertur größer als oder gleich 1 ist, die Größe eines Strahlflecks verringert werden, damit wird Aufzeichnung/Wiedergabe eines Informationssignals mit hoher Dichte ermöglicht.

Claims (4)

  1. Optische Abnehmervorrichtung, die umfasst: ein Lichtmodul (21), das Licht emittiert und von einem Aufzeichnungsmedium (19) reflektiertes Licht empfängt; und ein SL(solid immersion lens)-Element (30), das auf einem Lichtweg zwischen dem Lichtmodul (21) und dem Aufzeichnungsmedium (19) angeordnet ist und eine plane Fläche (31), die dem Aufzeichnungsmedium zugewandt ist, sowie eine Vielzahl elliptisch gekrümmter Flächen (33) aufweist, die unterschiedliche Krümmungsradien aufweisen, so dass sie in Bezug auf eine Mittelachse (c) an ihrer Auftrefffläche, auf die das Licht von dem Lichtmodul (21) auftrifft, symmetrisch sind, und das das auftreffende Licht fokussiert und einen Strahlfleck auf einer Aufzeichnungsebene des Aufzeichnungsmediums (19) erzeugt.
  2. Optische Abnehmervorrichtung nach Anspruch 1, wobei unter der Vielzahl elliptisch gekrümmter Flächen der Krümmungsradius einer elliptisch gekrümmten Fläche, die weiter von der Mittelachse (c) entfernt angeordnet ist, größer ist als der einer elliptisch gekrümmten Fläche, die näher an dieser Mittelachse (c) angeordnet ist.
  3. Optische Abnehmervorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, die des Weiteren ein Reflexionselement (25) umfasst, das auf dem Lichtweg zwischen dem Lichtmodul (21) und dem SIL-Element (30) installiert ist, um eine Neigung von auftreffendem Licht zu regulieren.
  4. Optische Abnehmervorrichtung nach Anspruch 1, 2 oder 3, die des Weiteren eine Lichtleitfaser (40) umfasst, die auf dem Lichtweg zwischen dem Lichtmodul (21) und dem SIL-Element (3) installiert ist, um Licht zwischen ihnen zu übertragen.
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