DE69926449T2 - Verfahren zur herstellung eines nickelpulvers - Google Patents

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Description

  • Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Nickelpulvers, welches für verschiedene Verwendungen, wie in Füllmitteln von leitfähigen Pasten, die bei elektrischen Bauteilen eingesetzt werden, in Haftmitteln für Titan und in Katalysatoren geeignet ist, und betrifft insbesondere ein Verfahren, mit dem die Teilchengrößen in einem unterhalb von 1,0 μm liegenden Bereich, welcher geeignete Teilchengrößen für eine interne Elektrode eines keramischen Mehrschicht-Kondensators umfasst, steuerbar sind, und mit dem ein Nickelpulver herstellbar ist, welches eine sphärische Form und eine geringe Teilchengrößenverteilung aufweist.
  • Zugrundeliegender Stand der Technik
  • Leitfähige Metallpulver wie diejenigen aus Nickel, Kupfer und Silber sind für interne Elektroden in keramischen Mehrschicht-Kondensatoren brauchbar; und es ist in neuerer Zeit insbesondere Nickelpulver für derartige Zwecke untersucht worden. Das durch einen Trockenvorgang hergestellte Nickelpulver wird als versprechend erachtet. Entsprechend einem Trend zur Miniaturisierung und zu einer größeren Kapazität von Kondensatoren ist aufgrund der Erfordernisse einer Bildung dünner Schichten und eines geringen Widerstands insbesondere ein ultrafeines Pulver mit einer Teilchengröße von weniger als 0,1 μm gefragt.
  • Als eines der Verfahren zur Herstellung des feinen Nickelpulvers ist ein Gasphasen-Reduktionsverfahren zu erwähnen. Zum Beispiel offenbart die JP-A-8-246001 ein Verfahren, bei dem ein Reaktor durch Erwärmen und Verdampfen (Sublimieren) einer festen Masse aus Nickelchlorid mit einem Nickelchloriddampf gefüllt wird, Wasserstoffgas zusammen mit einem Inertgas wie Argongas zugeführt wird und durch Kontaktieren und Vermischen eine reduzierende Reaktion zur Bildung eines Nickelpulvers abläuft. Gemäß dieser Veröffentlichung kann mit dem Verfahren ein Nickelpulver mit einer mittleren Teilchengröße von 0,1 bis 1,0 μm hergestellt werden.
  • Obwohl mit dem üblichen, in der vorstehenden Veröffentlichung offenbarten Verfahren ein Nickelpulver mit einer Teilchengröße innerhalb eines erzielten Bereiches (0,1 bis 1,0 μm) erhalten werden kann, ist es schwierig, die erforderliche Teilchengröße innerhalb dieses Bereiches genauer zu steuern. Vorteilhafte Bedingungen für die Bildung einer Paste aus einem Nickelpulver umfassen die einer Gleichmäßigkeit der Größen und einer Gleichförmigkeit der Teilchen, einer hohen Glattheit der Teilchenoberflächen und einer weitgehenden Kugelförmigkeit. Diese Bedingungen können jedoch nicht von den üblichen Herstellungsverfahren weitgehend efüllt werden.
  • Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren zur Herstellung eines Nickelpulvers vorzusehen, bei dem die Teilchengröße des Nickelpulvers auf 1,0 μm und insbesondere innerhalb eines Bereiches von 0,1 bis 1,0 μm frei steuerbar ist, die Glattheit der Teilchenoberflächen verbessert und die Kugelförmigkeit des Pulvers verbessert ist.
  • Offenbarung der Erfindung
  • Zur Lösung der vorstehenden Probleme haben die Erfinder verschiedene weitere Faktoren untersucht, darunter die der Zusätze und Volumina von zugeführtem Gas, welche die Eigenschaften der Teilchen eines Nickelpulvers beeinflussen, welches in einem, ein zugrundeliegendes Reduktionsverfahren darstellenden Verfahren zur Bildung eines Nickelpulvers gebildet wird, bei dem ein Nickelchloriddampf einem Reduktionsreaktor zugeführt wird, welcher mit einem reduzierenden Gas einschließlich Wasserstoffgas gefüllt ist, wonach der Nickelchloriddampf von dem reduzierenden Gas reduziert wird. Als Ergebnis haben die Erfinder durch Zuführen eines geeigneten Volumens an Chlorgas zusammen mit einem Nickelchloriddampf zu einer Atmosphäre aus einem reduzierenden Gas gefunden, dass die Teilchengröße des gebildeten Nickelpulvers auf einen gewünschten Bereich steuerbar ist, und die Glattheit der Teilchenoberflächen, die Kugelförmigkeit und die Teilchengrößenverteilung verbessert werden können.
  • Bei der vorliegenden Erfindung wird Chlorgas zusammen mit einem Nickelchloriddampf einer Atmosphäre aus einem reduzierenden Gas zugeführt und das Nickelchlorid zur Erzeugung von Nickelpulver reduziert.
  • Als ein bei der vorliegenden Erfindung verwendetes, reduzierendes Gas wird Wasserstoffgas oder Schwefelwasserstoffgas eingesetzt. Unter Berücksichtigung der Auswirkungen auf die Teilchen des gebildeten Nickelpulvers wird Wasserstoffgas vorgezogen.
  • Das Volumen des zuzuführenden Chlorgases liegt bevorzugt in einem Verhältnis von 0,01 bis 0,5 Mol pro 1 Mol Nickelchloriddampf und mehr bevorzugt in einem Verhältnis von 0,03 bis 0,40 Mol, so dass ein Nickelpulver einer Teilchengröße von 0,1 bis 1,0 μm in beständiger Weise gebildet wird. Es wurde bestätigt, dass die Teilchengröße des Nickelpulvers proportional zum zugemischten Volumen des Chlorgases anstieg. Das heißt, dass je größer das Volumen des zugeführten Chlorgases ist, desto mehr wird das Wachstum der Teilchen des Nickelpulvers gefördert. Aufgrund des Vorstehenden kann die Teilchengröße des gebildeten Nickelpulvers auf eine gewünschte gesteuert werden. Ein wichtiges Merkmal der vorliegenden Erfindung besteht darin, dass die Teilchengröße durch Nutzbarmachung des vorstehend beschriebenen Phänomens des Anstiegs der Teilchengröße des Nickelpulvers proportional dem Volumen des zugeführten Chlorgases frei steuerbar ist.
  • Bei der vorliegenden Erfindung wird Chlorgas zusammen mit Nickelchloriddampf einem Reduktionsreaktor zugeführt, in dem die Atmosphäre aus einem reduzierenden Gas besteht. Zur Zuführung können verschiedene Verfahrensweisen angewendet werden. Es wird, im einzelnen, Chlorgas vorher mit einem Nickelchloridgas vermischt und das Mischgas dann dem Reduktionsreaktor zugeführt. In alternativer Weise wird Chlorgas zusammen mit einem Nickelchloriddampf kontinuierlich dem Reduktionsreaktor zugeführt oder es wird nur das Chlorgas intermittierend zugeführt, indem eine Zuführdüse für den Nickelchloriddampf und eine Zuführdüse für das Chlorgas getrennt eingebaut und die Düsen zusammenlaufend angeordnet sind. Die ersterwähnte und die letzterwähnte Verfahrensweise können miteinander kombiniert werden, d.h. dass eine Verfahrensweise angewendet werden kann, bei der ein Mischgas aus einem Nickelchloriddampf und Chlorgas sowie ein Chlorgas jeweils aus getrennten Düsen dem Reduktionsreaktor zugeführt werden.
  • Von den vorstehenden Verfahrensweisen wird die Verfahrensweise bevorzugt, bei welcher das Chlorgas kontinuierlich aus einer benachbarten Düse zugeführt wird, weil die Glattheit der Oberflächen des Nickelpulvers verbessert werden kann. Bevorzugt wird die Verfahrensweise bei der Chlorgas intermittierend aus benachbarten Düsen zugeführt wird, weil ein Wachsen von Zapfen des Nickelpulvers, die sich an den Düsen bilden, verhindert werden kann. Bei einem üblichen Verfahren haftet das durch Reduktion gebildete Nickelpulver an einer Düse aus welcher der Nickelchloriddampf in einen Reduktionsreaktor eingestrahlt wird und wächst gelegentlich wie ein Eiszapfen. Wenn dies auftritt, wird die Zufuhr des Nickelchloriddampfs beeinflusst und als Folge werden die Teilcheneigenschaften eines zu bildenden Nickelpulvers beeinträchtigt. Deshalb werden Lösungen dieser Probleme benötigt.
  • Als Maßnahmen zum getrennten Einbauen der Düsen für den Nickelchloriddampf und das Chlorgas und zum Anordnen der Düsen nebeneinander können verschiedene Verfahrensweisen angewendet werden. Vorzugsweise besteht eine Düse aus einem Doppelrohr, in dem ein inneres Rohr koaxial mit einem äußeren Rohr angeordnet ist. Durch Vorsehen einer Doppelrohrdüse kann der Nickelchloriddampf aus einem der beiden Rohre der Doppeldüse und das Chlorgas aus dem anderen Rohr dem Reduktionsreaktor zugeführt werden. Insbesondere bei einem Zuführen des Nickelchloriddampfs aus einem inneren Rohr und des Chlorgases aus einem äußeren Rohr umgibt das Chlorgas den Nickelchloriddampf, wodurch das vorstehend beschriebene Wachstum von Zapfen aus Nickelpulver an der Zuführdüse für Nickelchlorid verhindert und die Kugelförmigkeit des zu bildenden Nickelpulvers verbessert werden kann.
  • Als der in einem erfindungsgemäßen Verfahren zur Herstellung eines Nickelpulvers verwendete Reduktionsreaktor wird bevorzugt ein senkrechter Reduktionsreaktor verwendet, in dem eine Zuführdüse für einen Nickelchloriddampf und Chlorgas zum Beispiel als vorstehend erwähntes Doppelrohr angeordnet ist.
  • Des weiteren wird bei der vorliegenden Erfindung als Verfahrensweise zum Zuführen von Nickelchloriddampf und Chlorgas in einen Reduktionsreaktor vorzugsweise eine Verfahrensweise angewendet, bei welcher in einem senkrechten Reduktionsreaktor, in dem die Zuführdüse sich am oberen Ende des Reaktors befindet, der Nickelchloriddampf und das Chlorgas aus der Düse fast senkrecht nach unten zum Inneren des Reduktionsreaktors hin eingeführt werden.
  • Wie vorstehend erwähnt, kann gemäß der vorliegenden Erfindung durch die Verwendung eines senkrechten Reduktionsreaktors und die Anwendung einer Verfahrensweise, bei der ein Nickelchloriddampf und Chlorgas fast senkrecht nach unten zum Inneren eines Reduktionsreaktors hin zugeführt werden, ein Nickelpulver hergestellt werden, welches zur Erzielung einer ge wünschten Teilchengröße gesteuert worden ist und eine verbesserte Glattheit der Teilchenoberflächen, Kugelförmigkeit und Teilchengrößenverteilung aufweist.
  • Bei der vorliegenden Erfindung werden wie vorstehend beschrieben Nickelchloriddampf und Chlorgas in eine Atmosphäre aus einem reduzierenden Gas eingeführt. Bei dem Vorgang können der Nickelchloriddampf und das Chlorgas jeweils nach einem Vermischen und Verdünnen mit einem Inertgas wie Stickstoffgas oder Argongas als Trägergas zugeführt werden.
  • Des weiteren werden Nickelchloriddampf, Chlorgas und ein reduzierendes Gas wie Wasserstoffgas, die einem Reduktionsreaktor zuzuführen sind, vorzugsweise vor dem Zuführen in den Reduktionsreaktor vorerwärmt. Das Vorerwärmen wird vorzugsweise innerhalb des Temperaturbereiches der Reduktionstemperatur im Reduktionsreaktor durchgeführt, wie nachstehend beschrieben wird.
  • Bei der vorliegenden Erfindung beträgt die Temperatur der Reduktion 900 bis 1200 °C, bevorzugt 950 bis 1100°C und mehr bevorzugt 980 bis 1050 °C.
  • Kurzerläuterung der Zeichnungen
  • 1 ist eine Zeichnung eines Senkrechtquerschnitts, welche ein Beispiel einer Apparatur für die erfindungsgemäße Herstellung eines Nickelpulvers zeigt.
  • 2 ist eine Zeichnung eines Senkrechtquerschnitts, welche ein weiteres Beispiel einer Apparatur für die erfindungsgemäße Herstellung eines Nickelpulvers zeigt.
  • Bester Modus zur Durchführung der Erfindung
  • Nachstehend wird eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen erläutert.
  • 1 zeigt einen senkrechten Reduktionsreaktor 1, welcher zur Praktizierung einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung bevorzugt wird. Am oberen Ende des Reduktionsreaktors 1 ragt eine Zuführdüse 2 zum Ausstrahlen eines Nickelchloriddampfs in den Reaktor senkrecht nach unten. Als Zuführdüse 2 kann eine wie vorstehend beschriebene Doppeldüse eingesetzt werden. Am oberen Ende des Reduktionsreaktors 1 befindet sich oberhalb des Auslasses der Zuführdüse 2 eine Zuführdüse 3 für Wasserstoffgas. Eine Zuführdüse 4 für ein Kühlgas ist an der Seite des Bodens des Reduktionsreaktors 1 angeschlossen. Eine Heizeinheit 5 ist um den Reduktionsreaktor 1 herum angebracht. Die Zuführdüse 2 hat die Funktion, den Nickelchloriddampf mit einer bevorzugten Fließgeschwindigkeit in den Reduktionsreaktor 1 einzustrahlen. Eine Zuführdüse 6 für Chlorgas ist mit der Zuführdüse 2 verbunden.
  • Bei dieser Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird ein Nickelchloriddampf, der durch Chlorieren eines Nickelmetalls mit Chlorgas gebildet worden ist, oder ein Nickelchloriddampf, der durch Verdampfen einer handelsüblich erhältlichen festen Masse aus Nickelchlorid gebildet worden ist, aus der Zuführdüse 2 in den Reduktionsreaktor 1 eingestrahlt, der durch Zuführen von Wasserstoffgas aus der Zuführdüse 3 für Wasserstoffgas mit einer Wasserstoffatmosphäre gefüllt worden ist. Unter diesen Verfahrensweisen zur Bildung eines Nickelchloriddampfs ist es bei der zuletzt erwähnten Verfahrensweise schwierig, durch Erwärmen und Verdampfen eines Festkörpers aus Nickelchlorid einen Dampf in gleichmäßiger Weise zu erzeugen. Als Folge sind die Teilchengrößen in dem Nickelpulver nicht gleichmäßig. Weil ein Festkörper aus Nickelchlorid normalerweise Kristallwasser enthält, ist es des weiteren er forderlich, diesen vor der Verwendung zu entwässern. Ist die Entwässerung unvollständig, können Probleme wie eine Verunreinigung des zu bildenden Nickelpulvers auftreten. Aufgrund dieser Gesichtspunkte wird die zuerst erwähnte Verfahrensweise bevorzugt, bei der ein durch Chlorieren eines Nickelmetalls mit Chlorgas gebildeter Nickelchloriddampf direkt einem Reduktionsreaktor zugeführt wird.
  • Chlorgas aus der Zuführdüse 6 wird mit dem Nickelchloriddampf vermischt. Das heißt, dass das Mischgas aus dem Nickelchloriddampf und dem Chlorgas aus der Zuführdüse 2 ausgestrahlt wird. Das Volumen des zuzuführenden Chlorgases beträgt 0,01 bis 0,5 Mol pro 1 Mol Nickelchloriddampf; spezifisch bevorzugt wird 0,03 bis 0,4 Mol, um eine Bildung von Nickelpulver mit einer Teilchengröße von 0,1 bis 1,0 μm zu gewährleisten.
  • Wenn das Mischgas aus Nickelchloriddampf und Chlorgas in den Reduktionsreaktor 1 eingeführt wird, der eine Wasserstoffatmosphäre enthält, läuft die Reduktion des Nickelchloriddampfs durch Wasserstoff ab und es wird ein Nickelpulver P gebildet. Bei dem Vorgang der Bildung des Nickelpulvers P wird eine Flamme F, die einer brennenden Flamme eines Flüssigbrennstoffs wie LPG ähnelt und nach unten gerichtet ist, an der Spitze der Zuführdüse 2 gebildet.
  • Durch Einstellen der Ausstrahlgeschwindigkeit (lineare Geschwindigkeit) des Mischgases aus Nickelchloriddampf und Chlorgas aus der Spitze der Zuführdüse 2 in Verbindung mit einem Ändern des vorstehend erwähnten Mischverhältnisses von Chlorgas und Nickelchloriddampf kann die Teilchengröße des zu erhaltenden Nickelpulvers P innerhalb eines Zielbereiches (von 0,1 bis 1,0 μm) auf eine gewünschte Teilchengröße gesteuert werden.
  • Die Lineargeschwindigkeit, die einen berechneten Wert darstellt, der aus dem Volumen zugeführten Gases auf Basis eines idealen Gases bei der Reduktionstemperatur erhalten worden ist, des Nickelchloriddampfs und des Chlorgases an der Spitze der Zuführdüse 2 wird vorzugsweise eingestellt auf 1 bis 30 m/s bei einer Reduktionstemperatur von 900 bis 1100 °C. In dem Fall, in dem ein Nickelpulver mit einer kleinen Teilchengröße wie 0,1 bis 0,3 μm hergestellt werden soll, wird eine Geschwindigkeit von 5 bis 25 m/s bevorzugt, und in dem Fall, in dem ein Nickelpulver mit einer Teilchengröße von 0,4 bis 1,0 μm hergestellt werden soll, wird eine Geschwindigkeit von 1 bis 15 m/s bevorzugt.
  • Das Volumen des in den Reduktionsreaktor 1 einzuführenden Wasserstoffgases beträgt 1 bis 3 mal und bevorzugt 1,1 bis 2,5 mal das chemische Äquivalent des Nickelchloriddampfes, jedoch ist es nicht darauf beschränkt. Wird jedoch das Wasserstoffgas im Überschuss zugeführt, wird ein großer Wasserstoffgasstrom in den Reduktionsreaktor 1 eingebracht, was eine ungleiche Reduktion bewirkt, weil der aus der Zuführdüse 2 ausgestrahlte Strom des Nickelchloridgases turbulent wird, was auch unwirtschaftlich ist, weil das nicht verbrauchte Gas ausgetragen wird. Es kann eine Reduktionstemperatur gewählt werden, die eine höhere Temperatur als die zur Vervollständigung der Reaktion ausreichende ist. Bevorzugt liegt die Temperatur oberhalb des Schmelzpunktes des Nickels, weil es einfach ist, ein als Festkörper gebildetes Nickelpulver zu handhaben. Werden die Reaktionsgeschwindigkeit, die Haltbarkeit des Reduktionsreaktors 1 und die Wirtschaftlichkeit in Betracht gezogen, ist eine Temperatur von 900 bis 1100 °C zweckmäßig, jedoch ist die Temperatur nicht auf diesen Bereich eingeschränkt. Die lineare Geschwindigkeit des Wasserstoffgases in einer Axialrichtung (einer senkrechten Richtung) im Reduktionsreaktor 1 beträgt 1/50 bis 1/300 mal und bevorzugt 1/80 bis 1/250 mal die Ausstrahlgeschwindigkeit (lineare Geschwindigkeit) des Nickelchloriddampfes. Des weiteren wird der Nickelchloriddampf im wesentlichen aus der Zuführdüse 2 in eine statische Atmosphäre aus Wasserstoffgas eingestrahlt, weil die Zuführdüse 3 für Wasserstoffgas sich an dem oberen Teil der Düse der Zuführdüse 2 befindet. Des halb wird die vorstehend erwähnte Flamme F nicht gestört und es kann das Nickelpulver P in gleichbleibender Weise gebildet werden. Des weiteren wird das aus der Zuführdüse 3 zugeführte Wasserstoffgas nicht auf die Seite der Flamme F gerichtet, um eine Störung der Flamme F zu vermeiden.
  • Ein Gas, welches das durch Durchlaufen des vorstehend erwähnten Reduktionsvorgangs gebildete Nickelpulver P enthält, wird durch Einblasen eines Inertgases wie Argongas und Stickstoffgas aus einer Zuführdüse 4 für ein Kühlgas in einen Raum unterhalb der Spitze der Flamme F gekühlt. Das Kühlen ist ein Vorgang zum Abschließen oder Steuern des Wachstums der Teilchen des Nickelpulvers P und insbesondere ein Vorgang zum raschen Abkühlen eines Gasstroms bei etwa 1000 °C nach der Reduktion auf eine Temperatur im Bereich von 400 bis 800 °C. Der Gasstrom kann auch auf eine unterhalb dieses Bereiches liegende Temperatur abgekühlt werden. Durch das wie vorstehend erwähnte Einblasen eines Inertgases kann die Teilchengröße des Nickelpulvers P gesteuert werden, um eine Agglomeration des Nickelpulvers P zu verhindern. Der Kühlzustand kann durch Ändern des Orts der Zuführdüse 4 des Kühlgases entlang der senkrechten Richtung des Reduktionsreaktors 1 und durch deren Anbringung an mehreren Stellen beliebig geändert werden, wodurch die Teilchengröße genauer steuerbar wird.
  • Das Mischgas, welches das Nickelpulver P, Salzsäuregas und ein Inertgas enthält und die vorstehend beschriebenen Reduktions- und Kühlvorgänge durchlaufen hat, wird einem Sammelvorgang zugeführt, bei dem das Nickelpulver P von dem Mischgas abgetrennt und gesammelt wird. Zum Abtrennen und Sammeln werden ein oder eine Kombination von mehr als zwei Mitteln eingesetzt, die einen Beutelfilter, eine Abtrennung durch Sammeln in Wasser oder Öl und eine magnetische Trennung umfassen, jedoch besteht keine Einschränkung auf diese Mittel. Spezifisch kann im Falle des Sammelns des Nickelpulvers P mit einem Beutelfilter, das Nickelpulver P durch Einführen des Mischgases, welches das im Kühlvorgang gebildete Nickelgas, Salzsäuregas und ein Inertgas enthält, in den Beutelfilter gesammelt werden. Im Falle der Anwendung einer Abtrennung durch Sammeln in Öl wird bevorzugt ein Normal-C10–18-Paraffinkohlenwasserstoff oder ein Leichtöl verwendet. Im Falle der Anwendung eines Sammelns in Wasser oder Öl werden eine oder mehrere der Substanzen Polyoxyalkylenglykol, Polyoxypropylenglykol und Derivate davon (Monoalkylether oder Monoester), ein oberflächenaktives Mittel einschließlich Sorbitan oder Sorbitanmonostearat, ein Metalldeaktivator für den Benzotriazol oder Derivate davon typisch sind und ein bekanntes Antioxidanz einschließlich Phenol oder eines Amins in Mengen von 10 bis 1000 ppm einer Sammelflüssigkeit zugegeben, was zum Verhindern einer Agglomeration und Korrosion von Metallpulverteilchen wirksam ist. Das wie vorstehend beschrieben gesammelte Nickelpulver wird einem Waschen und Trocknen unterzogen, um das Nickelpulver gemäß der vorliegenden Erfindung zu erhalten.
  • Bei der vorstehenden Ausführungsform kann das Nickelpulver mit einem gewünschten Teilchengrößenbereich von 0,1 bis 1,0 μm gebildet und das Wachstum der Teilchen proportional dem Volumen des zugeführten und mit dem Nickelchloriddampf vermischten Chlorgases gefördert werden. Somit kann durch entsprechendes Einstellen des zugeführten Chlorgases die Teilchengröße des Nickelpulvers P auf die gewünschte gesteuert werden. Des weiteren kann durch Vermischen des Chlorgases die Abweichung der Teilchengrößen des Nickelpulvers P gesteuert werden, und es können Versuche durchgeführt werden, die Teilchengrößen zu vergleichmäßigen, wodurch das Nickelpulver mit weniger feinen und groben Teilchen und mit einer schmalen Teilchengrößenverteilung erhalten werden kann.
  • 2 zeigt eine weitere Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Bei dieser Ausführungsform kann durch Verwenden einer Doppeldüse mit einem inneren Rohr 2A und einem äußeren Rohr 2B als Zuführdüse das Chlorgas aus dem äußeren Rohr 2B in den Reduktionsreaktor 1 eingestrahlt werden. Das heißt, dass Düsen für den Nickelchloriddampf und für das Chlorgas getrennt im Reduktionsreaktor 1 angebracht sind und entlang derselben Achse nebeneinander liegen. Die Volumina des zuzuführenden Nickelchloriddampfes und Chlorgases und das Volumen des in den Reduktionsreaktor 1 zuzuführenden Wasserstoffgases sind ähnlich wie bei der vorstehenden ersten Ausführungsform. Bei der vorliegenden Ausführungsform können Verfahrensweisen angewendet werden, bei denen das Chlorgas kontinuierlich zusammen mit dem Nickelchloriddampf in den Reduktionsreaktor 1 eingeführt, oder nur das Chlorgas intermittierend zugeführt wird.
  • Durch kontinuierliches Zuführen von Chlorgas zusammen mit dem Nickelchloriddampf kann die Glattheit der Teilchenoberflächen des Nickelpulvers P verbessert werden.
  • Das durch Reduktion gebildete Nickelpulver P kann sich durch Festhaften an den Auslass des zum Einstrahlen von Nickelchloriddampf in den Reduktionsreaktor 1 vorgesehenen inneren Rohres 2A in Form von Zapfen bilden. Deshalb kann durch intermittierendes Zuführen nur des Chlorgases aus dem äußeren Rohr 2B das Wachstum von Zapfen des Nickelpulvers verhindert und der Nickelchloriddampf ohne Schwierigkeiten zugeführt werden, wodurch keine Auswirkungen auf die Teilcheneigenschaften des Nickelpulvers entstehen. Da in diesem Fall der Nickelchloriddampf aus dem inneren Rohr 2A und das Chlorgas aus dem äußeren Rohr 2B zugeführt wird, ist das Chlorgas von dem Nickelchloridgas umgeben, wodurch die Wirkung einer Verhinderung des Wachstums von Zapfen des Nickelpulvers P erzielt wird. Des weiteren kann durch Anpassen der Zuführeinrichtungen die Kugelförmigkeit der Teilchen des zu bildenden Nickelpulvers P verbessert werden.
  • Einzelheiten der vorliegenden Erfindung werden nachstehend anhand von Beispielen erläutert.
  • Beispiel 1
  • Die Temperatur in dem in 1 gezeigten Reduktionsreaktor 1 wurde bei einer Reduktionstemperatur von 1000 °C gehalten, und es wurde Wasserstoffgas mit einer Fließgeschwindigkeit von 7,5 Nl/min aus der Zuführdüse 3 für Wasserstoffgas in den Reduktionsreaktor 1 eingeführt, um eine Wasserstoffatmosphäre zu erzeugen. Dann wurde der Nickelchloriddampf aus der Zuführdüse 2 in den Reduktionsreaktor 1 eingestrahlt, um das Chlorgas aus der Zuführdüse 6 für Chlorgas zuzumischen und ein Nickelpulver zu erhalten. Die Fließgeschwindigkeit des Nickelchloriddampfes wurde gleichmäßig bei 3,7 Nl/min gehalten, und es wurde die Fließgeschwindigkeit des Chlorgases geändert, um Proben A, B und C des Nickelpulvers zu erhalten. Diese Proben wurden durch SEM-Photographie untersucht und es wurde die mittlere Teilchengröße mit der BET-Methode bestimmt. Die Ergebnisse sind in Tabelle 1 gezeigt.
  • Tabelle 1
    Figure 00130001
  • Wie aus der Tabelle 1 ersichtlich ist, wurde durch Erhöhen des Mischverhältnisses von Chlorgas zu Nickelchloriddampf die Teilchengröße erhöht. Anhand dieses Umstands wird deutlich erwiesen, dass durch Einstellen des Mischvolumens von Chlorgas das zu bildende Nickelpulver in der Weise gesteuert werden konnte, dass es eine gewünschte Teilchengröße aufwies.
  • Beispiel 2
  • Die Temperatur in dem in 2 gezeigten Reduktionsreaktor 1 wurde bei 1000 °C gehalten, und der Reduktionsreaktor 1 wurde in der gleichen Weise wie in dem vorstehenden Beispiel 1 mit einer Wasserstoffatmosphäre gefüllt. Dann wurde Nickelchloriddampf bei einer Fließgeschwindigkeit von 1,7 Nl/min aus dem inneren Rohr 2A zugeführt. Gleichzeitig wurde Chlorgas bei einer Fließgeschwindigkeit von 1,0 Nl/min aus dem äußeren Rohr 2B zugeführt, um die Probe D des Nickelpulvers zu ergeben. Danach wurde in der Mitte des vorstehend erwähnten Bildungsvorgangs die Fließgeschwindigkeit des aus dem äußeren Rohr 2B zuzuführenden Chlorgases von 1,0 Nl/min auf 0,5 Nl/min verringert, und es wurden 0,5 Nl/min Chlorgas aus dem inneren Rohr 2A zugemischt, um die Probe E des Nickelpulvers zu ergeben. Diese Proben wurden durch SEM-Photographie untersucht und es wurde die mittlere Teilchengröße und die Standardabweichung mit der BET-Methode bestimmt. Die Ergebnisse sind in Tabelle 2 gezeigt.
  • Tabelle 2
    Figure 00140001
  • Aus der Tabelle 2 ist ersichtlich, dass in dem Fall des vorherigen Vermischens von Chlorgas mit dem Nickelchloriddampf (Probe E), die Abweichung der Teilchengrößen mehr gesteuert und die Gleichmäßigkeit der Teilchengrößenverteilung mehr verbessert wurde als in dem Fall in dem der Nickelchloriddampf und das Chlorgas jeweils auf direktem Weg aus dem inneren Rohr 2A und dem äußeren Rohr 2B (Probe D) in den Reduktionsreaktor 1 eingeführt wurden.
  • Beispiel 3
  • Die Temperatur in dem in 2 gezeigten Reduktionsreaktor 1 wurde bei der Reduktionstemperatur von 1000 °C gehalten, und es wurde Wasserstoffgas bei einer Fließgeschwindigkeit von 8 Nl/min aus der Zuführdüse 3 für Wasserstoffgas in den Reduk tionsreaktor 1 eingeführt, um eine Wasserstoffatmosphäre zu bilden. Dann wurde die Zufuhr des Nickelchloriddampfs mit einer Fließgeschwindigkeit von 3,7 Nl/min aus dem inneren Rohr 2A begonnen. Nach 8 Minuten ab dem Beginn der Zufuhr des Nickelchloriddampfs erhöhte sich der Staudruck des Nickelchloriddampfs. Deshalb wurde Chlorgas bei einer Fließgeschwindigkeit von 0,5 N1/min aus dem äußeren Rohr 2B zugeführt. Nach 1 Minute ab dem Beginn der Zufuhr des Chlorgases kehrte der Staudruck des Nickelchloriddampfs in den normalen Bereich zurück. Danach erfolgte 1 Stunde ein kontinuierlicher Betrieb. Eine Erhöhung des Staudrucks des Nickelchloriddampfs wurde jedoch nicht beobachtet.
  • Des weiteren wurde 1 Stunde ein Vorgang ausgeführt, bei dem eine Zufuhr von Chlorgas intermittierend alle 2 Minuten wiederholt wurde. Jedoch wurde keine Erhöhung des Staudrucks des Nickelchloriddampfs beobachtet, und es konnte ein gleichbleibender kontinuierlicher Betrieb durchgeführt werden. Das bei dem kontinuierlichen Betrieb erhaltene Nickelchlorid wurde durch SEM-Photographie untersucht und es wurde die mittlere Teilchengröße mit der BET-Methode bestimmt. Als Ergebnis wies die mittlere Teilchengröße einen überlegenen Wert von 0,28 μm auf. Insbesondere wurde bei der intermittierenden Zufuhr von Chlorgas in der Praxis kein Wachstum von Zapfen aus Nickelpulver beobachtet.
  • Beispiel 4
  • Die Temperatur in dem in 2 gezeigten Reduktionsreaktor 1 wurde bei der Reduktionstemperatur von 1000 °C gehalten, und es wurde Wasserstoffgas aus der Zuführdüse 3 für Wasserstoffgas in den Reduktionsreaktor 1 eingeführt, um eine Wasserstoffatmosphäre zu bilden. Dann wurde Nickelchloriddampf aus dem inneren Rohr 2A zugeführt und gleichzeitig wurde Chlorgas aus dem äußeren Rohr 2B kontinuierlich zugeführt. Das Volumen des zuzuführenden Nickelchloriddampfs wurde bei 1,9 Nl/min gehalten und es wurden die Volumina des zuzuführenden Wasserstoffgases und Chlorgases jeweils geändert, um die Pro ben F, G und H des Nickelpulvers zu erhalten. Diese Proben wurden durch SEM-Photographie untersucht und es wurden die mittleren Teilchengrößen mit der BET-Methode bestimmt. Die Ergebnisse sind in Tabelle 3 gezeigt.
  • Tabelle 3
    Figure 00160001
  • Wie aus Tabelle 3 deutlich ist, war das Wachsen des Nickelpulvers mit einer Erhöhung des Volumens des aus dem äußeren Rohr 2B zugeführten Chlorgases bemerkenswert. Deshalb kann durch Einstellen des Volumens des zuzumischenden Chlorgases die Teilchengröße des Nickelpulvers gesteuert werden. Des weiteren wurde ein Wachstum von Zapfen des Nickelpulvers nicht beobachtet.
  • Beispiel 5
  • Die Temperatur in dem in 2 gezeigten Reduktionsreaktor 1 wurde bei der Reduktionstemperatur von 1000 °C gehalten, und es wurde Wasserstoffgas bei einer Fließgeschwindigkeit von 3,7 Nl/min aus der Zuführdüse 3 für Wasserstoffgas in den Reduktionsreaktor 1 eingeführt, um eine Wasserstoffatmosphäre zu bilden. Dann wurde die Zufuhr des Nickelchloriddampfs mit einer Fließgeschwindigkeit von 1,87 Nl/min aus dem inneren Rohr 2A begonnen und es wurde 60 Minuten ein kontinuierlicher Betrieb ausgeführt. Danach wurde Chlorgas bei einer Fließgeschwindigkeit von 0,5 Nl/min aus dem äußeren Rohr 2B zugeführt und die Bildungsreaktion nach 60 Minuten beendet. Die Probe I des durch Zuführen nur des Nickelchloriddampfes in einem frühen Stadium erhaltenen Nickelpulvers und die Probe J des durch Zumischen von Chlorgas erhaltenen Nickelpulvers wurden durch SEM-Photographie untersucht, und es wurde ein Längenverhältnis (lange Achse/kurze Achse) der Teilchen bestimmt. Ein kleineres Längenverhältnis bedeutet eine mehr kugelförmige Gestalt. Die Ergebnisse sind in der Tabelle 4 gezeigt.
  • Tabelle 4
    Figure 00170001
  • Aus der Tabelle 4 geht deutlich hervor, dass durch Zuführen von Chlorgas aus dem äußeren Rohr 2B das Längenverhältnis verringert wurde und die Kugelförmigkeit verbessert werden kann.
  • Wie vorstehend erläutert, ist das Verfahren der vorliegenden Erfindung zur Herstellung von Nickelpulver eines, bei dem Chlorgas zusammen mit Nickelchloriddampf einer Atmosphäre aus einem reduzierenden Gas zugeführt und das Nickelchlorid zur Bildung eines Nickelpulvers reduziert wird. Da das Wachstum von Teilchen des Nickelpulvers durch das zuzuführende Chlorgas steuerbar ist, kann die Teilchengröße des Nickelpulvers in entsprechender Weise gesteuert werden, und es können auch die Gleichheit der Teilchengrößen, die Glattheit der Oberflächen der Teilchen und deren Kugelförmigkeit verbessert werden.

Claims (7)

  1. Verfahren zur Herstellung eines Nickelpulvers, bei dem Nickelchloriddampf zum Reduzieren des Nickelchlorids einer Atmosphäre aus einem reduzierenden Gas zugeführt wird, gekennzeichnet durch das Zuführen von Chlorgas zusammen mit dem Nickelchloriddampf.
  2. Verfahren zur Herstellung eines Nickelpulvers wie im Anspruch 1 beansprucht, bei dem der Anteil von Chlorgas 0,01 bis 0,5 Mol pro 1 Mol des Nickelchloriddampfs beträgt.
  3. Verfahren zur Herstellung eines Nickelpulvers wie in einem der Ansprüche 1 und 2 beansprucht, bei dem das Chlorgas kontinuierlich oder intermittierend zugeführt wird.
  4. Verfahren zur Herstellung eines Nickelpulvers wie im einem der Ansprüche 1 bis 3 beansprucht, bei dem der Nickelchloriddampf aus einem inneren Rohr oder einem äußeren Rohr, die koaxial angeordnet sind, zugeführt wird und das Chlorgas aus dem anderen Rohr zugeführt wird.
  5. Verfahren zur Herstellung eines Nickelpulvers wie im Anspruch 4 beansprucht, bei dem der Nickelchloriddampf aus dem inneren Rohr eines koaxialen Doppelrohrs zugeführt wird und Chlorgas aus dem äußeren Rohr zugeführt wird.
  6. Verfahren zur Herstellung eines Nickelpulvers wie in einem der Ansprüche 1 bis 3 beansprucht, bei dem das Nickelchlorid durch Zuführen eines Mischgases aus Nickelchloriddampf und Chlorgas in einen Reduktionsreaktor mit einer Atmosphäre aus einem reduzierenden Gas reduziert wird.
  7. Verfahren zur Herstellung eines Nickelpulvers wie in einem der Ansprüche 1 bis 4 beansprucht, bei dem ein Senkrecht- Reduktionsreaktor verwendet wird, in dem am Oberteil des Reaktors eine Zuführdüse angeordnet ist und der Nickelchloriddampf und das Chlorgas aus der Düse nach unten und senkrecht zum Inneren des Reduktionsreaktors zugeführt werden.
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Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3807873B2 (ja) * 1999-06-08 2006-08-09 東邦チタニウム株式会社 Ni超微粉の製造方法
KR100422719B1 (ko) * 1999-08-31 2004-03-12 도호 티타늄 가부시키가이샤 적층 세라믹 콘덴서용 니켈 분말
US6863708B2 (en) * 2001-06-14 2005-03-08 Toho Titanium Co., Ltd. Method for producing metal powder and metal powder, and electroconductive paste and monolithic ceramic capacitor
WO2004030853A1 (ja) * 2002-09-30 2004-04-15 Toho Titanium Co., Ltd. 金属粉末の製造方法および製造装置
KR100503126B1 (ko) * 2002-11-06 2005-07-22 한국화학연구원 기상법에 의한 구형 니켈 미세분말의 제조 방법
JP2005154904A (ja) * 2003-11-25 2005-06-16 Samsung Electronics Co Ltd 炭素含有ニッケル粒子粉末およびその製造方法
US7344584B2 (en) * 2004-09-03 2008-03-18 Inco Limited Process for producing metal powders
JP2007197836A (ja) * 2007-03-06 2007-08-09 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd ニッケル粉
US20090020411A1 (en) * 2007-07-20 2009-01-22 Holunga Dean M Laser pyrolysis with in-flight particle manipulation for powder engineering
KR102012862B1 (ko) 2017-09-05 2019-08-21 부경대학교 산학협력단 니켈 분말 제조 방법
KR102041180B1 (ko) 2018-01-29 2019-11-06 부경대학교 산학협력단 니켈 분말 제조 방법

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1098246A (en) * 1964-07-06 1968-01-10 Atomic Energy Commission Production of low particle size-high surface area metal powders
US3586497A (en) * 1968-06-18 1971-06-22 Percival Gravenor Reduction of metal chloride with hot hydrogen
US3671220A (en) * 1969-05-19 1972-06-20 Nordstjernan Rederi Ab Process for the production of powdered metals
EP0318590A4 (en) * 1987-06-10 1990-12-12 Nippon Kokan Kabushiki Kaisha Process for producing ultrafine magnetic metal powder
JPS63312603A (ja) * 1987-06-16 1988-12-21 Akinobu Yoshizawa 磁性金属超微粉の製造方法
JP2598652B2 (ja) * 1987-10-27 1997-04-09 川崎製鉄株式会社 気相化学反応装置
JPH02284643A (ja) * 1989-01-10 1990-11-22 Kawasaki Steel Corp 高純度の金属またはセラミックス微粉、超微粉の回収方法
US5853451A (en) * 1990-06-12 1998-12-29 Kawasaki Steel Corporation Ultrafine spherical nickel powder for use as an electrode of laminated ceramic capacitors
JPH05247506A (ja) * 1992-03-05 1993-09-24 Nkk Corp 金属磁性粉の製造装置
JP3197454B2 (ja) 1995-03-10 2001-08-13 川崎製鉄株式会社 積層セラミックコンデンサー用ニッケル超微粉
US6090179A (en) * 1998-07-30 2000-07-18 Remptech Ltd. Process for manufacturing of metallic power

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