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Die
vorliegende Erfindung betrifft eine Verbindungsvorrichtung nach
dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
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In
Fluidsteuervorrichtungen beispielsweise zum Einsatz bei der Herstellung
von Halbleitern werden Verbindungselemente mit Bolzen an einer Grundplatte
befestigt, und Schaltventile werden jeweils mit Bolzen an einem
oder einigen der Verbindungselemente befestigt. Diese Bolzen werden
nicht immer von oben eingeschraubt; häufig werden einige von der
Seite oder von unten eingeschraubt.
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Die
herkömmliche
Fluidsteuervorrichtung hat das Problem, daß für den Fall, daß die Grundplatte vertikal
ist, der Bolzen dazu neigt, aus einer Bolzenschaftbohrung herauszurutschen,
wenn der Außengewindebereich
des Bolzens von einem Innengewindebereich gelöst wird.
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Eine
Verbindungsvorrichtung der oben genannten Art ist bereits aus der
US-A-3,217,774 und der US-A-4,934,888 bekannt. Die bekannten Verbindungsvorrichtungen
beinhalten Mittel, um zu verhindern, daß der Bolzen aus der Schaftbohrung
herausrutscht, indem ein elastischer Halter in die Vertiefung eines
Bolzens eingreift, beispielsweise durch ein formschlüssiges Eingreifen
des Halters in eine Vertiefung.
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Entsprechend
ist es die Aufgabe der Erfindung, eine Verbindungsvorrichtung der
oben genannten Art, die einen einfachen Aufbau aufweist, vorzusehen,
mit Mitteln, die einen Bolzen daran hindern, aus einer Bolzenschaftbohrung
herauszurutschen.
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Gemäß der vorliegenden
Erfindung wird diese Aufgabe mit einer Verbindungsvorrichtung der oben
genannten Art gelöst,
welche mit den charakterisierenden Merkmalen des Anspruchs 1 versehen ist.
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Beispielsweise
wird ein O-Ring als ringförmiges
elastisches Element eingesetzt.
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Wenn
der Bolzen, der seitlich oder von unten in die Gewindebohrung eingeschraubt
ist, von der Gewindebohrung außer
Eingriff gebracht wird, indem er gelöst wird, wird der Bolzen durch
die Elastizität des
elastischen Elementes zurückgehalten
und daher an einem Herausrutschen gehindert.
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Vorzugsweise
weist Schaftbohrung an einem Zwischenbereich davon einen ersten
gestuften Bereich auf, derart, daß ein Bohrungsbereich, der
sich von dem Zwischenbereich zu einem Ende der Bohrung erstreckt,
einen vergrößerten Durchmesser
erhält,
und ein hohles zylindrisches Element wird, um das elastische Element
an einem Herausrutschen zu hindern, in die Schaftbohrung derart
von dem Ende eingesetzt, daß ein
Zwischenraum zwischen dem gestuften Be reich und dem verhindernden
Element entsteht, wodurch die ringförmige Vertiefung ausgebildet wird.
Das elastische Element ist dann einfach in die Vertiefung einzusetzen
und kann zuverlässig
an einem Herausrutschen gehindert werden.
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Vorzugsweise
weist der Bereich vergrößerten Durchmessers
der Schaftbohrung einen zweiten gestuften Bereich in der Nähe des Endes
auf, derart, daß ein
Bohrungsbereich des zweiten gestuften Bereichs zu dem Ende einen
weiter vergrößerten Durchmesser
erhält,
und das verhindernde Element ist mit einem Flansch in Kontakt mit
dem zweiten gestuften Bereich ausgebildet. Wenn das verhindernde Element
in die Schaftbohrung eingesetzt wird, kommt der Flansch mit dem
zweiten gestuften Bereich in Kontakt, wobei das verhindernde Element
genau in Position gebracht wird.
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Vorzugsweise
ist das verhindernde Element mit einem ringförmigen Steg in Verbindung mit
einer die Schaftbohrung definierenden Wandung ausgebildet, um das
verhindernde Element an einem Herausrutschen aus der Schaftbohrung
zu hindern. Das verhindernde Element kann dann wirksam an einem
Herausrutschen gehindert werden.
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GENAUE BESCHREIBUNG
DER ZEICHNUNGEN
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1 ist
eine Vorderansicht, die ein Beispiel von Fluidsteuervorrichtungen
zeigt, in denen erfin dungsgemäße Vorrichtungen
zum Verhindern eines Herausrutschens eingesetzt werden;
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2 ist
eine auseinandergezogene perspektivische Teilansicht, die teilweise
ausgebrochen ist und die Vorrichtung gemäß der 1 in Vergrößerung zeigt;
und
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3 ist
eine Schnittdarstellung, die die erfindungsgemäße Vorrichtung zum Verhindern
des Herausrutschens eines Bolzens zeigt.
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Ein
Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung wird unten mit Bezugnahme auf die Zeichnungen
beschrieben. In der folgenden Beschreibung beziehen sich die Begriffe „oben", „unten", „links" und „rechts" jeweils auf die
obere Seite, die untere Seite und die linken und rechten Seiten
der 1.
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Die 1 und 2 zeigen
ein Beispiel einer Fluidsteuervorrichtung, in der die erfindungsgemäße Vorrichtung
zur Befestigung eines unteren Elementes eingebaut ist. Die Fluidsteuervorrichtung 4 ist für den Einsatz
bei der Halbleiterherstellungsausrüstungen o.ä. geeignet und umfaßt eine
Massendurchflußsteuerung 3 und
eine Absperr-Öffnungs-Vorrichtung 1, 2 an
der linken und der rechten Seite der Steuerung 3.
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Die
Absperr-Öffnungs-Vorrichtung 1 auf
der linken Seite umfaßt
ein erstes Schaltventil 6 an der linken Seite, ein zweites
Schaltventil 7 an der rechten Seite und einen ersten Ventilsitz 28,
an dem die beiden Ventile 6, 7 montiert sind.
Der erste Ventilsitz 28 umfaßt eine Vielzahl von Verbindungsstücken 80, 30, 31, 32, 33 wie
später
beschrieben wird. Ein erstes Absperrventil 5 ist an der
linken Seite der linken Absperr-Öffnungs-Vorrichtung 1 angeordnet.
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Die
Absperr-Öffnungs-Vorrichtung 2 an
der rechten Seite umfaßt
ein drittes Schaltventil 8, welches an der linken Seite
angeordnet ist, ein viertes Schaltventil 9, welches an
einer Zwischenposition angeordnet ist, ein fünftes Schaltventil 10,
welches an der rechten Seite angeordnet ist, und einen zweiten Ventilsitz 29,
an dem diese Ventile 8, 9, 10 montiert
sind. Der zweite Ventilsitz 29 umfaßt eine Vielzahl von Verbindungsstücken 34, 35, 36, 37, 38, 39, 79,
wie später
beschrieben werden wird. Ein zweites Absperrventil 11 ist
an der rechten Seite der rechten Absperr-Öffnungs-Vorrichtung 2 angeordnet.
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Die
Schaltventile 6, 7, 8, 9, 10 umfassen
jeweils Hauptkörper 12, 14, 16, 18, 20 und
jeweils Aktuatoren 13, 15, 17, 19, 21,
die von oben daran montiert sind, um einen Kanal durch jeden Ventilhauptkörper geeignet
zu öffnen
und zu schließen.
Die ersten und fünften
Schaltventile 6, 10 sind 2-Öffnungsventile, während die
zweiten, dritten und vierten Schaltventile 7, 8, 9 3-Öffnungsventile
sind. Die Hauptkörper 12, 14, 16, 18, 20 der
Schaltventile 6 bis 10 sind an ihren unteren Enden
jeweils mit Flanschen 12a, 14a, 16a, 18a, 20a versehen,
die von oben gesehen rechtwinklig sind.
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Jedes
der Absperrventile 5, 11 umfaßt einen linken Hauptkörper 22 (25)
mit einem Einlaß in
ihrer Bodenfläche,
einen mittleren Hauptkörper 23 (26), der
an den Hauptkörper 22 (25)
geschraubt ist, und einen rechten Hauptkörper 24 (27),
der einen Auslaß in
seiner Bodenfläche
aufweist und mit Schrauben an den mittleren Hauptkörper 23 (26)
geschraubt ist.
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Die
Massendurchflußsteuerung 3 ist
an der linken Seite ihres unteren Endes mit einer rechtwinkligen,
parallelepipedalen, nach links gerichteten Verlängerung 49 ausgebildet,
die einen Einlaß in
ihrer Bodenfläche
aufweist, und an der rechten Seite ihres unteren Endes mit einer
rechtwinkligen, parallelepipedalen und nach rechts gerichteten Verlängerung 50 mit
einem Auslaß in
ihrer Bodenfläche
ausgebildet ist.
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Die
Bodenflächen
der Ventilhauptkörper 22, 23, 24, 12, 14 an
der linken Seite des Massendurchflußsteuerung 3 und die
Bodenfläche
der nach links gerichteten Verlängerung 49 der
Steuerung 3 sind fluchtend miteinander. Die Bodenflächen der
nach rechts gerichteten Verlängerung 50 der
Steuerung 3 und die Ventilhauptkörper 16, 18, 20, 25, 26, 27 sind fluchtend
zueinander angeordnet.
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Der
Einlaß des
linken Hauptkörpers 22 des ersten
Absperrventils 5 ist mit einem Reinigungsgas-Zuführverbin dungsstück 80 versehen,
welches mit einer Reinigungsgas-Zuführleitung
verbunden ist, und ein Halteelement 40 und ein L-förmiges Kanalelement 41,
welches mittels des Elements 40 gehalten wird, umfaßt.
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Der
Auslaß des
rechten Hauptkörpers 24 des ersten
Absperrventils 5 ist mit einem Einlaß des Hauptkörpers 12 des
ersten Schaltventils 6 mittels eines ersten Einlaßkanal-Verbindungsstücks 30 verbunden,
um ein Fluid in die linke Absperr-Öffnungs-Vorrichtung 1 einzuführen. Das
Verbindungsstück 30 umfaßt zwei
Halteelemente 42, 44 und ein U-förmiges Verbindungskanalelement 46,
welches durch diese Elemente 42, 44 gehalten ist
und zwei L-förmige
Kanalelemente 43, 45 umfaßt, die miteinander verbunden
sind.
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Das
Verbindungsstück 31 in
der Form eines rechtwinkligen, parallelepipedalen Blocks ist sowohl der
Bodenfläche
des nach rechts gerichteten Bereichs des Hauptkörpers 12 des ersten
Schaltventils 6 als auch der Bodenfläche des nach links gerichteten
Bereichs des Hauptkörpers 14 des
zweiten Schaltventils 7 gegenüberliegend angeordnet, um einen
ersten Verbindungskanal auszubilden, und hat einen V-förmigen Kanal 31a,
um einen Auslaß des Ventils 6 dazu
zu bringen, mit einem Einlaß des
Ventils 7 in Verbindung zu stehen.
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Der
Hauptkörper 14 des
zweiten Schaltventils 7 hat eine Einlaß-Auslaß-Unteröffnung, die mit einem ersten
Unterkanal-Verbindungsstück 32 versehen
ist, welches ein Haltee lement 47 und ein I-förmiges Kanalelement 48 umfaßt und durch
das Element 47 gehalten ist. An dem unteren Ende des Verbindungsstücks 32 ist
ein bekanntes L-förmiges
Verbindungsstück 78 angebracht,
welches mit einer Prozeßgas-Zuführleitung
verbunden ist.
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Ein
Verbindungsstück 33 in
der Form eines rechtwinkligen, parallelepipedalen Blockes ist sowohl zwischen
dem nach rechts gerichteten Bereich des Hauptkörpers 14 des Ventils 7 als
auch der nach links gerichteten Verlängerung 49 der Massendurchflußsteuerung 3 angeordnet,
um einen ersten Auslaßkanal
auszubilden, und hat einen V-förmigen
Kanal 33a, um ein Fluid von dem Auslaß des Ventils 7 zu
der Steuerung 3 zu senden.
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Ein
Verbindungsstück 34 in
der Form eines rechtwinkligen, parallelepipedalen Blocks ist sowohl zwischen
der Bodenfläche
der nach rechts gerichteten Verlängerung 50 der
Massendurchflußsteuerung 3 als
auch der Bodenfläche
des nach links gerichteten Bereichs des Hauptkörpers 16 des dritten
Schaltventils 8 angeordnet, um einen zweiten Einlaßkanal auszubilden,
und hat einen V-förmigen
Kanal 34a, um ein Fluid von der Steuerung 3 in
die rechte Absperr-Öffnungs-Vorrichtung 2 einzuführen.
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Der
Hauptkörper 16 des
dritten Schaltventils 8 hat eine Einlaß-Auslaß-Unteröffnung, die mit einem zweiten
Unterkanal-Verbindungsstück 35 versehen ist,
das mit einer Evakuierungsleitung verbunden ist und ein Halteelement 51 und
ein L-förmiges
Kanalelement 52 umfaßt
und durch das Element 51 gehalten ist.
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Ein
Verbindungsstück 36 in
der Form eines rechtwinkligen, parallelepipedalen Blockes ist sowohl zwischen
der Bodenfläche
des nach rechts gerichteten Bereichs des Hauptkörpers 16 des dritten
Schaltventils 8 als auch der Bodenfläche des nach links gerichteten
Bereichs des Hauptkörpers 18 des
vierten Schaltventils 9 angeordnet, um einen zweiten Verbindungskanal
auszubilden, und hat einen V-förmigen Kanal 36a,
um einen Auslaß des
Ventils 8 dazu zu bringen, mit einem Einlaß des Ventils 9 in
Verbindung zu stehen.
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Der
Hauptkörper 18 des
vierten Schaltventils 9 hat eine Einlaß-Auslaß-Unteröffnung, die mit einem dritten
Unterkanal-Verbindungsstück 37 versehen
ist, das mit einer Prozeßgas-Zuführleitung
verbunden ist und ein Halteelement 53 und ein L-förmiges Kanalelement 54 umfaßt und durch
das Element 53 gehalten ist.
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Der
Auslaß des
Hauptkörpers 18 des
vierten Schaltventils 9 ist mit einem Einlaß des Hauptkörpers 20 des
fünften
Schaltventils 10 mittels einem dritten Verbindungskanal-Verbindungsstück 38 verbunden, welches
zwei Halteelemente 55, 57 und ein Verbindungskanalelement 59,
das durch diese Elemente gehalten ist, umfaßt. Das Element 59 umfaßt zwei L-förmige Kanalelemente 56, 58,
die miteinander verbunden sind.
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Ein
Verbindungsstück 39 in
der Form eines rechtwinkligen, parallelepipedalen Blockes ist sowohl zwischen
der Bodenfläche
des nach rechts gerichteten Bereichs des Hauptkörpers 20 des fünften Schaltventils 10 als
auch der Bodenfläche
des linken Hauptkörpers 25 des
zweiten Absperrventils 11 angeordnet, um einen zweiten
Auslaßkanal
auszubilden, und hat einen V-förmigen
Kanal 39a, um einen Auslaß des Ventils 10 dazu
zu bringen, mit dem Einlaß des
Ventils 11 zu kommunizieren.
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Der
Auslaß des
rechten Hauptkörpers 27 des zweiten
Absperrventils 11 ist mit einem Reinigungsgas-Entladungsverbindungsstück 79 versehen,
das mit einer Reinigungsgas-Entladungsleitung verbunden ist und
ein Halteelement 60 und ein L-förmiges Kanalelement 61 umfaßt, welches
mittels des Elements 60 gehalten ist.
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Das
erste Einlaßkanal-Verbindungsstück 30, das
erste Verbindungskanal-Verbindungsstück 31, das erste Unterkanal-Verbindungsstück 32 und
das erste Auslaßkanal-Verbindungsstück 33,
die an der linken Seite der Steuerung 3 angeordnet sind,
bilden den Ventilsitz 28 der linken Absperr-Öffnungs-Vorrichtung 1.
Das zweite Einlaßkanal-Verbindungsstück 34,
das zweite Unterkanal-Verbindungsstück 35, das zweite
Verbindungskanal-Verbindungsstück 36,
das dritte Unterkanal-Verbindungsstück 37, das dritte
Verbindungskanal-Verbindungsstück 38 und das
zweite Auslaßkanal-Verbindungsstück 39,
die an der rechten Seite der Steuerung 3 angeordnet sind, stellen
den Ven tilsitz 29 der rechten Absperr-Öffnungs-Vorrichtung 2 bereit.
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Daher
weist die linke Absperr-Öffnungs-Vorrichtung 1 einen
Reinigungsgaskanal auf, durch welchen ein durch das Absperrventil 5 zugeführtes Reinigungsgas über das
erste Einlaflkanal-Verbindungsstück 30,
den Hauptkörper 12 des
ersten Schaltventils 6, das erste Verbindungskanal-Verbindungsstück 31,
den Hauptkörper 14 des
zweiten Schaltventils 7 und das erste Auslaßkanal-Verbindungsstück 33 entladen
wird, und ein Prozeßgaskanal,
durch welchen ein von der Bodenfläche des ersten Unterkanalverbindungsstückes 32 zugeführtes Prozeßgas über das
Verbindungsstück 32,
den Hauptkörper 14 des zweiten
Schaltventils 7 und das erste Auslaßkanal-Verbindungsstück 33 entladen
wird. Die rechte Absperr-Öffnungs-Vorrichtung 2 hat
einen Reinigungsgaskanal, durch welchen das über die Steuerung 3 eingeführte Reinigungsgas über das
zweite Einlaßkanal-Verbindungsstück 34,
das zweite Verbindungskanal-Verbindungsstück 36, das dritte
Verbindungskanal-Verbindungsstück 38 und
das zweite Auslaßkanal-Verbindungsstück 39 entladen
wird; einen Prozeßgaskanal,
durch welchen das durch die Steuerung 3 zugeführte Prozeßgas über das
zweite Einlaßkanal-Verbindungsstück 34,
das zweite Verbindungskanal-Verbindungsstück 36 und das dritte Unterkanal-Verbindungsstück 37 einer
Prozeßkammer
zugeführt
wird; und einen Evakuierungskanal, um das Gas aus diesen Kanälen über das
zweite Unterkanal-Verbindungsstück 35 abzuziehen.
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Wie
in Vergrößerung in
der 2 gezeigt, hat das erste Absperrventil 5 einen
Einlaßkanal 77a und
einen Auslaßkanal 77b,
die nach unten geöffnet sind.
Der Hauptkörper 12 des
ersten Schaltventils 6 ist an seiner Bodenfläche mit
einem Einlaß 62 ausgebildet,
der nahezu zentral davon angeordnet ist, und mit einem Auslaßkanal 63,
der rechts positioniert ist. Der Ventilhauptkörper 12 ist im Inneren
mit einem Einlaßkanal 64,
der sich von dem Einlaß 62 zu
einer Ventilkammer 66 erstreckt, und einem Auslaßkanal 65,
der sich von dem Auslaß 63 zu
der Kammer 66 erstreckt, ausgebildet. Der Aktuator 13 des
ersten Schaltventils 6 dient dazu, ein Ventilelement 67 in
der Form einer Blende zu betätigen.
Wenn betätigt, öffnet oder
schließt
der Aktuator 13 den Einlaßkanal 64 mit dem
Ventilelement 67. Der Hauptkörper 14 des zweiten
Schaltventils 7 ist an seiner Bodenfläche mit einem Einlaß 68 an
der linken Seite, einem Auslaß 69 an
der rechten Seite und einer Einlaß-Auslaß-Unteröffnung 70 ausgebildet,
die nahezu im Zentrum positioniert ist, um als ein Einlaß oder Auslaß für andere Fluide
zu dienen. Der Ventilhauptkörper 14 ist
im Inneren mit einem Einlaßkanal 71,
der sich von dem Einlaß 68 zu
einer Ventilkammer 74 erstreckt, einem Unterkanal 73,
der sich von der Unteröffnung 70 zu der
Kammer 74 erstreckt, und einem Auslaßkanal 72, der sich
von dem Auslaß 69 zu
der Kammer 74 erstreckt, ausgebildet. Der Aktuator 15 des
zweiten Schaltventils 7 dient dazu, ein Ventilelement 75 in
der Form einer Blende zu betätigen.
Wenn betätigt, öffnet oder
schließt
der Aktuator 15 den Unterkanal 73 mit dem Ven tilelement 75.
Andererseits ist der Einlaßkanal 71,
der sich zu dem Einlaß 68 des
zweiten Schaltventils 7 erstreckt, immer in Verbindung
mit dem Auslaßkanal 72,
der sich zu dem Auslaß 69 durch
die Ventilkammer 74 erstreckt.
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Eine
Dichtung 76 ist wie in der 2 gezeigt zwischen
jedem der Ventilhauptkörper 22, 23, 24, 12, 14, 16, 18, 20, 25, 26, 27 und
zumindest einem der Elemente 41, 30, 31, 32, 33, 34, 35, 36, 37, 38, 39, 61,
die mit dem Ventilhauptkörper
in anstoßendem Kontakt
verbunden sind, vorgesehen. Die Absperrventile 5, 11 und
die Schaltventile 6, 7, 8, 9, 10 sind an
mindestens einem der Verbindungsstücke 80, 30, 31, 32, 33, 34, 35, 36, 37, 38, 39, 79 dazu
gegenüberliegend
mit Bolzen 113, die in den Hauptkörper 22, 23, 24, 12, 14, 16, 18, 20, 25, 26 oder 27 von
oben (siehe 2) geschraubt sind, befestigt.
Die Absperrventile 5, 11 und die Schaltventile 6 bis 10 können nach
oben entfernt werden, indem diese Bolzen 113 entfernt werden.
Das zweite Absperrventil ist vom Aufbau her identisch mit dem ersten
Absperrventil 5, das fünfte
Schaltventil 10 mit dem ersten Schaltventil 6 und
die dritten und fünften
Schaltventile 8, 9 mit dem zweiten Schaltventil 7.
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Bei
der Fluidsteuervorrichtung 4 mit dem vorherigen Aufbau
wird das Prozeßgas
in das erste Unterkanal-Verbindungsstück 32 der
linken Absperr-Öffnungs-Vorrichtung 1 geführt, wobei
das erste Schaltventil 6 geschlossen ist, das zweite Schaltventil 7 offengehalten ist,
das dritte Schaltventil 8 geschlossen ist, das vierte Schaltventil 9 offengehalten ist
und das fünfte
Schaltventil 10 geschlossen ist, woraufhin das Prozeßgas durch
den Hauptkörper 14 des
zweiten Schaltventils 7 und das erste Auslaßkanal-Verbindungsstück 33 in
die Massendurchflußsteuerung 3 fließt, wobei
die Flußrate
des Gases geregelt wird. Das Gas wird dann in die rechte Absperr-Öffnungs-Vorrichtung 2 zugeführt, fließt danach
durch das zweite Einlaßkanal-Verbindungsstück 34,
den Hauptkörper 16 des
dritten Schaltventils 8, das zweite Verbindungskanal-Verbindungsstück 36,
den Hauptkörper 18 des
vierten Schaltventils 9 und das dritte Unterkanal-Verbindungsstück 37 und
wird in die Prozeßkammer
geleitet. Wenn das Reinigungsgas danach in das erste Absperrventil 5 eingeleitet
wird, wobei das erste Schaltventil 6 offengehalten ist,
das zweite Schaltventil 7 geschlossen ist, das dritte Schaltventil 8 geschlossen
ist, das vierte Schaltventil 9 geschlossen ist und das
fünfte Schaltventil 10 offengehalten
ist, fließt
das Reinigungsgas durch das erste Einlaßkanal-Verbindungsstück 30,
den Hauptkörper 12 des
ersten Schaltventils 6, das erste Verbindungskanal-Verbindungsstück 31,
den Hauptkörper 14 des
zweiten Schaltventils 7 und das erste Auslaßkanal-Verbindungsstück 33,
erreicht die Massendurchflußsteuerung 3,
fließt
weiter durch das zweite Einlaßkanal-Verbindungsstück 34, den
Hauptkörper 16 des
dritten Schaltventils 8, das zweite Verbindungskanal-Verbindungsstück 36,
den Hauptkörper 18 des
vierten Schaltventils 9, das zweite Verbindungskanal-Verbindungsstück 38,
den Hauptkörper 20 des
fünften
Schaltventils 10, das zweite Auslaßkanal- Verbindungsstück 39 und das zweite
Absperrventil 11, und wird entladen. Zu diesem Zeitpunkt
entweicht das Reinigungsgas mit seinem eigenen Druck, wobei das
Prozeßgas
in dem Hauptkörper 14 des
zweiten Schaltventils 7, dem ersten Auslaßkanal-Verbindungsstück 33,
dem zweiten Einlaßkanal-Verbindungsstück 34 und
dem zweiten Verbindungskanal-Verbindungsstück 36 verbleibt, mit
dem Ergebnis, daß das
Reinigungsgas nur während
einer kurzen Zeitdauer durch die Vorrichtung fließt.
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Bei
den Absperr-Öffnungsvorrichtungen 1, 2 sind
das erste Einlaßkanal-Verbindungsstück 30 und das
dritte Verbindungskanal-Verbindungsstück 38 bekannte Elemente,
das erste Verbindungskanal-Verbindungsstück 31, das erste Auslaßkanal-Verbindungsstück 33,
das zweite Einlaßkanal-Verbindungsstück 34,
das zweite Verbindungskanal-Verbindungsstück 36 und das zweite
Auslaßkanal-Verbindungsstück 39 bekannte
Elemente, und die Unterkanal-Verbindungsstücke 32, 35, 37 ebenfalls
bekannte Elemente. Mit anderen Worten ist die rechte Absperr-Öffnungsvorrichtung 2 nur
durch Zufügung
eines 3-Öffnungs-Schaltventils
zu der linken Absperr-Öffnungsvorrichtung 1 und
durch Zugabe der gleichen Elemente wie das erste Verbindungskanal-Verbindungsstück 31 und
das erste Unterkanal-Verbindungsstück 32 zu dem Ventilsitz
erhältlich. wenn
das zuzufügende
Schaltventil ein 2-Öffnungs-Ventil
ist, wird das vierte Schaltventil 9 der rechten Absperr-Öffnungsvorrichtung 2 durch
ein 2-Öffnungsventil
ersetzt, wobei das dritte Unterkanal-Verbindungsstück 37 von
dem Sitz 29 entfernt wird. Dadurch sind die linken und
rechten Ab sperr-Öffnungs-Vorrichtungen 1 und 2 gegenüber verschiedenen Änderungen
aufgeschlossen.
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In
dem in der 1 gezeigten Ausführungsbeispiel
hat die linke Absperr-Öffnungs-Vorrichtung 1 zwei
Schaltventile 6, 7, während die rechte Absperr-Öffnungs-Vorrichtung 2 drei
Schaltventile 8, 9, 10 hat, wobei die
Anzahl an Schaltventilen zweckmäßigerweise
unterschiedlich ist. Zwei Absperr-Öffnungsvorrichtungen, die jeweils
eine zweckmäßige Anzahl
an Schaltventilen aufweisen, sind jeweils an den linken und rechten
Seiten einer Massendurchflußsteuerung
angeordnet, und solche Anordnungen sind weiter parallel zueinander
angeordnet, um eine Fluidsteuervorrichtung zum Einsatz bei Halbleiterherstellungsausstattungen
vorzusehen. Die Fluidsteuervorrichtung wird installiert, indem die
Verbindungsstücke 80, 30, 31, 32, 33, 34, 35, 36, 37, 38, 39 an
einer Grundplatte 108 mit Bolzen montiert werden, die die
Fluidsteuerungen, beispielsweise Absperrventile 5, 11,
Schaltventile 6, 7, 8, 9, 10,
und Massendurchflußsteuerung 3 an
die Verbindungsstücke 80, 30 bis 39 wie
vorgeschrieben anbringen, und die Grundplatte 108 in Position
befestigen.
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Als
nächstes
wird mit Bezugnahme auf die 3 eine Beschreibung
einer erfindungsgemäßen Vorrichtung
zur Verhinderung des Herausrutschens eines Bolzens als bevorzugtes
Mittel zum Einsatz bei der Befestigung des Schaltventils 7 an
den zwei Blockverbindungsstücken 31, 33 mit
Körper-befestigenden
Bolzen 113 gegeben.
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Mit
Bezugnahme auf die Zeichnung werden Bolzenschaftbohrungen 114 in
dem Flansch 14a des Hauptkörpers 14 des Schaltventils 7 ausgebildet. Jede
der Schaftbohrungen 114 hat jeweils gestufte Bereiche 114a und 114b an
einem Zwischenteil der Bohrung und ein Teil davon nahe dem unteren
Ende der Bohrung, um den größten Durchmesser
an dem unteren Ende der Bohrung 114 zu erzeugen. Ein O-Ring 115 ist
in die Schaftbohrung 114 von ihrem unteren Ende in tragendem
Kontakt mit dem gestuften Zwischenbereich 114a eingesetzt.
Eine Hülse 116 ist
ferner in die Bohrung 114 von der Seite größeren Durchmessers
eingesetzt, um den O-Ring 115 vor
einem Herausfallen zu sichern. So wird eine ringförmige Vertiefung 118 durch
den gestuften Zwischenbereich 114a, die obere Endfläche der
Hülse 116 und
der Außenumfang
des gebohrten Bereichs 114 für den Bolzenschaft definiert,
um den O-Ring anzupassen. Die Hülse 116 ist
an ihrem unteren Ende mit einem Flansch 116a in tragendem
Kontakt mit dem gestuften Bereich 114b nahe dem unteren Ende
der Bohrung ausgebildet. Die Hülse 116 hat
ferner an einem Zwischenbereich davon einen ringförmigen Steg 117 mit
einem Außendurchmesser
leicht größer als
der Durchmesser des Schaftbohrungsbereichs, in den dieser Zwischenbereich
eingesetzt ist. Wenn die Hülse 116 in
die Schaftbohrung 114 von ihrer Seite größeren Durchmessers
hineingedrückt wird,
drückt
der Flansch 116a gegen den gestuften Bereich 114b nahe
dem unteren Ende der Bohrung, und der ringförmige Steg 117 wird
zusammengedrückt,
wobei die Hülse 116 an
einem Herausrutschen gehindert wird, wodurch folglicherweise der O-Ring 115 davon
abgehalten wird, herauszurutschen. Der O-Ring 115 hat einen
Innendurchmesser leicht kleiner als der Außendurchmesser des Schaftes
des Körpers
des Befestigungsbolzens 113. Da der O-Ring elastisch ist,
kann der Schaft des Bolzens 103 mittels Drücken durch
den O-Ring 115 mit größter Leichtigkeit
eingesetzt werden. Wenn der Befestigungsbolzen 113 gelöst und von
der Gewindebohrung 106 außer Eingriff gebracht wird,
hält die
Elastizität
des O-Rings 115 den Bolzen 113 auf dem Ring 115.
Selbst für
den Fall, daß die
Grundplatte 108 in einer vertikalen Position eingebaut
wird (wie von der dargestellten horizontalen Position verdreht),
verhindert dieses Merkmal entsprechend, daß der einzuschraubende oder
zu entfernende, den Körper
befestigende Bolzen 113 herausfallen wird oder verloren geht.