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Hintergrund
der Erfindung
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Die vorliegende Erfindung bezieht
sich auf ein Verfahren zum Befestigen von unteren Elementen an einem
Trägerelement
gemäß dem Oberbegriff von
Anspruch 1.
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Die Bezeichnungen „oberes
Element" und „unteres
Element", wie sie
hier benutzt werden, beziehen sich jeweils auf ein vom Trägerelement
entferntes und ein zum Trägerelement
näheres
Element.
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Zum Beispiel werden Fluidsteuervorrichtungen
zur Verwendung bei der Ausrüstung
in der Halbleiterherstellung durch das Befestigen einer Mehrzahl
von Verbindungselementen (untere Elemente) an einer Grundplatte
(Trägerelement)
und die Anbringung eines funktionalen Elements (oberes Element) wie
einem Schaltventil oder einer Massendurchflußsteuerung, die an diesen Verbindungselementen
positioniert sind, an den Verbindungselementen zusammengebaut.
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Für
die Verwendung bei dem Zusammenbau der Fluidsteuervorrichtung wird
die Grundplatte mit Gewindebohrungen versehen, werden die Verbindungselemente
jeweils mit Einsatzlöchern
zum Einbringen von Befestigungsbolzen für die Verbindungselemente,
die in die Gewindebohrungen der Grundplatte eingeschraubt werden
sollen, und mit Gewindebohrungen zum Halten der Bolzen für die Befestigung
der funktionalen Elemente versehen, und wird das funktionale Element
mit Einsatzlöchern
für die Bolzen,
zur Anbringung der funktionalen Elemente, versehen. Wenn die Verbindungselemente
an der Grundplatte durch die Befestigungsbolzen für die Verbindungselemente
befestigt werden, können
die Befestigungsbolzen für
die funktionalen Elemente sofort in die jeweiligen Gewindebohrungen
der Verbindungselemente eingeschraubt werden, wobei die Verbindungen
zwischen den funktionalen Elementen und den Verbindungselementen
abgedichtet werden.
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Da jedoch in dem Bolzeneinsatzloch
des Verbindungselements um den Verbindungselement-Befestigungsbolzen
herum ein Spiel vorhanden ist, ist es möglich, das Intervall zwischen
den Gewindebohrungen der nebeneinander liegenden Verbindungselemente
um eine dem Spiel entsprechenden Größe zu variieren. Das herkömmliche
Verfahren hat deswegen das Problem, daß die Bolzeneinsatzlöcher der
funktionalen Elemente beim Installieren der funktionalen Elemente
an den Verbindungselementen nicht immer genau den entsprechenden
Gewindebohrungen der Verbindungselemente gegenüberliegen, was Schwierigkeiten
beim Befestigen der funktionalen Elemente an den Verbindungselementen
mit sich bringt.
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Des weiteren wird der Fluidkanal
des Verbindungselements nicht in Ausrichtung mit dem entsprechen
Fluidkanal des funktionalen Elementes sein, wie es vorgesehen ist,
was das Problem einer gestörten
Abdichtung mit sich bringt.
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Um dieses Problem zu verhindern,
schlägt die
US-A-4 628 577, welche den nächsten
Stand der Technik darstellt, vor, eine Abstandhaltevorrichtung zu
verwenden, die an ihrer Unterseite mit Bohrungen versehen ist, die
Seite an Seite in Abständen
angeordnet sind, die einem vorbestimmten Intervall zwischen den
Bezugsvorsprüngen
der unteren Elemente entsprechen.
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Ein Ziel der vorliegenden Erfindung
ist es, ein Verfahren der oben angesprochenen Art anzugeben, das
ein präziseres
Justieren der unteren Elemente in Bezug auf die Trägerelemente
erlaubt.
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Gemäß der vorliegenden Erfindung
wird dieses Ziel durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs
1 erreicht,
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1 ist
eine Vorderansicht, die eine Fluidsteuervorrichtung zeigt, welche
durch das Verfahren zum Befestigen der unteren Elemente der Erfindung zusammenzusetzen
ist;
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2 ist
eine teilweise geschnittene, perspektivische Explosionsansicht und
zeigt das Gleiche;
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3 ist
eine vergrößerte, teilweise
geschnittene perspektivische Ansicht und zeigt eine Schließ-Öffnungs-Vorrichtung,
welche die Fluidsteuervorrichtung darstellt;
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4 ist
eine perspektivische Ansicht, welche die Verbindungselemente (untere
Elemente) zeigt, die in der Vorrichtung enthalten sind;
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5 ist
eine Vorderansicht, welche die Verbindungselemente (untere Elemente)
und die Schaltventile (obere Elemente) zeigt;
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6 beinhaltet
perspektivische Ansichten, die ein beispielhaftes Verfahren zum
Befestigen der unteren Elemente gemäß der Erfindung zeigen;
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7 ist
eine Draufsicht, die den letzten Schritt des Verfahrens zeigt;
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8 beinhaltet
perspektivische Ansichten, die ein anderes Beispiel für ein Verfahren
zum Befestigen der unteren Elemente gemäß der Erfindung zeigen;
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9 ist
eine perspektivische Ansicht, die ein Befestigungsverfahren für die unteren
Elemente, obgleich nicht gemäß der Erfindung,
zeigt;
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10 ist
eine Unteransicht der Abstandhaltevorrichtung zur Verwendung bei
diesem Verfahren;
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11 ist
eine teilweise gebrochene Vorderansicht und zeigt die Vorrichtung;
und
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12 ist
eine Draufsicht, die den letzten Schritt desselben Verfahrens zeigt.
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Beschreibung
der bevorzugten Ausführungsform
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Im folgenden werden mit Bezug auf
die Zeichnungen Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung beschrieben. In der folgenden Beschreibung
beziehen sich die Ausdrücke „links" und „rechts" jeweils auf die
linke und rechte Seite der 1,
und die Vorderseite der Zeichnungsebene wird als „vorne" und ihre Rückseite
als „hinten" bezeichnet.
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Die 1 bis 3 zeigen eine Fluidsteuervorrichtung,
welche unter Verwendung des Verfahrens zum Befestigen der unteren
Elemente gemäß der Erfindung
zusammengesetzt wurde. Die Fluidsteuervorrichtung 4 ist
für die
Verwendung bei der Ausrüstung
in der Halbleiterherstellung oder des gleichen geeignet und umfaßt eine
Massendurchflußsteuerung 3 und
Schließ-Öffnungs-Vorrichtungen 1, 2 links und
rechts von der Steuerung 3.
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Die linke Schließ-Öffnungs-Vorrichtung 1 umfaßt ein erstes
linkes Schaltventil 6, ein zweites rechtes Schaltventil 7 und
eine erste Ventilhalterung 28, an der zwei Ventile 6 und 7 montiert
sind. Die erste Ventilhalterung 28 umfaßt eine Mehrzahl von Verbindungselementen 30, 31, 32, 33,
wie es später
beschrieben werden wird. An der linken Seite der linken Schließ-Öffnungs-Vorrichtung 1 ist
ein erstes Absperrventil 5 plaziert.
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Die rechte Schließ-Öffnungs-Vorrichtung 2 umfaßt ein drittes
Schaltventil 8, das links plaziert ist, ein viertes Schaltventil 9,
das im mittleren Bereich plaziert ist, ein fünftes Schaltventil 10,
das rechts plaziert ist, und eine zweite Ventilhalterung 29,
an der diese Ventile 8, 9 und 10 befestigt
sind. Die zweite Ventilhalterung 29 umfaßt eine
Mehrzahl von Verbindungselementen 34, 35, 36, 37, 38, 39,
wie es später beschrieben
werden wird. An der rechten Seite der rechten Schließ-Öffnungs-Vorrichtung 2 ist
ein zweites Absperrventil 11 plaziert.
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Die Schaltventile 6, 7, 8, 9, 10,
umfassen jeweils Hauptkörper 12, 14, 16, 18, 20 und
jeweils Betätigungselemente 13, 15, 17, 19, 21,
die von oben für
ein zweckmäßiges Öffnen und
Schließen
eines Kanals durch jeden Ventilhauptkörper montiert sind. Die Hauptkörper 12, 14, 16, 18, 20 der
Schaltventile 6 bis 10 sind an ihren unteren Enden
jeweils mit Flanschen 12a, 14a, 16a, 18a, 20a,
welche von oben gesehen rechteckig sind, versehen.
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Jedes der Absperrventile 5, 11 umfaßt einen linken
Hauptkörper 22 (25),
der einen Einlaß in
seiner Bodenseite hat, einen mittleren Hauptkörper 23 (26), der
an den Hauptkörper 22 (25)
geschraubt ist, und einen rechten Hauptkörper 24 (27),
der einen Auslaß in
seiner Bodenseite hat und mit Schrauben an dem mittleren Hauptkörper 23 (26)
befestigt ist.
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Die Massendurchflußsteuerung 3 ist
an der linken Seite ihres unteren Endes mit einer rechteckigen,
parallelepipedalen und nach links weisenden Verlängerung 49, die einen
Einlaß in
ihrer Bodenseite hat, und an der rechten Seite ihres unteren Endes
mit einer rechteckigen, parallelepipedalen und nach rechts weisenden
Verlängerung 50,
die einen Auslaß an
ihrer Bodenseite hat, versehen.
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Die Bodenseiten der Ventilhauptkörper 22, 23, 24, 12 und 14 links
von der Massendurchflußsteuerung 3 und
die Bodenseite der nach links weisenden Verlängerung 49 der Steuerung 3 sind
alle miteinander gefluchtet. Die nach rechts gerichtete Verlängerung 50 der
Steuerung 3 und die Ventilhauptkörper 16, 18, 20, 25, 26, 27 haben
ihre Bodenseiten so plaziert, daß sie alle miteinander gefluchtet sind.
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Wie im vergrößerten Maßstab in 3 gezeigt ist, hat das Absperrventil 5 einen
Einströmkanal 77a und
einen Auströmkanal 77b,
welche nach unten geöffnet
sind. Das erste Schaltventil 6 ist ein Zwei-Wege-Ventil.
Der Haupt körper 12 des
Ventils 6 ist in seiner Bodenseite mit einem Einlaß 62,
der näherungsweise
zentral an ihm positioniert ist, und einem Auslaß 63, der rechts positioniert
ist, versehen. Der Ventilhauptkörper 12 ist
innen mit einem Einströmkanal 64,
der sich vom Einlaß 62 zu
der Ventilkammer 66 erstreckt, und einem Ausströmkanal 65, der
sich vom Auslaß 63 zu
der Kammer 66 erstreckt, versehen. Das Betätigungselement 13 des
ersten Schaltventils 6 dient dazu, ein Ventilelement 67 in
der Form eines Plattenventils zu betreiben. Während des Betriebes öffnet oder
schließt
das Betätigungselement 13 den
Einströmkanal 64 mit
dem Ventilelement 67. Das zweite Schaltventil 7 ist
ein Drei-Wege-Ventil. Der Hauptkörper 14 des
Ventils 7 ist in seiner Bodenseite links mit einem Einlaß 68,
rechts mit einem Auslaß 69 und
einer Einlaß-Auslaß-Nebenöffnung 70,
die näherungsweise
im Zentrum positioniert ist, um als Einlaß oder Auslaß für ein anderes
Fluid zu dienen, versehen. Der Ventilhauptkörper 14 ist innenseitig
mit einem Einströmkanal 71,
der sich vom Einlaß 68 zu
der Ventilkammer 74 erstreckt, einem Nebenkanal 73,
der sich von der Nebenöffnung 70 zu der
Kammer 74 erstreckt, und einem Ausströmkanal 72, der sich
vom Auslaß 69 zu
der Kammer 74 erstreckt, versehen. Das Betätigungselement 15 des zweiten
Schaltventils 7 dient dazu, das Ventilelement 75 in
der Form eines Plattenventils zu betreiben. Während des Betriebs öffnet oder
schließt
das Betätigungselement 15 den
Nebenkanal 73 mit dem Ventilelement 75. Der Einströmkanal 71,
der sich zu dem Einlaß 68 des
zweiten Schaltventils 7 erstreckt, steht immer in Verbindung
mit dem Ausströmkanal 72,
der sich zu dem Auslaß 69 durch
die Ventilkammer 74 erstreckt.
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Der Einlaß des linken Hauptkörpers 22 des ersten
Absperrventils 5 ist mit einem Reinigungsgas-Versorgungsanschluß 80 versehen,
der mit einer Reinigungsgas-Versorgungsleitung verbunden ist, und
umfaßt
einen rechteckigen, parallelepipedalen Block 40 und ein
L-förmiges
Kanalelement 41, das durch das Element 40 gehalten
wird.
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Der Auslaß des rechten Hauptkörpers 24 des ersten
Absperrventils 5 wird mit dem Einlaß des Hauptkörpers 12 des
ersten Schaltventils 6 durch ein erstes Einströmkanal-Verbindungselement 30 in
Verbindung gehalten, um ein Fluid in die linke Schaltvorrichtung 1 zu
führen.
Das Verbindungselement 30 umfaßt zwei rechteckige, parallelepipedale
Blöcke 42 und 44 und
ein U-förmiges
Verbindungskanalelement 46, das von diesen Blöcken 42 und 44 gehalten
wird und zwei L-förmige
Kanalelemente 43 und 45, welche miteinander verbunden
sind, umfaßt.
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Den beiden Bodenseiten des nach rechts weisenden
Bereichs des Hauptkörpers 12 des
ersten Schaltventils 6 und des nach links weisenden Bereichs
des Hauptkörpers 14 des
zweiten Schaltventils 7 gegenüberliegend ist ein erster rechteckiger,
parallelepipedaler Verbindungskanal-Verbindungsblock 31 vorgesehen,
der einen V-förmigen
Kanal 31a hat, um zu bewirken, daß der Auslaß des Ventils 6 mit dem
Einlaß des
Ventils 7 in Verbindung steht.
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Der Hauptkörper 14 des zweiten
Schaltventils 7 ist an seiner Einlaß-Auslaß-Nebenöffnung mit einem ersten Nebenkanal-Verbindungselement 32, das
einen rechteckigen, parallelepipedalen Block 47 und ein
I-förmiges
Kanalelement 48 umfaßt,
versehen und wird durch den Block 47 gehalten. An dem unteren
Ende des Verbindungselements 32 ist ein bekanntes L-förmiges Verbindungselement 78 befestigt,
das mit einer Prozeßgas-Versorgungsleitung verbunden
ist.
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Unterhalb des nach rechts weisenden
Bereiches des Hauptkörpers 14 des
Ventils 7 und der nach links weisenden Verlängerung 49 der
Massendurchflußsteuerung 3 ist
ein erster rechteckiger, parallelepipedaler Ausströmkanal-Verbindungsblock 33 plaziert,
der einen V-förmigen
Kanal 33a hat, um ein Fluid vom Auslaß des Ventils 7 zu
der Vorrichtung 3 zu senden.
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Unterhalb der beiden Bodenseiten
der nach rechts weisenden Verlängerung 50 der
Massendurchflußsteuerung 3 und
des nach links weisenden Bereiches des Hauptkörpers 16 des dritten
Schaltventils 8 ist ein zweiter rechteckiger, parallelepipedaler
Einströmkanal-Verbindungsblock 34 vorgegeben, der
einen V-förmigen
Kanal 34a hat, um ein Fluid von der Steuerung 3 in
die rechte Schließ-Öffnungs-Vorrichtung 2 einzubringen.
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Der Hauptkörper 16 des dritten
Schaltventils 8 hat eine Einlaß-Auslaß-Nebenöffnung, welche mit einem zweiten
Nebenkanal-Verbindungselement 35 versehen ist, die mit
ei ner Vakuumleitung verbunden ist, und umfaßt einen rechteckigen parallelepipedalen
Block 51 und ein L-förmiges
Kanalelement 52 und wird durch den Block 51 gehalten.
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Unterhalb der beiden Bodenseiten
des nach rechts weisenden Bereichs des Hauptkörpers 16 des dritten
Schaltventils 8 und des nach links weisenden Bereichs des
Hauptkörpers 18 des
vierten Schaltventils 9 ist ein zweiter rechteckiger, parallelepipedaler Verbindungskanal-Verbindungsblock 36 plaziert,
der einen V-förmigen
Kanal 36a hat, um den Auslaß des Ventils 8 mit
dem Einlaß des
Ventils 9 zu verbinden.
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Der Hauptkörper 18 des vierten
Schaltventils 9 hat eine Einlaß-Auslaß-Nebenöffnung, welche mit einem dritten
Nebenkanal-Verbindungselement 37 versehen ist, die mit
einer Prozeßgas-Versorgungsleitung
verbunden ist und einen rechteckigen, parallelepipedalen Block 53 und
ein L-förmiges Kanalelement 54 umfaßt und durch
den Block 53 gehalten wird.
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Ein Auslaß des Hauptkörpers 18 des
vierten Schaltventils 9 wird mit dem Einlaß des Hauptkörpers 20 des
fünften
Schaltventils 10 durch ein drittes Verbindungskanal-Verbindungselement 38 in
Verbindung gehalten, welche zwei rechteckige, parallelepipedale
Blöcke 55, 57 und
ein U-förmiges Verbindungskanalelement 59 umfaßt, das
durch diese Blöcke
gehalten wird. Das Verbindungskanalelement 59 umfaßt zwei
L-förmige
Kanalelemente 56, 58, die miteinander verbunden
sind.
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Unterhalb der beiden Bodenseiten
des nach rechts weisenden Bereichs des Hauptkörpers 20 des fünften Schaltventils 10 und
des linken Hauptkörpers 25 des
zweiten Absperrventils 11 ist ein zweiter rechteckiger,
parallelepipedaler Auslaßkanal-Verbindungsblock 39 plaziert,
der einen V-förmigen
Kanal 39a hat, um zu bewirken, daß ein Auslaß des Ventils 10 mit
dem Einlaß des
Ventils 11 verbunden ist.
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Der Auslaß des rechten Hauptkörpers 27 des zweiten
Absperrventils 11 ist mit einem Reinigungsgas-Auslaßverbindungselement 79 versehen,
das mit einer Reinigungsgas-Auslaßleitung verbunden ist, und
umfaßt
einen rechteckigen parallelepipedalen Block 60 und ein
L-förmiges Kanalelement 61, das
durch den Block 60 gehalten wird.
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Das erste Einströmkanal-Verbindungselement 30,
das erste Verbindungskanal-Verbindungselement 31, das erste
Nebenkanal-Verbindungselement 32 und das erste Ausströmkanal-Verbindungselement 33,
welche an der linken Seite der Steuerung 3 positioniert
sind, sind als erste Ventilträger 28 der linken
Schließ-Öffnungs-Vorrichtung 1 vorgesehen. Das
zweite Einströmkanal-Verbindungselement 34, das
zweite Nebenkanal-Verbindungselement 35, das zweite Verbindungskanal-Verbindungselement 36, das
dritte Nebenkanal-Verbindungselement 37, das dritte Verbindungskanal-Verbindungselement 38 und das
zweite Ausströmkanal-Verbindungselement 39, die
an der rechten Seite der Steuerung 3 positioniert sind,
sind als Ventilträger 29 der
rechten Schließ-Öffnungs-Vorrichtung 2 vorgesehen.
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Also hat die linke Schließ-Öffnungs-Vorrichtung 1 einen
Reinigungsgaskanal, durch welchen ein Reinigungsgas in das Absperrventil 5 geführt und
zu der Massendurchflußsteuerung 3 durch
das erste Einströmkanal-Verbindungselement 30,
den Hautpkörper 12 des
ersten Schaltventils 6, das erste Verbindungskanal-Verbindungselement 31,
den Hauptkörper 14 des
zweiten Schaltventils 7 und das erste Ausströmkanal-Verbindungselement 33 geleitet
wird; und einen Prozeßgaskanal,
durch welchen ein Prozeßgas,
das von der Bodenfläche
des ersten Nebenkanal-Verbindungselements 32 her zugeführt wird,
durch das Verbindungselement 32, den Hauptkörper 14 des
zweiten Schaltventils 7 und das erste Ausströmkanal-Verbindungselement 33 geleitet
wird. Die rechte Schließ-Öffnungs-Vorrichtung 2 hat
einen Reinigungsgaskanal, durch welchen das Reinigungsgas durch
die Steuerung 3 eingeleitet und über ein zweites Einströmkanal-Verbindungselement 34,
ein zweites Verbindungskanal-Verbindungselement 36, ein
drittes Verbindungskanal-Verbindungselement 38 und
ein zweites Ausströmkanal-Verbindungselement 39 ausgeleitet
wird; einen Prozeßgaskanal,
durch welchen das Prozeßgas
durch die Steuerung 3 eingeleitet wird, und der durch eine
Prozeßkammer durch
das zweite Einströmkanal-Verbindungselement 34,
das zweite Verbindungskanal-Verbindungselement 36 und das
dritte Nebenkanal-Verbindungselement 37 geführt wird;
und einen Vakuumkanal, um das Gas aus diesen Reinigungsgas- und Prozeßgaskanälen durch
das zweite Nebenkanal-Verbindungselement 35 auszusaugen.
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Eine Dichtung 76 ist, wie
in 3 gezeigt ist, zwischen
jedem der Ventilhauptkörper 22, 23, 24, 12, 14, 16, 18, 20 25, 26, 27 und
wenigstens einem der Elemente 80, 30, 31, 32, 33, 34, 35, 36, 37, 38, 39, 79,
die mit den Ventilhauptkörpern
aneinanderstoßend
verbunden sind, vorgesehen. Die Absperrventile 5, 11 und
die Schaltventile 6, 7, 8, 9, 10 sind
jeweils an mindestens einem der ihnen gegenüberliegenden Verbindungselemente 80, 30, 31, 32, 33, 34, 35, 36, 37, 38, 39, 79 befestigt,
die mit Bolzen 113 in die Hauptkörper 22, 23, 24, 12, 14, 16, 18, 20, 25, 26 oder 27 von
oben (siehe 3) eingeschraubt
sind. Die Absperrventile 5, 11 und die Schaltventile 6 bis 10 können nach
oben hin entfernt werden, indem diese Bolzen 113 entfernt
werden. Bei dem Aufbau ist das zweite Absperrventil 11 mit
dem ersten Absperrventil 5, das fünfte Schaltventil 10 mit
dem ersten Schaltventil 6 und die dritten und vierten Schaltventile 8, 9 mit
dem zweiten Schaltventil 7 identisch.
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Bei der Fluidsteuervorrichtung 4 mit
dem zuvor beschriebenen Aufbau wird das Prozeßgas in das erste Nebenkanal-Verbindungselement 32 der
linken Schließ-Öffnungs-Vorrichtung 1 geleitet,
wobei das erste Schaltventil 6 geschlossen, das zweite
Schaltventil 7 offengehalten, das dritte Schaltventil 8 geschlossen,
das vierte Schaltventil 9 offengehalten und das fünfte Schaltventil 10 geschlossen
ist, woraufhin das Prozeßgas
durch den Haupt körper 14 des zweiten
Schaltventils 7 und das erste Ausströmkanal-Verbindungselement 33 in
die Massendurchflußsteuerung 3 strömt, in der
die Durchflußrate
des Gases reguliert wird. Das Gas wird dann in die rechte Schließ-Öffnungs-Vorrichtung 2 eingeleitet
und strömt
anschließend
durch das zweite Einströmkanal-Verbindungselement 34,
den Hauptkörper 16 des dritten
Schaltventils 8, das zweite Verbindungskanal-Verbindungselement 36,
den Hauptkörper 18 des vierten
Schaltventils 9 und das dritte Nebenkanal-Verbindungselement 37 und
wird in die Prozeßkammer
geleitet. Wenn das Reinigungsgas anschließend in das erste Absperrventil 5 geleitet
wird, wobei das erste Schaltventil 6 offengehalten, das
zweite Schaltventil 7 geschlossen, das dritte Schaltventil 8 geschlossen,
das vierte Schaltventil 9 geschlossen und das fünfte Schaltventil 10 offengehalten
ist, strömt
das Reinigungsgas durch das erste Einströmkanal-Verbindungselement 30,
den Hauptkörper 12 des
ersten Schaltventils 6, das erste Verbindungskanal-Verbindungselement 31,
den Hauptkörper 14 des zweiten
Schaltventils 7 und das erste Ausströmkanal-Verbindungselement 33, erreicht
die Massendurchflußsteuerung 3 und
strömt
weiter durch das zweite Einströmkanal-Verbindungselement 34,
den Hauptkörper 16 des
dritten Schaltventils 8, das zweite Verbindungskanal-Verbindungselement 36,
den Hauptkörper 18 des
vierten Schaltventils 9, das dritte Verbindungskanal-Verbindungselement 38,
den Hauptkörper 20 des
fünften
Schaltventils 10, das zweite Ausströmkanal-Verbindungselement 39 und das
zweite Absperrventil 11 und wird ausgelassen. Dabei drängt das
Reinigungsgas mit sei nem Druck das Prozeßgas, welches in dem Hauptkörper 14 des zweiten
Schaltventils 7, des ersten Ausströmkanal-Verbindungselements 33, des
zweiten Einströmkanal-Verbindungselements 34 und
des zweiten Verbindungskanal-Verbindungselements 36 verbleibt, mit
dem Ergebnis hinaus, daß das
Reinigungsgas nur eine kurze Zeitdauer durch die Vorrichtung strömt.
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Bei den Schließ-Öffnungs-Vorrichtungen 1, 2 handelt
es sich bei dem ersten Einströmkanal-Verbindungselement 30 und
dem dritten Verbindungskanal-Verbindungselement 38, bei
dem ersten Verbindungskanal-Verbindungselement 31, dem
ersten Ausströmkanal-Verbindungselement 33,
dem zweiten Einströmkanal-Verbindungselement 34,
dem zweiten Verbindungskanal-Verbindungselement 36 und
dem zweiten Ausströmkanal-Verbindungselement 39 sowie
bei den Nebenkanal-Verbindungselementselemente 32, 35, 37 um
gleiche Elemente. Mit anderen Worten kann die rechte Schließ-Öffnungs-Vorrichtung 2 dadurch
erzeugt werden, daß einfach
ein Drei-Wege-Schaltventil an der linken Schließ-Öffnungs-Vorrichtung 1 hinzugefügt wird
und an deren Ventilbefestigung 28 die gleichen Elemente wie
bei dem ersten Verbindungskanal-Verbindungselement 31 und
dem ersten Nebenkanal-Verbindungselement 32 hinzugefügt werden.
Wenn es sich bei dem hinzuzufügenden
Schaltventil um ein Zwei-Wege-Ventil handelt, wird das vierte Schaltventil 9 der rechten
Schließ-Öffnungs-Vorrichtung 2 durch
ein Zwei-Wege-Ventil ersetzt, wobei das dritte Nebenkanal-Verbindungselement 37 von
der Befestigung 29 entfernt wird. Auf diese Weise sind
die linke und die rechte Schließ-Öffnungs-Vorrichtung 1, 2 modifizierbar.
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In der Ausführungsform, die in 1 gezeigt ist, hat die linke
Schließ-Öffnungs-Vorrichtung 1 zwei Schaltventile 6, 7,
während
die rechte Schließ-Öffnungs-Vorrichtung 2 drei
Schaltventile 8, 9, 10 hat, wobei jedoch
die Zahl der Schaltventile in geeigneter Weise variabel ist. Zwei
Schließ-Öffnungs-Vorrichtungen,
die jede eine geeignete Zahl von Schaltventilen haben, sind jeweils
an den linken und rechten Seiten der Massendurchflußsteuerung
angeordnet, und solche Aufbauten sind ferner parallel angeordnet,
um eine Fluidsteuervorrichtung für
die Verwendung bei der Ausrüstung
bei der Halbleiterherstellung vorzusehen.
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Die Fluidsteuervorrichtung wird montiert,
indem die Verbindungselemente 80, 30, 31, 32, 33, 34, 35, 36, 37, 38, 39, 79 mit
Verbindungselement-Befestigungsbolzen 110 an einer Grundplatte 108,
Fluidsteuerungen wie beispielsweise Absperrventile 5, 11, Schaltventile 6, 7, 8, 9, 10 und
die Massendurchflußsteuerung 3 mit
Befestigungsbolzen 113 an den Verbindungselementen 80, 30 bis 39, 79 befestigt
werden, um diese Verbindungselemente anzubringen, und die Bodenplatte 108 in
der richtigen Position fixiert wird.
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Die Fluidsteuervorrichtungen werden
durch die Verfahren, welche im folgenden mit Bezug auf die 4 bis 12 beschrieben werden, zusammengebaut.
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Die 4 zeigt
zwei Verbindungsblöcke 31, 33 und
das Nebenkanal-Verbindungselement 32, das dazwischen angebracht
ist. Mit Bezug auf die Zeichnung ist jeder der Verbindungsblöcke 31, 33 in
seiner Oberfläche
mit zwei Kanalöffnungen 114 an
gegenüberliegenden
Enden des Vförmigen
Kanals 31a (33a) versehen, welche Seite an Seite
angebracht sind, und mit einem Paar von Gewindebohrungen 106 an der
jeweiligen Vorder- und Rückseite
jeder Kanalöffnung 114 versehen,
um das Schaltventil 7 zu befestigen. Jeder der Verbindungsblöcke 31, 33 ist
ferner mit zwei Bolzeneinsatzlöchern 107,
um die Bolzen dort hineinzubringen und die Verbindungsblöcke 31 (33)
an der Grundplatte 108 zu befestigen, versehen. Die Einsatzlöcher 107 sind
jeweils an einer Position, die von den Kanalöffnungen 114 und den
vorderen Gewindebohrungen 106 umgeben ist, und an einer Position,
die von den Kanalöffnungen 114 und
den hinteren Gewindebohrungen 106 umgeben ist, vorgesehen.
Das Nebenkanal-Verbindungselement 32 ist an seiner Oberseite
mit der Öffnung 114 des
Nebenkanals und einem Paar von Gewindebohrungen 106 an
der jeweiligen Vorder- oder Rückseite
der Kanalöffnung 114,
um das Ventil 7 anzubringen, versehen. Das Verbindungselement 32 hat
ferner ein Bolzeneinsatzloch 107, um den Bolzen 110 dort
hineinzubringen, um die Verbindung 32 an der Grundplatte 108 zu
befestigen. Das Einsatzloch 107 ist einzeln zwischen der
Kanalöffnung 114 und
der vorderen Gewindebohrung 106 versehen. Die vorderen
Gewindebohrungen 106 der Verbindungselemente 31, 32, 33 sind
von links nach rechts ausgerichtet. Dies gilt auch für jede Gruppe
der anderen Löcher, Öffnungen
und Bohrungen, zum Beispiel die Fronteinsatzlöcher 107, die Öffnungen 114,
die hinteren Einsatzlöcher 107 und
die hinteren Gewindebohrungen 106. Bei jedem Paar von unmittelbar
benachbarten Verbindungselementen 31, 32, 33 sind
die Gewindebohrungen 106 an den jeweiligen Ecken eines
Rechteckes angeordnet. Ein kleiner Zwischenraum ist zwischen den
Verbindungselementen 31, 32, 33 so vorgesehen
worden, daß die
Verbindungselemente beweglich sind, wenn sie installiert werden.
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Wie in 5 gezeigt
ist, werden die Verbindungselemente 31, 32, 33 an
der Grundplatte 108, welche mit Gewindebohrungen 109 und
mit Befestigungsbolzen für
die Verbindungselemente 110 versehen sind, befestigt, und
wird das Schaltventil 7 danach so an den Verbindungselementen 31, 32, 33 angebracht,
daß die
Verbindungselemente miteinander verbunden werden.
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Das Bolzeneinsatzloch 107 von
jedem der Verbindungselemente 31 bis 33 umfaßt einen
Bereich 107a mit einem großen Durchmesser, der einen größeren Durchmesser
als der Kopf 110a des Befestigungsbolzen für die Verbindungselemente 110 hat, und
einen Bereich 107b mit einem kleinen Durchmesser, der einen
Durchmesser zwischen dem Durchmesser des Bolzenkopfes 110a und
dem Durchmesser des Schafts 110b des Bolzens hat, wie unter
Bezug auf die 5 zu sehen
ist. Ein zylindrisches Distanzstück 111,
das ein oberes Ende, welches in dem Bereich 107a mit großem Durchmesser positioniert
ist, und ein unteres Ende, welches von der Grundplatte 108 getragen
wird, hat, ist in den Bereich 107b des Einsatzlochs 107 mit
kleinem Durchmesser eingesetzt. Das Distanzstück 111 hat einen inneren
Durchmesser, der größer als
der Durchmesser des Bolzenschafts 110b ist, und einen äußeren Durchmesser,
der kleiner als der Durchmesser des Bolzenkopfes 110a ist.
Der Bolzenschaft 110b ist in das Distanzstück 111 eingesetzt,
und der Bolzenkopf 110a wird von der Seite des oberen Endes
des Distanzstückes 111 getragen.
Das Distanzstück 111 bestimmt
die Stärke
des Festziehens des Bolzens 110. Wenn der Bolzen 110,
der durch das Einsatzloch 107 eingebracht wird, in die
Gewindebohrung 109 der Grundplatte 108 geschraubt
wird, stützt
das Distanzstück 111,
das von der Grundplatte 108 getragen wird, den Kopf 110a ab,
um ein weiteres Festziehen zu verhindern. Eine ringförmige Unterlegscheibe 112 aus
Gummi, die einen Außendurchmesser
hat, der ungefähr
gleich dem Durchmesser des Bolzenkopfes 110a ist, ist um
das obere Ende des Distanzstückes 111 gelegt.
Die Gummiunterlegscheibe 112 wird zwischen dem Bolzenkopf 110a und
dem abgestuften Bereich 107c des Einsatzloches 107 gehalten.
Die vertikale Länge
der Gummiunterlegscheibe 112 ist so bemessen, daß die Unterlegscheibe 112 einer
komprimierenden Kraft ausgesetzt ist, wenn der Bolzen 110 festgezogen
wird, wie in 5 gezeigt
ist. Entsprechend werden die Verbindungselemente 31, 32, 33 durch
die verwendeten Gummiunterlegscheiben 112 in Richtung der
Grundplatte 108 gedrückt.
Die Gummiunterlegscheiben 112 besitzen Elastizität und können deswegen
durch Druck weiter deformiert werden, wobei die Verbindungselemente 31, 32, 33 beweglich
gegenüber
der Grundplatte 108 belassen werden. Da das Schalt ventil 7 an
die Verbindungselemente 31, 32, 33 mit
den Bolzen 110 befestigt ist, werden folglich die Verbindungselemente 31 bis 33 sogar
dann nah an das Ventil 7 gebracht, wenn die Verbindungselemente 31 bis 33 nicht
an ihrer Oberfläche
miteinander gefluchtet sind. Dies beläßt die Bolzen 110 einfach
zu befestigen, wobei alle Dichtungen 76 einem entsprechenden
Druck ausgesetzt werden können,
um die Abdichtung zu gewährleisten.
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Um die Befestigungsbolzen für die Verbindungselemente 110 einfach
in die Gewindebohrungen 109 der Grundplatte 108 einsetzbar
zu machen, wird ein Zwischenraum zwischen den Bolzen und dem Distanzstück 111 vorgesehen.
Wenn der Zwischenraum z. B. 0,5 mm ist, unterscheidet sich der Abstand
zwischen zwei der Verbindungselemente 31, 32, 33 um
1 mm, wenn sie am nächsten
und am entferntesten positioniert sind. Wenn das Ventil 7 darüber positioniert
ist und an den Verbindungselementen 31 bis 33 angebracht
wird, bringt der Unterschied die Möglichkeit mit sich, daß die Kanalöffnungen
des Ventils 7 nicht zu den entsprechenden Kanalöffnungen
der Verbindungselemente 31 bis 33 ausgerichtet sind,
was zu einer gestörten
Abdichtung führt.
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Es wird ein Verfahren beschrieben
werden, um die Verbindungselemente (untere Elemente) anzubringen,
ohne solche Unterschiede zu erzeugen, indem man Abstandhaltevorrichtungen 81, 91, 121 und
Rechter-Winkel-Haltevorrichtungen 84, 94 verwendet.
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Wie unter Bezug auf die 6 zu sehen ist, hat die
Abstandhaltevorrichtung 81 einen rechteckigen parallelepipedalen
Körper 81a,
der an seiner Unterseite mit drei Vorsprüngen 82, die Seite
an Seite angeordnet sind, versehen ist, und einen Griff 83 in der
Form eines Stabes, der an der Oberseite des Körpers 81a vorgesehen
ist. Die Vorsprünge 82 sind jeweils
in die rechte Gewindebohrung 106 des linken Verbindungsblocks 31,
in die Gewindebohrung 106 des Nebenkanal-Verbindungselements 32 und
die linke Gewindebohrung 106 des rechten Verbindungsblocks 33 einsetzbar
und sind in Abständen
angeordnet, die einem vorbestimmten Intervall zwischen den Bohrungen 106 der
benachbarten Verbindungselemente 31, 32, 33 entsprechen.
Die Rechter-Winkel-Haltevorrichtung 84 hat die Form eines
quadratischen Rahmens, der ein Innenmaß hat, das der links-nach-rechts-Länge des
Körpers 81a der
Abstandhaltevorrichtung 81 entspricht. Das Innenmaß entspricht
dem Intervall zwischen den vorderen und hinteren Gewindebohrungen 106 plus
der Länge
des Körpers 81a der
Abstandhaltevorrichtung 81 von der Vorder- zur Rückseite.
Die Rechter-Winkel-Haltevorrichtung 84 ist innen so geformt,
daß sie
in ihr die Körper 81a der
zwei Abstandhaltevorrichtungen 81 unterbringt, deren Vorsprünge 82 in
die entsprechenden Gewindebohrungen 106 eingesetzt sind.
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Um die Verbindungselemente 31 bis 33 an der
Grundplatte 108 zu befestigen, wird der Befestigungsbolzen
für die
Verbindungselemente 110 durch jedes der Bolzeneinsatzlöcher 107 von
jedem der Verbindungselemente 31 bis 33 zusammen
mit dem Distanzstück 111 und
der Gummiunterleg scheibe 112 eingebracht und leicht in
die entsprechenden Gewindebohrungen 109 der Grundplatte 108 eingeschraubt,
um die Verbindungselemente vorläufig
an der Platte 108 in einem solchen Maße zu halten, daß sie nicht
von ihr entfernt werden können.
Als nächstes
wird die Abstandhaltevorrichtung 81 dazu verwendet, ihre
Vorsprünge 82 in
die jeweiligen hinteren Gewindebohrungen 106 der Verbindungselemente 31 bis 33 einzusetzen
[siehe 6,(a)]. Eine andere Abstandhaltevorrichtung 81 wird
dann dazu verwendet, ihre Vorsprünge 82 an
die jeweiligen vorderen Gewindebohrungen 106 der Verbindungselemente 31 bis 33 einzusetzen
[siehe 6,(b)], wobei das Intervall zwischen den
Gewindebohrungen 109 der Verbindungselemente 31 bis 33 so
bemessen ist, daß es
zum vorbestimmten Wert paßt.
Wenn jedoch die Gewindebohrungen 109 der Verbindungselemente 31 bis 33 nur
durch das vorbestimmte Intervall voneinander beabstandet sind, werden
sich die Verbindungselemente 31 bis 33 vorwärts und
rückwärts bewegen,
mit der Möglichkeit,
daß eine
Linie durch die Mitten der Bohrungen 106, die von links
nach rechts angeordnet sind, keinen rechten Winkel mit einer Linie
durch die Mitten der vorderen und hinteren Bohrungen 106 ausbilden
wird. Um diese Winkelabweichung zu vermeiden, wird die Rechter-Winkel-Haltevorrichtung 84 in
der Form eines quadratischen Rahmens danach um die Körper 81a der
zwei Abstandshaltevorrichtungen 81 gelegt [siehe 6,(c)und (d)],
wobei die linken und rechten Endseiten der Körper 81a der Abstandhaltevorrichtungen 81 in
Kontakt mit den jeweiligen linken und rechten inneren Seiten der
Vorrichtung 84 gebracht werden, was der Linie durch die
Mitten der Boh rungen 106, die von links nach rechts angeordnet
sind, erlaubt, einen rechten Winkel mit der Linie durch die Mitten
der vorderen und hinteren Bohrungen 106 zu bilden. In diesem
Zustand wird der hexagonale Sockel 110c jedes Befestigungsbolzen 110 exponiert
zurückgelassen,
ohne durch die Abstandhaltevorrichtung 81 und die Rechter-Winkel-Haltevorrichtung 84 bedeckt
zu werden, wie in 7 zusehen
ist, was erlaubt, daß der
Bolzen 110 mit einem Schraubenschlüssel festgezogen wird. Dementsprechend
wird jeder Bolzen 110 mit einem Schraubenschlüssel festgezogen,
um das volle Festziehen zu erreichen. Die Vorrichtungen 81, 84 sind aufwärts wegnehmbar.
In dieser Weise werden die drei Verbindungselemente 31 bis 33 so
an der Grundplatte 108 befestigt, daß sie durch ein vorbestimmtes Intervall
voneinander beabstandet sind. Wenn das Schaltventil 7 an
den Verbindungselementen 31 bis 33 angebracht
ist, sind die Kanalöffnungen
des Schaltventils 7 entlang der entsprechenden Kanalöffnungen 114 der
Verbindungselemente 31 bis 33 verläßlich so
wie vorgeschrieben ausgerichtet, so daß das Problem der gestörten Dichtung
eliminiert wird.
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Die Komponenten können mit demselben Vorteil
zusammengebaut werden, indem die Abstandhaltevorrichtung 91,
die in 8 gezeigt ist
und die zwei Vorsprünge 92 hat,
anstatt der Abstandhaltevorrichtung 81, die drei Vorsprünge 82 hat
und in den 6 und 7 gezeigt ist, verwendet
wird. Unter Bezug auf 8 besitzt
die Abstandhaltevorrichtung 91 einen rechteckigen parallelepipedalen
Körper 91a,
der an seiner Unterseite mit zwei Vorsprüngen 92 versehen ist,
die Seite an Seite angeordnet sind, und einen Griff 93 in
der Form eines Stabes, der an der Oberseite des Körpers 91a vorgesehen
ist. Die Vorsprünge 92 sind
in Abständen
voneinander angebracht, die dem vorbestimmten Intervall zwischen den
Bohrungen 106 der benachbarten Verbindungselemente 31, 32, 33 entsprechen.
Die Vorrichtung 91 hat eine Länge von links nach rechts,
welche um den Betrag, welcher dem Unterschied in der Anzahl der Vorsprünge 92 entspricht,
kürzer
als die Vorrichtung 81 ist. Dementsprechend hat die Rechter-Winkel-Haltevorrichtung 94,
die die Form eines rechteckigen Rahmens hat, eine kürzere Länge von
links nach rechts.
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Um diese Vorrichtungen 91, 94 zu
verwenden, werden zuerst der linke Verbindungsblock 31 und
die Nebenkanal-Verbindungselemente 32 an
der Grundplatte 108 befestigt. Der Befestigungsbolzen für die Verbindungselemente 110 wird
durch jedes der Bolzeneinsatzlöcher 107 von
jedem der Verbindungselemente 31, 32 zusammen
mit dem Distanzstück 111 und
der Gummiunterlegscheibe 112 eingebracht und wird leicht
in die entsprechende Gewindebohrung 109 der Grundplatte 108 eingeschraubt,
um die Verbindung vorläufig
an der Platte 108 in einem solchen Maße zu halten, daß sie nicht
von ihr entfernt werden kann. Als nächstes wird die Abstandhaltevorrichtung 91 dazu
verwendet, die Vorsprünge 92 in
die entsprechenden hinteren Gewindebohrungen 106 der Verbindungselemente 31, 32 [siehe 8, (a)] einzusetzen. Eine andere Abstandhaltevorrichtung 91 wird
dann dazu verwendet, die Vorsprünge 92 daran
in die jeweiligen vorderen Gewindebohrungen 106 der Verbindungs elemente 31, 32 [siehe 8, (b)] einzusetzen. Die Rechter-Winkel-Haltevorrichtung 94 in
der Form eines rechteckigen Rahmens wird danach um die Körper 91a der
zwei Abstandhaltevorrichtungen 91 [siehe 8(c) und (d)]
gelegt, wobei das Intervall zwischen den Gewindebohrungen 109 der
Verbindungselemente 31, 32 so bemessen ist, daß es zu
dem vorbestimmten Wert paßt,
um zu erlauben, daß eine
Linie durch die Mitten der Bohrungen 106, die Seite an
Seite angeordnet sind, einen rechten Winkel mit der Linie durch
die Mitten der vorderen und hinteren Bohrungen 106 bildet.
In diesem Zustand wird jeder Befestigungsbolzen für die Verbindungselemente 110 mit
einem Schraubschlüssel
festgezogen, um das volle Festziehen zu erreichen. Als nächstes wird
der Befestigungsbolzen für die
Verbindungselemente 110 durch jedes der Bolzeneinsatzlöcher 107 des
rechten Verbindungsblocks 33 zusammen mit dem Distanzstück 111 und
der Gummiunterlegscheibe 112 eingebracht und leicht in die
entsprechende Gewindebohrung 109 auf der Grundplatte 108 eingeschraubt,
um die Verbindung auf der Platte 108 vorläufig in
solch einem Maße
zu halten, daß sie
nicht von ihr entfernt werden kann. Die Abstandhaltevorrichtung 91 wird
verwendet, um ihre Vorsprünge 92 in
die hinteren Gewindebohrungen 106 der Nebenkanal-Verbindungselemente 32 und
des Verbindungsblocks 33 einzusetzen. Durch dieselben Schritte,
wie sie in 8, (a), (b), (c) und (d) gezeigt sind, kann der
rechte Verbindungsblock 33 an der Grundplatte 108 so
befestigt werden, daß das
Intervall zwischen den Gewindebohrungen 109 der Verbindungselemente 32, 33 so
gemacht ist, daß es
zum vorbestimmten Wert paßt,
und erlaubt, daß eine
Linie durch die Mitten der Bohrungen 106, die Seite an
Seite angeordnet sind, einen rechten Winkel mit einer Linie durch
die Mitten der vorderen und hinteren Bohrungen 106 bildet.
Wenn die benachbarten Verbindungselemente unterschiedlich in ihrer
Länge von
links nach rechts sind, nämlich,
wenn die Verbindungsblöcke 31, 33 miteinander
verbunden werden oder wenn die Verbindungsblöcke 31, 33 mit
dem Nebenkanal-Verbindungselement 32 verbunden werden sollen,
sind dieselbe Vorrichtung 91, die zwei Vorsprünge 92 hat,
und die Vorrichtung 94 für die Befestigung der Verbindungselemente 31, 32, 33 zum
Befestigen an der richtigen Stelle verwendbar.
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Die 9 bis 12 werden nicht als eine
Ausführungsform
der Erfindung vorgestellt, sondern als Beispiele, welche nützlich zum
Verständnis
der Erfindung sind. Sie zeigen ein Verfahren, um die linken und
rechten Verbindungsblöcke
(untere Elemente) 33, 34, die ungefähr 100 mm
voneinander beabstandet sind und die durch die Massendurchflußsteuerung 3 verbunden
sind, zu befestigen. Dieses Verfahren verwendet lediglich eine Abstandhaltevorrichtung 121.
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Die linken und rechten Verbindungsblöcke 33, 34 haben
Kanalöffnungen 114 an
den gegenüberliegenden
Enden der jeweiligen V-förmigen
Kanäle 33a, 34a,
Gewindebohrungen 106, um die Massendurchflußsteuerung 3 an
diesen Verbindungselementen 33, 34 anzubringen,
und Bolzeneinsatzlöcher 107,
um die Befestigungsbolzen für
die Verbindungselemente 110 zum Befestigen der Verbindungselemente 33, 34 an
der Grundplatte 108 einzubringen. Die Abstandhaltevorrichtung 121 hat
die Form einer rechteckigen Platte und ist an ihrer Unterseite mit
einem Vorsprung 122 versehen, der in die Kanalöffnung 114 des
linken Verbindungselements 33 einsetzbar ist, und mit einem
Vorsprung 122 versehen, der in die Kanalöffnung 114 des
rechten Verbindungselements 34 einsetzbar ist. Der Abstand
zwischen den Vorsprüngen 122 ist
dem vorbestimmten Intervall entsprechend zwischen den benachbarten Öffnungen 114 der
zwei Verbindungselemente 33, 34 gemacht. Die Vorrichtung 121 ist
an ihren vier Ecken mit Löchern 123 versehen,
die paßgenau
mit den jeweiligen rechten Gewindebohrungen 106 des linken Verbindungselements 33 positionierbar
sind, und mit Löchern 123 versehen,
die paßgenau
mit den linken Gewindebohrungen 106 des rechten Verbindungselements 34 positionierbar
sind, wenn die Vorrichtung 121 an die zwei Verbindungselemente 33, 34 angepaßt wird.
In den gegenüberliegenden
linken und rechten Ecken der Vorrichtung 121 sind halbkreisförmige Ausschnitte 124 versehen,
so daß die
Vorrichtung 121 die Bolzeneinsatzlöcher 107 der Verbindungselemente 33, 34 nicht
schließt,
wenn sie an die Verbindungselemente 33, 34 angepaßt wird.
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Um die Verbindungselemente 33, 34 an
der richtigen Position unter Verwendung der Abstandhaltevorrichtung 121 zu
befestigen, wird der Verbindungselement-Befestigungsbolzen 110 durch
jedes der Bolzeneinsatzlöcher 107 von
jedem der Verbindungselemente 33, 34 zusammen
mit dem Distanzstück 111 und
der Gummiunterlegscheibe 112 eingebracht und leicht in
die entsprechende Gewindebohrung 109 auf der Grundplatte 108 eingeschraubt,
um die Verbindung vorläufig
auf der Grundplatte 108 in solch einem Maße zu erhalten,
daß sie
nicht entfernt werden kann. Als nächstes wird die Abstandhaltevorrichtung 121 verwendet,
um ihre Vorsprünge 122 in die
jeweiligen benachbarten Kanalöffnungen 114 der Verbindungselemente 33, 34 einzusetzen,
wobei die Kanalöffnungen 114 der
beiden Verbindungselemente 33, 34 in Abstand voneinander
gehalten werden, wobei der hexagonale Sockel 110c von jedem
Bolzen 110 exponiert belassen wird, wie in 12 zu sehen ist. In diesem Zustand wird
die Massendurchflußsteuerung 3 an
ihrem Platz mit Bolzen 113 befestigt, und die Befestigungsbolzen
für die
Verbindungselemente 110 werden mit einem Schraubenschlüssel festgezogen,
um das volle Festziehen zu erreichen.
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Das beschriebene Verfahren wird nicht
garantieren, daß eine
Linie durch die Mitten der Gewindebohrungen 106, die Seite
an Seite angeordnet sind, rechtwinklig zu einer Linie durch die
Mitten der vorderen und hinteren Gewindebohrungen 106 ist, aber
sie garantiert eine Befestigung der Verbindungselemente 33, 34 passend
mit den Kanalöffnungen 114,
die genau voneinander beabstandet gehalten werden. Diese Eigenschaft
ist wichtig für
die Abdichtung. Das beschriebene Verfahren ist nicht nur nützlich für das Befestigen
der linken und rechten Verbindungsblöcke 33, 34,
sondern auch nützlich
für die
Befestigung der Verbindungselemente 31, 32, 33, wie
es in 4 gezeigt ist.
Die Vorsprünge 122 der Abstandshaltevorrichtung 121 können, obwohl
sie in die Kanalöffnungen 114 eingepaßt sind, alternativ
in die Gewindebohrungen 106 eingesetzt werden. Genauer
gesagt, können
die nach unten weisenden Vorsprünge
an Orten erzeugt werden, wo die Löcher 123 erzeugt sind.
Dies stellt sicher, daß eine
Linie durch die Mitten der Gewindebohrungen 106, die Seite
an Seite angeordnet sind, einen rechten Winkel mit einer Linie durch
die Mitten der vorderen und hinteren Bohrungen 106 bildet.