DE69825363T2 - Verfahren zur Schwingungswellenfeststellung und Schwingungswellendetektor - Google Patents

Verfahren zur Schwingungswellenfeststellung und Schwingungswellendetektor Download PDF

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    • G01HMEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
    • G01H11/00Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties
    • G01H11/06Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties by electric means
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
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    • G01H3/00Measuring characteristics of vibrations by using a detector in a fluid
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Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Vibrationswellen-Detektierverfahren/einen Vibrationswellendetektor zum Detektieren der Charakteristiken der sich in einem Medium fortzupflanzenden Vibrationswellen, wie z. B. Schallwellen.
  • Beschreibung der verwandten Technik
  • Beim herkömmlichen System zum Ausführen der Spracherkennung werden Vibrationen eines Mikrofons, das Sprachsignale empfangen hat, von einem Verstärker in elektrische Signale konvertiert/verstärkt, und dann werden die analogen Signale zum Erhalt digitaler Sprachsignale von einem A/D-Konverter in digitale Signale konvertiert. Die schnelle Fourier-Transformation wird von einer auf einem Computer laufenden Software an die digitalen Sprachsignale angelegt, um die Sprachmerkmale zu extrahieren. Ein solches oben beschriebenes Spracherkennungssystem ist im IEEE Signal Processing Magazine, Vol. 13, Nr. 5, S. 45-57 (1996) beschrieben.
  • Zum effizienteren Extrahieren der Merkmale der Sprachsignale ist es erforderlich, akustische Spektren innerhalb einer Zeitspanne zu berechnen, in der die Sprachsignale als stationär angesehen werden. Das Sprachsignal wird normalerweise innerhalb einer Zeitspanne von 10 bis 20 mSek. als stationär angesehen. Daher wird eine Signalbearbeitung, wie z. B. eine schnellen Fourier-Transformation o. dgl., von der auf dem Computer laufenden Software an den in der Zeitspanne von 10 bis 20 mSek. auftretenden digitalen Sprachsignalen durchgeführt.
  • Beim herkömmlichen oben beschriebenen Spracherkennungsverfahren werden die Sprachsignale einschließlich der gesamten Momentanzonen von einem Mikrofon in elektrische Signale konvertiert. Zum Analysieren der Spektren der elektrischen Signale werden durch die A/D-Konvertierung die Frequenzen in Digitalfrequenzen umgewandelt. Die digitalen Sprachsignaldaten werden mit den vorbestimmten Sprachwellendaten verglichen, um die Sprachmerkmale zu extrahieren.
  • Ein auditiver Mechanismus und schallpsychologische physikalische Eigenschaften sind von der Ohm Company Co., 1992 in "Neuro Science & Technology Series Speech Auditory and Neuro Circuit Network Model" (S. 116-125) von Seiichi Nakagawa, Kiyohiro Shikano, Youichi Toukura unter Supervision von Shunichi Amari genauer beschrieben worden. Diese Veröffentlichung zeigt, dass das Maß der für Menschen hörbaren Tonhöhe dem Maß einer Mel-Skala linear entspricht, statt einer Frequenz als physikalischem Wert linear zu entsprechen. Die Mel-Skala, ein psychologisches Attribut (psychologisches Maß), das die von einer Skala angezeigte Tonhöhe repräsentiert, ist eine Skala, bei der die als Tonhöhe bezeichneten Frequenzintervalle, die in gleichen Intervallen für Menschen hörbar sind, direkt nummeriert sind. Die Tonhöhe von 1000 Hz, 40 Phon ist als 1000 Mel definiert. Ein akustisches Signal von 500 Mel ist als Ton mit 0,5-mal der Tonhöhe hörbar. Ein akustisches Signal von 2000 Mel ist als Ton mit doppelter Tonhöhe hörbar. Der Mel-Skala kann sich mittels der folgenden Gleichung (1) durch Anwendung der Frequenz f [Hz] als physikalischem Wert angenähert werden. Ferner ist die Beziehung zwischen der Tonhöhe [Mel] und der Frequenz [Hz] in der Näherungs-Gleichung in 1 dargestellt. Mel = (1000/log2) log (f/1000 + 1) (1)
  • Zum effizienteren Extrahieren der Sprachmerkmale werden häufig die Frequenzbänder der akustischen Spektren in solche Mel-Skalen konvertiert. Die Konvertierung der akustischen Spektren in die Mel-Skala wird normalerweise wie die Spektrumanalyse von der auf dem Computer laufenden Software durchgeführt.
  • Ferner werden zum effizienteren Extrahieren der Sprachmerkmale häufig die Frequenzbänder der akustischen Spektren in eine Bark-Skala konvertiert. Die Bark-Skala ist ein der Lautstärke des psychologischen Tons eines Menschen entsprechendes Maß. Bei Tönen eines bestimmten Grads oder eines darüber liegenden Grads zeigt die Bark-Skala die für Menschen hörbare Frequenzbandbreite (die als kritische Bandbreite bezeichnet wird) an, und Töne innerhalb der kritischen Bandbreite sind, selbst wenn sie stark voneinander differieren, dennoch hörbar. Wenn beispielsweise laute Geräusche innerhalb der kritischen Bandbreite auftreten, handelt es sich bei der Skala, die das Frequenzband anzeigt, dessen Signaltöne plus der dazugehörigen Geräusche trotz unterschiedlicher Frequenzen von dem menschlichen Gehörsystem nicht bewertet werden können, um die Bark-Skala.
  • In einem Bereich der Sprachsignalverarbeitung ist eine kritische Bandbreite, die auf einfache Weise von dem Computer bearbeitet werden kann, erforderlich, und folglich ist die Frequenzachse der akustischen Spektren in einer Bark-Skala gezeigt, bei der ein kritisches Band als ein Bark definiert ist. 2 zeigt die Zahlenwert-Beziehung zwischen der kritischen Bandbreite und der Bark-Skala. Der kritischen Bandbreite kann sich durch die folgenden Gleichungen (2) und (3) unter Anwendung der Frequenz f [kHz] als physikalischem Wert angenähert werden. Kritische Bandbreite: CB [Hz] = 25 + 75 (1 + 1,4 f2)0,69 (2) Bark-Skala: B [Bark] = 13tan-1(0,76f) + 3,5tan-1(f/7,5) (3)
  • Es ist gängige Praxis, ein Entwicklungsfunktionsmodell des peripheren Hörsystems auf dem Gebiet der Spracherkennung anzuwenden, und das Konzept des Modells ist in "Neuro Science & Technology Series Speech Auditory and Neuro Circuit Network Model" (S. 162-171) genauer beschrieben. Bei dem Entwicklungsfunktionsmodell wird die Frequenzspektrumanalyse von Bandbreiten-Filtergruppen vorverarbeitet. Beispielsweise wird bei der Vorverarbeitung an einem Seneff-Modell, das eines der repräsentativen Funktionsmodelle ist, die Frequenzspektrumanalyse von den Kritisch-Bandbreiten-Filtergruppen mit vierzig unabhängigen Kanälen im Frequenzbereich von 130 bis 6400 Hz durchgeführt. Dabei wird das Frequenzband der akustischen Spektren in die Bark-Skala konvertiert.
  • Die Konvertierung in die Bark-Skala kann normalerweise wie die andere Spektrumanalyse von der auf dem Computer laufenden Software durchgeführt werden.
  • Beim herkömmlichen Verfahren zum Durchführen der schnellen Fourier-Transformation an dem digitalen Schallsignal unter Verwendung der auf dem Computer laufenden Software zum Analysieren der Schallsignalspektren wird der Berechnungsumfang so immens, dass die Berechnungslast größer wird. Selbst beim Durchführen der schnellen Fourier-Transformation an den Schallsignalspektren und Durchführen der Konvertierung in die Mel-Skala mittels der auf dem Computer laufenden Software wird der Berechungsumfang so immens, dass die Berechnungslast größer wird. Selbst bei der Analyse der Schallsignalspektren in den Frequenzspektren durch die Kritisch-Bandbreiten-Filtergruppen und Konvertieren in die Bark-Skala durch die auf dem Computer laufende Software wird der Berechnungsumfang immens und die Berechnungslast groß.
  • Bei den herkömmlichen Verfahren gibt es keine Probleme mit der Sprache, wenn sich die akustischen Spektren nicht mit der Zeit verändern, z. B. wenn nur Vokaltöne auftreten. Eine Sprache setzt sich jedoch aus Konsonanttönen und Vokaltönen zusammen. Wenn ein Konsonantton zuerst auftritt und ein Vokalton als zweiter Ton auftritt, wie es generell beim Japanischen der Fall ist, wird die Betonung des Vokaltons mit der Zeit immer stärker. Das Englische ist aus komplizierten Konsonanttönen und Vokaltönen zusammengesetzt. In diesen Fällen war es bisher schwierig zu beurteilen, wann die Töne von Konsonanttönen zu Vokaltönen übergingen, und da die Sprache unmittelbar aufgenommen worden ist, wurden die akustischen Spektren des gesamten Bands durch Teilung für jede Zeitkonstante zwecks Analysierens der Sprache integriert. Dadurch wurde das Bewertungsverhältnis bei der Spracherkennung reduziert. Zur Lösung der Probleme werden zuvor viel mehr Sprachmuster im Computer gespeichert und an diese Sprachmuster angelegt, wodurch sich die Berechnungslast noch weiter vergrößert.
  • In DE-A-37 03 946 ist eine Vorrichtung zum Detektieren von Schallvibrationen beschrieben, bei der freitragende Resonatoren verwendet werden, die bei individuellen Frequenzen in Resonanz treten. Dadurch können einzelne Spektrumkomponenten eines Eingangstons detektiert werden.
  • KURZER ZUSAMMENFASSENDER ÜBERBLICK ÜBER DIE ERFINDUNG
  • Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist das Schaffen eines Vibrationswellen-Detektierverfahrens und eines Detektors, der in der Lage ist, die Frequenzspektrumanalyse der Vibrationswellen schnell und akkurat auf einer Hardware durchzuführen.
  • Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist das Schaffen eines Schallwellen-Detektierverfahrens und eines Detektors, der in der Lage ist, die Schallsignaldetektierung und die Frequenzspektrumanalyse schnell und akkurat auf einer Hardware durchzuführen.
  • Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist das Schaffen eines Schallwellen-Detektierverfahrens und eines Detektors, der in der Lage ist, die Schallsignaldetektierung, die Frequenzspektrumanalyse und die Konvertierung (Konvertierung in die Mel-Skala oder die Bark-Skala) der Frequenzskala schnell und akkurat auf einer Hardware durchzuführen.
  • Erfindungsgemäß wird ein Vibrationswellen-Detektierverfahren mit folgenden Schritten bereitgestellt:
    Empfangen von sich in einem Medium fortzupflanzenden Vibrationswellen durch einen Empfänger;
    Fortpflanzenlassen der empfangenen Vibrationswellen von einem Ende eines Stabs zu dem anderen Ende des Stabs;
    Fortpflanzenlassen der empfangenen Vibrationswellen in mehrere freitragende Resonatoren, die jeweils eine derartige Länge aufweisen, dass sie bei einer individuellen vorbestimmten Frequenz in Resonanz treten;
    Detektieren der Vibrationsstärke für jede vorbestimmte Frequenz jedes Resonators;
    Konvertieren der detektierten Vibrationsstärke in elektrische Signale für jede vorbestimmte Frequenz;
    Integrieren der konvertierten elektrischen Signale während einer Zeitspanne; und
    Ausgeben der Integrationsergebnisse für jede vorbestimmte Frequenz nach Ablauf der Zeitspanne.
  • Die Erfindung stellt ferner einen Vibrationswellendetektor bereit, der aufweist:
    einen Empfänger zum Empfangen von sich in einem Medium fortzupflanzenden Vibrationswellen;
    eine Resonatoreinheit mit mehreren freitragenden Resonatoren, die jeweils eine derartige Länge aufweisen, dass sie bei einer individuellen vorbestimmten Frequenz in Resonanz treten;
    eine Haltestange zum Halten der Resonatoreinheit;
    einen Vibrationsstärkendetektor zum Detektieren der Vibrationsstärke jedes Resonators anhand der von dem Empfänger empfangenen und über die Haltestange in die Resonatoreinheit fortgepflanzten Vibrationswellen;
    eine Konvertiervorrichtung zum Konvertieren der detektierten Vibrationsstärke in elektrische Signale für jede vorbestimmte Frequenz;
    eine Integriervorrichtung zum Integrieren der konvertierten elektrischen Signale während einer Zeitspanne zum Erzeugen eines Integrationsergebnisses für jede vorbestimmte Frequenz; und
    eine Ausgabevorrichtung zum Ausgeben der von der Integriervorrichtung integrierten Ergebnisse für jede vorbestimmte Frequenz nach Ablauf der Zeitspanne.
  • Die Bandbreite der Resonanzfrequenz in jedem Resonator kann auf einen vorbestimmten Wert eingestellt werden, wobei die Distanz zwischen zwei benachbarten Resonatoren unterschiedlich ist.
  • Der erfindungsgemäße Schallwellendetektor, bei dem die sich in dem Medium fortzupflanzenden Vibrationswellen Schallwellen sind, kann derart eingestellt werden, dass die Resonanzfrequenzen in mehreren Resonatoren in einer Mel- Skala verteilt werden können. Die jeder Resonanzfrequenz entsprechende Bandbreite ist eine kritische Bandbreite.
  • Der erfindungsgemäße Schallwellendetektor, bei dem die sich in dem Medium fortzupflanzenden Vibrationswellen Schallwellen sind, kann derart eingestellt werden, dass die Resonanzfrequenzen in mehreren Resonatoren in einer Bark-Skala verteilt werden können. Die jeder Resonanzfrequenz entsprechende Bandbreite ist eine kritische Bandbreite.
  • Der erfindungsgemäße Schallwellendetektor kann als Mikrofon zum Eingeben von Musiknoten zwecks Erkennung von Musiknoten, ein Mikrofon zum Eingeben von Sprache zwecks Erkennung der Sprache und als Mikrofon zum Eingeben von anomalen Geräuschen zum Detektieren der anomalen Geräusche einer vorbestimmten Frequenz verwendet werden.
  • Der erfindungsgemäße Vibrationswellendetektor mit mehreren Resonatoren, die jeweils unterschiedliche Längen aufweisen, so dass jeder bei der vorbestimmten Frequenz in Resonanz tritt, überträgt die Vibrationswellen, die sich in dem Medium fortgepflanzt haben, zu diesen Resonatoren, so dass die Vibrationen jedes Resonators von dem Vibrationsstärkendetektor detektiert werden können. Die detektierte Vibrationsamplitude wird in elektrische Signale konvertiert, die in die Integriervorrichtung eingegeben werden, welche derart synchron mit einer Taktperiode arbeitet, dass die eingegebenen elektrischen Signale in einer solchen Periode integriert werden. Die Integrationsergebnisse können für jede Periode ausgegeben werden. In diesem Fall können die Integrationsergebnisse für eine vorbestimmte Frequenz oder für jede der mehreren vorbestimmten Frequenzen ausgegeben werden.
  • Der erfindungsgemäße Schallwellendetektor ist im wesentlichen gleich ausgeführt wie der oben beschriebene Vibrationswellendetektor. Er detektiert die Schallwellen, und die Resonanzfrequenz in jedem Resonator kann linear in der Mel-Skala statt in der mathematisch linearen Skala verteilt werden. Die Konfi guration jedes Resonators ist leicht bestimmbar, da die Ist-Resonanzfrequenz und die Mel-Skala einander entsprechen. Sie wird gemäß Gleichung (1) und 1 bestimmt. Nach dem Detektieren der Vibrationen an jedem Resonator gemäß der Mel-Skalen-Spezifikation durch den Vibrationsstärkendetektor erfolgt die Verarbeitung, die der durch den oben beschriebenen Vibrationswellendetektor erfolgenden im wesentlichen gleich ist, so dass der den Spektren der Schallsignale entsprechende physikalische Wert in der Mel-Skala detektiert werden kann.
  • Ein weiterer erfindungsgemäßer Schallwellendetektor weist eine Konfiguration auf, die der des oben beschriebenen Vibrationswellendetektors im wesentlichen gleich ist. Er detektiert die Schallwellen, und die Resonanzfrequenz in jedem Resonator kann linear in der Bark-Skala statt in der mathematisch linearen Skala verteilt werden, und die Bandbreite jeder Resonanzfrequenz kann zu einer kritischen Bandbreite gemacht werden. Die Konfiguration jedes Resonators ist leicht bestimmbar, da die Ist-Resonanzfrequenz und die Bark-Skala einander entsprechen. Die Grenzfrequenz zum Bestimmen der kritischen Bandbreite kann gemäß den Gleichungen (2) und (3) und 2 bestimmt werden. Nach dem Detektieren der Vibrationen an jedem Resonator gemäß der Bark-Skalen-Spezifikation durch den Vibrationsstärkendetektor erfolgt die Verarbeitung, die der durch den oben beschriebenen Vibrationswellendetektor erfolgenden im wesentlichen gleich ist, so dass der den Spektren der Schallsignale entsprechende physikalische Wert mit der kritischen Bandbreite in der Bark-Skala detektiert werden kann.
  • Bei dem erfindungsgemäßen Schallwellendetektor können die akustischen Spektren ohne Durchführung der analytischen Verarbeitung in Echtzeit erhalten werden, da die Schallstärke für jede gewünschte Frequenz detektierbar ist. Die Erfindung bietet aufgrund der mechanischen Analyse der Schallsignale auf diese Weise für jedes Frequenzband eine höhere Verarbeitungsgeschwindigkeit als das herkömmliche System zum Eingeben der Schallsignale des gesamten Bands zwecks elektrischen Filterns, da die elektrische Filterung bei der Erfindung nicht erforderlich ist. Ferner sind die Schalldaten vollständig, selbst wenn sie für beliebige Konstantzeitspannen aufgeteilt sind. Da die Schalldaten für jede Frequenz in einer Konstantzeitspanne erhalten werden, kann der Verlauf der Stärke jeder Frequenz mit Ablauf der Zeit erkannt werden. Beispielsweise kann die zeitliche Veränderung der Vokaltöne und der Konsonanttöne korrekt bewertet werden, um das Bewertungsverhältnis bei der Spracherkennung zu verbessern.
  • Die oben genannten und weitere Aufgaben und Merkmale der Erfindung werden anhand der folgenden detaillierten Beschreibung mit Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen besser verständlich.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER MEHREREN ANSICHTEN DER ZEICHNUNGEN
  • 1 zeigt eine grafische Darstellung der Beziehung zwischen der Ist-Frequenz und dem Mel-Skalen-Wert;
  • 2 zeigt eine Tabelle der Zahlenwert-Beziehung zwischen der kritischen Bandbreite und der Mel-Skala;
  • 3 zeigt eine Ansicht der Ausführungsform des erfindungsgemäßen Schallwellendetektors;
  • 4 zeigt eine schematische Darstellung einer Konfiguration einer Detektierschaltung in dem erfindungsgemäßen Schallwellendetektor;
  • 5 zeigt eine schematische Darstellung eines Zeitdiagramms der Detektierschaltung in dem erfindungsgemäßen Schallwellendetektor;
  • 6 zeigt eine schematische Darstellung der Beziehung jeder Detektierschaltung entsprechend einer vorbestimmten Frequenz;
  • 7 zeigt eine grafische Darstellung der Beziehung der Distanz zwischen den Resonatoren und der Bandbreite; und
  • 8 zeigt eine Ansicht der Beziehung zwischen Länge, Dicke, Breite und Distanz der Resonatoren in dem erfindungsgemäßen Schallwellendetektor.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung wird konkret anhand der die Ausführungsformen zeigenden Zeichnungen beschrieben. Ein Schallwellendetektor, bei dem die Schallwellen die Vibrationswellen sind, die sich in einem Medium fortpflanzen, wird nachstehend anhand von Ausführungsformen beschrieben.
  • (Erste Ausführungsform)
  • 3 zeigt eine Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Schallwellendetektors. Der erfindungsgemäße Schallwellendetektor weist einen Sensor-Hauptkörper 2, Elektroden 3 und Detektierschaltungen 4 als periphere Schaltungen auf, die auf einem Halbleiter-Siliziumsubstrat 1 ausgebildet sind. Der Sensor-Hauptkörper 2, dessen sämtliche Teile aus Halbleiter-Silizium gebildet sind, weist eine Resonatoreinheit 21 mit mehreren (sechs in 3) freitragenden Teilen, von denen jeder unterschiedlich lang ist, eine plattenförmige Haltestange 22, die die Resonanzeinheit 21 auf der stationären Seite der Resonanz hält, einen kurzen stangenförmigen Fortpflanz-Teil 23, der aufrecht an einem Endteil der Haltestange 22 angeordnet ist, und einen plattenförmigen Empfänger 24 auf, der mit dem Fortpflanz-Teil 23 verbunden ist, um die Schallwellen zu empfangen, die sich in der Luft fortpflanzen.
  • Die Resonatoreinheit 21 ist kammzahnförmig ausgebildet, so dass die jeweiligen Ausleger, bei denen es sich um kammzahnförmige Teile handelt, Resonatoren 25 bilden, von denen jeder längenmäßig eingestellt ist, um bei der vorbestimmten Frequenz in Resonanz zu treten. Die mehreren Resonatoren 25 sind zum selektiven Vibrieren entsprechend einer von der folgenden Gleichung (4) dargestellten Resonanzfrequenz f vorgesehen. f = (CHE1/2)/(L2 ρ1/2) (4)wobei C: die experimentell zu bestimmende Konstante
    H: die Dicke jedes Resonators
    L: die Länge jedes Resonators
    E: der Youngsche Materialmodul (Halbleiter-Silizium)
    ρ: die Materialdichte (Halbleiter-Silizium) ist.
  • Wie aus der vorstehenden Gleichung (4) hervorgeht, kann die Resonanzfrequenz f durch Verändern der Dicke H oder der Länge L des Resonators 25 auf einen gewünschten Wert eingestellt werden. Bei dem in 3 gezeigten Beispiel ist die Dicke H des gesamten Resonators 25 konstant ausgeführt und ist die Länge L derart eingestellt, dass sie von links nach rechts sequentiell größer wird, so dass jeder Resonator 25 eine natürliche Resonanzfrequenz aufweist. Konkret kann eine entsprechende Operation von der niedrigen Frequenz zu der hohen Frequenz innerhalb des Bereichs von ungefähr 15 Hz bis 20 kHz in einem hörbaren Band von links nach rechts durchgeführt werden.
  • Der Sensor-Hauptkörper 2 mit der oben beschrieben Konfiguration wird unter Anwendung eines Herstellverfahrens für integrierte Schaltungen oder unter Verwendung einer Mikromaschine auf dem Halbleiter-Siliziumsubstrat 1 aus gebildet. Bei einer solchen Konfiguration wird, wenn sich die Schallwellen zu dem Empfänger 24 fortpflanzen, der plattenförmige Empfänger 24 in Vibration versetzt, und die Vibrationen zeigen an, dass die Schallwellen über den Fortpflanz-Teil 23 derart zu der Haltestange 22 übertragen werden, dass die Schallwellenvibrationen in 3 von links nach rechts übertragen werden, während jeder Resonator 25 der Resonatoreinheit 21 dadurch bei der vorbestimmten Frequenz sequentiell in Resonanz tritt.
  • Eine angemessene Vorspannung Vbias wird an den Sensor-Hauptkörper 2 angelegt. Ein Kondensator ist aus einem vorderen Endteil jedes Resonators 25 der Resonatoreinheit 21 gebildet, und jede Elektrode 3 ist auf dem Halbleiter-Siliziumsubstrat 1 ausgebildet und gegenüber dem vorderen Endteil angeordnet. Der vordere Endteil des Resonators 25 ist eine bewegliche Elektrode, die sich aufgrund der Vibration des Resonators 25 vertikal in diese Position bewegt. Die Elektrode 3, die auf dem Halbleiter-Siliziumsubstrat 1 ausgebildet ist, ist eine feststehende Elektrode, die sich nicht in diese Position bewegt. Wenn der Resonator 25 bei der individuellen vorbestimmten Frequenz vibriert, verändert sich die Distanz zwischen der beweglichen Elektrode und der feststehenden Elektrode und verändert sich die Kapazität des Kondensators.
  • Jede Detektierschaltung 4 ist mit einer entsprechenden Elektrode 3 verbunden. Die Detektierschaltung 4 konvertiert eine solche Kapazitätsänderung in Spannungssignale, integriert die konvertierten Spannungssignale innerhalb einer vorbestimmten Zeitspanne und gibt die Integrationsergebnisse aus. 4 zeigt eine schematische Darstellung einer Konfiguration der Detektierschaltung 4. Die Detektierschaltung 4 weist Operationsverstärker 41 und 42, die eine Spannung bei einem Verstärkungsverhältnis verstärken, das einem Impedanzverhältnis zwischen der Kondensatorkapazität Cs und der Referenzkapazität Cf entspricht, eine Integrierschaltung 43 zum Integrieren der Ausgangssignale des Operationsverstärkers 42, die die Referenzspannung Vref während der vorbestimmten Zeitspannung übersteigen, und eine Abtast- und Halteschaltung 44 zum Entnehmen der Ausgangssignale aus der Integrier schaltung 43 und temporären Halten der Ausgangssignale zu Ausgabezwecken auf. Eine solche Detektierschaltung 4 wird beispielsweise durch Anwendung eines CMOS-Verfahrens hergestellt.
  • Taktimpulse ϕ0, ϕ1 und ϕ2 werden dem Operationsverstärker 41, der Integrierschaltung 43 bzw. der Abtast- und Halteschaltung 44 zugeführt. Der Operationsverstärker 41, die Integrierschaltung 43 und die Abtast- und Halteschaltung 44 arbeiten jeweils synchron mit diesen Taktimpulsen. Diese Taktimpulse können extern zugeführt werden oder können von einer Zählerschaltung zugeführt werden, die auf dem gleichen Halbleiter-Siliziumsubstrat 1 ausgebildet ist.
  • Eine Operation wird nachstehend beschrieben. Wenn die Schallwellen, die sich in der Luft fortpflanzen, an den Empfänger 24 des Sensor-Hauptkörpers 2 übertragen werden, wird der plattenförmige Empfänger 24 in Vibration versetzt, damit sich die Vibrationen in den Sensor-Hauptkörper 2 fortpflanzen. In diesem Fall werden die Schallwellen in 3 von links nach rechts übertragen, wobei jeder der sequentiell länger werdenden freitragenden Resonatoren 25 in Vibration versetzt wird. Jeder Resonator 25 weist eine natürliche Resonanzfrequenz auf. Jeder Resonator 25 tritt in Resonanz, wenn sich die Schallwellen der natürlichen Frequenz derart fortpflanzen, dass der vordere Endteil in vertikale Vibrationen versetzt wird. Die Kapazität des zwischen dem vorderen Endteil und der Elektrode 3 anzuordnenden Kondensators verändert sich durch die Vibrationen. Wenn die Energie der Schallwellen bei Fortpflanzung der Schallwellen sequentiell in die Vibrationsenergie der Resonatoren 25 konvertiert wird, wird die Energie der Schallwellen durch eine solche Resonanz allmählich gedämpft. Die Energie ist zu dem Zeitpunkt, an dem die Schallwellen den längsten Resonator 25 erreichen (auf der rechten Seite in 3) nahezu verschwunden, so dass keine Reflexionswellen hervorgerufen werden. Somit ist es nicht wahrscheinlich, dass Reflexionswellen die Kapazitätsveränderungen beeinflussen, und es können korrekte Kapazitätsänderungen ent sprechend den Spektren der sich fortpflanzenden Schallwellen detektiert werden.
  • Die erhaltenen Kapazitätsänderungen werden der Detektierschaltung 4 zugeführt. 5 zeigt eine grafische Darstellung eines Zeitdiagramms für die Detektierschaltung 4, wobei die Taktimpulse ϕ0, ϕ1 und ϕ2 dem Operationsverstärker 41, der Integrierschaltung 43 bzw. der Abtast- und Halteschaltung 44 zugeführt werden. Die Taktimpulssteuerung der vorliegenden Ausführungsform ist auf niedrigem Niveau im EIN-Zustand.
  • In der Detektierschaltung 4 wird ein Verstärkungsverhältnis entsprechend dem Impedanzverhältnis zwischen der von dem Operationsverstärker 41 erhaltenen Kapazität Cs des Kondensators und der Referenzkapazität Cf bestimmt. Wenn beispielsweise der Wert 1/ωCs zu 1/ωCf (ω=2πf, f: Frequenz) ½ ist, verdoppelt sich das zu erhaltende Spannungssignal. Da die Operationsverstärker 41 und 42 auch Inverter sind, bei denen der +-Eingangsanschluss geerdet ist, wird die Spannungsphase einmal von der nächste Stufe des Operationsverstärkers 42 verstärkt. Die erhaltenen verstärkten Spannungssignale werden in die Integrierschaltung 43 eingegeben. In der Integrierschaltung 43 werden die verstärkten Spannungssignale, die die Referenzspannung Vref übersteigen, innerhalb der vorbestimmten Zeitspanne entsprechend dem Taktimpuls 1 integriert, um das integrierte Signal an die Abtast- und Halteschaltung 44 auszugeben. In der Abtast- und Halteschaltung 44 wird das Abtasten und Halten des integrierten Signals entsprechend dem Taktimpuls ϕ2 wiederholt, und das integrierte Signal wird ausgegeben.
  • Eine solche Verarbeitungsoperation wird für jede jeweils Resonatoren 25, von denen jeder eine andere Länge aufweist, zugeordnete Detektierschaltung 4 parallel durchgeführt. Die in 5 dargestellte Periode solcher Taktimpulse ϕ0, ϕ1 und ϕ2 ist nur beispielhaft. Es versteht sich von selbst, dass die Periode jedes Taktimpulses einstellbar ist.
  • Bei der vorliegenden Erfindung, wie oben beschrieben, kann die Ablaufveränderung der Schallstärke der vorbestimmten Frequenz – wobei eine optionale Zeit zur Periode gemacht worden ist – aufgrund der Prüfung des Ausgangssignals der dem Resonator 25, welcher bei der individuellen vorbestimmten Frequenz in Resonanz tritt, zugeordneten Detektierschaltung 4 bekannt sein. Die Ablaufveränderung der Schallstärke für jedes der mehreren Frequenzbänder – wobei eine Zeit zur Periode gemacht worden ist – kann durch Prüfung der Ausgangssignale der mehreren Resonatoren 25 entsprechenden Detektierschaltungen 4 bekannt sein.
  • 6 zeigt eine schematische Darstellung der Beziehung jeder Detektierschaltung 4 entsprechend der vorbestimmten Frequenz. Wenn beispielsweise vorgesehen ist, dass eine Anzahl n von Resonatoren in Reaktion auf die n Arten von Resonanzfrequenzen f1, f2, f3, f4, ..., fn jeweils selektiv in Vibration tritt, können die Ausgangssignale V1, V2, V3, V4, ..., Vn entsprechend der Resonanzstärke für jede Resonanzfrequenz erhalten werden. Wenn beispielsweise der erfindungsgemäße Schallwellendetektor als Mikrofon zum Eingeben von Sprache zur Spracherkennung verwendet wird, wird die Frequenzstärke entsprechend der Resonanzstärke für jede Resonanzfrequenz im hörbaren Band erhalten, damit die Sprache anhand des erhaltenen Analysemusters erkennbar ist.
  • Beim Detektieren der Stärke nur selektierter Frequenzen der Schallwellen braucht nur das Ausgangssignal der Detektierschaltung 4, das der erforderlichen Resonanzfrequenz entspricht, erhalten zu werden. Beispielsweise wird beim Detektieren der Stärke der Frequenzen f1 und f3 in 6 erhalten, wobei die Ausgangssignale der anderen Detektierschaltungen 4-2 und 4-4, ... 4-n, die nicht entsprechend ausfallen, abgeschnitten werden oder die Detektierschaltungen 4-2, 4-4, ..., 4-n nicht vorher bereitgestellt werden, so dass die erforderlichen Ausgangssignale V1 und V3 erhalten werden, jedoch die nicht erforderlichen Ausgangssignale V2, V4, ..., Vn nicht erhalten werden. Bei einem Mikrofon zum Detektieren der anomalen Töne, die als eine oder mehrere Fre quenzen vorbestimmt sind, handelt es sich um eine bevorzugte Ausführungsform als Beispiel für die Verwendung eines solchen Schallwellendetektors.
  • (Zweite Ausführungsform)
  • Es wird nun eine zweite Ausführungsform beschrieben, bei der die Resonanzfrequenz in jedem Resonator linear in der Mel-Skala verteilt ist, bei welcher es sich um ein psychologisches Attribut handelt, das die Tonhöhe wie auf einer Tonleiter dargestellt repräsentiert. Bei der Konfiguration des Schallwellendetektors gemäß der zweiten Ausführungsform, die der Konfiguration gemäß der ersten Ausführungsform im wesentlichen gleich ist, wird die Resonanzfrequenz in jedem Resonator 25 linear in der Mel-Skala und nicht in der mathematisch linearen Skala verteilt. Wenn nämlich die Resonanzfrequenzen in der Anzahl n von Resonatoren 25 f1, f2, f3, ..., fn sind, wird f1 [Mel] = α f2 [Mel] = ... = αn-1fn[Mel]anstelle von f1 [Hz] = α f2 [Hz] = ... αn-1fn [Hz]eingestellt, wobei α ein Koeffizient ist, der eingestellt werden kann.
  • Da die Resonanzfrequenz jedes Resonators 25 mit der Gleichung (4) bestimmt wird und die Übereinstimmung zwischen der Ist-Vibrationsfrequenz und der Mel-Skala gemäß der Gleichung (1) und 1 bestimmt wird, wie oben beschrieben, kann die Resonanzfrequenz in der Mel-Skala auf einfache Weise jedem Resonator 25 zugeordnet werden. Bei dieser Ausführungsform kann die Resonanzfrequenz entsprechend der Frequenz, die in der Mel-Skala die gleiche Distanz bekommt, mit konstanter Dicke H sämtlicher Resonatoren 25 und unterschiedlicher Länge L erhalten werden.
  • Da die anderen Konfigurationen und die Operation die gleiche sind wie bei der oben beschriebenen ersten Ausführungsform, wird auf die Beschreibung verzichtet.
  • Da nun die Resonanzfrequenz jedes Resonators 25 bei der zweiten Ausführungsform in der Mel-Skala verteilt ist, können für Menschen hörbare Oktavtöne, Halbtöne etc. selektiv in Echtzeit erkannt werden, so dass ein Mikrofon, dessen Frequenzcharakteristiken an das menschliche Hörvermögen angepasst ist, hergestellt werden kann. Es kann ein Mikrofon zum Eingeben von Sprache konstruiert werden, das nicht nur bei der Spracherkennung und der Detektierung anomaler Töne bessere Leistungen erbringt, sondern auch bezüglich der Unterscheidungseigenschaft hinsichtlich intonierter Sprache, wie z. B. beim Lesen, Vortragen von Poesie u. dgl., und Tönen auf einer Tonleiter, wie z. B. Musiknoten, da die zeitliche Veränderung der Tonhöhe der Oktavtöne, Halbtöne etc. korrekter bewertet werden kann.
  • (Dritte Ausführungsform)
  • Es wird nun eine dritte Ausführungsform beschrieben, bei der die Resonanzfrequenz in jedem Resonator linear in der Bark-Skala verteilt ist, bei welcher es sich um ein psychologisches Attribut handelt, das die Lautstärke des Tons repräsentiert. Bei der Konfiguration des Schallwellendetektors gemäß der dritten Ausführungsform, die der Konfiguration gemäß der ersten Ausführungsform im wesentlichen gleich ist, ist die Resonanzfrequenz in jedem Resonator 25 in der Bark-Skala statt in der mathematisch linearen Skala verteilt und ist die Bandbreite der Resonanzfrequenz in jedem Resonator 25 die kritische Bandbreite.
  • Anhand der in 2 gezeigten entsprechenden Beziehung zwischen der Bark-Skala und der Ist-Frequenz wird die Resonanzfrequenz jedes Resonators 25 bestimmt. Obwohl die Resonanzfrequenz jedes Resonators 25 mittels der Gleichung (4) bestimmt wird, wird bei dieser Ausführungsform die in der Bark-Skala aufgeführte Resonanzfrequenz durch Einstellen einer konstanten Dicke H sämtlicher Resonatoren 25 und einer unterschiedlichen Länge jedem Resonator 25 zugeordnet.
  • Die Bandbreite der Resonanzfrequenz jedes Resonators 25 hängt von der Wechselwirkung mit dem benachbarten Resonator 25 ab. Die Bandbreite wird nämlich durch das Veränderungsverhältnis der Resonanzfrequenz des benachbarten Resonators 25, dem Auslegungswert der Konfiguration, wie z. B. der Distanz zwischen benachbarten Resonatoren 25, der Viskosität des Mediums zwischen benachbarten Resonatoren 25 etc. bestimmt. Bei der vorliegenden Ausführungsform wird die Bandbreite der Resonanzfrequenz jedes Resonators 25 jedoch durch Verändern der Distanz zwischen benachbarten Resonatoren 25 gesteuert.
  • 7 zeigt eine grafische Darstellung der Veränderung der Bandbreite (Ordinate) bei Veränderung der Distanz D (Abszisse), wobei D eine Distanz zwischen benachbarten Resonatoren 25 bei einem aus einem Einkristall-Silizium gefertigten Resonator 25 ist, der eine Resonanzfrequenz von 3 kHz aufweist. 8 zeigt die Beziehung zwischen der Länge L, der Dicke H, der Breite W und der Distanz D in dem Resonator 25. Der Auslegungswert des Resonators 25 beträgt Länge L = 1706 μm, Dicke H = 10 μm und Breite W = 80 μm. Bei dem zwischen den Resonatoren 25 und 25 befindlichen Gas handelt es sich um Luft. Gemäß 7 kann die gewünschte Bandbreite durch Einstellen der Distanz D zwischen benachbarten Resonatoren 25 justiert werden. Unter Berücksichtigung dieser Tatsache wird bei dieser Ausführungsform die Distanz D zwischen benachbarten Resonatoren 25 und 25 derart bestimmt, dass die Bandbreite jedes Resonators 25 eine in 2 gezeigte kritische Bandbreite sein kann.
  • Bei der dritten Ausführungsform ist die Resonanzfrequenz jedes Resonators 25 derart in der Bark-Skala verteilt, dass Frequenzcharakteristiken und eine Bandbreite vorgesehen sein können, die auf die menschliche Hörfähigkeit eingestellt sind, und dass die in den Geräuschen enthaltenen Signale leichter selektierbar sind, um ein verbessertes Bewertungsverhältnis bei der Spracherkennung in einer Situation zu ermöglichen, in der mehr Geräusche auftreten. Ferner kann ein der menschlichen Hörfähigkeit stärker angenäherter Sensor vorgesehen sein.
  • (Vierte Ausführungsform)
  • Selbst bei der zweiten Ausführungsform, bei der die Resonanzfrequenz in jedem Resonator 25 linear in der Mel-Skala verteilt ist, ist es sinnvoll, dass die Bandbreite der Resonanzfrequenz in jedem Resonator 25 wie bei der dritten Ausführungsform zu einer kritischen Bandbreite wird.
  • Bei jeder der oben beschriebenen Ausführungsformen ist das Band der vorbestimmten Resonanzfrequenz bei mehreren Resonatoren 25, das einen Bereich von 15 Hz bis 20 kHz umfasst, ein beispielhaftes Band. Es versteht sich von selbst, dass das Band andere Frequenzbereiche umfassen kann. Da die Wellen Schallwellen sind, umfasst der Frequenzbereich mehrere Hz bis 50 kHz (maximal bis zu 100 kHz).
  • Wie oben beschrieben, ist bei dem erfindungsgemäßen Schallwellendetektor keine herkömmliche elektrische Filterung unter Verwendung einer Software erforderlich, wodurch die Verarbeitungsgeschwindigkeit gesteigert wird, da die Schallwellen für jedes Frequenzband mechanisch analysiert werden, bevor sie in elektrische Signale konvertiert werden. Da dies auf einfache Weise auf dem Halbleitersubstrat erfolgen kann, kann der Platzbedarf gegenüber dem herkömmlichen System verringert werden, so dass eine Kostensenkung möglich ist. Ferner können, da die Schallstärke für sämtliche gewünschten Frequenzen detektiert werden kann, die akustischen Spektren ohne analytische Bearbeitung in Echtzeit erhalten werden. Ferner können die akustischen Daten für Frequenzen jeder Konstantzeitspanne erhalten werden, kann der Verlauf der Stärke jeder Frequenz bei Ablauf der Zeit bestätigt werden, und kann die zeitliche Veränderung der Sprache korrekt bewertet werden, um das Bewertungsverhältnis bei der Spracherkennung zu verbessern.
  • Der erfindungsgemäße Schallwellendetektor kann die Sprache in einem näher an der menschlichen Hörfähigkeit liegenden Zustand erkennen, so dass die Sprachcharakteristiken bei der Spracherkennung effizienter extrahiert werden können, da der Detektor eine Resonatoranordnung mit einer in der Mel-Skala zu verteilenden Resonanzfrequenz oder eine Resonatoranordnung mit der kritischen Bandbreite aufweist, wobei die Resonanzfrequenz in der Bark-Skala verteilt ist.
  • Obwohl als Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung der Schallwellendetektor für die Verwendung bei Vibrationswellen als Schallwellen beschrieben worden ist, versteht es sich von selbst, dass die Frequenzspektrumanalyse der Vibrationswellen mit einer im wesentlichen gleichen Konfiguration auch dann durchgeführt werden kann, wenn die Vibrationswellen keine Schallwellen sind.

Claims (15)

  1. Vibrationswellen-Detektierverfahren mit folgenden Schritten: Empfangen von sich in einem Medium fortzupflanzenden Vibrationswellen durch einen Empfänger (24); Fortpflanzenlassen der empfangenen Vibrationswellen von einem Ende eines Stabs (22) zu dem anderen Ende des Stabs (22); Fortpflanzenlassen der empfangenen Vibrationswellen in mehrere freitragende Resonatoren (25), die jeweils eine derartige Länge aufweisen, dass sie bei einer individuellen vorbestimmten Frequenz in Resonanz treten; Detektieren der Vibrationsstärke für jede vorbestimmte Frequenz jedes Resonators (25); Konvertieren der detektierten Vibrationsstärke in elektrische Signale für jede vorbestimmte Frequenz; Integrieren der konvertierten elektrischen Signale während einer Zeitspanne; und Ausgeben der Integrationsergebnisse für jede vorbestimmte Frequenz nach Ablauf der Zeitspanne.
  2. Vibrationswellen-Detektierverfahren nach Anspruch 1, bei dem die Vibrationswellen Schallwellen sind.
  3. Vibrationswellendetektor mit: einem Empfänger (24) zum Empfangen von sich in einem Medium fortzupflanzenden Vibrationswellen; einer Resonatoreinheit (21) mit mehreren freitragenden Resonatoren (25), die jeweils eine derartige Länge aufweisen, dass sie bei einer individuellen vorbestimmten Frequenz in Resonanz treten; einer Haltestange (22) zum Halten der Resonatoreinheit (21); einem Vibrationsstärkendetektor (25,3,4) zum Detektieren der Vibrationsstärke jedes Resonators (25) anhand der von dem Empfänger (24) empfangenen und über die Haltestange (22) in die Resonatoreinheit fortgepflanzten Vibrationswellen; einer Konvertiervorrichtung (41,42) zum Konvertieren der detektierten Vibrationsstärke in elektrische Signale für jede vorbestimmte Frequenz; einer Integriervorrichtung (43) zum Integrieren der konvertierten elektrischen Signale während einer Zeitspanne zum Erzeugen eines Integrationsergebnisses für jede vorbestimmte Frequenz; und einer Ausgabevorrichtung (44) zum Ausgeben der von der Integriervorrichtung (43) integrierten Ergebnisse für jede vorbestimmte Frequenz nach Ablauf der Zeitspanne.
  4. Vibrationswellendetektor nach Anspruch 3, bei dem der Empfänger (24), die Resonanzeinheit (21), die Haltestange (22), der Vibrationsstärkendetektor (25,3,4), die Konvertiervorrichtung (41,42), die Integriervorrichtung (43) und die Ausgabevorrichtung (44) auf einem Halbleitersubstrat (1) angeordnet sind.
  5. Vibrationswellendetektor nach Anspruch 3 oder 4, bei dem die Distanz (D) zwischen zwei benachbarten Resonatoren (25,25) unterschiedlich ist.
  6. Vibrationswellendetektor nach einem der Ansprüche 3 bis 5, bei dem die Bandbreite der Resonanzfrequenz in jedem Resonator (25) auf einen vorbestimmten Wert eingestellt ist, wobei die Distanz (D) zwischen zwei benachbarten Resonatoren (25,25) unterschiedlich ist.
  7. Vibrationswellendetektor nach einem der Ansprüche 3 bis 6, bei dem die Vibrationswellen Schallwellen sind.
  8. Vibrationswellendetektor nach Anspruch 7, bei dem die Resonanzfrequenzen in den mehreren Resonatoren (25) derart eingestellt sind, dass sie in einer Mel-Skala verteilt sind.
  9. Vibrationswellendetektor nach Anspruch 8 zum Empfangen von Musiknoten zwecks Erkennens der Musiknoten.
  10. Vibrationswellendetektor nach Anspruch 7, bei dem die Resonanzfrequenzen in den mehreren Resonatoren (25) derart eingestellt sind, dass sie in einer Mel-Skala verteilt sind, und die jeder Resonanzfrequenz entsprechende Bandbreite eine kritische Bandbreite ist.
  11. Vibrationswellendetektor nach Anspruch 7, bei dem die Resonanzfrequenzen in den mehreren Resonatoren (25) derart eingestellt sind, dass sie in einer Bark-Skala verteilt sind.
  12. Vibrationswellendetektor nach Anspruch 7, bei dem die Resonanzfrequenzen in den mehreren Resonatoren (25) derart eingestellt sind, dass sie in einer Bark-Skala verteilt sind, und die jeder Resonanzfrequenz entsprechende Bandbreite eine kritische Bandbreite ist.
  13. Vibrationswellendetektor nach Anspruch 7, 8, 10, 11 oder 12 zum Empfangen von Sprache zur Spracherkennung.
  14. Vibrationswellendetektor nach Anspruch 7, bei dem die Ausgabevorrichtung (44) ein Filter zum Ausgeben der Integrationsergebnisse bei mindestens einer vorbestimmten Frequenz aufweist.
  15. Vibrationswellendetektor nach Anspruch 14 zum Detektieren anomaler Töne einer vorbestimmten Frequenz.
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