DE69812042T2 - Drahtsäge und herstellung derselben - Google Patents

Drahtsäge und herstellung derselben

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DE69812042T2
DE69812042T2 DE69812042T DE69812042T DE69812042T2 DE 69812042 T2 DE69812042 T2 DE 69812042T2 DE 69812042 T DE69812042 T DE 69812042T DE 69812042 T DE69812042 T DE 69812042T DE 69812042 T2 DE69812042 T2 DE 69812042T2
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Jun Sugawara
Isao Ueoka
Nobuo Urakawa
Masaaki Yamanaka
Hirotoshi Yoshinaga
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Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft allgemein eine Drahtsäge zum Einsatz bei der Bearbeitung von elektronischen Materialien, wie beispielsweise beim Schneiden eines Siliziumrohlings mit großem Durchmesser in Wafer und beim Bearbeiten von optischen Materialien, wie beispielsweise dem Glaslinsenschneiden, sowie ein Verfahren zum Herstellen einer derartigen Drahtsäge.
  • Bisher sind Innensägen oder Innendurchmesserschneiden aus Diamant eingesetzt worden, um einen Siliziumrohling in Wafer zu schneiden, in jüngster Zeit jedoch werden, da Siliziumrohlinge immer größere Durchmesser haben, vorwiegend lose Schleifmittel und Drahtsägen aufgrund der Ausbeute, der Produktivität, der betroffenen Schichten, der Maßeinschränkungen und ähnlicher Faktoren für derartige Arbeiten eingesetzt.
  • Da jedoch die Bearbeitung mit losen Schleifmitteln nicht nur ein Problem bezüglich des Umweltschutzes darstellt, sondern ein Reinigungsvorgang, der dafür erforderlich ist, zu einer längeren Bearbeitungslinie bzw. Bearbeitungszeit zusätzlich zu der unzureichenden Bearbeitungseffektivität und -genauigkeit führt, besteht in der Industrie mittlerweile ein starker Bedarf nach dem Einsatz von Drahtsägen, die Drähte mit fixierten Superschleifmitteln umfassen, für derartige Bearbeitungsvorgänge.
  • Eine Drahtsäge des obenerwähnten Typis ist beispielsweise in der japanischen vorläufigen Offenlegungsschrift Nr. Sho 50-102993 offenbart worden, und sie umfasst einen Kerndraht mit daran angeklebten Superschleifmitteln, sowie eine Abrichtschicht, die auf die Außenfläche des Kerndrahtes mit der Superschleifschicht aufgetragen ist, während in der japanischen vorläufigen Offenlegungsveröffentlichung Nr. Hei 8-126953 ausführlich die kennzeichnenden Merkmale von Drahtsägen erläutert werden, wenn diese für das Schneiden von Silizium-Wafern eingesetzt wird, wobei als Vorteil der Einsatz von Polyethylen, Nylon oder dergleichen als Material für Kerndrähte für derartige Drahtsägen vorgeschlagen wird.
  • In der japanischen vorläufigen Offenlegungsveröffentlichung Nr. Hei 9-155631 wird der Einsatz eines Galvanisierungsvorgangs oder einer Kunstharz-Bindemittellösung zum Fixieren von Diamant-Schleifmitteln auf einem Kerndraht vorgeschlagen.
  • Die erwähnten Lösungen weisen sicher jeweils Verbesserungen gegenüber dem vorangehenden Stand der Technik auf. Um jedoch die industrielle Herstellung derartiger Drahtsägen zu ermöglichen, damit sie praktisch eingesetzt werden können, ist es erforderlich, eine Struktur einer Drahtsäge mit fixierten harten Schleifmitteln, die von herkömmlichen Schleifmitteln, wie beispielsweise SiC und Al&sub2;O&sub3;, bis zu sogenannten Superschleifmitteln, wie beispielsweise Diamant und CBN (cubic boron nitride - kubisches Bornitrid), reichen, zusammen mit Vorteilen zu offenbaren und zu schaffen, die sich durch diese Struktur ergeben, und des Weiteren ein Verfahren zum Herstellen einer derartigen Drahtsäge zu schaffen.
  • Dementsprechend besteht eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung darin, die obenstehenden Probleme des Standes der Technik zu lösen, indem eine Drahtsäge und ein Verfahren zum Herstellen derselben geschaffen werden, wobei gemäß einem ersten Aspekt ein hochfester Kerndraht, an dessen Außenumfangsfläche Schleifmittel fixiert sind, sowie eine Harzbinderschicht bereitgestellt werden, wobei die Korngröße der Schleifmittel nicht kleiner ist als zwei Drittel der Dicke der Harzbinderschicht, jedoch eine Hälfte des Durchmessers des Kerndrahtes nicht übersteigt und der Harzbinder der Harzbinderschicht ein Harz mit einem Elastizitätsmodul von 100 kg/mm² oder darüber sowie einer Erweichungstemperatur von 200ºC oder darüber aufweist und das Harz einen Füllstoff mit einer Korngröße von weniger als drei Drittel der Dicke der Harzbinderschicht enthält.
  • Die erwähnte Schleifmittel-Korngröße muss größer sein als zwei Drittel der Dicke der Harzbinderschicht oder zwei Drittel derselben entsprechen, da, wenn sie kleiner ist als die Dicke, es für die Schleifmittel schwieriger ist, zu einem Teil derselben an der Oberfläche der Harzbinderschicht vorhanden zu sein und gleichzeitig von der Fläche nach außen vorzustehen.
  • Des Weiteren ist es, wenn die Schleifmittel-Korngröße die Hälfte des Kerndrahtdurchmessers überschreitet, schwierig, die Schleifkörnchen festzuhalten, wodurch sich die Schneidfähigkeit verringert. Des Weiteren sollte die Größe der Schleifkörnchen, um eine hohe Schneidgenauigkeit über eine lange Zeit zu gewährleisten, vorzugsweise bis ungefähr ein Drittel des Kerndrahtdurchmessers ausmachen.
  • Der Füllstoff, der in die Harzbinderschicht eingebettet ist, um den Harzbinder zu verstärken, kann eine Korngröße von weniger als zwei Drittel der Dicke der Harzbinderschicht haben.
  • Als der hochfeste Kerndraht kann ein Faden aus Metall, Metalloxid, Metallkarbid, Metallnitrid, organischem Material oder Kohlenstoffmaterial eingesetzt werden. Am meisten zu bevorzugen ist der Einsatz eines Klavierdrahtes, da er leicht bearbeitet und zu einem superfeinen Draht endbearbeitet werden kann und hohe Homogenität und Festigkeit aufweist. Klavierdrähte können ohne spezielle Behandlung eingesetzt werden, vorzugsweise werden jedoch Drähte eingesetzt, nachdem sie einer Oberflächenbehandlung unterzogen wurden, um die Haftung an einem Harzbinder und das Halten der Schleifkörnchen zu verbessern.
  • Die Oberflächenbehandlung schließt das Metallisieren bzw. Überziehen eines Klavierdrahtes mit Messing oder Kupfer im Voraus oder das Auftragen einer Grundierungsbeschichtung aus Harz auf den Klavierdraht ein.
  • Gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung sind der Gehalt der Schleifkörnchen und des Füllstoffs speziell definiert. Das heißt, der Gehalt an Schleifkörnchen in dem Harzbinder reicht von 1 Vol.-% bis 30 Vol.-%, während der Gehalt an Füllstoff in dem Harzbinder von 1 Vol.-% bis 50 Vol.-% reicht.
  • Bei einem Gehalt an Schleifkörnchen unter 1 Vol.-% nimmt die Schneidgeschwindigkeit aufgrund eines zu hohen Schneidwiderstandes pro Schleifkörnchen erheblich ab, während ein Gehalt an Schleifkörnchen über 30 Vol.-% ebenfalls zu einer verringerten Schneidgeschwindigkeit führt, da die Abführung des durch das Schneiden erzeugten Spans unzureichend ist.
  • Dementsprechend liegt der Gehalt an Schleifkörnchen vorzugsweise zwischen 4 Vol.-% und 25 Vol.-%.
  • Bei einem Füllstoffgehalt des Harzbinders von nicht weniger als 1 Vol.-% ist es möglich, den Halt, die Verschleißfestigkeit und die Wärmeleitfähigkeit des Schleifkörnchens zu verbessern, während bei einem Füllstoffgehalt von über 50 Vol.-% die Flexibilität der Harzbinderschicht abnimmt und umgekehrt zu einem geringeren Halt und geringerer Verschleißfestigkeit führt.
  • Dementsprechend liegt der Füllstoffgehalt vorzugsweise zwischen 5 Vol.-% und 40 Vol.-%.
  • Gemäß einem dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird der Einsatz eines Diamant- oder gleichartigen Superschleifkorns angesichts der Schneidqualität und der Lebensdauer der entstehenden Drahtsäge am meisten bevorzugt. Um die Bindefähigkeit zwischen dem Superschleifkorn und dem Harzbinder zu verbessern, werden die Oberflächen des Superschleifkorns im Voraus mit einem Metall, wie beispielsweise Ni oder Cu, überzogen. Als ein Füllstoff wird des Weiteren vorzugsweise ein hartes Material, wie beispielsweise ein Superschleifkorn oder ein herkömmliches Schleifkom, eingesetzt, wenn der erwähnte Halt, die Verschleißfestigkeit und Wärmeleitfähigkeit in Betracht gezogen werden.
  • Da gemäß der vorliegenden Erfindung eine Harzbinderschicht aus einem Schleifkom und einem Füllstoff hergestellt wird, die jeweils eine vorgegebene Korngröße haben und in einem Harz mit einem hohen Elastizitätsmodul und einer hohen Erweichungstemperatur enthalten sind, kann, wie oben beschrieben die entstehende Drahtsäge zum Schneiden und für andere Vorgänge in einem kontinuierlichen Verfahren eingesetzt werden.
  • Des Weiteren dienen gemäß der vorliegenden Erfindung, da die Schleifmittel Körner mit bestimmten Größen, die größer sind als die Füllstoffkörner, umfassen, die Schleifkörnchen dem Schneidvorgang, wobei ihre Enden mit einem Werkstück, das geschnitten wird, auch dann in Kontakt gebracht werden, wenn die Schleifkörnchen im wesentlichen bündig mit der Oberfläche der Harzbinderschicht angeordnet sind, ohne nennenswert über diese Fläche hinaus vorzustehen. Da die Drahtsäge anschließend für den Schneidvorgang eingesetzt wird, weicht die Oberfläche der Harzbinderschicht aufgrund des Ver schleißes durch das Schneiden nach innen zurück, und Schleifkörnchen stehen relativ über diese Fläche vor, wodurch die Schneidqualität verbessert wird. Es versteht sich natürlich von selbst, dass vorzugsweise so vorgegangen wird, dass ein Teil der Schleifkörnchen bei der Herstellung der Drahtsäge anfänglich über die Oberfläche der Harzbinderschicht vorsteht, da bei einer derartigen Anordnung die vorstehenden Enden der Schleifkörnchen anfänglich als Schneidkanten wirken, wenn die Drahtsäge das erste Mal Schneidfunktion ausführt, wobei derartige vorstehende Enden auch als Spanhohlräume dienen.
  • Bei einem Verfahren zum Herstellen eines Drahtes für die erwähnte Drahtsäge ist es vorteilhaft, sozusagen einen Emailliervorgang einzusetzen, bei dem der erwähnte Kerndraht zunächst mit einem Beschichtungsmaterial beschichtet wird, das ein Gemisch aus dem erwähnten Schleifkom und Füllmittel umfasst, wobei eine Lösung das darin gelöste erwähnte Harz enthält, und dann die Beschichtung getrocknet und ausgehärtet wird, da ein derartiger Vorgang bewirkt, dass die Schleifkörnchen ohne Probleme herausragen und vorstehen.
  • Das Emaillieren kann leicht ausgeführt werden, indem der Kerndraht eingetaucht durch das Beschichtungsbad geführt wird und er dann einer Trocken-und-Aushärt-Stufe zugeführt wird. Sowohl der Einleitabschnitt zu der Trocken-und-Aushärt-Stufe als auch die Trocken-und-Aushärt-Stufe sind vorzugsweise vom vertikalen Typ, so dass homogene Dispersion des Schleifkörnchens und einheitliche Dicke der Harzbinderschicht gewährleistet sind.
  • Des Weiteren wird vorzugsweise eine schwebende Matrize in dem Einleitabschnitt eingesetzt, um den Zustand der Haftung des Beschichtungsfluids an dem Kerndraht zu steuern.
  • Der Anteil des Lösungsmittels an der Beschichtungszusammensetzung liegt vorzugsweise zwischen 25 Vol.-% und 75 Vol.-% der gesamten Beschichtungszusammensetzung. Um die Beschichtungseigenschaften und das Vorstehen der Schleifkörnchen zu beeinflussen, wenn die Körnchen durch Trocknen fixiert werden, darf die Beschichtungszusammensetzung nicht weniger als 25 Vol.-% des Lösungsmittels enthalten, während ein Anteil von über 75 Vol.-% problematisch ist, da dadurch die Trockengeschwin digkeit abnimmt und das Lösungsmittel während des Trockenvorgangs einer plötzlichen Verflüchtigung ausgesetzt ist, so dass es zur Schaumbildung in der Harzbinderschicht kommt, wodurch Haltefestigkeit und Verschleißbeständigkeit des Schleifkorns verlorengehen. Daher liegt der Anteil des Lösungsmittels an der Beschichtungszusammensetzung am besten zwischen 40 Vol.-% und 60 Vol.-%, wenn man berücksichtigt, dass die Viskosität der Beschichtungszusammensetzung die Bearbeitbarkeit und die Ausbildung des Vorstehens der Schleifkörnchen beeinflusst.
  • Für den Harzbinder können alle Harze, die die erwähnten Bedingungen bezüglich des Elastizitätsmoduls und der Erweichungstemperatur erfüllen, eingesetzt werden. Vorzugsweise können unter dem Aspekt der Einfachheit der Beschichtung und der physikalischen Eigenschaften Alkydharze, Phenolharz, Formalinharz, Polyurethanharz, Polyesterharz, Polyimidharz, Epoxydharz, Melaminharz, Harnstoffharz, ungesättigtes Polyesterharz, Allylharz, Polyester-Imid-Harz, Polyamid-Imid-Harz, Polyester-Polyurethan- Harz, Bismaleimidharz, Bismaleimid-Triazin-Harz, Cyanatesterharz, Polyether-Imid- Harz, Polyparabanatharz, aromatisches Polyamidharz usw. eingesetzt werden.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung können jegliche Lösungsmittel, die Lösung der erwähnten Harze ermöglichen, eingesetzt werden, wobei dazu Alkylbenzole wie beispielsweise Xylol, Toluol, Benzol, Ethylbenzol, usw., Phenole, wie beispielsweise Phenol, Cresol, Xylenol usw., Alkohole, wie beispielsweise Ethanol, Butanol usw., Ketone, wie beispielsweise Aceton, Methylethylketon, Cyclohexanon usw., Ether, wie beispielsweise Tetrahydrofuran, Dioxan usw. und aprotische Lösungsmittel, wie beispielsweise NM&sub2;P, DMF, DMAC, DMSO usw., gehören, wobei die Auswahl von dem jeweils eingesetzten Harz abhängt.
  • Es ist des Weiteren notwendig, die Festigkeit und Verschleißfestigkeit der Harzbinderschicht zu verbessern, indem der erwähnten Harzlösung ein Füllstoff zugesetzt wird, der feinkörnigen Diamat, Al&sub2;O&sub3;, SiC, SiO&sub2;, CrO&sub2;, BN, Glimmer, Talk, Kalziumcarbonat, Kaolin, Ton, Titanoxid, Bariumsulfat, Zinkoxid, Magnesiumhydroxid, Kaliumtitanat, Magnesiumsulfat oder Metallpulver, wie beispielsweise Cu oder Fe, einschließt. Unter anderem wird feinkörniger Diamant am meisten bevorzugt, da er sehr wirkungsvoll bei der Verbesserung der Festigkeit und der Verschleißbeständigkeit der Harzbinderschicht sowie der Wärmeleitfähigkeit der letzteren ist, sowie unter dem Aspekt der Lebensdauer und der Schneidgenauigkeit der entstehenden Drahtsäge. Neben feinkörnigem Diamant werden harte Materialien, wie beispielsweise SiC und Al&sub2;O&sub3;, ebenfalls bevorzugt. Der Füllstoff sollte eine Korngröße haben, die kleiner ist als zwei Drittel der Dicke der Harzbinderschicht, und Füllstoffe mit flach geformten oder nadelartigen Körnchen können ebenfalls als in den Umfang der vorliegenden Erfindung fallend eingesetzt werden, solange sie eine Dicke oder einen Durchmesser haben, der kleiner ist als zwei Drittel der Dicke der Harzbinderschicht.
  • Der Beschichtungsvorgang kann ebenfalls ausgeführt werden, indem zunächst ein Harz, das als der Binder verwendet wird, durch Wärme zum Schmelzen gebracht wird, dann dem geschmolzenen Harz das Schleifkorn und der Füllstoff zugesetzt werden und anschließend die entstehende Gemischlösung in einen Schmelzextruder gefüllt wird, durch den der Kerndraht geführt wird, so dass die Außenumfangsfläche desselben mit einer Zusammensetzung der Gemischlösung extrusionsbeschichtet wird.
  • Im letzteren Fall hat der entstehende beschichtete Draht eine Struktur, wie sie im Schnitt in Fig. 2 dargestellt ist, durch die geringeres Vorspringen und Vorstehen der Schleifkörnchen als bei dem vorangehenden Beschichtungsverfahren entstehen.
  • Fig. 1 ist eine schematische Schnittansicht, die eine Struktur einer Drahtsäge 1 gemäß der vorliegenden Erfindung mit einem Kerndraht 2, Schleifkorn 3, Füllstoff 4 und einer Harzbinderschicht 5 darstellt, wobei Schleifkörnchen in der Harzbinderschicht 5 so fixiert sind, dass wenigstens ein Teil derselben über die Außenfläche der Schicht vorsteht bzw. vorragt.
  • Fig. 2 ist eine schematische Schnittansicht einer Drahtsage gemäß einer weiteren Ausführung der vorliegenden Erfindung, wobei die Schleifkörnchen 3 lediglich in geringer Höhe über die Außenfläche der Harzbinderschicht 5 vorstehen und im Extremfall die äußeren Enden der Schleifkörnchen im Wesentlichen bündig mit der Oberfläche dieser Schicht sind, wie dies dargestellt ist.
  • Fig. 3 ist eine Mikrofotografie, die eine Außenumfangsfläche der Drahtsäge in Fig. 1 bei 200facher Vergrößerung betrachtet zeigt, wobei Diamantkörnchen als die Schleifkörnchen eingesetzt werden, die in Teilchenformen an der Außenumfangsfläche vorstehen.
  • Im Folgenden wird die vorliegende Erfindung ausführlicher anhand von vier bevorzugten Versuchsbeispielen, die ausgeführt wurden, um experiementell die Struktur der Drahtsäge gemäß der vorliegenden Erfindung zu bestimmen, und von 29 bevorzugten Beispielen, die ausgeführt wurden, um strukturelle Anforderungen der Drahtsage gemäß der vorliegenden Erfindung zu bestimmen, im Vergleich mit fünf Vergleichsbeispielen beschrieben.
  • Bevorzugtes Versuchsbeispiel 1
  • Eine Beschichtungszusammensetzung wurde hergestellt, indem feinkörniger Diamant mit einer durchschnittlichen Korngröße von 25 um und SiO&sub2; mit einer durchschnittlichen Korngröße von 10 um einer Polyurethanharzlösung (Polyurethanharzgehalt: 45 Vol.-%) zugesetzt wurden, die von Totoku Paint Co., Ltd. hergestellt wird, wobei die Harzlösung ein Polyurethanharz umfasst, das in einem Gemisch aus wenigstens einem Phenol und wenigstens einem Alkylbenzol gelöst wurde, so dass die entstehende Beschichtungszusammensetzung 2,2 ct/cm³ feinkörnigen Diamant mit einer durchschnittlichen Korngröße von 25 um bzw. SiO&sub2; mit einer durchschnittlichen Korngröße von 10 um enthielt.
  • Dann wurde die entstehende Beschichtungszusammensetzung auf einen mit Messing überzogenen Klavierdraht mit einem Durchmesser von 0,18 mm aufgetragen, und der beschichtete Draht wurde, nachdem er durch eine Schwebematrize mit einem Lagerdurchmesser (bearing diameter) von 0,24 mm geleitet worden war, zum Aushärten in einem vertikalen Trockenofen bei 300ºC getrocknet, um eine Drahtsäge daraus herzustellen.
  • Die entstehende Drahtsäge hatte einen Drahtdurchmesser von 0,22 mm sowie eine Harzfilmdicke (Dicke der Harzbinderschicht) von ungefähr 14 um.
  • Bevorzugtes Versuchsbeispiel 2
  • Eine Drahtsäge wurde auf ähnliche Weise wie bei dem obenstehenden Versuchsbeispiel 1 hergestellt, wobei jedoch eine Beschichtungszusammensetzung, die eingesetzt wurde, hergestellt wurde, indem feinkörniger Diamant mit einer durchschnittlichen Korngröße von 25 um und SiO&sub2; mit einer durchschnittlichen Korngröße von 5 um einer Phenolharzlösung (Phenolharzgehalt: 50 Gew.-%) zugesetzt wurden, die ein Phenolharz (hergestellt von Sumitomo Bakelite Co., Ltd.) umfasste, das in Cresol gelöst war, so dass die entstehende Beschichtungszusammensetzung 2,2 ct/cm³ feinkörnigen Diamant bzw. 1,1 ct/cm³ SiO&sub2; enthielt.
  • Die entstehende Drahtsage hatte einen Drahtdurchmesser von 0,22 mm sowie eine Harzfilmdicke von ungefähr 15 um.
  • Bevorzugtes Versuchsbeispiel 3
  • Eine Beschichtungszusammensetzung wurde hergestellt, indem feinkörniger Diamant mit einer durchschnittlichen Korngröße von 25 um und ein Cu-Pulver mit einer durchschnittlichen Korngröße von 5 um einer Bismaleimidharzlösung zugesetzt wurde, die auf ähnliche Weise wie bei dem vorangehenden Versuchsbeispiel 2 hergestellt wurde, wobei jedoch ein Bismaleimidharz (hergestellt von Mitsui Toatsu Chemicals, Inc., derzeit Mitsui Chemicals, Inc.) anstelle des Phenolharzes eingesetzt wurde, so dass die entstehende Beschichtungszusammensetzung 3,3 ct/cm³ feinkörnigen Diamant bzw. 6,3 Vol.-% Cu enthielt. Eine Drahtsäge wurde auf ähnliche Weise wie bei dem vorangehenden Versuchsbeispiel 2 hergestellt.
  • Die entstehende Drahtsäge hatte einen Drahtdurchmesser von 0,22 mm und eine Harzfilmdicke von ungefähr 15 um.
  • Bevorzugtes Versuchsbeispiel 4
  • Ein Phenolharz (hergestellt von Sumitomo Bakelite Co., Ltd.) wurde in Cresol gelöst, um eine Phenolharzlösung zu gewinnen, die 45 Vol.-% des Phenolharzes enthielt. Der entstehenden Phenollösung wurden feinkörniger Diamant mit einer durchschnittlichen Korngröße von 35 um und SiC mit einer durchschnittlichen Korngröße von 5 um zugesetzt, so dass die entstehende Beschichtungszusammensetzung die Phenolharzlösung, feinkörnigen Diamant sowie SiC in einem Verhältnis von 60 : 10 : 30 (Volumen) enthält. Dann wurde die entstehende Beschichtungszusammensetzung auf einen mit Messing überzogenen Klavierdraht mit einem Durchmesser von 0,18 mm aufgetragen, und der beschichtete Draht wurde, nachdem er durch eine Schwebematrize mit einem Lagerdurchmesser von 0,28 mm geleitet worden war, zum Aushärten in einem Trockenofen bei 300ºC getrocknet, um daraus eine Drahtsäge herzustellen.
  • Die entstehende Drahtsäge hatte einen Drahtdurchmesser von 0,25 mm und eine Harzfilmdicke von ungefähr 18 um.
  • Schneidversuche mit den Drahtsägen bevorzugter Versuchsbeispiele
  • Die in dem obenstehenden Versuchsbeispiel 3 hergestellte Drahtsäge wurde einem Test zum Schneiden eines Einkristall-Siliziumblocks unterzogen. Der Einkristall-Siliziumblock, der verwendet wurde, war 100 mm im Quadrat und 30 mm dick, so dass eine Schneidflache von 100 mm · 30 mm möglich war.
  • Die eingesetzte Drahtsäge war 30 m lang. Was die Bearbeitungsbedingungen anging, so wurde die Drahtsäge bei einer Drahtspannung von 2,5 kgf unter Verwendung von Leitungswasser als Bearbeitungsfluid mit 400 mm/min hin- und herbewegt.
  • Der Schneidschlitz hatte eine Breite von 0,25 mm, und die Schneid-Vorschubgeschwindigkeit betrug über eine Schnitt-Querschnittsfläche von 1500 cm² stabil 3,7 mm/min.
  • Die in dem obenstehenden Versuchsbeispiel 4 hergestellte Drahtsäge wurde einem Test zum Schneiden eines Einkristall-Siliziumblocks unterzogen. Der verwendete Einkristall- Siliziumblock maß 100 mm im Quadrat und war 30 mm dick, so dass eine Schneidfläche von 100 mm · 30 mm möglich war.
  • Die eingesetzte Drahtsäge war 30 m lang. Was die Bearbeitungsbedingungen anging, so wurde die Drahtsäge bei einer Drahtspannung von 2,5 kgf unter Verwendung von Leitungswasser als Bearbeitungsfluid mit 500 mm/min hin- und herbewegt.
  • Der Schneidschlitz hatte eine Breite von 0,29 mm, und die Schneid-Vorschubgeschwindigkeit betrug über eine Schnitt-Querschnittsfläche von 1500 cm² stabil 4,6 mm/min.
  • Bevorzugtes Beispiel 1
  • Eine Beschichtungszusammensetzung wurde hergestellt, indem ein Phenolharz- Beschichtungsmaterial (BRP-5980, hergestellt von Showa Highpolymer Co., Ltd., in Cresol gelöst), ein Diamant-Füllstoff (IRM2-4, hergestellt von Tomei Diamond Co., Ltd.) mit einer durchschnittlichen Korngröße von 2,6 um und ein Diamant-Schleifkorn (IRM30- 40, hergestellt von Tomei Daiamond Co., Ltd.) mit einer durchschnittlichen Korngröße von 30 um in einem Verhältnis von 60 Vol.-%: 20 Vol.-%: 20 Vol.-% als Feststoffanteile gemischt wurden und ihnen Cresol als ein Lösungsmittel zugesetzt wurde, so dass die entstehende Beschichtungszusammensetzung 50 Vol.-% des Lösungsmittels enthielt. Dann wurde die entstehende Beschichtungszusammensetzung auf einen mit Messing überzogenen Klavierdraht mit einem Durchmesser von 0,18 mm aufgetragen, und der beschichtete Draht wurde, nachdem er durch eine Schwebematrize mit einem Durchmesser von 0,28 mm geleitet worden war, in einem vertikalen Emaillierofen bei 300ºC getrocknet und ausgehärtet, um eine Drahtsäge daraus herzustellen. Die entstehende Drahtsäge hatte einen Drahtdurchmesser von 0,239 mm sowie eine Dicke der Harzbinderschicht von ungefähr 19 um, nachdem sie zum Aushärten getrocknet worden war. Die Struktur der entstehenden Drahtsäge ist schematisch im Schnitt in Fig. 1 dargestellt, und ein Zustand ihrer Außenumfangsfläche ist in einer Mikrofotografie in Fig. 3 in 200facher Vergrößerung dargestellt.
  • Tabelle 1 zeigt die Nenn-Korngrößenverteilung des erwähnten Diamant-Füllstoffs mit einer durchschnittlichen Korngröße von 2,6 um und der Diamant-Schleifkörnchen mit einer durchschnittlichen Korngröße von 30 um, gemessen mit einem Laser-Diffraktometrie-Teilchengrößenverteilungs-Messsystem (SALD-2000A, hergestellt von Shimadzu Corporation). Tabelle 1
  • Wenn davon ausgegangen wird, dass die Drahtsäge gemäß der vorliegenden Erfindung eine Dicke der Harzbinderschicht (Harzfilmschicht) von 20 um hat, sollte das Schleifkörnchen eine Korngröße von 20 um · 2/3 = 13 um oder mehr haben, und die Korngröße des Füllstoffs sollte kleiner sein als 13 um.
  • So könnte auf der Grundlage der in Tabelle 1 dargestellten Ergebnisse IRM2-4 als ein Füllstoff verwendet werden, der ungefähr 1% Schleifkörnchen enthält, und IRM30-40 sowie IRM20-30 könnten als Schleifkörnchen eingesetzt werden, die ungefähr 4% bzw. ungefähr 12% Füllstoff enthalten.
  • Das Phenolharz-Beschichtungsmaterial, das bei dem bevorzugten Beispiel 1 eingesetzt wurde, wurde auf eine Lage aus Aluminiumfolie aufgetragen und zwei Stunden lang zum Aushärten in einer thermostatischen Kammer bei 200ºC getrocknet. Dadurch wurde ein Phenolharzfilm, der ungefähr 30 um dick war, auf der Oberfläche der Aluminiumfolie ausgebildet. Bei der Messung auf einer Zugversuchseinrichtung (AG-1000E, hergestellt von Shimadzu Corporation) wies der Film einen Elastizitätsmodul von 170 kg/mm² auf.
  • Bei der Messung entsprechend dem Bewertungsverfahren für Emaildrähte, die JIS C-3003 unterliegen, wies die Harzbinderschicht der Drahtsage, die im bevorzugten Beispiel 1 hergestellt wurde, eine Erweichungstemperatur von 330ºC auf.
  • Die Drahtsäge des bevorzugten Beispiels 1 mit dem erwähnten Aufbau und der Anordnung wurde einem Schneidtest unterzogen, bei dem ein Einkristall-Siliziumblock, der 100 mm im Quadrat maß, mit einer Drahtsägegeschwindigkeit von 400 m/min bei einem Niederhaltedruck von 2,5 kgf beim Vorhandensein von fließendem Kühlwasser geschnitten wurde. Der Schneidvorgang lief bei einer Schneidgeschwindigkeit von 6,8 mm/min unmittelbar nach dem Beginn des Schneidens und von 4,6 mm/min 1 Stunde danach erfolgreich ab.
  • Bevorzugte Beispiele 2 bis 6 sowie Vergleichsbeispiele 1 bis 3
  • Anstelle der Phenolharzbeschichtung, die bei dem obenstehenden bevorzugten Beispiel eingesetzt wurde, wurden ein Polyester-Beschichtungsmaterial (Delacoat E-220, hergestellt von Nitto Denko Corporation, bevorzugtes Beispiel 2), ein Polyester-Imid-Beschichtungsmaterial (Isomid 40, hergestellt von Nippon Shokubai Kagaku Kogyo Co., Ltd. bevorzugtes Beispiel 3), ein Polyamid-Imid-Beschichtungsmaterial (HI-406, hergestellt von Hitachi Chemical Co., Ltd., bevorzugtes Beispiel 4), ein Polyurethan-Beschichtungsmaterial (TPU-6155, hergestellt von Totoku Paint Co., Ltd., bevorzugtes Beispiel 5), eine Bismaleimidharz-Beschichtung (BMI-S, hergestellt von Mitsui Toatsu Chemicals, Inc. (derzeit Mitsui Chemicals, Inc.), gelöst in Cresol, bevorzugtes Beispiel 6), ein Polyamidharz-Beschichtungsmaterial (CM3001, hergestellt von Toray Industries, Inc., gelöst in Cresol, Vergleichsbeispiel 1), ein Phenoxyharz-Beschichtungsmaterial (YP-50, hergestellt von Toto Chemical Industry Co., Ltd., gelöst in Cresol, Vergleichsbeispiel 2), bzw. ein Silikonharz-Beschichtungsmaterial (H-19, hergestellt von Toray Silicone, Ltd., in Cresol gelöst, Vergleichsbeispiel 3) verwendet. Drahtsagen wurden hergestellt und Schneidtests an Einkristall-Siliziumblöcken auf ansonsten gleiche Weise wie bei dem vorangehenden bevorzugten Beispiel 1 unterzogen, wobei die Ergebnisse in Tabelle 2 aufgeführt sind.
  • Die Erweichungstemperaturen der jeweiligen entstehenden Drahtsägen sowie der Elastizitätsmodul derselben sind ebenfalls in Tabelle 2 dargestellt. Tabelle 2
  • Schneidgeschwindigkeit A: Schneidgeschwindigkeit unmittelbar nach dem Beginn des Schneidens
  • Schneidgeschwindigkeit B: Schneidgeschwindigkeit 1 Stunde nach Beginn des Schneidvorgangs
  • Bevorzugte Beispiele 7 bis 13
  • Drahtsägen wurden auf ähnliche Weise wie bei dem bevorzugten Beispiel 1 hergestellt, wobei jedoch der Feststoffgehalt des Phenolharzes, des Diamant-Füllstoffs, der Diamant-Schleifkörnchen auf 75 Vol.-%, 5 Vol.-% und 20 Vol.-% (bevorzugtes Beispiel 7), 70 Vol.-%, 10 Vol.-% und 20 Vol.-% (bevorzugtes Beispiel 8) bzw. 50 Vol.-%, 30 Vol.-% und 20 Vol.-% (bevorzugtes Beispiel 9) verändert wurden. Die entstehenden jeweiligen Drahtsägen wurden Schneidtests an Einkristall-Siliziumblöcken unterzogen, wobei die Ergebnisse in Tabelle 3 aufgeführt sind. Die Tabelle zeigt auch die Ergebnisse von Schneidtests mit den bevorzugten Beispielen 10 und 11, bei denen ein geringerer Füllstoffgehalt verwendet wurde, sowie den bevorzugten Beispielen 12 und 13, bei denen umgekehrt ein größerer Feststoffgehalt verwendet wurde. Bei dem bevorzugten Beispiel 10 wurde durch Änderungen der Verteilung der Schleifkörnchengröße der 1%ige Gehalt an Füllstoff durch die Schleifkörnchen ersetzt, obwohl das Mischverhältnis des Füllstoffs 0% betrug, wie dies in der Tabelle dargestellt ist. Tabelle 3
  • Schneidgeschwindigkeit A: Schneidgeschwindigkeit unmittelbar nach dem Beginn des Schneidens
  • Gehalt an Füllstoff: Vol.-% des Volumens (Harz + Füllstoff + Schleifkörnchen) (bestimmt anhand der Korngrößenverteilung)
  • Bevorzugte Beispiele 14 bis 16
  • Drahtsägen wurden auf ähnliche Weise wie beim bevorzugten Beispiel 1 hergestellt, wobei jedoch anstelle des Diamant-Schleifkörnchens mit einer durchschnittlichen Korngröße von 30 um ein Diamant-Schleifkörnchen mit einer durchschnittlichen Korngröße von 21 um (IRM20-30, hergestellt von Tomei Diamond Co., Ltd., bevorzugtes Beispiel 14), ein mit Nickel überzogenes Diamantkörnchen mit einer durchschnittlichen Korngröße von 30 um (IRM-NP30-40, hergestellt von Tomei Diamond Co., Ltd., bevorzugtes Beispiel 15) bzw. ein mit Nickel überzogenes Diamantkörnchen mit einer durchschnittlichen Korngröße von 21 um (IRM-NP20-30, bevorzugtes Beispiel 16) eingesetzt wurden. Die jeweiligen entstehenden Drahtsägen wurden Schneidtests an Einkristall-Siliziumblöcken unterzogen, wobei die Ergebnisse in Tabelle 4 aufgeführt sind.
  • Des Weiteren wurde auf gleiche Weise wie in Beispiel 1 die Korngrößenverteilung der Diamantkörnchen mit einer durchschnittlichen Korngröße von 21 um gemessen, wobei die Ergebnisse in der vorangehenden Tabelle 1 aufgeführt sind. Tabelle 4
  • Schneidgeschwindigkeit A: Schneidgeschwindigkeit unmittelbar nach Beginn des Schneidens
  • Schneidgeschwindigkeit B: Schneidgeschwindigkeit 1 Stunde nach dem Beginn des Schneidvorgangs
  • Gehalt an Füllstoff: Vol.-% des Volumens (Harz + Füllstoff + Schleifkörnchen) (bestimmt anhand der Korngrößenverteilung)
  • Bevorzugte Beispiele 17 und 18
  • Drahtsägen wurden auf ähnliche Weise wie bei dem bevorzugten Beispiel 1 hergestellt, wobei jedoch anstelle des Diamant-Schleifkorns mit einer durchschnittlichen Korngröße von 30 um ein SiC-Schleifkorn mit einer durchschnittlichen Korngröße von 32 um (Green SiC Mesh 400, hergestellt von FUJIMI Abrasive Materials Co., Ltd., bevorzugtes Beispiel 17) eingesetzt wurde und SiC mit einer durchschnittlichen Korngröße von 1, 2 um (Green SiC Mesh 8000, hergestellt von FUJIMI Abrasive Materials Co., Ltd., bevorzugtes Beispiel 18) anstelle des Füllstoffs mit einer durchschnittlichen Korngröße von 2,6 um eingesetzt wurde. Die jeweiligen entstehenden Drahtsägen wurden Schneidtests an Einkristall-Siliziumblöcken unterzogen, wobei die Ergebnisse ebenfalls in der obenstehenden Tabelle 4 aufgeführt sind.
  • Bevorzugte Beispiele 19 bis 21 und Vergleichsbeispiele 4 und 5
  • Drahtsägen wurden auf ähnliche Weise wie im bevorzugten Beispiel 1 hergestellt, wobei jedoch Schleifkörnchen aus mit Nickel überzogenem Diamant und Diamant-Füllstoffe mit der Schleifkörnchengröße und Volumen-Mischverhältnissen eingesetzt wurden, wie sie in Tabelle 5 dargestellt sind. Die jeweiligen entstehenden Drahtsägen wurden Schneidtests an Einkristall-Siliziumblöcken unterzogen, wobei die Ergebnisse ebenfalls in Tabelle 5 dargestellt sind. Obwohl mit dem bevorzugten Beispiel 21 höhere Schneidgeschwindigkeiten sowohl für A als auch für B erreicht wurden, wies die Schnittfläche größere Unregelmäßigkeiten als bei den anderen bevorzugten Beispielen auf. So wies das Vergleichsbeispiel 4, bei dem eine geringere durchschnittliche Korngröße eingesetzt wurde, sehr niedrige Schneidgeschwindigkeiten auf, während das Vergleichsbeispiel 5, bei dem eine durchschnittliche Korngröße eingesetzt wurde, die größer war als die Hälfte des Kerndrahtdurchmessers, dazu führte, dass es nicht möglich war, die Schleifkörnchen durch Trocknen zu fixieren. Tabelle 5
  • Bevorzugte Beispiele 22 bis 29
  • Drahtsägen wurden auf ähnliche Weise wie im bevorzugten Beispiel 1 hergestellt, wobei jedoch Schleifkörnchen aus mit Nickel überzogenem Diamant und Diamant-Füllstoffe in der Schleifkörnchengröße und den Volumen-Mischverhältnissen eingesetzt wurden, wie sie in Tabelle 6 dargestellt sind. Die entstehenden Drahtsägen wurden Schneidtests an Einkristall-Siliziumblöcken unterzogen, wobei die Ergebnisse ebenfalls in Tabelle 6 dargestellt sind. Tabelle 6
  • Wie aus den Ergebnissen der obenstehenden bevorzugten Versuchsbeispiele, der bevorzugten Beispiele und Vergleichsbeispiele deutlich ersichtlich wird, sind die Drahtsägen der vorliegenden Erfindung den Drahtsägen der Vergleichsbeispiele sowohl hinsichtlich der Schneidgeschwindigkeit unmittelbar nach dem Beginn des Schneidvorgangs als auch der Schneidgeschwindigkeit eine Stunde danach weit überlegen. Des Weiteren behielten die Drahtsägen gemäß der vorliegenden Erfindung, wenn sie anschließend weiteren Schneidtests unterzogen wurden, eine im Wesentlichen konstante Geschwindigkeit mit einer relativ kleinen Verringerung gegenüber dem Wert eine Stunde nach dem Beginn des Schneidens bei, so dass ein kontinuierlicher Schneidvorgang möglich ist.
  • Es könnte angenommen werden, dass die erwähnte hohe Leistung der Drahtsäge gemäß der vorliegenden Erfindung auf der Tatsache beruht, dass die Schleifkörnchen, die nach außen vorstehen, fest am Außenumfang des hochfesten Kerndrahtes fixiert sind, wobei der füllstoffhaltige Harzbinder eine hohe Warmebeständigkeit und Abriebbeständigkeit verleiht, durch die Beständigkeit gegenüber Arbeitsdruck und Wärme während der Schneidvorgänge gewährleistet ist.
  • Um eine derartige feste Fixierung der vorspringenden und vorstehenden Schleifkömchen sicherzustellen, ist es notwendig, dass das eingesetzte Harz einen Elastizitätsmodul von 100 kg/mm² oder mehr und eine Erweichungstemperatur von 200ºC oder darüber aufweist und einen harten Füllstoff enthält.
  • Der erwähnte eingesetzte Füllstoff, der eine Korngröße von weniger als zwei Drittel der Dicke der Harzbinderschicht hat, verstärkt den Harzbinder, indem er in die Harzbinderschicht eingebettet wird, während das erwähnte eingesetzte Schleifkom gemäß der vorliegenden Erfindung, das eine Korngröße hat, die zwei Drittel der Dicke der Harzbinderschicht ausmacht bzw. ihr entspricht, es ermöglicht, die Beschichtungszusammensetzung auf dem erwähnten Außenumfang des Kerndrahtes auszuhärten, wenn sie getrocknet wird, so dass die Schleifkörner über die Oberfläche der Harzbinderschicht vorstehen und vorspringen und Schneidkanten sowie Spanhohlräume bilden.
  • Dementsprechend versteht es sich von selbst, dass der Kerndrahtdurchmesser, der Typ und die Menge des Harzes, des Schleifkorns und des Füllstoffs sowie die Korngröße des Schleifkorns und des Füllstoffs sowie die Höhe des Vorstehens der Schleifkörnchen je nach Erfordernis innerhalb des Schutzumfangs der vorliegenden Erfindung, wie er von den beigefügten Ansprüchen definiert wird, je nach den speziellen zu schneidenden Gegenständen und den Schneidbedingungen ausgewählt werden, so dass ein optimaler Bearbeitungswirkungsgrad und Bearbeitungsgenauigkeit gewährleistet werden können.
  • Die vorliegende Erfindung schafft, wie oben ausführlich beschrieben, auf einfache Weise und wirtschaftlich machbar eine Schleifkorn-Drahtsäge, die Schneidbearbeitung mit einer Drahtsäge als verbesserten Ersatz für das Wafer-Schneiden mit losen Schneidmitteln nach dem Stand der Technik ermöglicht. Des Weiteren ermöglicht die Drahtsäge gemäß der vorliegenden Erfindung ein Schneidvermögen, das wenigstens 10 mal höher ist als das des Typs mit losen Schleifkörnern, und dies zusammen mit einer entsprechenden Bearbeitungsleistung und -genauigkeit.

Claims (10)

1. Drahtsäge, die einen hochfesten Kerndraht umfasst, wobei eine Schicht eines Harzbinders den Kerndraht überzieht und ein Harz des Harzbinders einen Elastizitätsmodul von 100 kg/mm² oder darüber sowie eine Erweichungstemperatur von 200ºC oder darüber hat und der Harzbinder Füllstoff, der eine Korngröße von weniger als zwei Drittel der Dicke der Harzbinderschicht hat, sowie Schleifkörnchen enthält, die in der Harzbinderschicht fixiert sind und eine Korngröße von nicht weniger als zwei Drittel der Dicke der Harzbinderschicht, jedoch nicht mehr als einer Hälfte des Durchmessers des Kerndrahtes, haben.
2. Drahtsäge nach Anspruch 1, wobei die Schleifkörnchen teilweise über die Außenfläche der Harzbinderschicht vorstehen.
3. Drahtsäge nach Anspruch 1 oder 2, wobei der Gehalt an den Schleifkörnchen von 1 bis 30 Vol.-% des Harzbinders reicht, der das Harz, Füllstoff und Schleifkörnchen enthält.
4. Drahtsäge nach Anspruch 1 oder 2, wobei der Gehalt an Füllstoff von 1 bis 50 Vol.-% des Harzbinders reicht, der das Harz, Füllstoff und Schleifkörnchen enthält.
5. Drahtsäge nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Schleifkörnchen Superschleifkörnchen, wie beispielsweise Diamant oder CBN, umfassen.
6. Drahtsäge nach Anspruch 5, wobei die Superschleifkörnchen metallisiert sind.
7. Drahtsäge nach Anspruch 1 oder 2, wobei der Füllstoff Superschleifkörnchen, wie beispielsweise Diamant oder CBN, umfasst oder wobei der Füllstoff herkömmliche Schleifkörnchen, wie beispielsweise SiC oder Al&sub2;O&sub3;, umfasst.
8. Drahtsäge nach Anspruch 1 oder 2, wobei der hochfeste Kerndraht einen oberflächenbehandelten Klavierdraht umfasst.
9. Verfahren zum Herstellen einer Drahtsäge, dass das Vorbereiten einer Beschichtungszusammensetzung, die einen Harzbinder enthält, das Überziehen eines Kerndrahtes mit der Beschichtungszusammensetzung und das Erhitzen desselben umfasst, um eine Schicht aus dem Harzbinder auszubilden, die auf der Außenumfangsfläche des Kerndrahtes fixiert ist, wobei die Beschichtungszusammensetzung einen Harzbinder umfasst und ein Harz des Harzbinders einen Elastizitätsmodul von 100 kg/mm² oder darüber sowie eine Erweichungstemperatur von 200ºC oder darüber hat. Schleifkörnchen, die eine Korngröße von nicht weniger als zwei Drittel der Dicke der Harzbinderschicht, jedoch nicht mehr als einer Hälfte des Durchmessers des Kerndrahtes, haben, sowie Füllstoff, der eine Korngröße von weniger als zwei Drittel der Dicke der Harzbinderschicht hat, wobei die Schleifkörnchen und der Füllstoff einer Lösung des Harzes in einem Lösungsmittel zugesetzt werden.
10. Verfahren zum Herstellen einer Drahtsäge nach Anspruch 9, wobei der Anteil des Lösungsmittels in der Beschichtungszusammensetzung von 25 bis 75 Vol.-% der gesamten Beschichtungszusammensetzung reicht.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102011008854A1 (de) * 2011-01-18 2012-07-19 Centrotherm Sitec Gmbh Verfahren zum Schneiden von Halbleitermaterialien
DE102008049730B4 (de) * 2008-09-30 2015-05-13 Noritake Super Abrasive Co., Ltd. Harzgebundene Drahtsägevorrichtung

Families Citing this family (67)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6369039B1 (en) 1998-06-30 2002-04-09 Scimed Life Sytems, Inc. High efficiency local drug delivery
US6335029B1 (en) 1998-08-28 2002-01-01 Scimed Life Systems, Inc. Polymeric coatings for controlled delivery of active agents
DE19841492A1 (de) * 1998-09-10 2000-03-23 Wacker Siltronic Halbleitermat Verfahren und Vorrichtung zum Abtrennen einer Vielzahl von Scheiben von einem sprödharten Werkstück
EP1025942B1 (de) * 1999-02-04 2005-10-05 Ricoh Company, Ltd. Drahtsäge mit abrasivem Sägedraht und Verfahren zu seiner Herstellung
DE10022994A1 (de) * 2000-05-11 2001-12-20 Wacker Chemie Gmbh Nickel-Diamant beschichteter Sägedraht mit verbesserter Verankerung der Diamantpartikel
JP4080141B2 (ja) * 2000-05-22 2008-04-23 株式会社リコー ワイヤ工具の製造方法
DE10103856B4 (de) * 2001-01-30 2005-09-29 Dia-G Kiel Diamantwerkzeuge Gmbh Sägeblatt
EP1310316B1 (de) * 2001-11-13 2008-10-22 sia Abrasives Industries AG Sägegarn
AU2003211347A1 (en) * 2002-03-01 2003-09-16 Neomax Co., Ltd. Method of cutting rare earth alloy
US6915796B2 (en) * 2002-09-24 2005-07-12 Chien-Min Sung Superabrasive wire saw and associated methods of manufacture
US20040134478A1 (en) * 2003-01-09 2004-07-15 Bailey Charles M. Aggregate cutting saw chain
JP4411062B2 (ja) * 2003-12-25 2010-02-10 株式会社アライドマテリアル 超砥粒ワイヤソー巻き付け構造、超砥粒ワイヤソー切断装置および超砥粒ワイヤソーの巻き付け方法
JP2006179677A (ja) * 2004-12-22 2006-07-06 Japan Fine Steel Co Ltd ソーワイヤ
ES2270694B1 (es) * 2005-04-05 2008-04-16 Frco. Javier Menendez Martinez Cable de corte.
US8291895B2 (en) 2007-09-05 2012-10-23 University Of South Carolina Methods, wires, and apparatus for slicing hard materials
EP2205387A1 (de) * 2007-10-30 2010-07-14 Pall Corporation Verfahren und system zur herstellung von waferähnlichen scheiben aus einem substratmaterial
US20090320819A1 (en) * 2008-05-21 2009-12-31 Bachrach Robert Z Carbon nanotube fiber wire for wafer slicing
JP5475772B2 (ja) * 2008-07-11 2014-04-16 サンーゴバン アブレイシブズ,インコーポレイティド ワイヤスライシングシステム
US8720429B2 (en) 2009-04-29 2014-05-13 Nv Bekaert Sa Sawing wire with abrasive particles partly embedded in a metal wire and partly held by an organic binder
US20120037140A1 (en) * 2009-04-29 2012-02-16 Nv Bekaert Sa Fixed abrasive sawing wire with a rough interface between core and outer sheath
CN101564828B (zh) * 2009-06-03 2011-02-09 南京师范大学 切割硬、脆性材料的丝锯及其制造方法
CN102458768A (zh) * 2009-06-05 2012-05-16 应用材料公司 用于制造磨料线的设备和方法
JP5833550B2 (ja) * 2009-07-31 2015-12-16 ダイヤモンド イノベイションズ インコーポレーテッド 表面変性研磨材粒子を含む精密ワイヤ
MX2012001809A (es) * 2009-08-14 2012-06-08 Saint Gobain Abrasives Inc Articulos abrasivos que incluyen particulas abrasivas unidas a un cuerpo alargado, y metodos para formar los mismos.
US8425640B2 (en) 2009-08-14 2013-04-23 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Abrasive articles including abrasive particles bonded to an elongated body
KR20110048660A (ko) * 2009-11-03 2011-05-12 일진다이아몬드(주) 다이아몬드 와이어 쏘
TWI461249B (zh) * 2010-04-27 2014-11-21 Kinik Co 線鋸及其製作方法
EP2566801A2 (de) 2010-05-04 2013-03-13 NV Bekaert SA Fester schleifsägedraht mit entfernbarer schutzbeschichtung
EP2572009A1 (de) 2010-05-20 2013-03-27 Universiteit Gent Poröses 3d-material mit bearbeiteter seite
WO2012055711A1 (en) 2010-10-28 2012-05-03 Nv Bekaert Sa A fixed abrasive sawing wire and a method to produce such wire
WO2012055712A1 (en) 2010-10-29 2012-05-03 Nv Bekaert Sa A sawing wire with abrasive particles electrodeposited onto a substrate wire
TWI466990B (zh) 2010-12-30 2015-01-01 Saint Gobain Abrasives Inc 磨料物品及形成方法
JP5651045B2 (ja) * 2011-02-28 2015-01-07 株式会社東京精密 切断用ブレード
US8778259B2 (en) 2011-05-25 2014-07-15 Gerhard B. Beckmann Self-renewing cutting surface, tool and method for making same using powder metallurgy and densification techniques
JP2013038116A (ja) * 2011-08-04 2013-02-21 Sumitomo Electric Ind Ltd Iii族窒化物結晶基板の製造方法
CN102935420B (zh) * 2011-08-15 2014-06-25 浙江瑞翌新材料科技有限公司 金刚石线锯植砂方法及系统
JP5588483B2 (ja) * 2011-08-18 2014-09-10 株式会社コベルコ科研 樹脂被覆ソーワイヤおよび切断体
US9375826B2 (en) 2011-09-16 2016-06-28 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Abrasive article and method of forming
EP2572818A1 (de) 2011-09-23 2013-03-27 NV Bekaert SA Starrer schleifender Sägedraht mit verbesserter Schleifpartikelerhaltung
WO2013049204A2 (en) 2011-09-29 2013-04-04 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Abrasive articles including abrasive particles bonded to an elongated substrate body having a barrier layer, and methods of forming thereof
TWI455965B (zh) * 2012-04-24 2014-10-11 Kinik Co 線鋸及其製造方法
TWI572439B (zh) * 2012-05-31 2017-03-01 Read Co Ltd A fixed abrasive wire saw and its manufacturing method, and a method for cutting the workpiece using the same
TW201404528A (zh) * 2012-06-29 2014-02-01 Saint Gobain Abrasives Inc 研磨物品及形成方法
TW201404527A (zh) 2012-06-29 2014-02-01 Saint Gobain Abrasives Inc 研磨物品及形成方法
TWI477343B (zh) 2012-06-29 2015-03-21 Saint Gobain Abrasives Inc 研磨物品及形成方法
TWI474889B (zh) 2012-06-29 2015-03-01 Saint Gobain Abrasives Inc 研磨物品及形成方法
TW201402274A (zh) 2012-06-29 2014-01-16 Saint Gobain Abrasives Inc 研磨物品及形成方法
TWI605113B (zh) * 2012-07-05 2017-11-11 江陰貝卡爾特合金材料有限公司 具有立方八面體鑽石粒子之固定磨料鋸線
CN102942836B (zh) * 2012-11-28 2016-06-15 长沙岱勒新材料科技股份有限公司 光固化涂料,由其制得的光固化线锯及其制备方法和装置
JP5792208B2 (ja) * 2013-01-10 2015-10-07 株式会社Tkx レジンボンドワイヤーソー
JP6083511B2 (ja) * 2013-03-12 2017-02-22 パナソニックIpマネジメント株式会社 引掛装置
JP6083510B2 (ja) * 2013-03-12 2017-02-22 パナソニックIpマネジメント株式会社 物品保持装置
CN104070233A (zh) * 2013-03-26 2014-10-01 蒙特集团(香港)有限公司 带磨料线锯及其制备方法
TW201441355A (zh) 2013-04-19 2014-11-01 Saint Gobain Abrasives Inc 研磨製品及其形成方法
CN103286865A (zh) * 2013-05-19 2013-09-11 南京师范大学 一种金刚线及其制造方法
CN103341918B (zh) * 2013-07-08 2016-04-13 长沙岱勒新材料科技股份有限公司 一种树脂线锯及其制备方法
CN104760146B (zh) * 2014-01-08 2016-08-17 凡登(江苏)新型材料有限公司 一种用于多线切割的复合固结磨料锯线及其制备方法
CN103753721A (zh) * 2014-01-21 2014-04-30 开封恒锐新金刚石制品有限公司 利用金属粉末掺杂树脂浆料生产树脂金刚线的方法
CN103737730B (zh) * 2014-01-24 2015-12-02 华晶精密制造股份有限公司 一种金刚石切割线生产设备用磁铁定位机构
CN104928671B (zh) * 2014-03-21 2017-10-10 中国有色桂林矿产地质研究院有限公司 一种超硬材料工具的表面锌铬化处理方法及该方法中使用的锌铬包覆涂料
US9873159B2 (en) 2014-12-30 2018-01-23 Corner Star Limited Systems and methods for manufacturing diamond coated wires
WO2016146343A1 (en) 2015-03-13 2016-09-22 Nv Bekaert Sa Method to produce a fixed abrasive saw wire with a metal alloy fixation layer and the wire resulting therefrom
CN106273007B (zh) * 2015-05-22 2017-11-03 江苏益林金刚石工具有限公司 一种复合结合剂金刚石线锯的制备方法
CN106272116A (zh) * 2015-06-29 2017-01-04 圣戈班磨料磨具有限公司 磨具
TWI621505B (zh) 2015-06-29 2018-04-21 聖高拜磨料有限公司 研磨物品及形成方法
CN110548925B (zh) * 2019-09-09 2020-05-29 李国生 一种环形磨料锯原线的制造方法
CN115139231A (zh) * 2021-03-31 2022-10-04 江苏海川光电新材料有限公司 一种金属微拉母线柔韧性的制造方法

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS50102993A (de) * 1974-01-21 1975-08-14
US4139659A (en) * 1975-06-02 1979-02-13 Lumalampan Ab Thin composite wire saw with surface cutting crystals
US4015931A (en) * 1975-09-29 1977-04-05 Engelhard Minerals & Chemicals Corporation Bonded-abrasive wire saw
US4384564A (en) * 1981-01-22 1983-05-24 Crystal Systems Inc. Process of forming a plated wirepack with abrasive particles only in the cutting surface with a controlled kerf
JPS603547B2 (ja) * 1982-05-18 1985-01-29 住友電気工業株式会社 ワイヤ−成型加工法
JPS6464717A (en) * 1987-09-04 1989-03-10 Kanai Hiroyuki Wire for wire saw
JPH01271117A (ja) * 1988-04-22 1989-10-30 Kanai Hiroyuki ワイヤソー用ワイヤ
EP0552190B1 (de) * 1990-10-09 1996-12-18 Minnesota Mining And Manufacturing Company Erodierbare agglomerate enthaltendes beschichtetes schleifmittel
JP3557231B2 (ja) * 1993-09-24 2004-08-25 憲一 石川 ダイヤモンド電着ワイヤ工具及びその製造方法
JPH08126953A (ja) * 1994-10-28 1996-05-21 Shin Etsu Handotai Co Ltd ワイヤソー及びワイヤの製造方法
JPH09155631A (ja) * 1995-12-04 1997-06-17 Asahi Daiyamondo Kogyo Kk ダイヤモンドワイヤーソー及びその製造方法
JPH11216657A (ja) * 1998-01-30 1999-08-10 Sumitomo Electric Ind Ltd ワイヤーソー及びその使用方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008049730B4 (de) * 2008-09-30 2015-05-13 Noritake Super Abrasive Co., Ltd. Harzgebundene Drahtsägevorrichtung
DE102011008854A1 (de) * 2011-01-18 2012-07-19 Centrotherm Sitec Gmbh Verfahren zum Schneiden von Halbleitermaterialien

Also Published As

Publication number Publication date
KR100306358B1 (ko) 2001-11-30
US6070570A (en) 2000-06-06
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