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Hintergrund der Erfindung
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Gebiet der Erfindung
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Diese Erfindung betrifft eine Epoxyharzzusammensetzung
mit einer geringen Schmelzviskosität, die ausreichend ist, um
auf einer dünnen
Mehrstift-Halbleitervorrichtung geformt zu werden, ohne bei dieser
Schäden
zu verursachen, und eine mit einem gehärteten Produkt aus der Zusammensetzung
verkapselte Halbleitervorrichtung.
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Stand der Technik
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Für
Epoxyharzzusammensetzungen, die als ein Einkapselungsmittel für moderne
dünne Verpackungen
dienen, ist die gegenwärtige
Herangehensweise, um einen Kompromiss zwischen einer Verbesserung
der Einfüllung
und einer geringen Wasserabsorption zu finden, das Einmischen eines
hohen Anteils eines Füllstoffs
im Submikronbereich mit einer mittleren Teilchengröße von weniger
als 1 μm,
erwünschterweise
von weniger als 0,5 μm.
Da ein solcher Füllstoff
im Submikronbereich eine in extremer Weise größere spezifische Oberfläche als
herkömmliche
Füllstoffe
besitzt, wird das Benetzen der Grenzflächen zwischen dem Füllstoff und
dem Harz in signifikanter Weise verschlimmert. Als Folge davon besitzt
die Zusammensetzung eine extrem hohe Viskosität und ist dann schwer zu formen.
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Eine weitere Herangehensweise in
jüngster
Zeit ist die Erhöhung
der Beladung mit einem Füllstoff
um die Wasserabsorption zum Zweck der Verbesserung der Reflow-Lötbeständigkeit.
Besonders wenn die Beladung mehr als 85 Gew.-% beträgt, können die
herkömmlicherweise
verwendeten sphärischen
Füllstoffe
eine Düsenpolster-
bzw. Rohchipanschlußverformung
(die pad deformation) und Drahtverformung und gar eine Anlagenstörung bzw.
-ausfall verursachen, weil die Viskosität des beladenen Harzes in dem
Bereich mit geringer Scherung sehr hoch wird.
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Die JP-A-03 177 450 offenbart, dass
Epoxyharz (A) mit sphärischem,
geschmolzenen Silicapulver (B) mit einer Spheroidizität von 0,7 – 1, gemessen
durch die Waadel-Spheroidizität
und mit einer Teilchengrößenverteilung
von 16 – 23
Gew.-% Teilchen mit einem Durchmesser ≤ 2 μm, 55 – 80 Gew.-% Teilchen (insgesamt Teilchen
von ≤ 2 μm und ≤ 12 μm und so
weiter mit einem Durchmesser ≤ 12 μm, ≥ 94,5 Gew.-%
Teilchen mit einem Durchmesser s 45 μm und ≤ 0,01 Gew.% große Teilchen
mit einem Durchmesser ≥ 100 μm, vorzugsweise
mit einem durchschnittlichen Teilchendurchmesser von 5 – 9 μm und einer
spezifischen Oberfläche
von 1–5
m2/g, gemischt wird.
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Zusammenfassung
der Erfindung
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Ein Ziel der Erfindung ist die Bereitstellung
einer Epoxyharzzusammensetzung, die eine geringe Schmelzviskosität besitzt
und leicht zu schmelzen ist, wodurch die Verkapselung von Halbleitervorrichtungen ohne
Verursachung von Schäden,
wie einer Düsenpolsterverformung
und Drahtverformung, ermöglicht
wird. Ein weiteres Ziel der Erfindung ist die Bereitstellung einer
Halbleitervorrichtung, die mit der Epoxyharzzusammensetzung verkapselt
ist.
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Wir führten Untersuchungen zu dem
anorganischen Füllstoff
durch, welcher in Epoxyharzzusammensetzungen in einer großen Menge
gefüllt
werden kann. Anorganische Füllstoffe
des Stands der Technik, die durch herkömmliche Verfahren hergestellt
werden, werden nicht reguliert bezüglich der Teilchengröße und der spezifischen
Oberfläche
eines feinen Bereichs. Wenn eine große Menge eines solchen herkömmlichen
anorganischen Füllstoffs
eingefüllt
wird, erfährt
die resultierende Harzzusammensetzung einen raschen Anstieg der
Viskosität
im gering scherenden Bereich, was zu einer Drahtverformung führt. Dieses
Problem wird nun als ein ernsthaftes Problem angesehen. Für die Zwecke
der Bewältigung
dieses Problems und die Verleihung einer geringen Viskosität an eine
Harzzusammensetzung mit einer hohen Beladung an anorganischem Füllstoff
untersuchten wir die Teilchengrößenverteilung,
die spezifische Oberfläche
und die Gestalt von anorganischen Füllstoffen. In Vorschlägen des
Stands der Technik, die herkömmliche
anorganische Füllstoffe
betreffen, werden die Formungscharakteristika durch die Teilchengrößenverteilung,
die spezifische Oberfläche
und die Gestalt von anorganischen Füllstoffen bestimmt. Wir verlassen
uns ebenfalls auf dieses Prinzip. Allerdings werden die Verhältnisse
der Formbarkeit zu verschiedenen Charakteristika eines Füllstoffs
nicht vollständig
im Stand der Technik verstanden. Ein bloßes Regulieren der Teilchengrößenverteilung,
der spezifischen Oberfläche
und der Gestalt eines anorganischen Füllstoffs ist nicht erfolgreich,
um ein Auftreten der oben genannten Probleme bei modernen dünnen Mehrstiftverpackungen
von großer
Größe zu verhindern.
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Wir fanden heraus, dass, wenn ein
Füllstoff,
welcher zu einem zweckmäßigen Verhältnis der
Viskositäten
bei unterschiedlichen Scherraten führt, durch Mischen von Füllstoffen
jeweils mit einer bestimmten Teilchengröße und spezifischer Oberfläche mit
einem Harz zur Bildung von Harzmischungen, Messen der Viskosität jeder
Mischung bei unterschiedlichen Scherraten und Berechnen des Verhältnisses
der Viskositäten
bei unterschiedlichen Scherraten gewählt wird, eine mit dem Füllstoff
beladene Harzzusammensetzung leicht zu formen ist.
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Insbesondere fanden wir heraus, dass
in einer Epoxyharzzusammensetzung, welche ein Epoxyharz, ein Härtungsmittel
und einen anorganischen Füllstoff
als wesentlichen Komponenten umfasst, wenn der anorganische Füllstoff,
in welchem feine Teilchen mit einer Teilchengröße von weniger als 3 μm 10 bis
40 Gew.-% des gesamten anorganischen Füllstoffs ausmachen und welche
eine Teilchengrößenverteilung
besitzt, dass eine feinste Fraktion von Teilchen mit einer Teilchengröße von 0,05
bis 0,3 μm
1 bis 10 Gew.-% ausmacht, eine feinere Fraktion von Teilchen mit
einer Teilchengröße von 0,4
bis 0,7 μm
5 bis 20 Gew.-% ausmacht und eine feine Fraktion von Teilchen mit
einer Teilchengröße von 0,8
bis 3 μm
5 bis 20 Gew.-% des gesamten anorganischen Füllstoffs ausmacht, der gesamte
anorganische Füllstoff
eine mittlere Teilchengröße von 4
bis 30 μm und
eine spezifische Oberfläche
von ≤ 2,5
m2/g besitzt, gemessen durch eine Stickstoffadsorptions-BET-Methode,
und mit der Maßgabe,
das eine Mischung von flüssigem
Epoxyharz vom Bisphenol-F-Typ mit einer Viskosität von 30 bis 45 Poises bei
25°C, gemessen
durch die Gardner-Holdt-Methode, mit 75 Gew.-% des anorganischen
Füllstoffs
hinsichtlich der Viskosität
bei 25°C
mittels eines Viskosimeters vom E-Typ die Viskosität bei einer
Scherrate von 0,6 s–1 ≤ 50.000 Poises ist und das Verhältnis der
Viskosität
bei einer Scherrate von 0,6 s–1 zu der Viskosität bei einer
Scherrate von 10 s–1 ≤ 2,5/l ist, in einer Menge von
400 bis 1000 Gewichtsteile pro 100 Gewichtsteile des Epoxyharzes
und Härtungsmittels
zusammengenommen vermischt wird, die Zusammensetzung eine geringe
Schmelzviskosität
besitzt und leicht zu formen ist trotz der hohen Beladung mit dem
anorganischen Füllstoff.
Danach können
dünne Mehrstift-Halbleitervorrichtungen
darin ohne Schwierigkeiten, wie eine Drahtverformung, verkapselt
werden.
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Gemäß der Erfindung wird eine Epoxyharzzusammensetzung
bereitgestellt, welche ein Epoxyharz, ein Härtungsmittel und einen anorganischen
Füllstoff
als wesentliche Komponenten umfasst, wobei der oben stehend definierte
anorganische Füllstoff
in einer Menge von 400 bis 1000 Gewichtsteilen pro 100 Gewichtsteile
des Epoxyharzen und Härtungsmittels
zusammengenommen vermischt wird; und eine Halbleitervorrichtung,
die mit einem gehärteten
Produkt aus der Epoxyharzzusammensetzung verkapselt ist.
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Ausführliche
Beschreibung der Erfindung
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Die Epoxyharzzusammensetzung der
Erfindung enthält
ein Epoxyharz, ein Härtungsmittel
und einen anorganischen Füllstoff
als wesentliche Komponenten.
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Die hierin verwendete Epoxyharzzusammensetzung
kann aus allgemein bekannten Epoxyharzen des Stands der Technik
mit mindestens zwei Epoxygruppen in einem Molekül, zum Beispiel Epoxyharzen
vom Bisphenol-A-Typ, Epoxyharzen vom Bisphenol-F-Typ, Epoxyharzen
vom Phenolnovolak-Typ, Epoxyharzen vom Cresolnovolak-Typ, Epoxyharzen
vom Naphthalin-Typ, Epoxyharzen vom Biphenyl-Typ, Epoxyharzen vom Phenylaralkyl-Typ
und Epoxyharzen vom Cyclopentadien-Typ, gewählt werden. Bevorzugt von diesen
Epoxyharzen sind Epoxyharze vom Naphthalin-Typ, Epoxyharze vom Biphenyl-Typ
und Epoxyharze mit einer flüssigen
Kristallstruktur, angegeben durch eine der folgenden Strukturformeln:
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R ist Wasserstoff oder eine Alkylgruppe
mit 1 bis 4 Kohlenstoffatomen, wie Methyl, Ethyl, Propyl, Isopropyl,
Butyl, Isobutyl und Tertbutyl, und der Buchstabe n ist eine ganze
Zahl von 0 bis 5.
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Diese Epoxyharze sollten vorzugsweise
einen Gesamtchlorgehalt von weniger als 1500 ppm, weiter bevorzugt
von weniger als 1000 ppm, und einen wasserextrahierbaren Chlorgehalt
von weniger als 5 ppm, gemessen in einer Epoxyharzkonzentration
von 50 Gew.-% bei 120°C
während
20 Stunden, aufweisen. Wenn der Gesamtchlorgehalt mehr als 1500
ppm beträgt
und/oder der wasserextrahierbare Chlorgehalt mehr als 5 ppm beträgt, wären Halbleitervorrichtungen,
die mit solchen Epoxyharzen verkapselt sind, gegen Feuchtigkeit weniger
zuverlässig.
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Das Härtungsmittel kann aus herkömmlichen
wohlbekannten Verbindungen gewählt
sein, die als Härtungsmittel
für Epoxyharze,
zum Beispiel Phenolverbindungen, Aminverbindungen und Säureanhydridverbindungen,
verwendet werden. Insbesondere sind Phenolharze mit mindestens zwei
phenolischen Hydroxylgruppen in einem Molekül nützlich. Beispielhafte Phenolharze
sind Phenolnovolakharze, Cresolnovolakharze, Phenolaralkylharze,
Phenolharze vom Naphthalin-Typ,
Phenolharze vom Cyclopentadien-Typ und phenolische hydroxylgruppenhaltige
Phenolharze der folgenden Struktur:
worin R Wasserstoff oder
eine Alkylgruppe mit 1 bis 4 Kohlenstoffatomen ist, wie Methyl,
Ethyl, Propyl, Isopropyl, Butyl, Isobutyl und Tertbutyl, und der
Buchstabe n eine ganze Zahl von 0 bis 5 ist.
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Wie die Epoxyharze sollten die Phenolharze
vorzugsweise Chlorid- und Natriumionengehalte von weniger als 10
ppm, insbesondere weniger als 5 ppm aufweisen, wenn sie bei 120°C extrahiert
werden.
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Das Härtungsmittel wird in einer
aüsreichenden
Menge zum Härten
des Epoxyharzes verwendet. Wenn ein Phenolharz als Härtungsmittel
verwendet wird, werden das Epoxyharz und das Phenolharz vorzugsweise
vermischt, so dass 0,5 bis 1,6 Mol, insbesondere 0,6 bis 1,4 Mol
der phe nolischen Hydroxylgruppe pro Mol der Epoxygruppe verfügbar ist.
Weniger als 0,5 Mol der phenolischen Hydroxylgruppe pro Mol der
Epoxygruppe bedeutet eine Knappheit an Hydroxylgruppen, die zu einem
größeren Anteil
an Homopolymerisation von Epoxygruppen, und somit zu einer niedrigeren
Glasübergangstemperatur
führen
kann. Mehr als 1,6 Mol der phenolischen Hydroxylgruppe pro Mol der
Epoxygruppe bedeutet einen höheren
Anteil an phenolischen Hydroxylgruppen, der zu einer geringeren
Reaktivität,
einer geringeren Vernetzungsdichte und einer unzureichenden Festigkeit
führen
kann.
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In die Epoxyharzzusammensetzung der
Erfindung kann ein Härtungsbeschleuniger
eingemischt werden. Der Härtungsbeschleuniger
kann aus Phosphorverbindungen, Imidazolderivaten und Cycloamidinderivaten
gewählt
werden. Die Menge des Härtungsbeschleunigers
beträgt
vorzugsweise 0,01 bis 10 Gewichtsteile pro 100 Gewichtsteile des
Epoxyharzes und des Phenolharzes zusammengenommen.
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Der in der Erfindung verwendete anorganische
Füllstoff
sollte den folgenden Bedingungen genügen. (1) Feine Teilchen mit
einer Teilchengröße von weniger
als 3 μm
machen 10 bis 40 Gew.-% des gesamten anorganischen Füllstoffs
aus. (2) Der gesamte anorganische Füllstoff besitzt eine spezifische
Oberfläche
von ≤ 2,5
m2/g, gemessen durch eine Stickstoffadsorptions-BET-Methode. (3)
Wenn eine Mischung eines flüssigen Epoxyharzes
vom Bisphenol-F-Typ mit einer Viskosität von 30 bis 45 Poises bei
25°C, gemessen
durch die Gardner-Holdt-Methode, mit 75 Gew.-% des anorganischen
Füllstoffs
hinsichtlich der Viskosität
bei 25°C
mittels eines Viskosimeters vom E-Typ gemessen wird, beträgt die Viskosität bei einer
Scherrate von 0,6 s–1 ≤ 50.000 Poises und das Verhältnis der
Viskosität
bei einer Scherrate von 0,6 s–1 zu der Viskosität bei einer Scherrate
von 10 s–1 beträgt ≤ 2,5/l.
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Insbesondere besitzt der hierin verwendete
anorganische Füllstoff
eine Teilchengrößenverteilung, dass
eine Fraktion von feinen Teilchen mit einer Teilchengröße von weniger
als 3 μm
10 bis 40 Gew.-% des gesamten anorganischen Füllstoffs ausmacht, eine Teilchengrößenverteilung,
dass eine feinste Fraktion von Teilchen mit einer Teilchengröße von 0,05
bis 0,3 μm
1 bis 10 Gew.-% ausmacht, eine feinere Fraktion von Teilchen mit
einer Teilchengröße von 0,4
bis 0,7 μm
5 bis 20 Gew.-% ausmacht und eine feine Fraktion von Teilchen mit
einer Teilchengröße von 0,8
bis 3 μm
5 bis 20 Gew.-% des gesamten anorganischen Füllstoffs ausmacht. Wenn die
feine Teilchenfraktion von weniger als 3 μm weniger als 10 Gew.-% beträgt, ist
das dichte inni ge Befüllen
der Zusammensetzung mit dem Füllstoff
nicht zu erwarten und die Schmelzviskosität der Zusammensetzung ist nicht
völlig
niedrig. Wenn die feine Teilchenfraktion von weniger als 3 μm 40 Gew.-% übersteigt,
was einen höheren
Anteil an feineren Teilchen bedeutet, wird die Benetzung an den
Grenzflächen
zwischen dem Harz und dem Füllstoff
unzureichend und die Schmelzviskosität der Zusammensetzung nimmt
zu. Erwünschtermaßen macht
die feine Teilchenfraktion von weniger als 3 μm Größe 10 bis 30 Gew.-% des gesamten
anorganischen Füllstoffs
aus.
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Der anorganische Füllstoff
als Ganzes besitzt eine mittlere Teilchengröße von 4 bis 30 μm. Wenn der Füllstoff
eine mittlere Teilchengröße von weniger
als 4 μm
besitzt, würde
eine damit beladende Harzzusammensetzung zu viskos werden, wodurch
eine hohe Beladung des Füllstoffs
verhindert wird. Wenn der Füllstoff eine
mittlere Teilchengröße von mehr
als 30 μm
besitzt, würde
eine damit beladene Harzzusammensetzung zu einer Blockierung des
Austrittspalts führen.
Erwünschtermaßen besitzt
der anorganische Füllstoff
eine Teilchengrößenverteilung
mit einer maximalen Teilchengröße von weniger
als 100 μm,
stärker
erwünscht
von weniger als 74 μm.
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Es wird darauf hingewiesen, dass
eine Fraktion von Füllstoffteilchen
mit einer Teilchengröße von weniger
als 0,7 μm
eine wichtige Rolle bei der Erhöhung
des dichten Befüllens
mit dem Füllstoff
spielt, wodurch einer Harzzusammensetzung Thixotropie verliehen
wird, um ihre Viskosität
zu vermindern, und das Fließen einer
Harzzusammensetzung reguliert wird. Der gewünschte Füllstoff ist ein feiner teilchenförmiger Füllstoff
mit einer Teilchengröße von 0,05
bis 0,3 μm.
Der Füllstoff
dieses Typs ist erwünschtermaßen von
sphärischer
Gestalt und besitzt eine spezifische Oberfläche von 10 bis 50 m2/g. Der stärker erwünschte Füllstoff besitzt eine spezifische
Oberfläche
von 15 bis 40 m2/g.
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Im Stand der Technik wird häufig trockenes
oder nasses ultrafeines Silica mit einer extrem großen spezifischen
Oberfläche
von 100 bis 300 m2/g, wie durch Aerosil
beispielhaft angegeben, zur Verleihung von Thixotropie verwendet.
Da der Füllstoff
dieses Typs eine große
spezifische Oberfläche
besitzt, verändert
sich das Fließen
größtenteils,
selbst wenn er in einer kleinen Menge zugesetzt wird. Die Verwendung
des Füllstoffs
dieses Typs erfordert eine sorgfältige
Kontrolle.
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Es ist anzumerken, dass die durchschnittliche
Teilchengröße und Teilchengrößenverteilung
Messungen sind (z. B. gewichtsmittlere Werte) durch ein Laserbeugungs-Teilchengrößenverteilungsmessgerät, zum Beispiel
einen Granulometer 920 von CILAS ALCATEL (Frankreich).
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Gemäß der Erfindung besitzt der
anorganische Füllstoff
als Ganzes eine spezifische Oberfläche von ≤ 2,5 m2/g,
erwünschterweise
von 1 bis 2 m2/g, gemessen durch die Stickstoffadsorptions-BET-Methode. Wenn
die spezifische Oberfläche
des Füllstoffs
2,5 m2/g übersteigt, wird eine damit
gefüllte
Harzzusammensetzung thixotroper und schwer zu formen.
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Gemäß der Erfindung genügt der anorganische
Füllstoff
der Bedingung, dass, wenn eine Mischung eines flüssigen Epoxyharzes vom Bisphenol-F-Typ
mit einer Viskosität
von 30 bis 45 Poises bei 25°C
(± 0,05°C), gemessen
durch die Gardner-Holdt-Methode, mit 75 Gew.-% des anorganischen
Füllstoffs
hinsichtlich der Viskosität
bei 25°C
(± 0,05°C) mittels
eines Viskosimeters vom E-Typ gemessen wird, beträgt die Viskosität V1 bei einer Scherrate von 0,6 s–1 ≤ 50.000 Poises
und das Verhältnis
der Viskosität
V1 bei einer Scherrate von 0,6 s–1 zu
der Viskosität
V2 bei einer Scherrate von 10 s–1 beträgt ≤ 2,5/l, das
heisst, V1/V2 ≤ 2,5. Wenn V1/V2 > 2,5, wird die Viskosität des in
dem Hohlraum fließenden
Harzes sehr hoch, was eine Drahtverformung und Düsenpolsterverschiebung bewirkt.
Ein derartiger rascher Anstieg der Harzviskosität in einem Bereich mit geringer
Scherung kann wirksam verhindert werden durch Verwendung eines Füllstoffs,
welcher ein Viskositätsverhältnis V1/V2 zwischen 0,5
und 2,5 vorsieht, insbesondere zwischen von 0,8 und 2,2. Die Viskosität V1 bei einer niedrigen Scherrate von 0,6 s–1 beträgt weniger
als 50.000 Poises. insbesondere 5000 bis 30.000 Poises. Wenn V1 50.000 Poises übersteigt, wird ein damit beladenes
Epoxyharz zu viskos zum Formen.
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Das Mischen des oben stehend definierten
anorganischen Füllstoffs
in einem Epoxyharz bildet eine Epoxyharzzusammensetzung, die eine
Schmelzviskosität
von weniger als 200 Poises bei 175°C besitzt und leicht zu formen
ist.
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Es wird darauf hingewiesen, dass
die spezifische Oberfläche
des anorganischen Füllstoffs
in starkem Maße
das Verhältnis
einer Viskosität
bei einer niedrigen Scherrate zu einer Viskosität bei einer hohen Scherrate
beeinflusst. Wir fanden heraus, dass, wenn die spezifische Oberfläche weniger
als 2,5 m2/g beträgt, das Viskositätsverhältnis V1/V2 weniger als
2,5/l betragen kann. Über
diese spezifische Oberflächengrenze
hinaus wird die Benetzung an den Grenzflächen zwi schen dem Harz und
dem Füllstoff
unzureichend, die Viskosität wird
extrem hoch, und das Viskositätsverhältnis V1/V2 übersteigt
2,5. Das Viskositätsverhältnis V1/V2 wird ebenfalls
durch eine feine Füllstofffraktion
mit einer Teilchengröße von weniger
als 0,7 μm,
insbesondere von 0,05 bis 0,3 μm,
beeinflusst. Eine teilchenförmige
Füllstofffraktion
dieses Bereichs tendiert zu einem Agglomerieren als Folge der Vibration,
und wenn es zu einer sekundären
Agglomeration kommt, wird deren Einfluss noch deutlicher. Erwünschterweise
wird der Füllstoff
mit dem Harz vorgemischt, um eine sekundäre Agglomeration zu verhindern
und um Füllstoffteilchen
mit dem Harz an ihrer Grenzfläche
vollständig
zu benetzen.
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Der hierin verwendete Füllstoff
schließt
Quarzglas, das durch Pulverisieren in einer Kugelmühle erhalten
wird, sphärisches
Silica, das durch Flammbondieren erhalten wird, sphärisches
Silica, das durch eine Sol-Gel-Methode erhalten wird, kristallines
Silica, Aluminiumoxid, Bornitrid, Aluminiumnitrid, Siliziumnitrid,
Magnesia und Magnesiumsilikat ein. Wo Halbleiterelemente eine beträchtliche
Wärmefreisetzung
erzeugen, ist es wünschenswert,
Füllstoffe
mit einem größeren Wärmeleitvermögen und
einem geringeren Ausdehnungskoeffizienten zu verwenden, wie Aluminiumoxid,
Bornitrid, Aluminiumnitrid und Siliziumnitrid. Diese können mit Quarzglas
vermischt werden. Die Gestalt des anorganischen Füllstoffs
ist nicht kritisch. Füllstoffe
von Flocken-, Dendrit- und sphärischen
Gestalten können
allein oder in Vermischung von zwei oder mehreren verwendet werden.
Sphärische
Teilchen sind für
die Verminderung der Viskosität
und eine höhere
Beladung höchst
wünschenswert.
Vorzugsweise wird der Füllstoff
mit Silan-Haftvermittlern
und Titan-Haftvermittlern vor dem Gebrauch oberflächenbehandelt.
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Die Menge des vermischten anorganischen
Füllstoffs
beträgt
etwa 400 bis 1000 Gewichtsteile des anorganischen Füllstoffs
pro 100 Gewichtsteile des Epoxyharzes und des Härtungsmittels zusammengenommen.
Außerhalb
dieses Bereichs würden
Epoxyharzzusammensetzungen mit geringeren Mengen des anorganischen
Füllstoffs
einen relativ hohen Ausdehnungskoeffizienten und eine hohe Wasserabsorption
aufweisen, wodurch das Risiko bleibt, dass Verpackungen bei hoher
Temperatur beim Reflow-Löten
reißen.
Epoxyharzzusammensetzungen mit mehr Mengen des anorganischen Füllstoffs
würde zu
viskos für
das Formen werden.
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Weiterhin können herkömmliche, allgemein bekannte
Pulver, wie Silikonkautschuk und -gel, silikonmodifizierte Epoxyharze,
silikonmodifizierte Phenolharze und thermoplastische Harze, wie
Methylmethacrylat-Butadien-Styrol-Copolymere in die Epoxyharzzusammensetzung
als spannungsverminderndes Mittel eingemischt werden.
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Auch können herkömmliche, allgemein bekannte
Verdünnungsmittel
mit einer Epoxy- oder Phenolhydroxylgruppe zur Verminderung der
Viskosität
zugesetzt werden. Beispielhafte Verdünnungsmittel schließen n-Butylglycidylether,
Phenylglycidylether, Styroloxid, Tertbutylphenylglycidylether, Dicyclopentadiendiepoxid, Phenol,
Cresol und Tertbutylphenol ein.
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Noch weiter werden Haftvermittler,
wie Silan-Haftvermittler, Titan-Haftvermittler und Aluminium-Haftvermittler,
Pigmente, wie Carbon-Black bzw. Ruß, und Benetzbarkeits-Modifizierungsmittel
und Antischaummittel, wie nichtionische Tenside, fluorierte Tenside
und Silikonfluide, auf Wunsch zugesetzt.
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Bezüglich des Herstellungsverfahrens
kann eine flüssige
Epoxyharzzusammensetzung hergestellt werden durch völliges Kneten
der oben genannten Bestandteile in einem Rührmixer, wie einem Shinagawa-Mixer.
Die Knettemperatur beträgt
erwünschtermaßen 20 bis
50°C. Eine
pulverförmige
Epoxyharzzusammensetzung kann durch gleichmäßiges Mischen der oben stehenden
Bestandteile in einem Hochgeschwindigkeitsmischer und vollständiges Kneten
der Mischung in einer Doppelwalzmühle oder einer kontinuierlichen
Knetmaschine hergestellt werden. Die Knettemperatur beträgt erwünschtermaßen 50 bis
110°C. Nach
dem Kneten wird die Zusammensetzung zu dünnen blattförmigen Schichten geformt, gekühlt und
pulverisiert.
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Die Harzzusammensetzung der Erfindung
wird als Allzweckformungsmaterial verwendet, insbesondere als Halbleiterverkapselungsmaterial.
Die hierin angewandte Formungstechnik schließt das Übertragungsformen, Kompressionsformen
und Spritzgießen
ein. Eine Formungstemperatur von 150 bis 185°C ist bevorzugt.
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Verschiedene Halbleitervorrichtungen
können
mit der Epoxyharzzusammensetzung gemäß der Erfindung verkapselt
werden. Unter anderem können
diskrete Vorrichtungen, IC- und hochintegrierte Vorrichtungen, wie
LSI und Ultra-LSI, vorteilhafter Weise verkapselt werden.
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Es wurde eine mit einem einzigartigen
anorganischen Füllstoff
beladene Epoxyharzzusammensetzung beschrieben, welche eine geringe
Schmelzviskosität
besitzt, leicht zu formen ist und damit für die Verkapselung einer Halbleitervorrichtung
wirksam ist, ohne zu einer Verformung des Düsenpolsters und einer Drahtverformung
zu führen.
Die mit der beladenen Epoxyharzzusammensetzung verkapselte Halbleitervorrichtung
bleibt somit überaus
zuverlässig.
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Beispiel
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Beispiele der vorliegenden Erfindung
sind weiter unten zur Erläuterung
und nicht als Einschränkung angegeben.
Alle Teile sind gewichtsbezogen.
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Beispiele 1–3 & Vergleichsbeispiele
1–5
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Jeder der in Tabelle 1 aufgeführten Silica-Füllstoffe
A bis H wurde mit 0,5 Gew.-% γ-Glycidyloxypropyltrimethoxysilan
(KBM403 von Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) oberflächenbehandelt und auf verschiedene
Eigenschaften hin untersucht.
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Teilchengrößenverteilung
und mittlere Teilchengröße
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Die Teilchengrößenverteilung wurde mit Hilfe
eines Laser-Beugungs-/Streuungs-Teilchengrößenverteilung-Analysengeräts gemessen.
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Spezifische Oberfläche
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Ein Füllstoff wurde hinsichtlich
der spezifischen Oberfläche
mit Hilfe eines Testgeräts
der spezifischen Oberfläche
gemessen (BET-Methode, Stickstoffadsorption).
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Viskositätsverhältnis und
Viskosität
bei 0,6 s–1.
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Eine Mischung wurde durch Wiegen
von 1 Gramm eines Epoxyharzes Epikote 807 (Epoxyharz vom Bisphenol-F-Typ
mit einem Epoxy-Äquivalent
von 168 und einer Viskosität
von 38 Poises bei 25°C,
von Shell Chemical Co.) und 3 Gramm Silica und vollständiges Mischen
auf einer Glasschale hergestellt. Unter Einsatz eines mit einem
Rotorkegel R-U (Toki Sangyo K. K.) ausgerüsteten Viskosimeters vom E-Typ
wurde die Mischung hinsichtlich der Viskosität bei einer Scherrate von 0,6
s–1 und
10 s–1 bei
einer Temperatur von 25°C ± 0,05°C gemessen.
Das Verhältnis
V1/V2 der Viskosität V1 bei einer Scherrate von 0,6 s–1 zu
der Viskosität
V2 bei einer Scherrate von 10 s–1 wurde
berechnet.
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Epoxyharzzusammensetzungen wurden
durch Mischen der Silica-Füllstoffe
in der in Tabelle 2 gezeigten Menge hergestellt, gefolgt von einem
Kneten. Die Harzzusammensetzungen wurden auf verschiedene Eigenschaften
hin untersucht.
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Spiralförmiges Fließen
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Ein spiralförmiges Fließen wurde durch Übertragungsformen
einer Epoxyharzzusammensetzung bei einer Temperatur von 175°C und einem
Druck von 6,86 106 Pa (70 kg/cm2)
gemessen.
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Gelierungszeit
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Eine Epoxyharzzusammensetzung wurde
auf einer Heizplatte bei 175°C
erwärmt,
bis die Zusammensetzung gelierte.
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Innere und äußere Hohlräume
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Eine Epoxyharzzusammensetzung wurde über eine
quadratische flache Verpackung (OFP, fünf Proben) bei einer Temperatur
von 175°C
und einem Druck von 6,86 106 Pa (70 kgf/cm2) einem Übertragungsformen
unterzogen. Mit Hilfe eines Ultraschall-Fehlerdetektors wurde die
Zahl der inneren Hohlräume
gezählt. Die
Zahl der äußeren Hohlräume wurde
durch visuelle Begutachtung gezählt.
Die Zahl der Hohlräume
ist die Summe der Hohlräume
in oder auf fünf
Proben.
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Drahtverformung
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Eine Epoxyharzzusammensetzung wurde über einer
QFP mit Golddrähten
von 3 mm Länge,
die bei einer Temperatur von 175°C
und einem Druck von 6,86 106 Pa (70 kgf/cm2) verbunden wurden, einem Übertragungsformen
unterzogen. Die Verpackung wurde durch ein Analysengerät mit weicher
Röntgenstrahlung begutachtet,
um zu untersuchen, ob die Golddrähte
verformt waren.
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Düsenpolsterverformung
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Eine Epoxyharzzusammensetzung wurde über einer
QFP bei einer Temperatur von 175°C
und einem Druck von 6,86106 Pa (70 kgf/cm2) einem Übertragungsformen
unterzogen. Die Verpackung wurde zerschnitten, um zu untersuchen,
ob die Düsenpolster
verformt waren.
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Die Resultate sind in Tabelle 2 aufgeführt.
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Beispiele 4–5 & Vergleichsbeispiel
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Epoxyharzzusammensetzungen wurde
wie in Beispiel 1 hergestellt, jedoch entsprechend der in Tabelle
3 gezeigten Formulierung, und wie in Beispiel 1 untersucht. Die
Resultate sind in Tabelle 3 aufgeführt.
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Obwohl einige bevorzugte Ausführungsformen
beschrieben wurden, können
zahlreiche Modifizierungen und Abwandlungen im Lichte der oben stehenden
Lehren vorgenommen werden.