DE69403449T2 - Fluorierung von strahlungsvernetzten perfluoroelastomeren - Google Patents
Fluorierung von strahlungsvernetzten perfluoroelastomerenInfo
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Description
- Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Fluorieren von Perfluorelastomeren, die durch Strahlung vernetzt sind, um die Wärmestabilität derartiger Materialien zu verbessern, wie durch Reduktion der Menge des Ausgasens beim Erwärmen, und zur Verbesserung der Beständigkeit gegen bleibende Druckverformung bei höheren Temperaturen. Offenbart werden auch Perfluor(methylvinylether)/Tetrafluorethylen-Copolymere, die auf derartige Weise behandelt wurden.
- Perfluorelastomere werden verwendet, wenn in Kautschukteilen, wie in Dichtungen, eine Hochtemperaturbeständigkeit und/oder eine chemische Beständigkeit erforderlich sind. Diese Materialien werden typischerweise durch geringe Mengen von Härtungsstellen-Monomeren vernetzt, die in die Polymerketten eingebaut sind, um reaktive Vernetzungsstellen bereitzustellen. Jedoch ist für einige Anwendungen das Vernetzen unter Verwendung zugefügter Chemikalien nicht notwendigerweise erwünscht, da es, insbesondere bei hohen Temperaturen, zum Ausgasen von Spezies mit niedriger Molmasse aus dem vernetzten Polymer führen kann, was zu einer chemischen Verunreinigung von "sauberen" Umgebungen führen kann.
- Perfluorelastomere können auch durch Belichten derselben mit ionisierender Strahlung gehärtet werden, die nicht absichtlich eine neue chemische Spezies in das Polymer einführt. Jedoch führt die Einwirkung von Strahlung häufig dazu, daß relativ instabile Gruppen in dem vernetzten Perfluorelastomer erzeugt werden. Es wurde nun gefunden, daß das Fluorieren eine große Zahl dieser instabilen Gruppen zerstört, wodurch sich ein Produkt mit relativ geringem Ausgasen ergibt.
- Das Fluorieren von perfluorierten Thermoplasten zum Entfernen von "Verunreinigungen" oder relativ instabilen. Gruppen ist bekannt; siehe z.B. die US Patente 4 675 380, 4 687 708 und 4 743 658. Teilweise fluorierte Polymere sind auch mit Fluor behandelt worden, um perfluorierte Polymere zu bilden; siehe das US Patent 4 948 844. Es wird angenommen, daß keines dieser Patente vernetzte Polymere beinhaltet.
- Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Fluorieren eines vernetzten Perfluorelastomers, umfassend das In-Kontakt-Bringen - bei einer Temperatur von -50 ºC bis 200 ºC - von Fluor bei einem Partialdruck von etwa 25 kPa bis etwa 5,0 MPa und eines Perfluor-Elastomers, das durch Einwirkung von Strahlung vernetzt worden ist.
- Die hierin verwendeten Perfluorelastomere sind zuvor durch ionisierende Strahlung vernetzt worden. Das Vernetzen derartiger Polymere wird in dem US Patent 5 260 351 der Anmelderin, angemeldet am 20. August 1991, beschrieben. Das Vernetzen wird durch Einwirkung ionisierender Strahlung auf ein Perfluorelastomer durchgeführt, d.h. einer solchen, die durch einen Van de Graaf-Elektronenstrahlbeschleuniger, an dem ein System zur gleichförmigen Belichtung des Perfluorelastomers befestigt ist, erzeugt wird. Eine Bestrahlungsdosis von etwa 2 bis 20 megarad Bestrahlung ist üblicherweise ausreichend.
- Während jedes Perfluorelastomer verwendet werden kann, sind doch bei einem bevorzugten, hierin verwendeten Perfluorelastomer wenigstens 95 Mol-%, mehr bevorzugt wenigstens 98 Mol-%, seiner Repetiereinheiten vom Tetrafluorethylen und Perfluor(methylvinylether) abgeleitet. Dieses Perfluorelastomer kann ein Dipolymer von Tetrafluorethylen und Perfluor(methylvinylether) sein, oder ein Perfluorelastomer sein, das 0,1 bis 5 Mol-%, mehr bevorzugt etwa 0,2 bis etwa 2 Mol-%, eines Härtungsstellen-Monomers enthält. Unter einem Härtungsstellen-Monomer versteht man ein Monomer, üblicherweise fluoriert, das eine "reaktive" Gruppe enthält, die (im Gegensatz zu dem alleinigen Vernetztsein durch Strahlung) chemisch vernetzt sein kann. Derartige Härtungsstellen- Monomere können cyanosubstituierte Perfluor(alkylvinylether) sein, wie sie in dem US Patent 4 281 092 beschrieben werden, und/oder Brom enthaltende Olefine sein, wie sie im US Patent 4 281 092 beschrieben werden, und/oder perfluorphenoxysubstituierte Olefine sein, die in den US Patenten 3 467 638 und 3 682 872 beschrieben werden.
- In einem bevorzugten Perfluorelastomer leiten sich wenigstens 95 Mol-% der Repetiereinheiten von Tetrafluorethylen und CF&sub2;=CF[OCF&sub2;CF(CF&sub3;)]qOC&sub3;F&sub7; ab, worin q 0 oder eine ganze Zahl von 1 bis 10 ist. Andere bevorzugte Perfluorelastomere sind solche, in denen sich 95 % der Repetiereinheiten ableiten von: Tetrafluorethylen und einem Perfluor(alkylvinylether), worin die Alkylgruppe 1 bis 4 Kohlenstoffatome enthält, oder Tetrafluorethylen, einem Perfluor(alkylvinylether), worin die Alkylgruppe 1 bis 4 Kohlenstoffatome enthält, und CF&sub2;=CF[OCF&sub2;CF(CF&sub3;)]qOC&sub2;F&sub7;, worin q 0 oder eine ganze Zahl von 1 bis 10 ist.
- Das Fluorieren wird bei -50 ºC bis etwa 200 ºC, vorzugsweise etwa 25 ºC bis etwa 100 ºC durchgeführt. Der Fluorpartialdruck beträgt etwa 25 kPa bis etwa 5,0 MPa. Die Atmosphäre kann reines Fluorgas sein, jedoch bevorzugt man es, das Fluor mit einem inerten Gas wie Stickstoff zu verdünnen. Es wird bevorzugt, daß die Mischung mit inertem Gas einen Fluorgehalt von etwa 1 Vol.-% bis etwa 50 Vol.-% aufweist.
- Obwohl jeder Betrag der Fluorierung vorteilhaft ist, wird es bevorzugt, daß die Fluorierung während einer Zeitspanne durchgeführt wird, die ausreichend lang ist, damit das Fluor in das gesamte Perfluorelastomer eindringt und mit dem gesamten Perfluorelastomer reagiert. Die Zeitspanne, die für eine derartige Fluorierung notwendig ist, variiert in Abhängigkeit von verschiedenen Faktoren. Eine Abnahme der Dicke des Perfluorelastomer-Stücks und/oder ein Erhöhen der Temperatur der Fluorierung und/oder ein Erhöhen des Fluorpartialdrucks verkürzt die Zeitspanne, die für eine befriedigende Fluorierung notwendig ist.
- Nach dem Fluorieren weisen die durch Strahlung vernetzten Perfluorelastomere ein geringeres Ausgasen beim Erwärmen und eine bessere Beständigkeit gegenüber einem Sauerstoffplasma (siehe die Beispiele 1-5) auf. Dies ist besonders wertvoll, wenn Perfluorelastomer-Teile in Umgebungen verwendet werden, in denen eine minimale chemische Verunreinigung erforderlich ist, wie in sauberen Räumen und bei Halbleiterherstellungs- Arbeitsweisen. Das hierin fluorierte, durch Strahlung vernetzte Perfluorelastomer kann die üblichen Füllstoffe enthalten, die in derartigen Anwendungen verwendet werden, wie Ruß, Bariumsulfat, Titandioxid und Calciumcarbonat. Natürlich sollte jeder verwendete Füllstoff gegenüber Fluor inert sein. Es wird bevorzugt, daß für Anwendungen in der Halbleiterindustrie kein Füllstoff verwendet wird.
- Ein Typ einer instabilen Gruppe in den durch Strahlung vernetzten Perfluorelastomeren sind Carboxylgruppen (welche hierin Carboxylatgruppen und Säuredimer- und Säuremonomergruppen umfassen). Diese können in dem Polymer durch Infrarotspektroskopie leicht nachgewiesen werden. Es wird bevorzugt, daß die Anzahl der Carboxylgruppen in dem Polymer nach der Fluorbehandlung weniger als etwa 1000 pro 1 Million Kohlenstoffatome, mehr bevorzugt weniger als etwa 600 pro 1 Million Kohlenstoffatome, beträgt. Dies ist insbesondere bei Polymeren der Fall, bei denen von Tetrafluorethylen und Perfluor(methylvinylether) abgeleitete Einheiten 95 Mol-% oder mehr der Repetiereinheiten des Polymers ausmachen. In derartigen Polymeren kann der Gehalt der Carboxylgruppen pro 1 Million Kohlenstoffatome - N - durch die folgende Methode bestimmt werden, welches die Methode ist, die zur Bestimmung des in den Ansprüchen aufgeführten Gehalts der Carboxylgruppen verwendet werden soll, und die auch in den vorliegenden Beispielen verwendet wird:
- Von einem Film einer Dicke von etwa 0,25 mm (dieser Film muß unter Umständen aus der Stichprobe durch einen Dünnschnitt hergestellt werden, da das Perfluorelastomer vernetzt ist) wird ein Infrarotspektrum erhalten. Die Extinktionen dieser Absorptionsbanden werden gemessen: Dickenbande bei etwa 2360 cm&supmin;¹, wobei die Extinktion bei dem Peakmaximum zu einer geraden Grundlinie, die zwischen den Peakminima in der Nähe von 2700 cm&supmin;¹ und 2200 cm&supmin;¹ gezogen wird, gemessen wird; Säuredimer- Bande bei etwa 1775 cm&supmin;¹, wobei die Extinktion von dem Peakmaximum zu einer geraden Grundlinie, die zwischen den Peakminima bei etwa 1830 cm&supmin;¹ und 1730 cm&supmin;¹ gezogen wird, gemessen wird; Carboxylat-Bande bei etwa 1700 cm&supmin;¹, wobei die Extinktion von dem Peakmaximum zu einer geraden Grundlinie, die zwischen den Peakminima bei etwa 1730 cm&supmin;¹ und 1620 cm&supmin;¹ gezogen wird, gemessen wird. Die Anzahl der Säuredimer-Gruppen pro 1 Million Kohlenstoffatome (NAD) wird aus der folgenden Gleichung berechnet:
- NAD = 67 (Extinktion der Säuredimer-Bande)/0,061 (Extinktion der Dickenbande)
- Die Anzahl der Carboxylatgruppen (NCG) wird aus:
- NCG = 12 000 (Extinktion der Carboxylat-Bande)/(Extinktion der Dickenbande
- berechnet.
- Die Anzahl der Carboxylgruppen pro ppm Kohlenstoffatome (N) ist dann:
- N = NAD + NCG.
- In den Beispielen werden die folgenden Abkürzungen verwendet:
- 8CNVE - Perfluor(4,7-dioxa-5-trifluormethylnon-8-ennitril) (CA Nr. 69804-19-9)
- PMVE - Perfluor(methylvinylether)
- TFE - Tetrafluorethylen
- In den Beispielen wurden die folgenden Arbeitsweisen für die physikalischen Tests verwendet:
- bleibende Druckverformung - ASTM D395-89, Methode B und D1414-90
- Zug und Dehnung - ASTM D1708 und ASTM D1414-90.
- In einem Schüttelrohr wurden 7 O-Ringe (AS568A-214) angeordnet, die aus einem TFE/PMVE/8CNVE-Perfluorelastomer eines Stoffmengenverhältnisses von 67,5:32:0,5 geformt wurden. Diese O-Ringe wurden vorher durch Belichtung mit einer Elektronenstrahl-Bestrahlung (14 Mrad) vernetzt und bei 150ºC/24 h (Einzelheiten siehe im US Patent Nr. 5 260 351, 07/747 318, angemeldet am 20. August 1991) nachgehärtet. Das Rohr wurde evakuiert und dann mit einer gasförmigen Mischung von Fluor und Stickstoff eines Verhältnisses von 25:75 (F&sub2;:N&sub2;) unter einen Druck von 1,38 MPa gesetzt. Das Rohr wurde 6 Stunden bei 40 ºC gehalten. Die Gase wurden dann abgezogen, das Rohr wurde mit Stickstoff gespült, um alles restliche Fluor zu entfernen, das Rohr wurde geöffnet, und die O-Ringe wurden entfernt. Die O-Ringe wurden 24 Stunden in einen Ofen bei 80 ºC gelegt, um alle adsorbierten Gase zu entfernen.
- Die Beispiele 2-6 wurden unter Anwendung der gleichen Arbeitsweise durchgeführt, außer daß die Fluorierungsbedingungen variiert wurden, wie nachstehend angegeben ist. Die Zusammensetzung der Fluor/Stickstoff-Mischung und der Druck waren die gleichen wie im Beispiel 1.
- *Gehärtet in einem Elektronenstrahl mit 12 Mrad Bestrahlung, und 24 h bei 175ºC nachgehärtet.
- Verschiedene Testergebnisse sind anschließend für diese Beispiele angegeben. "Kontrollen" wurden auf die gleiche Weise wie die Proben in den Beispielen vernetzt oder anderweitig behandelt, außer daß die Kontrollen nicht fluoriert wurden.
- Die O-Ringe wurden auf die Zugeigenschaften und die Beständigkeit der bleibenden Druckverformung getestet, und die Ergebnisse sind in den Tabellen 1, 3 und 5 aufgeführt. Tabelle 1 Eigenschaften fluorierter, durch Strahlung gehärteter O-Ringe
- Die O-Ringe wurden durch thermogravimetrische/Infrarot-Analyse (TGA/IR) getestet, wie oben beschrieben wurde.
- Etwa 1 g der Probe wird in dem Wiegeschiffchen der TGA-Apparatur angeordnet. Auf die Kammer läßt man eine Stickstoffspülung einwirken, und sie wird unter einem gesteuerten Temperaturanstieg erwärmt. Die Abgase werden durch eine Zelle von 20 cm geleitet, welche mit einem FT-IR-Spektrometer kontinuierlich abgetastet wird. Die 20 cm-Zelle und die Übertragungslinien werden während des Versuchs bei 240 ºC gehalten. Alle flüchtigen Gase, die sich aus der Probe entwickeln, werden durch die Zelle geleitet. Nachdem man die hochsiedenden Gase (Siedepunkt über 150 ºC) aus dem System auskondensiert wurden, werden die Gase von Raumtemperatur in einem Gasbeutel gesammelt und in eine 10 m-Zellle überführt. Die Verwendung des Gasbeutels erlaubt den Nachweis von Gasen, die sich langsam während des Versuchs bilden, oder von Gasen, die in Mengen unterhalb der Nachweisgrenze vorliegen. Die 10 m-Zelle ist deshalb zum Auffinden geringer Mengen von Gasen hilfreich, die man nicht in der 20 cm-Zelle findet. Das erzeugte HF wird als SiF&sub4; gemessen. Die Ergebnisse werden in der Tabelle 2 aufgeführt. Es ist klar, daß in den beiden Versuchsreihen die Kontrolle die höchsten Mengen an flüchtigen Bestandteilen aufwies, da die Probe einen Erwärmungskreislauf von 24 ºC bis 450 ºC durchlief. Die fluorierten Proben wiesen in allen Fällen eine signifikant niedrigere Erzeugung von flüchtigen Produkten auf (siehe die Tabellen 2 und 4). Tabelle 2 TGA/IR-Ergebnisse für fluorierte Perfluorelastomere
- 1) unter Stickstoff; Temp. 24-450 ºC bei 5 ºC/min
- Die O-Ringe wurden auch getestet, indem man Sauerstoff- und Sauerstoff/C&sub2;F&sub6; (1:1)-Plasmen in einer Branson IPC-Plasma- Ätzvorrichtung auf dieselben einwirken ließ.
- Der Gewichtsverlust der O-Ringe, auf die ein Sauerstoff-Plasma einwirken gelassen wurde, wurde wie folgt verfolgt: Die O-Ringe wurden zuerst mit einem fluorierten Lösungsmittel (1,1,2-Trichlor-1,2,2-trifluorethan) gewaschen und über Nacht in einem Vakuumofen bei 80 ºC getrocknet. Dann wurden sie gewogen und in die IPC-Branson-Ätzvorrichtung eingeführt, in der ein Sauerstoff-Plasma bei 50 W und 0,5 torr 8 Stunden auf sie einwirken gelassen wurde. Die O-Ringe wurden in bestimmten Intervallen während der Belichtung gewogen. Die Ergebnisse - wie in der Fig. 1 aufgeführt - weisen darauf hin, daß bei der Fluorierung (Beispiele 1, 2, und 3) der Gewichtsverlust nur die Hälfte desjenigen der Kontrolle beträgt.
- In anderen Versuchsreihen wurden auf O-Ringe Sauerstoff- und Sauerstoff/C&sub2;F&sub6;-Plasmen unter drei Belichtungsbedingungen einwirken gelassen: 50 W und 0,5 torr während 0,5 Stunden, 200 W und 0,5 torr während 2 Stunden und 200 W und 0,5 torr während 4 Stunden. Die Oberflächenveränderungen wurden durch Elektronenspektroskopie für die chemische Analyse (ESCA) für die obersten 10 nm und deren Oberflächenmorphologie durch Abtast-Elektronen-Mikroskopie verfolgt. Die Ergebnisse wiesen qualitativ darauf hin, daß bei der Kontrolle ein geringer Grad chemischen Oberflächenabbaus bei der Belichtung mit dem Plasma vorlag, während bei den Beispielen 1, 2 und 3 kein nachweisbarer Grad des Abbaus der O-Ringe vorliegt. Tabelle 3 Beständigkeit der bleibenden Druckverformung von fluorierten O-Ringen Tabelle 4 TGA/IR-Ergebnisse für fluorierte Perfluorelastomere
- 1) unter Stickstoff; Temp. 24-450 ºC bei 5º/min Tabelle 5 physikalische Eigenschaften fluorierter Perfluorelastomerer
- Die Infrarot-Peaks, die zur Berechnung der Anzahl von Carboxylgruppen pro Million Kohlenstoffatome ("N" wie im Text beschrieben) verwendet wurden, waren:
- 2358 cm&supmin;¹ Dickenbande
- 1773 cm&supmin;¹ Carbonsäure-Absorption
- 1726 und 1676 cm&supmin;¹ Carboxylat-Anion. Tabelle 6 Infrarotspektren von fluorierten Perfluorelastomeren
Claims (17)
1. Verfahren zum Fluorieren eines vernetzten
Perfluor-Elastomers, umfassend das In-Kontakt-Bringen von Fluor bei
einem Partialdruck von 25 kPa bis 5,0 MPa und einem
Perfluor-Elastomer, das durch Belichtung mit Strahlung
vernetzt worden ist, bei einer Temperatur von -50 ºC bis
200 ºC.
2. Verfahren gemäß Anspruch 1, worin die Temperatur 25 ºC
bis 100 ºC beträgt.
3. Verfahren gemäß Anspruch 1, worin wenigstens 95 Mol-% der
Repetiereinheiten in dem Perfluor-Elastomer von
Tetrafluorethylen und Perfluor(methylvinylether) stammen.
4. Verfahren gemäß Anspruch 2, worin wenigstens 95 Mol-% der
Repetiereinheiten in dem Perfluor-Elastomer von
Tetrafluorethylen und Perfluor(methylvinylether) stammen.
5. Verfahren gemäß Anspruch 1, worin wenigstens 98 Mol-% der
Repetiereinheiten in dem Perfluor-Elastomer von
Tetrafluorethylen und Perfluor(methylvinylether) stammen.
6. Verfahren gemäß Anspruch 1, worin 0,1 bis 5 Mol-% eines
Curesit-Monomers in dem Perfluor-Elastomer vorliegen.
7. Verfahren gemäß Anspruch 5, worin das Perfluor-Elastomer
weniger als 1000 Carboxyl-Gruppen pro Million
Kohlenstoffatome nach der Fluorierung aufweist.
8. Verfahren gemäß Anspruch 7, worin das Perfluor-Elastomer
weniger als 600 Carboxyl-Gruppen pro Million
Kohlenstoffatome nach der Fluorierung aufweist.
9. Verfahren gemäß Anspruch 4, worin das Perfluor-Elastomer
weniger als 1000 Carboxyl-Gruppen pro Million
Kohlenstoffatome nach der Fluorierung aufweist.
10. Verfahren gemäß Anspruch 9, worin ein Curesit-Monomer in
dem Perfluor-Elastomer vorliegt.
11. Verfahren gemäß Anspruch 1, worin ein Füllstoff vorliegt,
der aus Ruß, Bariumsulfat, Titandioxid, Calciumcarbonat
und einer Mischung derselben ausgewählt ist.
12. Verfahren gemäß Anspruch 1, worin kein Füllstoff
vorliegt.
13. Verfahren gemäß Anspruch 1, worin wenigstens 95 Mol-% der
Repetiereinheiten in dem Perfluor-Elastomer aus
Tetrafluorethylen und CF&sub2;=CF[OCF&sub2;CF(CF&sub3;)]qOC&sub3;F&sub7;, worin q 0 oder
eine ganze Zahl von 1 bis 10 ist, Tetrafluorethylen und
einem Perfluor(alkylvinylether), worin die Alkyl-Gruppe
1 bis 4 Kohlenstoffatome enthält, oder Tetrafluorethylen,
einem Perfluor(alkylvinylether), worin die Alkyl-Gruppe
1 bis 4 Kohlenstoffatome enthält, und
CF&sub2;=CF[OCF&sub2;CF(CF&sub3;)]qOC&sub3;F&sub7;, worin q 0 oder eine ganze Zahl
von 1 bis 10 ist, abgeleitet sind.
14. Produkt des Verfahrens gemäß dem Anspruch 1.
15. Produkt des Verfahrens gemäß dem Anspruch 4.
16. Produkt des Verfahrens gemäß dem Anspruch 7.
17. Produkt des Verfahrens gemäß dem Anspruch 10.
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