DE69401017D1 - Verfahren zum Messen der Breite der Orientierungsfläche eines Einkristalls - Google Patents
Verfahren zum Messen der Breite der Orientierungsfläche eines EinkristallsInfo
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5043488A JP2746511B2 (ja) | 1993-03-04 | 1993-03-04 | 単結晶インゴットのオリエンテーションフラット幅測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE69401017D1 true DE69401017D1 (de) | 1997-01-16 |
DE69401017T2 DE69401017T2 (de) | 1997-06-19 |
Family
ID=12665109
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE69401017T Expired - Fee Related DE69401017T2 (de) | 1993-03-04 | 1994-03-03 | Verfahren zum Messen der Breite der Orientierungsfläche eines Einkristalls |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5402239A (de) |
EP (1) | EP0614068B1 (de) |
JP (1) | JP2746511B2 (de) |
DE (1) | DE69401017T2 (de) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08222798A (ja) * | 1995-02-15 | 1996-08-30 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体レーザの製造方法 |
KR20070069802A (ko) * | 2005-12-28 | 2007-07-03 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 평판표시소자의 제조장치 및 그를 이용한 기판파손방지방법 |
CN103292711A (zh) * | 2013-05-30 | 2013-09-11 | 国家电网公司 | 开关柜小车位移监测装置 |
CN104165592A (zh) * | 2013-05-30 | 2014-11-26 | 国家电网公司 | 开关柜小车位移监测方法 |
CN103557825B (zh) * | 2013-11-15 | 2016-08-17 | 中南大学 | 大型锻造液压机动横梁三自由度位移随动测量平台方法 |
DE112016003805T5 (de) * | 2015-08-21 | 2018-05-24 | Adcole Corporation | Optisches Profilometer und Verfahren zu seiner Verwendung |
CN107655413A (zh) * | 2017-09-15 | 2018-02-02 | 哈尔滨工业大学 | 一种测距方法 |
CN107655394A (zh) * | 2017-09-15 | 2018-02-02 | 哈尔滨工业大学 | 非接触式磁场传感单元、测距系统、测距方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2551805A1 (de) * | 1975-11-14 | 1977-05-18 | Licentia Gmbh | Einrichtung zur beruehrungslosen fahrdrahtmessung bei elektrischen bahnen |
US4300836A (en) * | 1979-10-22 | 1981-11-17 | Oregon Graduate Center For Study And Research | Electro-optical scanning system with self-adaptive scanning capability |
JPS58190704A (ja) * | 1982-04-30 | 1983-11-07 | Nec Kyushu Ltd | 線巾の測定方法 |
US4483618A (en) * | 1982-05-24 | 1984-11-20 | Hamar M R | Laser measurement system, virtual detector probe and carriage yaw compensator |
JPH01278019A (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-08 | Canon Inc | リソグラフィ用マスクの構造体 |
GB2218513A (en) * | 1989-05-11 | 1989-11-15 | Ranks Hovis Mcdougall Plc | Measuring device |
DE4104602C1 (de) * | 1991-02-12 | 1992-06-04 | E.M.S. Technik Gmbh, 2950 Leer, De | |
JPH04284642A (ja) * | 1991-03-13 | 1992-10-09 | Kyushu Electron Metal Co Ltd | 半導体ウエーハのof長さ測定装置 |
-
1993
- 1993-03-04 JP JP5043488A patent/JP2746511B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1994
- 1994-03-01 US US08/203,570 patent/US5402239A/en not_active Expired - Fee Related
- 1994-03-03 DE DE69401017T patent/DE69401017T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1994-03-03 EP EP94103186A patent/EP0614068B1/de not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE69401017T2 (de) | 1997-06-19 |
US5402239A (en) | 1995-03-28 |
EP0614068A1 (de) | 1994-09-07 |
JP2746511B2 (ja) | 1998-05-06 |
JPH06258064A (ja) | 1994-09-16 |
EP0614068B1 (de) | 1996-12-04 |
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