KR20070069802A - 평판표시소자의 제조장치 및 그를 이용한 기판파손방지방법 - Google Patents

평판표시소자의 제조장치 및 그를 이용한 기판파손방지방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 평판표시소자의 제조장치 및 그를 이용한 기판파손 방지방법에 관한 것으로, 특히 진공증착이 완료된 기판을 반송하기 위해 챔버내로 로봇 암 진입시 발생되는 기판파손 현상을 방지할 수 있는 평판표시소자의 제조장치 및 그를 이용한 기판파손 방지방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 평판표시소자의 제조장치는 진공증착이 이뤄지는 챔버와; 상기 챔버내에서 기판을 지지하기 위한 다수의 리프트 핀과; 상기 리프트 핀이 관통되고 승강 가능하게 구동되는 서셉터와; 상기 서셉터의 하강거리를 감지하기 위한 하강거리 감지부와; 상기 서셉터의 하강완료 후 상기 기판을 반송하기 위한 로봇 암과; 정전기에 의해 상기 서셉터에 부착된 상기 기판이 상기 서셉터 하강 완료 후, 상기 서셉터로부터 분리되었는지를 검출하기 위한 검출부와; 상기 검출부로부터 전송된 검출 정보에 따라 상기 로봇 암의 상기 챔버내로의 진입 여부를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

평판표시소자의 제조장치 및 그를 이용한 기판파손 방지방법{Apparatus For Fabricating Flat Panel Display And Methode For Preventing Glass Damage Using It}
도 1은 종래 진공증착 공정에 이용되는 평판표시소자의 제조장치의 단면도.
도 2 및 도 3은 증착 공정이 종료된 후 서셉터 하강시 기판과 서셉터가 제대로 분리되지 않은 불량상태를 도시한 단면도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 평판표시소자의 제조장치에 대한 단면도.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 평판표시소자의 제조장치에서 로봇 암 진입에 의한 기판의 파손을 방지할 수 있는 장치에 대한 블럭 구성도.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 평판표시소자의 제조장치에서 로봇 암 진입에 의한 기판의 파손을 방지할 수 있는 방법에 대한 흐름도.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
102: 챔버 104: 기판
106: 리프트 핀 110: 서셉터
112: 모터 114: 타임벨트
116: 발광센서 117: 검출부
118: 수광센서 120: 지지대
122: 하강거리 감지센서 123: 하강거리 감지부
124: 피감지체 130: 로봇 암
본 발명은 평판표시소자의 제조장치 및 그를 이용한 기판파손 방지방법에 관한 것으로, 특히 진공증착이 완료된 기판을 반송하기 위해 챔버내로 로봇 암 진입시 발생되는 기판파손 현상을 방지할 수 있는 평판표시소자의 제조장치 및 그를 이용한 기판파손 방지방법에 관한 것이다.
최근의 정보화 사회에서 표시소자는 시각정보 전달매체로서 그 중요성이 어느 때보다 강조되고 있다. 현재 주류를 이루고 있는 음극선관(Cathode Ray Tube) 또는 브라운관은 무게와 부피가 큰 문제점이 있다.
평판표시소자에는 액정표시소자(Liquid Crystal Display : LCD), 전계 방출 표시소자(Field Emission Display : FED), 유기 발광다이오드 표시소자( Orgarnic Light Emitting Diode Display : OLED) 등이 있고 이들 대부분이 실용화되어 시판되고 있다.
이 중 액정표시소자는 전자제품의 경박단소 추세를 만족할 수 있고, 양산성 이 향상되고 있어 많은 응용분야에서 음극선관을 빠른 속도로 대체하고 있다.
통상, 액정표시소자(Liquid Crystal Display : " LCD" 라 함)에서는 액정패널 상에 매트릭스 형태로 배열된 액정셀들의 광투과율을 공급되는 비디오 데이타 신호를 조절함으로써 데이타 신호에 해당하는 화상을 패널 상에 표시하게 된다.
이러한 액정표시소자는 액정층에 전계를 인가하기 위한 전극들, 액정셀 별로 데이타 공급을 절환하기 위한 박막트랜지스터, 외부에서 공급되는 데이타를 액정셀들에 공급하는 신호배선 및 박막트랜지스터의 제어신호를 공급하기 위한 신호배선 등이 형성된 하판과, 칼라필터등이 형성된 상판과, 상판과 하판 사이에 형성되어 일정한 셀갭을 확보하는 스페이서와, 스페이서에 의해 상하판 사이에 마련된 공간에 채워진 액정으로 구성된다.
이러한 액정표시소자를 포함하는 평판표시소자의 제조방법에 있어서, 박막트랜지스터의 채널부로 포함되는 활성층과 박막트랜지스터를 보호하는 보호막은 통상 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 공정을 이용하여 형성되게 된다. 이러한 PECVD공정은 도 1에 도시된 바와 같은 액정표시소자의 제조장치에 의해 수행되게 된다.
도 1에 도시된 평판표시소자의 제조장치는 증착공정이 수행되는 프로세서 챔버(2)와, 프로세서 챔버(2) 내에서 기판(4)을 가열함과 아울러 플라즈마를 발생시키기 위한 하부전극으로 이용되는 서셉터(10)를 구비한다. 서셉터(10) 상에는 기판(4)을 지지하기 위한 리프트 핀(6: Lift Pin)이 설치된다. 기판(4)은 로보트 암(미도시)에 의해 서셉터(10) 상으로 이송되거나 증착공정 후 반송되어 진다. 서셉 터(10)는 지지대(20)에 고정되고, 이에 의해 프로세서 챔버(2) 내에서 소정의 높이에 위치하게 된다. 이러한 서셉터(10)는 지지대(20)에 연결된 타임벨트(미도시: Time Belt)에 의해 수직방향으로 이동되게 된다.
타임벨트는 모터(미도시)에 의해 구동되어 지지대(20)를 원하는 높이로 이동시킴으로써 서셉터(10)가 프로세스별 해당 포지션으로 이동되게 한다.
이러한 구성을 가지는 평판표시소자의 제조장치는 기판이 로드된 서셉터(10)를 증착공정을 진행할 수 있는 포지션으로 상승시키고, 기판(4)에 열 및 전압을 인가하여 가스 및 플라즈마에 의해 필요로 하는 막이 기판(4) 위에 증착되게 한다.
그런데, 상기와 같은 증착 공정이 끝나게 되면 RF(Radio Frequency) 방전에 의해 기판과 서셉터(10)사이에 높은 전하가 대전 되며, 이렇게 대전 된 전하(정전기)는 기판과 서셉터를 강하게 부착시키는 원인이 된다.
이를 방지 하기 위해 일반적으로 증착 공정 완료 후 별도의 제전공정을 거치게 된다. 구체적으로 제전공정은 챔버의 가스 주입구를 통해 He, Ne 과 같은 불활성 가스 또는 N2 가스를 주입하고, 400 W 정도의 RF 파워를 인가하여 주입된 비반응성 가스를 플라즈마 상태로 만든 후 기판의 중앙부에 대전 된 전하들을 중화시킨다.
그러나, 챔버 내의 환경변화 등 여러요인들로 인해 기판(4)과 서셉터(50) 사이의 정전기량이 수시로 변하기 때문에 완전한 제전처리를 하기는 실제적으로 어렵다.
따라서, 제전이 적절히 되지 않은 상태에서 서셉터(10)를 하강시키면 기판 (3)과 서셉터(10) 사이에 대전 된 전하로 인해 기판(4)이 서셉터(10)와 제대로 분리되지 않는 문제가 발생한다.
도 2 및 도 3은 증착 공정이 종료된 후 서셉터 하강시 기판과 서셉터가 제대로 분리되지 않은 불량상태를 도시한 단면도이다.
먼저, 도 2에 도시된 바와 같이, 리프트 핀(6)이 위치하지 않는 기판(4)의 중앙부는 대전 된 전하에 의해, 기판(4)이 서셉터(10)와 제대로 분리되지 않고 휘어지는 불량이 발생하게 된다.
비록 부착되었던 기판(4)의 중앙부분이 서셉터(10)로부터 분리되었다 할지라도, 서셉터(10)에 강하게 부착되었던 기판(4)은 강한 탄성으로 위로 튕겨 지고, 이로 인해 기판(4)은 심하게 흔들리게 된다.
이러한 과정에서 어떤 경우는 도 3에 도시된 바와 같이, 튕겨 진 기판(4)이 제자리에 위치하지 못하고 리프트 핀(6)을 벗어나는 경우가 발생하게 된다.
상기한 바와 같이 기판(4)의 중앙부분이 서셉터(10)로부터 분리되지 않은 상태에 있거나, 또는 기판(4)이 리프트 핀(6)으로부터 벗어난 상태에 있는 경우에는, 기판(4)을 반송하기 위한 로봇 암(30)이 기판(4)을 정확하게 로딩하지 못할 뿐 아니라 심지어 기판(4)을 파손하는 문제가 발생한다.
따라서, 본 발명의 목적은 진공증착이 완료된 기판을 반송하기 위해 챔버내로 로봇 암 진입시 발생되는 기판파손 현상을 방지할 수 있는 평판표시소자의 제조 장치 및 그를 이용한 기판파손 방지방법을 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 평판표시소자의 제조장치는 진공증착이 이뤄지는 챔버와; 상기 챔버내에서 기판을 지지하기 위한 다수의 리프트 핀과; 상기 리프트 핀이 관통되고 승강 가능하게 구동되는 서셉터와; 상기 서셉터의 하강거리를 감지하기 위한 하강거리 감지부와; 상기 서셉터의 하강완료 후 상기 기판을 반송하기 위한 로봇 암과; 정전기에 의해 상기 서셉터에 부착된 상기 기판이 상기 서셉터 하강 완료 후, 상기 서셉터로부터 분리되었는지를 검출하기 위한 검출부와; 상기 검출부로부터 전송된 검출 정보에 따라 상기 로봇 암의 상기 챔버내로의 진입 여부를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 검출부는, 상기 서셉터의 하강완료 후 상기 서셉터와 상기 기판 사이에 형성되는 공간에 광을 투과시키기 위한 발광부와; 상기 투과된 광을 수광하기 위한 수광부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 제어부는, 상기 수광부로부터 전송된 검출 광량이 소정의 기준 광량값에 미달 되면 상기 챔버내로 상기 로봇 암의 진입을 금지시키고, 상기 수광부로부터 전송된 검출 광량이 소정의 기준 광량값 이상이 되면 상기 챔버내로 상기 로봇 암의 진입을 허용하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 평판표시소자의 제조장치에 의한 기판파손 방지방법은 로봇 암의 진입공간을 위해 서셉터의 하강시 상기 서셉터의 하강완료 여부를 감지하는 제1 단계와; 상기 서셉터 하강 완료 후 정전기에 의해 상기 서셉터에 부착된 상기 기판이 상기 서셉터로부터 분리되었는지를 검출하는 제2 단계와; 상기 검출 정보에 따라 상기 로봇 암을 상기 챔버내로 진입시킬지 여부를 제어하는 제3 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 제2 단계는, 상기 서셉터의 하강완료 후 상기 서셉터와 상기 기판 사이에 형성되는 공간에 광을 투과시키는 제2 - 1 단계와; 상기 투과된 광을 수광하는 제2 - 2 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 제3 단계는, 상기 수광된 광량이 소정의 기준 광량값에 미달 되면 상기 챔버내로 상기 로봇 암의 진입을 금지시키고, 상기 수광된 광량이 소정의 기준 광량값 이상이 되면 상기 챔버내로 상기 로봇 암의 진입을 허용하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시 예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
이하, 도 4 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명하기로 한다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 평판표시소자의 제조장치에 대한 단면도이고, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 평판표시소자의 제조장치에서 로봇 암 진입에 의한 기판의 파손을 방지할 수 있는 장치에 대한 블럭 구성도다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 평판표시소자의 제조장치는 증착공정이 수행되는 프로세서 챔버(102)와, 프로세서 챔버(102) 내에서 기판 (104)을 지지하기 위한 다수의 리프트 핀(106:Lift Pin)과, 상기 리프트 핀(106)이 관통되고 승강 가능하게 구동되는 서셉터(110)와, 상기 서셉터(110)의 하강거리를 감지하기 위한 하강거리 감지부(123)와, 상기 서셉터(110)의 하강완료 후 상기 기판(104)을 반송하기 위한 로봇 암(130)과, 정전기에 의해 상기 서셉터(110)에 부착된 기판(104)이 서셉터(110) 하강 완료 후 상기 서셉터(110)로부터 분리되었는지를 검출하기 위한 검출부(117)와, 상기 검출부(117)로부터 전송된 검출 정보에 따라 상기 로봇 암(130)의 상기 챔버(102)내로의 진입 여부를 제어하는 제어부(250)를 구비한다.
하강거리 감지부(123)는 서셉터(110)의 지지대(120) 일측에 설치된 피감지체(124)와, 서셉터(110) 하강시 상기 지지대와 함께 하강되는 피감지부로 광을 조사하여 서셉터(110)의 하강거리를 감지하는 하강거리 감지센서(122)를 구비한다.
검출부(117)는 정전기에 의해 상기 서셉터(110)에 부착된 기판(104)이 서셉터(110) 하강 완료 후 상기 서셉터(110)로부터 분리되었는지를 검출하기 위해 기판(104)과 서셉터(110) 사이에 형성되는 공간에 광을 조사하는 발광센서(116) 와 조사된 광을 수광하는 수광센서(118)를 구비한다.
이러한 구성수단을 가지는 본 발명의 실시예에 따른 평판표시소자의 제조장치에 대한 동작과정을 살펴보면 다음과 같다.
증착공정이 완료된 기판(104)이 로봇암(미도시)에 의해 후속 공정으로 반송되도록 하기 위해 서셉터(110)는 소정 거리만큼 아래로 하강한다.
이때, 서셉터(110)는 지지대(120)에 고정되어 있기 때문에 지지대(120)에 연 결된 타임벨트(114: Time Belt)와, 타임벨트(114)를 구동하기 위한 모터(112)에 의해 수직방향으로 이동되게 된다.
이와 같이, 모터(112)에 의해 구동되는 타임벨트(114)의 작동으로 지지대(120)에 고정된 서셉터(110)가 지지대(120)와 함께 하강하는 순간, 서셉터(110)의 하강거리를 감지하기 위한 하강거리 감지센서(122)는 센싱동작을 시작한다.
여기서, 하강거리 감지센서(122)는 하나의 모듈내에 집적된 발·수광부로 구성되어, 발광부로부터 발생된 광이 지지대(120)의 일측에 설치된 피감지체(124)로부터 반사되면 수광부를 통해 그 반사광을 수광한다. 그리고, 하강거리 감지센서(122)는 수광된 광을 전기적 신호로 변환하고, 전기적 신호의 전류량에 근거하여 서셉터의 하강거리를 센싱한다.
이러한 하강거리 감지센서(122)는 서셉터(110) 하강순간부터 시작하여 계속해서 하강거리 센싱값을 제어부(250)로 전송하여 제어부(250)로 하여금 서셉터(110)의 하강완료시점을 판단하게 한다. 센싱값이 소정의 기준치를 만족하면, 즉 로봇암(130)이 진입할 수 있는 공간이 형성되도록 서셉터가 충분히 하강되면, 제어부(250)의 제어에 의해 모터(112)의 구동은 중지되고, 따라서 서셉터(110)의 하강은 완료된다.
한편, 증착공정을 위한 RF 방전에 의해 기판(104)과 서셉터(110) 사이에는 높은 전하가 대전 되며, 이로 인해 서셉터의 하강이 완료된 이후에도 정전기에 의해 기판(104)이 서셉터(110)로부터 제대로 분리되지 않는 현상이 발생한다. 이러한 이유로 서셉터(110)를 하강시키기 전에 대전된 전하를 중화시키기 위해 제전처 리가 행해지는데, 챔버(102)내의 환경변화 등 여러 요인들로 인해 완전한 제전을 행하기에는 사실상 어렵다.
따라서, 서셉터(110)의 하강이 완료되면 로봇 암(130)이 챔버(102)내로 진입하기 전에 기판(104)이 서셉터(110)로부터 제대로 분리되었는지 여부를 검출하여 로봇 암(130)의 진입을 제어할 필요가 있다.
이를 위해, 모터(112)의 구동에 의한 타임벨트(114)의 작동으로 지지대(120)에 고정된 서셉터(110)가 지지대(120)와 함께 소정거리만큼 이동하여 하강을 완료하는 순간, 서셉터(110)의 일측 근방에 설치되어 있는 발광센서(116)는 기판(104)과 서셉터(110) 사이에 형성되는 공간으로 광을 투과시킨다. 투과된 광은 서셉터(110)의 타측 근방에 설치되어 있는 수광센서(118)에 의해 수광된다.
여기서, 수광센서(118)에 의해 수광된 광은 광전변환부(220)를 거쳐 전기적 신호로 변환되어 A/D변환부(222)로 입력된다. A/D변환부(222)를 통해 입력된 아날로그 신호는 디지털 신호값으로 변환되어 제어부(250)로 입력되고, 입력된 광량값은 제어부(250)에 의해 미리 정해진 기준광량값과 비교되어 기판(104)이 서셉터(110)로부터 완전히 분리되었는지 여부가 판단되게 된다.
제어부(250)는 상기 판단결과에 따라 로봇 암(130)을 챔버(102) 내로 진입시킬 것인지를 제어하는바, 이에 대해서는 도 6을 통해 설명하기로 한다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 평판표시소자의 제조장치에서 로봇 암 진입에 의한 기판의 파손을 방지할 수 있는 방법에 대한 흐름도이다.
도 6을 참조하면, 먼저 서셉터는 증착공정이 완료된 기판이 후속공정으로 이 송되도록 로봇암의 진입공간을 마련하기 위해 소정거리만큼 하강한다. (S310)
이때, 서셉터의 일측에 위치하는 하강거리 감지센서는 서셉터의 하강순간부터 시작하여 계속해서 하강거리 센싱값을 제어부로 전송하고, 제어부는 전송받은 하강거리 센싱값과 소정의 기준치를 비교하여 서셉터를 계속해서 하강시킬 것인지를 판단한다.
센싱값이 소정의 기준치를 만족하면, 즉 로봇암(130)이 진입할 수 있는 공간이 형성되도록 서셉터가 충분히 하강되면, 제어부는 서셉터를 승강시키는 모터의 구동을 중지시켜 서셉터가 더 이상 하강되지 않게 한다. 반면에 센싱값이 소정의 기준치를 만족하지 않으면 제어부는 모터의 구동을 유지시켜 센싱값이 소정의 기준치를 만족할 때까지 서셉터를 하강시킨다. (S320)
이와 같이, 서셉터의 하강이 완료하게 되면, 제어부는 로봇 암을 챔버내로 진입시키기 전에 기판이 서셉터로부터 제대로 분리되었는지 여부에 대한 검출정보를 입력받아야 한다.
이를 위해, 모터의 구동에 의한 타임벨트의 작동으로 지지대에 고정된 서셉터가 지지대와 함께 소정거리만큼 이동하여 하강을 완료하는 순간, 서셉터의 일측 근방에 설치되어 있는 발광센서는 제어부의 제어에 따라 기판과 서셉터 사이에 형성되는 공간으로 광을 투과시킨다. (S330)
서셉터의 타측 근방에 설치되어 있는 수광센서는 상기 투과된 광을 수광한다. 수광센서에 의해 수광된 광은 광전변환부를 거쳐 전기적 신호로 변환되어 A/D변환부로 입력되고, A/D변환부를 통해 입력된 아날로그 신호는 디지털 신호값으로 변환되어 제어부로 입력된다. (S340)
여기서, 만약 기판과 서셉터가 제대로 분리되지 않은 경우(기판의 중앙부분이 서셉터로부터 분리되지 않은 상태에 있거나, 또는 기판이 리프트 핀으로부터 벗어난 상태에 있는 경우)에는 상기 투과되는 광은 기판에 의해 반사되거나 간섭되어 발광량에 비해 투과되어 수광된 광량은 현저히 줄어들게 된다.
제어부는 이러한 점을 이용하여 입력된 디지털 신호값을 미리 정해진 기준광량값(발광량에 해당되는 디지털 신호값)과 비교하여 기판이 서셉터로부터 완전히 분리되었는지를 판단하게 된다. (S350)
상기 비교결과, 입력된 디지털 신호값이 미리 정해진 기준광량값 이상이 되면, 제어부는 기판이 서셉터로부터 완전히 분리되었다고 판단하고 로봇 암을 제어하여 챔버내로 로봇 암을 진입시킨다. (S360)
반면에, 상기 비교결과, 입력된 디지털 신호값이 미리 정해진 기준광량값에 미달되면, 제어부는 기판이 서셉터로부터 완전히 분리되지 않았다고 판단하여 로봇 암의 챔버내로의 진입을 금지시킨다. (S370)
이에 의해, 기판의 중앙부분이 서셉터로부터 분리되지 않은 상태에 있거나, 또는 기판이 리프트 핀으로부터 벗어난 상태에 있는 경우, 로봇 암에 의한 기판이 파손되는 현상이 방지된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 평판표시소자의 제조장치 및 그를 이용한 기판파손 방지방법은, 별도의 광센서를 이용하여 기판과 서셉터의 분리여부를 검출하고 이를 토대로 로봇 암의 챔버내로의 진입을 제어함으로써, 챔버내에서 발생 되는 로봇 암에 의한 기판파손 현상을 방지할 수 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.

Claims (6)

  1. 진공증착이 이뤄지는 챔버와;
    상기 챔버내에서 기판을 지지하기 위한 다수의 리프트 핀과;
    상기 리프트 핀이 관통되고 승강 가능하게 구동되는 서셉터와;
    상기 서셉터의 하강거리를 감지하기 위한 하강거리 감지부와;
    상기 서셉터의 하강완료 후 상기 기판을 반송하기 위한 로봇 암과;
    정전기에 의해 상기 서셉터에 부착된 상기 기판이 상기 서셉터 하강 완료 후, 상기 서셉터로부터 분리되었는지를 검출하기 위한 검출부와;
    상기 검출부로부터 전송된 검출 정보에 따라 상기 로봇 암의 상기 챔버내로의 진입 여부를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 제조장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 검출부는,
    상기 서셉터의 하강완료 후 상기 서셉터와 상기 기판 사이에 형성되는 공간에 광을 투과시키기 위한 발광부와;
    상기 투과된 광을 수광하기 위한 수광부를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 제조장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 수광부로부터 전송된 검출 광량이 소정의 기준 광량값에 미달 되면 상기 챔버내로 상기 로봇 암의 진입을 금지시키고, 상기 수광부로부터 전송된 검출 광량이 소정의 기준 광량값 이상이 되면 상기 챔버내로 상기 로봇 암의 진입을 허용하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 제조장치.
  4. 챔버, 상기 챔버내에서 기판을 지지하기 위한 다수의 리프트 핀, 상기 리프트 핀이 관통되고 승강 가능하게 구동되는 서셉터, 및 상기 서셉터 하강완료 후 상기 기판을 반송하기 위한 로봇 암을 구비하는 평판표시소자의 제조장치에서 상기 로봇 암의 진입시 기판의 파손을 방지하기 위한 방법에 있어서,
    상기 로봇 암의 진입공간을 위해 상기 서셉터의 하강시 상기 서셉터의 하강완료 여부를 감지하는 제1 단계와;
    상기 서셉터 하강 완료 후 정전기에 의해 상기 서셉터에 부착된 상기 기판이 상기 서셉터로부터 분리되었는지를 검출하는 제2 단계와;
    상기 검출 정보에 따라 상기 로봇 암을 상기 챔버내로 진입시킬지 여부를 제어하는 제3 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판파손 방지방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제2 단계는,
    상기 서셉터의 하강완료 후 상기 서셉터와 상기 기판 사이에 형성되는 공간에 광을 투과시키는 제2 - 1 단계와;
    상기 투과된 광을 수광하는 제2 - 2 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판파손 방지방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제3 단계는,
    상기 수광된 광량이 소정의 기준 광량값에 미달 되면 상기 챔버내로 상기 로봇 암의 진입을 금지시키고, 상기 수광된 광량이 소정의 기준 광량값 이상이 되면 상기 챔버내로 상기 로봇 암의 진입을 허용하는 것을 특징으로 하는 기판파손 방지방법.
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