DE69216628T2 - Dampfbeschichtung - Google Patents

Dampfbeschichtung

Info

Publication number
DE69216628T2
DE69216628T2 DE69216628T DE69216628T DE69216628T2 DE 69216628 T2 DE69216628 T2 DE 69216628T2 DE 69216628 T DE69216628 T DE 69216628T DE 69216628 T DE69216628 T DE 69216628T DE 69216628 T2 DE69216628 T2 DE 69216628T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
coated
metal
coating
evaporation source
evaporation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE69216628T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69216628D1 (de
Inventor
Johan Nordlander
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Inreco AB
Original Assignee
Inreco AB
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Inreco AB filed Critical Inreco AB
Application granted granted Critical
Publication of DE69216628D1 publication Critical patent/DE69216628D1/de
Publication of DE69216628T2 publication Critical patent/DE69216628T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/54Controlling or regulating the coating process
    • C23C14/542Controlling the film thickness or evaporation rate
    • C23C14/545Controlling the film thickness or evaporation rate using measurement on deposited material
    • C23C14/547Controlling the film thickness or evaporation rate using measurement on deposited material using optical methods
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24Vacuum evaporation

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Description

  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf die Abscheidung von Metall aus der Dampfphase, insbesondere auf einzelnen getrennten Gegenständen. Die Abscheidung aus der Dampfphase auf einzelnen Gegenständen wird heutzutage industriell derart ausgeführt, dass die mit Metall zu beschichtenden Gegenstände in einem grossen, geschlossenen Raum in Befestigungen entlang den Wandungen des Raumes angeordnet werden, und im Zentralbereich des Raumes befinden sich eine Anzahl von Dampfquellen, verwirklicht durch eine grosse Anzahl von kleinen Wolframdrahtwickeln. Jeder dieser Drahtwickel ist mit einem kurzen Aluminium-Drahtstück versehen, und diese werden dann mittels eines starken elektrischen Stroms durch die Wickel auf eine sehr hohe Temperatur erhitzt. Dabei wird das Aluminium zunächst verdampft und dann auf den zu beschichtenden Gegenständen niedergeschlagen. Vor Beginn des Verdampfungsprozesses ist der Raum evakuiert worden. Durch Verwendung von mehreren Dampfquellen und durch Bewegung und/oder Drehung der Gegenstände auf verschiedene Weise ist es möglich, eine vergleichsweise gleichmässige Beschichtung der Gegenstände zu erreichen. Diese absatzweise Beschichtung von Gegenständen wird z.B. von Carrol F. Powell, Joseph H. Oxley und John M. Blocher Jr. in "Vapor deposition", 1966, John Wiley & Sons, New York, USA, beschrieben, wo auch eine halbkontinuierliche Beschichtung einer Folie durch Überleiten über einen Aluminium enthaltenden, erhitzten Tiegel besprochen ist.
  • Dieses Verfahren ist vergleichsweise zeitraubend, da es einige Zeit braucht, bis die Dampfquelle eine genügende Menge an Metall liefert, um die gewünschte Beschichtungsdicke auf den betreffenden Gegenständen zu erzeugen. Es wird nämlich nicht der gesamte Metalldampf auf den vorgesehenen Gegenständen abgeschieden, sondern auch auf den Wänden des Raumes und den Befestigungen. Mit der Zeit werden die Beläge auf den Wänden und den Befestigungen so dick, dass sich leicht Metallflocken bilden, wenn wieder Luft in den Verdampfungsraum eingelassen wird. Solche Metallflokken, selbst wenn sie nur eine Grösse haben, die kleiner ist als in Luft frei schwebende, kleine Staubteilchen, können einen absoluten und unmittelbaren Grund zur Ausschussbildung bei sehr empfindlichen Gegenständen darstellen, auch wenn die Störung fast unmöglich zu entdecken ist, selbst wenn eine Lupe zu Hilfe genommen wird. Ein Beispiel solcher empfindlichen Gegenstände sind Compact-Disks zur Datenspeicherung oder entsprechende Platten zur Speicherung von Bilddaten (Video-Disks). Dieses Problem ist in der DE A-2'821'131 beschrieben, worin ein Käfig aus Drahtgeflecht eine Anzahl einzelner Gegenstände und die Quelle für Beschichtungsmaterial in einem Gefäss einschliesst. Die Oberfläche des Beschichtungsmaterials im Gefäss wird mit Elektronenstrahlen durch die Öffnungen im Käfig hindurch beschossen oder so angeschlossen, dass die Vakuumkammer selbst durch niedergeschlagenes Beschichtungsmaterial weniger verunreinigt wird. Das Risiko einer Verschmutzung der zu beschichtenden Gegenstände besteht jedoch weiter.
  • Aus der Veröffentlichung WO-A-86/02387 ist es bekannt, Zinn auf einen Polyinerfilm zu verdampfen, ausgehend von einer Serie von Schiffchen, in die Zinndrähte eingespeist werden, die dann geschmolzen und durch einen elektrischen Strom erhitzt werden, der durch die Drähte geleitet wird.
  • In der EP-A-0'055'344 ist eine Verdampfungsvorrichtung beschrieben, bei der ein Draht durch eine Induktionsheizung geführt wird, wobei das Ende des Drahtes kontinuierlich auf einen Film verdampft wird. Die Zufuhr des Drahtes wird geregelt, um die Verdampfung im Sinne der Erzeugung eines konstanten Niveaus des verdampfenden geschmolzenen Drahtendes auszugleichen.
  • Das Erfordernis, die Verdampfungskammer zu evakuieren und dann wider mit Luft zu füllen, verursacht ebenfalls zusätzliche Zeitverluste. Auch ist die Positionierung der zu beschichtenden Gegenstände sehr zeit- und/oder betriebsmittelaufwändig. Es ist überdies erforderlich, die Zeit, während derer die Gegenstände den Dämpfen ausgesetzt werden müssen, um die gewünschte genaue und gleichmässige Beschichtung zu erzielen, sorgfältig zu berechnen und zu testen. Es ist weiterhin oft schwierig, eine gleichförmige und übereinstimmende Beschichtung bei nacheinander zugeführten Gegenständen sicherzustellen. Eine mögliche Funktionsstörung bei der industriellen Beschichtung von ganzen Ladungen von Gegenständen führt zu einer grossen Anzahl von Gegenständen, die inden Abfall wandern müssen.
  • Zusammengefasst kann gesagt werden, dass die Verdampfungstechnik, selbst wenn sie als solche gute Ergebnisse liefert, heutzutage zu zeitaufwendig und bedingungsabhängig ist, um eine Anwendung zur schnellen Herstellung von Massenprodukten zu ermöglichen, beispielsweise von Compact- Disks, wo statt dessen Kathodenverdampfung oder -zerstäubung eingesetzt werden. Diese Technik begrenzt jedoch die Wahl der Materialien der Platten oder anderer zu beschichtender Gegenstände auf technisch vergleichsweise unempfindliche Stoffe, die bedauerlicherweise ausserdem schwer formgebend zu bearbeiten sind, beispielsweise Polycarbonat (PC). Diese Tatsache begrenzt wiederum die Plattengrösse wegen der Formgebungsprobleme bei grösseren Platten, beispielsweise Videodisks. Es ist ganz einfach schwierig, die gesamte Matrix auf befriedigende Weise an den Scheibenrändem aufzufüllen. Auf Grund dieser Schwierigkeiten und dem sich daraus ergebenden hohen Abfallprozentsatz konnten sich die Videodisks bis jetzt keinen grösseren Markt sichern.
  • In Anbetracht der oben geschilderten Probleme besteht die Aufgabe der Erfindung darin, ein Verfahren zur Beschichtung mit Metall anzugeben, das schnell und wirksam ist, bei der Verwendung mit einem Minlmum an Platz und maschineller Ausrüstung auskommt, das auch für wärmeempfindliche und sehr leicht verformbare Materialien anwendbar ist und eine stückweise Hochgeschwindigkeits-Beschichtung getrennter, einzelner Gegenstände gestattet, beispielsweise im Zusammenwirken mit Spritzgussmaschinen.
  • Die obige Aufgabe hat erfindungsgemäss eine überraschend einfache Lösung, die jedoch im vollständigen Widerspruch zu den üblichen Lehren der Verdampfung steht, insbesondere bezüglich deren Anwendbarkeit auf wärmeemdfindliche Materialien und Formen. Erfindungsgemäss wird der zu beschichtende Gegenstand, beispielsweise zur Herstellung von Compact-Disks aus PMMA (Polymethylmethacrylat), das ist ein Material mit einem niedrigen Schmelzpunkt, einige Sekunden in einem kleinen Abstand entsprechend einigen wenigen Zentimetern zu einer Dampfquelle für Metalldämpfe gehalten, welche mittels Induktion geheizt wird und welche in dergleichen Grösse ist oder kleiner ist als die Dimensionen der zu beschichtenden Fläche, wobei die Dampfquelle gross ist, d.h. eine Flächengrösse besitzt, die mehr oder weniger dem zu beschichtenden Gegenstand entspricht, und wobei die Verdampfungsquelle aus geschmolzenem Metall mit spiegelartiger Oberfläche und einem niedrigen Wärmestrahlungskoeffizient besteht.
  • Die Verdampfungsgeschwindigkeit aus einer Dampfquelle hängt von der Temperatur ab, und es ist eine hohe Temperatur erforderlich, um eine merkliche Dampfbildung zu erzielen. Es erschien daher unwahrscheinlich, dass Kunststoffe, insbesondere wärmeempfindliche Kunststoffe, mit beispielsweise einer Mikrostruktur auf diese Weise beschichtet werden könnten, da sie einen vergleichsweise niedrigen Schmelzpunkt aufweisen und die Wärmebelastung mit der Temperatur und der Verringerung des Abstands ansteigt. Insbesondere bei der Beschichtung von sogenannten Compact-Disks und ähnlichen, bei denen eine äusserst feine Mikrostruktur beibehalten werden muss, wäre es mit den bekannten Techniken vollständig unwahrscheinlich, dass sich die Dampfquelle in der Nähe des zu beschichtenden Gegenstandes befindet, ohne dass dieser beschädigt würde.
  • Die Unwahrscheinlichkeit der erfindungegemässen Gedanken und Lehre ist jedoch nur eine Fehlvorstellung, da es sich in der Praxis herausgestellt hat, dass trotz einer hohen Temperatur der Verdampfungsquelle und des sehr geringen Abstands zwischen dieser und dem Gegenstand beispielsweise Compact-Disks mit einer hochqualitativen Metallschicht versehen werden können, ohne dass die Mikrostruktur der beschichteten Oberfläche beeinflusst wird.
  • Im Gegensatz zum Stand der Technik wird die Verdampfungsquelle gross gemacht und erhält eine Oberfläche, die in der Grösse mehr oder weniger derjenigen der Compact-Disk entspricht. Die grosse Oberfläche sichert der Verdampfungsquelle eine lange Lebensdauer und eine sehr gleichmässige, hochqualitative Beschichtung auf beispielsweise Compact-Disks.
  • Die Verdampfungsquelle strahlt natürlich Wärme ab, die wiederum den mit Metall zu beschichtenden Gegenstand erwärmt. Es wurde jedoch gefunden, dass beim erfindungsgemässen Verfahren die Metallbeschichtung des zu überziehenden Gegenstandes sehr schnell, d.h. innerhalb weniger Sekunden, erreicht werden kann. und dass der Temperaturanstieg auf einem mässigen Wert bleibt, der nach Messungen in der Praxis etwa 30 ºC betrug. Der Grund dafür ist wahrscheinlich nicht nur der, dass die Bedampfungszeit kurz gehalten werden kann, sondern wir nehmen nach einer Suche nach wahrscheinlichen Erklärungen, warum das erfindungsgemässe Verfahren überhaupt möglich ist, an, dass darüber hinaus die spiegelnde Oberfläche des geschmolzenen Aluminiums dafür mitverantwortlich ist. Wenn eine Verdampfungsquelle, beispielsweise Aluminium, gut geschmolzen ist, so bildet sich eine spiegelnde Oberfläche aus, und diese Metallfläche wird als Spiegel zu einem schlechten Wärmestrahler. Die spiegelnde Oberfläche der Schmelze gibt nur wenige Prozent derjenigen Wärmestrahlung ab, die sonst abgegeben würde. Auf Grund dieser Erscheinung wird die Metallverdampfung wirksamer und schneller als die Wärmestrahlung. Wenn zusätzlich die zu beschichtende Oberfläche sich zu überziehen beginnt, wird sie ebenfalls reflektierend und wirft die Wärmestrahlung zurück. Im Falle von Aluminium liefert noch der niedrige spezifische Emissionsfaktor der Wärmestrahlung einen Beitrag.
  • Bei der Verwendung einer grossen Oberfläche der Verdampfungsschmelze in der Praxis kann die Temperatur dieser Schmelze niedriger sein, als es anderweitig der Fall ist, um eine ausreichend hohe Verdampfungsrate zu erzielen. Dies verringert weiterhin die Wärmebelastung des zu beschichtenden Gegenstandes.
  • Das beschriebene Verfahren schafft eine sehr wirksame Beschichtungtechnik. Da der Gegenstand sehr nahe an die Quelle gebracht wird, geht nur sehr wenig Dampf am Gegenstand vorbei. Um das vorliegende Verfahren an eine Spritzgussanlage anzupassen, kann jeder Beschichtungsvorgang einschliesslich Transport einige wenige Sekunden betragen. Vorzugsweise sind die Bewegungen des Gegenstandes schnell, und während der überwiegenden Dauer des Beschichtungsvorganges befindet sich der Gegenstand in der Beschichtungsstellung in Ruhe. Auf diese Weise verursachen die Bewegungen keine Beeinträchtigung der Gleichmässigkeit der Beschichtung, und ausserdem haben nur sehr kleine Anteile an Metalldampf die Zeit, um an der Stelle des zu beschichtenden Gegenstandes vorbeizuströmen. Diese Merkmale gestatten in Verbindung mit dem oben Gesagten eine Temperatur, die niedriger als erwartet liegt. Es ist eine Tatsache, dass die Beschichtung, wie sie heute erfindungsgemäss ausgeführt wird, extrem schnell erscheint, aber sogar verlangsamt werden muss, wenn sie an die anderen Maschinen der Herstellungsanlage angepasst werden soll.
  • Es ist mit Hilfe des erfindungsgemässen Verfahrens möglich, Compact-Disks und ähnliche Gegenstände aus Polymethylmethacrylat (PMMA, Plexiglas ) oder anderen Kunststoffen mit niedrigen Schmelzpunkt mit Metall zu beschichten, da die Wärmebelastung derart gering ist, dass die Oberflächenstruktur keine Gefahr läuft, erweicht oder zerstört zu werden. Bis anhin war es nötig, Polycarbonat PC zu verwenden, welches weniger empfindlich ist. Dieses Material ist jedoch als solches zur schnellen Formgebung grösserer Gegenstände (z.B. Videodisks) nicht geeignet, und daher bietet die Erfindung sehr grosse Gewinnvorteile vom praktischen Standpunkt her, da sie es gestattet, die leichter zu verarbeitenden PMMA-Kunststoffe zu verwenden. Diese sind ausserdem noch weniger kratzempfindlich, was für optische Platten wie Compact-Disks, Videodisks, CD-ROMS etc. ebenfalls von Interesse ist.
  • Auch ist es nicht unwichtig, dass PMMA offensichtlich kostengünstiger als PC ist und bessere optische Eigenschaften als PC aufweist. Letzteres ist besonders wichtig, wenn die zu speichernden Informationen analog gespeichert werden sollen, beispielsweise Bilder auf Videodisks, aber weniger wichtig für Tonplatten mit digitaler Informationsspeicherung, und aus diesem Grunde ist es möglich, für solche Platten PC und die Kathodenzerstäubung zu verwenden.
  • Eine indirekte Auswirkung des erfindungsgemässen Verfahrens mit einem kleinen Abstand zwischen der Verdampfungsquelle und dem zu beschichtenden Gegenstand ist, dass die Zielgenauigkeit des verdampften Metalls gross und der Abfall klein ist, d.h. das Metall wird bestens ausgenutzt.
  • Im Einklang mit dem erfindungsgemässen Konzept ist es also möglich, selbst vergleichsweise dünne Kunststoffgegenstände mit einer entsprechend niedrigen Wärmespeicherkapazität kurze Zeit und sehr nahe an der Metallschmelze, welche den Dampf abgibt, den Metalldämpfem auszusetzen. Dieser Abstand kann in der Tat auf wenige Zentimeter bei einer Dampfquelle, deren Oberfläche die Grösse derjenigen des zu beschichtenden Gegenstandes hat oder auch grösser ist, verringert werden.
  • Gemäss einer bevorzugten weiterentwicklung des erfindungsgemässen Verfahrens kann eine von Gegenstand zu Gegenstand stetige und gute Beschichtung erreicht werden, wenn die Dicke der Beschichtung gemessen wird. Dies kann beispielsweise dadurch geschehen, dass man einen Phototransistor verwendet, der über einen Spiegel die Wärme- oder Lichtemission misst, die von der Metallschmelze durch einen zu beschichtenden Gegenstand hindurchtritt und auf dessen nichtexponierter Rückseite austritt. Bei Verwendung eines Spiegels ist der Phototransistor vor den Metalldämpfem geschützt, und der Spiegel bleibt spiegelnd, selbst wenn er mit Metall beschichtet ist. Obwohl sich die Reflexionseigenschaften mit der Zeit ändern, so entsteht dadurch kein Problem, da eine Relativmessung ausreicht, um eine Prüfung auszuführen und das Verfahren zu steuern. Alternativ ist es möglich, die Wärme- oder Lichtstrahlung zu messen, welche in Richtung des zu beschichtenden Gegenstandes reflektiert wird, was aber wahrscheinlich zu einer geringeren Messgenauigkeit und einer schwierigeren Anordnung führt.
  • Wegen der äusserst kurzen Expositionsdauer ist es möglich, das erfindungsgemässe Verfahren als Teilschritt eines umfassenderen Produktionsverfahrens auszugestalten, wobei zur Sicherstellung von Vakuum in der Metallbeschichtungskammer diese mit Vakuumschleusen oder -toren am Eingang und Ausgang versehen werden kann. Die Ausführung des Verfahrens wird weiterhin dadurch erleichtert, dass die Vakuumkammer klein gemacht und damit schnell evakuiert werden kann.
  • Weitere Vorteile und Merkmale der Erfindung gehen aus der nun folgenden Beschreibung einer bevorzugten Ausführungsform hervor, die in der beigelegten Zeichnung veranschaulicht ist. Im der Zeichnung zeigt Fig. 1 schematisch eine Vorrichtung zur Beschichtung von Compact-Disks mit Metall, und Fig. 2 zeigt in Einzelheiten die erfindungsgemässe Verdampfungsquelle für das Metall.
  • Die in Fig. 1 gezeigte Metallbeschichtungs-Vorrichtung weist eine erste Schleusenkammer 1, einen Verdampfungsraum 2 und eine zweite Schleusenkammer 5 auf. Eine Vakuumpumpe 3 ist über ein Ventil 4 mit jeder Kammer 1, 2 und 5 verbunden. Die Schleusenkammern 1 und 5 sind an ihren äusseren Enden mit dicht verschliessbaren Deckeln versehen, und zwischen den Schleusenkammern 1 und 5 und der Metallbeschichtungskammer 2 befinden sich jeweils Ventile oder Verschlüsse oder Schleusentore 7.
  • Die Beschichtungskammer 2 ist an ihrem Boden mit einer Verdampfungseinheit für Aluminium versehen, siehe Fig. 2 Diese Einheit ist mit 8 bezeichnet und mit einer Antriebs- und Steuervorrichtung 9 verbunden. Im Betrieb arbeitet die Anlage so, dass zunächst eine Compact-Disk in die linke Schleusenkammer 1 eingeführt wird. Der Deckel 6 wird verschlossen und die Luft mittels der Vakuumpumpe 3 evakuiert. Dann wird das Ventil bzw. das Schleusentor 7 geöffnet, und die Compact-Disk wird in die Beschichtungskammer 2 über die Aluminium-Verdampfungsquelle gebracht. Die Compact-Disk verbleibt dann in der Beschichtungskammer während der kurzen Zeit, die für eine korrekte Beschichtung erforderlich ist. Dann wird die Compact-Disk wieder in die Schleusenkammer 1 zurückgebracht, das Ventil 7 wird geschlossen, und die Compact-Disk wird durch die Deckelöffnung 6 aus der Kammer 1 entnommen. Die Kammer 5 wird auf die gleiche Weise wie die Kammer 1 mit Compact-Disks geladen, und in der Beschichtungskammer 2 werden abwechselnd Platten aus der Schleusenkammer 1 und der Schleusenkammer 5 beschichtet, wobei die Ventile bzw. Schleusentore gegen diejenige Kammer geschlossen bleiben, die gerade be- oder entladen wird.
  • Da die Platten abwechselnd von rechts und links zugeführt werden, kann eine hohe Produktionsgeschwindigkeit bei gleichzeitiger ruhiger und sicherer Handhabung der Scheiben erzielt werden.
  • Eine Vorrichtung der oben beschriebenen Art kann selbstverständlich mit zu beschichtenden Gegenständen auch so betrieben werden, dass diese stets schrittweise in der gleichen Richtung bewegt werden. Da sich das Beispiel auf Compact-Disks bezieht, beispielsweise aus PMMA oder PC, sind die einzelnen Kammern flach ausgebildet. Wenn andere Gegenstände, beispielsweise Scheinwerfer-Reflektoren oder dgl., zu beschichten sind, muss die Kammerform eine andere sein. Die Pumpen 3, die mit den Schleusenkammern 1 und 5 verbunden sind, können vorzugsweise zweistufige Drehschieberpumpen sein, während die mit der Beschichtungskammer verbundene Pumpe vorzugsweise eine Turbomolekularpumpe ist.
  • Die in Fig. 2 gezeigte Aluminiumquelle umfasst einen Tiegel 11 mit geschmolzenem Aluminium 12. Der Tiegel ruht auf einer Induktions-Heizvorrichtung, nämlich einer Spule 13, die wassergekühlt ist. Die Spule wird von der Steuereinheit 14 her mit Strom und Wasser versorgt. Der Tiegel ist von einer Wärmeisolation 15 umgeben und diese wiederum von einem Kühlschirm 16, der sich nach unten über den grössten Teil des Tiegels und in die Induktions-Heizvorrichtung erstreckt. Schliesslich sind der Tiegel und die Induktionsheizung in eine Vakuumkammer 17 eingeschlossen. Oberhalb der Aluminiumschmelze ist eine Compact-Disk 18 gestrichelt angedeutet, die gerade mit Aluminium beschichtet wird. Wenn die Beschichtung stattfindet, wird die Licht- und Wärmestrahlung, die mittels des Fühlers 19 ermittelt wird, welcher aus einem Phototransistor besteht, vermindert. Diese Verminderung kann von einer Steuervorrichtung 20 ermittelt werden, die wiederum die Steuerung der Induktionsheizung beeinflusst, so dass eine stabile Beschichtungsrate von der Heizvorrichtung erzeugt wird. Weiterhin steuert die Steuervorrichtung 20 die Zufuhr der Compact- Disks 18. Dies geschieht derart, dass die Platte ausreichend beschichtet ist und ausgefahren werden kann, wenn der Detektor 19 eine ausreichende Verminderung der Strahlung in Vergleich zum Strahlungsniveau bei Abwesenheit einer Platte ermittelt hat. Auf diese Weise kann die Zufuhrgeschwindigkeit an die Beschichtungsgeschwindigkeit angepasst werden, und für die Platten wird eine kontinuierliche und ausreichende, aber nicht übertriebene Beschichtung erreicht. Alternativ ist es möglich, die Zeit mehr oder weniger konstant zu halten (was die Verknüpfung mit anderen Produktionsstufen erleichtert), und die Beschichtungsrate wird statt dessen durch Steuerung der Temperatur der Schmelze, gemessen vom Phototransistor, in Abhängigkeit von der Dicke der Beschichtung, bestimmt.
  • Oberhalb des Tiegels und der Aluminiumschmelze ist ein Schirm 21 angeordnet. Dieser dient teilweise als Kühlschild und teilweise als Sammler für Aluminiumdämpfe, die sich nicht auf den zu beschichtenden Gegenständen niedergeschlagen haben. Auf diese Weise ist es leicht, durch Auswechseln des Schirms 21 die Beschichtungskammer frei von Metallablagerungen zu halten, welche sonst zu Verschmutzungen führen würden.
  • Da die Beschichtung der Compact-Disks von unten her vorgenommen wird, werden Einschlüsse von Staub und anderen Verunreinigungen vermindert, weil Staub in der Regel nach unten fällt und nicht nach oben steigt.
  • Es wird geschätzt, dass mit der beschriebenen Vorrichtung 120'000 CD-Platten innerhalb von etwa 100 Stunden beschichtet werden können. Die Zeit, die zur Beschichtung einer Compact-Disk erforderlich ist, beträgt ungefähr 3 Sekunden.
  • Es braucht nicht besonders betont zu werden, dass die erfindungsgemässe Dampfquelle eine beträchtlich erhöhte Lebensdauer im Vergleich zu des Wolframdrähten bekannter Techniken besitzt, und dass das erfindungsgemässe Verfahren und die zugehörige Verdampfungsquelle weit besser an eine industrielle Anwendung angepasst sind als die Vorschläge des Standes der Technik. Die erfindungsgemässe Dampfquelle, die oben beschrieben wurde, erfordert jedoch keinen kontinuierlichen Betrieb, sondern kann vergleichsweise schnell an- und abgeschaltet werden. Dies kann durch Absenkung der Temperatur der Schmelze geschehen. Bei einer mässigen Temperaturverringerung wird nämlich die Verdampfungsrate reduziert, und das Aluminium wird in der Schmelze verbleiben. Wenn die Verdampfung wieder eintreten soll, wird die Temperatur wieder auf die Betriebstemperatur gebracht. Die Verwirklichung dieser Temperaturänderungen geschieht viel schneller als ein vollständiges Herunterfahren der Vorrichtung. Da die Schmelze in einem Vakuum eingeschlossen ist, kann sie über eine vergleichsweise lange Zeit (drei Wochen!) erhitzt und flüssig bei einer niedrigen Verdampfungsrate gehalten werden.
  • Die Aufheizzeit ausgehend von Zimmertemperatur kann auf etwa zwanzig Minuten geschätzt werden, während ein Wechsel von der Betriebstemperatur auf eine niedrigere Bereitschaftstemperatur in der Grössenordnung von drei Minuten liegt, und ein Hochfahren auf Betriebstemperatur kann dann in etwa zehn Minuten erreicht werden. Während dieser Senkungen und Erhöhungen der Temperatur zwischen Betriebstemperatur und Bereitschaftstemperatur kann das während dieser Zeiten verdampfte Aluminium von einem besonderen, zu diesem Zweck vorgesehenen Schirm aufgefangen werden.
  • Obwohl, wie oben beschrieben, die Verdampfung und die Beschichtung in einer evakuierten Umgebung stattfinden, stellt es keine Katastrophe dar, wenn einmal Luft in die Verdampfungsquelle gelangen würde, sei es beispielsweise bei der Wartung oder wegen ungenügender Dichtigkeit. Bei den jetzt verwendeten Anlagen des Standes der Technik, wo Wolframdrähte usw. verwendet werden, tritt in diesem Falle bei Luftzutritt eine praktisch vollständige Zerstörung der Verdampfungsquellen ein; mit anderen Worten erlaubt die Erfindung eine grosse Verbesserung der Produktionssicherheit.
  • Zusammengefasst erlaubt die Erfindung eine schnelle stückweise Beschichtung einzelner Gegenstände und Oberflächen mit einem guten, dauerhaft anhaftenden und gleichmässigen Überzug auf sehr empfindlichen Gegenständen aus beispielsweise Kunststoff mit einer niedrigen Schmelz- und Verformungstemperatur, mittels einer Vorrichtung, die im Vergleich zu bekannten Arbeitsweisen klein und einfach ist und eine hohe Produktionssicherheit und ein wirksam vermindertes Ausschussrisiko aufweist.
  • Die Erfindung kann natürlich auch zur Beschichtung von weniger empfindlichen Materialien und/oder Gegenständen eingesetzt werden.

Claims (3)

1. Verfahren zum stückweisen Beschichten wärmeempfindlicher Gegenstände, beispielsweise Compact-Disks aus PMMA (Polymethylacrylat), d.h. eines Werkstoffes mit niedrigem Schmelzpunkt, mit Metall durch Verdampfen eines Metalls unter niedrigem Druck oder im Vakuum, dadurch gekennzeichnet, dass der zu beschichtende Gegenstand während einiger Sekunden in kleinem Abstand zu einer durch Induktion beheizten Metalldampfquelle gehalten wird, welche die gleiche oder eine kleinere Grösse als die Abmessungen der zu beschichtenden Oberfläche besitzt, wobei der genannte Abstand wenige Zentimeter beträgt und die Verdampfungsquelle gross ist, das heisst eine Flächengrösse aufweist, die mehr oder weniger dem zu beschichtenden Gegenstand entspricht, und dass die Verdampfungsquelle aus einer Metallschmelze mit spiegelartiger Oberfläche und mit niedrigem Wärmestrahlungskoeffizient besteht.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Metall-Verdampfungsquelle eine Metallschmelze aus beispielsweise Aluminium oder einer Aluminiumlegierung ist.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Verdampfungsquelle einem Spiegelbild der zu beschichtenden Fläche entspricht oder gleich ist.
DE69216628T 1991-02-06 1992-02-06 Dampfbeschichtung Expired - Lifetime DE69216628T2 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE9100372A SE502384C2 (sv) 1991-02-06 1991-02-06 Förfarande för styckvis metallbeläggning av CD-skivor
PCT/SE1992/000070 WO1992013980A1 (en) 1991-02-06 1992-02-06 Vapour deposition

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69216628D1 DE69216628D1 (de) 1997-02-20
DE69216628T2 true DE69216628T2 (de) 1997-07-31

Family

ID=20381834

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69216628T Expired - Lifetime DE69216628T2 (de) 1991-02-06 1992-02-06 Dampfbeschichtung

Country Status (6)

Country Link
EP (1) EP0604424B1 (de)
JP (1) JPH06505307A (de)
AU (1) AU1255092A (de)
DE (1) DE69216628T2 (de)
SE (1) SE502384C2 (de)
WO (1) WO1992013980A1 (de)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103849837B (zh) * 2014-03-24 2016-02-10 四川虹视显示技术有限公司 一种蒸发源装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2821131C2 (de) * 1978-05-13 1986-02-06 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Vakuumbeschichtungsanlage mit einer Kondensat-Auffangeinrichtung
US4406252A (en) * 1980-12-29 1983-09-27 Rockwell International Corporation Inductive heating arrangement for evaporating thin film alloy onto a substrate
GB8425917D0 (en) * 1984-10-13 1984-11-21 Metal Box Plc Evaporating metal
US4812101A (en) * 1987-04-27 1989-03-14 American Telephone And Telegraph Company, At&T Bell Laboratories Method and apparatus for continuous throughput in a vacuum environment

Also Published As

Publication number Publication date
AU1255092A (en) 1992-09-07
EP0604424A1 (de) 1994-07-06
JPH06505307A (ja) 1994-06-16
EP0604424B1 (de) 1997-01-08
DE69216628D1 (de) 1997-02-20
WO1992013980A1 (en) 1992-08-20
SE9100372L (sv) 1992-08-07
SE9100372D0 (sv) 1991-02-06
SE502384C2 (sv) 1995-10-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69826478T2 (de) Verfahren und vorrichtung zur herstellung von dünnen funktionsfilmen
EP1896247B1 (de) Verfahren und vorrichtung zur herstellung eines dreidimensionalen gegenstands durch ein generatives 3d-verfahren
DE69913185T2 (de) Verfahren zur abscheidung eines organischen films
DE3205384C2 (de)
DE19752322B4 (de) Verfahren und Vorrichtung für die hochautomatisierte Herstellung von Dünnfilmen
DE69404372T2 (de) Zerstäubungstarget mit Warneinrichtung
DE3815006A1 (de) Vorrichtung zum herstellen von beschichtungen mit abgestufter zusammensetzung
DE4341173A1 (de) Ablagern unterschiedlicher Materialien auf einem Substrat
DE3014851A1 (de) Vorrichtung zum abscheiden duenner filme
EP0062764B1 (de) Verfahren zur Herstellung einer metallischen Dünnfilm-Magnetplatte und Anordnung zur Durchführung dieses Verfahrens
DE112008002971T5 (de) Bedampfungsquellen und Vorrichtung zum Herstellen eines organischen EL-Elements
DE69217535T2 (de) Verfahren zur Herstellung einer zweidimensionalen Partikelanordnung
DE102016121256A1 (de) Vakuumverdampfungseinrichtung und Vakuumbeschichtungsverfahren
DE69216628T2 (de) Dampfbeschichtung
DE3414669C2 (de) Verdampferzelle
DE2012077A1 (de) Apparat zum Auftragen eines metallenen Überzuges auf ein Substrat
DE2710483C2 (de)
DE69520778T2 (de) Verfahren zur Minimierung der thermischen Gradienten in einem Körper
DE1521238A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von UEberzuegen im Vakuum
DE2412729A1 (de) Verfahren und anordnung zur regelung der verdampfungsrate und des schichtaufbaus bei der erzeugung optisch wirksamer duennschichten
DE69838634T2 (de) Mechanismus um gleichzeitig zwei seiten wasserabweisend zu machen
DE3783244T3 (de) Optischer Aufzeichnungsträger.
DE102009054060B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Beschichten eines Substrates
DE3902954A1 (de) Informationsspeichermedium und verfahren zu seiner herstellung
DE2430653C3 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Vakuumaufdampfen eines photoleitfähigen Materials aus mindestens zwei Elementen auf ein Substrat

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition