DE69200351T2 - Verfahren zur Direktnitridierung von Metallen mit niedrigem Schmelzpunkt. - Google Patents
Verfahren zur Direktnitridierung von Metallen mit niedrigem Schmelzpunkt.Info
- Publication number
- DE69200351T2 DE69200351T2 DE69200351T DE69200351T DE69200351T2 DE 69200351 T2 DE69200351 T2 DE 69200351T2 DE 69200351 T DE69200351 T DE 69200351T DE 69200351 T DE69200351 T DE 69200351T DE 69200351 T2 DE69200351 T2 DE 69200351T2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- metal
- refractory
- process according
- powder
- nitriding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims description 58
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims description 58
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 title claims description 39
- 238000002844 melting Methods 0.000 title claims description 31
- 230000008018 melting Effects 0.000 title claims description 31
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 28
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 title claims description 11
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 46
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 37
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 34
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 30
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 25
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 13
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 12
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 9
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 7
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims description 5
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 4
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 claims description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 3
- 238000013021 overheating Methods 0.000 claims description 3
- 239000007858 starting material Substances 0.000 claims description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 claims 1
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 claims 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N Magnesium oxide Chemical compound [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 239000000047 product Substances 0.000 description 15
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 10
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 6
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 5
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 238000006396 nitration reaction Methods 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 4
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 4
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910017109 AlON Inorganic materials 0.000 description 3
- ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N Calcium oxide Chemical compound [Ca]=O ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910020056 Mg3N2 Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 description 3
- 239000010459 dolomite Substances 0.000 description 3
- 229910000514 dolomite Inorganic materials 0.000 description 3
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N Hydrazine Chemical compound NN OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 description 2
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 2
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 2
- 239000000292 calcium oxide Substances 0.000 description 2
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 2
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 2
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 229910001338 liquidmetal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004005 microsphere Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 239000011819 refractory material Substances 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011863 silicon-based powder Substances 0.000 description 2
- -1 AlN Chemical class 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000005139 Lycium andersonii Species 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005256 carbonitriding Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000004581 coalescence Methods 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010494 dissociation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005593 dissociations Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000001095 magnesium carbonate Substances 0.000 description 1
- ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L magnesium carbonate Chemical compound [Mg+2].[O-]C([O-])=O ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 235000014380 magnesium carbonate Nutrition 0.000 description 1
- 229910000021 magnesium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 238000010309 melting process Methods 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 238000010517 secondary reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011029 spinel Substances 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/06—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/64—Burning or sintering processes
- C04B35/65—Reaction sintering of free metal- or free silicon-containing compositions
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/06—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron
- C01B21/068—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron with silicon
- C01B21/0682—Preparation by direct nitridation of silicon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/06—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron
- C01B21/072—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron with aluminium
- C01B21/0722—Preparation by direct nitridation of aluminium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/082—Compounds containing nitrogen and non-metals and optionally metals
- C01B21/0828—Carbonitrides or oxycarbonitrides of metals, boron or silicon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/581—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on aluminium nitride
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
- C04B35/591—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride obtained by reaction sintering
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
- Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
- Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
Description
- Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Direktnitrierung von Metallen mit niedrigem Schmelzpunkt, d. h. die üblicherweise bei einer Temperatur unter ihrer Nitriertemperatur schmelzbar sind, das zum Erhalten von Nitriden oder nitrierten Erzeugnissen, wie den Oxynitriden oder den Oxycarbonitriden, führt. Es ist beispielsweise zur Herstellung der Al- oder Mg-Nitride anwendbar.
- Die Nitride von Metallen mit niedrigem Schmelzpunkt, wie z. B. Al, werden allgemein durch eine Carbonitrierreaktion von Oxiden, z. B. Aluminiumoxid, bei hoher Temperatur hergestellt. Eine solche, allgemein endotherme Reaktion, verbraucht Energie und läuft üblicherweise bei etwa 1700 ºC in Durchlauföfen oder chargenweise arbeitenden Öfen ab. Um ein reines Erzeugnis zu erhalten, sind diese Öfen oft komplex mit sehr bestimmten Temperaturprofilen, um eine vollständige Umwandlung zu erhalten und Sekundärreaktionen zu vermeiden. Die Investitionen sind daher erheblich und die Gestehungspreise hoch.
- Daher wandte sich die Anmelderin dem Einsatz eines Verfahrens durch direkte Synthese zu.
- Eine solche Direktnitrierung, beispielsweise ausgehend von Al und N&sub2;, ist jedoch sehr schwierig. Sie muß nämlich bei einer Temperatur über dem Schmelzpunkt von Al durchgeführt werden, doch wenn sich auch die Metallpulver recht gut im festen Zustand nitrieren, so ist ihre Nitrierung im flüssigen Zustand sehr schwierig: Man kennt keine einfache technische Lösung zur Durchführung der direkten und totalen Nitrierung eines flüssigen Metalls.
- In der Druckschrift DE 1 057 005 (entsprechend der Druckschrift FR 1 149 539) ist ein Verfahren zur Herstellung gesinterter kompakter Gegenstände aus AlN beschrieben, in denen die AlN-Teilchen untereinander durch ein oder mehrere Nitride verbunden sind, die geringe Verunreinigungsmengen enthalten können, wobei jedoch Metalloxide und Metallkarbide ausgeschlossen sind. Diese Nitride werden "in situ" durch Erhitzen von Formteilen unter Druck in nitrierender Atmosphäre gebildet, die aus AlN-Körnern, Al-pulver und zeitweilig beim Formen vorliegendem Agglomeriermittel und Plastifiziermittel zusammengesetzt sind.
- In der Druckschrift GB 2 075 965 ist auch ein Verfahren zur Herstellung von feuerfesten Teilen, die Siliziumdioxid und andere Feuerfeststoffe enthalten, mit verbesserten mechanischen Eigenschaften beschrieben. Dieses Ergebnis wird ebenfalls unter Verbindung der Keramik durch eine Nitridphase (insbesondere Si-Nitrid) erzielt, die durch Nitrierung "in situ" erhalten wurde. Hierfür enthalten die unter Druck geformten Teile außer dem Siliziumdioxid- und Feuerfestmaterialpulver möglichst feines Al-Pulver und werden anschließend in nitrierender Atmosphäre erhitzt; dagegen reduziert in diesem Fall Al zunächst das Siliziumdioxid, um Silizium zu ergeben, das bei hoher Temperatur in Nitrid umgewandelt wird.
- Was die Veröffentlichung EP A 165 707 betrifft, so beschreibt sie die Herstellung gesinterter Teile aus beispielsweise Siliziumnitrid durch sinterreaktion eines in Form gebrachten und kaltgepreßten Rohstücks, das Silizium und Siliziumnitrid enthält, in einer Stickstoffatmosphäre unter hohem Druck.
- Die Erfindung ist ein wirtschaftliches Verfahren zur Herstellung von Verbindungen auf Basis von Metallnitrid oder -oxynitrid in großer Menge durch Direktnitrierung wenigstens eines Metalls in Gegenwart eines festen, gegenüber dem Metall inerten Trägers aus feuerfestem unschmelzbarem Stoff, das die Vermischung in loser Schüttung eines Pulvers wenigstens eines zum Schmelzen bei der Temperatur der Direktnitrierung geeigneten Metalls, dessen Korngröße 2 mm nicht übersteigt, mit einem Pulver des feuerfesten Trägers mit einer Korngröße unter 630 um vorsieht, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallmenge im Ausgangsgemisch im Verhältnis zum feuerfesten Pulver einen Maximalgehalt nicht überschreitet, über dem man ein offensichtliches Schmelzen des Gemisches beobachten würde, man dieses lose Gemisch unter einem Strom stickstoffhaltigen Gases bei im wesentlichen atmosphärischem Druck erhitzt, bis die rasche und exotherme Nitrierungsreaktion des Metalls ausgelöst wird, welche bei einer Temperatur abläuft, die man durch Regulieren des stickstoffhaltigen Gasdurchsatzes so steuert, daß sich die Reaktion bis zur vollständigen Nitrierung des Metalls selbst aufrechterhält, ohne daß man eine Spur offensichtlichen Schmelzens der Charge bemerkt, und daß man ein Erzeugnis in fester, sehr poröser (Porenvolumen über 50 %), leicht zerstampfbarer Form erhält.
- Die von der vorliegenden Erfindung erfaßten Metalle sind im allgemeinen die, deren Schmelzpunkt unter ihrer Temperatur der Nitrierung durch ein stickstoffhaltiges Gas liegt. Jedoch kann die Erfindung durch Ausweitung auch die Metalle betreffen, deren Schmelzpunkt über ihrer Nitriertemperatur liegt; im Maße, wie ihre Direktnitrierung örtliche Überhitzungen hervorruft, die zu Erscheinungen örtlichen Schmelzens des Metalls führen, würde dieses dann nicht mehr nitriert und würde sich im endgültigen Nitrid im metallischen Zustand wiederfinden, so daß dessen Qualität (Reinheit) merklich verändert wäre.
- Das verwendete Stickstoffhaltige Gas kann Stickstoff, Ammoniak oder Hydrazin allein oder vermischt oder durch ein inertes oder reduzierendes Gas verdünnt sein.
- Die Erfindung besteht also darin, ein metallisches Pulver mit einem feuerfesten unschmelzbaren Pulver oder einem, dessen Schmelzpunkt bei im Verhältnis zur Temperatur der Nitrierreaktion ausreichend hohen Temperaturen liegt, zu vermischen.
- Dieses pulverförmige Gemisch wird dann auf eine solche Temperatur gebracht, daß die Nitrierreaktion im Strom von stickstoffhaltigem Gas und bei einem dem atmosphärischen Druck nahen Druck wenigstens an einem Punkt der Charge beginnt. Diese Reaktion wird allgemein bei einer Temperatur über der Schmelztemperatur des Metalls ausgelöst; sie ist rasch und exotherm und läuft von selbst ab, ohne daß eine äußere Wärmezufuhr nötig ist; eine solche Zufuhr kann indessen nützlich sein, um die Homogenität dieser Reaktion zu verbessern. Der Druck kann indessen nahe, aber über dem atmosphärischen Druck sein, um jeden Wiedereintritt parasitärer Luft in den Reaktionsbehälter zu vermeiden oder um den Temperaturanstieg des Ausgangsgemisches zu begünstigen.
- obwohl die zu Beginn oder im Verlauf der Reaktion erhaltene Temperatur gewöhnlich über der des Schmelzpunkts des Metalls liegt, beobachtet man keine Wirkung offensichtlichen Schmelzens dieses Gemisches, wenn man ein korrektes Verhältnis zwischen Metall und feuerfestem Stoff hat.
- Da die Nitrierreaktion rasch und exotherm ist und vermieden werden soll, daß sie außer Kontrolle gerät, was zum Schaden der Qualität des erhaltenen Erzeugnisses führen würde, steuert man allgemein ihre Temperatur, indem man den Durchsatz des stickstoffhaltigen Gases reguliert. Es ist manchmal unerläßlich, die Reaktionstemperatur zu begrenzen, um zu vermeiden, daß sie die Dissoziationstemperatur der gebildeten Nitride erreicht.
- Der Gasstrom kann das Gemisch im Ofen überstreichen oder es vorzugsweise durchströmen, was es ermöglicht, ein Zusammenwachsen der Körner im Reaktionsverlauf zu vermeiden.
- Das Erzeugnis wird in Form von Nitriden erhalten, die mit dem feuerfesten Träger vermischt oder kombiniert sind. Es zeigt sich in Form einer festen, sehr porösen, mehr oder weniger agglomerierten Masse ohne mechanische Haltbarkeit. Das Porenvolumen übersteigt erheblich 50 %, und der Durchmesser der Poren hängt von der Korngröße der Ausgangspulver ab; er kann von 1 um bis mehr als 200 um reichen. Die Bindung zwischen den Körnern ist wenig haltbar, was dazu führt, daß man diese Masse durch ein einfaches Zerbröckeln oder ein leichtes Zerreiben leicht in Pulverform zerkleinern kann.
- Die für die Direktnitrierung gemäß der Erfindung besonders vorteilhaften Metalle sind vor allem Al, Mg, Si (wobei dieses Metall geeignet ist, örtliche Schmelzvorgänge bei seiner Nitrierung durchzumachen), allgemeiner die Erdalkalimetalle, aber auch ihre Legierungen oder ihre Gemische, insbesondere solche, die bei niedriger Temperatur schmelzbar sind.
- Der feuerfeste Träger muß eine geometrische Oberfläche aufweisen, die ausreichend groß und durch das flüssige Metall benetzbar ist, das man nitrieren will. Aus diesem Grund muß er obligatorisch eine mehr oder weniger feine Pulverform aufweisen.
- Seine chemische Art muß in der Weise gewählt werden, daß er mit dem zu nitrierenden Metall nicht reagiert. Dagegen kann sich das im Lauf der Reaktion gebildete Nitrid mit dem feuerfesten Träger verbinden, um eine unter den Bedingungen der Reaktion nicht schmelzbare Verbindung, wie z. B. die Oxynitride, zu ergeben.
- So kann man alle Arten von feuerfesten Trägern, beispielsweise die feuerfesten Oxide, wie Al&sub2;O&sub3;, MgO, CaO, SiO&sub2;, Dolomit, oder ihre Verbindungen, die Nitride (wie z. B. AlN, Si&sub3;N&sub4;), die Karbide, die Boride, die Oxynitride, die Oxykarbide, die Oxycarbonitride und ihre feuerfesten Mischungen verwenden.
- Dieser feuerfeste Träger hat allgemein eine Korngröße unter 600 um; diejenige des zu nitrierenden Metalls übersteigt gewöhnlich nicht 2 mm und ist vorzugsweise unter 1 mm. Sie kann um so gröber sein, je niedriger der Schmelzpunkt des zu nitrierenden Metalls ist; beispielsweise können die Al- Körner bis zu 1,2 mm groß sein, während man für Si, das bei einer viel höheren Temperatur schmilzt, vorzugsweise nicht über 0,16 mm geht.
- Der Anteil der Metallteilchen im Verhältnis zum unterteilten feuerfesten Träger kann in einem weiten Bereich variieren. Er kann sehr gering, beispielsweise 1 % sein. Dagegen ist es notwendig, jedes offensichtliche Schmelzen zu vermeiden, indem man den Metallanteil auf einen Maximalwert begrenzt: Es ist schwierig, 2/3 für das Metall/(Metall + Träger)-Verhältnis zu überschreiten. Man riskiert nämlich über diesem Wert das offensichtliche Schmelzen der Charge, das einen Stillstand der Nitrierung verursacht und als Enderzeugnis ein Gemisch von Nitrid und nichtnitriertem Metall ergibt, was nicht das angestrebte Ziel ist.
- Die Wahl des feuerfesten Trägers hängt von der Art des Enderzeugnisses ab, das man herstellen will.
- So kann man nicht einschränkend verschiedene Möglichkeiten erwähnen:
- Wenn das zu nitrierende Metallpulver in Gegenwart eines feuerfesten Trägers ist, der aus einem Pulver seines Oxids besteht, erhält man zuletzt ein einfaches Oxynitrid (beispielsweise ergibt Al in Gegenwart von Al&sub2;O&sub3; AlON, Mg in Gegenwart von MgO das Gemisch Mg&sub3;N&sub2;+MgO...).
- Wenn das Metallpulver in Gegenwart eines Oxids eines anderen Metalls vorliegt, erhält man ein Doppeloxynitrid (beispielsweise ergibt Al in Gegenwart von MgO ein Oxynitrid des Typs MgAlON, das als ein Spinell von AlON, einer festen Lösung von AlN in MgO betrachtet werden kann);
- wenn das Metallpulver in Gegenwart seines eigenen Nitrids ist, erhält man ein Nitrid, das von großer Reinheit sein kann (beispielsweise Al in Gegenwart von AlN).
- Wenn das Metallpulver in Gegenwart eines Oxid- und Karbidgemisches ist, kann man ein Oxycarbonitrid ein und desselben Metalls oder verschiedener Metalle usw. erhalten.
- Man kann so alle Arten von Verbindungen auf Basis von Nitriden erhalten: Mischnitride, wenn der feuerfeste Träger ein Nitrid eines vom zu nitrierenden Metall verschiedenen Metalls ist, Mischverbindungen von Nitriden-Karbiden, Nitriden-Boriden, aber auch Verbindungen ausgehend von einem Träger, der ein unschmelzbares Gemisch feuerfester Pulver ist.
- Man stellt so fest, daß in unerwarteter Weise die im flüssigen Zustand schwierig nitrierbaren Metalle (insbesondere Al und Mg) erfindungsgemäß geeignet sind, sich vollständig sogar bei Temperaturen über ihrer Schmelztemperatur unter der Bedingung, wie schon angegeben, zu nitrieren, daß das zu nitrierende Metallpulver im festen, unterteilten feuerfesten Stoff dispergiert wird, der eine feste, inerte und ausreichend große Oberfläche aufweist.
- Die gemäß der Erfindung erhaltenen pulverförmigen Erzeugnisse, seien sie nun mit dem feuerfesten Träger verbundene oder vermischte Nitride, können anschließend einem beispielsweise elektrothermischen Schmelzen unterworfen werden. Dies ist besonders vorteilhaft, um die Kombination des oder der erhaltenen Nitride mit dem oder den feuerfesten Trägern zu vollenden, um beispielsweise ein homogenes Erzeugnis zu erhalten. Die Oxynitride bieten sich gut für dieses Elektroschmelzen an, um Erzeugnisse mit hohen Qualitäten, beispielsweise Korrosionsbeständigkeit bei hoher Temperatur usw., zu ergeben.
- Das Verfahren gemäß der Erfindung findet allgemein mit einer selbstunterhaltenen Nitrierreaktion statt, die keine äußere Energiezufuhr erfordert, was es wirtschaftlich macht.
- Man sieht auch, daß das Verfahren gemäß der Erfindung mittels einer einfachen Technik ermöglicht, eine große Auswahl von Erzeugnissen auf Basis von Nitriden zu erhalten oder Nitride zu erhalten, deren Reinheit nur von der Reinheit der zu verbrauchenden Ausgangsstoffe abhängt. Dies ist von großem Vorteil insbesondere zur Erzeugung von reinem AlN mit Leichtigkeit und in großer Menge.
- Dieses Beispiel veranschaulicht die Herstellung eines einfachen Oxynitrids.
- Man vermischte 100 kg Aluminiumoxidpulver unter 100 um mit 30 kg Aluminiumpulver unter 1,2 mm. Dieses Gemisch wurde in einen dichten Ofen eingebracht, unter Vakuum entgast und dann unter Stickstoffdruck von 1 at erhitzt.
- Bei 700 ºC begann die Nitrierung, und man hielt den Stickstoffdruck bei 1 at, um den Temperaturanstieg der Charge zu fördern. Obwohl die Reaktion exotherm ist, wurde die Erhitzung des Ofens beibehalten, was es am Ende des Vorgangs ermöglichte, 1750 ºC zu erreichen.
- Man gewann am Ende des Vorgangs 145 kg einer porösen, homogenen, wenig festen, aus AlON bestehenden Masse. Diese Masse wurde in einem mit einer Wanne des "water-jacket"- Typs versehenen Bogenofen aufgeschmolzen, und man stellte keine Gasabgabe im Bad fest. Das geschmolzene Erzeugnis wurde gegossen und abgekühlt. Die Analyse zeigte, daß es sich tatsächlich um ein Aluminiumoxynitrid mit einem Gehalt von 10,1 % Stickstoff handelt.
- Dieses Beispiel veranschaulicht die Herstellung eines Doppeloxynitrids.
- Man vermischte 40 kg eines Aluminiumpulvers (mittlere Korngröße von etwa 1 mm) und 60 kg unter 250 um zerkleinerten Magnesiumoxidpulvers. Das Gemisch wurde in Form von groben Tabletten leicht agglomeriert, um seine Handhabung zu erleichtern. Sie wurden in einen Ofen eingeführt, entgast, und auf 960 ºC unter Stickstoffatmosphäre bei atmosphärischem Druck erhitzt. Nach Beginn der Nitrierung stieg die Temperatur auf 1680 ºC. Der vollständige Vorgang dauerte 45 Minuten. In keinem Augenblick stellte man ein offensichtliches Schmelzen der Charge fest.
- Das erhaltene poröse Erzeugnis enthält ein Mischoxynitrid MgAlON.
- Ein identischer Versuch wurde ohne Agglomerierung des Ausgangsgemisches durchgeführt, und man erhielt das gleiche Erzeugnis in Form einer festen Masse, die man leicht zur Form eines Pulvers von etwa 200 bis 300 um Korngröße zerrieb.
- Dieses Beispiel veranschaulicht die Herstellung des gleichen Erzeugnisses nach einer anderen Verfahrensvariante.
- Man stellte ein Gemisch von 38 kg Mg-Pulver (im Bereich von 50 bis 100 um) und von 68 kg eines Aluminiumoxidpulvers (unter 100 um) her, das man in Agglomerate umwandelte. Diese wurden bis auf 700 ºC in Stickstoffatmosphäre erhitzt, dann begann die Nitrierung, und die Temperatur wurde auf 1100 ºC begrenzt, indem man den Stickstoffdurchsatz regulierte. In 30 Minuten war die Nitrierung vollständig.
- Die erhaltenen Agglomerate bestehen aus einem Gemisch von Mg&sub3;N&sub2;, Al&sub2;O&sub3; und Mischoxynitrid MgAlON.
- In gleicher Weise führte das nicht agglomerierte Ausgangsgemisch zu einem porösen zerreibbaren Feststoff.
- Dieses Beispiel veranschaulicht die Herstellung von reinem AlN aus einem einfachen Gemisch von Pulvern.
- Man stellte ein Gemisch aus 40 % Al-Pulver unter 1 mm und 60 % AlN-Pulver unter 600 um her, das vorab durch ein Carbonitierverfahren erhalten wurde.
- Dieses Gemisch wurde in einen elektrisch geheizten Ofen kleiner Abmessungen eingeführt, der nach und nach auf 1300 ºC im Stickstoffstrom gebracht wurde; bei dieser Temperatur begann die Reaktion der Direktnitrierung des Aluminiums schroff, wodurch ein starker Temperaturanstieg in der Charge bis auf 1700 ºC hervorgerufen wurde.
- Die Umwandlung des Aluminiums in Nitrid war vollständig und rasch; die erhaltene Charge ist agglomeriert, ohne daß man eine Spur von schmelzen beobachtete, und wurde durch ein leichtes Zerreiben zu Pulver zerkleinert.
- Dieses Beispiel veranschaulicht die Herstellung von AlN aus agglomerierten Pulvern.
- Man ging von einem im Beispiel 4 erhaltenen AlN-Pulver einer Korngröße unter 600 um aus, das mit dem Al-Pulver des Beispiels 4 in den gleichen Anteilen vermischt wurde. Dieses Gemisch wurde agglomeriert und dann wie vorstehend unter Stickstoffatmosphäre erhitzt.
- Die Nitrierung begann bei 1200 ºC, und danach erreichte man eine Temperatur von 1680 ºC.
- Die Umwandlung war vollständig und rasch.
- Die Wiederholung dieses Vorganges ohne Agglomerierung mit 99,9%igem Al und O&sub2;-freiem Stickstoff ermöglichte, 99,8%iges AlN mit weniger als 0,1 % nichtgebundenem Al zu erhalten.
- Dieses Beispiel veranschaulicht die Herstellung von AlN in einem Industrieofen.
- Ein pulverförmiges Gemisch von 6,8 t gleicher Art und Anteile wie im Beispiel 5 wurde in einen Kammerofen großer Abmessungen eingeführt, der auf Stickstoffüberdruck gebracht wurde. Die Charge wurde mit Hilfe eines in das Gemisch eingebetteten Graphitwiderstandes erhitzt.
- Die Reaktion begann örtlich begrenzt und breitete sich anschließend auf die gesamte Charge aus, wobei die Heizung unterbrochen wurde.
- Der AlN-Gehalt des erhaltenen Erzeugnisses ist 99,3 %.
- Dieses Beispiel veranschaulicht die Herstellung des Nitrids eines Metalls (Si), das den Gegenstand örtlichen Schmelzens während seiner Direktnitrierung bilden kann. Man vergleicht so seine Direktnitrierung nach dem Stand der Technik und gemäß der Erfindung:
- Man stellte 100 kg Siliziumpulver von 0-160 um her, wovon man einen Anteil von 50 kg entnahm, den man in einem Ofen unter Stickstoffatmosphäre erhitzte. Durch Regulieren des Zustroms von Stickstoff, um etwa 1350 ºC nicht zu überschreiten, erhielt man eine gesinterte Masse von Si&sub3;N&sub4;, die etwa 6 % nichtreagiertes Si enthielt und hauptsächlich in ihrem Zentrum liegende Mikrokügelchen aufwies. Diese Mikrokügelchen sind eine Folge der Überhitzungen und örtlichen Aufschmelzungen während der Reaktion.
- So stellt man, obwohl man im Prinzip nicht den Schmelzpunkt des Siliziums erreichte, dennoch örtliche Schmelzstellen fest, die eine unvollständige Nitrierung des Siliziums zur Folge haben.
- Man vermischte den zweiten Anteil von 50 kg Si-Pulver mit 25 kg Si&sub3;N&sub4;-Pulver, das durch zerkleinern der äußeren und von Si freien Zonen der vorher erhaltenen Masse erhalten wurde.
- Der Nitriervorgang dieses Gemisches wurde unter denen des vorherigen Vorgangs identischen Bedingungen durchgeführt.
- Am Ende des Vorganges enthielt die erhaltene agglomerierte Si&sub3;N&sub4;-Masse sogar in der zentralen Zone der Masse weniger als 0,1 % freies Si.
- Dieses Beispiel veranschaulicht die Nitrierung eines Gemisches von Pulvern von Metallen (Al + Mg) auf einem Träger aus zerkleinertem Magnesiumoxidpulver.
- Man vermischte 535 g eines zerkleinerten Magnesiumoxidpulvers unter 630 um mit 72 g Magnesiumpulver von 50-300 um und 54 g zu Kügelchen von etwa 1,2 mm Durchmesser zerstäubtem Aluminium.
- Das Ganze wurde in einem dichten Ofen unter Stickstoffdruck von 1 at angeordnet; der Durchsatz kann mit Hilfe eines Ventils gesteuert werden. Die Nitrierreaktion begann bei 600 ºC, und die Nitriertemperatur wurde unter Regulierung des Stickstoffdurchsatzes auf 1000 ºC gehalten.
- Am Ende des Vorgangs gewann man 715 g eines leicht gesinterten Pulvers, in welchem die Gesamtheit der Metalle nitriert war und das ein Doppeloxynitrid MgAlON (wie in den Beispielen 1 und 2), aber auch Mg&sub3;N&sub2;, AlN und ein Gemisch der nicht mit den Nitriden reagiert habenden Oxide (MgO, Al&sub2;O&sub3;) enthielt.
- Dieses Pulver wurde durch Elektroschmelzen aufgeschmolzen, um eine elektrogeschmolzene, aus Oxynitrid MgAlON bestehende Masse zu erhalten.
- Dieses Beispiel veranschaulicht die Verwendung eines komplexen feuerfesten Trägers (Dolomit).
- Man vermischte 610 kg eines calcinierten, unter 630 um zerkleinerten Dolomitpulvers, das 61 % CaO und 37 % MgO enthielt, mit 66 kg eines calcinierten und auf gleiche Korngröße zerkleinerten Magnesitpulvers und 111 kg Aluminiumkörnern von etwa 1,2 mm.
- Dieses Gemisch wurde in Form von Agglomeraten gebracht und dann in einem dichten Ofen unter Stickstoffdruck angeordnet.
- Die Nitrierreaktion begann bei 960 ºC. Die Heizung des Ofens wurde mit Hilfe des Stickstoffdurchsatzes so reguliert, daß man eine Reaktionstemperatur in der Größenordnung von 1700 ºC erhielt.
- Das nach der Entnahme aus dem Ofen erhaltene Erzeugnis wies die Form einer festen porösen Masse von 842 kg auf, die aus einem Dreifachoxynitrid von Ca, Mg und Al bestand, das man leicht in ebenfalls poröse Agglomerate zerteilen konnte.
- Dieses gleiche, jedoch nicht agglomerierte Gemisch wurde auch unter den gleichen Nitrierbedingungen behandelt, und man erhielt eine feste poröse Masse, die man leicht zerkleinerte, um sie zu Pulver umzuwandeln.
Claims (11)
1. Verfahren zur Herstellung von Verbindungen auf Basis
von Metallnitrid oder -oxynitrid in großer Menge durch
Direktnitrierung wenigstens eines Metalls in Gegenwart
eines festen, gegenüber dem Metall inerten Trägers aus
feuerfestem unschmelzbarem Stoff, das die Vermischung
in loser Schüttung eines Pulvers wenigstens eines zum
Schmelzen bei der Temperatur der Direktnitrierung
geeigneten Metalls, dessen Größenordnung 2 mm nicht
übersteigt, mit einem Pulver des feuerfesten Trägers mit
einer Korngröße unter 630 um vorsieht,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Metallmenge im Ausgangsgemisch im Verhältnis
zum feuerfesten Pulver einen Maximalgehalt nicht
überschreitet, über dem man ein offensichtliches Schmelzen
des Gemisches beobachten würde, man dieses lose Gemisch
unter einem Strom stickstoffhaltigen Gases bei im
wesentlichen atmosphärischem Druck erhitzt, bis die
rasche und exotherme Nitrierungsreaktion des Metalls
ausgelöst wird, welche bei einer Temperatur abläuft,
die man durch Regulieren des stickstoffhaltigen
Gasdurchsatzes so steuert, daß sich die Reaktion bis zur
vollständigen Nitrierung des Metalls selbst
aufrechterhält, ohne daß man eine Spur offensichtlichen
Schmelzens der Charge bemerkt, und daß man ein Erzeugnis in
fester, sehr poröser (Porenvolumen über 50 %), leicht
zerstampfbarer Form erhält.
2. Verfahren nach dem Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Metall einen Schmelzpunkt unter der Temperatur
der Direktnitrierung hat.
3. Verfahren nach dem Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Metall einen Schmelzpunkt über der Temperatur
der Direktnitrierung hat, aber geeignet ist, während
der Direktnitrierung in der Folge von örtlichen
Überhitzungen in der reagierenden Masse zu schmelzen.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 oder 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Metalle Al, Mg, Si, deren Legierungen oder
deren Mischungen sind.
5. Verfahren nach irgendeinem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet,
daß das feuerfeste Pulver zur Gruppe der feuerfesten
Oxide oder deren Verbindungen, der Nitride, der
Karbide, der Boride oder deren feuerfesten Mischungen
gehört.
6. Verfahren nach irgendeinem der Ansprüche 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß das stickstoffhaltige Gas reiner oder durch ein
neutrales oder reduzierendes Gas verdünnter Stickstoff
ist.
7. Verfahren nach irgendeinem der Ansprüche 1 bis 6,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Metall/(Metall + Träger)-Verhältnis ungefähr
2/3 nicht übersteigt.
8. Verfahren nach irgendeinem der Ansprüche 1 bis 7,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Ausgangsgemisch aus einem Metall und dessen
Nitrid besteht, um ein Nitrid großer Reinheit zu
erhalten.
9. Verfahren nach irgendeinem der Ansprüche 1 bis 7,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Ausgangsgemisch aus einem Metall und einem
feuerfesten Oxid besteht, um ein einfaches oder gemischtes
Oxynitrid je nachdem zu erhalten, ob das Oxid das des
Metalls oder eines verschiedenen Metalls ist.
10. Verfahren nach irgendeinem der Ansprüche 1 bis 8,
dadurch gekennzeichnet,
daß man je nach der Art des oder der Ausgangsmetalle
und des oder der feuerfesten Ausgangsstoffe
Mischnitride oder Nitride enthaltende Mischverbindungen
erhält.
11. Verfahren nach irgendeinem der Ansprüche 1 bis 10,
dadurch gekennzeichnet,
daß die erhaltenen Erzeugnisse später geschmolzen
werden.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR9100376A FR2671339B1 (fr) | 1991-01-03 | 1991-01-03 | Procede de nitruration directe de metaux a bas point de fusion. |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE69200351D1 DE69200351D1 (de) | 1994-10-06 |
DE69200351T2 true DE69200351T2 (de) | 1995-02-16 |
Family
ID=9408676
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE69200351T Expired - Lifetime DE69200351T2 (de) | 1991-01-03 | 1992-01-02 | Verfahren zur Direktnitridierung von Metallen mit niedrigem Schmelzpunkt. |
Country Status (12)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5314675A (de) |
EP (1) | EP0494129B1 (de) |
JP (1) | JP3177278B2 (de) |
KR (1) | KR100235522B1 (de) |
AU (1) | AU642331B2 (de) |
BR (1) | BR9200009A (de) |
CA (1) | CA2058682C (de) |
DE (1) | DE69200351T2 (de) |
ES (1) | ES2060460T3 (de) |
FR (1) | FR2671339B1 (de) |
TW (1) | TW197996B (de) |
ZA (1) | ZA9213B (de) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4138481A1 (de) * | 1991-11-22 | 1993-05-27 | Kempten Elektroschmelz Gmbh | Wiederaufarbeitung von gebrauchten verdampferschiffchen |
JP2967094B2 (ja) * | 1995-11-02 | 1999-10-25 | 工業技術院長 | 窒化アルミニウム焼結体、及び窒化アルミニウム粉末の製造方法 |
FR2745562B1 (fr) * | 1996-03-04 | 1998-04-17 | Pechiney Electrometallurgie | Procede de preparation d'une poudre refractaire a partir de masses de contact usees issues de la production de silanes et produits refractaires obtenus |
US5934900A (en) * | 1996-03-29 | 1999-08-10 | Integrated Thermal Sciences, Inc. | Refractory nitride, carbide, ternary oxide, nitride/oxide, oxide/carbide, oxycarbide, and oxynitride materials and articles |
WO2001064374A2 (en) * | 2000-03-01 | 2001-09-07 | Cabot Corporation | Nitrided valve metals and processes for making the same |
FR2836472B1 (fr) * | 2002-02-28 | 2004-05-21 | Pem Abrasifs Refractaires | Grains abrasifs a base d'oxynitrure d'aluminium |
WO2012056808A1 (ja) | 2010-10-25 | 2012-05-03 | 日本碍子株式会社 | セラミックス材料、半導体製造装置用部材、スパッタリングターゲット部材及びセラミックス材料の製造方法 |
WO2012056807A1 (ja) | 2010-10-25 | 2012-05-03 | 日本碍子株式会社 | セラミックス材料、積層体、半導体製造装置用部材及びスパッタリングターゲット部材 |
JP5849650B2 (ja) * | 2011-04-13 | 2016-01-27 | 株式会社デンソー | 窒素とアルミニウムと他金属とを含む多元化合物の複合材料の製造方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1057005B (de) * | 1956-03-29 | 1959-05-06 | Electro Chimie Metal | Verfahren zur Herstellung von Gegenstaenden aus Aluminiumnitrid |
FR1149539A (fr) * | 1956-04-17 | 1957-12-27 | Electro Chimie Soc D | Procédé de fabrication d'objets en nitrure d'aluminium |
US2929126A (en) * | 1956-04-19 | 1960-03-22 | Electro Chimie Metal | Process of making molded aluminum nitride articles |
DE1057006B (de) * | 1958-02-01 | 1959-05-06 | Dipl Berging Hans Georg Habbel | Verfahren zur Aufbereitung von Rohton |
AU458193B2 (en) * | 1970-09-26 | 1975-02-20 | Joseph Lucas (Industries) Limited | Silicon nitride products |
GB2075965B (en) * | 1980-05-14 | 1983-10-05 | Dresser Ind | Nitride bonded refractory shapes and their production |
DE3584475D1 (de) * | 1984-05-18 | 1991-11-28 | Sumitomo Electric Industries | Verfahren zum sintern von keramischen koerpern und dadurch hergestellte keramische koerper mit einer verteilten metallverstaerkung. |
US4944930A (en) * | 1986-11-21 | 1990-07-31 | Regents Of The University Of California | Synthesis of fine-grained α-silicon nitride by a combustion process |
US4877759A (en) * | 1987-05-29 | 1989-10-31 | Regents Of The University Of California | One step process for producing dense aluminum nitride and composites thereof |
US4990180A (en) * | 1988-07-28 | 1991-02-05 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Combustion synthesis of low exothermic component rich composites |
US5030600A (en) * | 1988-10-06 | 1991-07-09 | Benchmark Structural Ceramics Corp. | Novel sialon composition |
-
1991
- 1991-01-03 FR FR9100376A patent/FR2671339B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 1991-12-27 JP JP34699691A patent/JP3177278B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1992
- 1992-01-02 BR BR929200009A patent/BR9200009A/pt not_active IP Right Cessation
- 1992-01-02 CA CA002058682A patent/CA2058682C/fr not_active Expired - Lifetime
- 1992-01-02 ZA ZA9213A patent/ZA9213B/xx unknown
- 1992-01-02 AU AU10007/92A patent/AU642331B2/en not_active Expired
- 1992-01-02 DE DE69200351T patent/DE69200351T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1992-01-02 EP EP92420004A patent/EP0494129B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1992-01-02 ES ES92420004T patent/ES2060460T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1992-01-03 KR KR1019920000002A patent/KR100235522B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1992-01-03 US US07/816,235 patent/US5314675A/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-01-03 TW TW081100014A patent/TW197996B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2671339B1 (fr) | 1993-08-27 |
CA2058682C (fr) | 2002-03-26 |
TW197996B (de) | 1993-01-11 |
ES2060460T3 (es) | 1994-11-16 |
CA2058682A1 (fr) | 1992-07-04 |
JP3177278B2 (ja) | 2001-06-18 |
EP0494129A1 (de) | 1992-07-08 |
JPH04304359A (ja) | 1992-10-27 |
KR920014709A (ko) | 1992-08-25 |
BR9200009A (pt) | 1992-09-08 |
AU642331B2 (en) | 1993-10-14 |
ZA9213B (en) | 1993-04-05 |
US5314675A (en) | 1994-05-24 |
AU1000792A (en) | 1992-07-09 |
DE69200351D1 (de) | 1994-10-06 |
KR100235522B1 (ko) | 1999-12-15 |
FR2671339A1 (fr) | 1992-07-10 |
EP0494129B1 (de) | 1994-08-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69208918T2 (de) | Verfahren zur Herstellung von Schleif- und/oder tonerfesten Produkten auf der Basis von geschmolzenen und verfestigten Oxynitriden | |
DE2724352C2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Si-Al-O-N Formkörpers | |
DE60121242T2 (de) | Molybdän-Kupfer-Verbundpulver sowie dessen Herstellung und Verarbeitung zu einer Pseudolegierung | |
DE2805292A1 (de) | Verfahren zur herstellung eines sinterkoerpers sowie ein sinterkoerper | |
DE2759243A1 (de) | Polykristalliner siliziumnitrid- sinterkoerper und verfahren zu dessen herstellung | |
US3531245A (en) | Magnesium-aluminum nitrides | |
DE3241979C2 (de) | Verfahren zur Herstellung von kubischem Bornitrid unter Verwendung einer Verbindung vom Bornitridtyp als Katalysator | |
EP0186144B1 (de) | Verfahren zur Herstellung von Aluminiumnitridpulver | |
DE4119695C2 (de) | Aluminiumnitridkörnchen und Verfahren zu deren Herstellung | |
DE69200351T2 (de) | Verfahren zur Direktnitridierung von Metallen mit niedrigem Schmelzpunkt. | |
DE3888241T2 (de) | Verfahren zur Herstellung einer Keramik-Körpers mit guter Bruchzähigkeit. | |
DE2107255A1 (de) | Exothermes Material | |
DE2833909C2 (de) | Verfahren zur Herstellung von aktivem Borcarbid enthaltendem Siliziumcarbidpulver | |
DE3343964A1 (de) | Verfahren zur herstellung von siliziumnitridpulver mit guten sintereigenschaften | |
DE3130920A1 (de) | "ausscheidungsverfestigte kupferlegierungen" | |
DE2909104A1 (de) | Sinternde siliziumkarbidpulver und verfahren zu deren herstellung | |
DE2923729A1 (de) | Sinterkeramisches produkt und verfahren zu seiner herstellung | |
DE2708634C2 (de) | Verfahren zur sintermetallurgischen Herstellung von Ferromolybdän | |
DE69126309T2 (de) | Verfahren zur herstellung von nitridierbarem silizium-enthaltendem material und auf diese weise erhaltenes material | |
DE3685806T2 (de) | Herstellung von gesinterten siliziumnitridformkoerpern. | |
DE2111583A1 (de) | Verfahren zur Herstellung dichter Koerper aus Aluminiumoxid oder Magnesiumaluminatspinell | |
DE3587204T2 (de) | Metall-Boride und Verfahren zu deren Herstellung. | |
DE68920445T2 (de) | Verfahren zur herstellung höchstreaktiver submikron amorpher titandiboridpulver und erzeugnisse daraus. | |
DE68908534T2 (de) | Siliziumcarbidplättchen und Verfahren zu deren Herstellung. | |
DE2848452A1 (de) | Verfahren zur herstellung von siliziumcarbidpulvern |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: PEM ABRASIFS REFRACTAIRES, PARIS-LA-DEFENSE,, FR |