DE69002170T2 - Phasenregelschleife mit genauem Frequenz- und Phasenabgleich zweier Signale. - Google Patents
Phasenregelschleife mit genauem Frequenz- und Phasenabgleich zweier Signale.Info
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- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 claims description 19
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 8
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 6
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 claims description 2
- 238000010079 rubber tapping Methods 0.000 claims 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000001934 delay Effects 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03L—AUTOMATIC CONTROL, STARTING, SYNCHRONISATION OR STABILISATION OF GENERATORS OF ELECTRONIC OSCILLATIONS OR PULSES
- H03L7/00—Automatic control of frequency or phase; Synchronisation
- H03L7/06—Automatic control of frequency or phase; Synchronisation using a reference signal applied to a frequency- or phase-locked loop
- H03L7/08—Details of the phase-locked loop
- H03L7/0805—Details of the phase-locked loop the loop being adapted to provide an additional control signal for use outside the loop
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2832—Specific tests of electronic circuits not provided for elsewhere
- G01R31/2834—Automated test systems [ATE]; using microprocessors or computers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/317—Testing of digital circuits
- G01R31/3181—Functional testing
- G01R31/319—Tester hardware, i.e. output processing circuits
- G01R31/31903—Tester hardware, i.e. output processing circuits tester configuration
- G01R31/31908—Tester set-up, e.g. configuring the tester to the device under test [DUT], down loading test patterns
- G01R31/3191—Calibration
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/317—Testing of digital circuits
- G01R31/3181—Functional testing
- G01R31/319—Tester hardware, i.e. output processing circuits
- G01R31/31917—Stimuli generation or application of test patterns to the device under test [DUT]
- G01R31/31922—Timing generation or clock distribution
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03B—GENERATION OF OSCILLATIONS, DIRECTLY OR BY FREQUENCY-CHANGING, BY CIRCUITS EMPLOYING ACTIVE ELEMENTS WHICH OPERATE IN A NON-SWITCHING MANNER; GENERATION OF NOISE BY SUCH CIRCUITS
- H03B27/00—Generation of oscillations providing a plurality of outputs of the same frequency but differing in phase, other than merely two anti-phase outputs
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03L—AUTOMATIC CONTROL, STARTING, SYNCHRONISATION OR STABILISATION OF GENERATORS OF ELECTRONIC OSCILLATIONS OR PULSES
- H03L7/00—Automatic control of frequency or phase; Synchronisation
- H03L7/06—Automatic control of frequency or phase; Synchronisation using a reference signal applied to a frequency- or phase-locked loop
- H03L7/08—Details of the phase-locked loop
- H03L7/099—Details of the phase-locked loop concerning mainly the controlled oscillator of the loop
- H03L7/0995—Details of the phase-locked loop concerning mainly the controlled oscillator of the loop the oscillator comprising a ring oscillator
- H03L7/0996—Selecting a signal among the plurality of phase-shifted signals produced by the ring oscillator
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
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Description
- Die Erfindung betrifft eine integrierte Schaltung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 und ein Verfahren zur Erzeugung geeichter Signale nach dem Oberbegriff des Anspruchs 4.
- In vielen Anwendungsfällen, beispielsweise bei der Erzeugung von Signalen zur Prüfung integrierter Schaltungen, ist es wunschenswert, Zeitsteuerungssignale hoher Präzision zu erzeugen. Beispielsweise ist es in gewissen Anwendungsfällen erforderlich, daß zwei Signale gegeneinander um einen voraussagbaren Betrag von weniger als einer Nanosekunde versetzt sind. Übliche Einrichtungen zur Erzeugung von Signalen solcher Genauigkeit sind sehr umständlich und bekannte Lösungen sind sehr teuer.
- In typischer Weise ist eine solche Genauigkeit bei der Signalerzeugung bei vielen preiswerten Technologien für integrierte Schaltungen, beispielsweise CMOS, nicht verfügbar gewesen. Das beruht darauf, daß der Prozeß, mit dem diese integrierten Schaltungen hergestellt werden, keine ausreichende Steuerung der Prozeßparameter oder eine Begrenzung der Empfindlichkeit gegen Umwelteinflüsse ermöglicht hat, so daß die zeitliche Steuerung mit einer solchen Sicherheit vorausgesagt werden kann, die für solche Anwendungsfälle erforderlich ist.
- Aus der EP-A-0 046 482 ist eine Schaltungsanordnung zur Anpassung der Signalverzögerungen miteinander verbundener integrierter Schaltungen bekannt. Jedes Schaltungsplättchen der bekannten Schaltungsanordnung enthält eine Steuerschaltung für die Signalverzögerung und ein Taktsignal als gemeinsames Bezugssignal ist an alle Steuerschaltungen angelegt. Jede Steuerschaltung enthält einen spannungsgesteuerten Oszillator in Form eines Ringoszillators mit einer Vielzahl von Gattern, die zu einem Ring zusammengeschaltet sind. Die Steuerschaltung vergleicht die Phase des Taktsignals und des Ringoszillator-Ausgangssignals und leitet ein kompensierendes Leistungssignal für die Gatter des Ringoszillators ab, derart, daß das Taktsignal und das Ringoszillator-Ausgangssignal miteinander synchronisiert sind. Dies beruht darauf, daß die Verzögerung der Gatter und demgemäß die Frequenz des Ringoszillators sich mit dem Leistungs- oder Stromversorgungssignal der Gatter ändert. Das kompensierte Leistungssignal wird auch für die anderen Gatter auf den Schaltungsplättchen benutzt, so daß die Signalverzögerung aller miteinander verbundenen Schaltungsplättchen angepaßt werden kann.
- Die Erfindung ist auf das Problem gerichtet, eine integrierte Schaltung und ein Verfahren zu schaffen, die die präzise Erzeugung von Signalen für Prüfgeräte, insbesondere integrierte Schaltungen ermöglichen. Die Lösung des Problems ist in den Ansprüchen 1 und 4 gekennzeichnet.
- Entsprechend der Erfindung umfaßt die integrierte Schaltung einen Ringoszillator, der ein Eichsignal erzeugt, das mit einer ersten Frequenz schwingt, und eine Stromversorgungsquelle umfaßt, die ein kompensiertes Leistungssignal an den Ringoszillator liefert. Die erste Frequenz ist abhängig von der Spannung des kompensierten Leistungssignals variabel. Wenn diese Spannung ansteigt, nimmt die erste Frequenz zu. Wenn die Spannung des kompensierten Leistungssignals abnimmt, verringert sich die erste Frequenz. Ein Phasendetektor stellt die relative Phase des Eichsignals und des externen Bezugsignals fest. Wenn die Phase des Eichsignals mit Bezug auf die Phase des externen Bezugsignals verzögert ist, so steigt die Spannung des kompensierten Leistungssignals an. Wenn die Phase des externen Bezugsignals mit Bezug auf die Phase des Eichsignals verzögert ist, nimmt die Spannung des kompensierten Leistungssignals ab. Das kompensierte Leistungssignal wird außerdem zur Kompensation kritischer Datenwege in der integrierten Schaltung benutzt, bei denen eine präzise Zeitsteuerung erforderlich ist. In einer Prüfeinrichtung wird dem Ringoszillator eine Vielzahl von Signalen unter Verwendung einer Reihe von Anzapfungen entnommen. Diese Signale schwingen mit der gleichen Frequenz wie das Eichsignal, sind aber in der Phase verschoben. Die Signale werden mit Multiplexern ausgewählt und bilden ein Prüfsignal, das an das zu prüfende Gerät (DUT) angelegt wird.
- Um weitere Ausbreitungsverzögerungen sowohl innerhalb als auch außerhalb der integrierten Schaltung transparent zu machen, können verzögerte Eichsignale erzeugt werden. Beispielsweise kann ein erstes verzögertes Eichsignal dadurch erzeugt werden, daß das Eichsignal um einen Betrag verzögert wird, der gleich der Ausbreitungsverzögerung über die Multiplexer und weitere Schaltungen in der integrierten Schaltung ist. Ein zweites verzögertes Eichsignal kann dadurch erzeugt werden, daß das erste verzögerte Eichsignal um einen Betrag verzögert wird, der gleich dem Betrag des Phasenversatzes ist, welcher sich aus der Ausbreitungsverzögerung des Prüfsignals ergibt, das von der integrierten Schaltung zu dem zu prüfenden Gerät (DUT) und zurück vom DUT zur integrierten Schaltung läuft (Umlaufverzögerung).
- Nachfolgend wird ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel beschrieben, das in den Figuren der Zeichnung dargestellt ist.
- Fig. 1 zeigt das Blockschaltbild eines integrierten Schaltungsprüfers nach dem bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung.
- Fig. 2 zeigt das Blockschaltbild einer Integrierten Schaltung, die zur Abgabe von Signalen an ein geprüftes Gerät durch den integrierten Schaltungsprüfer nach Fig. 1 entsprechend dem Ausführungsbeispiel der Erfindung benutzt wird.
- Fig. 3 zeigt das Blockschaltbild einer phasenstarren Schleife in der integrierten Schaltung nach Fig. 1 entsprechend dem bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung.
- Fig. 4 zeigt das Blockschaltbild verschiedener Datenwege in der integrierten Schaltung, die zur Erzeugung einer kompensierten Verzögerung entsprechend dem Ausführungsbeispiel der Erfindung benutzt werden.
- Fig. 5 zeigt Aufbaueinzelheiten des Ringoszillators nach Fig. 3.
- In Fig. 1 ist eine integrierte Schaltungsprüfeinrichtung dargestellt. Ein zu prüfendes Bauteil (DUT) 119 ist mit einem Taktgeber 118, einer Folgeschaltungseinrichtung 117, einer oder mehreren Präzisionsmeßeinheiten hoher Güte (PMU) 116, einer oder mehreren doppelten Stromversorgungseinheiten (DPS) 115 und bis zu 19 sechzehnkanaligen Eingangs-/Ausgangskarten (16 CH I/O) 114 verbunden. Der Taktgeber 118, die Folgeschaltungseinrichtung 117, die PMU 116, die DPS 115 und die 16 CH I/O Karten 114 sind jeweils an einen Bus 113 angeschaltet. Dieser ist ein modifizierter 32-Bit-VME-Bus.
- Eine Schnittstelleneinrichtung 128 für einen direkten Speicherzugriff (DMA) dient als Schnittstelle zwischen dem Bus 113 und einem Bus 100. Der Bus 100 ist ein A32/D32-VME-Bus. An den Bus 100 können verschiedene Bauteile angeschaltet werden, die die erforderliche Verarbeitungsleistung bereitstellen und eine Schnittstelle zu der integrierten Schaltungsprüfeinrichtung darstellen. Beispielsweise stellt in Fig. 1 eine zentrale Verarbeitungseinheit (CPU) 101 eine RS-232- Schnittstelle 108 bereit, eine CPU-Schnittstelle 102 bildet eine SCSI/ETHERNET-Schnittstelle 109, eine CPU-Schnittstelle 103 ergibt eine Schnittstelle 110 für eine Tastatur und einen Monitor und Speichererweiterungen 104, 105 und 106 sowie eine IEEE-488-Schnittstelle 107, die an den Bus 100 angeschaltet sind, stellen Verbindungen 111 zu peripheren Bauteilen her.
- Jede Karte 114 enthält acht integrierte CMOS-Schaltungen. Diese besitzen je zwei Kanäle, die je Signale für einen Signalstift des DUT 119 erzeugen.
- Fig. 2 zeigt das Blockschaltbild einer integrierten Schaltung 200, die eine der integrierten CMOS-Schaltungen als Teil einer Karte 114 ist. Eine Chip-Steuerung 202 ist der Hauptzeitgenerator für die integrierte Schaltung 200. Die Chip-Steuerung 202 dient als Schnittstelle zum Bus 113 über Leitungen 211, als Schnittstelle zum Speicher auf der Karte 114 über Leitungen 212 und als Schnittstelle zur Folgeschaltungseinrichtung 117 über Leitungen 213.
- Eine Zeitbasis 205 erzeugt Zeitsignale für die integrierte Schaltung 200. Im einzelnen erzeugt die Zeitbasis 205 ein Hochfrequenzsignal 220, dessen Phase mit einem externen Bezugsoszillatorsignal 306 verrastet ist. Die Zeitbasis 205 erzeugt außerdem eine Hochfrequenzsignal 221, das so verzögert ist, daß es kurz vor dem Signal 220 auftritt. Schließlich erzeugt die Zeitbasis 205 einunddreißig Impulsgenerator-Ausgangssignale 218 für jeden Zyklus des Signals 220.
- Der Kanal 0 enthält mehrere Takt- und Zykluserweiterungsregister 201, sechs Zeitsteuerungs-Flankengeneratoren 204, eine analoge Verzögerungs- und Steuerungs-Neusynchronisierungseinheit 210 und einen Formatierter 209.
- Die Takt- und Zykluserweiterungsregister 201 empfangen Eingangssignale von der Chip-Steuerung 202 einschließlich eines Taktsignals auf der Grundlage des Signals 220. Aus dem Taktsignal von der Chip- Steuerung 202 erzeugen die Takt- und Zykluserweiterungsregister 201 Mehrfachtaktsignale 215 und ein Fenster-Millisignal 214.
- Die sechs Zeitsteuerungs-Flankengeneratoren 204 nehmen das Fenster-Millisignal 214, die Mehrfachtaktsignale 215 von den Takt und Zykluserweiterungsregistern 201 sowie Signale 218 von der Zeitbasis 205 auf. Die Zeitsteuerungs-Flankengeneratoren 204 sind in der Lage, das Millisignal 214 mit einem der einunddreißig multiplexierten Impulsgenerator-Ausgangssignale 218 zu kombinieren und liefern unter Verwendung von 100-Picosekunden-Anzapfungen zusätzliche Verzögerungen hoher Auflösung. Darüber hinaus verarbeiten sie Signale bevor sie die Signale 224 zum Formatierer 208 weitergeben.
- Der Formatierer 208 formatiert Daten für eine Weiterleitung über Leitungen 226 zu einem Stift des DUT 119. Außerdem nimmt der Formatierer über Leitungen 226 Daten vom DUT 119 auf.
- Auf entsprechende Weise nehmen die Takt- und Zykluserweiterungsregister 203 Eingangssignale von der Chip-Steuerung 202 einschließlich eines Taktsignals auf der Grundlage des Signals 220 auf. Aus den Taktsignalen von der Chip-Steuerung 202 erzeugen die Takt- und Zykluserweiterungsregister 203 Mehrfachtaktsignale 216 und ein Fenster- Millisignal 217.
- Die sechs Zeitsteuerungs-Flankengeneratoren 206 nehmen das Fenster-Millisignal 217, die Mehrfachtaktsignale 216 von den Takt- und Zykluserweiterungsregistern 203 und das Signal 218 von der Zeitbasis 205 auf. Die Zeitsteuerungs-Flankengeneratoren 206 sind in der Lage, das Milli- Signal 217 mit einem der einunddreißig multiplexierten Impulsgenerator- Ausgangssignale 218 zu kombinieren und liefern unter Verwendung von 100- Picosekunde-Anzapfungen zusätzliche Verzögerungen hoher Auflösung. Außerdem verarbeiten sie Signale, bevor sie die Signale 225 zum Formatierer 209 weiterleiten.
- Der Formatierer 209 formatiert Daten für eine Übertragung über Leitungen 227 zu einem Stift des DUT 119. Außerdem nimmt der Formatierer 209 über Leitungen 227 Daten vom DUT 119 auf.
- Die analoge Verzögerungs- und Steuer-Neusynchronisierungseinheiten 207 und 210 stellen eine Verzögerung für Datenwege außerhalb der integrierten Schaltung 200 bereit, um Verzögerungen zu kompensieren, die durch die Übertragung von Signalen von der integrierten Schaltung 200 zum DUT 119 und zurück vom DUT 119 zur integrierten Schaltung 200 verursacht werden.
- Die analoge Verzögerungs- und Steuer-Neusynchronisierungseinheit 207 erzeugt ein Signal 222. Dieses Signal hat die gleiche Frequenz wie das Signal 306, ist aber unter Programmsteuerung durch das Signal 208 in der Phase um einen Betrag versetzt, der durch die Umlaufverzögerung für ein Signal von der integrierten Schaltung 200 zum DUT 119 verursacht wird. Anders gesagt, die Zeit, die ein Signal benötigt, um von der integrierten Schaltung 200 zum DUT 119 und zurück zu laufen, beträgt mehrere Zyklen des Signals 306 zuzüglich einem analogen Rest. Das Signal 222 ist gegen das Signal 218 um diesen analogen Rest versetzt.
- Die analoge Verzögerungs- und Steuer-Neusynchronisierungseinheit 210 erzeugt ein Signal 223. Dieses Signal ist so verzögert, daß es kurz vor dem Signal 222 auftritt. Das Signal 223 wird benutzt, um alle internen Antwort-Steuerdaten aus dem Speicher, die größeren Zeitsteuerungs- Untersysteme und die externen Format-Folgeeinrichtungen früher als das Signal 218 erscheinen zu lassen. Der Grund für die in Richtung Früh erfolgende Daten-Phasenverschiebung der Format-Folgeeinrichtungen besteht darin, daß das erzeugte Signal bei der Prüfung für den Prüfer so erscheint, als ob es in der Phase mit dem Wert Null gegen die Signal 218 und 306 verschoben ist.
- Fig. 3 zeigt das Blockschaltbild der Zeitbasis 205. Diese erzeugt das Signal 220 und verrastet es in der Phase gegen das externe Bezugsoszillatorsignal 306. Dieses Signal 306 wird für alle integrierten Schaltungen in den 16-CH-I/O-Karten 114 benutzt. Auf diese Weise können alle integrierten Schaltungen auf den Karten 114 synchronisiert werden und die Frequenz der zum DUT 119 übertragenen Prüfsignale kann genau gesteuert werden.
- Ein Teiler 1:16 301 nimmt das externe Bezugsoszillatorsignal 306 auf. Er erzeugt das Signal 318 mit einer Frequenz, die genau ein Sechzehntel der Frequenz des externen Bezugsoszillatorsignals 306 ist.
- Ein Phasen/Frequenzdetektor 302 vom Typ 4 nimmt ein Signal 318 auf und arbeitet als Teil einer phasenstarren Schleife. Eine solche phasenstarre Schleife ist eine besondere Form eines geschlossenen Regelkreises, der eine genaue Frequenz- und Phasenanpassung von zwei Signalen ermöglicht. Die phasenstarre Schleife der Zeitbasis 205 enthält ein Bezugssignal - das Signal 318 -, einen Fehler- oder Differenzdetektor - den Phasen/Frequenzdetektor 302 - und einen steuerbaren Generator, der auf das Fehler- oder Differenzsignal anspricht. Eine Konstantstrom-INC/DEC- Ladungspumpe 303 arbeitet als steuerbarer Generator für die phasenstarre Schleife. Der Teiler 1:16 301, der Phasen/Frequenzdetektor 302 und die Ladungspumpe 303 bilden einen Komparator 401, der in Fig. 4 dargestellt ist.
- Der Phasen/Frequenzdetektor 302 erzeugt ein Inkrementsignal 307 und ein Dekrementsignal 308. Die Konstantstrom-INC/DEC-Ladungspumpe 303 erhöht oder erniedrigt auf der Basis dieser Signale die Spannung eines kompensierten Stromversorgungssignals 315. Die Ladungspumpe 303 nimmt außerdem ein analoges Eingangsstromversorgungssignal 310 und ein analoges Erdsignal 311 auf, die ebenfalls zur Erzeugung des kompensierten Stromversorgungssignals 315 benutzt werden.
- Das kompensierte Stromversorgungssignal 315 dient als Stromversorgungsquelle für einen Ringoszillator 304. Dieser weist entsprechend der Darstellung in Fig. 5 eine Schleife mit einunddreißig logischen Invertergattern 50 auf. Jedem dieser Gatter wird das kompensierte Stromversorgungssignal 315 zugeführt. Wenn dessen Spannung steigt, erhöht sich die Geschwindigkeit jedes Invertergatters 50 und die Schwingfrequenz des Ringoszillators 304 wird erhöht. Wenn die Spannung des kompensierten Stromversorgungssignals 315 abnimmt, verringert sich die Geschwindigkeit jedes Invertergatters 50 und die Schwingfrequenz des Ringoszillators 304 nimmt ab.
- Das Ausgangssignal jedes logischen Invertergatters wird entsprechend der Darstellung in Fig. 5 durch Anzapfungen 51 abgenommen und pegelverschoben, um einunddreißig Impulsgenerator-Ausgangssignale 218 zu erzeugen. Der Ringoszillator 304 liefert außerdem ein Steuersignal 316, das von einer Nano- und Pico-Verzögerungsschaltung 305 mit Standardzellen zur Erzeugung des Signals 220 und des Rückkopplungssignals 317 benutzt wird. Das Signal 220 ist mit dem externen Bezugsoszillatorsignal 306 phasenverrastet. Das Rückkopplungssignal 317 hat die gleiche Frequenz wie das Signal 220. Es ist jedoch gegen das Signal 220 versetzt und wird als Rückkopplungssignal für den Phasen/Frequenzdetektor 302 benutzt. Ein Teilerabschnitt 1:16 des Phasen/Frequenzdetektors 302 verringert die Frequenz des Rückkopplungssignals 317 und erzeugt ein Signal, das an das Signal 318 angepaßt werden kann.
- Wenn die vom Phasen/Frequenzdetektor 302 empfangenen Signale außer Phase sind, veranlaßt der Detektor 302 über das Inkrementsignal 307 oder das Dekrementsignal 308 die Konstantstrom-INC/DEC-Ladungspumpe 303, die Spannung des kompensierten Stromversorgungssignals 315 zu erhöhen oder zu erniedrigen, wodurch die Schwingfrequenz des Ringoszillators 304 vergrößert oder verkleinert wird. Dadurch wiederum wird die Frequenz/Phase des Rückkopplungssignals 317 verändert, wodurch die vom Phasen/Frequenzdetektor 302 empfangenen Signale zurück in Phasenübereinstimmung gebracht werden.
- Die heutigen Herstellungsverfahren zur Erzeugung verschiedener Typen integrierter Schaltungen, beispielsweise die zur Herstellung von integrierten CMOS-Schaltungen verwendeten Verfahren führen zu einer großen Spanne der Betriebsgeschwindigkeit der integrierten Schaltungen. Innerhalb jeder einzelnen integrierten Schaltung ist jedoch die Güte der Gatter ziemlich einheitlich.
- Die Gatter im Ringoszillator 304 müssen mit einer bekannten Geschwindigkeit arbeiten, damit das Signal 220 mit dem externen Bezugssignal 306 phasenverrastet ist. Die Spannung des kompensierten Stromversorgungssignals 315, die bewirkt, daß das Signal 220 mit dem externen Bezugssignal 306 phasenverrastet ist, führt dazu, daß die Gatter im Ringoszillator 304 mit dieser bekannten Geschwindigkeit arbeiten. Da die Geschwindigkeit der Gatter ziemlich einheitlich für die integrierte Schaltung 200 ist, arbeiten weitere Gatter mit der oder dicht bei der bekannten Geschwindigkeit, wenn sie mit dem kompensierten Stromversorgungssignal 315 beaufschlagt werden. Daher kann das kompensierte Stromversorgungssignal 315 zur Versorgung weiterer Gatter auf kritischen Wegen in der integrierten Schaltung 200 benutzt werden, das heißt, von Gattern auf Datenwegen, für die die Ausbreitungsverzögerung eines Signals über die Gatter des Weges kritisch ist.
- Fig. 4 zeigt, wie Signale in der integrierten Schaltung 200 die Verzögerung kompensieren. Jedes von einunddreißig Impulsgenerator- Ausgangssignalen 218, die für eine Übertragung zum DUT 119 über Leitungen 226 ausgewählt werden, durchläuft in typischer Weise einen Nano-Multiplexer 403, einen Pico-Multiplexer 404 und Standard-Zellengatter 405, die sich in den sechs Flankengeneratoren 204 und im Formatierer 208 befinden. Jeder Nano-Multiplexer 403, Pico-Multiplexer 404 und jedes Standard-Zellengatter 405 bewirkt eine Verzögerung. Damit das Signal 220 in Phase mit Signalen ist, die zum DUT 119 gegeben werden, wird das Signal 316 nach Verlassen des Ringoszillators 304 über eine äquivalente Verzögerung 406 der Nano- Multiplexer 403, eine äquivalente Verzögerung 407 der Pico-Multiplexer 404 und eine äquivalente Verzögerung 408 der Standard-Zellengatter 405 sowie einen Puffer 410 geführt, der die Übertragungsverzögerung von der integrierten Schaltung 200 zum DUT 119 berücksichtigt.
- Entsprechend der Darstellung in Fig. 4 wird das Signal 317 ferner durch eine äquivalente Schaltung 408 verzögert, bevor es zum Komparator 401 zurückgeführt wird. Kompensationsschaltungen 411, 412, 413 und 414 in der analogen Verzögerung 207 werden zur Bereitstellung einer zusätzlichen Verzögerung bei der Erzeugung des Signals verwendet.
- Die Erfindung ist zwar anhand des bevorzugten Ausführungsbeispiels beschrieben worden, die Offenbarung soll jedoch nicht einschränkend sein. Zahlreiche Anderungen sind für den Fachmann nach Lesen der vorstehenden Offenbarung offensichtlich.
Claims (7)
1. Integrierte Schaltung (200) zur Verwendung in einem
Prüfgerät für ein Bauteil (119), wobei die integrierte Schaltung
ein externes Bezugsoszillatorsignal (306) zur Eichung von zu dem
Bauteil (119) zu übertragenden, innerhalb der integrierten
Schaltung erzeugten Signalen, und wobei die integrierte
Schaltung aufweist:
einen Ringoszillator (304) zur Erzeugung eines Eichsignals (316)
einer ersten Frequenz, die an die Frequenz des externen
Bezugsoszillatorsignals (306) anzugleichen ist,
eine Stromversorgungsquelle (303), die ein kompensiertes
Leistungssignal (315) an den Ringoszillator liefert, wobei die
Schwingfrequenz des Eichsignals ansteigt, wenn die Spannung des
kompensierten Leistungssignals (315) erhöht wird, und die
Schwingfrequenz des Eichsignals abnimmt, wenn die Spannung des
kompensierten Leistungssignals erniedrigt wird und wobei die
Spannung des kompensierten Leistungssignals auf ein Steuersignal
(307,308) anspricht,
einen mit der Stromversorgungsquelle gekoppelten Phasendetektor
(302), der als Eingangssignal das Eichsignal (316) und das
Bezugsoszillatorsignal (306,318) aufnimmt und das Steuersignal
(307,308) erzeugt, wobei der Phasendetektor (302) das
Steuersignal so verändert, daß die erste Frequenz mit der
Schwingfrequenz des externen Bezugsoszillatorsignals (306)
übereinstimmt,
gekennzeichnet durch
eine Vielzahl von Anzapfungen (51), die je mit dem
Ringoszillator (304) an einer unterschiedlichen Stelle gekoppelt
sind und den Ringoszillator so anzapfen, daß eine erste Vielzahl
von Signalen (218) erzeugt wird, die gegen das Eichsignal (316)
phasenverschoben sind, und
eine Vielzahl von Muitiplexern (403,404,405), die an die erste
Vielzahl von Signalen angekoppelt sind und ein Prüfsignal
(226,227) zur Übertragung zu dem Bauteil (119) erzeugen.
2. integrierte Schaltung nach Anspruch 1,
die ferner aufweist:
eine erste Verzögerungseinrichtung (305;406,407,408), an die das
Eichsignal (316) zur Erzeugung eines ersten verzögerten
Eichsignals angelegt ist, wobei die Phase des ersten verzogerten
Eichsignals gegen die Phase des Eichsignals um den Betrag der
Übertragungsverzögerung über die Vielzahl von Multiplexern
(403,404,405) versetzt ist.
3. integrierte Schaltung nach Anspruch 2,
die ferner aufweist:
eine zweite Verzögerungseinrichtung (410) an die zur Erzeugung
eines zweiten verzögerten Eichsignals das erste verzögerte
Eichsignal angelegt ist, wobei die Phase des zweiten verzögerten
Eichsignals zusätzlich gegen die Phase des Eichsignals versetzt
ist, um dem Betrag der Übertragungsverzögerung Rechnung zu
tragen, die auftritt, wenn das Prüfsignal von der integrierten
Schaltung (200) zu dem Bauteil (119) ausgesendet und von dem
Bauteil zu der integrierten Schaltung zurückgegeben wird.
4. Verfahren zur Erzeugung geeichter Signale in einer
integrierten Schaltung zum Anlegen an ein Prüfgerät, das ein
Bauteil prüft, mit den folgenden Schritten:
a) Erzeugen eines Oszillatoreichsignals (316) unter Verwendung
einer ersten Vielzahl von invertern (50), die einen
Ringoszillator (304) bilden,
b) Ändern der Spannung eines Leistungssignals (315), das eine
Stromversorgungsleistung an die erste Vielzahl von Invertern
(50) liefert, um die Frequenz des Oszillatoreichsignals (316)
an die Frequenz eines externen Bezugsoszillatorsignals (306)
anzugleichen,
gekennzeichnet durch die Schritte:
c) Anzapfen eines Ausgangs jedes Inverters der ersten Vielzahl
von Invertern (50) zur Erzeugung einer ersten Vielzahl von
Signalen (218) und
d) Multiplexieren der ersten Vielzahl von Signalen mittels einer
Vielzahl von Multiplexern (403,404,405) zur Erzeugung eines
Prüfsignals (226,227) zum Anlegen an das Bauteil.
5. Verfahren nach Anspruch 4,
mit ferner dem Schritt:
e) Erzeugen eines ersten verzögerten Eichsignals durch Verzögern
des Eichsignals (316) um einen Betrag gleich der
Übertragungsverzögerung über die Vielzahl von Multiplexern
(403,404,405).
6. Verfahren nach Anspruch 5
mit ferner dem Schritt:
f) Erzeugen eines zweiten verzögerten Eichsignals (220) durch
Verzögern der Phase des ersten verzögerten Eichsignals um
einen Betrag gleich dem Betrag der Phasenversetzung, die sich
aus der Übertragungsverzögerung des Prüfsignals (226,227)
ergibt, wenn dieses von der integrierten Schaltung (200) zu
dem Bauteil (119) läuft und von dem Bauteil zur integrierten
Schaltung zurückgegeben wird.
7. Verfahren nach Anspruch 4,
bei dem der Schritt b) die folgenden untergeordneten Schritte
aufweist:
b1) Aufteilen des externen Bezugsoszillatorsignals (306) und
des Oszillatoreichsignals (316) zur Erzeugung eines
geteilten externen Bezugsoszillatorsignals (318) und eines
geteilten Oszillatoreichsignals,
b2) Erhöhen der Spannung des Leistungssignals (315), wenn das
geteilte Oszillatoreichsignal in seiner Phase relativ zu dem
geteilten externen Bezugsoszillatorsignal (318) verzögert
wird, und
b3) Erniedrigen der Spannung des Leistungssignals (315), wenn
das geteilte externe Bezugsoszillatorsignal in seiner Phase
relativ zu dem geteilten Oszillatoreichsignal verzögert ist.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US07303927 US4902986B1 (en) | 1989-01-30 | 1989-01-30 | Phased locked loop to provide precise frequency and phase tracking of two signals |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE69002170D1 DE69002170D1 (de) | 1993-08-19 |
DE69002170T2 true DE69002170T2 (de) | 1994-02-17 |
Family
ID=23174298
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE90101072T Expired - Fee Related DE69002170T2 (de) | 1989-01-30 | 1990-01-19 | Phasenregelschleife mit genauem Frequenz- und Phasenabgleich zweier Signale. |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4902986B1 (de) |
EP (1) | EP0380979B1 (de) |
JP (1) | JP2976206B2 (de) |
DE (1) | DE69002170T2 (de) |
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- 1989-01-30 US US07303927 patent/US4902986B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-12-26 JP JP1338052A patent/JP2976206B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1990
- 1990-01-19 DE DE90101072T patent/DE69002170T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-01-19 EP EP90101072A patent/EP0380979B1/de not_active Expired - Lifetime
Also Published As
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---|---|
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DE69002170D1 (de) | 1993-08-19 |
US4902986B1 (en) | 1998-09-01 |
JPH02251779A (ja) | 1990-10-09 |
EP0380979A3 (de) | 1991-10-09 |
US4902986A (en) | 1990-02-20 |
EP0380979A2 (de) | 1990-08-08 |
EP0380979B1 (de) | 1993-07-14 |
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8364 | No opposition during term of opposition | ||
8328 | Change in the person/name/address of the agent |
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|
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
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|
8328 | Change in the person/name/address of the agent |
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|
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |