DE68916521T2 - Verfahren zur Herstellung eines Sinterkörpers aus Aluminiumnitrid. - Google Patents
Verfahren zur Herstellung eines Sinterkörpers aus Aluminiumnitrid.Info
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Description
- Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Sinterkörpers aus Aluminiumnitrid und insbesondere ein Verfahren zur Herstellung eines Sinterkörpers aus Aluminiumnitrid mit einer hohen Dichte und zufriedenstellender Wärmeleitfähigkeit durch Sintern bei einer Temperatur, die niedriger ist als die in den üblichen Verfahren verwendete.
- Aluminiumnitrid zog die Aufmerksamkeit als Verpackungsmaterial oder als ein Substratmaterial auf sich, das bedingt durch seine hohe Wärmeleitfähigkeit eine gute Wärmeabstrahlung zeigt, sowie ausgezeichnete elektrische Eigenschaften, wie Isolierwert, Durchschlagsfestigkeit und Dielektrizitätskonstante und ausgezeichnete mechanische Eigenschaften, wie Festigkeit aufweist.
- Die Herstellung eines Sinterkörpers aus Aluminiumnitrid mit ausgezeichneter Wärmeleitfähigkeit erfordert das Formen eines Aluminiumnitridpulvers, gefolgt von Dichtsintern.
- Da Aluminiumnitrid allein unter Atmosphärendruck kaum sinterbar ist, wurde das drucklose Sintern von Aluminiumnitrid üblicherweise mit Hilfe eines Oxids, wie CaO und Y&sub2;O&sub3; durchgeführt, wobei man Nutzen aus der Reaktion zog, die zwischen einem solchen Sinterhilfsmittel und dem auf der Aluminiumnitridaußenschicht vorhandenem Al&sub2;O&sub3; abläuft, um Dichte zu erhalten.
- JP-B-47-18655 ( der hierbei verwendete Ausdruck "JP-B" bedeutet eine "geprüfte veröffentlichte japanische Patentanmeldung") zum Beispiel, offenbart den Zusatz von Y&sub2;O&sub3; um einen dichtgesinterten Körper zu erhalten, und JP-B-58-49510 schlägt den Zusatz von CaO, BaO, SrO, etc. vor, um einen dichten Sinterkörper aus Aluminiumnitrid mit einer relativen Dichte von 98,5% oder mehr zu erhalten.
- Sofern ein dichter Sinterkörper mit einer hohen Wärmeleitfähigkeit durch druckloses Sintern unter Zusatz von Y&sub2;O&sub3; erhalten werden soll, ist dazu eine hohe Temperatur von 1800ºC oder mehr erforderlich. Bei Zusatz von CaO wird druckloses Sintern ebenfalls üblicherweise bei hohen Temperaturen von 1700ºC oder mehr durchgeführt.
- Aluminiumoxid, das zur Zeit als ein IC Verpackungsmaterial oder ein Substratmaterial verwendet wird, wird üblicherweise bei einer Temperatur im Bereich von 1500 bis 1600ºC gesintert, um Dichte zu erhalten. Verglichen mit dieser Temperatur ist die Sintertemperatur, die zum Erhalt eines Sinterkörpers aus Aluminiumnitrid mit der Hilfe der vorstehend beschriebenen Sinterhilfsmittel erforderlich ist, beträchtlich höher und dies hat die Verringerung der Produktionskosten eines Sinterkörpers aus Aluminiumnitrid verhindert.
- In diesem Zusammenhang wurde vorgeschlagen, ein Oxid oder Fluorid eines Seltenen Erdmetalls und ein Oxid oder Fluorid eines Erdalkalimetalls zuzusetzen, so daß die Verdichtung bei 1600ºC ermöglicht wird, wie es in JP-A-61-209959 ( der hierbei verwendete Ausdruck "JP-A" bedeutet eine "ungeprüfte veröffentlichte japanische Patentanmeldung " ) offenbart wird. Die durch dieses Verfahren erhaltenen Wärmeleitfähigkeit liegt jedoch höchstens bei etwa 100 W/mk.
- JP-A-63011575 offenbart die Verwendung von Sulphiden und/oder Thiocyanat(en) unter anderem von Kupfer und Calcium. Diese Druckschrift schlägt jedoch nicht ihre gemeinsame Verwendung vor.
- Gemäß der JP-A-63017263 können verbesserte Dichte und Wärmeleitfähigkeit von gesintertem AlN durch Verwendung eines einzelnen ( Erd ) Alkaliverbindung-, Kupfer-, Silber- und/oder Zinksalzes einer organischen Säure erhalten werden. Die gemeinsame Verwendung von Ca-Verbindungen und Cu-Verbindungen ist hierbei nicht offenbart.
- Eine Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren zur Herstellung eines dichten Sinterkörpers aus Aluminiumnitrid mit hoher Wärmeleitfähigkeit, durch Sintern bei einer niedrigeren Temperatur als bei den üblichen Verfahren zur Verfügung zu stellen.
- Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Sinterkörpers aus Aluminiumnitrid, umfassend das Mischen eines Aluminiumnitridpulvers mit ( A) ( a ) einer Calciumverbindung und ( b ) einer Kupferverbindung oder ( B ) ( a ) einer Calciumverbindung, ( b ) einer Kupferverbindung und gegenbenenfalls ( c ) einer Yttriumverbindung, wobei die Menge sowohl der Calcium- als auch der Kupferverbindung von 0,01 bis 3 Gewichtsprozent als CaO oder CuO, bezogen auf Aluminiumnitrid, ist, wobei jede der Calcium- und Kupferverbindungen ausgewählt ist aus Calcium- oder Kupferoxiden, -hydroxiden, -carbonaten, -sulfaten, -nitraten, -acetaten, -oxalaten, -halogeniden, und wobei das molare Verhältnis von ( b )/( a ) als CuO/CaO nicht mehr als 1 ist und die Menge der Yttriumverbindung von 0,1 bis 10 Gewichtsprozent als Y&sub2;O&sub3; ist, bezogen auf das Aluminiumnitrid; das Formen des Gemisches; und das Sintern des geformten Gegenstandes in einer nichtoxidativen Atmosphäre.
- Das Aluminiumnitridpulver, das in der vorliegenden Erfindung verwendet werden kann, ist hinsichtlich seines Herstellungsverfahren nicht besonders eingeschränkt, aber ein feines Pulver von hoher Reinheit wird bevorzugt. Vorzugsweise wird ein Pulver mit einem mittleren Teichendurchmesser von nicht mehr als 4,0 um verwendet. Insbesondere zum Zweck der Verdichtung bei 1600ºC oder niedrigeren Temperaturen ist es, wenn es möglich ist, wünschenswert, ein feines Pulver mit einem durchschnittlichen Teilchendurchmesser von nicht mehr als 2,0 um zu verwenden.
- Yttriumverbindungen, die als Sinterhilfsmittel verwendet werden können, beinhalten Oxide, Nitride, Oxalate und Halogenide des Yttriums.
- Verbundverbindungen, die mindestens zwei Elemente, ausgewählt aus Calcium, Kupfer und Yttrium, oder Verbundverbindungen, die diese Elemente und Aluminium enthalten, können ebenfalls als Sinterhilfsmittel verwendet werden.
- Spezielle Beispiel geeigneter Sinterhilfsmittel sind CaO, Ca(OH)&sub2;, CaCO&sub3;, CaSO&sub4;*2H&sub2;O, Ca(NO&sub3;)&sub2;*4H&sub2;O, Ca(CH&sub3;COO)&sub2;, Ca(COO)&sub2;*H&sub2;O, CaF&sub2;, CaS, CuO, Cu&sub2;O, Cu(OH)&sub2;, CuCO&sub3;*Cu(OH)&sub2;*H&sub2;O, CuSO&sub4;, Cu(NO&sub3;)&sub2;*3H&sub2;O, Cu(CH&sub3;COO)&sub2;*H&sub2;O, Cu(COO)&sub2;, CuF&sub2;, CuS, Y&sub2;O&sub3;, Y(NO&sub3;)&sub3;*9H&sub2;O, Y(COO)&sub3;*H&sub2;O, YF&sub3;*0,5H&sub2;O, CuO*2CaO, Ca&sub2;AlO&sub4; und CaYAlO&sub4;.
- In einer Ausführungsform stellt die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines Sinterkörpers aus Aluminiumnitrid bereit, umfassend das Mischen eines Aluminiumnitridpulvers mit ( a ) einer Calciumverbindung, ( b ) einer Kupferverbindung und ( c ) einer Yttriumverbindung, wobei die Menge sowohl der Calcium- als auch der Kupferverbindung von 0,01 bis 3 Gewichtsprozent als CaO oder CuO, bezogen auf Aluminiumnitrid, ist, wobei jede der Calcium- und Kupferverbindungen ausgewählt ist aus Calcium- oder Kupferoxiden, -hydroxiden, -carbonaten, -sulfaten, -nitraten, -acetaten, -oxalaten, -halogeniden und wobei das molare Verhältnis von ( b )/( a ) als CuO/CaO nicht mehr als 1 ist und die Menge an Yttriumverbindung von 0,1 bis 10 Gewichtsprozent als Y&sub2;O&sub3; ist, bezogen auf Aluminiumnitrid; das Formen des Gemisches; und Sintern des geformten Gegenstandes in einer nichtoxidativen Atmosphäre.
- Nach der vorliegenden Erfindung kann ein Sinterkörper aus Aluminiumnitrid mit einer Dichte von 3,10 g/cm³ oder höher und einer hohen Wärmeleitfähigkeit selbst durch Sintern bei einer niedrigeren Temperatur als bei den üblichen Verfahren erhalten werden.
- Der Grund dafür, daß der Sinterkörper aus Aluminiumnitrid der vorliegenden Erfindung selbst bei niedrigen Temperaturen verdichtet wird, so daß er eine hohe Wärmeleitfähigkeit zeigt, ist bis jetzt noch nicht geklärt, die folgende Annahme kann aber gemacht werden. Es wird angenommen, daß die Verdichtung von Aluminiumnitrid bei druckiosem Sintern über eine flüssige Phase erfolgt. Daher scheint die Zugabe einer Substanz, die fähig ist, in einem niedrigeren Temperaturbereich eine flüssige Phase zu bilden, als Sinterhilfsmittel, die Temperatur, bei der Verdichtung von Aluminiumnitrid beginnt, herabzusetzen.
- Es wird angenommen, daß Al&sub2;O&sub3;, das sich auf der Oberfläche des Aluminiumnitridpulvers befindet, in der von dem Sinterhilfsmittel gebildeten flüssigen Phase gelöst wird, wodurch selbst bei niedriger Temperatur eine Verdichtung eintritt.
- Wenn ein Aluminiumnitridpulver mit einer Calciumverbindung und einer Kupferverbindung und weiterhin mit einer Yttriumverbindung gemischt wird, scheint die Reaktion mit Al&sub2;O&sub3; in der oxidierten Außenschicht des Aluminiumnitridpulvers glatter unter Bildung einer flüssigen Phase eines Ca-Cu-Y-Al-O-Systems fortzuschreiten, von der ausgehend eine Verdichtung bei einer niedrigeren Temperatur beginnt.
- Die zuzusetzenden Sinterhilfsmittel weisen bevorzugt eine Teilchengröße so fein wie möglich auf. Insbesondere wenn eine Verbindung verwendet wird, die in einem Lösungsmittel, das zum Mischen mit einem Aluminiumnitridpulver verwendet wird, unlöslich oder nur mäßig löslich ist, ist es im allgemeinen bevorzugt, feine Teilchen mit einem mittleren Teilchendurchmesser von nicht größer als 5,0 um zu verwenden.
- Die Calcium- und Kupferverbindung werden bevorzugt jeweils in einer Menge von 0,01 bis 3 Gewichtsprozent als CaO oder CuO, bezogen auf Aluminiumnitridpulver, in einem molarem Verhältnis als CuO/CaO von nicht mehr als 1, zugesetzt. Die Yttriumverbindung wird in einer Menge von 0,1 bis 10 Gewichtsprozent als Y&sub2;O&sub3;, bezogen auf Aluminiumnitridpulver, zugesetzt.
- Sofern sich die Menge eines Sinterhilfsmittels außerhalb des vorstehend erwähnten Bereichs bewegt, ist es schwierig einen dichten Sinterkörper durch druckloses Sintern zu erhalten. Sofern irgendein dichter Sinterkörper erhalten würde, könnte keine ausreichend hohe Wärmeleitfähigkeit erreicht werden.
- Eine bevorzugt zugesetzte Menge sowohl der Calciumverbindung als auch der Kupferverbindung bewegt sich von 0,05 bis 2 Gewichtsprozent als CaO oder CuO, bezogen auf Aluminiumnitrid, mit einem molaren Verhältnis als CuO/CaO von nicht mehr als 1. Eine bevorzugt zugesetzte Menge der Yttriumverbindung bewegt sich von 0,5 bis 5 Gewichtsprozent als Y&sub2;O&sub3;, bezogen auf Aluminiumnitrid.
- Das Mischen des Aluminiumnitridpulvers mit ( A ) der Calciumverbindung und der Kupferverbindung oder mit ( B ) der Calciumverbindung, der Kupfer- und der Yttriumverbindung kann durch Trockenmischen oder Naßmischen unter Verwendung eines nichtwäßrigen Lösungsmittels, wie eines Alkohols, durchgeführt werden. Üblicherweise wird Naßmischen unter Verwendung eines nichtwäßrigen Lösungsmittels bevorzugt.
- Sofern das Mischen durch Naßmischen durchgeführt wird, wird üblicherweise ein bekanntes Bindemittel, wie Polyvinylbutyral oder Polyvinylalkohol und ein Polyacrylsäureester zugesetzt, um den nachfolgenden Formungsschritt zu erleichtern.
- Zusätzlich zu dem Bindemittel werden üblicherweise verschiedene Zusatzstoffe, wie Dispergiermittel, Weichmacher und Netzmittel zugesetzt. Die Art und Mengen dieser Zusatzstoffe werden zwechmäßigerweise abhängig von dem verwendeten Formverfahren ausgewählt.
- Mischgeräte beinhalten üblicherweise verwendendete Geräte, wie eine Kugelmühle und verschiedene Kneter. Falls erwünscht, wird das entstehende Gemisch entsprechend dem Formverfahren getrocknet und granuliert oder zu einem Schlamm oder einer Aufschlämmung u.s.w. formuliert.
- Die Formverfahren beinhalten Trockenverfahren, in denen zum Beispiel hydraulisches Pressen oder ein kaltes isostatisches Pressen angewendet wird, und Naßverfahren, zum Beispiel ein Rakelverfahren und ein Extrusionsverfahren.
- Das Verfahren der vorliegenden Erfindung kann auch auf heißes Pressen, bei dem Formen und Sintern gleichzeitig ausgeführt werden, angewandt werden.
- Der entstandene geformte Gegenstand wird dann in einen als Box bezeichneten Behälter überführt, der zum Beispiel aus Graphit, Bornitrid, Aluminiumnitrid oder Aluminiumoxid besteht. Sofern das Sintern bei hohen Temperaturen von 1700ºC oder höher durchgeführt wird, wird eine Box aus Graphit, Bornitrid oder Aluminiumnitrid bevorzugt. Das Sintern kann auch in einem sogenannten Pulverbettverfahren durchgeführt werden, bei dem der geformte Gegenstand in ein Pulver, das hauptsächlich aus Aluminiumnitrid besteht, eingebettet und gesintert wird.
- Damit das Aluminiumnitrid während des Sinterns vor Oxidation geschützt ist, ist es notwendig, das Sintern in einer nichtoxidativen Atmosphäre durchzuführen. Die nichtoxidative Atmosphäre beinhaltet Stickstoff, Argon, ein Gasgemisch aus Stickstoff und Wasserstoff und ein Gasgemisch aus Stickstoff und Argon, wobei eine Stickstoffatmosphäre im Hinblick auf die anfallenden Herstellungskosten und Leichtigkeit der Handhabung der Apparatur besonders bevorzugt ist.
- Die Sintertemperatur wird aus einem Bereich von 1500 bis 2000ºC ausgewählt, liegt aber in der Praxis bevorzugt von 1550 bis 1800ºC. Die Geschwindigkeit der Temperaturerhöhung ist nicht besonders begrenzt und wird üblicherweise von 1 bis 5ºC/min ausgewählt. Die Retentionszeit bei der Sintertemperatur wird aus einem Bereich von 2 bis 20 Stunden gewählt, so daß das entstandene Sinterprodukt aus Aluminiumnitrid eine Dichte von 3,10 g/cm³ oder mehr aufweisen kann. Eine bevorzugte Retentionszeit ist von 2 bis 8 Stunden.
- Der entstandene Sinterkörper aus Aluminiumnitrid weist bevorzugt eine Dichte von 3,10 g/cm³ oder mehr auf. Selbst wenn die Dichte des Sinterkörpers weniger als 3,10 g/cm³ beträgt, sieht der Sinterkörper scheinbar dicht aus, enthält jedoch viele Hohlräume und zeigt keine hohe Wärmeleitfähigkeit.
- Im folgenden wird die vorliegende Erfindung in mehr Einzelheiten an Hand der Beispiele, in denen sich die Prozentangaben auf das Gewicht beziehen, erläutert.
- Ein 250 ml Polyethylen-Topf wurde mit 19,66 g eines Aluminiumnitridpulvers ( AlN ), das durch reduktive Nitrierung von Aiuminiumoxid erhalten wurde ( Sauerstoffgehalt: 1,3%; Eisengehalt: 10 ppm; Siliziumgehalt: 60 ppm; Titangehalt: 16 ppm; mittlerer Teilchendurchmesser: 1,4 um ), 0,357 g Calciumcarbonat ( CaCO&sub3; ) ( " Hakuenka CCR ", hergestellt von Shiraishi Calcium Co., Ltd. ) und 0,14 g Kupfer(II)oxid ( CuO ) ( GR Qualität, hergestellt von Nakarai Chemical Co., Ltd. ) und 25 g n-Butanol beschickt. 4,0 g eines Acrylbindemittels ( " CB-1 ", hergestellt von Sanyo Chemical Industries, Ltd. ) und 1,0 g eines Dispergiermittels ( " Seramo D-18 ", hergestellt von Dai-ichi Kogyo Yakuhin Co., Ltd. ) wurden zugesetzt. Das Gemisch wurde 4 Stunden in einer Kugelmühle unter Verwendung von nylonüberzogenen Eisenkugeln mit einem Durchmesser von 15 mm bei einer Umdrehungsgeschwindigkeit von 60 Upm naßgemischt.
- Die entstandene Aufschlämmung wurde getrocknet und in einem Achatmörser zur Herstellung eines Sinterpulvers geringfügig gemahlen.
- Das Sinterpulver wurde in eine Form gegeben, zunächst unter einem Druck von 300 kg/cm² hydraulisch gepreßt und dann unter einem Druck von 1500 kg/cm² kalt isostatisch gepreßt, wobei ein geformter Gegenstand mit einem Durchmesser von 13 mm und einer Dicke von 10 mm erhalten wurde.
- Der geformte Gegenstand wurde in einen Graphitbehälter gegeben, in einem gemischten Pulver aus Aluminiumnitrid und Bornitrid eingebettet und drucklos 3 Stunden bei einer Temperatur von 1550ºC, 1600ºC, 1700ºC oder 1800ºC in einer Stickstoffatmosphäre gesintert. In nachstehender Tabelle 1 sind die Dichte und die Wärmeleitfähigkeit des entstandenen Sinterkörpers gezeigt. Proben zur Wärmeleitfähigkeitsmessung wurden durch Zerschneiden des Sinterkörpers auf einen Durchmesser von 10 mm und eine Dicke von 3 mm, Abscheiden von Gold unter Vakuum auf der Scheibe und Aufsprühen von Kohlenstaub darauf hergestellt. Tabelle 1 Versuch Nummer Sintertemperatur Dichte ("Fired Density") Wärmeleitfähigkeit Nummer
- Ein Sinterpulver wurde auf gleiche Weise wie in Beispiel 1 hergestellt, mit Ausnahme der zugesetzten Mengen an AlN-, CaCO&sub3;- und CuO-Pulver, die wie in der nachstehenden Tabelle 2 gezeigt abgeändert wurden.
- Jedes der Sinterpulver wurde auf gleiche Weise wie in Beispiel 1 geformt und dann drucklos 5 Stunden bei 1600ºC gesintert.
- In nachstehender Tabelle 2 sind die Dichte und die Wärmeleitfähigkeit des entstandenen Sinterkörpers gezeigt. Tabelle 2 Versuch Nummer Zusammensetzung des Sinterpulvers Dichte ("Fired Density") Wärmeleitfähigkeit
- Ein Sinterpulver wurde auf gleiche Weise wie in Beispiel 1 hergestellt und geformt mit der Abwandlung, daß 18,9 g des gleichen wie in Beispiel 1 verwendeten AlN-Pulvers, 0,36 g des gleichen wie in Beispiel 1 verwendeten CaCO&sub3;-Pulvers, 0,14 g des gleichen wie in Beispiel 1 verwendeten CuO-Pulvers und 0,6 g einesY&sub2;O&sub3;-Pulvers ( hergestellt von Shin-Etu Chemical Co., Ltd. ) verwendet wurden. Der geformte Gegenstand wurde 5 Stunden unter einer Stickstoffatmosphäre bei einer Temperatur von 1550ºC, 1600ºC, 1700ºC oder 1800ºC drucklos gesintert. In der nachfolgenden Tabelle 3 werden die Dichte und Wärmeleitfähigkeit von jedem der Sinterkörper gezeigt. Tabelle 3 Versuch Nummer Sinterpulvers Dichte ("Fired Density") Wärmeleitfähigkeit
- Ein Sinterpulver wurde auf gleiche Weise wie in Beispiel 3 hergestellt, mit der Abwandlung, daß die zugesetzten Mengen an AlN-, CaCO&sub3;-, CuO- und Y&sub2;O&sub3;-Pulver wie in der nachstehenden Tabelle 4 gezeigt waren.
- Jedes der entstandenen Sinterpulver wurde auf gleiche Weise wie in Beispiel 1 geformt und dann 5 Stunden drucklos bei 1600ºC gesintert. Die Dichte und Wärmeleitfähigkeit des entstandenen Sinterkörpers wird in Tabelle 4 gezeigt. Tabelle 4 Versuch Nummer Zusammensetzung des Sinterpulvers Dichte ("Fired Density") Wärmeleitfähigkeit
- Ein Sinterpulver, das durch Mischen des gleichen, wie in Beispiel 1 verwendeten AlN-Pulvers mit 3 Gewichtsprozent des gleichen, wie in Beispiel 3 verwendeten Y&sub2;O&sub3;-Pulvers hergestellt wurde, wurde auf die gleiche Weise, wie in Beispiel 1, geformt und gesintert. In der nachstehenden Tabelle 5 werden die Dichte und die Wärmeleitfähigkeit für jeden der entstandenen Sinterkörper gezeigt. Tabelle 5 Versuch Nummer Sinterpulvers Dichte ("Fired Density") Wärmeleitfähigkeit
Claims (6)
1. Verfahren zur Herstellung eines Sinterkörpers aus Aluminiumnitrid,
umfassend das Mischen eines Aluminiumnitridpulvers mit ( a ) 0,01 bis 3
Gewichtsprozent als CaO einer Calciumverbindung und ( b ) 0,01 bis 3
Gewichtsprozent als CuO einer Kupferverbindung, wobei jede der
Calcium- und Kupferverbindungen ausgewählt ist aus Calcium- oder
Kupferoxiden, -hydroxiden, -carbonaten, -sulfaten, -nitraten, -acetaten,
-oxalaten, -halogeniden, in einem molaren Verhältnis von ( b )/( a ) als
CuO/CaO von nicht mehr als 1; das Formen des Gemisches; und das
Sintern des geformten Gegenstandes in einer nichtoxidativen Atmosphäre.
2. Verfahren zur Herstellung eines Sinterkörpers aus Aluminiumnitrid,
umfassend das Mischen eines Aluminiumnitridpulvers mit ( a ) 0,01 bis 3
Gewichtsprozent als CaO einer Calciumverbindung, ( b ) 0,01 bis 3
Gewichtsprozent als CuO einer Kupferverbindung, wobei jede der
Calcium- und Kupferverbindungen ausgewählt ist aus Calcium- oder
Kupferoxiden -hydroxiden, -carbonaten, -sulfaten, -nitraten, -acetaten,
-oxalaten, -halogeniden, in einem molaren Verhältnis von ( b )/( a ) als
CuO/CaO von nicht mehr als 1 und ( c ) 0,1 bis 10 Gewichtsprozent als
Y&sub2;O&sub3; einer Yttriumverbindung; das Formen des Gemisches; und das
Sintern des geformten Gegenstandes in einer nichtoxidativen Atmosphäre.
3. Verfahren nach Anspruch 2, wobei die Yttriumverbindung ausgewählt
ist aus Yttriumoxiden, -hydroxiden, -nitraten, -oxalaten und -halogeniden.
4. Verfahren nach Anspruch 1, 2 oder 3, wobei das Sintern bei einer
Temperatur von 1500 bis 2000ºC durchgeführt wird.
5. Verfahren nach Anspruch 1, 2 oder 3, wobei das Sintern mit einer
Retentionszeit von 2 bis 20 Stunden durchgeführt wird.
6. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei das
Aluminiumnitridpulver einen mittleren Teilchendurchmesser von nicht mehr als
4,0 um aufweist.
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