JPH0712981B2 - 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 - Google Patents
窒化アルミニウム焼結体の製造方法Info
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- JPH0712981B2 JPH0712981B2 JP60048257A JP4825785A JPH0712981B2 JP H0712981 B2 JPH0712981 B2 JP H0712981B2 JP 60048257 A JP60048257 A JP 60048257A JP 4825785 A JP4825785 A JP 4825785A JP H0712981 B2 JPH0712981 B2 JP H0712981B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法に
関し、更に詳しくは、高密度で、熱伝導性が良好な窒化
アルミニウム焼結体と、それを低温で製造することがで
きる方法に関する。
関し、更に詳しくは、高密度で、熱伝導性が良好な窒化
アルミニウム焼結体と、それを低温で製造することがで
きる方法に関する。
窒化アルミニウム（AlN）は常温から高温までの強度が
高く、化学的耐性にも優れているため、耐熱材料として
用いられる一方、その高熱伝導性，高電気絶縁性を利用
して半導体装置の放熱板材料としても有望視されてい
る。こうしたAlNは、通常、融点を持たず、2200℃以上
の高温で分解するため、薄膜などの用途を除いては焼結
体として用いられる。
高く、化学的耐性にも優れているため、耐熱材料として
用いられる一方、その高熱伝導性，高電気絶縁性を利用
して半導体装置の放熱板材料としても有望視されてい
る。こうしたAlNは、通常、融点を持たず、2200℃以上
の高温で分解するため、薄膜などの用途を除いては焼結
体として用いられる。
かかるAlN焼結体は、通常、AlN粉末を成形，焼結して得
られる。しかし、AlN粉末を単独で用いた場合には焼結
性が良好でないために、ホツトプレス法による以外に
は、密、すなわち、高密度の焼結体を得ることが困難で
ある。そこで、常圧で焼結する場合には、通常焼結体の
高密度化を目的として、AlN粉末に、焼結助剤として、
希土類酸化物或いはアルカリ土類金属酸化物を添加する
ことが一般に行なわれている。
られる。しかし、AlN粉末を単独で用いた場合には焼結
性が良好でないために、ホツトプレス法による以外に
は、密、すなわち、高密度の焼結体を得ることが困難で
ある。そこで、常圧で焼結する場合には、通常焼結体の
高密度化を目的として、AlN粉末に、焼結助剤として、
希土類酸化物或いはアルカリ土類金属酸化物を添加する
ことが一般に行なわれている。
このように焼結助剤を添加することにより、確かに焼結
体の密度はかなり高められたが、しかし、他方で、かか
るAlN焼結体の熱伝導率は酸素その他の不純物および粒
界の存在などにより予想されるよりも低いというのが現
状であつた。すなわち、AlNの理論熱伝導率が320W/m・
ｋであるのに対し、AlN焼結体のそれは高々20〜60W/m・
ｋである。
体の密度はかなり高められたが、しかし、他方で、かか
るAlN焼結体の熱伝導率は酸素その他の不純物および粒
界の存在などにより予想されるよりも低いというのが現
状であつた。すなわち、AlNの理論熱伝導率が320W/m・
ｋであるのに対し、AlN焼結体のそれは高々20〜60W/m・
ｋである。
更に、通常のAlN粉末を焼結する際の温度は通常1800℃
以上と非常に高く、そのためにAlN焼結体の製造コスト
の低減が阻まれていた。
以上と非常に高く、そのためにAlN焼結体の製造コスト
の低減が阻まれていた。
本発明は上述した従来の問題を解消し、高密度で、しか
も、高熱伝導率を有するAlN焼結体と、それを比較的低
温による焼結で製造することができる方法の提供を目的
とする。
も、高熱伝導率を有するAlN焼結体と、それを比較的低
温による焼結で製造することができる方法の提供を目的
とする。
本発明者らは、AlN粉末に添加される焼結助剤と、得ら
れた焼結体の密度並びに熱伝導率との関係を種々検討し
た結果、以下に述べる知見を得た。すなわち、本発明方
法では希土類及びアルカリ土類の少なくとも一方をフツ
化物として添加し、かつ希土類化合物とアルカリ土類化
合物を、同時に添加することにより、従来の希土類又は
アルカリ土類酸化物を単独で添加した場合に比べて低い
焼結温度で高密度および高熱伝導率のAlN焼結体が得ら
れるというものである。
れた焼結体の密度並びに熱伝導率との関係を種々検討し
た結果、以下に述べる知見を得た。すなわち、本発明方
法では希土類及びアルカリ土類の少なくとも一方をフツ
化物として添加し、かつ希土類化合物とアルカリ土類化
合物を、同時に添加することにより、従来の希土類又は
アルカリ土類酸化物を単独で添加した場合に比べて低い
焼結温度で高密度および高熱伝導率のAlN焼結体が得ら
れるというものである。
すなわち、本発明の窒化アルミニウム焼結体は、窒化ア
ルミニウムと、希土類アルミニウム化合物およびアルカ
リ土類アルミニウム化合物よりなることを特徴とし、そ
の製造方法は、窒化アルミニウム粉末に、 （ａ）希土類フツ化物又は酸化物及び焼成によつてこれ
らのフツ化物又は酸化物となる化合物よりなる群から選
ばれた少なくとも１種の化合物並びに、 （ｂ）アルカリ土類フツ化物又は酸化物及び焼成によつ
てこれらのフツ化物又は酸化物となる化合物よりなる群
から選ばれた少なくとも１種の化合物から成り、かつア
ルカリ土類と希土類化合物はいずれもフツ化物及び焼成
によりフツ化物となる化合物であるか、又はアルカリ土
類と希土類化合物の一部は必ずフツ化物及び焼成により
フツ化物となる化合物を含み、窒化物を含まないフツ化
物，酸化物の重量に換算して合計で0.01〜20重量％添加
したのち、成形，焼結することを特徴とする。
ルミニウムと、希土類アルミニウム化合物およびアルカ
リ土類アルミニウム化合物よりなることを特徴とし、そ
の製造方法は、窒化アルミニウム粉末に、 （ａ）希土類フツ化物又は酸化物及び焼成によつてこれ
らのフツ化物又は酸化物となる化合物よりなる群から選
ばれた少なくとも１種の化合物並びに、 （ｂ）アルカリ土類フツ化物又は酸化物及び焼成によつ
てこれらのフツ化物又は酸化物となる化合物よりなる群
から選ばれた少なくとも１種の化合物から成り、かつア
ルカリ土類と希土類化合物はいずれもフツ化物及び焼成
によりフツ化物となる化合物であるか、又はアルカリ土
類と希土類化合物の一部は必ずフツ化物及び焼成により
フツ化物となる化合物を含み、窒化物を含まないフツ化
物，酸化物の重量に換算して合計で0.01〜20重量％添加
したのち、成形，焼結することを特徴とする。
本発明のAlN焼結体は、その構成相をＸ線回折により観
察するとAlNの他に希土類アルミニウム酸化物そして希
土類アルミニウム酸化物と類似のしかし明らかに異なる
化合物、およびアルカリ土類酸化物そしてアルカリ土類
アルミニウム酸化物と類似の化合物が生成されている。
又は、まれにAlON〔Alの酸窒化物〕、AlNのポリタイプ
主に27R型が生成される場合もある。例えば希土類元素
がイツトリウム〔Ｙ〕であり、しかも酸化物〔Y2O3〕で
ある場合、3Y2O3・5Al2O3又はY2O3・Al2O3その他の希土
類アルミニウム酸化物が生成され、一方フツ化物〔Y
F3〕である場合には3Y2O3・5Al2O3又はY2O3・Al2O3その
他と類似のしかし明らかに異なる化合物が生成される。
察するとAlNの他に希土類アルミニウム酸化物そして希
土類アルミニウム酸化物と類似のしかし明らかに異なる
化合物、およびアルカリ土類酸化物そしてアルカリ土類
アルミニウム酸化物と類似の化合物が生成されている。
又は、まれにAlON〔Alの酸窒化物〕、AlNのポリタイプ
主に27R型が生成される場合もある。例えば希土類元素
がイツトリウム〔Ｙ〕であり、しかも酸化物〔Y2O3〕で
ある場合、3Y2O3・5Al2O3又はY2O3・Al2O3その他の希土
類アルミニウム酸化物が生成され、一方フツ化物〔Y
F3〕である場合には3Y2O3・5Al2O3又はY2O3・Al2O3その
他と類似のしかし明らかに異なる化合物が生成される。
次にアルカリ土類元素がカルシウム〔Ca〕であり、しか
も酸化物〔CaO〕である場合には、6Al2O3・CaO又は2Al2
O3・CaOその他のアルカリ土類アルミニウム酸化物が生
成され、一方フツ化物〔CaF2〕である場合には6Al2O3・
CaO又は2Al2O3・CaOと類似の化合物が生成される。しか
るに、希土類とアルカリ土類とから成る化合物又は希土
類とアルカリ土類そしてアルミニウムから成る化合物は
生成されない。かかるAlN焼結体においてAlN結晶粒の構
成比は全体の80〜99.99重量％であることが好ましい。
も酸化物〔CaO〕である場合には、6Al2O3・CaO又は2Al2
O3・CaOその他のアルカリ土類アルミニウム酸化物が生
成され、一方フツ化物〔CaF2〕である場合には6Al2O3・
CaO又は2Al2O3・CaOと類似の化合物が生成される。しか
るに、希土類とアルカリ土類とから成る化合物又は希土
類とアルカリ土類そしてアルミニウムから成る化合物は
生成されない。かかるAlN焼結体においてAlN結晶粒の構
成比は全体の80〜99.99重量％であることが好ましい。
本発明のAlN焼結体の製造方法は、酸素の含有量が0.001
〜７重量％であるようなAlN粉末に適用して特に有用で
ある。
〜７重量％であるようなAlN粉末に適用して特に有用で
ある。
又、使用するAlN粉末および焼結助剤粉末の粒径は、平
均粒径でともに５μｍ以下であり、好ましくは４μｍ以
下である。
均粒径でともに５μｍ以下であり、好ましくは４μｍ以
下である。
焼結助剤として添加する希土類元素としては、Y,La,Ce,
Sm,Dy,Nd,Gd,Pr,Ho,Er,Ybなどがあげられ、とくに、Y,L
a,Ceは好ましいものである。これらの希土類元素は、１
種又は２種以上がそれぞれフツ化物又は酸化物、或いは
焼成によりフツ化物又は酸化物となるような化合物とし
て、上記AlN粉末に添加される。
Sm,Dy,Nd,Gd,Pr,Ho,Er,Ybなどがあげられ、とくに、Y,L
a,Ceは好ましいものである。これらの希土類元素は、１
種又は２種以上がそれぞれフツ化物又は酸化物、或いは
焼成によりフツ化物又は酸化物となるような化合物とし
て、上記AlN粉末に添加される。
又、アルカリ土類金属としては、Mg,Ca,Sr,Baなどがあ
げられ、とくにCa,Sr,Baは好ましい。これらのアルカリ
土類金属も上記と同様、そのうちの１種又は２種以上
が、それぞれフツ化物又は酸化物或いは、焼成によりフ
ツ化物又は酸化物となる化合物の粉末としてAlN粉末に
添加される。
げられ、とくにCa,Sr,Baは好ましい。これらのアルカリ
土類金属も上記と同様、そのうちの１種又は２種以上
が、それぞれフツ化物又は酸化物或いは、焼成によりフ
ツ化物又は酸化物となる化合物の粉末としてAlN粉末に
添加される。
上記した希土類元素化合物及びアルカリ土類金属化合物
はそれぞれ酸化物，フツ化物の状態に換算して合計で0.
01〜20重量％添加される。合計の添加量が0.01重量％未
満の場合は目的とする効果が得られない場合があり、一
方、20重量％を超えると耐熱性および機械的強度が損な
われるばかりか、熱伝導性も低下してしまう場合があ
る。合計の添加量は、好ましくは、0.01〜17重量％であ
る。
はそれぞれ酸化物，フツ化物の状態に換算して合計で0.
01〜20重量％添加される。合計の添加量が0.01重量％未
満の場合は目的とする効果が得られない場合があり、一
方、20重量％を超えると耐熱性および機械的強度が損な
われるばかりか、熱伝導性も低下してしまう場合があ
る。合計の添加量は、好ましくは、0.01〜17重量％であ
る。
本発明から成る焼結体の熱伝導率が上昇し、焼結温度が
低下する原因は、現在のところ不明な点が多いが、次の
ように推定することができる。
低下する原因は、現在のところ不明な点が多いが、次の
ように推定することができる。
すなわち、高熱伝導率化の要因のひとつとして本発明か
ら成る焼結体では、Alの酸窒化物〔AlON〕そして、AlN
のポリタイプ（27R型）が生成し難いことである。発明
者の研究結果によれば、AlONそして27R型が生成した焼
結体は、いずれも熱伝導率が低いことがわかつている。
AlON,27R型の生成は、AlN粉の純度，焼結炉内雰囲気お
よび焼結助剤の種類とその添加量などにも影響される
が、同一のAlN粉を用いて、同一の実験条件下で製造し
た焼結体を比較すると、従来のアルカリ土類又は希土類
酸化物を添加した場合に比べて、本発明から成る焼結体
では、AlONをして27R型が生成量が明らかに少ないか、
まつたく生成しない。
ら成る焼結体では、Alの酸窒化物〔AlON〕そして、AlN
のポリタイプ（27R型）が生成し難いことである。発明
者の研究結果によれば、AlONそして27R型が生成した焼
結体は、いずれも熱伝導率が低いことがわかつている。
AlON,27R型の生成は、AlN粉の純度，焼結炉内雰囲気お
よび焼結助剤の種類とその添加量などにも影響される
が、同一のAlN粉を用いて、同一の実験条件下で製造し
た焼結体を比較すると、従来のアルカリ土類又は希土類
酸化物を添加した場合に比べて、本発明から成る焼結体
では、AlONをして27R型が生成量が明らかに少ないか、
まつたく生成しない。
一方、従来に比べて焼結温度が低下する理由は現時点で
は不明であるが、従来の希土類酸化物又はアルカリ土類
酸化物を単独で添加する場合に比べて、焼結時により低
い温度で液相を生じ、焼結を進行させると考えられる。
は不明であるが、従来の希土類酸化物又はアルカリ土類
酸化物を単独で添加する場合に比べて、焼結時により低
い温度で液相を生じ、焼結を進行させると考えられる。
次いで、本発明のAlN焼成体の製造方法の一例を以下に
述べる。
述べる。
先ず、AlN粉末に、焼結助剤として上記した希土類元素
化合物およびアルカリ土類金属化合物よりなる窒化物と
含まない粉末を所定量添加したのちボールミル等を用い
て混合する。焼結には常圧焼結法，ホツトプレス焼結法
などを使用することができる。常圧焼結法による場合
は、混合粉末にバインダーを加え、混練，造粒，整粒を
行なつたのち成形する。成形法としては、金型プレス，
静水圧プレス或いはシート成形などが適用できる。続い
て、成形体を例えばN2ガス気流中で加熱してバインダー
を除去したのち、常圧焼結する。
化合物およびアルカリ土類金属化合物よりなる窒化物と
含まない粉末を所定量添加したのちボールミル等を用い
て混合する。焼結には常圧焼結法，ホツトプレス焼結法
などを使用することができる。常圧焼結法による場合
は、混合粉末にバインダーを加え、混練，造粒，整粒を
行なつたのち成形する。成形法としては、金型プレス，
静水圧プレス或いはシート成形などが適用できる。続い
て、成形体を例えばN2ガス気流中で加熱してバインダー
を除去したのち、常圧焼結する。
一方、ホツトプレス焼結法による場合は、前記ボールミ
ル等で混合した原料を直接ホツトプレスすればよい。
ル等で混合した原料を直接ホツトプレスすればよい。
かかる工程において、常圧焼結法による場合も、ホツト
プレス焼結法による場合も、焼結温度は1700℃以下でよ
く、実用上は、1550〜1700℃である。
プレス焼結法による場合も、焼結温度は1700℃以下でよ
く、実用上は、1550〜1700℃である。
このように、従来に比べて低い温度で焼結が進行する理
由は末だつまびらかではないが、焼結工程において、希
土類元素フツ化物とアルカリ土類金属フツ化物とが何ら
かの相互作用をもつことによるものと推考される。
由は末だつまびらかではないが、焼結工程において、希
土類元素フツ化物とアルカリ土類金属フツ化物とが何ら
かの相互作用をもつことによるものと推考される。
実施例１ 不純物としての酸素を3.6重量％含有し、平均粒径が2.2
μｍのAlN粉末に、平均粒径1.5μｍのCaF2およびYF3の
混合粉末（重量比1:3）を４重量％添加し、ポートミル
を用いて粉砕，混合を行ない原料を調製した。次いで、
この原料にパラフインを７重量％添加して造粒したの
ち、300kg/cm2の圧力でプレス成形して30×30×8mmの圧
粉体とした。この圧粉体を窒素ガス雰囲気中で700℃ま
で加熱してプラフインを除去した。更に、カーボン型中
に収容し、窒素ガス雰囲気中、1700℃において２時間常
圧焼結した。得られたAlN焼結体の密度を測定した。
又、焼結体から直径10mm,厚さ3.5mmの円板を研削し、こ
れを試験片としてレーザフラツシユ法により熱伝導率を
測定した。結果を第１表に示した。
μｍのAlN粉末に、平均粒径1.5μｍのCaF2およびYF3の
混合粉末（重量比1:3）を４重量％添加し、ポートミル
を用いて粉砕，混合を行ない原料を調製した。次いで、
この原料にパラフインを７重量％添加して造粒したの
ち、300kg/cm2の圧力でプレス成形して30×30×8mmの圧
粉体とした。この圧粉体を窒素ガス雰囲気中で700℃ま
で加熱してプラフインを除去した。更に、カーボン型中
に収容し、窒素ガス雰囲気中、1700℃において２時間常
圧焼結した。得られたAlN焼結体の密度を測定した。
又、焼結体から直径10mm,厚さ3.5mmの円板を研削し、こ
れを試験片としてレーザフラツシユ法により熱伝導率を
測定した。結果を第１表に示した。
実施例２〜10 AlN粉末の種類並びに焼結助剤粉末の種類を種々に変え
て、上記実施例１と同様にしてAlN焼結体を製造し、そ
れぞれについて、同じく密度および熱伝導率を測定し
た。結果を各AlN粉末の粒径、酸素含有量、焼結助剤の
種類、混合比、粒径、添加量とともに第１表に示した。
て、上記実施例１と同様にしてAlN焼結体を製造し、そ
れぞれについて、同じく密度および熱伝導率を測定し
た。結果を各AlN粉末の粒径、酸素含有量、焼結助剤の
種類、混合比、粒径、添加量とともに第１表に示した。
比較例１ 実施例１で用いたAlN粉末のみから実施例１と同様にし
てAlN焼結体を製造した。
てAlN焼結体を製造した。
比較例２ 実施例１で用いたAlN粉末に、平均粒径2.4μｍのCaCO3
粉末をCaOに換算して３重量％添加し、実施例１と同様
にAlN焼結体を製造した。
粉末をCaOに換算して３重量％添加し、実施例１と同様
にAlN焼結体を製造した。
比較例３ 実施例１で用いたAlN粉末に、平均粒径2.5μｍのY2O3粉
末３重量％を添加し、実施例１と同様にAlN焼結体を製
造した。
末３重量％を添加し、実施例１と同様にAlN焼結体を製
造した。
これら比較例１〜３で得られたAlN焼結体それぞれにつ
いても、実施例１と同様に密度および熱伝導率を測定し
た。結果を第１表に併記した。
いても、実施例１と同様に密度および熱伝導率を測定し
た。結果を第１表に併記した。
実施例11 実施例１で用いたAlN粉末に、平均粒径1.5μｍのBaF2お
よび平均粒径2.5μｍのLaF3の混合粉末（重量比2:2）を
４重量％添加し、ボールミルを用いて粉砕，混合を行な
い原料を調製した。次いで、この原料粉を300kg/cm2の
圧力でプレス成形して直径12mm、厚さ10mmの圧粉体とし
た。しかるのち、この圧粉体をカーボン型中に入れ窒素
ガス雰囲気中、1700℃かつ400kg/cm2の圧力下で１時間
ホツトプレス焼結した。実施例１と同様にして得られた
AlN焼結体の密度および熱伝導率を測定し、結果を第２
表に示した。
よび平均粒径2.5μｍのLaF3の混合粉末（重量比2:2）を
４重量％添加し、ボールミルを用いて粉砕，混合を行な
い原料を調製した。次いで、この原料粉を300kg/cm2の
圧力でプレス成形して直径12mm、厚さ10mmの圧粉体とし
た。しかるのち、この圧粉体をカーボン型中に入れ窒素
ガス雰囲気中、1700℃かつ400kg/cm2の圧力下で１時間
ホツトプレス焼結した。実施例１と同様にして得られた
AlN焼結体の密度および熱伝導率を測定し、結果を第２
表に示した。
比較例４ 実施例１で用いたAlN粉末のみから、実施例11と同様に
してAlN焼結体を製造した。
してAlN焼結体を製造した。
比較例５ 実施例１で用いたAlN粉末に、平均粒径1.5μｍのBaCO3
４重量％を添加し、実施例11と同様にしてAlN焼結体を
製造した。
４重量％を添加し、実施例11と同様にしてAlN焼結体を
製造した。
比較例６ 実施例１で用いたAlN粉末に、平均粒径2.5μｍのLa2O3
４重量％を添加し、実施例11と同様にしてAlN焼結体を
製造した。
４重量％を添加し、実施例11と同様にしてAlN焼結体を
製造した。
これら比較例４〜６で得られたAlN焼結体のそれぞれに
ついても実施例１と同様に密度および熱伝導率を測定
し、結果を第２表に併記した。
ついても実施例１と同様に密度および熱伝導率を測定
し、結果を第２表に併記した。
次に不純物としての酸素を1.4重量％含有し、平均粒径
が1.2μｍのAlN粉末に、平均粒径2.5μｍのCaF2および
平均粒径0.8μｍのYF3の混合粉末（重量比1:1）を2.8重
量％添加し、上記実施例１と同様の方法により、1600
℃、1650℃、1700℃、1750℃および1800℃の各温度で２
時間焼結し、それぞれ得られたAlN焼結体について実施
例１と同様に密度および熱伝導率を測定し、結果を第１
図および第２図において曲線Ａにより示した。
が1.2μｍのAlN粉末に、平均粒径2.5μｍのCaF2および
平均粒径0.8μｍのYF3の混合粉末（重量比1:1）を2.8重
量％添加し、上記実施例１と同様の方法により、1600
℃、1650℃、1700℃、1750℃および1800℃の各温度で２
時間焼結し、それぞれ得られたAlN焼結体について実施
例１と同様に密度および熱伝導率を測定し、結果を第１
図および第２図において曲線Ａにより示した。
比較のために、上記と同様のAlN粉末に平均粒径2.5μｍ
のCaCO3５重量％を添加した原料粉および平均粒径0.8μ
ｍのY2O32.8重量％を添加した原料粉を使用して、上記
と同様各温度で焼結を行ない、得られた焼結体の密度お
よび熱伝導率を測定し結果を第１図，第２図にそれぞれ
曲線B,曲線Ｃにより示した。
のCaCO3５重量％を添加した原料粉および平均粒径0.8μ
ｍのY2O32.8重量％を添加した原料粉を使用して、上記
と同様各温度で焼結を行ない、得られた焼結体の密度お
よび熱伝導率を測定し結果を第１図，第２図にそれぞれ
曲線B,曲線Ｃにより示した。
第１図および第２図からも明らかなように、本発明のAl
N焼結体は、大幅な焼結温度の低下が可能であり、高密
度且つ高伝導率となるため、従来のAlN焼結体に比べ製
造コストを低く抑えることが可能である。
N焼結体は、大幅な焼結温度の低下が可能であり、高密
度且つ高伝導率となるため、従来のAlN焼結体に比べ製
造コストを低く抑えることが可能である。
尚、本発明においては窒化物を含まない焼結助剤として
上記したものの他に炭素或いはNiOなどを添加してもよ
い。
上記したものの他に炭素或いはNiOなどを添加してもよ
い。
以上の説明から明らかなように、本発明のAlN焼結体は
高密度であり、且つ高熱伝導率を有し、またその製造方
法にあつては、焼結温度が1700℃以下と従来に比べて低
い温度であるため、その工業的価値は極めて大であり、
とくに、半導体装置などの放熱板材料として有用であ
る。
高密度であり、且つ高熱伝導率を有し、またその製造方
法にあつては、焼結温度が1700℃以下と従来に比べて低
い温度であるため、その工業的価値は極めて大であり、
とくに、半導体装置などの放熱板材料として有用であ
る。
第１図，第２図は共に本発明の実施例を示し、第１図は
焼結温度と得られたAlN焼結体の密度との関係を示す
図、第２図は焼結温度と得られたAlN焼結体の熱伝導率
との関係を示す図である。
焼結温度と得られたAlN焼結体の密度との関係を示す
図、第２図は焼結温度と得られたAlN焼結体の熱伝導率
との関係を示す図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 柘植 章彦 神奈川県川崎市幸区小向東芝町１ 株式会 社東芝総合研究所内 (56)参考文献 特開 昭61−201669（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−146765（ＪＰ，Ａ)
Claims (3)
- 【請求項１】窒化アルミニウムに、 （ａ）希土類フッ化物または酸化物および焼成によって
希土類フッ化物または酸化物となる化合物の少なくとも
一種、および （ｂ）アルカリ土類フッ化物、または酸化物および焼成
によってアルカリ土類フッ化物または酸化物となる化合
物の少なくとも一種を含有し、かつ前記（ａ）（ｂ）の
フッ化物を少なくとも１種含み、窒化物を含まない添加
助剤成分を合計で0.01〜20重量％添加し、焼結すること
を特徴とする窒化アルミニウム焼結体の製造方法。 - 【請求項２】窒化アルミニウム粉末の平均粒径が５μｍ
以下である特許請求の範囲第１項記載の窒化アルミニウ
ム焼結体の製造方法。 - 【請求項３】常圧焼結法を適用し、焼結温度が1700℃以
下である特許請求の範囲第１項記載の窒化アルミニウム
焼結体の製造方法。
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| JP60048257A JPH0712981B2 (ja) | 1985-03-13 | 1985-03-13 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
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| JP60048257A JPH0712981B2 (ja) | 1985-03-13 | 1985-03-13 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
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-
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Also Published As
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