DE60216123D1 - Vorrichtung zum messen eines oberflächenprofils - Google Patents

Vorrichtung zum messen eines oberflächenprofils

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Families Citing this family (40)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2853056B1 (fr) * 2003-03-28 2005-07-15 Snecma Moteurs Dispositif et procede de mesure de profil
JP4281904B2 (ja) * 2003-08-11 2009-06-17 株式会社フコク 等速ジョイント用ブーツの大径側端部における内径寸法測定方法および寸法測定装置
JP4519449B2 (ja) * 2003-11-12 2010-08-04 オリンパス株式会社 形状測定機
JP5032741B2 (ja) * 2003-11-18 2012-09-26 オリンパス株式会社 ３次元形状測定方法及び３次元形状測定装置
EP1730465B1 (de) * 2004-03-18 2015-05-20 Renishaw plc Scannen eines objekts
US7140119B2 (en) * 2004-04-23 2006-11-28 Corning Incorporated Measurement of form of spherical and near-spherical optical surfaces
JP4529562B2 (ja) * 2004-07-06 2010-08-25 横浜ゴム株式会社 接触特性の評価方法及び接触状態の評価用コンピュータプログラム
JP5027668B2 (ja) * 2004-12-01 2012-09-19 ピレリ・タイヤ・ソチエタ・ペル・アツィオーニ 車輪用タイヤの構成要素の製造工程を制御する方法及び装置
EP1704963B1 (de) * 2005-03-23 2008-01-09 Asphericon Gmbh Verfahren zur Bearbeitung und Vermessung von rotationssymmetrischen Werkstücken
JP4836478B2 (ja) 2005-03-31 2011-12-14 カヤバ工業株式会社 クロージング加工方法及びクロージング加工機
JP4923441B2 (ja) 2005-05-26 2012-04-25 株式会社ジェイテクト 形状測定器
JP2007038305A (ja) * 2005-07-29 2007-02-15 Metrol Ltd 工具折損検出装置
JP5292668B2 (ja) * 2006-01-06 2013-09-18 コニカミノルタ株式会社 形状測定装置及び方法
CN101354246B (zh) * 2007-07-27 2010-09-29 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 物体表面形貌测量方法
TWI393855B (zh) * 2007-09-21 2013-04-21 Hon Hai Prec Ind Co Ltd 透鏡測厚儀
JP4480769B2 (ja) * 2008-01-11 2010-06-16 パナソニック株式会社 形状測定方法
JP5270246B2 (ja) * 2008-07-28 2013-08-21 株式会社ミツトヨ 表面性状測定機および測定方法
JP5465848B2 (ja) * 2008-07-28 2014-04-09 株式会社ミツトヨ 昇降傾斜調整装置
JP5301412B2 (ja) * 2009-10-21 2013-09-25 株式会社ミツトヨ 測定力制御装置
JP5663274B2 (ja) * 2010-11-10 2015-02-04 オリンパス株式会社 形状測定センサ
CN102095366A (zh) * 2010-12-14 2011-06-15 苏州大学 一种大梯度非球面的轮廓测量方法
RU2464527C1 (ru) * 2011-05-23 2012-10-20 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный университет дизайна и технологии" Устройство для измерения неровностей листовых вязкоупругих материалов
DE102011116339A1 (de) * 2011-10-19 2013-04-25 Spieth-Maschinenelemente Gmbh & Co. Kg Verfahren zur Vermessung eines dreidimensionalen Objekts
DE102012205184B4 (de) * 2012-03-30 2015-07-09 Aktiebolaget Skf Messvorrichtung zur Längenmessung an einem Werkstück
CN103264318B (zh) * 2013-04-19 2015-11-18 湖北三江航天险峰电子信息有限公司 一种立体型面的在线检测方法
TW201445119A (zh) * 2013-05-27 2014-12-01 Hon Hai Prec Ind Co Ltd 承載裝置
CN103481122B (zh) * 2013-08-08 2016-05-04 哈尔滨理工大学 面向自由曲面的接触式测量误差补偿方法
CN103594129B (zh) * 2013-10-22 2016-01-20 中广核检测技术有限公司 核电站反应堆压力容器内管状部件表面智能扫查方法
JP6448242B2 (ja) * 2014-07-18 2019-01-09 株式会社ミツトヨ 形状測定装置の測定誤差の補正方法及び形状測定装置
CN104655078B (zh) * 2015-02-13 2016-10-26 青岛玉兰祥商务服务有限公司 通过风扇散热的电力行业汽轮机主轴轴承的检测装置及检测方法
JP6472299B2 (ja) * 2015-03-31 2019-02-20 株式会社ミツトヨ 形状測定機の姿勢調整器
CN105387810A (zh) * 2015-10-20 2016-03-09 四川大学 一种测量力可控的电磁轴承自倾斜式微位移传感器系统
DE102017103938A1 (de) * 2017-02-24 2018-08-30 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Vorrichtung zum Messen der Rauheit einer Werkstückoberfläche
CN108132022A (zh) * 2017-12-05 2018-06-08 航天材料及工艺研究所 一种大直径薄壁箱体的形变测量装置
CN108278950B (zh) * 2018-01-22 2023-09-22 中国人民解放军第五七二一工厂 一种飞行器风挡玻璃总成调整装置及调整方法
CN109084722B (zh) * 2018-06-20 2019-08-13 华中科技大学 一种自适应采样的复杂曲面接触式测量方法
JP7072990B2 (ja) * 2018-06-22 2022-05-23 株式会社ミツトヨ 測定装置および測定方法
TWI705036B (zh) * 2019-01-22 2020-09-21 鈺皓實業有限公司 搬運載具之夾持裝置
JP7328134B2 (ja) 2019-12-11 2023-08-16 株式会社ディスコ ブラケット
JP7298896B2 (ja) 2019-12-20 2023-06-27 オールグッド株式会社 被検体の状態測定装置

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3795132A (en) * 1972-05-30 1974-03-05 Caterpillar Tractor Co Curved surface finish analyzer
GB1597842A (en) * 1977-02-07 1981-09-09 Rolls Royce Indexing mechanism
US4103542A (en) * 1977-09-09 1978-08-01 Tencor Instruments Metrology instrument for measuring vertical profiles of integrated circuits
US4391044A (en) * 1981-09-28 1983-07-05 Tencor Instruments Metrology instrument for measuring vertical profiles of integrated circuits and the like
US4495703A (en) * 1981-11-25 1985-01-29 Mitutoyo Mfg. Co., Ltd. Coordinate measuring instrument
US4679326A (en) * 1984-11-21 1987-07-14 Mitutoyo Mfg. Co., Ltd. Height gauge
FR2645638A1 (fr) * 1989-04-11 1990-10-12 Inst Superieur Etat Surfaces Procede et dispositif de mesurage profilometrique de large echelle et leurs applications a la mesure de l'etat de surfaces de forme quelconque
US5309755A (en) * 1992-10-02 1994-05-10 Tencor Instruments Profilometer stylus assembly insensitive to vibration
DE4238139C2 (de) * 1992-11-12 2002-10-24 Zeiss Carl Koordinatenmeßgerät
JPH07260471A (ja) * 1994-03-16 1995-10-13 Nikon Corp 表面形状測定装置
US5705741A (en) * 1994-12-22 1998-01-06 Tencor Instruments Constant-force profilometer with stylus-stabilizing sensor assembly, dual-view optics, and temperature drift compensation
DE10035714B4 (de) * 1999-07-23 2011-06-09 Mitutoyo Corp. Oberflächengestalt-Messverfahren

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JP2005502876A (ja) 2005-01-27
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TW550375B (en) 2003-09-01
JP3926793B2 (ja) 2007-06-06
CN1484760A (zh) 2004-03-24

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