JP5032741B2 - 3次元形状測定方法及び3次元形状測定装置 - Google Patents
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Description
3次元形状測定装置は、光学部品や金型などの表面形状を、プローブを用いて測定する装置である。非接触式の光プローブを用いた3次元形状測定装置は、例えば特開平11-132752号公報に開示されている。
また、図15に接触式プローブ4を利用した3次元形状測定装置を示す。この装置では、プローブ4の接触圧を一定に保ちながら、被測定面2Fの測定が行なわれる。また、プローブ4はスピンドル3の回転中心軸10と平行に配置されている。
以下、図2〜図5を参照して、本発明の第1実施形態を説明する。図2は、本発明の3次元形状測定装置の主要部を概略的に示す図である。本測定装置78では図2に示すように、エアースピンドル3の回転中心軸10の方向をZ1 、これに直角な方向をR1 としている。この座標系において、被測定物2はエアースピンドル3上に載置されている。なお、エアースピンドル3は、定盤1に固定されている。一方、プローブ4は接触式であって、先端部に先端球を有している。このプローブ4はZステージ8上に設置されているので、被測定物2の被測定面の形状に追従して動く。また、Zステージ8はエアースライド6上に設置されている。
図7は、本発明の変形例に係る3次元形状測定装置の主要部を概略的に示す図である。
以下、図8〜図10を参照して本発明の第2実施形態を説明する。図8は、本発明の3次元形状測定装置の主要部を概略的に示す図である。本実施の形態においても、エアースピンドル3の回転中心軸10の方向をZ1 、これに直角な方向をR1 とする。
次に、図11〜図13を参照して本発明の第3実施形態を説明する。図11は、本発明の3次元形状測定装置の主要部を概略的に示す図である。図11に示す本実施の形態でも、エアースピンドル58の回転中心軸60の方向をZ1 、これに直角な方向をR1 としている。
ので、被測定物の表面形状を正確かつ高速高精度に評価することができる。
以下、図16を参照して、本発明の第4実施形態を説明する。図16は、本発明の3次元形状測定装置の主要部を概略的に示す図である。本実施形態においても、エアースピンドル3の回転中心軸10の方向をZ1 、これに直角な方向をR1 とする。
1.被測定物をZ1 軸を中心としてθ方向に回転させ、回転角度θを検出する回転機構と、
前記被測定物に対向配置された接触式プローブと、
該プローブを移動させるプローブ移動機構と、
前記プローブの位置を測定する測長器と、
前記回転機構により検出された回転角度θと、前記測長器により測定された前記プローブの位置とを用いて処理を行い、前記被測定物に関する形状測定データを取得する処理部と、
を具備し、
前記プローブ移動機構は、前記プローブを、前記Z1 軸およびZ1 軸に直交するR1 軸を含むR1 Z1 平面内で、前記被測定物の表面形状の変化に追従するようにZ2 軸方向に移動させる第1の副移動機構と、前記プローブを、前記R1 Z1 平面内で前記Z1 軸及びZ2 軸方向とは異なるR2 軸方向に直線移動させるための第2の副移動機構とを備え、
前記Z1 軸とZ2 軸のなす角αが鋭角となるように、前記Z1 軸とZ2 軸が位置決めされていることを特徴とする3次元形状測定装置。
この発明に関する実施の形態は、少なくとも第1、2、3、4実施形態が対応する。
反射率の低い被測定面を測定できると共に、プローブと被測定面の法線との傾きがZ1 軸とZ2 軸のなす角αの量だけ小さくなるので、被測定物の被測定面の傾斜変化が大きく、また急峻な面であっても、面形状を高精度に測定することができる。更に、曲率半径の測定誤差は発生しないので、曲率半径Rを含めた形状測定をも正確に測定できる。
この発明に関する実施の形態は、少なくとも第1、2、3実施形態が対応する。
Z1 軸とZ2 軸のなす角αの値を利用して、被測定物のR2 Z2 θ座標系の形状測定データを容易にR1 Z1 θ座標系の形状測定データとして算出することができる。更に、第2の副移動機構の移動軸がプローブの移動軸に対して直交するように、第2の副移動機構とプローブが配置されている。よって、プローブの軸が回転機構の回転中心軸に対して角度αだけ傾くようにすると、第2の副移動機構の移動軸は回転中心軸10に対して直交しなくなる。そのため、第2の副移動機構の移動軸が回転中心軸10に対して直交している構成と比べると、第1の副移動機構の移動量が角度αの分だけ小さくなる。その結果、第1の副移動機構の真直度誤差を小さくすることができるので、高精度に測定ができる。また、第1の副移動機構を小型化することができる。
この発明に関する実施の形態は、第4実施形態が対応する。
Z1 軸とZ2 軸のなす角αの値を利用して、被測定物のR2 Z2 θ座標系の形状測定データをR1 Z1 θ座標系の形状測定データとして算出する際、座標処理はZ2 軸方向のデータのみであるため、座標変換処理の速度が速くなる。
この発明に関する実施の形態は、第2実施形態が対応する。
プローブと被測定物の法線との傾きが、どのような大きさでも、測定範囲の最大傾斜角を半分にできるので、被測定物の被測定面の傾斜変化が大きく、また急峻な面であっても、被測定物の表面形状を精度よく測定することが可能である。
この発明に関する実施の形態は、第3実施形態が対応する。
プローブのR1 Z1 座標を測定データとして、取得できるのでZ1 軸とZ2 軸のなす角αを考慮せずに、被測定物の表面形状を測定できる。
この発明に関する実施の形態は、第1、2、4実施形態が対応する。
Z1 軸とZ2 軸のなす角αがどのような角度でも、また、角度が測定毎に変更されたとしても、プローブのR2 Z2 座標を正確に測ることができるので、高精度な3次元形状測定が可能である。
この発明に関する実施の形態は、第1、2実施形態が対応する。
被測定物のR2 Z2 θ座標系の形状測定データを容易にR1 Z1 θ座標系の形状測定データとして算出することができる。
この発明に関する実施の形態は、第1、2実施形態が対応する。
基準平面の形状測定データを用いて、Z1 軸とZ2 軸のなす角αを算出することから、なす角αを精度良く算出することができ、それを形状補正データとして記憶して処理することにより、被測定物の面形状を高精度に補正することができる。
接触式プローブを前記被測定物に対向配置する工程と、
プローブ移動機構により前記プローブを移動させる工程と、
測長器により前記プローブの位置を測定する工程と、
前記回転機構により検出された回転角度θと、前記測長器により測定された前記プローブの位置とを用いて処理を行い、前記被測定物に関する形状測定データを取得する工程と、
を具備し、
前記プローブ移動機構により前記プローブを移動させる工程は、前記プローブを、前記Z1 軸およびZ1 軸に直交するR1 軸を含むR1 Z1 平面内で、前記被測定物の表面形状の変化に追従するように前記Z1 軸方向に対してなす角α(ただしなす角αは鋭角)であるZ2 軸方向に移動させる第1の副移動機構による移動工程と、前記プローブを前記R1 Z1 平面内で前記Z1軸およびZ2軸方向とは異なるR2 軸方向に直線移動させるための第2の副移動機構による移動工程を有することを特徴とする3次元形状測定方法。
この発明に関する実施の形態は、第1、2、3、4実施形態が対応する。
反射率の低い被測定面を測定できると共に、プローブと被測定面の法線との傾きがZ1 軸とZ2 軸のなす角αの量だけ小さくなるので、被測定物の被測定面の傾斜変化が大きく、また急峻な面であっても、面形状を高精度に測定することができる。更に、曲率半径の測定誤差は発生しないので、曲率半径Rを含めた形状測定をも正確に測定できる。
この発明に関する実施の形態は、第1、2、3実施形態が対応する。
Z1 軸とZ2 軸のなす角αの値を利用して、被測定物のR2 Z2 θ座標系の形状測定データを容易にR1 Z1 θ座標系の形状測定データとして算出することができる。更に、第2の副移動機構の移動軸がプローブの移動軸に対して直交するように、第2の副移動機構とプローブが配置されている。よって、プローブの軸が回転機構の回転中心軸に対して角度αだけ傾くようにすると、第2の副移動機構の移動軸は回転中心軸10に対して直交しなくなる。そのため、第2の副移動機構の移動軸が回転中心軸10に対して直交している構成と比べると、第1の副移動機構の移動量が角度αの分だけ小さくなる。その結果、第1の副移動機構の真直度誤差を小さくすることができるので、高精度に測定ができる。また、第1の副移動機構を小型化することができる。
この発明に関する実施の形態は、第4実施形態が対応する。
Z1 軸とZ2 軸のなす角αの値を利用して、被測定物のR2 Z2 θ座標系の形状測定データをR1 Z1 θ座標系の形状測定データとして算出する際、座標処理はZ2 軸方向のデータのみであるため、座標変換処理の速度が速くなる。
この発明に関する実施の形態は、第2実施形態が対応する。
プローブと被測定物の法線との傾きが、どのような大きさでも、測定範囲の最大傾斜角を半分にできるので、被測定物の被測定面の傾斜変化が大きく、また急峻な面であっても、被測定物の表面形状を精度よく測定することが可能である。
この発明に関する実施の形態は、第3実施形態が対応する。
プローブのR1 Z1 座標を測定データとして、取得できるのでZ1 軸とZ2 軸のなす角αを考慮せずに、被測定物の表面形状を測定できる。
この発明に関する実施の形態は、第1、2、4実施形態が対応する。
Z1 軸とZ2 軸のなす角αがどのような角度でも、また、角度が測定毎に変更されたとしても、プローブのR2 Z2 座標を正確に測ることができるので、高精度な3次元形状測定が可能である。
この発明に関する実施の形態は、第1、2実施形態が対応する。
被測定物のR2 Z2 θ座標系の形状測定データを容易にR1 Z1 θ座標系の形状測定データとして算出することができる。
この形状測定データ(r2 ,z2 ,θ)と、基準平面の設計形状データとを用いて形状誤差データを算出する工程と、
この形状誤差データから、Z1 軸とZ2 軸のなす角αを算出する工程と、
を有することを特徴とする14または15記載の3次元形状測定方法。
この発明に関する実施の形態は、第1、2実施形態が対応する。
基準平面の形状測定データを用いて、Z1 軸とZ2 軸のなす角αを算出することから、なす角αを精度良く算出することができ、それを形状補正データとして記憶して処理することにより、被測定物の面形状を高精度に補正することができる。
前記R1 座標がプラスの範囲とマイナスの範囲における二つの形状測定データと、前記被測定物の設計形状データとを用いて形状誤差データを算出する工程と、
前記プローブのR1 座標がプラスの範囲における形状誤差データとマイナスの範囲における形状誤差データとの差を算出する工程と、
前記二つの範囲の形状誤差データの差を小さくするためのプローブR1 座標の補正値(Δr’)を求める工程と、
前記被測定物の形状測定データ(r1 ,z1 ,θ)に前記補正値(Δr’)を加算して当該形状測定データを補正する工程とをさらに有することを特徴とする13記載の3次元形状測定方法。
この発明に関する実施の形態は、第3実施形態が対応する。
測定データを用いて回転手段の回転中心軸に対するプローブのR1 座標の原点誤差を算出するので、回転手段の回転中心軸に対するプローブのR1 座標の原点誤差を高精度に補正することができる。
前記R1 座標がプラスの範囲とマイナスの範囲における二つの形状測定データと、前記被測定物の設計形状データを用いて形状誤差データを算出する工程と、
前記プローブのR1 座標がプラスの範囲における形状誤差データとマイナスの範囲における形状誤差データとの差を算出する工程と、
前記二つの範囲の形状誤差データの差を小さくするためのプローブR1 座標の補正値(Δr’)を求める工程と、
前記被測定物の形状測定データ(r2 cos α,z2 cos α,θ)に前記補正値(Δr’)を加算して当該形状測定データを補正する工程とをさらに有することを特徴とする15又は16記載の3次元形状測定方法。
この発明に関する実施の形態は、第1、2実施形態が対応する。
測定データを用いて回転手段の回転中心軸に対するプローブのR1 座標の原点誤差を算出するため、回転手段の回転中心軸に対するプローブのR1 座標の原点誤差を高精度に補正することができる。
Claims (18)
- 被測定物をZ1 軸を中心としてθ方向に回転させ、回転角度θを検出する回転機構と、
前記被測定物に対向配置された接触式プローブと、
該プローブを移動させるプローブ移動機構と、
前記プローブの位置を測定する測長器と、
前記回転機構により検出された回転角度θと、前記測長器により測定された前記プローブの位置とを用いて処理を行い、前記被測定物に関する形状測定データを取得する処理部と、を具備し、
前記プローブ移動機構は、前記プローブを、前記Z1 軸およびZ1 軸に直交するR1 軸を含むR1 Z1 平面内で、前記被測定物の表面形状の変化に追従するようにZ2 軸方向に移動させる第1の副移動機構と、前記プローブを、前記R1 Z1 平面内で前記Z1 軸およびZ2 軸方向とは異なるR2 軸方向に直線移動させるための第2の副移動機構とを備え、
前記Z1 軸とZ2 軸のなす角αが鋭角となるように、前記Z1 軸とZ2 軸が位置決めされ、前記プローブ移動機構が、前記Z 1 軸とZ 2 軸のなす角αを一定にして、前記プローブを移動させていることを特徴とする3次元形状測定装置。 - 前記第2の副移動機構は、前記プローブを前記Z2 軸に垂直な方向に直線移動させるものであることを特徴とする請求項1記載の3次元形状測定装置。
- 前記第2の副移動機構は、前記プローブを前記R1 軸に平行な方向に直線移動させるものであることを特徴とする請求項1記載の3次元形状測定装置。
- 前記Z1 軸とZ2 軸のなす角αを任意の角度に調整可能な旋回機構を備えることを特徴とする請求項1記載の3次元形状測定装置。
- 前記測長器は、前記プローブのR1 軸方向およびZ1 軸方向の座標(r1 ,z1 )を測定することを特徴とする請求項1記載の3次元形状測定装置。
- 前記測長器は、前記プローブのR2軸方向およびZ2軸方向の座標(r2 ,z2 )を測定することを特徴とする請求項1記載の3次元形状測定装置。
- 前記処理部で取得された形状測定データ(r2 ,z2 ,θ)をR1 Z1 θ座標系の形状測定データ(r2 cos α,z2 cos α,θ)に変換する変換部を有することを特徴とする請求項6記載の3次元形状測定装置。
- 前記処理部は、形状が即知である基準平面を被測定物として形状測定データ(r2 ,z2 ,θ)を取得するものであり、この形状測定データ(r2 ,z2 ,θ)と、基準平面の設計形状データとを用いて形状誤差データを算出し、この形状誤差データからZ1 軸とZ2 軸のなす角αを算出する算出部を有することを特徴とする請求項6または7記載の3次元形状測定装置。
- 回転機構により被測定物をZ1 軸を中心としてθ方向に回転させ、回転角度θを検出する工程と、
接触式プローブを前記被測定物に対向配置する工程と、
プローブ移動機構により前記プローブを移動させる工程と、
測長器により前記プローブの位置を測定する工程と、
前記回転機構により検出された回転角度θと、前記測長器により測定された前記プローブの位置とを用いて処理を行い、前記被測定物に関する形状測定データを取得する工程と、
を具備し、
前記プローブ移動機構により前記プローブを移動させる工程は、前記プローブを、前記Z1 軸およびZ1 軸に直交するR1 軸を含むR1 Z1 平面内で、前記被測定物の表面形状の変化に追従するように前記Z1 軸方向に対してなす角α(ただしなす角αは鋭角)であるZ2 軸方向に移動させる第1の副移動機構による移動工程と、前記プローブを前記R1 Z1 平面内で前記Z1軸およびZ2軸方向とは異なるR2 軸方向に直線移動させるための第2の副移動機構による移動工程を有し、かつ、前記第1の副移動機構による移動工程および前記第2の副移動機構による移動工程の何れの工程においても、前記プローブ移動機構により、前記Z 1 軸とZ 2 軸のなす角αを一定にして、前記プローブを移動させることを特徴とする3次元形状測定方法。 - 前記プローブをR2 軸方向に直線移動させる工程は、前記プローブを前記Z2 軸に垂直な方向に直線移動することを特徴とする請求項9記載の3次元形状測定方法。
- 前記プローブをR2 軸方向に直線移動させる工程は、前記プローブを前記R1 軸に平行な方向に直線移動することを特徴とする請求項9記載の3次元形状測定方法。
- 前記Z1 軸とZ2 軸のなす角αを任意の角度に調整する工程を有することを特徴とする請求項9記載の3次元形状測定方法。
- 前記プローブの位置を測定する工程は、前記プローブのR1軸方向およびZ1軸方向の座標(r1 ,z1 )を測定することを特徴とする請求項9記載の3次元形状測定方法。
- 前記プローブの位置を測定する工程は、前記プローブのR2 軸方向およびZ2 軸方向の座標(r2 ,z2 )を測定することを特徴とする請求項9記載の3次元形状測定方法。
- 前記被測定物の形状測定データ(r2 ,z2 ,θ)をR1 Z1 θ座標系の形状測定データ(r2 cos α,z2 cos α,θ)に変換する工程を有することを特徴とする請求項14記載の3次元形状測定方法。
- 形状が即知である基準平面を被測定物として形状測定データ(r2 ,z2 ,θ)を取得する工程と、
この形状測定データ(r2 ,z2 ,θ)と、基準平面の設計形状データとを用いて形状誤差データを算出する工程と、
この形状誤差データから、Z1 軸とZ2 軸のなす角αを算出する工程と、
を有することを特徴とする請求項14または15記載の3次元形状測定方法。 - 前記第2の副移動機構により前記プローブをR2 軸方向に移動する工程は、前記プローブのR1 座標がプラスの範囲とマイナスの範囲を移動する工程であり、
前記R1 座標がプラスの範囲とマイナスの範囲における二つの形状測定データと、前記被測定物の設計形状データとを用いて形状誤差データを算出する工程と、
前記プローブのR1 座標がプラスの範囲における形状誤差データとマイナスの範囲における形状誤差データとの差を算出する工程と、
前記二つの範囲の形状誤差データの差を小さくするためのプローブR1 座標の補正値(Δr’)を求める工程と、
前記被測定物の形状測定データ(r1 ,z1 ,θ)に前記補正値(Δr’)を加算して当該形状測定データを補正する工程とをさらに有することを特徴とする請求項13記載の3次元形状測定方法。 - 前記第2の副移動機構により前記プローブをR2 軸方向に移動する工程は、前記プローブのR1 座標がプラスの範囲とマイナスの範囲を移動する工程であり、
前記R1 座標がプラスの範囲とマイナスの範囲における二つの形状測定データと、前記被測定物の設計形状データを用いて形状誤差データを算出する工程と、
前記プローブのR1 座標がプラスの範囲における形状誤差データとマイナスの範囲における形状誤差データとの差を算出する工程と、
前記二つの範囲の形状誤差データの差を小さくするためのプローブR1 座標の補正値(Δr’)を求める工程と、
前記被測定物の形状測定データ(r2 cos α,z2 cos α,θ)に前記補正値(Δr’)を加算して当該形状測定データを補正する工程とをさらに有することを特徴とする請求項15又は請求項16記載の3次元形状測定方法。
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Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP4480769B2 (ja) * | 2008-01-11 | 2010-06-16 | パナソニック株式会社 | 形状測定方法 |
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JP2011145303A (ja) * | 2011-03-23 | 2011-07-28 | Nikon Corp | 形状測定装置 |
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Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH11211426A (ja) * | 1998-01-29 | 1999-08-06 | Fuji Xerox Co Ltd | 面形状測定装置 |
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JP2003039282A (ja) * | 2001-07-30 | 2003-02-12 | Sharp Corp | 自由曲面加工装置および自由曲面加工方法 |
TW550375B (en) * | 2001-09-07 | 2003-09-01 | Olympus Optical Co | Apparatus for measuring a surface profile |
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- 2004-11-17 JP JP2004333500A patent/JP5032741B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103890535A (zh) * | 2011-10-19 | 2014-06-25 | 斯比特机械部件有限及两合公司 | 用于测量三维物体的方法 |
CN103890535B (zh) * | 2011-10-19 | 2018-02-27 | 斯比特机械部件有限及两合公司 | 用于测量三维物体的方法 |
Also Published As
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