DE60212470T3 - Vorrichtung und Verfahren zum Prüfen von Leiterplatten - Google Patents

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Nihon Densan Read Kabushiki Kaisha Yoshio Uji-shi Tsuji
Masayoshi Shiga-gun Yamada
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Description

  • Diese Erfindung bezieht sich auf eine Schaltungsplattentestvorrichtung bzw. Schaltungsplatinentestvorrichtung und ein Verfahren zum Testen eines solchen Zustands wie Kontinuität, eine offene Schaltung bzw. Arbeitsstromkreis, ein Kurzschlussstromkreis, einer Anzahl von Verdrahtungen, die auf einer Schaltungsplatte gebildet werden.
  • Es sollte erkannt werden, dass diese Erfindung anwendbar ist auf ein Testen eines elektrischen Zustands von Verdrahtungen, die auf einer Vielzahl von Schaltungsplatten oder Substraten gebildet sind, wie zum Beispiel Leiterplatten, flexible Schaltungsplatten, Mehrschichtschaltungsplatten, Glassubstrate zur Verwendung in Flüssigkristallanzeigen oder Plasmaanzeigefelder und Filmträger zur Verwendung in Halbleiterbauteilen, und dass der Ausdruck ”Schaltungsplatten”, wie er in dieser Beschreibung verwendet wird, eine dieser Vielzahl von Platten sein kann.
  • Schaltungsplatten werden gebildet mit einem Verdrahtungsmuster durch eine Anzahl von Verdrahtungen darauf. Es wurde eine Anzahl von Testvorrichtungen vorgeschlagen, zum Testen, ob das Verdrahtungsmuster gebildet wurde, wie es entworfen wurde. Ein neuer Trend eines Herstellens von kleinen und leichten elektronischen Geräten benötigt ein Anordnen eines Verdrahtungsmusters auf eine komplexe Weise auf einem kleinen Gebiet. Deshalb ist es schwierig, offene Schaltungen und geschlossene Schaltungen bzw. Kurzschlüsse von Verdrahtungen zu testen, durch direkten Kontakt von Messsonden oder Sonden bzw. Messköpfen mit der Schaltungsplatte. Deshalb wurde eine kontaktlose Testvorrichtung vorgeschlagen, um den Elektronenzustand eines Verdrahtungsmusters zu testen, wie zum Beispiel einer offenen Schaltung, ohne direkt einen Kontakt des Messkopfes mit einem sehr kleinen leitenden Pad bzw. Unterlage bzw. Kontaktfläche hervorzurufen.
  • Beispielsweise offenbart das japanische Patent Nr. 3080158 diese Art von Vorrichtung, die ausgebildet ist zum Testen einer offenen oder geschlossenen bzw. kurzgeschlossenen Schaltung einer Verdrahtung, die auf einer Schaltungsplatte gebildet ist. In der Vorrichtung wird speziell eine elektromagnetische Welle auf ein Pad bestrahlt, das mit jeder Verdrahtung eines Schaltungsmusters verbunden ist, das auf einer Schaltungsplatte gebildet ist, um dabei eine Entladung von Elektronen von dem Pad hervorzurufen, was einen photoelektrischen Effekt darstellt. Die offene oder Kurzgeschlossene-Schaltung der Verdrahtung wird getestet, basierend auf einem elektrischen Strom, der hervorgerufen wird durch entladene Elektronen, die in eine Erdungsebene (GND) oder externe metallische Platte gehen, die kapazitiv gekoppelt ist.
  • Die japanische ungeprüfte Patentveröffentlichung Nr. 8278342 offenbart eine Leiterplattentestvorrichtung, die Elektronen detektiert, die in einem Raum entladen werden, was einen photoelektrischen Effekt darstellt, um eine Kontinuität oder Offene-Schaltung von Verdrahtungen von der Leiterplatte zu testen. Insbesondere werden eine elektrische Ladungssonde und ein Elektromagnetische-Welle-Generator bewegbar bereitgestellt über der Leiterplatte mit einer spezifizierten Lücke oder Abstand dazwischen. Die elektrische Ladungssonde und der Elektromagnetische-Welle-Generator werden relativ über die Leiterplatte bewegt, um entladene bzw. abgesonderte Elektronen abzutasten. Der elektrische Zustand der Verdrahtungen wird beurteilt, basierend auf detektierten Veränderungen des elektrischen Stroms.
  • Die zuvor erwähnten herkömmlichen Techniken leiden an den folgenden Nachteilen. In der herkömmlichen Technik wird eine elektromagnetische Welle nur auf ein Pad oder Verdrahtungen bestrahlt. Elektronen, die abgesondert werden, was einen photoelektrischen Effekt beim Bestrahlen hervorruft, kehren zurück zu dem Pad und den Verdrahtungen, oder werden in den Raum gestreut, ohne dass sie für das Testen verwendet werden.
  • Des Weiteren bilden abgesonderte Elektronen einen räumlichen Ladungsbereich und verringern die Elektronenabsonderungseffizienz des photoelektrischen Effekts. Selbst wenn Elektronen sofort abgesondert werden, was einen photoelektrischen Effekt darstellt, kann ein Strom, der in der Erdungsplatte oder externen Metallplatte läuft, nicht mit Verlässlichkeit gemessen werden. Daher ist es schwer, eine stabile und genaue Testeffizienz zu erreichen.
  • In der Vorrichtung der japanischen ungeprüften Patentveröffentlichung Nr. 8-278342 werden ferner die Elektrische-Ladungssonde und der Elektromagnetische-Welle-Generator relativ zu der Leiterplatte bewegt, um abgesonderte Elektronen zu scannen bzw. abzutasten, was folglich die Größe der Vorrichtung vergrößert. Es wird gesehen werden, dass in dem Fall eines Erstellens eines Vakuumraums zwischen der Leiterplatte und der Elektrische-Ladungssonde und dem Elektromagnetische-Welle-Generator, eine große Vakuumerzeugungseinheit benötigt wird.
  • Die US Patentveröffentlichung Nr. US 4967152 offenbart eine Vorrichtung, die verwendet wird für eine nicht-kontaktelektrische Messung und physikalische Änderung von gewissen Charakteristiken und Eigenschaften der elektronischen Leitergeräte. Die Vorrichtung enthält eine fokussierte Quelle von ultraviolettem Licht, die in der Lage ist, Mikrometer- und Submikrometerauflösung zu erzielen.
  • In dem Messmodus misst die Vorrichtung die Energie der Elektronen, die aus einer Messstelle ausgegeben werden aufgrund des UV-Strahls. Diese Messung wird erreicht bei einem Annullierungs-/Abstoßungsgerät. In dem Änderungsmodus interagiert der fokussierte UV-Lichtstrahl mit verschiedenen Verbindungen, beispielsweise chemischen Gasen, um eine selektive Reaktion an spezifischen Orten an der Oberfläche des Geräts, auf dem gearbeitet wird, zu erzeugen.
  • Die Messfunktion kann in Verbindung stehen mit der Spannung, Strom, Temperatur oder ähnlichem und kann entweder qualitativ oder quantitativ sein, während sie auf einer Nicht-Kontakt-Basis durchgeführt wird.
  • Die europäische Patentanmeldungsveröffentlichung Nr. EP 0 424 270 offenbart eine Elektroemissionslaser-stimulierte Testanordnung für Leiterplatten oder ähnlichem, die einen abtastenden Laserstrahl verwendet, der auf einem Photoemissionsgitter auftrifft, das nahe der zu testenden Platte angebracht ist. Der Laserstrahl ruft in dem Gitter hervor, dass Elektronen lokal emittiert werden, die in Richtung der Platte aufgrund eines elektrischen Feldes zwischen dem Gitter und einer leitenden Ebene hinter der Platte angezogen werden. Der Abstand zwischen dem Gitter und dem Arbeitsstück ist sehr klein, so dass der Elektronenstrahl sehr lokalisiert ist und einen kurzen Abstand durchläuft; es gibt keinen Bedarf für ein Ablenken des Elektronenstrahls, während der Laserstrahl gescannt wird. Die von dem Gitter zu dem zu testenden Teil durch Elektronenfluss transferierte Ladung wird detektiert und korreliert mit der Position des Strahls, um einen Hinweis über den Status des leitenden Musters zu bekommen.
  • Unerwünschte kurzgeschlossene oder offene Schaltungsbedingungen unter den Leitern auf der Platte werden bestimmt durch Vergleichen des Ladungstransfers als Funktion der Strahlposition mit dem gewünschten Standardmuster, das durch eine fehlerfreie Platte produziert wurde.
  • Die europäische Patentanmeldungsveröffentlichung Nr. EP 0 264 481 offenbart ein Testverfahren für integrierte Schaltungspackplatten, unter Verwendung eines Lasers im Vakuum, einschließlich den folgenden Schritten:
    • (I) Ausgewählte Pads werden bestrahlt von einem fokussierten Laserstrahl, so dass sie positiv geladen werden aufgrund einer Photoemission von Elektronen. Die Ladungen gehen durch existierende Leiter, so dass alle ausgewählten Pads und alle mit diesen verbundenen Pads eine spezifische Spannung annehmen.
    • (II) Die gesamte Oberfläche wird bestrahlt durch einen flutenden Laserstrahl. Photoemission der Elektronen wird nun auftreten von diesen Pads, die vorher nicht geladen waren.
    • (III) Die Photoelektronen, die in Schritt II emittiert werden, werden detektiert durch eine Kanalplattenanordnung und einen positionssensitiven Detektor, womit die räumliche Verteilung der ungeladenen Pads aufgedeckt wird. Dieses Verfahren wird ausgeführt in Vakuum und erlaubt ein vollständig kontaktloses Testen von Schaltkreisen, um Leitungsunterbrechungen und Kurzschlüsse zwischen separaten Leitungen zu detektieren. Es ist auch für Oberflächenleitungen passend, sowie eingegrabenen Leitungen und insbesondere auch über Verbindungen.
  • Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Schaltungsplattentestvorrichtung und ein Testverfahren bereitzustellen, die die Probleme, die in dem Stand der Technik vorhanden sind, nicht aufweisen.
  • Es ist eine andere Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Schaltungsplattentestvorrichtung und ein Testverfahren bereitzustellen, die die Kontinuität und/oder Kurzschlüsse bzw. kurzgeschlossene Schaltungen von Verdrahtungen akkurat und stabil beurteilen können, die auf einer Schaltungsplatte gebildet sind.
  • Es ist eine andere Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Schaltungsplattentestvorrichtung und Testverfahren bereitzustellen, die ein effizienteres Testen der Kontinuität und/oder eines Kurzschlusses von Verdrahtungen versichern können, die auf einer Schaltungsplatte gebildet sind.
  • Es ist eine andere Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Schaltungsplattentestvorrichtung bereitzustellen, die eine kleine Größe aufweist, ein Testen von Verdrahtungen in einer kurzen Zeit ermöglicht.
  • Es ist noch eine weitere Aufgabe der Erfindung, eine Schaltungsplattentestvorrichtung und ein Testverfahren bereitzustellen, die ein Testen von Verdrahtungen ermöglichen, die auf der Schaltungsplatte gebildet sind, mit den Testsignalen, die von der Schaltungsplatte abgeleitet werden, ohne mechanischen Mechanikkontakt mindestens an einer Seite der Schaltungsplatte.
  • Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Schaltungsplattentestvorrichtung gemäß Anspruch 1 bereitgestellt.
  • Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung werden die ersten Anschlüsse bestrahlt mit der elektromagnetischen Welle, alternativ einer nach dem anderen. Auch wird den zweiten Anschlüssen der Verdrahtungen einem nach den anderen eine Spannung zugeführt. Alternativ kann eine Spannung dem zweiten Anschluss einer Verdrahtung neben einer ausgewählten Verdrahtung zugeführt werden, von der ein erster Anschluss von der elektromagnetischen Welle bestrahlt wird.
  • Für das Testen einer Schaltungsplatte mit Verdrahtungen, einschließlich einem Paar von Anschlüssen, gebildet auf einer Oberfläche der Schaltungsplatte und einem elektrischen Leiter, gebildet auf der Oberfläche der Schaltungsplatte oder innerhalb der Schaltungsplatte und verbunden mit dem Paar von Anschlüssen, kann bevorzugt eine zweite Elektrode bereitgestellt werden, die kapazitiv mit dem elektrischen Leiter zu koppeln ist. Die Kontinuität der elektrischen Leiter wird beurteilt, basierend auf einem Stromwert, wenn der erste Anschluss einer Zielverdrahtung bestrahlt wird und ein anderer Stromwert, wenn der zweite Anschluss der Zielverdrahtung bestrahlt wird.
  • Für das Testen einer Schaltungsplatte, einschließlich Verdrahtungen mit elektrischen Leitern, gebildet auf der Oberfläche oder innerhalb der Schaltungsplatte und elektrisch verbunden mit entsprechenden ersten und zweiten Anschlüssen, kann bevorzugt eine zweite Elektrode bereitgestellt werden, um kapazitiv mit den elektrischen Leitern gekoppelt zu werden. Der Kurzschluss zwischen Verdrahtungen wird bestimmt, basierend auf einem Stromwert, wenn der eine der ersten Anschlüsse bestrahlt wird, und ein anderer Stromwert, wenn ein anderer erster Anschluss bestrahlt wird.
  • Alternativ kann die elektromagnetische Welle zusammen auf die ersten Anschlüsse der Verdrahtungen bestrahlt werden. In diesem Fall kann es bevorzugt sein, eine Leistungsquelle bereitzustellen, mit einem ersten Pol, verbunden mit der Elektrode, und einem zweiten Pol, verbunden mit dem zweiten Anschluss einer Verdrahtung, die für den Test ausgewählt ist. Die zweiten Anschlüsse der Verdrahtungen, abgesehen von der Zielverdrahtung, können mit dem ersten Pol der Leistungsquelle bzw. Stromquelle verbunden sein. Alternativ kann der zweite Anschluss einer Zielverdrahtung verbunden sein mit dem zweiten Pol der Leistungsquelle mittels eines Stromdetektors zum Detektieren eines Stroms der Zielverdrahtung, während die zweiten Anschlüsse der Verdrahtungen, abgesehen von der Zielverdrahtung, verbunden sind mit dem zweiten Pol der Leistungsquelle, wobei der Stromdetektor umgangen wird.
  • Es kann bevorzugt sein, die ersten Anschlüsse der Verdrahtungen innerhalb eines luftdicht geschlossenen Raums einzuschließen, und den geschlossenen Raum Druck zu entlasten. Der Grad an Druckentlastung ist bevorzugt 10–2 atm.
  • Eine Schaltungsplattentestvorrichtung oder ein Verfahren gemäß der vorliegenden Erfindung stellen eine Genauigkeit und eine Effizienz beim Testen der Kontinuität und/oder eines Kurzschlusses von Verdrahtungen bei einer Schaltungsplatte bereit, weil Elektronen, abgesondert durch den photoelektrischen Effekt, aufgefangen werden von der elektrisch vorgespannten Elektrode und einen verbesserten elektrischen Strom durch die Verdrahtungen hervorrufen, die mit der Elektrode verbunden sind.
  • In einem anderen Aspekt der Erfindung wird ein Verfahren gemäß Anspruch 18 bereitgestellt
  • 1 ein Diagramm zeigt, das eine Schaltungsplattentestvorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 2 ein Blockdiagramm zeigt, das eine elektrische Anordnung der in 1 gezeigten Testvorrichtung zeigt;
  • 3 ein Flussdiagramm zeigt, das die Operationen der in 1 gezeigten Testvorrichtung zeigt;
  • 4 ein Flussdiagramm zeigt, das die Operationen eines Testens einer Offenen-Schaltung durch die in 1 gezeigte Testvorrichtung zeigt;
  • 5 ein Zeitdiagramm bzw. Timing-Diagramm in dem Offenen-Schaltungs-Test zeigt;
  • 6 ein Flussdiagramm zeigt, das Operationen für ein Kurzschlusstesten durch die in 1 gezeigte Testvorrichtung zeigt;
  • 7 ein Diagramm zeigt, das eine Schaltungsplattentestvorrichtung als eine Modifizierung der ersten Ausführungsform zeigt;
  • 8 ein Diagramm zeigt, das eine Schaltungsplattentestvorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung zeigt;
  • 9 ein Blockdiagramm zeigt, das eine elektrische Anordnung der in 8 gezeigten Testvorrichtung zeigt;
  • 10 ein Flussdiagramm zeigt, das Operationen der in 8 gezeigten Testvorrichtung zeigt;
  • 11 ein Flussdiagramm zeigt, das Operationen eines Testens einer Offenen-Schaltung durch die in 8 gezeigte Testvorrichtung zeigt;
  • 12 ein Diagramm zeigt, das eine Testvorrichtung als erste Modifizierung der zweiten Ausführungsform zeigt;
  • 13 ein Diagramm zeigt, das eine Testvorrichtung als zweite Modifizierung der zweiten Ausführungsform zeigt;
  • 14 ein Flussdiagramm zeigt, das Operationen eines Testens einer Offenen/Kurzgeschlossenen-Schaltung durch die in 13 gezeigte Vorrichtung zeigt;
  • 15 ein Diagramm zeigt, das eine Testvorrichtung als dritte Modifizierung der zweiten Ausführungsform zeigt;
  • 16 ein Flussdiagramm zeigt, das Operationen eines Tests einer Offenen/Kurzgeschlossenen-Schaltung durch die in 15 gezeigte Vorrichtung zeigt; und
  • 17 ein Diagramm zeigt, das eine Testvorrichtung als vierte Modifizierung der zweiten Ausführungsform zeigt.
  • Es wird Bezug genommen auf 1 und 2, die eine Schaltungsplattentestvorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung zeigen, wobei eine Schaltungsplattentestvorrichtung ausgebildet ist zum Testen einer Schaltungsplatte 10, auf der ein Halbleiter-Chip anzubringen ist, gemäß einem C4-(kontrollierte Kollaps-Chip-Verbindung, englisch: Controlled Collapse Chip Connection)-Packverfahren.
  • Wie in 1 gezeigt, wird die Schaltungsplatte 10 gebildet mit einer Anzahl von Verdrahtungen 12, 121, 122 auf einer Basisplatte 11. Jede Verdrahtung 12, 121 oder 122 enthält ein Pad-Teil 12a, 121a oder 122a, das auf einer oder oberen Fläche der Basisplatte 11 gebildet wird, in Übereinstimmung mit einem Pad-Teil, mit dem ein Halbleiter-Chip verbunden ist, sowie ein Ball-Gitter-Teil 12b, 121b oder 122b, das auf der gegenüberliegenden oder Unterseite der Basisplatte 11 gebildet wird, und ein leitendes Teil 12c, das sich durch die Basisplatte 11 erstreckt, um das Pad-Teil 12a, 121a oder 122a und das Ball-Gitter-Teil 12b, 121b oder 122b elektrisch zu verbinden. (Aus Gründen der Einfachheit der Erklärung wird eine Beschreibung ab jetzt durchgeführt mit Bezug auf das Pad-Teil 12a, Ball-Gitter-Teil 12b und leitendes Teil 12c repräsentativ für die oben erwähnten Pads und Leiter, außer, wenn es benötigt wird, sich auf andere Pads und Leiter für bestimmte Zwecke zu beziehen).
  • Die Pad-Teile 12a sind angeordnet bei einem kleineren Abstand, um sich an die Pads anzupassen, die mit den Halbleiter-Chips verbunden sind, wobei die Ball-Gitter-Teile 12b mit einem größeren Abstand verglichen mit dem Abstand der Pad-Teile 12a angeordnet sind. In dieser Ausführungsform wird die Schaltungsplatte 10 mit der obigen Konstruktion als ein durch die Vorrichtung zu testendes Werkstück bezeichnet. Jedoch braucht es nicht gesagt zu werden, dass eine durch die Vorrichtung zu testende Schaltungsplatte nicht begrenzt ist auf den oben erwähnten Chip. Es sollte bemerkt werden, dass, obwohl die Zeichnung nur drei Verdrahtungen zur Klarstellung zeigt, tatsächliche Schaltungsplatten mit einer großen Anzahl von Verdrahtungen auf den Ober- und Unterflächen oder in dem Inneren oder beidem der zwei Flächen und der Innenseite der Schaltungsplatte gebildet sind.
  • Die Vorrichtung wird bereitgestellt mit einem Werkstückhalter 21, um ein Stück einer Schaltungsplatte als Werkstück 10 zu tragen. Der Werkstückhalter 21 ist zwischen einer Testposition (in 1 gezeigte Position), wo das Werkstück 10 getestet wird, und einer Lade/Entlade-Position (nicht gezeigt), wo das Werkstück 10 in den Werkstückhalter 21 ladbar oder entladbar von dem Werkstückhalter 21 ist, bewegbar. Ein Werkstückantreibemechanismus 22 treibt den Werkstückhalter 21 vor und zurück an zwischen der Testposition und der Lade/Entlade-Position gemäß einem Steuersignal von einer Steuerung 30, die einen Gesamtbetrieb der Vorrichtung steuert.
  • Eine untere Befestigungseinheit 40 ist bereitgestellt unter dem Werkstück 10 bei der Testposition. Die untere Befestigungseinheit 40 enthält eine Vielzahl von leitenden Federsonden 41, die angeordnet sind, entsprechend den Ball-Gitter-Teilen 12b der jeweiligen Verdrahtungen 12. Die untere Befestigungseinheit 40 enthält ferner einen Multiplexer 42, und eine untere Befestigungsbasis (nicht gezeigt), die bewegbar ist in Richtung und weg von dem Werkstück 10, während die Sonden 41 und der Multiplexer 42 darauf getragen werden. Die untere Befestigungsbasis ist mit einem Untere-Befestigungseinheit-Antriebsmechanismus 43 gekoppelt. Der Untere-Befestigungseinheit-Antriebsmechanismus 43 bewegt fahrend die untere Befestigungsbasis in Richtung und weg von dem Werkstück 10, in Ansprechen auf ein Steuersignal von der Steuerung 30.
  • Eine obere Befestigungseinheit 50 ist bereitgestellt über dem Werkstück 10 bei der Testposition. Die obere Befestigungseinheit 50 enthält ein deckelartiges Gehäuse, das so konfiguriert ist, dass es einen gewissen Bereich auf einer Oberfläche des Werkstücks 10 abdeckt. Das Gehäuse enthält eine Plattenelektrode 51, hergestellt aus einer transparenten Elektrode und Abschirmgliedern 52, hergestellt aus beispielsweise einem Gummi. Die obere Befestigungseinheit 50 wird bewegt in Richtung und weg von dem Werkstück 10 als integrale Einheit. Mit dieser Anordnung wird, wenn ein Obere-Befestigungseinheitantriebsmechanismus 55, gekoppelt mit der oberen Befestigungseinheit 50, aktiviert wird, in Ansprechend auf einen Antriebsbefehl von der Steuerung 30, die obere Befestigungseinheit 50 zu dem Werkstück 10 bewegt. Wenn ein Endteil 52a der Abschirmglieder 52 in Kontakt kommt mit der Oberfläche des Werkstücks 10, deformiert sich das Abschirmglied und stößt gegen die Oberfläche des Werkstücks 10 aufgrund eines Gegendrucks. Das Endteil 52a dient dazu, eine luftdichte Umschließung zu erstellen, die von dem Gehäuse 50 und dem Werkstück 10 umgeben ist. In dieser Ausführungsform ist das Endstück 52a des Abschirmungsglieds 52 selbst deformierbar für das Dichten der Umschließung. Jedoch ist diese Erfindung nicht begrenzt auf diese Anordnung. Ein Dichteglied kann bereitgestellt werden zwischen dem Abschirmglied 52 und dem Werkstück 10, wie es der Fall sein kann.
  • Eine Atmosphärensteuerung 70 bzw. Drucksteuerung wird funktionsbereit verbunden mit dem Gehäuse 50 zum Druckentlasten des geschlossenen Raumes SP. Wenn das Werkstück getestet wird, wird der geschlossene Raum SP bevorzugt unter einem Vakuum mit einem Grad von 10–2 atm gehalten. In dem Fall eines Vakuumgrads geringer als 10–2 atm, nimmt die Elektronenentladungsrate bzw. Elektronenabsonderungsrate ab. Andererseits erhöht der höhere Vakuumgrad die Elektronenabsonderungsrate. Jedoch wird eine längere Zeit benötigt, bis der geschlossene Raum SP einen gewünschten höheren Vakuumgrad erreicht, was daher die Testzeit erhöht. Gemäß den Experimenten der Erfinder wurde bestätigt, dass ausreichend Photoelektronen abgesondert werden, unter dem Druck von 10–2 atm, der erreicht werden kann in einer relativ kurzen Zeit.
  • Das Gehäuse 50 kann bevorzugt eine solche Größe aufweisen, dass es den Bereich auf dem Werkstück 10 abdeckt, auf dem die Pad-Teile 12a der Verdrahtung, die zu testen ist, sich befinden. Mit dieser Anordnung kann der geschlossene Raum SP, der eine Druckentlastung braucht, minimiert werden. Als Ergebnis kann die Vorrichtung als Ganzes klein gemacht werden, und die zur Druckentlastung benötigte Zeit kann verkürzt werden.
  • Ein Elektromagnetische-Welle-Strahler 60 ist bereitgestellt in der Vorrichtung zum Bestrahlen einer elektromagnetischen Welle auf einen Anschluss oder ein Pad der zu testenden Verdrahtung, das heißt, einer ausgewählten Verdrahtung einer Anzahl von Verdrahtungen 12, die auf dem Werkstück 12 gebildet sind. Der Elektromagnetische-Welle-Strahler 60 enthält einen Elektromagnetische-Welle-Emittierabschnitt 61, der eine Elektromagnetische Welle L emittiert, in Ansprechen auf einen Betriebsbefehl von der Steuerung 30. Ein Elektromagnetische-Welle-Scan-Abschnitt 62 richtet die Elektromagnetische Welle L auf einen gewünschten Ort auf dem Werkstück 10, in Ansprechen auf einen Betriebsbefehl von der Steuerung 30. Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist der Elektromagnetische-Welle-Emittierabschnitt 61 so konstruiert, dass er ultraviolette Laserlichtstrahlen mit einer Wellenlänge von 266 nm emittiert. Der Elektromagnetische-Welle-Emittierabschnitt 61 ist auch bereitgestellt mit einem optischen System zum Fokussieren der Laserlichtstrahlen auf das Pad-Teil 12a einer Zielverdrahtung 12.
  • In dieser Ausführungsform emittiert der Elektromagnetische-Welle-Emittierabschnitt 61 ultraviolette Laserlichtstrahlen für den Zweck eines Hervorrufens eines photoelektrischen Effekts. Jedoch ist diese Erfindung nicht begrenzt auf die Anordnung der Ausführung, und sichtbare Lichtstrahlen, Infrarotlichtstrahlen oder ihre Äquivalente können verwendet werden.
  • Es ist allgemein bekannt, dass der photoelektrische Effekt unter der folgenden Bedingung auftritt: Photonenenergie ≥ Austrittsarbeit spezifisch für das Material : Energie zum Absondern von Elektronen von dem Material
  • Daher sollte Lichtenergie dem Material zugeführt werden, um die oben erwähnte Ungleichung zu erfüllen.
  • Der Elektromagnetische-Welle-Emittierabschnitt 61 ist so konstruiert, dass er angetrieben wird, basierend auf einem Pulssignal mit Verwendung eines Q-Schalterelements bzw. Güteschalterelements und ähnlichem. Der Elektromagnetische-Welle-Scan-Abschnitt 62 enthält einen Galvanometer für die Steuerung der Richtung der Elektromagnetische-Welle.
  • Eine Gleichstrom-(DC)-Leistungsquelle 80 ist bereitgestellt in der Vorrichtung, um einen Potentialunterschied oder eine Spannung zwischen die Plattenelektrode 51 und das Ball-Gitter 12b als entgegengesetzter Anschluss der zu testenden Verdrahtung anzulegen. Gemäß der vorliegenden Ausführungsform verbessert die Anlegung einer Spannung in der obigen Art und Weise das Einfangen von den Elektronen durch die Elektrode 51 und ermöglicht ein effizientes Testen der Verdrahtung mittels Photoelektronen, die hervorgerufen werden durch Projektion der Elektromagnetischen Welle, wie zum Beispiel eines Laserstrahls, während einem Unterdrücken des Zurückkehrens oder Streuens von abgesonderten Elektronen und Formation eines Räumlichen Abstands der elektrischen Ladungen, wie es in dem Stand der Technik gesehen wurde.
  • Ferner ist ein Stromdetektierabschnitt 90 bereitgestellt in einer leitenden Schaltungsbahn, durch den ein Strom von einem Anschluss der Leistungsquelle 80 bzw. Stromquelle zu dem entgegengesetzten Anschluss derselben über die Plattenelektrode 51 läuft, sowie die Zielverdrahtung zum Detektieren des Stroms, der in der Schaltungsbahn läuft. Insbesondere ist der Plus-Anschluss der Leistungsquelle 80 elektrisch mit der Plattenelektrode 51 verbunden. Der Minus-Anschluss der Leistungsquelle 80 ist verbunden mit einem Anschluss des Multiplexers 42 über den Stromdetektierabschnitt 90, während der entgegengesetzte Anschluss des Multiplexers 42 mit einer Anzahl von Sonden 41 verbunden ist, die in Kontakt mit jeweils entsprechenden Ball-Gitter-Teilen 12b der Verdrahtung 12 sind.
  • Wenn eine Verdrahtung in dieser Ausführungsform ausgewählt wird von der Anzahl von Verdrahtungen 12 durch Umschalten auf Schaltteile, die den Multiplexer 42 darstellen, in Ansprechen auf einen Auswahlbefehl von der Steuerung 30 mit einer Ausgangsspannung von der Leistungsquelle 80, die angelegt wird zwischen dem Ball-Gitter-Teil 12b der zu testenden Verdrahtung und der Plattenelektrode 51.
  • Nachfolgend bestrahlt der Elektromagnetische-Welle-Strahler 60 eine Elektromagnetische Welle L, die wiederum projiziert wird auf dem Pad-Teil 12a der Zielverdrahtung, um dabei Elektronen von der Oberfläche des Pad-Teils 12a abzusondern, aufgrund des photoelektrischen Effekts. Die abgesonderten Elektronen werden elektrisch angezogen durch die Plattenelektrode 51, wobei die daran angelegte Spannung behilflich ist. Diese Anordnung eliminiert eine Wahrscheinlichkeit, dass Elektronen, sobald abgesondert, zurückkehren können zu dem Pad-Teil oder auf die anderen Pad-Teile gestreut werden, oder räumliche Bereiche von Elektronenladungen bilden, wie es in der herkömmlichen Anordnung auftritt.
  • In dieser Ausführungsform werden Elektronen abgesondert von der Oberfläche des Pad-Teils 12a, die mit dem Ball-Gitter-Teil 12b verbunden ist. Demgemäß wird, wenn die zu testende Verdrahtung kontinuierlich ist, und kein Offenes-Schaltungsteil besitzt, eine leitende Schaltungsbahn von dem Plus-Anschluss der Leistungsquelle 80 zu dem Minus-Anschluss der Leistungsquelle 80 über die Plattenelektrode 51, die Zielverdrahtung, die Probe 41, den Multiplexer 42 und den Stromdetektierabschnitt 90 erstellt. Der Stromdetektierabschnitt 90 misst einen Strom, der in der Bahn läuft und gibt ein analoges Signal entsprechend zu dem gemessenen Strom aus. Daher dient in dieser Ausführungsform die Plattenelektrode 51 als ein Elektrodenteil, und der Stromdetektierabschnitt 90 dient als ein Stromdetektor.
  • In der oben erwähnten Ausführungsform mit Bezug auf 1 ist ein Teil 42a einer Anzahl von Schaltteilen, die den Multiplexer 42 darstellen, verbunden mit dem entgegengesetzten Anschluss der Leistungsquelle 80, eine Spannung wird angelegt and die Sonde 41a, die mit dem Schaltteil 42a verbunden ist, und eine elektromagnetische Welle L wird auf ein Pad-Teil 121a projiziert, das mit der Sonde 41a verbunden ist. In diesem Fall ist eine Verdrahtung 121 eine Zielverdrahtung oder zu testende Verdrahtung. Falls die Verdrahtung 121 in einem normalen kontinuierlichen Zustand ist, geht ein gewisser Wert an Strom durch die zuvor erwähnte leitende Schaltungsbahn, aufgrund der Elektronen, die von der Oberfläche des Pad-Teils 121a abgesondert werden. Auf der anderen Seite ist, falls die Verdrahtung 121 in Diskontinuität oder offen geschaltet ist, ein Stromwert, detektiert durch den Stromdetektierabschnitt 90 Null oder über die Maßen geringer, als ein Stromwert, der in dem Fall detektiert wird, wo die Verdrahtung 121 eine Kontinuität aufweist. Diese Anordnung ermöglicht der Steuerung 30 zu bestimmen, ob die Zielverdrahtung 121 eine Kontinuität oder Diskontinuität aufweist, basierend auf dem Strom, der von dem Stromdetektierabschnitt 90 detektiert wird. Daher weist in dieser Ausführungsform die Steuerung 30 eine Funktion eines Bestimmens des Zustands der getesteten Verdrahtung auf, sowie andere verschiedene Betriebssteuerfunktionen.
  • Wenn ein Offene-Schaltungs-Test mit Bezug auf die Zielverdrahtung 121 beendet ist, wird die Verbindung der Schaltteile auf die andere Sonde geschaltet. Wenn eine neue Zielverdrahtung ausgewählt wird von den Schaltteilen, und eine Elektromagnetische Welle auf ein Pad-Teil der neuen Zielverdrahtung projiziert wird, wird ein Offene-Schaltungs-Test der neuen Zielverdrahtung auf die gleiche Art und Weise, wie oben erwähnt, ausgeführt. Daher dient in dieser Ausführungsform ein Multiplexer 42 als ein Auswähler.
  • In dieser Ausführungsform ermöglicht die Schaltverbindung von dem Multiplexer 42 und eine selektive Bestrahlung des Pad-Teils auch ein Testen eines Kurzschlusses zwischen einem Paar von Verdrahtungen. Hier wird eine Beschreibung durchgeführt für einen Fall, wo die Verdrahtung 12, bereitgestellt an der linken Seite des Werkstücks 10 in 1, als ”erste Zielverdrahtung” bezeichnet wird, und die Verdrahtung 121, bereitgestellt im Wesentlichen transversal in der Mitte des Werkstücks 10, wird als ”zweite Zielverdrahtung” bezeichnet, und ein Test wird ausgeführt, ob es ein Kurzschlussteil zwischen dem Verdrahtungspaar 12 und 121 gibt. In diesem Fall ist beispielsweise ein Mittelschaltteil 42a, das elektrisch mit der zweiten Zielverdrahtung 121 verbunden ist, mit dem entgegengesetzten Anschluss der Leistungsquelle 80 verbunden. Eine Elektromagnetische Welle L wird auf dem Pad-Teil 12 der ersten Zielverdrahtung 12 bestrahlt.
  • Unter der oben erwähnten Bedingung wird ein elektrisches Feld zwischen der Plattenelektrode 51 und dem Pad-Teil 12a (ein Ende) der ersten Zielverdrahtung 12 durch Anwendung einer Spannung auf die Plattenelektrode 51 und die zweite Zielverdrahtung 121 erzeugt. Durch die Bestrahlung des Laserstrahls abgesonderte Elektronen werden von dem Pad-Teil 12a der ersten Zielverdrahtung 12 elektrisch durch die Plattenelektrode 51 angezogen. In dem Fall, wo ein kurzgeschlossenes Teil existiert, zwischen der ersten Zielverdrahtung 12 und der zweiten Zielverdrahtung 121, wird eine leitende Bahn erstellt, durch die ein Strom von der Leistungsquelle 80 geht und dahin zurückkehrt über die Plattenelektrode 51, die erste Zielverdrahtung 12, das kurzgeschlossene Teil und die zweite Zielverdrahtung 121. Daher wird ein durch das Zielverdrahtungspaar 12 und 121 gehender Strom durch den Stromdetektierabschnitt 90 gemessen.
  • Andererseits wird, in dem Fall, wo das Zielverdrahtungspaar 12 und 121 nicht in dem kurzgeschlossenen Zustand ist, die zuvor erwähnte leitende Bahn nicht errichtet, und der durch den Stromdetektierabschnitt 90 detektierte Wert ist Null oder viel geringer als der Stromwert, der detektiert wird, wenn das Zielverdrahtungspaar 12 und 21 in einem kurzgeschlossenen Zustand ist. Diese Anordnung für die Detektion eines Stroms, der in dem Zielverdrahtungspaar läuft, ermöglicht eine effiziente und stabile Bestimmung, ob das Zielverdrahtungspaar in einem kurzgeschlossenen Zustand ist oder nicht. Testen kann ausgeführt werden mit Bezug auf die anderen Verdrahtungspaare in einer, wie oben erwähnten, ähnlichen Art und Weise. Beispielsweise wird, wenn das Pad-Teil der Verdrahtung, die sich an der rechten Seite des Werkstücks 10 in 1 befindet, bestrahlt wird mit einer Elektromagnetischen Welle L in dem in 1 gezeigten Zustand, eine Bestimmung durchgeführt, ob es ein kurzgeschlossenes Teil zwischen der zweiten Zielverdrahtung 121 und der rechtseitigen Verdrahtung gibt.
  • 3 zeigt ein Flussdiagramm, das einen Betrieb der in 1 gezeigten Schaltungsplattentestvorrichtung zeigt. Zuerst wird ein ungetestetes Werkstück (Schaltungsplatte) 10 auf dem Werkstückhalter 21 bei der Lade-/Entlade-Position durch ein Handhabungsgerät (nicht gezeigt) geladen, das in der Testvorrichtung bereitgestellt wird oder durch einen manuellen Betrieb eines Betreibers (in Schritt S1). Dann startet die Steuerung 30 die Operationen der verschiedenen Teile der Vorrichtung zu Steuern, um die folgenden Schritte S2 bis S9 so auszuführen, dass kurzgeschlossene und Offene-Schaltungen des Werkstücks 10 getestet werden.
  • Zuerst klemmt der Werkstückhalter 21 bei Schritt S2 das Werkstück ein. Der Werkstückhalter 21, der das Werkstück 10 daran hält, wird auf die Testposition bewegt (in 1 gezeigte Position), wo das Werkstück 10 zu testen ist (Schritt S3). Daher wird das Werkstück 10 bei der Testposition positioniert.
  • Nachfolgend werden die obere Befestigungseinheit 50 und die untere Befestigungseinheit 40 zu dem Werkstück 10 bewegt, um das Werkstück 10 dazwischenpressend zu halten (in Schritt S4). Wie in 1 gezeigt, wird, wenn die untere Befestigungseinheit 40 zu dem Werkstück 10 bei der Testposition bewegt wird, ein Anschlussende von jeder der leitenden Federsonden 41 in pressenden Kontakt mit dem entsprechenden Ball-Gitter-Teil 12b der Verdrahtung 12 gebracht, um dabei das Werkstück 10 mit der unteren Befestigungseinheit 40 elektrisch zu verbinden. Während die obere Befestigungseinheit 50 zu dem Werkstück 10 bei der Testposition bewegt wird, bildet das Gehäuse 51 und das Werkstück 11 simultan einen luftdicht geschlossenen Raum SP, wie in 1 gezeigt.
  • Daher werden, wenn die Vorrichtung eingerichtet ist zum Testen des Werkstücks 10, ein Offene-Schaltungs-Test (Schritt S5) und ein Kurzgeschlossene-Schaltungs-Test (Schritt S6) implementiert zum Testen einer Kontinuität der Verdrahtungen des Werkstücks 10. Diese Tests werden später im Detail beschrieben.
  • Sobald die Tests beendet sind, werden die untere Befestigungseinheit 40 und die obere Befestigungseinheit 50 weg von dem Werkstück 10 bewegt, um das Werkstück 10 von den Befestigungen (in Schritt S7) loszulassen. Der Werkstückhalter 21 wird zu der Lade-/Entlade-Position bewegt, um ein Einklemmen des Werkstücks 10 (in Schritt S8) freizugeben. Bei einer letzten Stufe kehrt, nach einem Verifizieren, dass das Werkstück 10 nach den Tests von dem Werkstückhalter 21 in Schritt S9 entladen wurde, die Routine zu Schritt S1 zurück, um die vorher erwähnten Serien von Operationen mit einem anderen Werkstück auszuführen.
  • Als Nächstes wird der Offene-Schaltungs-Test (Schritt S5) im Detail mit Bezug auf die 4 und 5 beschrieben. 4 zeigt ein Flussdiagramm, das einen Offene-Schaltungs-Test zeigt, der von der Vorrichtung zu implementieren ist. 5 zeigt ein Zeitdiagramm bzw. Timing-Diagramm für den Offene-Schaltungs-Test.
  • Der geschlossene Raum SP, der in Schritt S4 gesichert wird, wird mit Luft gefüllt, die Sauerstoff enthält. Falls eine elektromagnetische Welle bestrahlt wird auf das Pad-Teil 12a in dem geschlossenen Raum SP in diesem Zustand, ist es höchstwahrscheinlich, dass Moleküle in der Luft Elektronen hindern, die durch den photoelektrischen Effekt erzeugt werden, dass sie richtig von der Oberfläche des Pad-Teils abgesondert werden, was es schwierig macht, einen stabilen Strom aufgrund der Elektronen zu messen. Um einen solchen Nachteil zu vermeiden, wird in dieser Ausführungsform die Atmosphärensteuerung 70 aktiviert zum Druckentlasten des Inneren des Gehäuses 50, auf ungefähr 10–2 atm, in Ansprechen auf einen Betriebsbefehl von der Steuerung 30 (im Schritt S51).
  • Beim Beenden der Druckentlastung wird, wie in 5 gezeigt, der Multiplexer 42 gemäß eines Auswahlbefehls von der Steuerung 30 aktiviert, und eine Verdrahtung 12 (Zielverdrahtung) wird elektrisch verbunden mit dem Minus-Ausgangsanschluss der Leistungsquelle 80 (in Schritt 53). Daher wird die erste Zielverdrahtung ausgewählt, wobei die Spannung der Leistungsquelle 80 zwischen der Elektrode 51 und dem Ball-Gitter der ausgewählten Verdrahtung angelegt wird. Dann wird ultraviolettes Laserlicht in der Form von Pulsen oder einer anderen Art einer elektromagnetischen Welle auf das Pad-Teil 12a der ausgewählten Verdrahtung bei einem vorbestimmten Timing bestrahlt, wie es in 5 gezeigt ist (in Schritt S54).
  • Während der Bestrahlung misst der Stromdetektierabschnitt 90 den Strom, der sich, wie in 5 gezeigt, ändert (in Schritt S55). Es wird bestimmt, ob die Zielverdrahtung in einem Offene-Schaltungs-Zustand ist oder nicht, basierend auf dem gemessenen Stromwert (in Schritt S56). Eine Beurteilung hinsichtlich einer offenen Schaltung kann nur ausgeführt werden, basierend auf der Anwesendheit oder Abwesendheit einer detektierten Ausgabe. Bevorzugt kann jedoch eine offene Schaltung bestimmt werden durch Vergleichen von einem Stromwert, der mit einer Referenzschaltungsplatte gemessen wird, mit einem Strom, der mit der zu testenden Schaltungsplatte gemessen wird. Eine Folge von Operationen von einer Auswahl der Zielverdrahtung (Schritt S53) zur Bestimmung hinsichtlich einer offenen Schaltung (Schritt S56), wird wiederholt, bis es bestimmt wird, dass alle Verdrahtungen in Schritt S57 getestet wurden.
  • Wie oben erwähnt, wird in der Testvorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform, ein elektrisches Feld zwischen der Plattenelektrode 51 und dem Pad-Teil 121a durch Anlegen einer Spannung an die Plattenelektrode 51 und dem Ball-Gitter-Teil (entgegengesetzter Anschluss) 121b der Zielverdrahtung 121 erzeugt. Elektronen, die von einem Anschluss der Zielverdrahtung 121 durch den photoelektrischen Effekt abgesondert wurden, aufgrund von einer Bestrahlung einer elektromagnetischen Welle, werden elektrisch angezogen durch die Plattenelektrode 51, wobei die Existenz des elektrischen Feldes hilft. Mit dieser Anordnung wird, in dem Fall, wo die Zielverdrahtung 121 eine Kontinuität darstellt, eine leitende Bahn erstellt, durch die ein Strom von der Leistungsquelle 80 läuft und dahin zurückkehrt, über die Plattenelektrode 51 und die Zielverdrahtung 121, und ein Strom, der durch die Zielverdrahtung 121 geht, kann stabil durch den Stromdetektor gemessen werden.
  • Andererseits wird, in dem Fall, wo die Zielverdrahtung 121 eine Diskontinuität aufweist, die zuvor erwähnte leitende Bahn nicht errichtet werden, und der Stromwert, der von dem Stromdetektierabschnitt 90 detektiert wird, ist Null oder viel niedriger als der Stromwert, der in dem Fall detektiert wird, wo die Zielverdrahtung 121 eine Kontinuität aufweist. In dieser Anordnung kann präzise und stabil bestimmt werden, ob die Zielverdrahtung 121 eine Kontinuität aufweist durch Detektieren eines Stroms, der durch die Zielverdrahtung 121 geht.
  • In dieser Ausführungsform wird der geschlossene Raum SP, der das Pad-Teil, das zu bestrahlen ist, umschließt, druckentlastet, und Moleküle in der Luft innerhalb des geschlossenen Raumes SP, die in der Lage sind, ein Absondern von Elektronen, die durch den photoelektrischen Effekt erzeugt werden, zu verhindern, können verringert werden. Dabei werden Elektronen effizient abgesondert, und eine stabile Strommessung wird ermöglicht. Ferner kann, da das Gehäuse 50, das den geschlossenen Raum SP definiert, so konfiguriert ist, dass es eine minimale Fläche des Werkstücks 10 bedeckt, der Raum für eine Druckentlastung minimiert werden, was bei der Erstellung einer kleinen Vorrichtung hilft und eine Zeit verkürzt, die für eine Druckentlastung benötigt wird.
  • In dieser Ausführungsform wird eine leitende Bahn, durch die ein Strom fließt, von dem Plus-Anschluss der Leistungsquelle 80 zu dem Minus-Anschluss der Leistungsquelle 80 über die Plattenelektrode 51, die Zielverdrahtung 12, die Sonde 41, den Multiplexer 42 und den Stromdetektierabschnitt 90 erstellt, und eine Beurteilung wird durchgeführt, ob die Zielverdrahtung in einem Offene-Schaltungs-Zustand ist, durch Messen einer Änderung eines Stroms, der durch die leitende Bahn geht bzw. fließt. In anderen Worten kann, da die Testvorrichtung so konstruiert ist, dass eine leitende Schaltungsbahn errichtet wird, ein Stromwert stabil gemessen werden.
  • Ferner wird in dieser Ausführungsform eine transparente Elektrode als die Plattenelektrode 51 verwendet. Diese Anordnung ist in dem folgenden Punkt vorteilhaft. Eine elektromagnetische Welle kann auf das Pad-Teil der Zielverdrahtung selbst dann gestrahlt werden, wenn die Plattenelektrode 51 hoch über der Zielverdrahtung bereitgestellt wird, weil die elektromagnetische Welle durch die transparente Elektrode 51 geht und das Pad-Teil bestrahlt. Hinsichtlich dem oben gesagten, kann in dieser Ausführungsform die Plattenelektrode 51 mehr an dem Pad-Teil 121a der Zielverdrahtung 121 angeordnet werden, und Elektronen, die von dem Pad-Teil 121a bei Bestrahlung abgesondert werden, können sicher durch die Plattenelektrode 51 gefangen werden, um dabei einen stabileren Test sicherzustellen.
  • Des Weiteren können in dieser Ausführungsform, da die Plattenelektrode 51 solch eine Form hat, dass sie eine Gruppe von Verdrahtungen, die zu testen sind, abdeckt, die folgenden Wirkungen erhalten werden. Insbesondere braucht diese Anordnung nicht transversal die Plattenelektrode 51 zu bewegen, um mit dem Ort der Zielverdrahtung überein zu stimmen, und erlaubt einer elektromagnetischen Welle, durch die Plattenelektrode 51 zu gehen und die Zielverdrahtung zu bestrahlen, während die Plattenelektrode 51 fest ist. Diese Anordnung ermöglicht die Konstruktion der oberen Befestigungseinheit 50 und den Oberen-Befestigungseinheitsantriebsmechanismus 55 zu vereinfachen und eine Testzeit zu verkürzen. Ferner kann, da die Plattenelektrode 51 einen Teil des Gehäuses 50 darstellt, die Anzahl an Teilen, die die Vorrichtung darstellen, verringert werden.
  • Als Nächstes wird der Kurzgeschlossene-Schaltungs-Test bzw. Kurzschlusstest (Schritt S6) mit Bezug auf 6 beschrieben. 6 zeigt ein Flussdiagramm, das einen Kurzschlusstest von der Vorrichtung zeigt. Ein Gesamtfluss des Kurzschlusstests ist grundlegend der gleiche, wie der Offene-Schaltungs-Test (Schritt S5), außer dass der Kurzschlusstest eine Überschaltsteuerung des Multiplexers 42 in Zusammenhang mit einer Bestrahlung auf das Pad-Teil enthält. Hier im Folgenden werden nur die Unterschiede zwischen dem Kurzschlusstest und dem Offene-Schaltungs-Test beschrieben, mit primärem Fokus auf dem Kurzschlusstest.
  • Ähnlich zu dem Offene-Schaltungs-Test werden in dem Kurzschlusstest, nachdem ein Druckentlasten ausgeführt wird (in Schritt S61), ein Paar an Zielverdrahtungen ausgewählt gemäß einem Auswahlbefehl von der Steuerung 30 (in Schritt S63), wobei eine Spannung zwischen die Elektrode 51 und eine der ausgewählten Verdrahtungen angelegt wird (in Schritt S62). Zu dieser Zeit wird der Multiplexer 42 aktiviert, in Ansprechen auf einen Auswahlbefehl von der Steuerung 30 auf solch eine Art und Weise, dass der Minus-Ausgangsanschluss der Leistungsquelle 80 nicht elektrisch mit der ersten Zielverdrahtung verbunden wird, die das Zielverdrahtungspaar darstellt, aber mit der zweiten Zielverdrahtung verbunden wird, die das Zielverdrahtungspaar darstellt. Andererseits wird der Scanner 62 gesteuert, um den Laserlichtstrahl auf das Pad oder den Endanschluss der ersten Zielverdrahtung zu richten.
  • Nachdem das Zielverdrahtungspaar ausgewählt ist in Schritt S63, wird eine elektromagnetische Welle auf das Pad-Teil der ersten Zielverdrahtung gestrahlt, in Ansprechen auf einen Betriebsbefehl von der Steuerung 30 (in Schritt S64). Darauf werden Elektronen abgesondert von dem Pad-Teil, und ein elektrisches Feld wird zwischen der Plattenelektrode 51 und dem Pad-Teil (ein Anschluss) der ersten Zielverdrahtung erzeugt, durch Anlegen einer Spannung an die Plattenelektrode 51 und die zweite Zielverdrahtung, falls das Zielverdrahtungspaar in einem Kurzschlusszustand ist. Demzufolge werden die von der ersten Zielverdrahtung aufgrund des photoelektrischen Effekts durch die Elektromagnetische-Welle-Strahlung abgesonderten Elektronen elektrisch von der Plattenelektrode 51 angezogen, wobei die Existenz des elektrischen Felds behilflich ist, und eine leitende Bahn wird errichtet, durch die ein Strom von der Leistungsquelle 80 geht und dahin über die Plattenelektrode 51, die erste Zielverdrahtung, das kurzgeschlossene Teil und die zweite Zielverdrahtung zurückkehrt, um dabei sicher einen Strom zu messen, der durch das Zielverdrahtungspaar geht.
  • Andererseits wird, in dem Fall, wo das Zielverdrahtungspaar nicht in einem Kurzschluss-Zustand ist, die zuvor erwähnte leitende Bahn nicht errichtet, und ein Stromwert, der von dem Stromdetektierabschnitt 90 detektiert wird, ist Null oder viel geringer als ein Stromwert, der in dem Fall detektiert wird, wo das Zielverdrahtungspaar in einem Kurzschluss-Zustand ist. Daher ermöglicht diese Anordnung präzise und stabil zu bestimmen, ob das Zielverdrahtungspaar in einem Kurzschluss-Zustand ist, durch Detektieren eines Stroms, der durch das Zielverdrahtungspaar geht.
  • In dieser Ausführungsform misst, während einer Bestrahlung, der Stromdetektierabschnitt 90 einen Strom und gibt ein Signal entsprechend dem Strom als eine detektierte Ausgabe aus (in Schritt S65). Es wird beurteilt, ob das Zielverdrahtungspaar in einem Kurzschluss-Zustand ist, basierend auf dem gemessenen Stromwert (in Schritt S66). Eine Beurteilung hinsichtlich eines Kurzschlusses kann einfach ausgeführt werden, basierend auf der Anwesendheit oder Abwesendheit einer detektierten Ausgabe. Bevorzugt wird jedoch beurteilt, ob das Zielverdrahtungspaar in einem Kurzschluss-Zustand ist, durch Vergleichen eines Stromwerts, der mit einer Referenzschaltungsplatte gemessen wird mit einem Stromwert, der mit der Schaltungsplatte gemessen wird. Eine Folge von Operationen von einem Auswählen des Zielverdrahtungspaars (Schritt S63) zum Beurteilen des Kurzschlusses (Schritt S66) werden wiederholt, bis beurteilt wird, dass alle die Verdrahtungen auf dem Werkstück 10 in Schritt S67 getestet wurden.
  • In dieser oben erwähnten ersten Ausführungsform wird eine transparente Elektrode als die Plattenelektrode 51. Diese Erfindung ist nicht begrenzt auf diese Anordnung. Alternativ kann eine Netzelektrode bzw. Siebelektrode bereitgestellt werden anstatt der Plattenelektrode. In der geänderten Anordnung ist es bevorzugt, dass ein Gehäuse aus einem transparenten Glasmaterial oder ähnlichem gemacht wird, und eine Netzelektrode wird angebracht an einer inneren Fläche des Gehäuses. In solch einer geänderten Anordnung geht eine elektromagnetische Welle L durch das Gehäuse und die Zwischenräume zwischen den Netzelektroden, um so auf eine Zielverdrahtung gestrahlt zu werden. Diese geänderte Anordnung ermöglicht es, einen ähnlichen Effekt, wie in der ersten Ausführungsform, zu erreichen.
  • Ferner würde es als gut befunden werden, eine Elektrode auf der Seite eines Gehäuses bereitzustellen, das einen geschlossenen Raum SP definiert, anstatt des Bereitstellens einer Elektrode in einem oberen Teil des Gehäuses. Insbesondere kann eine Seitenwand des Gehäuses aus einem leitenden metallischen Material hergestellt werden, um als Abschirmung und Elektrode zu agieren, während ein Oberteil des Gehäuses aus einem transparenten Glas hergestellt wird. Diese Konstruktion macht eine Verbindung der Elektrode mit einer externen Leistungsquelle leichter.
  • Als Nächstes wird eine Modifizierung der ersten Ausführungsrom beschrieben. 7 zeigt ein Diagramm, das eine modifizierte Schaltungsplattentestvorrichtung zeigt. Das grundlegende Prinzip der modifizierten Vorrichtung ist ähnlich zu dem der Vorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform. Die Modifizierung unterscheidet sich von der ersten Ausführungsform in der Art, dass eine Spannung von einer Leistungsquelle und in der Anordnung in Zusammenhang stehend mit dieser angelegt wird. Daher werden wesentliche Elemente in der Modifizierung, die identisch sind zu denen in der ersten Ausführungsform durch die gleichen Bezugszeichen bezeichnet, und die Modifizierung wird beschrieben, primär fokussierend auf den Unterschied der Modifizierung von der ersten Ausführungsform.
  • Die modifizierte Vorrichtung wird nicht mit einer Plattenelektrode zum Anlegen einer Spannung versehen. In der modifizierten Vorrichtung wird eine Spannung and alle oder einen Teil der Zielverdrahtungen angelegt, die in der Nähe einer Zielverdrahtung so angeordnet sind, dass die Verdrahtungen effizient die Elektronen einfangen können, die von der Zielverdrahtung beim Bestrahlen einer elektromagnetischen Welle abgesondert werden. Um diese Anordnung bereitzustellen, ist in der Modifizierung der Plus-Anschluss einer Leistungsquelle 80 verbunden mit einem Anschluss eines Multiplexers 45, wobei der Minus-Anschluss der Leistungsquelle 80 verbunden ist mit dem entgegengesetzten Anschluss des Multiplexers 45 über einen Stromdetektierabschnitt 90.
  • Eine obere Befestigungseinheit enthält ein Gehäuse 54 mit der Form eines Deckels, um eine gewisse Fläche auf einer Oberfläche eines Werkstücks 10 abzudecken. Ein optisches Fenster wird in dem Gehäuse 54 an einer Position über einer Zielverdrahtung gebildet. Das optische Fenster bildet einen Bestrahlungspfad zum Führen einer elektromagnetischen Welle L.
  • Insbesondere kann das optische Fenster gebildet werden, durch das eine elektromagnetische Welle L gestrahlt wird, oder die Gesamtheit des Gehäuses 54 wird aus Glas hergestellt, das optisch transparent ist oder ein Äquivalent. Das Gehäuse 54, das die obere Befestigungseinheit bildet, ist in Richtung und weg von dem Werkstück bewegbar. Ein Obere-Befestigungseinheit-Antriebsmechanismus 55 wird aktiviert, in Ansprechen auf einen Antriebsbefehl von einer Steuerung 30. Das Gehäuse 54 wird zu dem Werkstück 10 bewegt, bis seine untere Kante 54a des Gehäuses 54 in Kontakt kommt mit einer Fläche des Werkstücks. Dann wird das Endteil oder die untere Kante 54a deformiert und gegen die Fläche des Werkstücks aufgrund des Gegendrucks gepresst. Das Endteil 52a dient als ein dichter Verschluss oder Dichtung. In dieser Art und Weise wird ein luftdicht geschlossener Raum SP definiert durch das Werkstück 10 und das Gehäuse 54.
  • Beschrieben wird ein Fall, wie beispielsweise in 7 gezeigt, in dem ein Schalt-Teil 45a verbunden ist mit einem Anschluss a, und Schalt-Teile 45b und 45c, die übrige Schalt-Teile des Multiplexers 45 sind, sind mit einem Anschluss b verbunden. In diesem Fall ist eine mit dem Schalt-Teil 45a verbundene Verdrahtung 121 eine Zielverdrahtung. Eine gewisse Höhe an Spannung wird angelegt an Verdrahtungen, die mit den Schalt-Teilen 45b, 45c von der Leistungsquelle 80 verbunden sind, und eine elektromagnetische Welle L wird auf ein Pad-Teil 121a gestrahlt.
  • In diesem Fall, wo die Verdrahtung 121 in einem normalen kontinuierlichen Zustand ist, wird ein elektrisches Feld zwischen den Pad-Teilen 12a der Verdrahtungen erzeugt, die mit den Schalt-Teilen 45b, 45c (hier im Folgenden bezeichnet als ”die anderen Verdrahtungen”) und dem Pad-Teil 121a der Zielverdrahtung 121 verbunden, durch Anlegen einer Spannung an den entgegengesetzten Anschluss der Zielverdrahtung 121 und die anderen Verdrahtungen. Elektronen, die von dem Pad-Teil 121a der Zielverdrahtung 121 durch den photoelektrischen Effekt aufgrund elektromagnetischer Wellen-Bestrahlung abgesondert wurden, werden elektrisch durch die Pad-Teile 12a angezogen.
  • Zu dieser Zeit wird, in dem Fall, wo die Zielverdrahtung 121 kontinuierlich ist, eine leitende Bahn errichtet, entlang der ein Strom von der Leistungsquelle 80 fließt und dahin zurückkehrt über die anderen Verdrahtungen und die Zielverdrahtung 121, um dabei einen Strom hervorzurufen, der durch die Zielverdrahtung 121 geht, wobei der Strom durch den Stromdetektierabschnitt 90 gemessen wird.
  • Andererseits wird, in dem Fall, wo die Zielverdrahtung 121 eine Diskontinuität ist, die zuvor erwähnte leitende Bahn nicht errichtet, und ein durch den Stromdetektierabschnitt 90 detektierter Stromwert ist Null oder viel geringer als ein Stromwert, der in dem Fall detektiert wird, wo die Zielverdrahtung 121 eine Kontinuität darstellt. Die Anordnung ermöglicht es, präzise und stabil zu bestimmen, ob die Zielverdrahtung eine Kontinuität darstellt durch Detektieren eines Stroms, der durch die Zielverdrahtung 121 geht und ermöglicht der Steuerung 30, zu bestimmen, ob die Zielverdrahtung 121 eine Kontinuität oder Diskontinuität darstellt, basierend auf einem gemessenen Strom, der von dem Stromdetektierabschnitt 90 detektiert wird.
  • Wenn ein Offene-Schaltungs-Test mit Bezug auf die Zielverdrahtung 121 beendet ist, und der Verbindungszustand der Schalt-Teile umgeschaltet ist, wird eine neue Zielverdrahtung nacheinander ausgewählt. Nachdem die neue Zielverdrahtung ausgewählt ist, durch Umschalten der Schalt-Teile, und eine elektromagnetische Welle auf ein Pad-Teil der neuen Zielverdrahtung gestrahlt ist, kann ein Offene-Schaltungs-Test mit Bezug auf die neue Zielverdrahtung auf die gleiche Art und Weise, wie oben erwähnt, ausgeführt werden. Daher kann der Offene- Schaltungs-Test ausgeführt werden mit Bezug auf alle Verdrahtungen des Werkstücks 10.
  • In der Modifizierung der ersten Ausführungsform wird es verlangt, einen Kurzschlusstest mit Bezug auf jeweilige Paare von Ball-Gitter-Teilen auszuführen vor einem Offene-Schaltungs-Test, wenn der Offene-Schaltungs-Test auszuführen ist mit der Verwendung der modifizierten Vorrichtung. Dies kommt daher, dass in dem Fall, wo es einen kurzgeschlossenen Teil zwischen einem Paar von Ball-Gitter-Teilen gibt, es höchstwahrscheinlich ist, dass ein Strom fehlerhaft laufen kann, wenn die Schalt-Teile des Multiplexers kurz vor dem Umschalten sind. Solch ein Kurzschlusstesten kann beispielsweise durchgeführt werden, durch Verbinden eines Anschlusses der Leistungsquelle mit einer der Verdrahtung und dem anderen Anschluss der Leistungsquelle mit einer anderen Verdrahtung durch ein Strommessgerät, ohne die oben erwähnte Bestrahlung einer elektromagnetischen Welle.
  • Wie oben erwähnt, dienen in der Modifizierung die Pad-Teile 12a der anderen Verdrahtungen als die Plattenelektrode in der ersten Ausführungsform durch selektives Umschalten der Schalt-Teile des Multiplexers 45. Während einem Erzeugen eines elektrischen Felds zwischen dem Pad-Teil 121a der Zielverdrahtung 121 und dem Pad-Teil (bzw. Teilen) 12a der anderen Verdrahtung (bzw. Verdrahtungen), werden von dem Pad-Teil 121 aufgrund des photoelektrischen Effekts durch die Elektromagnetische-Welle-Bestrahlung erzeugten Elektronen eingefangen durch das Pad-Teil 121a. Mit der Anordnung dieser Modifizierung kann eine Kontinuität/Diskontinuität der Zielverdrahtung stabil in der ähnlichen Art und Weise wie in der ersten Ausführungsform bestimmt werden, abgesehen von der Tatsache, dass eine Plattenelektrode nicht in der Modifizierung bereitgestellt ist.
  • Diese Erfindung ist nicht begrenzt auf die zuvor erwähnte erste Ausführungsform und die Modifizierung derselben. Beispielsweise werden in der Vorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform (oder der Modifizierung) ein Offene-Schaltungs-Test und ein Kurzschlusstest in dieser Reihenfolge ausgeführt, um zu bestimmen, ob ein Werkstück (Schaltungsplatte) 10 sich in einer Kontinuität befindet, bzw. eine Kontinuität darstellt. Die Testreihenfolge ist nicht begrenzt auf das obige. Ferner wird diese Erfindung angewandt auf irgendeine Vorrichtung, solange die Vorrichtung in der Lage ist, mindestens einen Offene-Schaltungs-Test auszuführen.
  • In der ersten Ausführungsform und der Modifizierung derselben wird die Schaltungsplatte 10, die in der Lage ist, einen Halbleiter-Chip gemäß einem C4-Packverfahren anzubringen als ein zu testendes Werkstück verwendet. Alternativ wird diese Erfindung zum Testen einer Schaltungsplatte angewandt, in der eine Fläche einer Basisplatte gebildet ist mit Verdrahtungen oder einer Schaltungsplatte, die mit einem Knufften-Verdrahtungsmuster gebildet ist.
  • In der ersten Ausführungsform und der Modifizierung wird eine elektromagnetische Welle L in Form eines Pulses einmal bestrahlt. Die Häufigkeit der Bestrahlung ist nicht begrenzt auf Eins, und die Bestrahlung kann für eine gewisse Häufigkeit ausgeführt werden. Ferner wird in der ersten Ausführungsform und der Modifizierung eine Druckentlastung des Inneren eines Gehäuses ausgeführt. Alternativ kann, wie es der Fall sein kann, eine Druckentlastung weggelassen werden, oder ein Vakuumgrad kann variiert werden, abhängig von der Leistungsfähigkeit des Elektromagnetische-Welle-Strahlers.
  • Wie oben bemerkt, wird gemäß einer ersten Ausführungsform und der Modifizierung, ein elektrisches Feld zwischen einem Elektroden-Teil und einem Anschluss einer Zielverdrahtung erzeugt, und eine leitende Bahn wird errichtet durch Anziehen von Elektronen, die von einem Anschluss der Zielverdrahtung durch den photoelektrischen Effekt aufgrund der Elektromagnetische-Welle-Bestrahlung auf das Elektroden-Teil abgesondert werden, wobei durch die Existenz des elektrischen Felds geholfen wird. Dabei können kurzgeschlossene und Offene-Schaltungen der Zielverdrahtung akkurat und stabil getestet werden.
  • 8 zeigt ein Diagramm, das eine Schaltungsplattentestvorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung zeigt. 9 zeigt ein Blockdiagramm, das eine elektrische Konfigurierung der Testvorrichtung in 8 zeigt. Eine Schaltungsplattentestvorrichtung ist ausgebildet zum Testen einer Schaltungsplatte 410, die in der Lage ist, darauf einen Halbleiter-Chip gemäß einem C4-(Controlled Collapse Chip Connection)-Packverfahren anzubringen.
  • Wie in 8 gezeigt, ist die Schaltungsplatte 410 auf solch eine Art und Weise konstruiert, dass eine Vielzahl von Verdrahtungen, wie durch die Verdrahtung 412 repräsentiert, auf einer Basisplatte 411 gebildet werden. Jede Verdrahtung 412 enthält ein Pad-Teil 412a, das auf einer Fläche der Basisplatte 411 gebildet wird, um mit einem Pad auf einem Halbleiter-Chip verbunden zu werden, sowie einem Ball-Gitter-Teil 412b, das auf der entgegengesetzten Oberfläche der Basisplatte 411 gebildet wird, und einem leitenden Teil 412c, das auf oder in der Basisplatte 411 angeordnet wird, um das Pad-Teil 412a und das Ball-Gitter-Teil 412b elektrisch zu verbinden. Die Pad-Teile 412a sind angeordnet mit kleinen Abständen, um den Abständen der Pads der Halbleiter-Chips zu entsprechen, wobei die Ball-Gitter-Teile bzw. Ball Grid Portions 412b mit größeren Abständen verglichen zu den Abständen der Pad-Teile 412a, angeordnet sind. Die Pad-Teile 412a kommen in einem Bereich ER auf einer Oberfläche der Schaltungsplatte 410 zusammen. Der Bereich ER ist eine Verdrahtungsendbelichtungsfläche. In dieser Ausführungsform wird die Schaltungsplatte 410 mit der obigen Konstruktion als ein durch die Vorrichtung zu testendes Werkstück bezeichnet. Jedoch braucht nicht gesagt zu werden, dass eine durch die vorliegende Ausführungsform zu testende Schaltungsplatte nicht begrenzt auf das obige ist.
  • Die Vorrichtung enthält einen Werkstückhalter 421, zum Tragen eines Teils einer Schaltungsplatte als Werkstück 410. Der Werkstückhalter 421 ist bewegbar zwischen einer Testposition (in 17 gezeigte Position), wo das Werkstück 410 getestet wird und einer Lade-/Entlade-Position (nicht gezeigt), wo das Werkstück 410 ladbar ist auf den Werkstückhalter 421 oder entladbar ist von dem Werkstückhalter 421. Ein Werkstückantriebsmechanismus 422 treibt den Werkstückhalter 421 vor und zurück an zwischen der Testposition und der Lade-/Entlade-Position, in Ansprechen auf ein Steuersignal von einer Steuerung 430, die eine Gesamtoperation der Vorrichtung steuert.
  • Eine untere Befestigungseinheit 440 ist bereitgestellt unter dem Werkstück 410 bei der Testposition. Die untere Befestigungseinheit 40 enthält eine Vielzahl von leitenden Federsonden 441, die angeordnet sind, um jeweils mit den entsprechenden Ball-Gitter-Teilen 412b der jeweiligen Verdrahtung 412 verbunden zu werden. Die untere Befestigung wird ferner mit einem Multiplexer 442 bereitgestellt, sowie einer unteren Befestigungsbasis (nicht gezeigt), die bewegbar ist in Richtung und weg von dem Werkstück 410, während eines Haltens der Sonden 441 und des Multiplexers 442. Die untere Befestigungsbasis ist mit einem Untere-Befestigungseinheit-Antriebsmechanismus 445 gekoppelt. Der Untere-Befestigungseinheit-Antriebsmechanismus 445 bewegt die untere Befestigungsbasis antriebsmäßig in Richtung und weg von dem Werkstück 410 gemäß einem Steuersignal von der Steuerung 430.
  • Eine obere Befestigungseinheit 450 ist über dem Werkstück 410 bei der Testposition angeordnet. Die obere Befestigungseinheit 450 enthält ein deckelartiges Gehäuse eines transparenten Glases, das mit einem Ablassteil 454 gebildet wird, und so konfiguriert ist, dass es die Verdrahtungsbelichtungsfläche ER auf dem Werkstück 410 abdeckt. Die obere Befestigungseinheit 450 enthält ferner ein Dichteglied 452, das an einem Endteil einer Seitenwand des Gehäuses 451 angebracht ist, sowie eine transparente Elektrode 453, die an einer inneren oberen Fläche des Gehäuses 451 angebracht ist. Die transparente Elektrode 453 erstreckt sich in zwei Dimensionen, um im Wesentlichen die Verdrahtungsbelichtungsfläche ER abzudecken. Diese Elemente 451 bis 454 sind gemeinsam bewegbar in Richtung und weg von dem Werkstück 410. Ein Obere-Befestigungseinheit-Antriebsmechanismus 456 ist mit der oberen Befestigungseinheit 450 gekoppelt. Die obere Befestigungseinheit 450 bewegt sich in Richtung und weg von dem Werkstück 410, in Ansprechen auf ein Steuersignal von der Steuerung 430.
  • Die obere Befestigungseinheit 450 wird zu dem Werkstück 410 bewegt, bis das Dichteglied 452 des Gehäuses 451 in Kontakt kommt mit der Oberfläche des Werkstücks 410. Als Ergebnis wird das Dichteglied 452 elastisch deformiert, während es zwischen der Bodenkante der Seitenwand des Gehäuses 451 und der Oberfläche des Werkstücks 410 zusammengepresst wird. Daher wird ein luftdicht geschlossener Raum SP durch das Werkstück 410, das Dichteglied 452 und das Gehäuse 451 definiert.
  • Die Ablassöffnung 454, die in dem Gehäuse 451 gebildet ist, steht mit einem Ablass-Gerät 490 über eine Ablassröhre (nicht gezeigt) in Verbindung. Wenn das Ablass-Gerät 490 aktiviert wird, basierend auf einem Steuersignal von der Steuerung 430, wird die Luft innerhalb des geschlossenen Raumes SP abgelassen, um dabei das Innere des geschlossenen Raumes SP auf einem Druck-entlasteten Zustand zu bringen. Wenn ein Test ausgeführt wird, wird der geschlossene Raum SP bevorzugt auf einem Vakuumgrad von ungefähr 10–2 atm gehalten, der der gleiche ist, wie in den oben beschriebenen Ausführungsformen.
  • Eine Leistungsquelle 460 wird bereitgestellt in der Vorrichtung, um eine gewisse DC-Spannung an eine Zielverdrahtung anzulegen. Der Plus-Anschluss der Leistungsquelle 460 ist elektronisch verbunden mit der transparenten Elektrode 453, und der Minus-Anschluss derselben ist mit dem Multiplexer 442 über einen Stromdetektierabschnitt 480 verbunden. Der Multiplexer 442 wird betrieben, um ein Ball-Gitter-Teil einer Verdrahtung auszuwählen, in Ansprechen auf einen Auswahlbefehl von der Steuerung 430. In dieser Konfigurierung wird, wenn beispielsweise, wie in 17 gezeigt, ein Ball-Gitter-Teil 521b einer Verdrahtung 521 ausgewählt wird, basierend auf einem Auswahlbefehl von einer Steuerung 430, eine DC-Spannung der Leistungsquelle 480, angelegt zwischen dem Ball-Gitter-Teil 521b und der transparenten Elektrode 453. In diesem Fall ist die Verdrahtung 521 eine zu testende Zielverdrahtung. Ein Stromwert, der durch den Stromdetektierabschnitt 480 gemessen wird, wird umgewandelt bzw. umgesetzt in ein digitales Signal durch eine A/D-Umsetzerschaltung 481 und an die Steuerung 430 gesendet. Daraufhin bestimmt die Steuerung 430, ob die Zielverdrahtung sich in einer Kontinuität befindet oder nicht, basierend auf dem gemessenen Stromwert, während einem Steuern eines Gesamtbetriebs der Vorrichtung.
  • Eine UV-Lampe 470 ist bereitgestellt über der oberen Befestigungseinheit 450. Eine Lampensteuerschaltung 471 steuert die UV-Lampe 470, um an- und abzuschalten, basierend auf einem Steuersignal von der Steuerung 430. Die UV-Lampe 470 emittiert einen ultravioletten Laserlichtstrahl L in Richtung der Oberfläche des Gehäuses 451. Ein ultravioletter Laserlichtstrahl L, der von UV-Lampe 470 emittiert wird, geht durch die Oberfläche des Gehäuses 451 und die transparente Elektrode 453, und trifft auf die Verdrahtungsbelichtungsfläche ER auf dem Werkstück 410.
  • In dieser Ausführungsform wird die UV-Lampe 470 als ein Elektromagnetische-Welle-Strahler verwendet. Alternativ ist, solange ein Element fähig ist, bei einem leitenden Glied einer Verdrahtung auf einer Schaltungsplatte einen photoelektrischen Effekt hervorzurufen, solch ein Element verwendbar als ein Elektromagnetische-Welle-Strahler. Die UV-Lampe 470 ist betreibbar, um ultraviolette Laserlichtstrahlen mit einer Wellenlänge von 266 nm zu emittieren.
  • In dieser Ausführungsform werden ultraviolette Laserlichtstrahlen emittiert, unter Verwendung der UV-Lampe 470 für den Zweck eines Erhöhens des photoelektrischen Effekts. Jedoch ist diese Erfindung nicht begrenzt auf eine UV-Lampe, und sichtbare Lichtstrahlen, UV-Rot-Lichtstrahlen oder ihre Äquivalente können verwendet werden.
  • Als Nächstes wird ein Offene-Schaltungs-Test mit Bezug auf eine Verdrahtung durch die Testvorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform mit Bezug auf 11 und 12 beschrieben. 11 zeigt ein Flussdiagramm, das Operationen der Schaltungsplattentestvorrichtung, die in 8 gezeigt ist, zeigt. Wenn ein ungetestetes Werkstück (Schaltungsplatte) 410 auf den Werkstückhalter 421 bei der Lade-/Entlade-Position geladen wird durch ein Handhabungsgerät (nicht gezeigt), das in der Testvorrichtung enthalten ist, oder durch eine manuelle Operation durch einen Betreiber (in Schritt U1), startet die Steuerung 430 die Operationen der verschiedenen Teile der Vorrichtung zu steuern, um die folgenden Schritte U2 bis U12 so auszuführen, dass eine Offene-Schaltung der Verdrahtungen auf dem Werkstück 410 getestet wird.
  • Zuerst klemmt der Werkstückhalter 421 das Werkstück 410 darauf ein in Schritt U2. Dann wird, während dem Halten des Werkstücks 410, der Werkstückhalter 421 auf die Testposition bewegt (in 8 gezeigte Position), wo das Werkstück 410 getestet wird (in Schritt U3). Daher wird das Werkstück 410 bei der Testposition positioniert.
  • Nachfolgend werden die obere Befestigungseinheit 450 und die untere Befestigungseinheit 440 zu dem Werkstück 410 bewegt (in Schritt U4). Während die untere Befestigungseinheit 440 zu dem Werkstück 410 bewegt wird, wie in 8 gezeigt, werden die Verbindungsenden der leitenden Federsonden 451 gegen jeweils entsprechende Teile der Ball-Gitter-Teile 412b der Verdrahtung 412 gepresst, um damit elektrisch verbunden zu werden. Simultan wird die obere Befestigungseinheit 450 zu der Testposition bewegt, wie in 8 gezeigt, um das Werkstück 410 sicher zwischen der oberen Befestigungseinheit 450 und der unteren Befestigungseinheit 440 zu halten. Als Nächstes wird ein Ablass-Gerät 490 aktiviert, um das Innere des geschlossenen Raumes SP zu Druck-entlasten, der durch das Gehäuse 451, das Dichteglied 452 und das Werkstück 410 definiert ist (in Schritt U5).
  • Daher wird, wenn die Vorrichtung zum Testen des Werkstücks 410 eingerichtet ist, die UV-Lampe 410 angeschaltet, um einen ultravioletten Laserlichtstrahl L auf die Verdrahtungsbelichtungsfläche ER zu strahlen (in Schritt U6). Dann implementiert die Vorrichtung einen Offene-Schaltung-Test mit Bezug auf die Zielverdrahtung (in Schritt U7), um das Werkstück 410 zu testen. Der Offene-Schaltungs-Test wird später im Detail beschrieben.
  • Bei Beendigung des Offene-Schaltungs-Tests wird die UV-Lampe 410 abgeschaltet (in Schritt U8). Dann wird die Aktivierung des Ablass-Geräts 490 unterbrochen, und die Luft außerhalb der Vorrichtung wird in den geschlossenen Raum SP eingezogen (in Schritt U9). Nachfolgend werden die untere Befestigungseinheit 440 und die obere Befestigungseinheit 450 weg von dem Werkstück 410 bewegt (in Schritt U10), und der Werkstückhalter 421 gibt das Klemmen des Werkstücks 410 frei und wird von der Lade-/Entlade-Position weggezogen (in Schritt U11). Letztendlich kehrt, wenn es verifiziert wird, dass das Werkstück 410 nach dem Offene-Schaltungs-Test von dem Werkstückhalter 421 entladen wird (in Schritt U12), die Routine zu Schritt U1 zurück, um die zuvor erwähnte Reihenfolge von Operationen zu implementieren.
  • Als Nächstes wird der Offene-Schaltungs-Test mit Bezug auf eine durch die Vorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform zu implementierende Verdrahtung (Schritt U7) im Detail mit Bezug auf 11 beschrieben. 11 zeigt ein Flussdiagramm, das einen Offene-Schaltungs-Test mit Bezug auf eine durch die Schaltungsplattentestvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform zu implementierende Verdrahtung zeigt. Nachdem die UV-Lampe 470 bei Schritt U6 angeschaltet wird, wählt der Multiplexer 442 eine willkürliche Verdrahtung 521 als Zielverdrahtung gemäß einem Auswahlbefehl von der Steuerung 430, um die Zielverdrahtung 521 mit der Leistungsquelle 460 elektrisch zu verbinden, und eine Spannung wird zwischen dem Ball-Gitter-Teil 521b der Zielverdrahtung 521 und der transparenten Elektrode 453 angelegt (in Schritt U71). Bei Ablauf einer Zeit bis die Leistungsversorgung stabilisiert ist (in Schritt U72), misst der Stromdetektierabschnitt 480 einen Strom, der dorthin durchgeht (in Schritt U73). Wenn eine Spannung zwischen dem Ball-Gitter-Teil 521b und der transparenten Elektrode 453 in einem Zustand angelegt wird, in dem die Zielverdrahtung 521 eine Kontinuität darstellt, wird ein elektrisches Feld zwischen der transparenten Elektrode 453 und dem Pad-Teil 521a erzeugt. Zu dieser Zeit werden Elektronen, die von dem Pad-Teil 521a aufgrund des photoelektrischen Effekts abgesondert werden, elektrisch angezogen und eingefangen durch die transparente Elektrode 453, wobei durch die Existenz des elektrischen Felds geholfen wird. Als Ergebnis fließt ein Photostrom I0 durch eine leitende Bahn, die von dem Plus-Anschluss der Leistungsquelle 460 zu dem Minus-Anschluss derselben eingerichtet wird, über die transparente Elektrode 453, die Zielverdrahtung 521, den Multiplexer 442 und den Stromdetektierabschnitt 480 und wird durch den Stromdetektierabschnitt 480 detektiert. Andererseits wird, in dem Fall, wo die Zielverdrahtung 521 in einem Offene-Schaltungs-Zustand ist, die zuvor erwähnte leitende Bahn nicht errichtet, und der Stromwert, der durch den Stromdetektierabschnitt 480 detektiert wird, ist Null oder viel niedriger als ein Strom, der in dem Fall detektiert wird, wo sich die Zielverdrahtung 521 in einer Kontinuität befindet.
  • Auf diese Art und Weise bestimmt die Steuerung 430, wie oben erwähnt, ob die Zielverdrahtung in einem Offene-Schaltungs-Zustand ist oder nicht, basierend auf dem Stromwert, der durch den Stromdetektierabschnitt 480 detektiert wird (in Schritt U74). Insbesondere wird, in dem Fall, wo der photoelektrische Strom I0, der durch den Stromdetektierabschnitt 480 detektiert wird, gleich ist oder größer als ein vorbestimmter Schwellenwert I1, bestimmt, dass die Zielverdrahtung kontinuierlich ist. Andererseits wird, falls der Photostrom I0 niedriger ist als der Schwellenwert I1, bestimmt, dass die Zielverdrahtung diskontinuierlich ist. Auf diese Art und Weise hat in der zweiten Ausführungsform die Steuerung 430 eine Funktion eines Bestimmers, sowie auch andere Funktionen eines Steuerns der Operation der Vorrichtung. Der Schwellenwert I1 wird wie folgt bestimmt. Da die Höhe des photoelektrischen Stroms durch Multiplizieren der Intensität der bestrahlten elektromagnetischen Welle bestimmt wird, das heißt, Licht durch die Oberfläche eines leitenden Glieds, das mit Licht bestrahlt wird, wird der Schwellenwert I1 aus einem Bereich kleiner als ein minimaler Stromwert ausgewählt, der theoretisch berechenbar ist, basierend auf einer Intensität eines ultravioletten Laserlichtstrahls L und der Oberfläche des Pad-Teils 412a und größer ist als ein Rauschstromwert, um sicher den elektromagnetischen Strom von den anderen Rauschströmen zu unterscheiden.
  • Auf diese Art und Weise kehrt, wenn ein Offene-Schaltungs-Test mit Bezug auf eine Verdrahtung fertig ist, die Routine zurück zu Schritt zu U71, um den Offene-Schaltungs-Test einer anderen Verdrahtung zu implementieren. Daher werden die zuvor erwähnten Reihen von Operationen wiederholt, bis der Test fertig ist für alle Verdrahtungen der Schaltungsplatte.
  • Wie oben erwähnt, ist die in 8 gezeigte Vorrichtung ähnlich zu der Anordnung des Standes der Technik in dem Aspekt eines Testens, ob eine Verdrahtung in einem Offene-Schaltungs-Zustand ist, durch Verwenden des photoelektrischen Effekts. Jedoch weist die Vorrichtung der zweiten Ausführungsform das Merkmal auf, dass eine Vielzahl von Pad-Teilen 412a, gebildet auf der oberen Ebene des Werkstücks 410 mit ultravioletten Laserlichtstrahlen bestrahlt werden. Die Vorrichtung ist dadurch vorteilhaft, dass ein Offene-Schaltungs-Test ausgeführt werden kann mit einer einfachen Vorrichtung und innerhalb einer kurzen Zeit, ohne eine Anordnung zum Fokussieren oder Scannen von ultravioletten Laserlichtstrahlen zu benötigen.
  • Im Allgemeinen definiert eine Verdrahtung, die auf einer Schaltungsplatte gebildet wird, einen Kondensator mit einer Floating-Kapazität bzw. schwebenden Kapazität zwischen der Verdrahtung und einem GND-Pad oder zwischen der Verdrahtung und der anderen Verdrahtung. Daher läuft, wenn eine Spannung angelegt wird, eine kurze Spannung durch die Verdrahtung in einem Versuch, den Kondensator aufzuladen. Als Ergebnis ist es hochwahrscheinlich, dass eine fehlerhafte Beurteilung durchgeführt wird, was aus einer fehlerhaften Detektion eines kurzen Stroms durch den Stromdetektierabschnitt 480 resultiert. Hinsichtlich diesem verwendet diese Ausführungsform eine Anordnung, in der ein Strom gemessen wird, nach einem Implementieren von Schritt U72, nämlich beim Ablaufen einer gewissen Standby- bzw. Bereithalte-Zeit von einem Anlegen einer Spannung bis ein Strom stabilisiert ist. Die zusätzlich bereitgestellte Standby-Zeit kann jedoch eine für einen Test benötigte Zeit überschreiten. Hinsichtlich diesem wird die folgende erste Modifizierung der zweiten Ausführungsform ausgedacht, um die Testzeit zu verkürzen.
  • 12 zeigt ein Diagramm, das eine Testvorrichtung, wie die erste Modifizierung der zweiten Ausführungsform zeigt, um einen kurzen bzw. kurzlebigen Strom so zu unterdrücken, dass die Standby-Zeit verkürzt wird. Die erste Modifizierung ist unterschiedlich von der zweiten Ausführungsform dadurch, dass in der ersten Modifizierung die jeweiligen Schaltteile eines Multiplexers 442 Normal-Schließ-(NC)-Kontakte enthalten und dass die Verdrahtungen, außer einer Zielverdrahtung, verbunden werden mit dem Minus-Anschluss einer Leistungsquelle 480, wobei ein Stromdetektierabschnitt 480 umgangen wird durch die NC-Kontakte. Die erste Modifizierung ist dadurch ähnlich zur zweiten Ausführungsform, dass eine Verdrahtung 521, die als eine Zielverdrahtung ausgewählt wird, verbunden ist mit dem Stromdetektierabschnitt 480 durch einen Normal-Offen-NO-Kontakt. Da eine Anordnung der ersten Modifizierung identisch zu der der zweiten Ausführungsform ist, abgesehen der obigen Punkte, werden Elemente der ersten Modifizierung, die identisch zu denen der zweiten Ausführungsform sind, mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet, und eine Beschreibung derselben wird hierin weggelassen.
  • Operationen der ersten Modifizierung sind im Wesentlichen die gleichen, wie diese der in 8 gezeigten Testvorrichtung (wie in den Flussdiagrammen von 10 und 11 gezeigt), außer den folgenden Punkten. Speziell wird in der ersten Modifizierung, wenn eine Spannung zwischen einem Ball-Gitter-Teil 521 einer Zielverdrahtung 521 und einer transparenten Elektrode 453 angelegt wird, ein elektrisches Feld angelegt zwischen den Pad-Teilen 522a, 523a der anderen Verdrahtungen, bei denen ein GND-Potential oder Grund- bzw. Erdungs-Potential angelegt wird, und der transparenten Elektrode 453. Als Ergebnis werden aufgrund des Photoeffekts von den Pad-Teilen 521a, 522a und 523a abgesonderte Elektronen elektrisch angezogen und eingefangen durch die transparente Elektrode 453, wobei ein Strom durch die Verdrahtungen läuft. Der Strom, der durch die Zielverdrahtung 521 läuft, wird durch den Stromdetektierabschnitt 480 über den NO-Kontakt des Schalt-Teils 443a des Multiplexers 442 geführt. Andererseits werden die Ströme, die durch die anderen Verdrahtungen 522, 523 laufen, an den Minus-Anschluss der Leistungsquelle 460 über die jeweiligen NC-Kontakte der Schalt-Teile 443b und 443c des Multiplexers 442 geführt. Diese Anordnung ermöglicht, einen Nachteil dadurch zu eliminieren, dass ein kurzer Strom, der unerwünscht durch die anderen Verdrahtungen 522 und 523 gegangen ist, durch den Stromdetektierabschnitt 480 laufen kann, und eliminiert eine Wahrscheinlichkeit, dass der kurze Strom eine Stromdetektion durch den Stromdetektierabschnitt 480 nachteilig beeinflussen kann.
  • Wie oben bemerkt, wird die in 12 gezeigte Testvorrichtung so konstruiert, dass ein Strom, der durch die Verdrahtungen, außer der Zielverdrahtung, läuft, am Laufen durch den Stromdetektierabschnitt 480 gehindert wird. Diese Anordnung eliminiert eine fehlerhafte Beurteilung, die aus einem Laufen eines kurzen Stroms durch den Stromdetektierabschnitt 480 resultiert, sogar wenn die Standby-Zeit verkürzt wird, und eine für einen Test als Ganzes benötigte Zeit wird daher verkürzt.
  • Die Art und Weise eines Unterbrechens eines Laufens eines kurzen Stroms, wie in der ersten Modifizierung beschrieben, kann modifiziert werden, wie in den folgenden zweiten und dritten Modifizierungen gezeigt.
  • In dem Obigen wird eine Beschreibung durchgeführt hinsichtlich des Offene-Schaltungs-Tests einer Verdrahtung, der durch die Schaltungsplattentestvorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform implementiert wird. Die Vorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform kann einen Kurzschluss-Test der Verdrahtungen ausführen, durch Zuführen von Testsignalen durch die Ball-Gitter-Teile. Falls der Plus-Anschluss der Leistungsquelle 460 verbunden ist mit dem Ball-Gitter, verbunden mit der Verdrahtung 523, und der Minus-Anschluss der Leistungsquelle verbunden ist mit dem Ball-Gitter, verbunden mit der Verdrahtung 522, dann wird beispielsweise der Kurzschluss zwischen der Verdrahtung 523 und 522 detektiert. Gemäß der zweiten und zweiten Modifizierung der dritten Ausführungsform können ein Offene-Schaltungs-Test mit Bezug auf eine Zielverdrahtung und ein Kurzschluss-Test mit Bezug auf die Zielverdrahtung relativ zu der anderen Verdrahtung simultan ausgeführt werden.
  • 13 zeigt ein Diagramm, das eine Schaltungsplattentestvorrichtung als eine zweite Modifizierung der zweiten Ausführungsform zeigt, und 14 zeigt ein Flussdiagramm, das Operationen eines Offene-/Kurzgeschlossene-Schaltungs-Tests durch die in 13 gezeigte Vorrichtung zeigt. Die zweite Modifizierung ist dadurch unterschiedlich von der zweiten Ausführungsform, dass in der zweiten Modifizierung die jeweiligen Schalt-Teile 443 eines Multiplexers 442 Normal-Schließ-(NC)-Kontakte aufweisen, und dass Verdrahtungen, außer einer Zielverdrahtung, verbunden sind mit dem Plus-Anschluss einer Leistungsquelle 460 über die NC-Kontakte. Die zweite Modifizierung ist dadurch ähnlich zu der zweiten Ausführungsform, dass die Verdrahtung, die als die Zielverdrahtung ausgewählt wird, verbunden ist, mit einem Stromdetektierabschnitt 480 über einen Normal-Offen-(NO)-Kontakt. Da die Anordnung der zweiten Modifizierung identisch zu der der zweiten Ausführungsform ist, außer den obigen Punkten, werden Elemente der zweiten Modifizierung, die identisch zu denen der zweiten Ausführungsform sind, mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet, und eine Beschreibung derselben wird hierin weggelassen.
  • Operationen der zweiten Modifizierung sind im Wesentlichen die gleichen wie diese, der in 8 gezeigten Testvorrichtung (wie in dem Flussdiagramm von 10 gezeigt), außer dass die in 14 gezeigte Offene-/Kurzgeschlossene-Schaltungstestoperation ausgeführt wird in der zweiten Modifizierung anstatt des Offene-Schaltungs-Tests, der in Schritt U7 der 10 implementiert ist. Die Operationen der zweiten Modifizierung werden mit Bezug auf die 10, 13 und 14 beschrieben.
  • Wenn eine UV-Lampe 470 angeschaltet wird, in Schritt U6 der 19, wird jede Verdrahtung mit dem Plus-Anschluss der Leistungsquelle 460 über jeden NC-Kontakt des jeweiligen Schalt-Teils 443 des Multiplexers 442 verbunden, um das gleiche Potential daran, wie die transparente Elektrode 453, anzulegen. Als Nächstes wählt der Multiplexer 240 eine Verdrahtung 521 in Ansprechen auf einen Auswahlbefehl von einer Steuerung 430 in Schritt U711 aus (nämlich das Schalt-Teil 443a wird umgeschaltet auf den NO-Kontakt), um die Verdrahtung 521 mit dem Stromdetektierabschnitt 480 zu verbinden. Als Ergebnis wird nur die Verdrahtung 521 auf ein niedriges Potential gesetzt. Beim Ablauf einer Zeit, bis eine Fluktuation der Stromdetektion aufgrund eines kurzen Stroms vernachlässigbar wird (in Schritt U712), misst der Stromdetektierabschnitt 480 einen Strom, der dahin durchgeht (in Schritt U713).
  • Hier wird ein Fall beschrieben, wo die Verdrahtung 521 kurzgeschlossen ist, mit einer anderen Verdrahtungen 521 und 523. Beispielsweise wird, in dem Fall, wo die Verdrahtung 521 kurzgeschlossen mit der Verdrahtung 522 bei einem Teil y ist, das durch die gestrichelte Linie in 22 gezeigt ist, eine leitende Bahn errichtet, durch die ein Strom von der Leistungsquelle 460 fließt und dahin zurückgegeben wird, über die Verdrahtung 522, das kurzgeschlossene Teil y, die Zielverdrahtung 521 und den Stromdetektierabschnitt 480. Als Ergebnis läuft ein Kurzschluss-Strom Is durch die leitende Bahn, und der Stromwert wird durch den Stromdetektierabschnitt 480 gemessen.
  • Andererseits wird, in dem Fall, wo die Verdrahtung 521 nicht kurzgeschlossen mit der anderen Verdrahtung ist, ein durch den Stromdetektierabschnitt 480 gemessener Stromwert detektiert, basierend auf der Anwesendheit oder Abwesendheit eines Offene-Schaltungs-Teils in der Verdrahtung 521, wie in dem Fall der in 8 gezeigten Vorrichtung. Falls die Verdrahtung 521 in einem normalen kontinuierlichen Zustand ist (nämlich, es gibt kein offenes Schaltungs-Teil in der Verdrahtung 521 und kein Kurzschluss-Teil in der Verdrahtung 521 relativ zu der anderen Verdrahtung), läuft ein photoelektrischer Strom I0 durch den Stromdetektierabschnitt 480. Andererseits läuft, falls es ein kurzgeschlossenes Teil zwischen der Verdrahtung 521 und mindestens einer der anderen Verdrahtungen gibt, ein Kurzschluss-Strom Is durch den Stromdetektierabschnitt 480. Ferner ist, falls es ein Offene-Schaltungs-Teil in der Verdrahtung 521 gibt, der durch den Stromdetektierabschnitt 480 gemessene Strom Null oder viel kleiner als der Strom aufgrund des photoelektrischen Stroms I0.
  • Wie oben bemerkt, ist im Allgemeinen ein Kurzschluss-Strom Is unterscheidbar größer als der photoelektrische Strom I0. Demgemäß bestimmt die Steuerung 430, ob die Zielverdrahtung in einem Offene-Schaltungs-Zustand oder einem Kurzgeschlossenen-Zustand bzw. Kurzschluss-Zustand ist, basierend auf dem Strom in Schritt U714. Speziell wird beurteilt, falls der durch den Stromdetektierabschnitt 480 detektierte Stromwert geringer ist als ein Schwellenwert I1, dass die Verdrahtung 521 in einem Offene-Schaltungs-Zustand ist. Falls der Stromwert, der durch den Stromdetektierabschnitt 480 detektiert wird, nicht kleiner ist als der Stromwert I1 und kleiner als ein Schwellenwert I2, wird bestimmt, dass die Verdrahtung 521 in einem normalen kontinuierlichen Zustand ist. Andererseits wird bestimmt, falls der durch den Stromdetektierabschnitt 480 detektierte Stromwert nicht kleiner als der Schwellenwert I2 ist, dass die Verdrahtung 521 kurzgeschlossen ist mit mindestens den anderen Verdrahtungen. Der Schwellenwert I1 wird auf die gleiche Art und Weise, wie in der zweiten Ausführungsform bestimmt.
  • Der Schwellenwert I2 wird ausgewählt aus einem Bereich größer als ein möglicher maximaler Wert des photoelektrischen Stroms und kleiner als ein möglicher minimaler Wert des Kurzschluss-Stroms, um den photoelektrischen Strom von dem Kurzschluss-Strom ohne Fehler zu unterscheiden. Der maximale Wert des photoelektrischen Stroms kann theoretisch aus der Multiplizierung einer Intensität eines ultravioletten Laserlichtstrahls L mit einer Oberfläche des Pad-Teils 412a geschätzt werden, die durch das Licht bestrahlt wird. Der minimale Wert des Kurzschluss-Stroms wird theoretisch abgeschätzt durch die Multiplizierung einer Dimension eines kurzgeschlossenen Teils der Verdrahtungen mal einer angelegten Spannung, wobei die Dimension des kurzgeschlossenen Teils gefolgert wird aus der Form und Produktion der zu testenden Leiterplatte.
  • Auf diese Art kehrt, wenn ein Offene-Kurzgeschlossene-Schaltungs-Test einer Verdrahtung beendet ist, die Routine zu Schritt zu U711 zurück, und die zuvor erwähnte Folge von Operationen wird mit Bezug auf eine andere Verdrahtung implementiert. Daher werden die zuvor erwähnten Folgen von Operationen wiederholt, bis der Test beendet ist, mit Bezug auf alle Verdrahtungen der Schaltungsplatte. Die anderen durch die Vorrichtung in der zweiten Modifizierung implementierten Operationen sind die gleichen, wie die, die durch die in 17 gezeigte Vorrichtung implementiert sind.
  • Wie oben bemerkt, wird die in 13 gezeigte Vorrichtung betrieben, um zu beurteilen, ob die Zielverdrahtung sich in einer Kontinuität befindet, basierend auf einem Unterschied zwischen einem photoelektrischen Strom I0, der in dem Fall läuft, wo die Zielverdrahtung in einem normalen kontinuierlichen Zustand ist und einem Kurzschluss-Strom Is, der in dem Fall läuft, wo die Zielverdrahtung in einem kurzgeschlossenen Zustand mit der anderen Verdrahtung ist. Diese Anordnung ermöglicht simultan einen Offene-Schaltungs-Test der Zielverdrahtung und einen Kurzschluss-Test der Zielverdrahtung relativ zu der anderen Verdrahtung.
  • In der in 13 gezeigten Vorrichtung ist, in dem Fall, wo die Zielverdrahtung ein Offene-Schaltungs-Teil x und ein Kurzschluss-Teil y zur selben Zeit aufweist, der durch den Stromdetektierabschnitt 480 detektierte Stromwert ungefähr auf dem Niveau des Kurzschluss-Stroms Is. Deshalb kann die Steuerung 430 der Beurteilung den Vorrang geben, dass es ein Kurzschluss-Teil in der Zielverdrahtung gibt, und daraus folgend Fehlbeurteilen, dass es kein Offene-Schaltungs-Teil gibt. Ferner kann, falls der Kurzschluss-Strom Is ungefähr das gleiche Niveau hat, wie das des photoelektrischen Stroms I0 aufgrund eines großen elektrischen Widerstands bei dem Kurzschluss-Teil, die Steuerung 430 fehl beurteilen, dass die Zielverdrahtung in einem normalen kontinuierlichen Zustand ist, trotz der Tatsache, dass es ein Kurzschluss-Teil gibt.
  • Hinsichtlich des Obigen wird eine dritte Modifizierung der zweiten Ausführungsform vorgeschlagen, um die zuvor erwähnten Nachteile zu lösen. 15 zeigt ein Diagramm, das eine Vorrichtung als dritte Modifizierung zeigt, und 16 zeigt ein Flussdiagramm, das Operationen eines Offene-/Kurzgeschlossene-Schaltungs-Tests zeigt, der durch die in 15 gezeigte Vorrichtung zu implementieren ist. Die Vorrichtung der zweiten Modifizierung ermöglicht eine Detektion von sowohl einer offenen Schaltung und kurzgeschlossenen Schaltung durch Implementieren eines Kurzschlusstests nach dem Test einer Kontinuität eines Ziels auf die Art und Weise, wie es durch die zweite Modifizierung der dritten Ausführungsform durchgeführt wird. Die Anordnung der dritten Modifizierung ist identisch zu der der zweiten Modifizierung, außer den folgenden Punkten. In dieser Modifizierung wird ein Umschalt-Schalter 444 bereitgestellt, um die NC-Kontakte der Schalt-Teile 443 eines Multiplexers 442 zwischen dem Plus-Anschluss und dem Minus-Anschluss einer Leistungsquelle 460 umzuschalten, um jedes Schalt-Teil 443 selektiv verbindbar mit beiden Anschlüssen oder Polen der Leistungsquelle 460 zu machen. Da die andere Anordnung der dritten Modifizierung identisch ist zu der der zweiten Modifizierung, werden Elemente der dritten Modifizierung, die identisch zu denen der zweiten Modifizierung sind, mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet, und eine Beschreibung derselben wird hierin weggelassen.
  • Ein Offene-/Kurzgeschlossene-Schaltungs-Test, der durch die Vorrichtung der dritten Modifizierung zu implementieren ist, wird mit Bezug auf die 15 und 16 beschrieben. Zuerst wird bei einer Anfangsstufe des Tests der Umschalt-Schalter 444 eingestellt auf einen Kontakt a mit all den Schaltern des Multiplexers 442 gesetzt auf NC-Anschlüsse, um alle Verdrahtungen auf einer Schaltungsplatte 410 mit dem Minus-Anschluss der Leistungsquelle 460 zu verbinden, wobei der Stromdetektierabschnitt 480 umgangen wird. Dann wird im Schritt U721 der Multiplexer 442 betrieben, um eine Verdrahtung 521 auszuwählen, in Ansprechen auf einen Auswahlbefehl von einer Steuerung 430, um die Verdrahtung 521 mit einem Stromdetektierabschnitt 480 zu verbinden. Beim Ablauf einer Zeit, bis eine Fluktuation einer Stromdetektion aufgrund eines kurzen Stroms vernachlässigbar wird (in Schritt U722), misst der Stromdetektierabschnitt 480 einen Strom, der dahin durchgeht (in Schritt U723). Dann bestimmt die Steuerung 430, ob die Verdrahtung 521 in einem Offene-Schaltungs- Zustand oder nicht ist, basierend auf dem gemessenen Stromwert.
  • Nachfolgend wird der Umschalt-Schalter 444 auf einen Kontakt b umgeschaltet, und ein Plus-Potential wird angelegt auf die Verdrahtungen 522 und 523, die die Verdrahtungen sind, die anders sind als die Verdrahtung 521, die für das Testen ausgewählt wird (in Schritt U725). Danach misst, beim Ablauf einer Zeit (in Schritt U726) der Stromdetektierabschnitt 480 einen Strom, der da durchläuft im Wesentlichen auf die gleiche Art und Weise, als der des Offene-/Kurzgeschlossene-Schaltungs-Tests, der durch die in 13 gezeigte Vorrichtung implementiert wird (in Schritt U727). Ähnlich zu der in 13 gezeigten Vorrichtung bestimmt die Steuerung 430, ob es ein kurzgeschlossenes Teil zwischen der Verdrahtung 521 und den anderen Verdrahtungen gibt, basierend auf dem gemessenen Stromwert. Daher wird, bei Beendigung des Offene-Schaltungs-Tests mit Bezug auf die Verdrahtung 521 und den Kurzschluss-Test zwischen der Verdrahtung 521 und den anderen Verdrahtungen, der Umschalt-Schalter 444 wieder umgeschaltet auf den Kontakt a (in Schritt U729). Die zuvor erwähnte Folge von Operationen wird wiederholt, bis der Offene-/Kurzgeschlossene-Schaltungs-Test beendet ist mit Bezug auf alle Verdrahtungen auf der Schaltungsplatte 410 (in Schritt U739).
  • Wie oben bemerkt, wird die in 15 gezeigte Vorrichtung angeordnet, um einen Offene-Schaltungs-Test und dann einen Kurzgeschlossene-Schaltungs-Test auszuführen, durch Verwenden des photoelektrischen Effekts. Diese Anordnung ermöglicht einen Offene-Schaltungs-Test auszuführen mit Bezug auf eine Zielverdrahtung und einen Kurzgeschlossene-Schaltungs-Test bzw. Kurzschluss-Test zwischen der Zielverdrahtung und den anderen Verdrahtungen ohne die Nachteile, dass ein Offene-Schaltungs-Teil vernachlässigt wird aufgrund der Anwesendheit eines kurzgeschlossenen Teils, und dass eine fehlerhafte Beurteilung, dass die Zielverdrahtung in einem normalen kontinuierlichen Zustand ist, durchgeführt wird, trotz der Tatsache, dass es ein kurzgeschlossenes Teil in der Zielverdrahtung gibt.
  • In der zweiten Ausführungsform ist das ultraviolette Laserlicht nicht notwendig in dem Kurzschluss-Test. Hinsichtlich diesem kann die Anordnung der dritten Modifizierung so konfiguriert werden, dass die UV-Lampe 470 nach dem Offene-Schaltungs-Test abgeschaltet wird. Jedoch ist es bevorzugt, die Intensität des ultravioletten Laserlichtstrahls zu stabilisieren, um einen präzisen Test durchzuführen. Zu diesem Zweck ist es praktisch erwünscht, mit dem Anschalten der UV-Lampe 470 fortzufahren, bis der Offene-Schaltungs-Test beendet ist mit Bezug auf alle Verdrahtungen, die auf mindestens einem Werkstück 410 gebildet sind.
  • In der dritten Modifizierung wird der Umschalt-Schalter 444 bereitgestellt, um selektiv beide Anschlüsse der Leistungsquelle mit den Verdrahtungen zu verbinden, die nicht die Zielverdrahtung sind. Eine andere Anordnung ist verfügbar, um selektiv beide Anschlüsse der Leistungsquelle mit den Verdrahtungen zu verbinden, die nicht die Zielverdrahtung sind. Beispielsweise kann es möglich sein, einen zusätzlichen Kontakt für jedes Schaltteil 443 des Multiplexers 442 in der in 13 gezeigten Vorrichtung bereitzustellen, wobei der zusätzliche Kontakt mit dem Minus-Anschluss der Leistungsquelle 460 verbunden wird. Ein Umschalten der Schalt-Teile 443 ermöglicht ein selektives Umschalten der Spannungen, die an die anderen Verdrahtungen angelegt sind, während die Zielverdrahtung ausgewählt wird.
  • 17 zeigt ein Diagramm, das eine vierte Modifizierung der zweiten Ausführungsform zeigt. Das grundlegende Prinzip der Schaltung gemäß der vierten Modifizierung ist das gleiche, wie die zweiten Ausführungsform, außer der Art eines Anlegens einer Spannung von einer Leistungsquelle und der Art eines Sammelns oder Einfangens der Elektronen, die durch den photoelektrischen Effekt abgesondert werden. Demgemäß werden Elemente der vierten Modifizierung, die identisch sind zu dem der zweiten Ausführungsform, mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet, und die vierte Modifizierung wird beschrieben, wobei primär auf die Unterschiede zwischen der vierten Modifizierung und der zweiten Ausführungsform fokussiert wird.
  • Die Testvorrichtung als vierte Modifizierung wird nicht mit einer Elektrode an dem Gehäuse 451 zum Einfangen oder Erfassen von Photoelektronen bereitgestellt, und ist so konfiguriert, dass Elektronen eingefangen oder erfasst werden, die von einer Zielverdrahtung abgesondert werden, durch Anlegen einer Spannung an alle oder einen Teil der Verdrahtungen, die um die Zielverdrahtung gebildet werden. Zu diesem Zweck ist in der vierten Modifizierung der Plus-Anschluss einer Leistungsquelle 460 verbunden mit jedem NC-Kontakt von jedem Schalt-Teil 443 eines Multiplexers 442, und der Minus-Anschluss desselben ist verbunden mit jedem NO-Kontakt von jedem Schalt-Teil 443 des Multiplexers 442 über einen Stromdetektierabschnitt 480.
  • Hier wird ein Fall beschrieben, wo, wie in 17 gezeigt, ein Schalt-Teil 443a, verbunden mit einer Verdrahtung 521 des Multiplexers 442 verbunden ist mit dem NO-Kontakt, um aus der Verdrahtung 521 eine zu testende Zielverdrahtung zu machen. In diesem Fall wird, falls die Verdrahtung 521 in einem normalen kontinuierlichen Zustand ist, ein elektrisches Feld erzeugt zwischen Pad-Teilen 412a der Verdrahtungen, die anders sind als die Zielverdrahtung 521, und einem Pad-Teil 521a der Zielverdrahtung 521, wenn eine Spannung angelegt wird zwischen der Zielverdrahtung 521 und den anderen Verdrahtungen. Von dem Pad-Teil 521a der Zielverdrahtung 521 aufgrund des photoelektrischen Effekts durch Bestrahlung des ultravioletten Laserlichtstrahls abgesonderte Elektronen werden elektrisch angezogen durch das Pad-Teil 412a, wobei durch die Existenz des elektrischen Felds oder Potentials geholfen wird. In dem obigen Zustand wird, falls die Zielverdrahtung 521 in einem Kontinuum ist, ein leitender Schaltungspfad errichtet, durch den ein Strom von der Leistungsquelle 460 läuft, und dahin zurückkehrt über die anderen Verdrahtungen und die Zielverdrahtung 521. Daher wird ein Strom, der durch die Zielverdrahtung 521 läuft, durch den Stromdetektierabschnitt 480 gemessen.
  • Andererseits wird, falls die Zielverdrahtung 521 nicht in einer Kontinuität ist, das heißt, eine offene Schaltung die zuvor erwähnte leitende Bahn nicht errichtet, und ein Stromwert, der durch den Stromdetektierabschnitt 480 detektiert wird, ist Null oder viel niedriger als ein Stromwert, der in dem Fall detektiert wird, wo die Verdrahtung 521 in einer Kontinuität ist.
  • Wie oben bemerkt, führt die in 17 gezeigte Testvorrichtung einen Offene-Schaltungs-Test der Verdrahtungen auf ähnliche Art und Weise aus, wie der der in 8 gezeigten Vorrichtung. In der vierten Modifizierung ist es nicht verlangt, eine Elektrode innerhalb eines Gehäuses 451 bereitzustellen. Deshalb kann das Gehäuse 451 konfiguriert werden, um solch eine Dimension aufzuweisen, um einen Verdrahtungsanschluss oder Pad-Unterstützfläche ER auf einem Werkstück 410 abzudecken, und einen minimalen Raum über der Fläche ER einzurahmen. Diese Anordnung ermöglicht eine kompakte Größe der Vorrichtung, während die Konstruktion der Vorrichtung vereinfacht wird. Ferner wird, da das Volumen eines geschlossenen Raums SP, definiert durch das Gehäuse 451, Dichteglied 452 und Werkstück 410 reduziert wird, eine Zeit, benötigt zum Druckentlasten des Inneren des geschlossenen Raums SP verkürzt, mit dem Ergebnis, dass ein Test durch die Vorrichtung in einer kurzen Zeit implementiert werden kann.
  • In der vierten Modifizierung wird verlangt, einen Kurzschluss-Test zwischen den Ball-Gitter-Teilen vor einem Offene-Schaltungs-Test auszuführen. Dies kommt daher, weil, falls es ein kurzgeschlossenes Teil gibt zwischen den Ball-Gitter-Teilen, ein Kurzschluss-Strom durch den Stromdetektierabschnitt 480 laufen kann, und der Stromdetektierabschnitt 480 kann eine Fehlbeurteilung ausführen, dass es kein Offene-Schaltungs-Teil in der Zielverdrahtung gibt.
  • In der vierten Modifizierung ist es bevorzugt, eine Vielzahl von Verdrahtungen zu verwenden, die um eine Zielverdrahtung als die als Elektrode dienenden Verdrahtungen gebildet werden. Dies rührt daher, dass, falls eine einzelne Verdrahtung als Elektrode verwendet wird, und die Verdrahtung ein Offene-Schaltungs-Teil aufweist, ein akkurater Test mit solch einer Testvorrichtung nicht ausgeführt werden kann.
  • In der vierten Modifizierung ist es möglich, die Polaritäten der Leistungsquelle 460 umzukehren, und einen Offene-Schaltungs-Test mit Bezug auf eine Zielverdrahtung auszuführen, durch Setzen der Zielverdrahtung auf ein hohes Potential und Setzen der anderen Verdrahtungen, die als Elektrode dienen, auf ein niedriges Potential. Speziell wird, in diesem geänderten Fall, ein elektrisches Feld mit einer Richtung eines Elektronenfluss, der entgegengesetzt ist zu dem der vierten Modifizierung, erzeugt zwischen den Pad-Teilen 421a der anderen Verdrahtungen und dem Pad-Teil 521a der Zielverdrahtung 521. In diesem geänderten Fall wird, falls es kein Offene-Schaltungs-Teil in der Zielverdrahtung 521 gibt, die zuvor erwähnte leitende Bahn nicht errichtet, und demgemäß kann der Offene-Schaltungs-Test mit Bezug auf die Zielverdrahtung 521 auf ähnliche Art und Weise, wie die vierte Modifizierung ausgeführt werden.
  • Diese Erfindung ist nicht begrenzt auf die zuvor erwähnten Ausführungsformen und Modifizierungen, aber auf die anhängenden Ansprüche. Verschiedene Modifizierungen und Änderungen können bereitgestellt werden. Beispielsweise ist in der zweiten Ausführungsform und ihren Modifizierungen, die Schaltungsplatte 410, die als ein Werkstück zu testen ist, von der Art, auf der ein Halbleiter-Chip durch das C4-Packverfahren angebracht wird. Alternativ ist diese Erfindung anwendbar zum Testen einer Schaltungsplatte, bei der eine Oberfläche einer Basisplatte gebildet wird mit Verdrahtungen oder einer Schaltungsplatte, die mit einem Knufften-Verdrahtungsmuster bzw. Cuffed-Verdrahtungsmuster gebildet wird.
  • In der zweiten Ausführungsform und ihren Modifizierungen wird der Fall beschrieben, wo das Innere des Gehäuses Druck-entlastet wird. Alternativ kann eine Druckentlastung benötigt werden, oder ein Vakuumgrad kann gemäß der Bedürfnisse variiert werden.
  • Wie oben beschrieben, ist eine erfinderische Schaltungsplattentestvorrichtung zum Testen einer Kontinuität und/oder eines Kurzschlusses von Verdrahtungen, gebildet auf einer Schaltungsplatte, wobei jede Verdrahtung erste und zweite Anschlüsse aufweist. Die Vorrichtung umfasst einen Elektromagnetische-Welle-Strahler, umfassend eine Einrichtung zum Bestrahlen der ersten Anschlüsse der Verdrahtungen mit einer elektromagnetischen Welle zum Absondern von Elektronen von den ersten Anschlüssen durch einen photoelektrischen Effekt; eine Elektrode zum Einfangen der abgesonderten Elektronen; eine Spannungsversorgung zum Anlegen einer Spannung an die Elektrode auf eine Art und Weise, dass eine Spannung an der Elektrode höher ist als eine Spannung an den Verdrahtungen; einen Stromdetektor, umfassend eine Einrichtung zum Detektieren eines elektrischen Stroms, der hervorgerufen wird durch die Elektronen, eingefangen durch die Elektrode und durch die Verdrahtungen fließt; und ein Beurteiler, umfassend eine Einrichtung zum Bestimmen der Existenz einer offenen Schaltung und/oder einer kurzgeschlossenen Schaltung der Verdrahtungen, basierend auf dem durch den Stromdetektor detektierten Strom, wobei die Spannung verbunden ist zwischen der Elektrode und dem zweiten Anschluss, so dass der elektrische Strom, hervorgerufen durch die Elektronen, eingefangen durch die Elektrode, in den zweiten Anschluss fließt; und der Stromdetektor den elektrischen Strom detektiert, der durch die Elektrode und den zweiten Anschluss einer ausgewählten Verdrahtung hindurchgeht.
  • Der Elektromagnetische-Welle-Strahler kann angeordnet werden, um alternierend die Anschlüsse, einer nach dem anderen zu bestrahlen, und die Spannungsversorgung ist dafür vorgesehen, alternativ mit den zweiten Anschlüssen der Verdrahtungen eine nach dem anderen verbunden zu werden.
  • Der Elektromagnetische-Welle-Strahler kann bereitgestellt werden mit einem Deflektor, der die Richtung der elektromagnetischen Welle ändert, auf solch eine Art und Weise, dass selektiv und nachfolgend die ersten Anschlüsse der Verdrahtungen mit der elektromagnetischen Welle bestrahlt werden.
  • Die Spannungsversorgung kann eine Leistungsquelle enthalten. Es kann ein Schalter bereitgestellt werden, der den zweiten Anschluss der ausgewählten Verdrahtung mit der Leistungsquelle verbindet. Auch kann ein Schalter bereitgestellt werden, der die Leistungsquelle mit dem zweiten Anschluss einer Verdrahtung neben der ausgewählten Verdrahtung verbindet, von der der erste Anschluss durch die elektromagnetische Welle bestrahlt wird. Es kann ein Verbinder bereitgestellt werden, der die Leistungsquelle, die Elektrode, den zweiten Anschluss der ausgewählten Verdrahtung und den Stromdetektor miteinander verbindet, um eine kurzgeschlossene Schaltung dabei zu bilden.
  • Der Verbinder kann eine Vielzahl von Sonden enthalten, die in Kontakt mit den entsprechenden zweiten Anschlüssen der Vielzahl von Verdrahtungen zu bringen sind, um elektrische Verbindungen damit herzustellen, sowie einen Schalter, der selektiv die Vielzahl der Sonden mit der Leistungsquelle verbindet.
  • Für eine Schaltungsplatte mit ersten Anschlüssen, die auf einer Oberfläche der Schaltungsplatte gebildet werden, und elektrischen Leitern, die auf der Oberfläche oder innerhalb der Schaltungsplatte gebildet werden, und elektrisch mit den ersten Anschlüssen verbunden werden, kann alternativ eine zweite Elektrode bereitgestellt werden, die kapazitiv mit Leitern der Vielzahl von Verdrahtungen gekoppelt wird. Der Stromdetektor kann einen Strom detektieren, der durch die abgesonderten Elektronen hervorgerufen wird, der durch eine Schaltung fließt, einschließlich der ersten Elektrode, der Leistungsquelle und der kapazitiven Kopplung. Der Beurteiler beurteilt, ob der elektrische Leiter der ausgewählten Verdrahtung kontinuierlich ist, basierend auf einem Stromwert, der durch den Stromdetektor detektiert wird, wenn einer der ersten Anschlüsse durch die elektromagnetische Welle bestrahlt wird und einen anderen Stromwert, der durch den Stromdetektor detektiert wird, wenn ein anderer erster Anschluss durch die elektromagnetische Welle bestrahlt wird.
  • Für eine Schaltungsplatte mit mindestens den Verdrahtungen einschließlich einem Paar von Anschlüssen, die auf einer Oberfläche der Schaltungsplatte gebildet sind, die mit der elektromagnetischen Welle zu bestrahlen ist, und einem elektrischen Leiter, der auf der Oberfläche der Schaltungsplatte oder innerhalb der Schaltungsplatte gebildet ist und elektrisch mit dem Paar von Anschlüssen verbunden ist, kann eine zweite Elektrode bereitgestellt werden, die kapazitiv mit der Vielzahl von Verdrahtungen gekoppelt ist. Der Stromdetektor kann angeordnet werden, um einen Strom zu detektieren, der durch die abgesonderten Elektronen hervorgerufen wird, der durch eine Schaltung fließt, einschließlich der ersten Elektrode, der Leistungsquelle und der kapazitiven Kopplung. Der Beurteiler beurteilt, ob der elektrische Leiter zwischen dem Paar von Anschlüssen kontinuierlich ist, basierend auf einem Stromwert, der durch den Stromdetektor detektiert wird, wenn die elektromagnetische Welle einen des Paars der Anschlüsse bestrahlt, sowie einem anderen Stromwert, der durch den Stromdetektor detektiert wird, wenn die elektromagnetische Welle dem anderen des Paars der Anschlüsse bestrahlt.
  • Für eine Schaltungsplatte mit jeder Verdrahtung einschließlich einem elektrischen Leiter, der auf der Oberfläche der Schaltungsplatte oder innerhalb der Schaltungsplatte gebildet ist, und elektrisch verbunden ist mit den ersten und zweiten Anschlüssen, kann eine zweite Elektrode bereitgestellt werden, die kapazitiv mit den elektrischen Leitern gekoppelt ist; und ein Stromdetektor ist angeordnet, um einen Strom zu detektieren, der durch die abgesonderten Elektronen hervorgerufen wird, der durch eine Schaltung fließt, einschließlich der ersten Elektrode, der Leistungsquelle und der kapazitiven Kopplung.
  • Die Spannungsversorgung kann eine Leistungsquelle enthalten und die Schaltungsplatte enthält eine Grundschicht, und die Leistungsquelle ist verbunden mit der Grundschicht, so dass die Grundschicht kapazitiv gekoppelt ist mit den elektrischen Leitern, um als zweite Elektrode zu dienen.
  • Ein Verbinder kann bereitgestellt werden, der die Leistungsquelle mit einem Anschluss verbindet, der mit einer der Vielzahl von Verdrahtungen der zu testenden Schaltungsplatte verbunden ist, so dass der Anschluss als erstes Elektrodenteil dient, zum Einfangen der abgesonderten Elektronen.
  • Der Elektromagnetische-Welle-Strahler kann angeordnet werden, um kollektiv die ersten Anschlüsse der Verdrahtungen mit einer elektromagnetischen Welle zu bestrahlen, um Elektronen von den ersten Anschlüssen durch den photoelektrischen Effekt abzusondern; ein Auswähler wird bereitgestellt zum Auswählen einer der Verdrahtungen; und der Beurteiler beurteilt eine Kontinuität und/oder einen Kurzschluss der ausgewählten Verdrahtung, basierend auf dem detektierten Strom.
  • Die Spannungsversorgung kann eine Leistungsquelle enthalten mit einem ersten Pol, verbunden mit der Elektrode und dem zweiten Pol, verbunden mit dem zweiten Anschluss der ausgewählten Verdrahtung, und der Auswähler enthält eine Schaltungsanordnung zum elektrischen Verbinden der zweiten Anschlüsse der Verdrahtungen, die nicht die ausgewählte Verdrahtung sind, mit dem ersten Pol der Leistungsquelle.
  • Die Spannungsversorgung kann eine Leistungsquelle enthalten mit einem mit der Elektrode verbundenen ersten Anschluss und einem mit dem zweiten Anschluss der ausgewählten Verdrahtung verbundenen zweiten Pol, und der Auswähler hat eine Schaltanordnung zum elektrischen Verbinden des zweiten Anschlusses der ausgewählten Verdrahtung mit dem zweiten Pol der Leistungsquelle durch den Stromdetektor, und die entsprechenden zweiten Anschlüsse der Verdrahtung, die nicht die ausgewählte Verdrahtung darstellen, mit dem zweiten Pol der Leistungsquelle, wobei der Stromdetektor umgangen wird.
  • Der Auswähler kann einen Schalter enthalten, um einen Zustand auszuwählen, wo zweite Anschluss der ausgewählten Verdrahtung verbunden ist mit dem zweiten Pol der Leistungsquelle durch den Stromdetektor und die zweiten Anschlüsse der Verdrahtungen, die anders sind als die ausgewählte Verdrahtung, werden elektrisch verbunden mit dem zweiten Pol der Leistungsquelle, wobei der Stromdetektor umgangen wird, sowie einen anderen Zustand, wo der zweite Anschluss der ausgewählten Verdrahtung elektrisch verbunden ist mit dem zweiten Pol der Leistungsquelle durch den Stromdetektor und die zweiten Anschlüsse der Verdrahtung, die anders ist als die ausgewählte Verdrahtung, werden elektrisch verbunden mit dem ersten Pol der Leistungsquelle.
  • Es kann ferner ein Gehäuse bereitgestellt werden, das die ersten Anschlüsse der Vielzahl von Verdrahtungen umschließt, um einen luftdicht abgeschlossenen Raum zu bilden, sowie einen Druckentlaster, der den geschlossenen Raum Druck-entlastet bzw. die Luft absaugt.
  • Der Spannungsversorger kann eine Leistungsquelle enthalten mit zwei Polen, sowie einen Verbinder, der die ausgewählte Verdrahtung mit einem Pol der Leistungsquelle verbindet, und mindestens ein Teil der nicht-ausgewählten Verdrahtungen mit dem anderen Pol der Leistungsquelle, so dass die ersten Anschlüsse der Verdrahtungen, verbunden mit dem anderen Pol der Leistungsquelle, als die Elektrode dienen.
  • Der Spannungsversorger kann eine Leistungsquelle enthalten mit mindestens zwei Polen, sowie eine Schaltanordnung, die die ausgewählte Verdrahtung mit einem Pol der Leistungsquelle verbindet, und alle nicht-ausgewählten Verdrahtungen mit dem anderen Pol der Leistungsquelle, so dass die ersten Anschlüsse der Verdrahtungen, verbunden mit dem anderen Pol der Leistungsquelle, als die Elektrode dienen.
  • Ein erfinderisches Verfahren zum Testen einer Kontinuität und/oder eines Kurzschlusses der Verdrahtung, die auf einer Schaltungsplatte gebildet werden, wobei jede Verdrahtung erste und zweite Anschlüsse aufweist, das Verfahren die Schritte umfasst: Bestrahlen der ersten Anschlüsse der Verdrahtungen mit elektromagnetischen Wellen, zum Absondern von Elektronen von den ersten Anschlüssen in einen Raum durch einen photoelektrischen Effekt; Einfangen abgesonderter Elektronen durch eine Elektrode mit einem positiven Potential, um einen elektrischen Strom durch die eingefangenen Elektronen hervorzurufen; und Beurteilen einer Kontinuität und/oder eines Kurzschlusses der Verdrahtungen, basierend auf dem Strom, der durch die Verdrahtungen fließt, gekennzeichnet durch den Schritt eines Verbindens eines positiven Anschlusses einer DC-Leistungsquelle mit der Elektrode und einem negativen Anschluss der DC-Leistungsquelle mit den Verdrahtungen durch Sonden, die entsprechend in Kontakt mit den zweiten Anschlüssen sind, oder kapazitives Koppeln zwischen den Verdrahtungen und einer zweiten Elektrode, und Detektieren eines elektrischen Stroms, der von der Elektrode zu den Verdrahtungen durch die DC-Leistungsquelle fließt.
  • Die elektromagnetische Welle kann selektiv und aufeinander folgend auf die ersten Anschlüsse der Verdrahtungen nacheinander bestrahlt werden, und ein elektrischer Potentialunterschied wird hergestellt zwischen der Elektrode und dem zweiten Anschluss der ausgewählten Verdrahtung, auf solch eine Art und Weise, dass die Elektrode ein Potential aufweist, das höher ist als das der ausgewählten Verdrahtung.
  • Die elektromagnetische Welle kann selektiv und aufeinanderfolgend auf den einen der Anschlüsse der Verdrahtungen nacheinander bestrahlt werden, und ein Unterschied eines elektrischen Potentials wird hergestellt zwischen der Elektrode und dem zweiten Anschluss der Verdrahtung neben der ausgewählten Verdrahtung, auf solch eine Art und Weise, dass die Elektrode ein Potential aufweist, das höher ist als das des zweiten Anschlusses der Verdrahtung neben der ausgewählten Verdrahtung.
  • Die elektromagnetische Welle kann selektiv und aufeinander folgend auf die ersten Anschlüsse der Verdrahtungen gestrahlt werden, und ein Unterschied eines elektrischen Potentials wird hergestellt zwischen der Elektrode und dem zweiten Anschluss der ausgewählten Verdrahtung oder zwischen der Elektrode und dem zweiten Anschluss der Verdrahtung neben der ausgewählten Verdrahtung, auf solch eine Art und Weise, dass die Elektrode ein Potential aufweist, das höher ist als das des ersten Anschlusses der ausgewählten Verdrahtung oder der Verdrahtung neben der ausgewählten Verdrahtung.
  • Für eine Schaltungsplatte mit jeweils einer Verdrahtung enthaltend den ersten Anschluss, gebildet auf einer Oberfläche der Schaltungsplatte, die dem Strahler ausgesetzt ist, und einen elektrischen Leiter, gebildet auf der Oberfläche der Schaltungsplatte oder innerhalb der Schaltungsplatte und elektrisch verbunden mit dem ersten Anschluss, kann einem durch die eingefangenen Elektronen hervorgerufenen Strom erlaubt werden, durch die Verdrahtung zu fließen über eine kapazitive Kopplung, die durch die Verdrahtung und eine zweite Elektrode, verbunden mit der ersten Elektrode, gebildet wird. Die Beurteilung wird durchgeführt, basierend auf einem Strom, der durch die Verdrahtung fließt.
  • Für eine Schaltungsplatte mit einer Grundschicht, die kapazitiv gekoppelt ist mit den Leitern der Verdrahtungen, kann das Verfahren ferner den Schritt eines Verbindens einer Leistungsquelle mit der Grundschicht umfassen, um dem Strom, der durch die eingefangenen Elektronen hervorgerufen wird, zu erlauben, durch den Leiter über die kapazitive Kopplung zu der Grundschicht zu fließen.
  • Für eine Schaltungsplatte mit einem Paar an Anschlüssen, die auf einer Oberfläche der Schaltungsplatte gebildet sind, die dem Bestrahler ausgesetzt ist, der zum Bestrahlen aller auf der Oberfläche ausgesetzten Anschlüsse angeordnet ist, einem elektrischen Leiter, der auf der Oberfläche der Schaltungsplatte oder innerhalb der Schaltungsplatte gebildet ist und elektrisch mit dem Paar an Anschlüssen verbunden ist, kann eine zweite Elektrode bereitgestellt werden, die kapazitiv mit den Verdrahtungen zu koppeln ist, und einer von dem Paar der Anschlüsse kann mit einer elektromagnetischen Welle bestrahlt werden, um einen ersten Strom zu detektieren, aufgrund der Elektronen, die durch die erste Elektrode gefangen werden, und der durch die kapazitive Kopplung fließt. Der andere von dem Paar der Anschlüsse kann mit einer elektromagnetischen Welle bestrahlt werden, um einen zweiten Strom aufgrund der Elektronen zu detektieren, die durch die erste Elektrode eingefangen werden, und durch die kapazitive Kopplung fließen. Eine Kontinuität zwischen dem Paar von Anschlüssen wird bestimmt, basierend auf dem ersten und zweiten Strom.
  • Für eine Schaltungsplatte mit jeder Verdrahtung mit einem elektrischen Leiter, der auf der Oberfläche der Schaltungsplatte oder innerhalb der Schaltungsplatte gebildet ist und elektrisch mit den ersten und zweiten der Anschlüsse verbunden ist, kann eine zweite Elektrode bereitgestellt werden, um kapazitiv mit den Leitern gekoppelt zu werden, und einer der ersten Anschlüsse kann mit einer elektromagnetischen Welle bestrahlt werden, um einen ersten Strom aufgrund der Elektronen zu detektieren, die von der ersten Elektrode eingefangen werden und der durch die kapazitive Kopplung fließt. Ein anderer erster Anschluss kann bestrahlt werden mit einer elektromagnetischen Welle, wobei ein zweiter Strom aufgrund der durch die erste Elektrode gefangenen Elektronen detektiert wird und durch die kapazitive Kopplung fließt. Eine Kontinuität zwischen dem Paar von Anschlüssen wird bestimmt, basierend auf dem ersten und zweiten Strom.
  • Das Verfahren kann ferner Schritt eines Integrierens des ersten Stroms umfassen, sowie Integrieren des zweiten Stroms und Bestimmen der Kontinuität, basierend auf den integrierten Werten.
  • Die ersten Anschlüsse der Verdrahtungen können kollektiv bzw. zusammen mit der elektromagnetischen Welle bestrahlt werden. Eine Spannung kann angelegt werden zwischen der Elektrode und einer ausgewählten Verdrahtung, so dass die Spannung bei der Elektrode höher ist als die der Spannung bei der ausgewählten Verdrahtung.
  • Das Verfahren kann ferner den Schritt eines Anlegens einer Spannung zwischen dem ersten Anschluss der ausgewählten Verdrahtung und dem zweiten Anschluss von einer der Verdrahtungen, die anders ist, als die ausgewählte Verdrahtung, umfassen, um einen Kurzschluss zwischen der ausgewählten Verdrahtung und der anderen Verdrahtung zu detektieren.
  • Das Verfahren kann ferner den Schritt eines Anlegens einer Spannung umfassen, zwischen dem zweiten Anschluss der Zielverdrahtung und dem zweiten Anschluss von mindestens einer der Verdrahtungen, die anders sind, als die ausgewählte Verdrahtung, um durch den ersten Anschluss der anderen Verdrahtung Elektronen einzufangen, die von dem ersten Anschluss der ausgewählten Verdrahtung abgesondert werden.
  • Das Verfahren kann ferner den Schritt umfassen: Umschließen des Raums, in dem Elektronen abgesondert werden; und Druckentlasten des geschlossenen Raums, wobei diese Schritte vor dem Bestrahlungsschritt ausgeführt werden.
  • Diese Anmeldung basiert auf Patentanmeldungen Nr. 2001-42356 , 2001-111132 und 2001-111133 , die in Japan eingereicht wurden.

Claims (23)

  1. Eine Schaltungsplattentestvorrichtung zum Testen einer Kontinuität und/oder eines Kurzschlusses von Verdrahtungen (12, 121, 212, 321, 322, 222, 232, 233a, 233b, 412, 521, 523, 522), die auf einer Schaltungsplatte (10) gebildet sind, wobei jede Verdrahtung erste (12a, 121a, 212a, 321a, 322a, 222a, 232a, 233a-1, 412a, 521a, 523a, 522a) und zweite (12b, 121b, 212b, 321aa, 322b, 222b, 232b, 233b-1, 412b, 521b) Anschlüsse aufweist, und die Vorrichtung umfasst: einen Elektromagnetische-Welle-Strahler (60, 260, 470), umfassend Mittel zum Bestrahlen der ersten Anschlüsse der Verdrahtungen mit elektromagnetischen Wellen, um Elektronen von den ersten Anschlüssen durch den photoelektrischen Effekt abzusondern; eine Elektrode zum Einfangen der abgesonderten Elektronen; einen Spannungsversorger (80, 270, 460) zum Anlegen einer Spannung an die Elektrode auf eine Art und Weise, dass Spannung an der Elektrode höher ist als Spannung bei den Verdrahtungen; einen Stromdetektor (90, 280, 480), umfassend Mittel zum Detektieren eines elektrischen Stroms, der hervorgerufen wird, durch die durch die Elektrode eingefangenen Elektronen und durch die Verdrahtungen verließt; und einen Beurteiler (S5, S6, S56, S66, T65, T617, U74, U714, U724, U728), umfassend Mittel zum Bestimmen der Existenz einer Offenen-Schaltung und/oder eines Kurzschlusses der Verdrahtungen, basierend auf dem Strom, der durch den Stromdetektor detektiert wird; dadurch gekennzeichnet, dass der Spannungsversorger zwischen der Elektrode und dem zweiten Anschluss durch eine elektrisch leitende Verbindung verbunden ist, so dass der elektrische Strom, hervorgerufen durch die durch die Elektrode eingefangenen Elektronen in den zweiten Anschluss fließt; und dadurch, dass der Stromdetektor den elektrischen Strom detektiert, der durch die Elektrode und den zweiten Anschluss einer ausgewählten Verdrahtung hindurchgeht.
  2. Die Schaltungsplattentestvorrichtung nach Anspruch 1, wobei der Elektromagnetische-Welle-Strahler angeordnet ist zum alternativen Bestrahlen der ersten Anschlüsse nacheinander, und der Spannungsversorger eine Gleichstromquelle (80) mit einem positiven Anschluss, verbunden mit der Elektrode, enthält, und einen negativen Anschluss, verbindbar mit den zweiten Anschlüssen (121b), nacheinander, und eine Mehrzahl von Sonden (41, 41a), die entsprechend in Kontakt mit den zweiten Anschlüssen sind, und alternativ verbindbar sind mit dem negativen Anschluss der Stromquelle zum alternativen Verbinden der zweiten Anschlüsse der Verdrahtungen mit der Stromquelle.
  3. Die Schaltungsplattentestvorrichtung nach Anspruch 2, wobei der Elektromagnetische-Welle-Strahler einen Ablenker (62) enthält, der die Richtung der elektromagnetischen Welle (L) auf solch eine Art und Weise ändert, dass die ersten Anschlüsse (12a, 121a) der Verdrahtungen mit der elektromagnetischen Welle selektiv und nacheinanderfolgend bestrahlt werden.
  4. Die Schaltungsplattentestvorrichtung nach Anspruch 2, wobei der Spannungsversorger Schalter (42a, 45a, 45b, 45c) enthält, die entsprechend mit den Sonden (41, 41a) verbunden sind, zum Verbinden des zweiten Anschlusses (121b) der ausgewählten Verdrahtung mit der Stromquelle (80).
  5. Die Schaltungsplattentestvorrichtung nach Anspruch 1, wobei der Spannungsversorger Schalter (42a, 45a, 45b, 45c) enthält, die entsprechend mit den Sonden (41, 41a) verbunden sind, zum Verbinden des zweiten Anschlusses einer Verdrahtung angrenzend an die ausgewählte Verdrahtung, von der der erste Anschluss durch die elektromagnetischen Wellen bestrahlt wird.
  6. Die Schaltungsplattentestvorrichtung nach Anspruch 1, wobei der Spannungsversorger eine Stromquelle (80) enthält, und einen Verbinder, der die Stromquelle, die Elektrode, den zweiten Anschluss der ausgewählten Verdrahtung und den Stromdetektor miteinander verbindet, um eine geschlossene Schaltung darzustellen, durch die der durch die Elektronen hervorgerufene Elektronenstrom fließt.
  7. Die Schaltungsplattentestvorrichtung nach Anspruch 1, wobei der Elektromagnetische-Welle-Strahler (470) angeordnet ist, zum kollektiven Bestrahlen der ersten Anschlüsse (412a, 521a, 522a, 523a) der Verdrahtungen mit einer elektromagnetischen Welle zum Absondern der Elektronen von den ersten Anschlüssen durch den photoelektrischen Effekt; ein Auswähler (442) bereitgestellt wird zum Auswählen einer der Verdrahtungen; und der Beurteiler Mittel zum Beurteilen einer Kontinuität der ausgewählten Verdrahtung umfasst, basierend auf dem detektierten Strom.
  8. Die Schaltungsplattentestvorrichtung nach Anspruch 7, wobei der Spannungsversorger eine Stromquelle (460) mit einem ersten Pol (+), verbunden mit der Elektrode (453), enthält, sowie den zweiten Pol (–), verbunden mit dem zweiten Anschluss (412b, 521b) der ausgewählten Verdrahtung, und der Auswähler (422) eine Schalteranordnung (444, 442) enthält, für ein elektrisches Verbinden der zweiten Anschlüsse der Verdrahtungen, abgesehen von der ausgewählten Verdrahtung, mit dem ersten Pol (+) der Stromquelle (460).
  9. Die Schaltungsplattentestvorrichtung nach Anspruch 7, wobei der Spannungsversorger eine Stromquelle (460) mit einem ersten Pol (+), verbunden mit der Elektrode (453) enthält, sowie einen zweiten Pol (–), verbunden mit dem zweiten Anschluss der ausgewählten Verdrahtung, und der Auswähler eine Schalteranordnung aufweist, zum elektrischen Verbinden des zweiten Anschlusses der ausgewählten Verdrahtung mit dem zweiten Pol der Stromquelle mittels des Stromdetektors (480), und die entsprechenden zweiten Anschlüsse der Verdrahtungen, abgesehen von der ausgewählten Verdrahtung, mit dem zweiten Pol (–) der Stromquelle, wobei der Stromdetektor umgangen wird.
  10. Die Schaltungsplattentestvorrichtung nach Anspruch 9, wobei der Auswähler einen Schalter (444) enthält, zum Auswählen eines Zustands (a), wo der zweite Anschluss der ausgewählten Verdrahtung elektrisch mit dem zweiten Pol (–) der Stromquelle (460) verbunden ist, mittels des Stromdetektors (480), und die zweiten Anschlüsse der Verdrahtungen, abgesehen von der ausgewählten Verdrahtung, sind elektrisch mit dem zweiten Pol (–) der Stromquelle verbunden, wobei der Stromdetektor umgangen wird, und eines anderen Zustands (b), wo der zweite Anschluss der ausgewählten Verdrahtung elektrisch mit dem zweiten Pol (–) der Stromquelle verbunden ist, mittels des Stromdetektors (480), und die zweiten Anschlüsse der Verdrahtung, abgesehen von der ausgewählten Verdrahtung, sind mit dem ersten Pol (+) der Stromquelle elektrisch verbunden.
  11. Die Schaltungsplattentestvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, ferner umfassend ein Gehäuse (54, 251, 451), das die ersten Anschlüsse der Mehrzahl von Verdrahtungen einschießt, um einen luftdicht geschlossenen Raum (SP) zu bilden, sowie einen Druckentlaster (290) mit einer Einrichtung zum Druckentlasten in dem geschlossenen Raum.
  12. Die Schaltungsplattentestvorrichtung nach Anspruch 11, wobei das obere Teil des Gehäuses durchsichtig ist, der Elektromagnetische-Welle-Strahler (60, 260, 470) sich über dem Gehäuse befindet, und die ersten Anschlüsse durch das obere Teil des Gehäuses bestrahlt, und die Elektrode auf dem Gehäuse gebildet ist.
  13. Die Schaltungsplattentestvorrichtung nach Anspruch 12, wobei die Elektrode eine transparente Elektrode enthält, die auf einem oberen Teil des Gehäuses gebildet ist.
  14. Die Schaltungsplattentestvorrichtung nach Anspruch 12, wobei das Elektrodenteil eine vermaschte Elektrode enthält, die auf dem oberen Teil des Gehäuses gebildet wird, und der Elektromagnetische-Welle-Strahler eine Einrichtung zum Bestrahlen des ersten Anschlusses durch das obere Teil des Gehäuses umfasst, das nicht von der vermaschten Elektrode abgedeckt wird.
  15. Die Schaltungsplattentestvorrichtung nach Anspruch 12, wobei die Seitenwand des Gehäuses aus elektrisch leitendem Material hergestellt ist, um als die Elektrode zu fungieren.
  16. Die Schaltungsplattentestvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, wobei der Spannungsversorger eine Stromquelle (80, 72, 65) mit zwei Polen (+, –) enthält, sowie einen Verbinder, der die ausgewählte Verdrahtung mit einem Pol (–) der Stromquelle verbindet, und mindestens einen Teil der nicht-ausgewählten Verdrahtungen (12) mit dem anderen Pol der Stromquelle, so dass die ersten Anschlüsse (12a, 233b-2, 412a) der Verdrahtungen verbunden mit dem anderen Pol der Stromquelle als die Elektrode dienen.
  17. Die Schaltungsplattentestvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, wobei der Spannungsversorger eine Stromquelle (80) mit mindestens zwei Polen enthält, und eine Schalteranordnung (45), die die ausgewählte Verdrahtung (121) mit einem Pol (–) der Stromquelle verbindet, und alle die nicht-ausgewählten Verdrahtungen mit dem anderen Pol (+) der Stromquelle, so dass die ersten Anschlüsse der Verdrahtungen verbunden mit dem anderen Pol der Stromquelle als die Elektrode dienen.
  18. Ein Verfahren zum Testen einer Kontinuität und/oder eines Kurzschlusses von Verdrahtungen (12, 121, 212, 321, 322, 222, 232, 233a, 233b, 412, 521, 523, 522), gebildet auf einer Schaltungsplatte (10), wobei jede Verdrahtung erste (12a, 121a, 212a, 321a, 322a, 222a, 232a, 412a, 521a, 523a, 522a) und zweite (12b, 121b, 212b, 321aa, 322b, 222b, 232b, 412b, 521b) Anschlüsse aufweist, und die Schritte umfasst: Bestrahlen der ersten Anschlüsse der Verdrahtungen mit elektromagnetischen Wellen, zum Aussondern von Elektronen von den ersten Anschlüssen der Verdrahtungen in einen Raum durch den photoelektrischen Effekt; Einfangen ausgesonderter Elektronen durch eine Elektrode (51, 253, 233b-2, 453) mit einem positiven Potential zum Hervorrufen eines elektrischen Stroms durch die eingefangenen Elektronen; und Beurteilen einer Kontinuität und/oder eines Kurzschlusses der Verdrahtungen, basierend auf dem elektrischen Strom der durch die Verdrahtungen fließt, gekennzeichnet durch die Schritte: Verbinden, über eine elektrisch leitende Verbindung, eines positiven Anschlusses einer Gleichstromquelle (80, 270, 460) mit der Elektrode und einem negativen Anschluss der Gleichstromquelle mit den Verdrahtungen durch Sonden (41, 41a, 441), die entsprechend in Kontakt mit den zweiten Anschlüssen sind, und Detektieren eines elektrischen Stroms, der von der Elektrode zu den Verdrahtungen durch die Gleichstromquelle fließt.
  19. Das Verfahren nach Anspruch 18, wobei die elektromagnetische Welle selektiv und hintereinanderfolgend auf die ersten Anschlüsse (121a) der Verdrahtungen nacheinander gestrahlt wird, und die Sonden (41a, 41) alternativ mit dem negativen Anschluss der Stromquelle (80) verbunden werden, so dass der elektrische Strom, hervorgerufen durch die Elektronen, in eine Verdrahtung (121) durch die verbundene Sonde (41a) fließt und durch die Verdrahtung (121c) von ihrem zweiten zum ersten Anschluss fließt.
  20. Das Verfahren nach Anspruch 18, wobei die elektromagnetische Welle selektiv und nacheinanderfolgend auf die ersten Anschlüsse der Verdrahtungen nacheinander gestrahlt wird, und eine Sonde, die mit einem zweiten Anschluss einer Verdrahtung verbunden ist neben der Verdrahtung, von der der erste Anschluss bestrahlt wird, alternativ mit dem negativen Anschluss der Stromquelle so verbunden wird, dass der elektrische Strom, hervorgerufen durch die Elektronen, in die danebenliegende Verdrahtung durch die Sonde fließt, und durch die Verdrahtung von ihrem zweiten Anschluss zu dem bestrahlten ersten Anschluss fließt, wenn die benachbarten Verdrahtungen zueinander kurzgeschlossen werden.
  21. Das Verfahren nach Anspruch 18, wobei die elektromagnetische Welle selektiv und nacheinanderfolgend auf die ersten Anschlüsse der Verdrahtungen gestrahlt wird, und ein Unterschied eines elektrischen Potentials erstellt wird zwischen der Elektrode und dem zweiten Anschluss der ausgewählten Verdrahtung oder zwischen der Elektrode und dem zweiten Anschluss der Verdrahtung neben der ausgewählten Verdrahtung, auf solch eine Art und Weise, dass die Elektrode ein Potential aufweist, das höher ist als das des zweiten Anschlusses der ausgewählten Verdrahtung oder der Verdrahtung neben der ausgewählten Verdrahtung.
  22. Das Verfahren nach Anspruch 18, wobei die ersten Anschlüsse der Verdrahtungen kollektiv mit elektromagnetischen Wellen bestrahlt werden, und die Sonden (41a, 41) alternativ mit dem negativen Anschluss der Stromquelle (80) verbunden werden, so dass der elektrische Strom, hervorgerufen durch die Elektronen in die Verdrahtung (121) durch die verbundene Sonde (41a) fließt, und durch die Verdrahtung (121c) von ihren zweiten (121b) zum ersten Anschluss (121a) fließt.
  23. Das Verfahren nach einem der Ansprüche 18 bis 22, ferner umfassend die Schritte, Einfassen des Raumes, in dem Elektronen abgesondert werden; und Druckentlasten des geschlossenen Raumes, wobei diese Schritte vor dem Bestrahlungsschritt ausgeführt werden.
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Families Citing this family (55)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7202690B2 (en) * 2001-02-19 2007-04-10 Nidec-Read Corporation Substrate inspection device and substrate inspecting method
US7217579B2 (en) * 2002-12-19 2007-05-15 Applied Materials, Israel, Ltd. Voltage contrast test structure
JP2007524802A (ja) * 2003-11-12 2007-08-30 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション 電気的検証のためのイオン化試験
US7188037B2 (en) * 2004-08-20 2007-03-06 Microcraft Method and apparatus for testing circuit boards
FR2881835B1 (fr) * 2005-02-04 2007-07-27 Beamind Soc Par Actions Simpli Procede et systeme de test ou de mesure d'elements electriques
FR2881832B1 (fr) * 2005-02-04 2007-04-20 Beamind Soc Par Actions Simpli Procede de test de conducteurs electriques par effet photoelectrique, au moyen d'une plaque separatrice
FR2881834B1 (fr) * 2005-02-04 2007-05-11 Beamind Soc Par Actions Simpli Procede et systeme de test ou de mesure d'elements electriques, au moyen de deux impulsions decalees
JP3953087B2 (ja) * 2005-10-18 2007-08-01 日本電産リード株式会社 絶縁検査装置及び絶縁検査方法
JP3849948B1 (ja) * 2005-11-16 2006-11-22 日本電産リード株式会社 基板検査用治具及び検査用プローブ
US7276914B2 (en) * 2006-01-31 2007-10-02 University Of Delaware System and method for guided TDR/TDT computerized tomography
TW200744986A (en) * 2006-02-14 2007-12-16 Exxonmobil Chemical Patents Inc Process for producing phenol and methyl ethyl ketone
US8004293B2 (en) * 2006-11-20 2011-08-23 Applied Materials, Inc. Plasma processing chamber with ground member integrity indicator and method for using the same
CN101201371B (zh) * 2006-12-15 2011-12-21 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 印刷电路检测装置和方法
US7748901B2 (en) * 2007-04-06 2010-07-06 Unisyn Medical Technologies, Inc. Universal x-ray test bed
US7944550B2 (en) * 2008-02-29 2011-05-17 International Business Machines Corporation System and method for detecting local mechanical stress in integreated devices
US7752000B2 (en) * 2008-05-02 2010-07-06 Qcept Technologies, Inc. Calibration of non-vibrating contact potential difference measurements to detect surface variations that are perpendicular to the direction of sensor motion
JP5632584B2 (ja) * 2009-02-05 2014-11-26 ピーエスフォー ルクスコ エスエイアールエルＰＳ４ Ｌｕｘｃｏ Ｓ．ａ．ｒ．ｌ． 半導体装置
JP2010276510A (ja) * 2009-05-29 2010-12-09 Nidec-Read Corp 検査用治具
US8941390B2 (en) 2012-03-01 2015-01-27 Neuronexus Technologies, Inc. System and method for testing electrical circuits using a photoelectrochemical effect
CN103792481B (zh) * 2012-11-02 2016-08-03 纬创资通股份有限公司 电路板自动测试装置及电路板自动测试方法
JP6182974B2 (ja) * 2013-05-20 2017-08-23 日本電産リード株式会社 基板検査方法
US9121884B2 (en) * 2013-06-07 2015-09-01 Infineon Technologies Ag Capacitive test method, apparatus and system for semiconductor packages
TWI487924B (zh) * 2013-11-19 2015-06-11 Machvision Inc 印刷電路板的檢測方法及其裝置
US9640447B2 (en) * 2014-02-21 2017-05-02 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Test circuit and method
CN103869211B (zh) * 2014-03-24 2016-08-17 广州杰赛科技股份有限公司 一种以手套测试孔内开路的方法
CN103869212B (zh) * 2014-03-24 2016-08-17 广州杰赛科技股份有限公司 一种无针痕测试方法
CN104198570B (zh) * 2014-09-10 2016-08-17 国家电网公司 反向偏压下测量短路电流衰减计算陷阱参数的装置和方法
JP2016151573A (ja) * 2015-02-19 2016-08-22 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体装置の製造方法およびプローブカード
CN104714147B (zh) * 2015-03-20 2017-12-01 广东小天才科技有限公司 导电薄膜检测方法和系统
CN104732902B (zh) * 2015-04-21 2017-08-08 京东方科技集团股份有限公司 显示基板、显示面板及显示装置
CN105259463A (zh) * 2015-11-06 2016-01-20 天津普林电路股份有限公司 一种高密度积层板覆铜线路层短路点和断路点测试方法
US9934341B2 (en) * 2015-11-11 2018-04-03 International Business Machines Corporation Simulation of modifications to microprocessor design
TWI583274B (zh) * 2016-03-18 2017-05-11 High test density of the circuit test board
JP6611251B2 (ja) * 2016-03-22 2019-11-27 ヤマハファインテック株式会社 検査治具、検査装置及び検査方法
US10670656B2 (en) 2016-05-09 2020-06-02 International Business Machines Corporation Integrated electro-optical module assembly
US10687425B2 (en) 2016-05-09 2020-06-16 International Business Machines Corporation Method of forming a plurality of electro-optical module assemblies
US10393798B2 (en) * 2016-05-09 2019-08-27 International Business Machines Corporation Integrated electro-optical module assembly
US10638613B2 (en) 2016-05-09 2020-04-28 International Business Machines Corporation Method of forming a plurality of electro-optical module assemblies
CN106199091B (zh) * 2016-07-22 2019-05-31 京东方科技集团股份有限公司 电学功能测试装置、系统及方法
WO2018021216A1 (ja) * 2016-07-28 2018-02-01 日本電産リード株式会社 検査治具、基板検査装置、及び検査治具の製造方法
CN108267431A (zh) * 2016-12-30 2018-07-10 鸿富锦精密电子(郑州)有限公司 电路板点胶检测装置及检测方法
CN107907818B (zh) * 2017-10-12 2020-07-31 中车青岛四方机车车辆股份有限公司 一种检测多场作用下电路板的实验装置及实验方法
KR102387464B1 (ko) * 2017-10-12 2022-04-15 삼성전자주식회사 배선 회로 테스트 장치 및 방법과, 그 방법을 포함한 반도체 소자 제조방법
CN107884701B (zh) * 2017-10-12 2020-06-16 中车青岛四方机车车辆股份有限公司 一种电路板耐受过电压损伤的实验装置及实验方法
CN108169664B (zh) * 2017-12-29 2021-01-01 深圳市大族数控科技有限公司 电路板故障检测方法和装置、计算机设备和存储介质
CN109031088A (zh) * 2018-06-11 2018-12-18 成都京蓉伟业电子有限公司 一种电路板多路电流测试方法及其系统
CN109541441A (zh) * 2018-12-30 2019-03-29 广东盈科电子有限公司 一种微波炉主板fct自动测试系统
CN113939983A (zh) * 2019-06-04 2022-01-14 阔智有限公司 半导体元件试验装置以及半导体元件的试验方法
CN112305398A (zh) * 2019-08-01 2021-02-02 富港电子（东莞）有限公司 自动化电路板测试系统及其方法
CN110346669A (zh) * 2019-08-07 2019-10-18 重庆臻宝实业有限公司 下部电极检测系统
CN111308231A (zh) * 2020-02-29 2020-06-19 同济大学 一种绝缘介质薄膜电荷注入情况的测量方法和装置
TWI743918B (zh) * 2020-07-31 2021-10-21 牧德科技股份有限公司 電路板的電性測試方法
CN112557713B (zh) * 2020-12-08 2022-06-03 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 激光诱导强脉冲电流注入装置
CN114594368A (zh) * 2022-03-07 2022-06-07 深圳市阳晶电子科技有限公司 电容式检测装置及其检测方法
WO2023217354A1 (en) * 2022-05-10 2023-11-16 Applied Materials, Inc. Method for testing a packaging substrate, and apparatus for testing a packaging substrate

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2938855A1 (de) * 1979-09-26 1981-04-09 Chemische Werke Hüls AG, 4370 Marl Einkomponenten-einbrennlacke
US4310365A (en) * 1979-12-26 1982-01-12 Western Electric Company, Inc. Methods for the manufacture of multi-conductor flat cable
US4578279A (en) * 1981-05-26 1986-03-25 International Business Machines Corporation Inspection of multilayer ceramic circuit modules by electrical inspection of unfired green sheets
DE3685331D1 (de) * 1986-10-23 1992-06-17 Ibm Verfahren zur pruefung von platinen fuer integrierte schaltungen mittels eines lasers im vakuum.
US4967152A (en) * 1988-03-11 1990-10-30 Ultra-Probe Apparatus including a focused UV light source for non-contact measurement and alteration of electrical properties of conductors
US5017863A (en) * 1989-10-20 1991-05-21 Digital Equipment Corporation Electro-emissive laser stimulated test
JP3003974B2 (ja) * 1993-11-22 2000-01-31 富士通株式会社 電圧・変位検出プローブ及びこれを用いた電圧・変位測定装置
US5517110A (en) * 1995-04-06 1996-05-14 Yentec Inc. Contactless test method and system for testing printed circuit boards
US5781017A (en) * 1996-04-26 1998-07-14 Sandia Corporation Capacitive charge generation apparatus and method for testing circuits
US20010015641A1 (en) * 1998-09-23 2001-08-23 Mark A. Swart Circuit board testing apparatus
US6369590B1 (en) * 1999-01-14 2002-04-09 Maniatech Incorporated Apparatus and method using photoelectric effect for testing electrical traces
US6369591B1 (en) * 1999-01-14 2002-04-09 Maniatech Incorporated Apparatus and method using photoelectric effect for testing electrical traces
FR2801680B3 (fr) † 1999-11-26 2002-02-15 Christophe Vaucher Methode de test electrique de la conformite de l'interconnexion de conducteurs electriques disposes sur un substrat, sans contact et sans outillage

Also Published As

Publication number Publication date
US6777949B2 (en) 2004-08-17
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