DE60208953T2 - Kühlplatte mit plattem Schlauch zur Flüssigkeitskühlung elektrischer Komponenten - Google Patents

Kühlplatte mit plattem Schlauch zur Flüssigkeitskühlung elektrischer Komponenten Download PDF

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Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Elektronische Bauteile, die auf Leiterplatten montiert sind, erzeugen Wärme, die für ihre korrekte Funktion abgeführt werden muss. In Anwendungen mit niedriger Gesamtleistung oder niedriger Leistungsdichte wird typischerweise Luft verwendet, um diese elektronischen Bauteile zu kühlen. Die Verwendung von Gebläsen, Rohrleitungen und/oder Wärmeableitern, um dies zu bewerkstelligen, ist in der Industrie gut verstanden und wird umfangreich verwendet.
  • In Anwendungen mit hoher Gesamtleistung oder hoher Leistungsdichte stellt Luft aufgrund ihrer relativ niedrigen Wärmekapazität eine unzureichende Kühlung bereit. In diesen Anwendungen können Flüssigkeiten verwendet werden, um eine signifikant verbesserte Kühlung bereitzustellen, aber Vorkehrungen müssen getroffen werden, um die Flüssigkeit aufzunehmen, so dass die elektronischen Bauteile nicht direkt mit der Flüssigkeit in Kontakt gebracht werden.
  • Ein herkömmliches Verfahren zum Kühlen von elektronischen Bauteilen verwendet eine durch Flüssigkeit gekühlte Platte. Herkömmliche durch Flüssigkeit gekühlte Kälteplatten bestehen typischerweise aus Kupfer oder Aluminium, obwohl andere Materialien verwendet werden können. Die Kälteplatte umfasst Kanäle in dieser zum Verteilen der Kühlflüssigkeit und Einlässe und Auslässe, um zu ermöglichen, dass die Flüssigkeit in die Kälteplatte eintritt und diese verlässt. Die Kälteplatte wird dann mit der elektronischen Leiterplatte in Kontakt gebracht. Die elektrischen Bauteile auf der Leiterplatte, die die Kälteplatte berühren, werden aufgrund ihrer unmittelbaren Nähe zur Kühlflüssigkeit dadurch gekühlt, aber die elektrischen Bauteile berühren zu keiner Zeit tatsächlich direkt die Kühlflüssigkeit.
  • Es gibt eine breite Vielfalt von Kälteplattentechnologien, die derzeit zur Verfügung stehen. Kälteplatten mit niedrigerer Leistung verwenden typischerweise Metallrohre, um die Flüssigkeit zu verteilen, und Kälteplatten mit höherer Leistung verwenden typischerweise eine Vakuumhartlötkonstruktion. Das Vakuumhartlöten ermöglicht die Verwendung von Hochleistungsrippen, die innerhalb des Flüssigkeitskanals an Stellen angeordnet werden sollen, an denen eine bessere Wärmeübertragung durch die Kälteplattenoberfläche erforderlich ist.
  • DE 198 13 532 C1 offenbart die Verwendung eines plattenförmigen Kühlers, der zwischen einer oberen und einer unteren Kontaktplatte, die durch den Kühler gekühlt werden, sandwichartig eingefügt ist.
  • In vielen Anwendungen befinden sich nur einige elektronische Bauteile auf einer Leiterplatte, die tatsächlich eine Flüssigkeitskühlung erfordern. Die vorliegende Erfindung stellt eine kosteneffiziente Kühlung für einzelne Bauteile sowie für ganze Leiterplatten bereit.
  • KURZE ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung richtet sich auf die Bereitstellung einer Kälteplatte, wie in Anspruch 1 und in Anspruch 14 definiert, die effizient und kosteneffizient elektrische Bauteile kühlt. Die vorliegende Erfindung wird durch Bereitstellung eines abgeflachten Rohrs, das aus einem kreisförmigen extrudierten Rohr so ausgebildet ist, dass es eine obere Oberfläche und eine untere Oberfläche aufweist, die im Wesentlichen parallel und aneinander angrenzend durch abgerundete Ecken verbunden sind und einen Innenraum festlegen, bewerkstelligt. Das kreisförmige extrudierte Rohr umfasst eine Vielzahl von Rippen, die sich von dessen Innenwänden in den Innenraum erstrecken, um eine Vielzahl von Kanälen in dem abgeflachten Rohr zwischen den Rippen auszubilden, um einen Kühlflüssigkeitsdurchgang durch diese festzulegen. Mindestens eine der oberen und der unteren Oberfläche des abgeflachten Rohrs umfaßt in einem bevorzugten Ausführungsbeispiel ein Befestigungsmittel zum Aufnehmen der elektrischen Bauteile. Ein erstes und ein zweites Kopfrohr sind mit entgegengesetzten Kanten des abgeflachten Rohrs verbunden, um die Kanäle des abgeflachten Rohrs zu verbinden. Dadurch werden ein Einlass und ein Auslass zum Leiten der Kühlflüssigkeit durch die Kanäle bereitgestellt. Das kreisförmige extrudierte Rohr kann aus Kupfer ausgebildet sein, so dass Wasser ohne Bedarf für irgendwelche Korrosionsschutzmittel als Kühlflüssigkeit verwendet werden kann.
  • In einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung erstrecken sich die Rippen parallel zu der Richtung, in der sich das abgeflachte Rohr erstreckt. Alternativ erstrecken sich die Rippen in einem vorbestimmten Winkel zu der Richtung, in der sich das abgeflachte Rohr erstreckt. Ferner können sich die zur oberen Oberfläche gehörenden Rippen in einem Winkel zu den Rippen erstrecken, die zur unteren Oberfläche gehören, um eine Vielzahl von Schnittpunkten zu bilden, die einen gekrümmten Fluidströmungsweg bilden.
  • Die vorliegende Erfindung richtet sich ferner auf ein Verfahren, wie in Anspruch 14 definiert, zum Ausbilden einer Kälteplatte zur Flüssigkeitskühlung von elektrischen Bauteilen. Das Verfahren umfasst die Schritte des Extrudierens von Metall in ein kreisförmiges Rohr mit einer Vielzahl von Rippen, die sich von der Innenfläche des Rohrs erstrecken, wobei die Rippen gleich beabstandet sind und eine vorbestimmte Höhe aufweisen. Dann wird das kreisförmig extrudierte Rohr abgeflacht, so dass eine obere Oberfläche und eine untere Oberfläche im Wesentlichen parallel und aneinander angrenzend durch abgerundete Ecken verbunden sind und sich die Rippen in das Innere zwischen der oberen und der unteren Oberfläche erstrecken. Befestigungsmittel werden in einem bevorzugten Ausführungsbeispiel zumindest an einer der oberen und der unteren Oberfläche des abgeflachten Rohrs befestigt, um die elektrischen Bauteile aufzunehmen. Folglich kann eine kosteneffiziente Kälteplatte bearbeitet werden, die dieser zugeordnete elektrische Bauteile effizient kühlt.
  • Weitere Aspekte, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden in der ausführlichen Beschreibung, die folgt, offenbart.
  • KURZBESCHREIBUNG DER VERSCHIEDENEN ANSICHTEN DER ZEICHNUNG
  • Die Erfindung wird durch Bezugnahme auf die folgende ausführliche Beschreibung der Erfindung in Verbindung mit den Zeichnungen genauer verstanden, in welchen gilt:
  • 1(a) stellt eine Kälteplatte gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung dar;
  • 1(b) stellt einen Querschnitt der in 1 gezeigten Kälteplatte dar;
  • 2(a) und 2(b) stellen Systeme mit mehreren Kälteplatten gemäß Ausführungsbeispielen der vorliegenden Erfindung dar;
  • 3 stellt die obere Oberfläche einer Kälteplatte mit Schraubenbefestigungen für elektrische Bauteile gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung dar;
  • 4(a) und 4(b) stellen obere und untere Abschnitte einer Kälteplatte mit abgewinkelten Rippen gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung dar;
  • 5(a) und 5(b) stellen den Schnittpunkt der Rippen bzw. eine isometrische Ansicht dieser Abschnitte gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung dar;
  • 6 stellt ein Kupferrohr vor der Nachbearbeitung gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung dar; und
  • 7(a) und 7(b) stellen ein Kälteplattensystem gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung dar.
  • AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
  • Eine Kälteplatte 100 zur Flüssigkeitskühlung von elektronischen Bauteilen gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung ist in 1(a) und 1(b) dargestellt. Die Kälteplatte 100 umfasst eine obere Oberfläche 120 und eine untere Oberfläche 130, die im Wesentlichen parallel und aneinander angrenzend durch abgerundete Ecken 122 und 124 verbunden sind. Eine Vielzahl von Rippen 110 erstrecken sich im Wesentlichen senkrecht zwischen der oberen und der unteren Oberfläche, um eine Vielzahl von Kanälen 140 über die Länge der Kälteplatte 100 auszubilden. Die Rippen können sich in diesem Ausführungsbeispiel gerade oder spiralförmig/verdreht die Länge des Rohrs hinab erstrecken.
  • Beim Ausbilden der Kälteplatte 100 können Kupfer, Aluminium oder andere ähnliche Materialien oder Zusammensetzungen zu abgeflachten Rohren extrudiert werden, die die Vielzahl von Rippen 110 enthalten. Da die Kälteplatte 100 aus Kupferrohren oder anderen formbaren Leitern in einem Extrusionsprozess ausgebildet wird, ist der Herstellungsprozess sehr kosteneffizient. Die Kälteplatte 100 des vorliegenden Ausführungsbeispiels weist auch eine Wärmeleistung ähnlich Kälteplatten auf, die durch einen Vakuumhartlötprozess ausgebildet werden, da die Rippen 110 sehr dünne Wände sind. Die Kälteplatte 100 des vorliegenden Ausführungsbeispiels wird jedoch mit einem Bruchteil der Kosten der vakuumhartgelöteten Kälteplatten hergestellt. Die Struktur des abgeflachten Rohrs der Kälteplatte 100 ist auch äußerst stark und kann interne Drücke in der Größenordnung von ungefähr 1000 psi oder mehr aushalten. Durch Biegen der Struktur des abgeflachten Rohrs um enge Radien wirken die internen Rippen 110 ferner als Abstandhalter, die verhindern, dass das Rohr knickt und der Durchgang zusammenfällt. Dadurch kann die Kälteplatte 100 zur Anordnung in kleinen und engen Kühlbereichen gebogen und geformt werden. Die Kälteplatte 100 kann beispielsweise in einem scharfen Radius gebogen werden und in einem Bereich nahe einem Motor angeordnet werden, um elektrische Bauteile zu kühlen.
  • Um Einlässe und Auslässe zum Kühlen durch Zirkulieren von Kühlflüssigkeit durch die Kälteplatte bereitzustellen, werden Kopfrohre 150 und 152 als Rohrverteiler in den Öffnungen mit den Enden der Kälteplatte 100 verbunden, wie in den Beispielen von 2(a) und 2(b) dargestellt. An den Enden 132 und 134 der Kälteplatte 100, die die Rippen 110 und Kanäle 140 freilegen, werden die Kopfrohre 150 und 152 entweder durch Kleben, Weichlöten, Hartlöten, Schweißen oder andere bekannte Befestigungsverfahren befestigt. In dem Ausführungsbeispiel von 2(a) ist eine Kälteplatte 100 zwischen den Kopfrohren 150 und 152 verbunden und in dem Ausführungsbeispiel von 2(b) sind fünf Kälteplatten 1001 1005 zwischen den Kopfrohren 150 und 152 verbunden, wobei eine beliebige größere Anzahl möglich ist.
  • In einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung werden elektrische Bauteile direkt an der oberen Oberfläche der Kälteplatte 100 durch Leim, Epoxid oder andere bekannte Klebstoffe befestigt. In einem weiteren Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung werden Schraubenbefestigungen 170 an der oberen Oberfläche der Kälteplatte 100 befestigt, wie in 3 dargestellt, so dass die elektrischen Bauteile bequem nach Bedarf befestigt und entfernt werden können. In dem Ausführungsbeispiel von 3 werden die Schraubenbefestigungen 170 direkt an die obere Oberfläche der Kälteplatte 100 bolzengeschweißt, so dass die elektrischen Bauteile eine Fassung zur Befestigung und Entfernung besitzen. Die Schraubenbefestigungen 170 können aus Aluminium, Kupfer oder anderen ähnlichen Materialien und Zusammensetzungen bestehen.
  • Die Kälteplatte 100 kann aus abgeflachten Rohren ausgebildet werden, die in einer Vielfalt von verschiedenen Breiten hergestellt werden. Abgeflachte Rohre mit Breiten im Bereich von 1,6 Inch bis 2,0 Inch wurden beispielsweise hergestellt und von diesen wurde gezeigt, dass sie ausreichende Breiten für viele Anwendungen aufweisen. Es ist jedoch möglich, die Kälteplatten 100 aus abgeflachten Rohren mit Breiten von 6 Inch und größer herzustellen, falls erforderlich.
  • Die abgeflachten Rohre können aus Aluminium, Kupfer und ähnlichen Metallen und Verbundstoffen bestehen. Ein Kupferrohr ist jedoch gegenüber Aluminium aufgrund seiner vorteilhaften Eigenschaften wie z.B. besserer Wärmeleitfähigkeit als Aluminium bevorzugt. Kupfer ist auch ein geeigneteres Metall, wenn Wasser als Kühlfluid verwendet wird, da Aluminium in Gegenwart von Wasser korrodiert. Wenn Aluminium als Metall für das abgeflachte Rohr verwendet wird und Wasser als Kühlflüssigkeit verwendet wird, müssen ferner gut bekannte und kommerziell erhältliche Korrosionsschutzmittel wie z.B. Ethylenglycolgemische zum Wasser zugegeben werden. Alternativ werden gut bekannte und kommerziell erhältliche Korrosionsschutzfluide wie z.B. stark dielektrische Fluide anstelle der Wasser/Korrosionsschutzmittel-Gemische anstelle von Wasser verwendet. Kupfer und andere Wasserkorrosionsschutz-Materialien sind jedoch aufgrund der größeren Wärmeleitfähigkeit und breiten Verfügbarkeit von Wasser zur Verwendung erwünscht. Wenn Wasser als Kühlfluid verwendet wird, können die Rippen 110 auch weiter beabstandet sein, um breitere Kanäle 140 bereitzustellen, da Wasser ausgezeichnete Wärmeübertragungseigenschaften vorsieht.
  • Eine Kälteplatte mit hoher Leistung, die aus Kupfer konstruiert ist, weist eine einzigartige Konstruktion sowohl in der Geometrie ihrer Strömungsdurchgänge als auch im Herstellungsprozess, der verwendet wird, um die Strömungsdurchgänge herzustellen, auf. 4(a) und 4(b) stellen ein Beispiel eines oberen Abschnitts und eines unteren Abschnitts 420 bzw. 430 einer Kälteplatte mit abgewinkelten Rippen 412 und 414 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung dar. Wenn der obere und der untere Abschnitt aufeinander gelegt werden, kreuzen die abgewinkelten Rippen einander und sehen abgewinkelte Fluidströmungswege durch Kanäle 422 und 424 vor, was die Wärmeübertragung erheblich verbessert. 5(a) stellt die Geometrie dar, die durch die abgewinkelten Rippen 512 und 514 am oberen und am unteren Abschnitt 520 bzw. 530 gebildet wird, und 5(b) stellt eine isometrische Ansicht der internen Durchgänge der Kälteplatte gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel dar. Die Dicke und Länge der Rippen sowie der Schnittwinkel der Rippen können auf der Basis der gewünschten Anwendung der Kälteplatte variieren. Dadurch können die Wände der Rippen in Abhängigkeit von der speziellen Anwendung leicht so zugeschnitten werden, dass sie dünn oder dick sind und eng oder breit beabstandet sind.
  • Der zur Herstellung des Musters der Strömungskanäle gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel verwendete Prozess umfasst die Nachbearbeitung eines Kupfer- oder eines anderen Rohrs 600 mit geraden Spiralrippen 610, die die Länge des Innendurchmessers hinab extrudiert sind. Ein beispielhafter Querschnitt der Geometrie des Kupferrohrs 600 vor irgendeiner Nachbearbeitung ist in 6 dargestellt. Die Nachbearbeitungsprozedur umfasst den Schritt des Modifizierens der äußeren Form für das Kupferrohr 600 von seinem ursprünglichen Durchmesser zu einem flachen Rohr, so dass die Rippen 610 an den Kreuzungspunkten miteinander in Kontakt stehen. Eine solche Modifikation kann durch Extrudieren des Rohrs 600 durch eine oder mehrere Düsen und/oder unter Verwendung einer Klemmform 604, die bewirkt, dass sich das Rohr 600 abflacht, erreicht werden. Eine Vielfalt von Verfahren zum Befestigen der Rippen 610 aneinander kann verwendet werden, um den Druckwiderstand des abgeflachten Rohrs für die resultierende Kälteplatte zu verbessern. Die Befestigungsverfahren können Weichlöten, Hartlöten und Schweißen der Rippen 610 umfassen.
  • 7(a) und 7(b) stellen ein fertiggestelltes Kälteplattensystem 700 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung mit einem Einlassrohr 720 und einem Auslassrohr 730 dar, die in entgegengesetzte Enden des abgeflachten Rohrs 710 hartgelötet sind, um ein System bereitzustellen, um zu ermöglichen, dass die Kühlflüssigkeit in die und aus den Kanälen des abgeflachten Rohrs 710 strömt. Die Kälteplatte kann gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung auch für eine Zwei-Phasen-Fluidströmung verwendet werden. Gut bekannte und kommerziell erhältliche Kühlmittel wie z.B. R134a können beispielsweise verwendet werden, so dass das Fluid in der Kälteplatte verdampft. Dadurch wird ein noch größerer Grad an Kühlung erreicht als mit nur einer Ein-Phasen-Flüssigkeit bewirkt werden kann.

Claims (21)

  1. Kälteplatte (100) zur Flüssigkeitskühlung von elektrischen Bauteilen mit: einem abgeflachten Rohr, das aus einem kreisförmigen extrudierten Rohr so ausgebildet ist, daß es eine obere Oberfläche (120) und eine untere Oberfläche (130) aufweist, die im wesentlichen parallel und durch abgerundete Ecken (122, 124) aneinander angrenzend verbunden sind und einen Innenraum festlegen, wobei das kreisförmige extrudierte Rohr umfaßt eine Vielzahl von Rippen (110), die sich in den Innenraum von dessen Innenwänden erstrecken, um eine Vielzahl von Kanälen (140) in dem abgeflachten Rohr zwischen den Rippen zu bilden, um einen Kühlflüssigkeitsdurchgang durch diese festzulegen, wobei die Vielzahl von Rippen (412, 414) extrudierte Rippenteile umfassen, die um die Innenwand des abgeflachten Rohrs beabstandet sind.
  2. Kälteplatte nach Anspruch 1, welche ferner ein erstes und ein zweites Kopfrohr (150, 152) umfaßt, die mit entgegengesetzten Kanten des abgeflachten Rohrs verbunden sind, die mit der Vielzahl von Kanälen (140) verbinden und einen Einlaß für die Kühlflüssigkeit am ersten Kopfrohr und einen Auslaß für die Kühlflüssigkeit nach dem Durchgang durch die Kanäle am zweiten Kopfrohr vorsehen.
  3. Kälteplatte nach Anspruch 1, wobei sich das abgeflachte Rohr in einer Richtung erstreckt und sich die Rippen (110) parallel zu der Richtung erstrecken.
  4. Kälteplatte nach Anspruch 1, wobei sich das abgeflachte Rohr in einer Richtung erstreckt und sich die Rippen (412, 414) in einem vorbestimmten Winkel zu der Richtung erstrecken.
  5. Kälteplatte nach Anspruch 1, wobei die Rippen (512), die der oberen Oberfläche (520) zugeordnet sind, sich in einem Winkel zu den Rippen (514) erstrecken, die der unteren Oberfläche (530) zugeordnet sind, wobei eine Vielzahl von Schnittpunkten gebildet werden, um einen gekrümmten Fluidströmungsweg zu bilden.
  6. Kälteplatte nach Anspruch 1, wobei das abgeflachte Rohr Kupfer umfaßt.
  7. Kälteplatte nach Anspruch 1, wobei die Kühlflüssigkeit Wasser umfaßt.
  8. Kälteplatte nach Anspruch 2, wobei eine Vielzahl der abgeflachten Rohre zwischen dem ersten und dem zweiten Kopfrohr (150, 152) verbunden sind.
  9. Kälteplatte nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei das abgeflachte Rohr eine Vielzahl von Befestigungshalterungen (170), die sich von diesem erstrecken, zum Aufnehmen der elektrischen Bauteile umfaßt.
  10. Kälteplatte nach Anspruch 9, wobei jede der Vielzahl von Befestigungshalterungen (170) eine jeweilige Schraubenbefestigung umfaßt, wobei die jeweilige Schraubenbefestigung ermöglicht, daß mindestens eines der elektrischen Bauteile an dieser befestigt werden kann und von dieser abnehmbar ist.
  11. Kälteplatte nach Anspruch 10, wobei jede Schraubenbefestigung direkt an die obere Oberfläche des abgeflachten Rohrs bolzengeschweißt ist.
  12. Kälteplatte nach den Ansprüchen 10 oder 11, wobei jede Schraubenbefestigung Kupfer umfaßt.
  13. Kälteplatte nach den Ansprüchen 10 oder 11, wobei jede Schraubenbefestigung Aluminium umfaßt.
  14. Verfahren zum Ausbilden eines Kälteplattensystems für die Flüssigkeitskühlung von elektrischen Bauteilen mit den Schritten: (a) Extrudieren von Metall in ein kreisförmiges Rohr mit einer Vielzahl von Rippen (110), die sich von der Innenfläche des Rohrs erstrecken, wobei die Rippen (110) gleich beabstandet sind und eine vorbestimmte Höhe aufweisen; (b) Abflachen des Rohrs, so daß eine obere Oberfläche (120) und eine untere Oberfläche (130) im Wesentlichen parallel und aneinander angrenzend durch abgerundete Ecken verbunden sind und sich die Rippen in ein Inneres zwischen der oberen und der unteren Oberfläche erstrecken; und (c) wobei der Extrusionsschritt das Verlängern des abgeflachten Rohrs umfaßt, so daß es Rippenteile umfaßt, die um die Innenwand des abgeflachten Rohrs beabstandet sind, und wobei die Rippen an gegenüberliegenden Oberflächen einander berühren, um eine Vielzahl von Kanälen (140) zu bilden.
  15. Verfahren nach Anspruch 14, welches ferner den Schritt des Verbindens des ersten und des zweiten Kopfrohrs (150, 152) mit Kanten des abgeflachten Rohrs umfaßt, um einen Einlaß für eine Kühlflüssigkeit in die Kanäle am ersten Kopfrohr und einen Auslaß für die Kühlflüssigkeit am zweiten Kopfrohr bereitzustellen.
  16. Verfahren nach Anspruch 14, wobei sich das abgeflachte Rohr in einer Richtung erstreckt und sich die Rippen (110) parallel zu der Richtung erstrecken.
  17. Verfahren nach Anspruch 14, wobei sich das abgeflachte Rohr in einer Richtung erstreckt und sich die Rippen (412, 414) in einem vorbestimmten Winkel zu der Richtung erstrecken.
  18. Verfahren nach Anspruch 14, wobei die Rippen (512), die der oberen Oberfläche (520) zugeordnet sind, sich in einem Winkel zu den Rippen erstrecken, die der unteren Oberfläche (530) zugeordnet sind, wobei eine Vielzahl von Schnittpunkten gebildet werden, um einen gekrümmten Fluidströmungsweg zu bilden.
  19. Verfahren nach Anspruch 14, wobei das abgeflachte Rohr in Schritt (a) aus Kupfer extrudiert wird.
  20. Verfahren nach Anspruch 15, wobei die Kühlflüssigkeit Wasser umfaßt.
  21. Verfahren nach Anspruch 15, welches ferner den Schritt des Verbindens einer Vielzahl der abgeflachten Rohre zwischen dem ersten und dem zweiten Kopfrohr (150, 152) umfaßt.
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