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Gebiet der Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf Verfahren zum Bilden von
Nanostrukturen, insbesondere auf Verfahren zum Bilden von Nanodrähten und Nanoröhren.
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Allgemeiner Stand der Technik
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Nanotechnologie
wird von dem Institute of Nanotechnology in Großbritannien definiert als „Wissenschaft
und Technologie, bei der Dimensionen und Toleranzen in dem Bereich
von 0,1 Nanometer (nm) bis 100 nm eine entscheidende Rolle spielen".
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Forschung
auf dem Gebiet der Nanotechnologie ist eine sich schnell ausweitende
Industrie und umfasst die Produktion von Nanostrukturen-Strukturen,
die mindestens eine Dimension in mindestens ungefähr der Skala
von 0,1 bis 100 nm (als „Nanoskala" bezeichnet) aufweisen.
Zwei Beispiele von Nanostrukturen sind Nanodrähte und Nanoröhren, die
beide einen Nanoskalen-Querschnitt aufweisen.
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Verfahren
zum Bilden von Nanostrukturen umfassen Verfahren auf der Basis der
Miniaturisierung von Technologie, die anfänglich auf einer größeren Skala
als der Nanoskala entwickelt worden war, und neue Verfahren für die Bildung
von Nanostrukturen aus molekularen Bauelementen.
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Aktuelle
Verfahren zum Bilden von Nanodrähten
beruhen üblicherweise
auf elektrochemischer Basis und involvieren die Verwendung poröser Materialien
wie etwa Aluminiumoxid. Die Poren derartiger Materialien sind zum
Beispiel Kanäle
mit den gewünschten
Dimensionen für
die zu bildenden Nanodrähte.
Ionen des Metalls, aus dem die Nanodrähte gebildet werden sollen,
sind in einem Elektrolyten enthalten und werden durch das Anlegen
einer Spannung über
zwei Elektroden, die an beiden Enden der Kanäle positioniert sind, in die
Kanäle
gezogen. Sobald die Nanodrähte
gebildet sind, involviert das Extrahieren der Nanodrähte aus
dem porösen
Material gewöhnlich
die Entfernung des porösen
Materials.
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Die
in diesem Prozess gebildeten Nanodrähte werden häufig als
Pulver eingesammelt, und die Einsammlung und Handhabung der einzelnen
Nanodrähte
ist ein relativ zeitaufwendiger, Fachkenntnisse verlangender und
teurer Prozess. Zur Zeit gibt es keinen automatisierten Prozess
für die
verlässliche Handhabung
einzelner Nanodrähte.
Aus diesem Grund ist die Verwendung von Nanodrähten, die durch diesen Prozess
produziert werden, in der Industrie unpraktisch. Zusätzlich dazu
werden die Poren des porösen
Materials oft maschinell hergestellt, um den gewünschten Dimensionen der zu
bildenden Nanodrähte
zu entsprechen. Dies erweist sich als schwierig, wenn die Dimensionen
der Poren strenge Toleranzen erfüllen
müssen.
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Die
wissenschaftliche Veröffentlichung „Synthesis
and magnetic behavior of an array of nickel-filled carbon nanotubes", Applied Physics
Letters 81, 4592 (2002), beschreibt ein Verfahren zum Bilden von
nickelgefüllten
Kohlenstoffnanoröhren. Bei
diesem Verfahren werden zunächst
innerhalb der Poren einer Aluminiumoxidmembran hohle Kohlenstoffnanoröhren gebildet.
Dafür wird
Acetylengas (C2H2)
mit einer relativ hohen Temperatur von 700°C verwendet. Nickel (Ni) wird
dann durch ein elektrochemisches Verfahren ähnlich dem zuvor beschriebenen
im Inneren der hohlen Nanoröhren
abgelagert. Sobald die Nanodrähte
gebildet sind, wird das Aluminiumoxid entfernt, und die nickelgefüllten Nanoröhren werden
bei diesem Verfahren als ein geordnetes Array erhalten, bei dem
die Nanodrähte
nacheinander ausgerichtet sind. Trotz dieser Ordnung und Ausrichtung
ist jegliche Handhabung einzelner Nanoröhren schwierig. Zusätzlich dazu
verhindert die relativ hohe Temperatur des Verfahrens die Verwendung von
Reagenzien, die bei derartigen Temperaturen unbeständig sind.
Die Verwendung von Acetylengas ist relativ gefährlich, da das Gas entflammbar
ist, insbesondere bei relativ hohen Temperaturen.
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Kohlenstoffnanoröhren werden
gewöhnlich auf
einem Substrat gebildet, das eine ferromagnetische katalytische
Schicht, zum Beispiel aus Nickel, aufweist. Im Allgemeinen wird
durch den Abbau eines Gases, zum Beispiel Acetylen, durch Erhitzen und/oder
eine Anlegung eines elektrischen Feldes ein Kohlenstoffdampfplasma
gebildet. Der Kohlenstoff des Plasmas reagiert mit der katalytischen Schicht,
um Nanoröhren
zu bilden, die sich vertikal von dem Substrat bilden und ungefähr nacheinander ausgerichtet
sind. Häufig
bildet die katalytische Schicht bei Erhitzen einzelne Partikel,
wobei jedes einzelne Partikel zur Bildung einer Nanoröhre führt. Ausgerichtete
Nanoröhren
bilden sich üblicherweise nur
in Gegenwart eines von außen
angelegten elektrischen Feldes.
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Die
wissenschaftliche Veröffentlichung „Uniform
patterned growth of carbon nanotubes without surface carbon", K. B. K. Teo, M. Chhowalla,
G. A. J. Amaratunga, W. I. Milne, D. G. Hasko, G. Pirio, P. Legagneux,
F. Wyczisk und D. Pribat, Applied Physics Letters 79, 1534 (2001),
beschreibt ein Verfahren zum Züchten
vertikal ausgerichteter Nanoröhren
an präzisen
Stellen auf einem Substrat. Ein katalytischer Nickelfilm auf einem
Substrat bei 700°C
bildet Nanopartikel aus dem Nickel. Ammoniak- und Acetylengas werden
bei dieser Temperatur eingeführt,
und unter Verwendung einer Technik der plasmaunterstützten Gasphasenabscheidung
(PECVD) werden Nanoröhren
aus den Nickelnanopartikeln vertikal zu dem Substrat gezüchtet. Ein
elektrisches Feld, das durch das Plasma induziert wird, bewirkt,
dass die Nanoröhren ausgerichtet
werden.
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Die
wissenschaftliche Veröffentlichung „Large-area
synthesis of carbon nanofibres at room temperature", B. O. Boskovic,
V. Stolojan, R. U. A. Khan, S. Haq und S. R. P. Silva, Nature Materials,
165 (2002), beschreibt ein Verfahren zum Bilden von Kohlenstoffnanofasern
bei Zimmertemperatur, 100°C und
250°C. Eine
gut gebildete Nanoröhre
lässt sich betrachten,
als beinhalte sie eine hohle Röhre,
die Wände
aufweist, welche aus gekrümmten
Lagen gebildet sind, die z. B. aus Graphit gebildet sind. Jedes Ende
der hohlen Röhre
ist mit einer Fulleren-Halbkugel gekappt, die typischerweise aus
Kohlenstoff gebildet ist. Eine Nanofaser kann als eine Nanoröhre betrachtet
werden, bei der die Lage und die Fullerenstrukturen Defekte beinhalten.
Bei diesem Verfahren werden die Nanofasern unter Verwendung von
Methangas als Kohlenstoffquelle aus Nickelpartikeln auf einem Substrat
gebildet. Eine Hochfrequenzspannung, die über das Volumen des Methans
angelegt wird, erzeugt ein Kohlenwasserstoffplasma, das den zur
Nanofaserbildung an der Oberfläche
der Nickelpartikel erforderlichen Kohlenstoff bereitstellt. An einer Spitze
jeder wachsenden Nanofaser verbleibt ein Nickelpartikel, und obwohl
dieses Verfahren bei Zimmertemperatur durchgeführt werden kann, bewirkt die
Hochfrequenz-PECVD eine Überhitzung
dieser Spitze bis auf eine Temperatur von ungefähr 450–1250°C, um eine für die Reaktion erforderliche Energie
bereitzustellen. Die durch dieses Verfahren gebildeten Nanofasern
sind nicht ausgerichtet, sondern weisen eine sogenannte ,Spaghetti-Morphologie' auf.
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Bei
diesen beiden Verfahren des Stands der Technik zur Bildung von Nanoröhren unter
Verwendung einer PECVD-Technik ist eine relativ hohe Temperatur
erforderlich, damit die Bildungsreaktion auftreten kann, ungeachtet
einer Umgebungstemperatur. Derartige relativ hohe Temperaturen verhindern die
Verwendung von Materialien, die bei derartigen Temperaturen unbeständig sind.
Zusätzlich
dazu ist die Verwendung von Acetylen- oder Methangas, die bei ähnlichen
Reaktionen zum Bilden von Nanoröhren
gewöhnlich
verwendet wird, relativ gefährlich,
da das Gas entflammbar ist, besonders bei relativ hohen Temperaturen.
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Die
wissenschaftliche Veröffentlichung „One-dimensional
positioning of carbon nanocapsules and spontaneous formation of
carbon nanotubes by self-organization of gold nanoparticles", Takeo Oku und Katsuaki
Suganuma, beschreibt ein Verfahren zum spontanen Bilden von Goldnanopartikeln und
-nanodrähten,
die in Kohlenstoffnanokapseln verkapselt sind, und Nanoröhren, die
aus eindimensionalen, selbstorganisierenden Goldnanopartikeln auf
Kohlenstoffdünnfilmen
durch Tempern bei niedrigen Temperaturen von 200–400°C gebildet werden. Oku et al.
stellten fest, dass die eindimensionale Anordnung von Goldnanopartikeln
stark von der Klebkraft an den Atomstufenkanten von amorphen Kohlenstoffdünnfilmen
abhing. Die Goldkristalle im Inneren der Nanoröhren stellten sich als durch
das Kristallwachstum der Nanodrähte
verzerrt heraus.
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Die
wissenschaftliche Veröffentlichung „A method
for synthesizing large quantities of carbon nanotubes and encapsulated
copper nanowires",
A. A. Setlur, J. M Lauerhaas, J. Y. Dai und R. P. H. Chang, Applied
Physics Letters, Band 69, Nr. 3, S. 345–347 (1996), beschreibt ein
Verfahren, das einen Wasserstofflichtbogen zum Synthetisieren großer Mengen
an Kohlenstoffnanoröhren,
die mit reinem Kupfer gefüllt
sind, verwendet. Setlur et al. zeigen, dass die Wechselwirkung kleiner
Kupfer-Cluster mit polyzyklischen aromatischen Kohlenwasserstoffen (PAK)
Kohlenstoffnanoröhren
und verkapselte Kupfernanodrähte
bildet. Die Wirksamkeit dieses Modells wird bewiesen, indem gezeigt
wird, dass keine kupfergefüllten
Nanoröhren
in einem Heliumlichtbogen, der keine PAK erzeugt, gebildet werden.
Die Verwendung von Pyren, einem PAK-Molekül, zum Züchten von Kohlenstoffnanoröhren und
verkapselten Kupfernanodrähten
wird ebenfalls offenbart.
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Es
ist ein Ziel der vorliegenden Erfindung, Verbesserungen an Verfahren
zum Bilden von Nanodrähten
und Nanoröhren
bereitzustellen, insbesondere bei relativ niedrigen Temperaturen.
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Zusammenfassung der Erfindung
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Gemäß einem
ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zum
Bilden eines Nanodrahtes bereitgestellt, das Folgendes beinhaltet:
- (a) Bereitstellen einer Anordnung von Nanopartikeln,
die ein erstes Material beinhaltet;
- (b) Bereitstellen eines Fluids von Molekülen;
- (c) Ablagern von mindestens etwas zweitem Material aus dem Fluid
von Molekülen
auf eine äußere Oberfläche von
einem der Nanopartikel, um eine Ablagerung zu bilden, die mindestens
einen Teil des Äußeren des
einen Nanopartikels umgibt; und
- (d) Zusammenfügen
von mehr von dem ersten Material aus den Nanopartikeln mit dem einen
Nanopartikel, um eine längliche
Konfiguration des ersten Materials in der Form eines Nanodrahtes zu
produzieren.
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Vorzugsweise
ist jedes der Moleküle
ein Abbauprodukt. Noch besser bilden die Abbauprodukte einen Dampf.
Vorzugsweise wird der Dampf von einem Polymer bereitgestellt, das
anfänglich
fest ist und erhitzt wird, um eine Temperatur von zwischen 100 und
600°C zu
erreichen; dies bewirkt den Abbau des Polymers, um einen Dampf zu
bilden.
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Gemäß einem
zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zum
Bilden einer Nanoröhre
bereitgestellt, das Folgendes beinhaltet:
- (a)
Bereitstellen einer Anordnung von Nanopartikeln, die ein erstes
Material beinhaltet;
- (b) Bereitstellen eines Fluids von halogenierten Molekülen;
- (c) Ablagern von mindestens etwas zweitem Material aus den halogenierten
Molekülen
auf eine äußere Oberfläche von
einem der Nanopartikel, um eine erste Ablagerung des zweiten Materials zu
bilden, die mindestens einen Teil des Äußeren des einen Nanopartikels
umgibt; und
- (d) Ablagern von mindestens etwas weiterem zweitem Material
aus den halogenierten Molekülen,
um eine zweite Ablagerung des zweiten Materials auf der ersten Ablagerung
anzubringen, um eine Anordnung von Ablagerungen in der Form einer
Nanoröhre
zu produzieren.
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Die
Temperatur des Verfahrens zum Bilden der Nanodrähte oder der Nanoröhren ist
relativ niedrig und ermöglicht
die Verwendung von Reagenzien, die oberhalb dieser Temperaturen
unbeständig
sind, in der Bildungsreaktion. Zusätzlich dazu ist die Verwendung
eines Dampfes bei einer derartigen, relativ niedrigen Temperatur
weniger gefährlich
als die Verwendung eines entflammbaren Gases bei relativ hohen Temperaturen.
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Nanodrähte und
Nanoröhren,
die bei diesen relativ niedrigen Temperaturen gebildet werden, können so
gebildet werden, dass sie im Wesentlichen linear sind, ohne den
Bedarf an einem von außen
angelegten magnetischen oder elektrischen Feld. Des Weiteren erfordert
das Verfahren der vorliegenden Erfindung nicht die Verwendung irgendeiner
auf Plasma basierenden Technik. Dies stellt ein relativ einfaches
und effizientes Verfahren zum Bilden von Nanodrähten und Nanoröhren bereit.
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Mit
der Verwendung eines Dampfes der Moleküle, die von dem anfänglich festen
Polymer bereitgestellt werden, statt eines Gasvorläufers, der
für die Bildung
der Nanodrähte
oder Nanoröhren
bereitgestellt wird, werden geringere Aktivierungsenergien zum Auftreten
der Bildungsreaktion benötigt.
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Eine
Vorrichtung zum Bereitstellen des Verfahrens zum Bilden der Nanodrähte oder
Nanoröhren umfasst
kein Gaseinlasssystem, und ihre Installation ist daher relativ einfach
und kostengünstig.
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Zur
Bildung von Nanodrähten
der vorliegenden Erfindung werden die Dimensionen der Nanodrähte nicht
von einem Vorlagematerial bestimmt, zum Beispiel einem porösen Material
wie etwa Aluminiumoxid. Nanodrähte
mit gleichmäßigen Dimensionen
werden effizient gebildet, ohne den Bedarf an der Produktion eines
Vorlagematerials mit präzisen
Spezifikationen.
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Weitere
Merkmale und Vorteile der Erfindung werden aus der nachfolgenden
Beschreibung von bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung,
die lediglich als Beispiel gegeben und unter Bezug auf die begleitenden
Zeichnungen vorgenommen wird, ersichtlich.
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Kurze Beschreibung der Zeichnungen
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1 zeigt
schematisch eine Vorrichtung zum Produzieren von Nanopartikeln gemäß einer Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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2 zeigt
eine Abbildung von Nanopartikeln, die gemäß einer Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung gebildet wurden.
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3 zeigt
eine Abbildung eines Nanopartikels nach einem Temperprozess gemäß einer
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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4 zeigt
schematisch eine Vorrichtung für ein
Verfahren zum Bilden eines Nanodrahtes oder einer Nanoröhre gemäß einer
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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5 zeigt
schematisch einen Schritt zum Bilden eines Nanodrahtes gemäß einer
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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6 zeigt
schematisch einen weiteren Schritt zum Bilden eines Nanodrahtes
gemäß einer Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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7 zeigt
schematisch als Draufsicht eine Bildung von Nanodrähten gemäß einer
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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8 zeigt
eine Abbildung als Draufsicht der Bildung der Nanodrähte gemäß einer
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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9 zeigt
eine Abbildung der Nanodrähte auf
einem höheren
Vergrößerungsniveau
gemäß einer
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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10 zeigt
eine Abbildung eines Nanodrahtes, der gemäß einer Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung gebildet wurde.
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11 zeigt
eine Abbildung eines Nanodrahtes nach einem Temperprozess gemäß einer Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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12 zeigt
eine Abbildung von Nanodrähten,
die gemäß einer
anderen Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung gebildet wurden.
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13 zeigt
schematisch einen Schritt zum Bilden einer Nanoröhre gemäß einer Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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14 zeigt
schematisch einen weiteren Schritt zum Bilden der Nanoröhre gemäß einer
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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15 zeigt
schematisch als Draufsicht eine Bildung von Nanoröhren gemäß einer
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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16 zeigt
eine Abbildung als Draufsicht der Bildung von Nanoröhren gemäß einer
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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Beschreibung von bevorzugten
Ausführungsformen
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1 zeigt
schematisch eine Vorrichtung zum Produzieren von Nanopartikeln gemäß einer Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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Die
Partikel sind aus einem metallischen Material und werden für das Verfahren
zum Bilden eines Nanodrahtes oder einer Nanoröhre gemäß Ausführungsformen der vorliegenden
Erfindung bereitgestellt. In dem Fall der Ausführungsformen, die in der nachfolgenden
Patenschrift beschrieben werden sollen, sind die Partikel Nanopartikel,
von denen jedes mindestens eine Dimension auf der Nanoskala aufweist.
Das metallische Material in dieser Ausführungsform ist Kobaltcarbid
(Co3C), das eine Legierung aus einem ferromagnetischen
Material ist, bei dem es sich in diesem Fall um das Metall Kobalt
(Co) handelt. Das Kobaltcarbid wird unter Verwendung einer Kohlelichtbogentechnik
gebildet.
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Die
Kohlelichtbogentechnik involviert eine Kathode 2, die aus
Graphit gebildet ist, und eine Anode 4, die aus einer Mischung
von komprimiertem Graphit- und Kobaltpulver gebildet wird. Die Mischung
beinhaltet ungefähr
30–50
Massenanteile Kobalt. Unter Verwendung einer elektrischen Gleichstromquelle 5 wird
zwischen der Kathode 2 und der Anode 4 ein Lichtbogen
initiiert, was auf der Kathode 2 einen Lichtbogenfleck 6 produziert.
Zwischen der Anode 4 und einem Substrat 10 wird
ein Plasma 8 gebildet. Das Plasma 8 nimmt einen
Bereich ein, der sich in einer Richtung von der Kathode 2 und
der Anode 4 zu dem Substrat 10 hin ausbreitet.
Stickstoffgas (N2) fließt durch eine Öffnung 7 innerhalb
der Anode 4 in eine Region des Plasmas 8. Das
Substrat in diesem Beispiel ist aus einer Folie von Aluminium (Al) gebildet.
Kobaltcarbidnanopartikel 12 werden durch diese Kohlelichtbogentechnik
gebildet und von dem sich ausbreitenden Plasma 8 getragen
und auf dem Substrat 10 abgelagert. Die Kohlelichtbogentechnik wird
in einer Umwelt mit reduziertem Druck durchgeführt, vorzugsweise einem wesentlichen
Vakuum. Mit wesentlichem Vakuum meinen wir einen reduzierten Druck,
der mindestens um eine Größenordnung
kleiner als der atmosphärische
Druck ist. Dieses wesentliche Vakuum wird durch die Entfernung 14 von
atmosphärischen
Molekülen
in einer Reaktionskammer 13 unter Verwendung einer Vakuumpumpe
bereitgestellt.
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2 zeigt
eine Abbildung der Kobaltcarbidnanopartikel 12, die unter
Verwendung der beschriebenen Kohlelichtbogentechnik gebildet wurden.
Es ist zu beachten, dass die hier gezeigten Abbildungen unter Verwendung
eines hochauflösenden
Elektronenmikroskops (HREM) aufgezeichnet wurden. Wie zu sehen ist,
sind die Nanopartikel 12 ungefähr sphärisch und weisen eine Kernregion 16 und
eine Peripherieregion 18 auf. Die Maßstabsleiste 20 gibt
den durchschnittlichen Durchmesser der Nanopartikel 12 in
diesem Beispiel als ungefähr
5 nm an. Die Kernregion 16 beinhaltet Kobaltcarbid und
daher einen relativ hohen Anteil von Kohlenstoff.
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3 zeigt
eine Abbildung eines Nanopartikels 12 nach einem Temperprozess.
In einem Temperprozess bewegt sich der relativ hohe Anteil von Kohlenstoff
der Kernregion 16 in die Peripherieregion 18.
Der Temperprozess involviert das Erhitzen der Nanopartikel 12 in
einem wesentlichen Vakuum auf eine Temperatur zwischen 300 und 600°C, in dieser Ausführungsform
ungefähr
375°C, über eine
ausgewählte
Periode von zwischen 5 und 100 Stunden, in dieser Ausführungsform
ungefähr
72 Stunden. Die Nanopartikel 12 sind nach dem Temperprozess
getemperte Nanopartikel 22 und weisen eine Kernregion 24 und
eine Peripherieregion 26 auf. Die Kernregion 24 der
getemperten Nanopartikel beinhaltet im Wesentlichen nur Kobalt und
daher einen relativ geringen Anteil von Kohlenstoff. Die getemperte
Peripherieregion 26 beinhaltet einen hohen Anteil von Kohlenstoff,
der in Schichten aus Graphit angeordnet ist. Nach der Entfernung
von Kohlenstoff aus der Kernregion 16 weist die getemperte
Kernregion 24 eine erhöhte
Magnetisierung eines Mehrfachen von ungefähr 100 auf. Die Maßstabsleiste 28 gibt
den durchschnittlichen Durchmesser dieses getemperten Nanopartikels 22 als
ungefähr
10 bis 12 nm an.
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4 zeigt
schematisch eine Vorrichtung für ein
Verfahren zum Bilden eines Nanodrahtes oder einer Nanoröhre gemäß Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung. Ein Reaktionsgefäß ist eine Röhre 28,
die aus einem Metall gebildet ist, bei dem es sich in diesem Fall
um Edelstahl handelt, und weist eine Länge von ungefähr 20 cm
und eine Breite von ungefähr
6 cm auf. Ein erstes Ende 30 der Röhre 28 ist abgedichtet
und ein zweites Ende 32 der Röhre 28 ist perforiert.
Im Inneren der Röhre 28 befinden
sich ein erstes Reagenzgefäß 34 und
ein zweites Reagenzgefäß 36,
wobei beide Reagenzgefäße Bechergläser mit
einem Volumen von ungefähr
5 ml sind und aus Quarz gebildet sind. Das erste und das zweite
Reagenzgefäß 34, 36 liegen
auf einer Seite und ein offenes Ende jedes Gefäßes weist zu dem abgedichteten ersten
Ende 32. Das erste Reagenzgefäß 34 enthält eine
Vielzahl von agglomerierten Massen von Nanopartikeln 35,
die auf einem Substrat angeordnet sind. In Ausführungsformen der vorliegenden
Erfindung sind die Nanopartikel 35, außer anderweitig angegeben,
die Nanopartikel 22, die unter Verwendung der zuvor beschriebenen
Kohlelichtbogentechnik gebildet wurden, ohne getempert worden zu
sein.
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Das
Substrat in diesem Beispiel ist ein aus Kupfer gebildetes Gitter 38 zur
Verwendung in einem Transmissionselektronenmikroskop (TEM). Die
agglomerierten Massen von Nanopartikeln 35 ruhen auf einem
Film aus Kohlenstoff, der Schichten von amorphem Kohlenstoff beinhaltet
und auf einer Oberfläche des
TEM-Gitters 38 gestützt
wird. Die Kohlenstoff beinhaltenden Schichten können eine Kohlennitrid- oder
Kohlenoxidstützschicht
umfassen. Das zweite Reagenzgefäß 36 enthält eine
Vielzahl von Molekülen 40,
die in der Form eines anfänglich
festen Polymers vorliegen.
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Bedingungen
zur Bildung von Nanodrähten oder
Nanoröhren
werden durch die Vorrichtung bereitgestellt und umfassen das Anwenden
von Wärme,
um eine Temperatur T zu erreichen, die angesetzt ist, um sowohl
den festen Polymer 40 zu schmelzen als auch ein Koaleszieren
der Nanopartikel 36 zu verhindern. Für noch zu beschreibende Ausführungsformen
liegt die Temperatur T unter 600°C
und vorzugsweise über
100°C. Noch
besser liegt die Temperatur T unter 500°C und über 150°C. Bei dieser Ausführungsform
betrug die verwendete Temperatur ungefähr 375°C. Eine Heizvorrichtung 42 stellt
die Wärme
bereit, um diese Temperatur T zu erreichen, und ein Thermoelement 44 hilft
bei der Regulierung der Temperatur T. Die Bedingungen zur Bildung
von Nanodrähten
oder Nanoröhren
umfassen ferner das Bereitstellen eines wesentlichen Vakuums, in
dieser Ausführungsform
ungefähr
10–6 mbar, vor
dem Bereitstellen der Temperatur T. Die Röhre 28 wird in das
Innere einer Vakuumkammer 46 platziert, aus der atmosphärisches
Gas mit einer Pumpe entfernt wird 48, um das wesentliche
Vakuum bereitzustellen. Für
noch zu beschreibende Ausführungsformen
werden die Bedingungen zur Bildung von Nanodrähten oder Nanoröhren über eine
Periode von zwischen 3 und 100 Stunden, in dieser Ausführungsform ungefähr 72 Stunden,
bereitgestellt.
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Mit
Bereitstellung der Bedingungen zur Bildung von Nanodrähten oder
Nanoröhren
wird der anfänglich
feste Polymer nach dem Schmelzen abgebaut, um einen Dampf aus Abbauprodukten
zu bilden. Diese Abbauprodukte umfassen Moleküle, die Kohlenstoff enthalten
und die ein Fluid von Molekülen bilden.
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5 zeigt
schematisch einen Schritt zum Bilden eines Nanodrahtes gemäß einer
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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In
dieser Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung beinhaltet ein Verfahren zum Bilden eines Nanodrahtes
das Bereitstellen einer Agglomeration von Kobaltcarbidnanopartikeln 50 auf
einem Kohlenstofffilm des TEM-Kupfergitters 52 gemäß der bereits beschriebenen
Vorrichtung zur Bildung von Nanodrähten. Die Moleküle des Dampfes
enthalten Kohlenstoff und sind in dieser Ausführungsform Fluorkohlenwasserstoffabbauprodukte
R1, typischerweise mit der chemischen Formel
C2CIF3. Das anfänglich feste
Polymer, das diese Fluorkohlenwasserstoffabbauprodukte R1 bereitstellt, ist Polychlor-trifluor-ethen),
das die chemische Formel (C2CIF3)n aufweist, wobei n die Anzahl von Monomereinheiten
in den Polymermolekülen
ist. Dieses Polymer hat den Markennamen Kel-F® und
hat einen Schmelzpunkt von ungefähr
200°C.
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Bei
Bereitstellen der Bedingungen zur Bildung von Nanodrähten erreichen
die Abbauprodukte R1 das Agglomerat von
Nanopartikeln 50 einschließlich eines Nanopartikels 54.
Es wird angenommen, dass die Abbauprodukte R1 mit
einem Äußeren 55 der
Nanopartikel 50 in Wechselwirkung treten, wie durch Pfeile
in 5 angezeigt, und der weitere Abbau der Abbauprodukte
R1 durch die katalytische Wirkung der Nanopartikel 50 bewirkt
wird. Der weitere Abbau der Abbauprodukte R1 ergibt
Kohlenstoff, Fluor (F2) und Chlor (Cl2). Mindestens etwas Kohlenstoff von den
Abbauprodukten R1, der in diesem weiteren
Abbau produziert wird, wird auf dem Äußeren des einen Nanopartikels 54 abgelagert,
um eine Schicht Kohlenstoff zu bilden, die zumindest einen Teil
des Äußeren 55 umgibt.
In diesem Beispiel beinhaltet die Kohlenstoffschicht Graphit und
beinhaltet eine Vielzahl von Schichten aus Graphit 56.
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6 zeigt
schematisch einen weiteren Schritt des Bildens eines Nanodrahtes.
Nach der Ablage des Kohlenstoffs auf dem einen Nanopartikel wird
der weitere Abbau der Abbauprodukte R1 durch die
katalytische Wirkung der Nanopartikel 50 in der Nachbarschaft
des einen Nanopartikels 54 bereitgestellt. Mindestens etwas
Kohlenstoff von den Abbauprodukten R1, der
durch diesen weiteren Abbau bereitgestellt wird, wird auf die Kohlenstoffschicht,
die zumindest einen Teil des Äußeren 55 des
einen Nanopartikels 54 umgibt, abgelagert, um eine Nanoröhre zu bilden,
die einen länglichen
Raum umschließt. Das
eine Nanopartikel 54 fügt
sich mit weiteren der Nanopartikel 50 einschließlich des
weiteren Nanopartikels 58 zusammen, um eine längliche
Konfiguration von Nanopartikeln zu bilden, die ein Nanodraht 60 innerhalb
der Nanoröhre
ist. In dieser Ausführungsform
beinhaltet die Nanoröhre
Schichten aus Graphit. Alternativ oder zusätzlich dazu kann die Nanoröhre fehlerhaftes
Graphit, amorphen Kohlenstoff und/oder Kohlenstofffaser umfassen.
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7 zeigt
schematisch als Draufsicht eine Bildung einer Vielzahl von Nanodrähten gemäß dem Verfahren
zum Bilden von Nanodrähten
aus dieser Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung. Es ist zu beachten, dass eine Vielzahl
von Nanodrähten 60 aus
einer einzigen agglomerierten Masse von Nanopartikeln 50 gebildet
wird. Die Nanodrähte 60 sind nach
ihrer Bildung typischerweise im Wesentlichen linear.
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8 zeigt
eine Draufsicht der Bildung der Vielzahl von Nanodrähten 60.
Die Abbildung, die unter Verwendung eines Transmissionselektronenmikroskops
(TEM) aufgenommen wurde, weist eine Maßstabsleiste 62 auf,
die den durchschnittlichen Durchmesser jedes Nanodrahtes 60 als
ungefähr
15 bis 25 nm angibt. In dieser Abbildung lässt sich die agglomerierte
Masse 64, aus der die Vielzahl von Nanodrähten 60 gebildet
wird, leicht erkennen. Die Abbildung von 8 ist mit
Blick nach unten auf die Oberfläche
des TEM-Gitters 52, auf dem die Nanopartikel 50 montiert
sind, aufgenommen. Nanodrähte 60 werden
gesehen, die sich in zu einer Ebene der Oberfläche des TEM-Gitters 52 ungefähr parallelen Richtungen
bilden. Es sei angemerkt, dass sich die Nanodrähte 60 auch in weiteren
Richtungen, einschließlich
einer zu der oben erwähnten
Ebene senkrechten Richtung, bilden können.
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9 zeigt
eine weitere TEM-Abbildung der Nanodrähte 60 bei einer stärkeren Vergrößerung.
Die Maßstabsleiste 66 gibt
die durchschnittliche Breite der Nanodrähte 60 als ungefähr 5 nm
an. Die nähere Vergrößerung dieser
Abbildung ermöglicht
es, Einzelheiten der Nanodrähte 60 zu
sehen. Die Nanodrähte 60 wiesen
eine Kernregion 67 auf, die den Nanopartikeln 50 entspricht,
einschließlich
des einen Nanopartikels 54 und des weiteren Nanopartikels 58, innerhalb
der Graphitschicht 68 des Nanodrahtes 60. Aus 9 wird
ersichtlich, dass die Kernregion 67 aus Kobaltcarbid im
Allgemeinen eine ungefähr
regelmäßige kristalline
Struktur aufweist.
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10 zeigt
eine TEM-Abbildung eines weiteren Nanodrahtes, der gemäß dieser
Ausführungsform
gebildet ist. Der Nanodraht ist den oben beschriebenen und in 9 dargestellten ähnlich.
Die Maßstabsleiste 69 gibt
den durchschnittlichen Durchmesser der Nanodrähte als ungefähr 11 nm
an. Eine Kernregion 70 dieses Nanodrahtes und eine Graphitschicht 71 sind
der Kernregion 67 und der Graphitschicht 68 des
Nanodrahtes 60, der unter Verwendung von 9 beschrieben
wurde, ähnlich,
mit der Ausnahme, dass die Kernregion 70 eine beträchtlich weniger
regelmäßige kristalline
Struktur aufweist und die Graphitschicht 71 strukturelle
Defekte beinhaltet.
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11 zeigt
eine TEM-Abbildung eines Nanodrahtes nach einem Temperprozess. Der
verwendete Temperprozess für
die Nanodrähte 60 involviert das
Anwenden von Wärme,
um eine Temperatur von zwischen 300 und 600°C zu erreichen, in dieser Ausführungsform
ungefähr
375°C. Die
Nanodrähte 60 werden
bei dieser Temperatur über
eine angemessene Zeitdauer getempert. Der Temperprozess bewirkt, dass
sich mindestens ein Großteil
des Kohlenstoffes in der Kernregion 67 der Nanodrähte 60 zu
der Graphitschicht 68 bewegt. Zusätzlich dazu trägt der Temperprozess
dazu bei, die Atome der Kernregion 67 durch einen Sinterprozess
enger zu packen. Stickstoffgas kann verwendet werden, um eine nicht
reaktive Umwelt während
dieses Temperprozesses bereitzustellen. Die getemperten Nanodrähte beinhalten
eine getemperte Kernregion 73, die eine im Wesentlichen
kontinuierliche kristalline Struktur aufweist, die im Wesentlichen
mit einer Kristallstrukturprojektion von Delta-Kobalt (δ-Co) übereinstimmt. Diese
kristalline Struktur ist ähnlich
der der getemperten Kernregion 24 der getemperten Nanopartikel. Dies
ist von einer getemperten Graphitschicht 74 umgeben, die
eine größere Vielzahl
an Graphitschichten als die Graphitschicht des Nanodrahtes 60 vor
dem Temperprozess beinhaltet. Die Maßstabsleiste 72 gibt
den durchschnittliche Durchmesser der getemperten Nanodrähte als
ungefähr
8 nm an.
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12 zeigt
eine TEM-Abbildung von Nanodrähten,
die gemäß einer
anderen Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung gebildet wurden. Bei dieser anderen Ausführungsform
sind die auf dem TEM-Gitter
bereitgestellten Nanopartikel Kobaltcarbidnanopartikel, die mit
der Kohlelichtbogentechnik gebildet und anschließend getempert wurden, wie zuvor
beschrieben und in 3 dargestellt. Unter Verwendung
der getemperten Nanopartikel gemäß dem oben
für die
vorherige Ausführungsform
beschriebenen Verfahren werden Nanodrähte gebildet. 11 zeigt
Nanodrähte 76,
die gemäß dem Verfahren
dieser Ausführungsform
gebildet wurden. Die Maßstabsleiste 78 gibt
den durchschnittliche Durchmesser der Nanodrähte als ungefähr 15 bis
25 nm an. Zusätzlich
dazu übertrifft
die Länge
der Nanodrähte 76 häufig 500
nm.
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Wenn
die Nanopartikel getempert wurden, schreitet der Schritt des Zusammenfügens der
Nanopartikel gemäß dieser
Ausführungsform
mit einer höheren
Rate fort als der für
die nicht getemperten Nanopartikel der zuvor beschriebenen Ausführungsformen.
Dies wird durch die relativ große
Länge von mindestens
einigen der Nanodrähte
(über 500
nm) angezeigt.
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13 zeigt
schematisch einen Schritt zum Bilden einer Nanoröhre gemäß einer Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung. Bei dieser Ausführungsform wird ein ähnlicher
Prozess zu dem oben beschriebenen bereitgestellt, mit der Ausnahme, dass
eine im Wesentlichen hohle Nanoröhre
gebildet wird.
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Gemäß dem Verfahren
zur Bildung von Kohlenstoffnanodrähten, das oben beschrieben
ist, wird eine Agglomeration von Kobaltcarbidnanopartikeln 86 auf
einem TEM-Kupfergitter bereitgestellt. Die Nanopartikel 86 dieser
Ausführungsform
sind die Nanopartikel, die mit der zuvor beschriebenen Kohlelichtbogentechnik
gebildet und nicht anschließend
getempert wurden. Die Dichte der Nanopartikel in dem Agglomerat
in dieser Ausführungsform
ist jedoch geringer als eine Dichte der Nanopartikel in dem Agglomerat,
das in den obigen Ausführungsformen
zum Bilden von Nanodrähten
verwendet wurde.
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Die
Nanopartikel werden dann einem Dampf unter Bedingungen zur Bildung
von Nanoröhren
ausgesetzt. Die Moleküle
des Dampfes sind Fluorkohlenwasserstoffmoleküle, die Kohlenstoff enthalten, und
sind Fluorkohlenwasserstoffabbauprodukte R2, typischerweise
mit der chemischen Formel C2CIF3. Das
anfänglich
feste Polymer, das diese Abbauprodukte R2 bereitstellt,
ist in dieser Ausführungsform Kel-F®,
wie unten detaillierter beschrieben.
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Bei
Bereitstellen der Bedingungen zur Bildung von Nanoröhren erreichen
die Abbauprodukte R2 die Nanopartikel 86 einschließlich des
gezeigten Nanopartikels 88. Es wird angenommen, dass die Abbauprodukte
R2 mit einem Äußeren 89 der Nanopartikel 86 in
Wechselwirkung treten, wie durch Pfeile in 13 angezeigt,
und der weitere Abbau der Abbauprodukte R2 durch
die katalytische Wirkung der Nanopartikel 86 bewirkt wird.
Der weitere Abbau der Abbauprodukte R2 ergibt
Kohlenstoff, Fluor und Chlor. Mindestens etwas Kohlenstoff der Abbauprodukte
R2, der in diesem weiterem Abbau produziert wird,
wird auf dem Äußeren des
einen Nanopartikels 88 abgelagert, um eine erste Ablagerung
von Kohlenstoff 91 (in 14 durch
die gestrichelten Linien angezeigt) zu bilden, die eine Vielzahl
von Schichten aus Graphit 90 beinhaltet und mindestens
einen Teil des Äußeren 89 umgibt.
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14 zeigt
schematisch einen weiteren Schritt des Prozesses zum Bilden der
Nanoröhren. Nach
der Ablage der ersten Ablagerung von Kohlenstoff 91 wird
der weitere Abbau der Monomere R2 durch
die katalytische Wirkung der Nanopartikel 86 in der Nachbarschaft
des einen Nanopartikels 88 bereitgestellt. Mindestens etwas
weiterer Kohlenstoff der Abbauprodukte R2,
der durch den Abbau bereitgestellt wird, wird abgelagert, um eine
zweite Ablagerung 92 aus Kohlenstoff (in 14 durch
gestrichelte Linien angezeigt) auf der ersten Ablagerung 91 zum Bilden
einer Nanoröhre 94 anzubringen.
Die zweite Ablagerung 92 beinhaltet Schichten aus Graphit 90. In
dieser Ausführungsform
beinhaltet die Nanoröhre Schichten
aus Graphit. Alternativ oder zusätzlich dazu
kann die Nanoröhre
fehlerhaftes Graphit, amorphen Kohlenstoff und/oder Kohlenstofffaser
umfassen.
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15 zeigt
schematisch als Draufsicht eine Bildung einer Vielzahl der Nanoröhren 94 gemäß dem Verfahren
zum Bilden von Nanoröhren
aus dieser Ausführungsform.
Es ist zu beachten, dass aus einer einzigen agglomerierten Masse
von Nanopartikeln 86 eine Vielzahl von Nanoröhren 94 gebildet wird.
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Jede
Nanoröhre 94 ist
im Wesentlichen linear, und im Allgemeinen ist ein Nanopartikel 88 in
einer Spitze der Nanoröhre 94 verkapselt.
Abgesehen von diesem einen Nanopartikel 88 an der Spitze
ist eine Nanoröhrenkernregion 96 im
Wesentlichen hohl. Die Nanoröhre
beinhaltet eine Vielzahl von Schichten aus Graphit 90.
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16 zeigt
eine Abbildung der Bildung der Vielzahl von Nanoröhren 94 aus
einer Draufsicht. Die Abbildung, die unter Verwendung eines Transmissionselektronenmikroskops
(TEM) aufgenommen wurde, weist eine Maßstabsleiste 97 auf,
die den durchschnittlichen Durchmesser der Nanoröhren 94 als ungefähr 15 bis
25 nm angibt. In dieser Abbildung sind die einzelnen Nanopartikel 86 nicht
leicht ersichtlich, aber die agglomerierte Masse 98, aus
der die Vielzahl von Nanoröhren 94 gebildet
wird, lässt sich
leicht erkennen. Die Abbildung von 16 ist mit
Blick nach unten auf die Oberfläche
des TEM-Gitters 52, auf dem die Nanopartikel 86 dispergiert
sind, aufgenommen. Nanoröhren 94 werden
gesehen, die sich in zu einer Ebene der Oberfläche des TEM-Gitters 52 ungefähr parallelen
Richtungen bilden. Es sei angemerkt, dass sich die Nanoröhren 94 auch
in weiteren Richtungen, einschließlich einer Richtung zu dem
Betrachter von 16, bilden können. 16 stellt
das eine Nanopartikel 88 an der Spitze jeder Nanoröhre 94 und
die Nanoröhrenkernregion 96,
die im Wesentlichen hohl ist, dar.
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Die
oben beschriebenen Ausführungsformen sind
beispielhafte Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung. Es sind weitere Ausführungsformen vorgesehen.
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Das
metallische Material der Nanopartikel der beschriebenen Ausführungsformen
ist Kobaltcarbid. Es wird alternativ vorgesehen, dass das metallische
Material im Wesentlichen reines Kobaltmetall oder ein im Wesentlichen
reines ferromagnetisches Metall oder eine Kohlenstofflegierung eines
ferromagnetischen Metalls, ausgewählt aus der Gruppe der Metalle
Nickel, Eisen, Platin und Palladium, ist. Alternativ dazu kann das
metallische Material ein anderes ferromagnetisches oder nicht ferromagnetisches
Metall sein. Des Weiteren kann das den Nanodraht bildende Material
ein nicht metallisches Material wie etwa ein Halbleiter sein.
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Zum
Bilden der Nanodrähte
in den beschriebenen Ausführungsformen
sind die Moleküle
Fluorkohlenwasserstoffabbauprodukte. Es wird alternativ vorgesehen,
dass die Moleküle
entweder andere halogenierte Moleküle oder andere, Kohlenstoff
enthaltende Moleküle
sein können.
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Das
Bilden der Nanoröhren,
wie beschrieben, verwendet Moleküle,
die Fluorkohlenwasserstoffabbauprodukte sind. Es ist vorgesehen,
dass alternative halogenierte Moleküle verwendet werden können.
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Die
Moleküle
der beschriebenen Ausführungsformen
sind Abbauprodukte, die von einem Polymer bereitgestellt werden.
Es ist alternativ vorgesehen, dass die Moleküle keine Abbauprodukte eines Polymers
sind, sondern in einer anderen Form bereitgestellt werden können und
sind, zum Beispiel als Gas oder sogar als Flüssigkeit. Es wird vorgesehen, dass
weitere Verfahren zum Bilden von Nanopartikeln verwendet werden
können,
zum Beispiel die Verwendung einer Lichtbogentechnik in einer Flüssigkeit.
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Das
auf den Oberflächen
der Nanopartikel abgelagerte Material ist in den beschriebenen Ausführungsformen
irgendeine Form von Kohlenstoff. Es ist jedoch vorgesehen, dass
andere Materialien verwendet werden können, um das die Nanodrähte umgebende
Material oder das die Nanoröhren
bildende Material bereitzustellen.
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Alternative
Ausführungsformen
der Vorrichtung für
das Verfahren der vorliegenden Erfindung sind vorgesehen. Zum Beispiel
kann das TEM-Gittersubstrat ein anderes Substrat sein und das Reaktionsgefäß und/oder
die Reagenzgefäße können sich in
der Spezifikation unterscheiden.
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Der
Temperprozess der Kobaltcarbidnanopartikel und der Nanodrähte wird
anders als der beschriebene vorgesehen. Die Temperatur, der reduzierte
Druck, der Zeitraum, über
den der Prozess bereitgestellt wird, und, für den Nanodraht, jegliches Gas,
das verwendet wird, um den Prozess zu unterstützen, werden alle als anders
vorgesehen. Die Temperatur kann höher sein, zum Beispiel ungefähr 700°C.
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Es
wird vorgesehen, dass das Verfahren der vorliegenden Erfindung angepasst
werden kann, um Nanodrähte
oder Nanoröhren
durch Selbstzusammenfügungsverfahren,
die zum Beispiel Elektronenlithographietechniken verwenden, zu bilden.
Durch das Anordnen der Nanopartikel auf einem Substrat gemäß präzisen Stellen
einer gewünschten
Konfiguration des zu bildenden Nanodrahtes oder der zu bildenden
Nanoröhre
wird vorgesehen, dass ein Nanodraht oder eine Nanoröhre mit
der gewünschten
Konfiguration leicht auf dem Substrat gebildet werden kann. Eine
vorgesehene Anwendung dieses Verfahrens ist das Bilden von Nanodrähten mit
gewünschten
Konfigurationen auf Substraten, um integrierte elektrische Nanoschaltungen
oder mikroelektronische mechanische Systeme (MEMS) zu bilden.
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Eine
andere vorgesehene Anwendung des Verfahrens der vorliegenden Erfindung
ist bei der Produktion von Halbleiternanodrähten oder -nanoröhren. Das
Polymer, das die Abbauprodukte bereitstellt, kann mit einem Dotiermaterial,
zum Beispiel Bor oder Eisen, dotiert sein, so dass die Kohlenstoffschicht
des Nanodrahtes oder der Nanoröhre
auch das Dotiermaterial beinhaltet und Halbleitereigenschaften aufweist.
Halbleiternanodrähte
können
verwendet werden, um Nanoschalter zu bilden, einschließlich zum
Beispiel eines Spin-Feldeffekttransistors oder eines Spintronic-Schalters,
die einen Fluss von Elektronen zwischen Nanodrähten in Abhängigkeit einer Spinorientierung
der Elektronen erlauben oder verhindern.
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Eine
weitere vorgesehene Anwendung des Verfahrens der vorliegenden Erfindung
ist bei der Produktion von nanomagnetischen Komponenten auf der
Basis der Nanodrähte,
die eine permanente Magnetisierung entlang der longitudinalen Länge aufweisen.
Dies kann die Produktion von Vertikalaufzeichnungs-Medienclustern ermöglichen.
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Es
versteht sich, dass jedwedes in Beziehung auf irgendeine Ausführungsform
beschriebene Merkmal allein oder in Kombination mit anderen beschriebenen
Merkmalen verwendet werden kann und auch in Kombination mit einem
oder mehreren Merkmalen irgendwelcher anderer Ausführungsformen oder
jeglicher Kombination irgendwelcher anderer Ausführungsformen verwendet werden
kann. Des Weiteren können Äquivalente
und Abwandlungen, die obenstehend nicht beschrieben werden, ebenfalls
eingesetzt werden, ohne den Bereich der Erfindung, der in den begleitenden
Patentansprüchen
definiert ist, zu verlassen.