DE60015525T2 - Verfahren zur herstellung einer optoelektronischen organischen leuchtdiodenanzeige - Google Patents

Verfahren zur herstellung einer optoelektronischen organischen leuchtdiodenanzeige Download PDF

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Description

  • ALLGEMEINER STAND DER TECHNIK
  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines optoelektronischen organischen Leuchtdiodendisplays.
  • Organische Leuchtdioden (OLEDs) umfassen bestimmte organische Materialien, von denen bekannt ist, daß sie bei elektrischer Stimulierung Licht emittieren. Die Materialien können entweder kleine Moleküle oder Polymermaterialien (bei Polymerleuchtdioden PLEDs) sein. Diese Materialien erfordern zur Herstellung zu Displayeinrichtungen in der Praxis verschiedene Prozesse. Kleinmolekülige Materialien werden durch Dampfabscheidung auf einem Substrat abgeschieden, während Polymere aus einer Lösung durch Aufschleudern, Drucken, Rakeln oder einen Spule-zu-Spule-Prozeß auf ein Substrat gegossen werden. Bei einer typischen Polymer-LED wird eine Polymerschicht durch Aufschleudern auf mit Indium-Zinnoxid (ITO) beschichtetes Glas abgeschieden. Es schließt sich eine Wärmebehandlung an, um restliches Lösungsmittel auszutreiben, und dann wird eine reflektierende Metallelektrode auf die obere Oberfläche der Polymerschicht aufgedampft. Das ITO, das transparent ist, bildet die andere Elektrode und das Polymer emittiert Licht durch das ITO-beschichtete Glas, wenn zwischen den Elektroden eine Spannung angelegt wird. Eine Strom- und Spannungssteuerung der Lichtemission ist bekannt.
  • Beide Arten von Materialien und Prozessen wurden zum Herstellen von Arrays auf einer Reihe verschiedener transparenter und nichttransparenter Oberflächen verwendet. Zu in der Technik bekannten Verfahren zum Herstellen von Vollfarbdisplays zählen das Tintenstrahldrucken von Polymerlösungen und das Aufdampfen von kleinmoleküligen Materialien. Zu anderen bekannten Verfahren zählt die Verwendung von monochromen Displays, die mit individuellen absorbierenden Filtern oder Filtern mit farbändernden Medien ausgestattet sind. Wenngleich beide Materialien mit der Fotolacktechnologie kompatibel erscheinen, hat die Verarbeitung in der Praxis die Effizienz und die Lebensdauer der Einrichtungen auf unannehmbare Niveaus gesenkt. Hochauflösende Farb- und monochrome Displays sind für kleine Moleküle gezeigt worden, indem sie in Mikrohohlräume abgeschieden werden. In EP-0,774,787 wird über dieses Verfahren auf einem CMOS-Substrat ein OLED-Vollfarbarray hergestellt. Die Treiber für das Diodenarray sind im Substrat ausgebildet. Die Dioden werden durch eine passive Matrix aus leitenden Streifen adressiert. Für hochauflösende Displays werden Verfahren mit aktiver Matrixadressierung bevorzugt, da sie effizienter sind.
  • Mehrere verschiedene Arten von Flachbildschirmen wurden mit Verfahren mit aktiver Matrixadressierung hergestellt. Beispielsweise wurden verschiedene Arten von Flüssigkristalldisplay auf kristallinem Silizium (LCOS) und anderen Siliziummaterialien wie etwa Polysilizium auf Glas hergestellt. Das Siliziummaterial liefert die aktive Matrixtreiberschaltung sowie das Substrat. Analog wurde ein Vakuumfluoreszenzdisplay auf kristallinem Silizium hergestellt.
  • Die Herstellung von Arrays aus OLEDs auf nichttransparenten Substraten wie etwa CMOS oder bi-CMOS wird durch die Notwendigkeit behindert, daß auf den organischen Schichten eine transparente (zumindest halbtransparente) Elektrode hergestellt werden muß, um die Lichtemission und die Betrachtung zu gestatten. Das direkte Abscheiden von Indium-Zinnoxid auf die organischen Schichten kann zu einer unannehmbaren Verschlechterung der Leistung der Einrichtung führen. Berücksichtigt werden muß weiterhin die Notwendigkeit für eine sorgfältige Auswahl bei der Wahl des Metallelektrodenmaterials, das das Substrat direkt kontaktiert, so daß es mit dem Mikroelektronikherstellungsgerät vollständig kompatibel ist.
  • Aus der europäischen Patentanmeldung EP-A-0 883 190 ist ein Verfahren zur Herstellung einer OLED bekannt, bei dem die organische lichtemittierende Schicht ausgebildet wird, indem eine organische lichtemittierende Donorbeschichtung auf einem Donorträger abgeschieden wird, wobei die Donorbeschichtung an bestimmten Stellen erwärmt wird, um sie durch eine Maske zu verdampfen, damit sie auf der unteren Elektrode abgeschieden wird. Aus den Dokumenten WO 98 21755 und YAP D: „SEE-THROUGH, MULTI-PIXEL ORGANIC EMISSIVE DISPLAY" ELECTRONICS LETTERS, GB, IEE STEVENAGE, Band 34, Nr. 9, Seiten 915–916, ist bei einer OLED die Abscheidung einer Deckelektrode aus elektrisch leitendem Polymer und Strukturierung bekannt.
  • KURZE DARSTELLUNG DER ERFINDUNG
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen OLED-Displays nach dem angefügten Anspruch 1 bereitgestellt.
  • Das Substrat besteht bevorzugt aus kristallinem Silizium, und die Oberfläche des Substrats kann zur Herstellung einer flachen Oberfläche poliert oder geglättet werden, bevor Elektroden- oder organische Materialien jeder OLED abgeschieden werden. Alternativ kann ein nichtplanarisiertes Siliziumsubstrat vor der Abscheidung weiterer Materialien mit einer Schicht aus leitendem Polymer beschichtet werden, damit man eine glatte flache Oberfläche erhält.
  • Bei einer Ausführungsform umfaßt jedes OLED-Pixel eine das Substrat kontaktierende Metallelektrode. Je nach den relativen Austrittarbeiten der Metall- und transparenten Elektroden kann eine als die Anode dienen, wobei die andere die Kathode darstellt.
  • Die Metallelektrode kann aus mehreren Schichten bestehen, beispielsweise einem Metall mit höherer Austrittarbeit wie etwa Aluminium, das auf dem Substrat abgeschieden wird, und einem Metall mit einer niedrigeren Austrittsarbeit wie etwa Calcium, das auf dem Metall mit der höheren Austrittarbeit abgeschieden wird. Bei einem weiteren Beispiel liegt eine weitere Schicht aus leitendem Polymer auf einem stabilen Metall wie etwa Aluminium. Die Elektrode wirkt bevorzugt auch als ein Spiegel hinter jedem Pixel und wird entweder auf der planarisierten Oberfläche des Substrats abgeschieden oder in sie hineinversenkt. Es kann sich jedoch auch neben dem Substrat alternativ eine lichtabsorbierende schwarze Schicht befinden.
  • Bei noch einer weiteren Ausführungsform werden selektive Gebiete einer unteren leitenden Polymerschicht durch Exposition mit einer geeigneten wäßrigen Lösung nichtleitend gemacht, was die Ausbildung von Arrays aus leitenden Pixelpads gestattet, die als die Bodenkontakte der Pixelelektroden dienen.
  • Das organische lichtemittierende Material ist bevorzugt ein Polymer, kann aber alternativ ein Monomer oder ein Übergangsmetallchelat sein. Die organischen Schichten in den Pixelelementen können abgesehen von dem lichtemittierenden Material eine Elektronentransportmaterialschicht, eine Lochtransportmaterialschicht, eine Schutzkappenmaterialschicht und eine Schicht aus leitendem Polymermaterial enthalten.
  • Die lichtdurchlässige Elektrode kann außer einem leitenden Polymer weitere Schichten enthalten, z.B. aus Indium-Zinnoxid (ITO) oder anderen transparenten oder halbtransparenten Metalloxiden oder Metallen mit einer niedrigen oder hohen Austrittsarbeit oder leitendes Epoxidharz, am weitesten von dem Substrat auf der organischen Schicht abgeschieden. Eine mit dem lichtdurchlässigen, elektrisch leitenden Polymer beschichtete Glas- oder Kunststoffplatte ist auf die am weitesten entfernte organische lichtemittierende Schicht geklebt, um die Elektrode zu bilden und als Barriere gegenüber dem Eindringen von Sauerstoff und Wasser zu dienen. Die Betrachtungsfläche des Displays kann durch Verkapselung mit einer weiteren Schicht aus Polymer oder Glas vervollständigt werden.
  • Das bevorzugte leitende Polymer ist Polyethylendioxythiophen, das von Bayer AG unter dem Warenzeichen PEDOT vertrieben wird. Auch andere molekular veränderte Polythiophene sind leitend und könnten verwendet werden, wie auch die Emeraldinsalzform von Polyanilin. Um die Haftung von PEDOT an bestimmten glatten Substraten zu verbessern, kann eine Polymermischung mit einem nichtleitenden Polymer, bevorzugt Polyvinylalkohol (PVA) hergestellt werden. Beispielsweise kann eine 9 gew.-%ige Lösung aus PVA mit PEDOT in einem Volumenverhältnis von 10 (PVA): 6 verwendet werden. PVA mit einem großen Bereich von Molekülgewichten kann verwendet werden, ohne daß dies auf den resultierenden Film oder seine Leitfähigkeit große Auswirkungen hat.
  • Zu Metallen mit einer hohen Austrittsarbeit, die verwendet werden könnten, zählen Wolfram, Nickel, Kobalt, Platin, Palladium und ihre Legierungen und möglicherweise Niob, Selen, Gold, Chrom, Tantal, Hafnium, Technetium und ihre Legierungen.
  • Die Helligkeit des von jedem Pixel emittierten Lichts kann bevorzugt auf analoge Weise gesteuert werden, indem die Spannung oder der Strom, die/der von der Matrixschaltung angelegt wird, justiert wird, oder indem ein digitales Signal eingegeben wird, das in jeder Pixelschaltung in ein analoges Signal umgewandelt wird. Das Substrat stellt bevorzugt auch Datentreiber, Datenwandler und Scantreiber zur Verarbeitung von Informationen bereit, um das Array von Pixeln zu adressieren, damit Bilder hergestellt werden.
  • Bei einer Ausführungsform wird jedes Pixel durch einen Schalter gesteuert, der ein spannungsgesteuertes Element und ein veränderliches Widerstandselement umfaßt, die beide zweckmäßigerweise durch Metalloxidhalbleiter-Feldeffekttransistoren (MOSFETs) gebildet werden. Bei einer alternativen Ausführungsform, die ebenfalls bevorzugt MOSFET-Schalter umfaßt, wird die scheinbare Intensität der Lichtabgabe von einem Pixel gesteuert, indem das Impulslängenverhältnis der Impulsperiode variiert wird, während der die LED eingeschaltet wird, bevorzugt mit Hilfe eines analogen Spannungswerts. Dies basiert auf der Tatsache, daß für Impulsperioden unter etwa 40 ms das Auge nur die mittlere Helligkeit des Pixels während seiner ganzen Impulsperiode wahrnimmt.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Zum besseren Verständnis der vorliegenden Erfindung wird nun lediglich beispielhaft auf die beiliegenden Zeichnungen Bezug genommen. Es zeigen:
  • 1 einen schematischen Schaltplan eines aktiven Matrixarrays von Pixelschaltungen, die durch das Verfahren der vorliegenden Erfindung gebildet werden;
  • 2 eine generische Pixelschaltung;
  • 3 eine die generische Pixelschaltung von 2 implementierende spezifische Pixelschaltung;
  • 4 einen schematischen Querschnitt durch ein einziges Pixel eines planarisierten Substrats;
  • 5 einen schematischen Querschnitt durch ein alternatives Substrat, der eine abgeschiedene Polymer-LED zeigt, und
  • 6 eine schematische fragmentarische Seitenansicht eines Arrays von Polymer-LEDs.
  • AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • 1 zeigt ein rechteckiges Array aus Pixelschaltungen 2 und Schaltungen, um sie zu adressieren. Die Intensität des Lichts, das von einer Polymer- oder einer anderen organischen LED emittiert werden soll, wird gesteuert, indem der durch sie fließende Strom variiert wird. Dies geschieht, indem analoge Signale, die von Spaltenleitungen 4 geliefert und von einer Spaltenschaltung (Datenanordnungsschaltung) 6 eingestellt werden, zeilenweise an die Pixelschaltungen 2 angelegt werden. Die erforderliche Zeile 8 wird kurz durch eine Zeilenauswahlschaltung 10 ausgewählt und dann abgewählt. Während des Auswahlzeitschlitzes fließen die Daten von den Spaltenleitungen 4 in das Pixel der ausgewählten Zeile. Bei Abwahl wird jede Pixelschaltung 2 von ihrer Spaltenleitung 4 isoliert und speichert die Daten, die eingegeben wurden. Ein weiterer Satz von Daten wird auf den Spaltenleitungen 4 zusammengestellt und eine weitere Zeile 8 wird ausgewählt. Zeilen können sequentiell oder in einer beliebigen gewünschten Reihenfolge ausgewählt werden.
  • 2 zeigt eine generische Form der Pixelschaltung 2, die ihre Funktionsweise andeutet. Das Signal auf Zeile 8 betätigt einen spannungsgesteuerten Schalter 12 dahingehend, daß der Schalter während der kurzen Auswahlperiode geschlossen wird und die Spaltenbusleitung 4 mit einem Knoten in der Schaltung verbunden wird, dessen Signal einen elektronisch programmierbaren veränderlichen Widerstand 14 steuert. So fließen Daten von dem Spaltenbus 4 in die Pixelschaltung 2, wobei Strom von einer globalen Stromquelle 16 mit einem durch den Widerstand 14 gesetzten Wert durch eine LED 18 fließt. Die Intensität des von der LED ausgegebenen Lichts wird wiederum durch diesen Strom gesteuert. Verschiedene Lichtintensitäten können auf diese Weise in den verschiedenen Pixeln sehr effektiv eingestellt werden.
  • Wenn sich der Schalter 12 öffnet, werden die Daten bei der Pixelschaltung beibehalten, bis andere Daten vorgelegt werden, wenn sich der Schalter bei der nächsten Auswahl der Zeile 8 schließt.
  • 3 zeigt, wie die Schaltung von 2 unter Verwendung von MOS-(Metalloxidhalbleiter)-Transistoren implementiert wird. Der spannungsgesteuerte Schalter wird durch einen ersten Transistor M1 gebildet, dessen Gateelektrode mit der Zeile 8 verbunden ist. Der veränderliche Widerstand wird durch den Kanal eines zweiten Transistors M2 gebildet, der Ladung kapazitiv an seiner Gateelektrode speichert, um den Kanalwiderstand in Abhängigkeit von dem analogen Wert der von der gespeicherten Ladung erzeugten Spannung zu variieren. Dies steuert den Strom in der LED 18 und ihre Lichtabgabe.
  • Dies ist eine einfache, aber effektive aktive Pixelschaltung. Wenn sich herausstellt, daß sie unter Leistungsschwankungen zwischen den Pixeln leidet (beispielsweise aufgrund von Schwankungen bei der Transistorschwellwertspannung), können zusätzliche aktive Elemente verwendet werden. Beispielsweise können Strommodus-Leitungstreiber 20 (anstelle von Spannungsmodus-Leitungstreibern) verwendet werden, um die in 1 gezeigten Spaltenleitungen 4 anzusteuern. Die zusätzlichen Elemente wie gezeigt zu den Spaltenleitungen hinzuzufügen, hat den Vorzug davor, sie zu den Pixelschaltungen hinzuzufügen, weil, wenn das Array quadratisch ist und n2 Pixelschaltungen enthält, nur n zusätzliche Sätze von Elementen (z.B. 128) erforderlich sind, anstatt n2 (z.B. 16.384).
  • Nachdem die aktive Matrixschaltung in dem Halbleitersubstrat hergestellt worden ist, wobei beispielsweise CMOS-Technologie verwendet wurde, wird die Oberfläche des Substrats planarisiert. Diese Planarisierung findet entweder als Teil des Herstellungsprozesses der integrierten Schaltung oder als ein sich anschließender Schritt der kundenspezifischen Auslegung statt.
  • Wie in 4 gezeigt, wird die Planarisierung durch Abscheiden eines Dielektrikums 30, beispielsweise eines polymeren Materials, auf der Oberfläche des Substrats 32 bewirkt. Stattdessen kann dafür ein leitendes Polymer verwendet werden, das strukturiert werden kann, um Isolierungsbereiche zu erzeugen. Dann wird ein Metallspiegel/eine Elektrode 34, der/die aus Aluminium bestehen kann, zum Verbinden der LED mit dem entsprechenden Punkt in der Schaltung abgeschieden, wobei die Verbindung mit der Schaltung durch ein metallisches leitendes Durchgangsloch 36 hergestellt wird. Metallisierte Abschnitte der CMOS-Schaltung sind mit 38 bezeichnet.
  • 5 zeigt eine alternative Anordnung, bei der die Elektrode/der Spiegel 34 in die dielektrische Oberfläche versenkt ist, d.h. eine vollständige Planarisierung wird erzielt.
  • Entsprechende Schichten 40 der OLED (z.B. Polymer oder eine andere organische lichtemittierende Substanz, leitendes Polymer und dergleichen) werden abgeschieden und das Display wird durch Beschichten mit einer Glasplatte 42 abgedichtet.
  • 6 zeigt ein alternatives Display. Auf dem Substrat 32 werden der Reihe nach die planarisierte Aluminiumelektrode bzw. der Spiegel 34, wahlweise eine Elektronen- oder Lochtransportschicht 44, ein lichtemittierendes Polymer 46 und eine transparente Elektrode 48 abgeschieden. Die transparente Elektrode enthält eine Schicht aus leitendem Polymer 50 und kann auch eine dünne Schicht aus einem Metall 49 mit hoher Austrittsarbeit, die dick genug ist, so daß sie ausreichend transparent ist, und eine Schicht aus ITO 51 enthalten. Eine Verkapselungsschicht/Barriere 52, die alle LEDs des Arrays abdichtet, einschließlich ihrer Seiten, vervollständigt dieses Beispiel für den Displayaufbau, von dem in 6 drei Pixel gezeigt sind.
  • Bei der Herstellung des in 6 gezeigten Displays werden die flachen Metallspiegel 34 auf der Oberfläche des Substrats 32 (bevorzugt eine CMOS- oder Bi-CMOS-Rückwandplatine) so aufgetragen, daß sie den größten Teil des Bereichs jedes Pixels mit minimalen Lücken zwischen den Spiegeln bedecken. Zum Verbessern der globalen und lokalen Planarisierung kann dann chemisch-mechanisches Polieren eingesetzt werden.
  • Die Schichten aus dem organischen lichtemittierenden Polymer können durch eine automatisierte Technik unter Verwendung von Geräten abgeschieden werden, die gegenwärtig für das Auftragen von Fotolacken bei der Strukturierung von integrierten Schaltungsschichten verwendet werden. Dadurch erhält man für jede Schicht präzise Steuerung und eine höchst gleichförmige Dicke. Alternativ könnten sie durch Tintenstrahldruck aufgetragen werden. Organische lichtemittierende Seltenerd-Chelate können im Vakuum abgeschieden werden.
  • Die Verkapselungsschicht 52 wird nach dem Herstellen der Verbindungen zu der transparenten Elektrode in jedem Pixel aufgetragen. Die Verkapselung und möglicherweise auch die Montage des Pixels werden in einem partiellen Vakuum oder einer geeigneten inerten oder gesteuerten Atmosphäre unter sauberen trockenen Bedingungen durchgeführt.
  • Das Display der Erfindung kann monochrom sein. Heutzutage sind jedoch monomere und polymere Substanzen erhältlich, die entweder rotes, grünes, blaues oder weißes Licht emittieren und deshalb zum Ausbilden von OLEDs verwendet werden können, die diese Farben emittieren. Außerdem kann ein Vollfarbdisplay ausgebildet werden, indem drei individuelle Rückwandplatinen, die jeweils eine andere primäre monochrome Farbe emittieren, auf verschiedenen Seiten eines optischen Systems angeordnet werden, von einer anderen Seite dessen ein kombiniertes Farbbild betrachtet werden kann. Alternativ können Polymere oder andere organische Substanzen, die verschiedene Farben emittieren, hergestellt werden, so daß benachbarte Diodenpixel in Gruppen aus drei benachbarten Pixeln rotes, grünes und blaues Licht erzeugen. Bei einer weiteren Alternative können Halbbildfolgefarbfilter an einem weißes Licht emittierenden Display befestigt werden.
  • Optische Systeme können auch verwendet werden, um die scheinbare Größe des angezeigten Bilds zu vergrößern, da die physische Größe des Displays durch die Größe des Siliziumsubstrats begrenzt ist. Beispielsweise kann das Bild auf einen Schirm projiziert werden.
  • Das Display der Erfindung ist robust, wobei die organischen LEDs gut geschützt sind, weist aber eine vereinfachte Herstellung und Verkapselung auf. Die als Wärme erzeugte Leistung sollte in den Griff zu kriegen sein, könnte aber auch durch Reduzieren des Stroms oder der Spannung, mit denen jede LED angesteuert wird, gesenkt werden. Wenn es zu Stromleitungsproblemen kommt, können auf dem Siliziumchip mehrere Stromversorgungsbondpads verwendet werden.

Claims (29)

  1. Verfahren zum Herstellen eines optoelektronischen Displays mit organischen Leuchtdioden, wobei das optoelektronische Display ein Substrat (32) aus halbleitendem Material und ein auf dem Substrat angeordnetes Array aus organischen Leuchtdioden-(OLED)-Pixeln enthält, wobei das Substrat (32) eine aktive Schaltung zum Steuern des von jedem Pixel emittierten Lichts umfaßt und jedes Pixel mindestens eine Schicht aus organischem lichtemittierendem Material (46) und eine lichtdurchlässige Elektrode (43, 48) in Kontakt mit der organischen Schicht auf einer vom Substrat (32) entfernten Seite davon umfaßt, wobei die lichtdurchlässige Elektrode (43, 48) ein stromleitendes Polymer (50) umfaßt, dadurch gekennzeichnet, daß das stromleitende Polymer auf eine Glas- oder Kunststoffplatte (42, 52) aufgetragen ist, die dann auf die am weitesten vom Substrat (32) entfernte Schicht aus organischem lichtemittierendem Material geklebt wird.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Substrat (32) aus kristallinem Silizium besteht.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei das Substrat (32) eine flache planarisierte Oberfläche aufweist.
  4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei das Substrat (32) eine nichtplanarisierte Oberfläche aufweist.
  5. Verfahren nach Anspruch 1, 2 oder 3, mit dem Bereitstellen einer das Substrat (32) kontaktierenden Metallelektrode (34), die auch als ein Spiegel hinter dem Pixel dient.
  6. Verfahren nach Anspruch 1, 2 oder 3, mit dem Bereitstellen einer lichtabsorbierenden schwarzen Schicht neben dem Substrat (32).
  7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die lichtdurchlässige Elektrode (48) eine Schicht aus Indium-Zinnoxid (ITO) (51) enthält.
  8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die lichtdurchlässige Elektrode (48) eine Schicht aus einem Metall mit einer geringen Austrittsarbeit enthält.
  9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei die lichtdurchlässige Elektrode (48) eine Schicht aus einem Metall (49) mit hoher Austrittsarbeit enthält.
  10. Verfahren nach Anspruch 7, wobei die ITO-Schicht (51) auch als eine Beschichtung auf der Platte (52) vorgesehen ist.
  11. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die lichtdurchlässige Elektrode (48) eine Schicht aus leitendem Harz auf Epoxidbasis enthält.
  12. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei jedes Pixel eine Bodenelektrode enthält, die eine Schicht aus leitendem Polymer umfaßt.
  13. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei jedes Pixel eine Bodenelektrode enthält, die eine Schicht aus Metalloxid wie etwa ITO umfaßt.
  14. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei jedes Pixel eine organische Elektronentransportschicht (44) in Kontakt mit der Schicht aus lichtemittierendem Material (46) enthält.
  15. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei jedes Pixel eine organische Lochtransportschicht (44) in Kontakt mit der Schicht aus lichtemittierendem Material (46) enthält.
  16. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das leitende Polymer (50) aus einer Polymermischungslösung abgeschieden wird, die mindestens ein nichtleitendes Polymer enthält.
  17. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, mit dem Bereitstellen einer transparenten, sauerstoff- und wasserundurchlässigen verkapselnden Außenschicht.
  18. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das lichtemittierende Material monomer ist.
  19. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 17, wobei das lichtemittierende Material (46) polymer ist.
  20. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei jede OLED ein Übergangsmetallchelat umfaßt.
  21. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, mit dem Bereitstellen von Mitteln (12, 14) zum Steuern der offensichtlichen Helligkeit von von jedem Pixel emittiertem Licht auf analoge Weise.
  22. Verfahren nach Anspruch 21, mit der Bereitstellung von Mitteln, durch die ein analoges Signal das Impulslängenverhältnis der Impulsperiode variiert, während der die OLED jedes Pixels eingeschaltet ist.
  23. Verfahren nach Anspruch 22, wobei das steuernde Mittel ein veränderliches Widerstandselement in jeder Pixelschaltung (2) zum Variieren des Stroms durch die OLED und somit ihrer Lichtintensitätsausgabe umfaßt.
  24. Verfahren nach Anspruch 23, wobei das variable Widerstandselement den Kanal eines Metalloxids-Halbleiter-Feldeffekttransistors (MOSFET) (M2) umfaßt.
  25. Verfahren nach Anspruch 23 oder 24, wobei jede Pixelschaltung (2) einen spannungsgesteuerten Schalter (12, M1) zum Anschließen eines Datensignals an das veränderliche Widerstandselement (14, M2) zum Justieren seines Widerstands enthält.
  26. Verfahren nach Anspruch 25, wobei der Schalter einen Transistor (M1) umfaßt.
  27. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, mit der Bereitstellung wiederholter Gruppen von rot-, blau- und grünemittierenden Pixeln zum Ausbilden eines Farbbilds.
  28. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Display so angeordnet ist, daß es weißes Licht emittiert, mit dem Ausstatten des Displays mit Halbbildfolgefarbfiltern zum Herstellen eines Farbbilds.
  29. Verfahren zum Herstellen einer Farbdisplayeinheit, mit dem Herstellen von drei optoelektronischen Displays, wobei in jedem Fall das Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 26 verwendet wird und die jeweils ein Bild in einer anderen primären monochromatischen Farbe anzeigen, und Bereitstellung eines optischen Systems zum Verknüpfen der drei Bilder zu einem Farbbild.
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