DE4414529C2 - Drehwinkelsensor vom Kapazitätstyp - Google Patents
Drehwinkelsensor vom KapazitätstypInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Drehwin
kelsensor, der einen Drehwinkel durch den Betrag der Än
derung der elektrostatischen Kapazität erfaßt.
Fig. 7 zeigt einen Drehwinkelsensor 1 vom Kapazitätstyp, der
für die vorliegende Erfindung von Interesse ist. Dieser
Drehwinkelsensor 1 ist in der japanischen Gebrauchsmuster
anmeldungsoffenlegungsschrift Nr. 55-88109 (1980) beschrie
ben.
Dieser Sensor 1 umfaßt ein Gehäuse 2, das aus Metall be
steht. Das Gehäuse 2 hält durch die Lager 3 und 4 drehbar
eine Welle 5. Zumindest ein Abschnitt der Welle 5, der in
dem Gehäuse 2 angeordnet ist, besteht aus einem Metall, das
gegenüber dem Gehäuse 2 elektrisch isoliert ist.
Das Gehäuse 2 ist in seinem Inneren mit einer Mehrzahl von
festen Elektroden 6 und einer Mehrzahl von Drehelektroden 7,
die zwischen den festen Elektroden 6 angeordnet sind, ver
sehen. Die Drehelektroden 7 sind an der Welle 5 befestigt.
Die Welle 5 ist in gleitendem Kontakt mit einem Kollektor 8,
der z. B. aus einem Klavierdraht besteht, der mit einem
äußeren Anschluß 9 elektrisch verbunden ist. Der äußere An
schluß 9 erstreckt sich durch eine Isolierbuchse 10 durch
das Gehäuse 2. Die Isolierbuchse 10 ist ebenfalls angepaßt,
um den Kollektor 8 zu halten.
Die festen Elektroden 6 sind elektrisch mit einem anderen
äußeren Anschluß 11 verbunden. Der äußere Anschluß 11 er
streckt sich durch eine weitere Isolierbuchse 12 durch das
Gehäuse 2. Die Isolierbuchse 12 ist ebenfalls angepaßt, um
die festen Elektroden 6 zu halten.
Die Formen der festen Elektroden 6 und der Drehelektroden 7
sind so gewählt, daß sich deren überlappende Bereiche mit
den Änderungen des Drehwinkels der Welle 5 verändern. Die
Welle 5 wird als Reaktion auf einen zu erfassenden Dreh
winkel gedreht. Daher werden die sich überlappenden Bereiche
der festen und Drehelektroden 6 und 7 in Übereinstimmung mit
dem zu erfassenden Drehwinkel verändern, so daß sich eine
durch die festen und Drehelektroden 6 und 7 gebildete
elektrostatische Kapazität als Reaktion darauf ändert. Diese
elektrostatische Kapazität wird von den äußeren Anschlüssen
9 und 11 abgeleitet. Folglich ist es möglich, den zu er
fassenden Drehwinkel durch eine Änderung der elektrostati
schen Kapazität zu erkennen.
Bei dem oben erwähnten Sensor 1 schließen jedoch leitfähige
Wege, die die Drehelektroden 7 mit dem äußeren Anschluß 9
verbinden, einen Abschnitt des Kollektors 8 ein, der in
gleitendem Kontakt mit der Welle 5 ist, und die elektrischen
Eigenschaften und die Lebensdauer dieses Sensors 1 hängen
daher von dem Zustand des Kollektors 8, der in gleitendem
Kontakt mit der Welle 5 ist, und der Lebensdauer des Kollek
tors 8 selbst ab. Folglich ist dieser Sensor 1 bezüglich
seiner Zuverlässigkeit und Dauerhaftigkeit unzureichend.
Die Fig. 8A und 8B zeigen die prinzipiellen Elemente, die
in einer weiteren Art eines Drehwinkelsensors vom Kapazi
tätstyp eingeschlossen sind, der von Interesse für die vor
liegende Erfindung ist. Dieser Drehwinkelsensor ist in der
japanischen Patentoffenlegungsschrift Nr. 4-172218 (1992)
beschrieben.
Wie in den Fig. 8A und 8B gezeigt ist, umfaßt dieser Sensor
eine erste und eine zweite feste Elektrode 13 und 14, die
einander gegenüberliegen, und eine Drehplatte 15, die aus
einer ferroelektrischen Substanz besteht, die zwischen die
festen Elektroden 13 und 14 eingefügt ist. Die erste feste
Elektrode 13 hat eine kreisförmige Form, während die zweite
feste Elektrode in ein erstes bzw. zweites festes geteiltes
Elektrodenbauglied 16 bzw. 17 geteilt ist, die halbkreisför
mige Formen haben. Die Drehplatte 15, die in der Form eines
Halbkreises ist, ist auf einer drehbar gehaltenen Welle 18
befestigt. Ein erster, zweiter und dritter äußerer Anschluß
19, 20 und 21 sind mit der ersten festen Elektrode 13, dem
ersten festen geteilten Elektrodenbauglied 16 bzw. dem
zweiten festen geteilten Elektrodenbauglied 17 verbunden.
Bei diesem Sensor dreht sich die Welle 18 entsprechend einem
zu erfassenden Drehwinkel. Als Reaktion auf diese Drehung
der Welle 18 wird die Drehplatte 15 gedreht, so daß sich
eine elektrostatische Kapazität, die zwischen der ersten
festen Elektrode 13 und dem ersten festen geteilten Elektro
denbauglied 16 bildet, und die sich zwischen der ersten
festen Elektrode 13 und dem zweiten festen geteilten Elek
trodenbauglied 17 bildet, differentiell ändert, und solche
differentiell geänderten elektrostatischen Kapazitäten
werden durch den ersten und zweiten äußeren Anschluß 19 und
20 bzw. den ersten und dritten äußeren Anschluß 19 und 21
abgeleitet.
Der oben erwähnte Sensor löst das Problem, das bei dem Sen
sor 1, der in Fig. 7 gezeigt ist, angetroffen wird, d. h. das
Problem, das die elektrischen Eigenschaften und die Lebens
dauer des Sensors von dem Zustand des gleitenden Kontaktes
und der Lebensdauer des Gleitkontaktabschnittes abhängen,
nachdem keine Gleitkontaktabschnitte auf den leitfähigen
Wegen zum Ableiten der elektrostatischen Kapazitäten vorge
sehen sind. Bei dem Sensor, der in Fig. 8A und 8B gezeigt
ist, tritt jedoch das folgende Problem auf:
Die elektrostatische Kapazität, die durch die erste feste
Elektrode 13 und das erste feste geteilte Elektrodenbauglied
16 oder durch die erste feste Elektrode 13 und das zweite
feste geteilte Elektrodenbauglied 17 gebildet wird, wird
maximal, wenn sich die Drehplatte 15 vollständig mit dem
ersten oder zweiten festen geteilten Elektrodenbauglied 16
oder 17 überlappt. Unter der Annahme, daß die Drehplatte 15
mittig zwischen der ersten und der zweiten festen Elektrode
13 und 14 angeordnet ist, wird die maximale elektrostatische
Kapazität CMAX wie folgt ausgedrückt:
CMAX = ε₀εSS/{(D - T)εS + T} (1)
wobei D den Abstand zwischen der ersten und der zweiten
Elektrode 13 und 14 darstellt, T stellt die Dicke der Dreh
platte 15 dar, S stellt die gegenüberliegende Fläche der
ersten festen Elektrode 13 und des ersten oder zweiten
festen geteilten Elektrodenbauglieds 16 oder 17 dar, ε₀
stellt die Dielektrizitätskonstante des Vakuums dar, und εS
stellt die relative Dielektrizitätskonstante der Drehplatte
15 dar.
Die elektrostatische Kapazität, die durch die erste feste
Elektrode 13 und das erste feste geteilte Elektrodenbauglied
16 gebildet wird, wird minimiert, wenn keine Drehplatte 15
dazwischen vorgesehen ist. Auf ähnliche Weise wird die elek
trostatische Kapazität, die durch die erste feste Elektrode
13 und das zweite feste geteilte Elektrodenbauglied 17 ge
bildet wird, ebenfalls minimiert, wenn keine Drehplatte 15
dazwischen vorgesehen ist. Eine solche minimale elektro
statische Kapazität CMIN wird wie folgt ausgedrückt:
CMIN = ε₀S/D (2)
Folglich wird die Differenz ΔC zwischen dem Maximal- und
Minimalwert CMAX und CMIN wie folgt ausgedrückt:
ΔC = CMAX - CMIN
= ε₀(εS - 1)ST/[D{DεS - T(εS - 1)}] (3)
Aus der Gleichung (3) ist es offensichtlich, daß es möglich
ist, die Differenz ΔC zu vergrößern, indem der Abstand (D -
T)/2 zwischen der Drehplatte 15 und der ersten oder zweiten
festen Elektrode 13 oder 14 reduziert wird. In diesem Fall
muß die Drehplatte 15 in der Mitte des Abstands D zwischen
der ersten und der zweiten festen Elektrode 13 und 14 ange
ordnet sein, wie es oben beschrieben wurde. Obwohl diese
Bedingung erfüllt ist, ist die Reduzierung des oben erwähn
ten Abstands (D - T)/2 beschränkt. Diesbezüglich offenbart
die japanische Patentanmeldungsoffenlegungsschrift Nr.
4-172218 (1992) keine Einrichtung zum Einstellen der Dreh
platte 15, um dieselbe in der Mitte des Abstands D zwischen
der ersten und der zweiten festen Elektrode 13 und 14 anzu
ordnen.
Aus der Gleichung (3) ist es ebenfalls offensichtlich, daß
es möglich ist, die Differenz ΔC zu vergrößern, indem die
gegenüberliegende Fläche S vergrößert wird. Wenn die gegen
überliegende Fläche S vergrößert wird, wird jedoch der Ge
samtsensor unerwünscht vergrößert. Deshalb kann diese Ein
richtung nicht einfach verwendet werden. Obwohl eine wesent
liche Erhöhung der minimalen elektrostatischen Kapazität
verhindert ist, ist die Zunahme der gegenüberliegenden
Fläche S beschränkt, weil die minimale elektrostatische
Kapazität durch die Fläche S der festen Elektrode 13 und des
festen geteilten Elektrodenbauglieds 16 oder 17 und auch
durch den Abstand D zwischen diesen beeinflußt ist.
Obwohl es möglich ist, die Differenz ΔC zwischen der ma
ximalen und der minimalen elektrostatischen Kapazität durch
Reduzierung des Abstands (D - T)/2 zwischen der Drehplatte
und der ersten oder zweiten festen Elektrode 13 oder 14 oder
durch Vergrößern der gegenüberliegenden Fläche S der ersten
festen Elektrode 13 und des ersten oder zweiten festen ge
teilten Elektrodenbauglieds 16 oder 17 in dem in Fig. 8A
und 8B gezeigten Sensor, wie oben beschrieben wurde, zu er
höhen, ist die Erhöhung der Differenz ΔC in jedem Fall be
schränkt. Folglich ist es unmöglich, die Drehwinkelerfas
sungsempfindlichkeit dieses Sensors bedeutend zu verbessern.
Die DD 2 53 670 A1 beschreibt eine Anordnung zur kapazitiven
Winkelwerterfassung zur Stabilitätsberechnung an Bord von
Schiffen. Die Anordnung umfaßt einen Stator aus flächenglei
chen, in zwei unterschiedlichen Ebenen aufgebauten, segment
förmig gegenüberliegenden, paarig zueinander angeordneten
Elektroden und einen mittig zwischen den Statorebenen ange
ordneten Rotor aus jeweils vier, in zwei unterschiedlichen
Ebenen rotationssymmetrisch angeordneten, segmentförmig und
gleichbeabstandet ausgeführten Elektroden, die mit den ihnen
gegenüberliegenden Elektroden der anderen Ebene verbunden
sind.
Die DE 33 28 421 A1 beschreibt einen Drehdetektor mit Elektro
den, die an einer ersten, fest angebrachten Platte, einer
drehbaren Platte und an einer zweiten, fest angebrachten
Platte vorgesehen sind.
Die US 092579 beschreibt einen Schleifer-freien Drehmel
der mit einer gedruckten Schaltung.
Ausgehend von diesem Stand der Technik liegt der Erfindung
die Aufgabe zugrunde, bei Beibehaltung der einfachen Struk
tur eines Drehwinkelsensors diesen so weiterzubilden, daß
die maximale elektrostatische Kapazität durch Vergrößerung
der Flächen der Elektroden erhöht werden kann, ohne daß dies
mit einer entsprechenden Erhöhung der minimalen Kapazität
einhergeht.
Diese Aufgabe wird durch einen kapazitiven Drehwinkelsensor
nach Anspruch 1 gelöst.
Kurz gesagt wird die maximale elektrostatische Kapazität,
die durch diesen Sensor geschaffen wird, durch gegenüber
liegende Flächen der festen und beweglichen geteilten Elek
trodenbauglieder bestimmt. Folglich ist es möglich, die
maximale elektrostatische Kapazität durch Vergrößern der
gegenüberliegenden Flächen zu vergrößern. Andererseits ist
die minimale elektrostatische Kapazität, die durch diesen
Sensor geschaffen wird, durch die oben erwähnten gegenüber
liegenden Flächen kaum beeinflußt. Deshalb ist es möglich,
die gegenüberliegenden Flächen zum Vergrößern der maximalen
elektrostatischen Kapazität zu vergrößern, ohne den mini
malen Wert im wesentlichen zu beeinflussen, wodurch der ein
stellbare Bereich der elektrostatischen Kapazitäten auf ein
fache Art vergrößert werden kann.
Bevorzugterweise umfaßt der Sensor gemäß der vorliegenden
Erfindung weiterhin eine Einrichtung zum Einstellen der Ab
stände zwischen den festen Elektrodeneinrichtungen und der
beweglichen Elektrodeneinrichtung. Gemäß dieser Abstands
einstelleinrichtung ist es möglich, die festen und beweg
lichen Elektrodeneinrichtungen auf einfache Art in geeignete
positionsmäßige Beziehung zueinander zu setzen. Folglich ist
es möglich, die Abweichung der elektrostatischen Kapazitä
ten, die durch die jeweiligen Sensoren einer Mehrzahl sol
cher Sensoren geschaffen wird, zu reduzieren, wodurch die
Genauigkeit der elektrostatischen Standardkapazitäten der
jeweiligen Sensoren verbessert wird.
Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung
werden nachfolgend unter Bezugnahme auf die bei liegenden
Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine perspektivische Darstellung, die in einer
explodierten Art die Elemente darstellt, die in
einem Drehwinkelsensor vom Kapazitätstyp gemäß
einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfin
dung enthalten sind;
Fig. 2 eine Längsschnittdarstellung des in Fig. 1 ge
zeigten Sensors mit einer hinzugefügten Abdeckung;
Fig. 3A eine perspektivische Darstellung, die die posi
tionsmäßige Beziehung zwischen den festen Elek
trodeneinrichtungen und der beweglichen Elektro
deneinrichtung des in Fig. 1 gezeigten Sensors zum
Erzeugen der maximalen elektrostatischen Kapazität
darstellt;
Fig. 3B ein Ersatzschaltbild, das den in Fig. 3A gezeigten
Zustand darstellt;
Fig. 4A eine perspektivische Darstellung, die die posi
tionsmäßige Beziehung zwischen den festen Elektro
deneinrichtungen und der beweglichen Elektroden
einrichtung in dem in Fig. 1 gezeigten Sensor zum
Erzeugen der minimalen elektrostatischen Kapazität
darstellt;
Fig. 4B ein Ersatzschaltbild, das den in Fig. 4A gezeigten
Zustand darstellt;
Fig. 5 die elektrostatischen Kapazitäten, die durch den in
Fig. 1 gezeigten Sensor erzeugt werden, abhängig
von den Drehwinkeln der beweglichen Elektrodenein
richtung;
Fig. 6 eine Längsschnittdarstellung, die einen Drehwin
kelsensor vom Kapazitätstyp gemäß einem weiteren
Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung
zeigt;
Fig. 7 eine Längsschnittdarstellung, die einen Drehwin
kelsensor vom Kapazitätstyp nach dem Stand der
Technik zeigt, der für die vorliegende Erfindung
von Interesse ist;
Fig. 8A eine perspektivische Darstellung, die die Elemente
darstellt, die in einem Sensor vom Kapazitätstyp
gemäß einem weiteren Stand der Technik enthalten
sind, der für die vorliegende Erfindung von
Interesse ist; und
Fig. 8B eine vordere Draufsichtdarstellung, die die in Fig. 8A
gezeigten Elemente darstellt.
In Fig. 1 und 2 ist ein Drehwinkelsensor 31 vom Kapazi
tätstyp gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden
Erfindung gezeigt, der eine erste und eine zweite feste
Elektrode 32 und 33, die parallel zueinander mit einem
vorgeschriebenen Abstand angeordnet sind, und eine beweg
liche Elektrode 34, die zwischen den festen Elektroden 32
und 33 parallel dazu in einem Zustand angeordnet ist, indem
sie von den festen Elektroden 32 und 33 elektrisch isoliert
ist, umfaßt. Die festen Elektroden 32 und 33 bzw. die be
wegliche Elektrode 34 sind in der Form von Platten.
Die erste feste Elektrode 32 umfaßt ein erstes und ein
zweites festes geteiltes Elektrodenbauglied 35 und 36, die
geteilt sind, um miteinander nicht in leitfähiger Verbindung
zu sein. Ähnlich umfaßt die zweite feste Elektrode 33 ein
erstes und ein zweites festes geteiltes Elektrodenbauglied
37 und 38. Ferner umfaßt die bewegliche Elektrode 34 ein
erstes und ein zweites bewegliches geteiltes Elektroden
bauglied 39 und 40, die geteilt sind, um miteinander nicht
in leitfähiger Verbindung zu sein. Diese Elektrodenbauglie
der 35 bis 40 sind durch Platten gebildet, die aus einem
leitfähigen Material, wie z. B. einem Metall, bestehen.
Alternativ können die Elektrodenbauglieder 35 bis 40 mit
leitfähigen Filmen versehen sein, die durch Plattieren der
Oberflächen der Platten, die aus einem elektrisch isolie
rendem Material, wie z. B. einem Harz, bestehen, oder ähn
liches gebildet werden.
Dieser Sensor 31 umfaßt als Gehäuse eine Abdeckung 41 und
eine Bodenabdeckung 42, die eine Öffnung der Abdeckung 41
schließt. Die Abdeckung 41 und die Bodenabdeckung 42 sind
bevorzugterweise aus leitfähigen Materialien hergestellt und
geerdet, so daß Elemente, die in einem Raum angeordnet sind,
der durch diese Bauglieder definiert ist, nicht durch eine
Streukapazität beeinflußt werden. Wenn ein solcher Vorteil
nicht erwünscht ist, kann zumindest die Abdeckung 41 oder
die Bodenabdeckung 42 aus einem elektrisch isolierenden
Material hergestellt sein.
Die bewegliche Elektrode 34 ist durch eine Welle 43 gehal
ten, um bezüglich der festen Elektroden 32 und 33 um eine
Mittenachse, die senkrecht zu ihrer Plattenoberfläche ist,
gedreht zu werden. Genauer gesagt sind das erste und das
zweite bewegliche geteilte Elektrodenbauglied 39 und 40 mit
Kerben 44 und 45 versehen, wohingegen die Welle 43 mit einer
Nut 46 versehen ist. Die Kantenabschnitte der beweglichen
geteilten Elektrodenbauglieder 39 und 40, die die Kerben 44
und 45 definieren, nehmen mit der Nut 46 Eingriff, so daß
die beweglichen geteilten Elektrodenbauglieder 39 und 40 auf
der Welle 43 befestigt sind. Die beweglichen geteilten Elek
trodenbauglieder 39 und 40 können mit der Welle 43 durch ein
Haftmittel oder ähnliches verbunden sein, oder die Erstge
nannten können auf der Letztgenannten mit einer anderen Be
festigungsstruktur befestigt sein.
Die Welle 43 ist aus einem elektrisch isolierendem Material,
wie z. B. einem Harz, hergestellt. Eine weitere Welle 47 aus
Metall ist mit einem unteren Endabschnitt dieser Welle 43
verbunden. Die Welle 47, die sich durch die Bodenabdeckung
42 erstreckt, ist bezüglich der Bodenabdeckung 42 durch
Lager 48 und 49 drehbar gehalten. Das Lager 49 ist auf der
Welle 47 durch eine Buchse 49a befestigt. Ein zu erfassendes
Objekt (nicht gezeigt) ist mit einem Endabschnitt der Welle
47, die über die Bodenabdeckung 42 hervorsteht, verbunden,
so daß sich die Welle 47 entsprechend einem zu erfassenden
Drehwinkel dreht. Die Welle 43 wird einstückig mit der Welle
47 gedreht, wodurch die bewegliche Elektrode bezüglich der
festen Elektroden 32 und 33 gedreht wird.
Die erste und zweite feste Elektrode 32 und 33 sind durch
einen Stator 50 gehalten, der aus einem elektrisch isolie
rendem Material, wie z. B. einem Harz, hergestellt ist.
Genauer gesagt sind Unterlegscheiben-artige Beabstandungen
51 und 52 aus einem leitfähigen Material zwischen den festen
geteilten Elektrodenbaugliedern 35 und 37 bzw. zwischen den
festen geteilten Elektrodenbaugliedern 36 und 38 angeordnet.
Weiterhin sind zylindrische Beabstandungen 53 und 54 aus
einem leitfähigen Material zwischen den festen geteilten
Elektrodenbaugliedern 37 bzw. 38 und dem Stator 50 ange
ordnet. Folglich werden die ersten und zweiten festen Elek
troden 32 und 33 und der Stator 50 auf vorgeschriebenen
Abständen gehalten. Weiterhin sind die festen geteilten
Elektrodenbauglieder 35 bis 38 mit Befestigungslöchern 55
bis 58 versehen. Befestigungsschrauben 59 werden eingeführt,
um sich durch die Befestigungslöcher 55, die Beabstandungen
51, die Befestigungslöcher 57 und die Beabstandungen 53 zu
erstrecken, und um in die Schraubenlöcher 60 zu passen, die
in dem Stator 50 vorgesehen sind. Auf ähnliche Weise werden
die Befestigungsschrauben 61 eingefügt, um sich durch die
Befestigungslöcher 56, die Beabstandungen 52, die Befesti
gungslöcher 58 und die Beabstandungen 54 zu erstrecken, und
um in die Schraubenlöcher 62 zu passen, die in dem Stator 50
vorgesehen sind.
Folglich sind die ersten und zweiten festen Elektroden 32
und 33 durch den Stator 50 gehalten, während die ersten und
zweiten festen geteilten Elektrodenbauglieder 35 und 37
elektrisch miteinander durch die Beabstandungen 51 und die
Befestigungsschrauben 59 verbunden sind, und die zweiten
festen geteilten Elektrodenbauglieder 36 und 38 elektrisch
miteinander durch die Beabstandungen 52 und die Befesti
gungsschrauben 61 verbunden sind. Weiterhin sind die festen
geteilten Elektrodenbauglieder 37 und 38 mit den externen
Anschlüssen 63 bzw. 64 elektrisch verbunden, wie es in Fig.
3A gezeigt ist.
Der Stator 50 ist auf der Bodenabdeckung 42 in einer posi
tionseinstellbaren Art befestigt. Genauer gesagt ist der
Stator an seinem unteren Abschnitt mit einer zylindrischen
Buchse 65 versehen, die mit einer Kerbe versehen ist, die
sich mit einer relativ großen Länge zur Aufnahme einer Be
festigungsschraube 66 vertikal erstreckt. Die Befestigungs
schraube 66 nimmt mit einem Kantenabschnitt, der die Kerbe
67 definiert, Eingriff, um in ein Schraubenloch 68, das in
der Bodenabdeckung vorgesehen ist, eingepaßt zu werden.
Die Position des Stators 50 bezüglich der Bodenabdeckung 42
kann in einem Bereich der vertikalen Länge der Kerbe 67 ver
ändert werden. Folglich ist es möglich, den Abstand zwischen
der ersten festen Elektrode 32 und der beweglichen Elektrode
34 und den zwischen der zweiten festen Elektrode 33 und der
beweglichen Elektrode 34 einzustellen, um zueinander gleich
zu sein. Wenn diese Abstände zueinander gleich eingestellt
sind, ist es möglich, die Abweichung der elektrostatischen
Kapazitäten zwischen einer Mehrzahl von Sensoren 31, die
erhalten werden, zu reduzieren, wodurch die Genauigkeit der
Standardwerte der elektrostatischen Kapazitäten verbessert
wird. Die Buchse 65 kann alternativ anstelle der oben er
wähnten Kerbe 67 mit einem Schlitz versehen sein. Weiterhin
können die Größen der Beabstandungen 51 bis 54 verändert
werden, um die Abschnitte der festen Elektroden 32 und 33
bezüglich der beweglichen Elektrode 34 einzustellen.
Die festen geteilten Elektrodenbauglieder 35 bis 38 sind
bevorzugterweise nicht in Kontakt mit der Welle 43. Deshalb
sind die festen geteilten Elektrodenbauglieder 35 bis 38 mit
Kerben 69 bis 72 versehen.
Der einstellbare Bereich der elektrostatischen Kapazitäten,
der durch den oben beschriebenen Sensor erzeugt wird, wird
nun beschrieben.
Wenn ein Zwischenraum 73 zwischen den beweglichen geteilten
Elektrodenbaugliedern 39 und 40 senkrecht zu den Zwischen
räumen 74 und 75 zwischen den festen geteilten Elektroden
baugliedern 35 und 36 und zwischen den festen geteilten
Elektrodenbaugliedern 37 und 38 ist, wie in Fig. 3A gezeigt
ist, erzeugt der Sensor 31 die maximale elektrostatische
Kapazität CMAX. Für den Sensor 31 ergibt sich ein Ersatz
schaltbild, wie es in Fig. 3B gezeigt ist.
In Fig. 3B stellt das Symbol C₁ eine elektrostatische Kapa
zität dar, die in dem Zwischenraum 74 gebildet ist, und das
Symbol C₂ stellt die dar, die in dem Zwischenraum 75 gebil
det ist. Die Symbole C₃, C₄, C₅ und C₆ stellen die elektro
statischen Kapazitäten dar, die zwischen dem ersten beweg
lichen geteilten Elektrodenbauglied 39 und den festen ge
teilten Elektrodenbaugliedern 35, 36, 37 bzw. 38 gebildet
sind. Die Symbole C₇, C₈, C₉ und C₁₀ stellen die elektro
statischen Kapazitäten dar, die zwischen dem zweiten beweg
lichen geteilten Elektrodenbauglied 40 und den festen ge
teilten Elektrodenbaugliedern 35, 36, 37 bzw. 38 gebildet
sind. Aus Fig. 3B ist es offensichtlich, daß die gesamte
elektrostatische Kapazität, die durch die äußeren Anschlüsse
63 und 64 abgeleitet wird, d. h. die maximale elektrosta
tische Kapazität CMAX wie folgt ausgedrückt wird:
CMAX = C₁ + C₂ + (C₃ + C₄) (C₅ + C₆)/{(C₃ + C₄) + (C₅ + C₆)}
+ (C₇ + C₈) (C₉ + C₁₀)/{(C₇ + C₈) + (C₉ + C₁₀)} (4)
Wenn der Zwischenraum 73 zwischen den beweglichen geteilten
Elektrodenbaugliedern 39 und 40 parallel zu den Zwischen
räumen 74 und 75 zwischen den festen geteilten Elektroden
baugliedern 35 und 36 und zwischen den festen geteilten
Elektrodenbaugliedern 37 und 38 ist, wie in Fig. 4A gezeigt
ist, erzeugt der Sensor 31 andererseits die minimale elek
trostatische Kapazität CMIN. Fig. 4B zeigt das elektrische
Ersatzschaltbild, das sich dadurch ergibt.
In Fig. 4B stellt das Symbol C₁₁ die gesamte elektrostati
sche Kapazität einer seriellen elektrostatischen Kapazität
dar, die durch die geteilten Elektrodenbauglieder 35, 39, 40
und 36 erzeugt wird, und die, die durch die geteilten Elek
trodenbauglieder 37, 39, 40 und 38 erzeugt wird. Aus Fig. 4B
ist es offensichtlich, daß die gesamte elektrostatische
Kapazität, die durch die äußeren Anschlüsse 63 und 64 abge
leitet wird, d. h. die minimale elektrostatische Kapazität
CMIN, wie folgt ausgedrückt wird:
CMIN = C₁ + C₂ + C₁₁ (5)
In einem Zustand, in dem ein solcher Minimalwert CMIN er
zeugt wird, ist die elektrostatische Kapazität C₁₁ extrem
klein. Weiterhin sind die elektrostatischen Kapazitäten C₁
und C₂ nicht durch gegenüberliegende Flächen der ersten und
zweiten festen Elektrode 32 und 33 und der beweglichen Elek
trode 34 besetzt. Wenn die gegenüberliegenden Flächen der
festen Elektroden 32 und 33 und der beweglichen Elektrode 34
vergrößert werden, um die maximale elektrostatische Kapa
zität CMAX zu vergrößern, wird daher auf den Minimalwert
CMIN im wesentlichen kein Einfluß ausgeübt. Folglich ist es
möglich, die Differenz zwischen der maximalen und der mini
malen elektrostatischen Kapazität CMAX und CMIN leicht zu
vergrößern, d. h. den einstellbaren Bereich der elektrosta
tischen Kapazitäten.
Fig. 5 zeigt die elektrostatischen Kapazitäten, die durch
den Sensor 31 erzeugt werden, die durch Änderungen der
Drehwinkel der beweglichen Elektrode 34 verändert werden.
Während der Sensor 31 gemäß dem oben erwähnten Ausführungs
beispiel zwei feste Elektroden 32 und 33 und eine bewegliche
Elektrode 34 umfaßt, kann die Anzahl von solchen Kombina
tionen aus festen und beweglichen Elektroden weiter erhöht
werden, wie später noch in Fig. 6 beschrieben wird. Es ist
möglich, die maximale elektrostatische Kapazität, die er
zeugt wird, durch Erhöhen der Anzahl der Kombination von
festen und beweglichen Elektroden zu erhöhen. Andererseits
wird die minimale elektrostatische Kapazität durch eine
solche Erhöhung der Anzahl der Kombination von festen und
beweglichen Elektroden nicht sonderlich erhöht. Folglich ist
es möglich, den einstellbaren Bereich der elektrostatischen
Kapazitäten weiter zu vergrößern.
Fig. 6 ist eine Schnittdarstellung, die der in Fig. 2 ent
spricht, die einen Drehwinkelsensor 31a vom Kapazitätstyp
gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel der vorliegenden
Erfindung zeigt. In Fig. 6 sind Elemente, die denen, die in
Fig. 2 gezeigt sind, entsprechen, durch ähnliche Bezugs
zeichen bezeichnet, um eine redundante Beschreibung zu ver
meiden.
Der Sensor 31a, der in Fig. 6 gezeigt ist, umfaßt zusätzlich
zu den Elementen, die denen entsprechen, die im Sensor 31,
der in Fig. 2 gezeigt ist, eingeschlossen sind, eine dritte
feste Elektrode 76, eine zweite bewegliche Elektrode 77 und
Beabstandungen 78 und 79. Weiterhin sind eine Welle 43 und
die Befestigungsschrauben 59 und 61 bezüglich ihrer Länge
verglichen mit denen, die in Fig. 2 gezeigt sind, weiter
vergrößert. Zusätzlich ist die Welle 43 mit einer weiteren
Nut 80 zum Anordnen der zweiten beweglichen Elektrode 77
versehen.
Während die Welle bei jedem der oben erwähnten Ausführungs
beispiele aus einem elektrisch zu isolierenden Material
hergestellt ist, kann dieselbe alternativ auf einem Metall
hergestellt sein, so daß lediglich ein Abschnitt, der mit
der beweglichen Elektrode 34 (und 77) in Kontakt ist, mit
einem elektrisch isolierenden Material bedeckt ist.
Während die aus Metall bestehende Welle 47 mit der elek
trisch isolierenden Welle 43 in jedem der oben beschriebenen
Ausführungsbeispiele verbunden ist, können diese Wellen 43
und 47 alternativ durch eine einstückige Komponente aus
einem elektrisch isolierenden Material hergestellt sein.
Claims (8)
1. Kapazitiver Drehwinkelsensor mit
- - einer ersten, festen, durch einen ersten Zwischen raum (74) geteilten Elektrode (32), aus zwei Elektrodenbaugliedern (35, 36),
- - einer zweiten, festen, durch einen zweiten Zwischen raum (75) geteilten Elektrode (33) aus zwei Elekrodenbaugliedern (37, 38), deren Elektrodenbauglieder (37, 38) gegenüberliegend zu den Elektrodenbaugliedern (35, 36) der ersten Elektrode (32) angeordnet sind, wobei der zweite Zwischenraum (75) mit dem ersten Zwischenraum (74) ausgerichtet ist,
- - zwei Anschlüssen (63, 64), von denen je einer mit je einem Teil der ersten und zweiten Elektrode verbun den ist,
- - einer drehbeweglichen, durch einen dritten Zwischen raum (73) zweigeteilten Elektrode (34), die zwischen der ersten und zweiten Elektrode zwischen einer er sten Stellung mit minimaler Kapazität zwischen den Anschlüssen (63, 64) und einer zweiten Einstellung mit maximaler Kapazität zwischen den Anschlüssen (63, 64) drehbar ist,
wobei in der ersten Einstellung der dritte Zwischen
raum (73) mit dem ersten und zweiten Zwischenraum
(74, 75) ausgerichtet ist und in der zweiten Ein
stellung der dritte Zwischenraum (73) senkrecht zu
dem ersten und zweiten Zwischenraum (74, 75) ver
läuft.
2. Kapazitiver Drehwinkelsensor gemäß Anspruch 1, gekenn
zeichnet durch
eine Einrichtung (51-54, 66, 67) zum Einstellen der Abstände zwischen den festen Elektroden (32, 33) und der beweglichen Elektrode (34).
eine Einrichtung (51-54, 66, 67) zum Einstellen der Abstände zwischen den festen Elektroden (32, 33) und der beweglichen Elektrode (34).
3. Kapazitiver Drehwinkelsensor gemäß Anspruch 2, dadurch
gekennzeichnet,
daß die Einrichtung zum Einstellen der Abstände zwischen den festen Elektroden (32, 33) und der beweglichen Elektrode (34) einen Stator (50), dessen Position einstellbar ist, erste Abstandhalter (51, 53), die zwischen dem Stator (50) und den ersten Elektroden baugliedern (35, 37) der festen Elektroden (32, 33) angeordnet sind, und zweite Abstandhalter (52, 54), die zwischen dem Stator (50) und den zweiten Elektro denbaugliedern (36, 38) der festen Elektroden (36, 38) an geordnet sind, umfaßt.
daß die Einrichtung zum Einstellen der Abstände zwischen den festen Elektroden (32, 33) und der beweglichen Elektrode (34) einen Stator (50), dessen Position einstellbar ist, erste Abstandhalter (51, 53), die zwischen dem Stator (50) und den ersten Elektroden baugliedern (35, 37) der festen Elektroden (32, 33) angeordnet sind, und zweite Abstandhalter (52, 54), die zwischen dem Stator (50) und den zweiten Elektro denbaugliedern (36, 38) der festen Elektroden (36, 38) an geordnet sind, umfaßt.
4. Kapazitiver Drehwinkelsensor nach Anspruch 3, dadurch
gekennzeichnet,
daß der Stator 50 die ersten und zweiten Abstandhalter (51-54) in elektrisch isoliertem Zustand voneinander hält, wobei die ersten und die zweiten Abstandhalter (51- 54) eine Leitfähigkeit aufweisen.
daß der Stator 50 die ersten und zweiten Abstandhalter (51-54) in elektrisch isoliertem Zustand voneinander hält, wobei die ersten und die zweiten Abstandhalter (51- 54) eine Leitfähigkeit aufweisen.
5. Kapazitiver Drehwinkelsensor nach einem der Ansprüche 1
bis 4, dadurch gekennzeichnet,
daß die festen Elektroden (32, 33) in der Form von Platten sind.
daß die festen Elektroden (32, 33) in der Form von Platten sind.
6. Kapazitiver Drehwinkelsensor nach einem der Ansprüche 1
bis 5, ferner gekennzeichnet durch
ein Gehäuse (41, 42) zur Aufnahme der festen Elektro den (32, 33) und der beweglichen Elektrode (34), aus dem ein Teil der Welle (47) hervorsteht.
ein Gehäuse (41, 42) zur Aufnahme der festen Elektro den (32, 33) und der beweglichen Elektrode (34), aus dem ein Teil der Welle (47) hervorsteht.
7. Kapazitiver Drehwinkelsensor nach Anspruch 6, dadurch
gekennzeichnet,
daß das Gehäuse (41, 42) eine Leitfähigkeit aufweist.
daß das Gehäuse (41, 42) eine Leitfähigkeit aufweist.
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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Family Applications (1)
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---|---|---|---|
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Country Status (3)
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US (1) | US5657006A (de) |
DE (1) | DE4414529C2 (de) |
IT (1) | IT1270048B (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19816810A1 (de) * | 1998-04-16 | 1999-10-28 | Preh Elektro Feinmechanik | Kapazitiver Winkelsensor |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SG85647A1 (en) * | 1998-06-29 | 2002-01-15 | Asulab Sa | Device including at least two coaxial wheels and means for detecting the angular position thereof and method for detecting said angular positions |
US6218803B1 (en) | 1999-06-04 | 2001-04-17 | Genetic Microsystems, Inc. | Position sensing with variable capacitance transducers |
JP2004294351A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-10-21 | Canon Inc | 電位センサおよび画像形成装置 |
JP2005241376A (ja) * | 2004-02-25 | 2005-09-08 | Denso Corp | 回転角度センサ |
US20060029151A1 (en) * | 2004-08-05 | 2006-02-09 | Moran Robert D | Capacitive data link |
US7075317B2 (en) * | 2004-08-06 | 2006-07-11 | Waters Investment Limited | System and method for measurement of small-angle or small-displacement |
US7135874B2 (en) * | 2004-08-06 | 2006-11-14 | Waters Investments Limited | System and method for enhanced measurement of rheological properties |
US7304637B2 (en) * | 2004-08-30 | 2007-12-04 | Avago Technologies Ecbuip (Singapore) Pte Ltd | Puck-based input device with rotation detection |
US7061745B2 (en) * | 2004-09-24 | 2006-06-13 | Varian, Inc. | Variable capacitor adjustable by linear motor |
DE102005048890A1 (de) * | 2005-10-12 | 2007-04-19 | BSH Bosch und Siemens Hausgeräte GmbH | Haushaltswäschetrockner und Verfahren zum Erkennen einer Drehbewegung einer Trommel |
EP1960733A1 (de) | 2005-12-11 | 2008-08-27 | Valeo Schalter und Sensoren GmbH | Drehwinkelsensor und drehwinkelsensorsystem |
DE202006003641U1 (de) * | 2006-03-08 | 2007-07-12 | Brose Fahrzeugteile Gmbh & Co. Kommanditgesellschaft, Coburg | Kapazitiver Drehsensor, Auswerteschaltung und Kraftfahrzeug-Verstelleinheit |
US9568301B2 (en) * | 2014-04-11 | 2017-02-14 | General Electric Company | Systems and methods for capacitive proximity sensing |
CN108469221B (zh) * | 2018-05-29 | 2023-06-02 | 南京铁道职业技术学院 | 高速铁路受电弓碳滑板表面损伤位移-电荷变换器 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE253670C (de) * | ||||
US4092579A (en) * | 1976-12-15 | 1978-05-30 | Contraves Goerz Corporation | Brushless printed circuit resolver |
JPS5588109A (en) * | 1978-12-27 | 1980-07-03 | Toshiba Corp | Regulated-power circuit |
JPS5927262A (ja) * | 1982-08-05 | 1984-02-13 | Nippon Soken Inc | 回転検出装置 |
DD253670A1 (de) * | 1986-11-12 | 1988-01-27 | Univ Rostock | Anordnung zur kapazitiven winkelwerterfassung |
DE3711062A1 (de) * | 1987-04-02 | 1988-10-20 | Herbert Leypold | Kapazitive absolute positionsmessvorrichtung |
JPH04172218A (ja) * | 1990-11-05 | 1992-06-19 | Kansei Corp | 回転角センサ |
-
1994
- 1994-04-21 IT ITMI940774A patent/IT1270048B/it active IP Right Grant
- 1994-04-26 DE DE4414529A patent/DE4414529C2/de not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-02-22 US US08/605,687 patent/US5657006A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19816810A1 (de) * | 1998-04-16 | 1999-10-28 | Preh Elektro Feinmechanik | Kapazitiver Winkelsensor |
DE19816810C2 (de) * | 1998-04-16 | 2000-06-08 | Preh Elektro Feinmechanik | Kapazitiver Winkelsensor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5657006A (en) | 1997-08-12 |
ITMI940774A0 (it) | 1994-04-21 |
DE4414529A1 (de) | 1994-10-27 |
IT1270048B (it) | 1997-04-28 |
ITMI940774A1 (it) | 1995-10-21 |
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