DE4340249A1 - Vorrichtung zum Tiefenbohren von Leiterplatten o. dgl. - Google Patents

Vorrichtung zum Tiefenbohren von Leiterplatten o. dgl.

Info

Publication number
DE4340249A1
DE4340249A1 DE4340249A DE4340249A DE4340249A1 DE 4340249 A1 DE4340249 A1 DE 4340249A1 DE 4340249 A DE4340249 A DE 4340249A DE 4340249 A DE4340249 A DE 4340249A DE 4340249 A1 DE4340249 A1 DE 4340249A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
drilling
potential
conductor layer
drilling tool
tool
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE4340249A
Other languages
English (en)
Inventor
Thomas Kunz
Gerhard Voith
Ulrich Rock
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Schmoll Maschinen GmbH
Original Assignee
Schmoll Maschinen GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Schmoll Maschinen GmbH filed Critical Schmoll Maschinen GmbH
Priority to DE4340249A priority Critical patent/DE4340249A1/de
Priority to JP6291695A priority patent/JPH07285097A/ja
Priority to IT94BZ000062A priority patent/IT1278342B1/it
Publication of DE4340249A1 publication Critical patent/DE4340249A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/26Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring depth
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q17/00Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
    • B23Q17/22Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring existing or desired position of tool or work
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/0011Working of insulating substrates or insulating layers
    • H05K3/0044Mechanical working of the substrate, e.g. drilling or punching
    • H05K3/0047Drilling of holes
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/0266Marks, test patterns or identification means
    • H05K1/0268Marks, test patterns or identification means for electrical inspection or testing
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/02Details related to mechanical or acoustic processing, e.g. drilling, punching, cutting, using ultrasound
    • H05K2203/0207Partly drilling through substrate until a controlled depth, e.g. with end-point detection

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Drilling And Boring (AREA)
  • Perforating, Stamping-Out Or Severing By Means Other Than Cutting (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Control Of Cutting Processes (AREA)

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Tiefen­ bohren von Leiterplatten oder dgl., bei welcher eine ein Bohrwerkzeug tragende Bohrspindel in Richtung der leitenden Oberflächenschicht der auf einem Maschinentisch angeordneten Leiterplatte absenkbar und die jeweilige Höhenstellung des Bohrwerkzeuges relativ zu der Leiterplattenoberfläche mittels einer Höhenmeßeinrichtung meßbar ist.
Mehrschichtige Leiterplatten werden nicht nur mit Durchgangs­ bohrungen, sondern wegen der höheren Ausnutzbarkeit in hohem Maße auch mit gebohrten Sacklöchern versehen, welche von der Oberfläche bis zu einer bestimmten Leiterschicht im Inneren der Leiterplatte reichen. Wegen der zunehmenden Miniaturisie­ rung und damit geringer werdenden Schichtdicken wird an die (relativ zu der Leiterplatten-Oberfläche gemessenen) Sack­ lochtiefe eine Toleranz von wenigen µm gestellt. Dieser For­ derung hat man bisher dadurch zu entsprechen versucht, daß der Bohrkopf mit einer Kalibriereinheit und - neben der Meß­ einrichtung für die Zustellung des Bohrkopfes - mit einer zweiten Tiefenmeßeinrichtung ausrüstete. Hierbei fährt der Bohrkopf nach der Werkzeugaufnahme über die Kalibriereinheit, senkt ab und gibt einen Null-Impuls an das zweite Meßsystem, durch welchen die Steuerung die jeweilige Stellung der Werk­ zeugspitze zur Oberfläche der Leiterplatte erkennt. Die Tie­ fenbohrgenauigkeit wird hier jedoch durch Ungenauigkeiten der Bohrspindel, des Z-Achsen-Vorschubs, der CNC-Steuerung, der Aufnahmeplatte, die mechanische Anbringung der zweiten Tie­ fenmeßeinrichtung und des Bohrwerkzeuges (z. B. aufgrund von Wärmedehnungen) sowie durch Unebenheiten des Leiterplattenma­ terials, Umgebungseinflüsse (z. B. Verschmutzungen) und die Maschinenwartung beeinträchtigt. Außerdem ist der maschinelle Aufwand durch die zusätzliche Meßeinrichtung und die z. B. einen Laser enthaltende Kalibriereinheit verhältnismäßig groß.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Einrichtung der eingangs genannten Art vorzuschlagen, welche bei einfa­ chem Aufbau höhere Tiefenbohrgenauigkeit zuläßt.
Diese Aufgabe wird bei einer Vorrichtung der eingangs genann­ ten Art erfindungsgemäß im wesentlichen dadurch gelöst, daß zwischen dem Bohrwerkzeug und der leitenden Oberflächen­ schicht bzw. der n-ten Leiterschicht eine Potentialdifferenz erzeugt wird und das bei Berührung der Spitze des Bohrwerk­ zeuges mit der Oberflächenschicht zwischen dem Bohrwerkzeug und der Oberflächenschicht abgreifbare Signal zur Bestimmung des Nullpegels der Bohrtiefe und ggf. das bei Berührung der Spitze des Bohrwerkzeuges mit der n-ten Leiterschicht ab­ greifbare Signal zur Bestimmung des Endpegels der Bohrtiefe verwendet wird.
Für die Tiefenmessung bedarf es auf diese Weise keiner zu­ sätzlichen Meßeinrichtung und auch keiner Kalibrierungssta­ tion. Ferner wird die Bohrtiefe immer genau von der Stelle aus gemessen, an welcher das Bohrwerkzeug ansetzt, so daß Unebenheiten der Leiterplatte keinen oder jedenfalls geringe­ ren Einfluß auf die Tiefentoleranz haben. Alleine die erfin­ dungsgemäße Bestimmung des Nullpegels führt gegenüber den bekannten Vorrichtungen zu höherer Tiefenbohrgenauigkeit, selbst wenn man von einer festen vorgegebenen Tiefenlage der n-ten Leiterschicht, bis zu welcher das Sackloch reichen soll, ausgeht. Wendet man das erfindungsgemäße Meßprinzip aber auch bei jedem Sackloch zusätzlich zur Bestimmung des Endpegels an, indem man feststellt, wann die Spitze des Bohr­ werkzeuges die n-te Leiterschicht berührt, können zusätzlich auch Ungenauigkeiten der Tiefenlage der n-ten Leiterschicht ausgeglichen und die Tiefentoleranz noch weiter verringert werden. Bei einer erfindungsgemäßen Vorrichtung ist die ohne­ hin vorhandene Höhenmeßeinrichtung für die Zustellung der Bohrspindel auch für die Messung der Bohrtiefe einsetzbar. Von dem durch Berührung der Spitze des Bohrwerkzeuges festge­ stellten Nullpegel an werden die Tiefenmeßsignale lediglich zweckmäßigerweise auf einen gesonderten Zähler der vorhande­ nen Höhenmeßeinrichtung gegeben.
Das erfindungsgemäße Meßprinzip ist nicht auf das Bohren beschränkt, sondern gleichermaßen auch beim Fräsen oder dgl. Materialbearbeitung einwendbar. Wenn zuvor und nachfolgend von "Tiefenbohren" die Rede ist, soll dies daher keine Be­ schränkung auf diesen Begriff darstellen.
Das Potential Pb des Bohrwerkzeuges kann durch unmittelbare mechanische Kontaktierung des Werkzeugrotors, z. B. mittels Elektrode, aufgebracht werden. Zweckmäßigerweise kann jedoch das Potential Pb induktiv oder kapazitiv, d. h. berührungslos, auf das Bohrwerkzeug gegeben werden.
Das Potential Po der leitenden Oberflächenschicht kann entwe­ der durch unmittelbare Kontaktierung erfolgen, wird jedoch bei einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung dadurch erzeugt, daß ein der Bohrspindel zugeordneter, bis auf die Oberflächenschicht absenkbarer und diese kontaktierender Niederhalter aus leitendem Material, wie Metall, auf das Potential Po gelegt wird.
Damit die Feststellung des Endpegels (der gewünschten Endla­ ge) des Bohrwerkzeuges beim Tiefenbohren nicht durch die Maßnahmen, die zur Bestimmung des Nullpegels erfindungsgemäß getroffen sind, beeinträchtigt wird, wird das Bohrwerkzeug zweckmäßigerweise auf ein Potential Pb von 0 Volt und die Oberflächenschicht bzw. die n-te Leiterschicht auf ein Poten­ tial Po bzw. Pn von p Volt (p ≠ 0) gelegt. Anhand der Signal­ größe ist in diesem Fall auch feststellbar, von welcher Lei­ terschicht das Signal kommt.
Da es bei der hohen Vorschubgeschwindigkeit des Bohrwerkzeu­ ges gewisse Schwierigkeiten bereitet, den Vorschub schnell genug zu bremsen, wenn der Bremsvorgang erst bei Berührung der Spitze des Bohrwerkzeuges mit der n-ten Leiterschicht eingeleitet wird, bis zu welcher das Sackloch reichen soll, wird gemäß einer Weiterbildung der Erfindung vorgeschlagen, zur Vorbestimmung der etwaigen Tiefenlage der n-ten Leiter­ schicht zunächst eine Probebohrung auszuführen. Bei der an­ schließenden Tiefenbohrung wird dann die Vorschubgeschwin­ digkeit des Bohrwerkzeugs in geringem Abstand vor Erreichen der Oberfläche der n-ten Leiterschicht (deren etwaige Tiefen­ lage nunmehr vorbekannt ist) auf einen geringeren Wert ge­ schaltet, so daß der "Bremsweg" bei Berührung der Spitze des Bohrwerkzeuges mit der n-ten Leiterschicht hinreichend gering ist.
Da die Tiefenlage der n-ten Leiterschicht innerhalb der Lei­ terplatte aufgrund von Fertigungstoleranz variiert, wodurch die Tiefenbohrgenauigkeit beeinträchtigt werden kann, wird bei einer noch weiteren Ausgestaltung der Erfindung vorgese­ hen, daß bei jeder Tiefenbohrung die bei der vorhergehenden Tiefenbohrung festgestellte Tiefenlage der n-ten Leiter­ schicht bei der Umschaltung der Vorschubgeschwindigkeit auf einen geringeren Wert unmittelbar vor Erreichen der n-ten Leiterschicht berücksichtigt wird. Hierbei macht man sich die Erfahrung zunutze, daß die Tiefenlage der Leiterschichten innerhalb der Leiterplatte sich nicht sprunghaft ändert, sondern nur allmählich. Auf diese Weise wird bei der jeweils nächsten Tiefenbohrung berücksichtigt, in welcher Tiefenlage das Nachbarsackloch endete.
Abgesehen von den bereits geschilderten Vorteilen (Vermeidung zahlreicher die Tiefenbohrgenauigkeit beeinträchtigender Fak­ toren) wird mit der erfindungsgemäßen Lösung eine automati­ sche z-Achseneinstellung und der damit verbundene Geschwin­ digkeitsvorteil erreicht, ferner ist eine Überwachung auf Bohrerbruch möglich.
Weitere Ziele, Merkmale, Vorteile und Anwendungsmöglichkeiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand der Zeichnung. Dabei bilden alle beschriebenen und/oder bildlich dargestellten Merkmale für sich oder in beliebiger Kombination den Gegenstand der Erfindung auch unabhängig von ihrer Zusammenfassung in den Ansprüchen oder deren Rückbeziehung.
Die einzige Figur veranschaulicht im vertikalen Schnitt sche­ matisch eine die Erfindung aufweisende Tiefenbohrvorrichtung.
Eine Leiterplatte LP ist auf einem mit möglichst ebener und möglichst horizontaler Oberfläche versehenen Maschinentisch 4, wenn erforderlich, isoliert angeordnet. Die Leiterplatte LP ist bspw. mit zwei Leiterschichten, der leitenden Ober­ flächenschicht So und der n-ten Leiterschicht Sn, veranschau­ licht. Zwischen den Leiterschichten So, Sn und unter der n- ten Leiterschicht Sn befinden sich i.d.R. im Wechsel weitere (nicht dargestellte) Isolier- und Leiterschichten. Oberhalb der Leiterplatte LP ist höhenverstellbar und rotierbar eine Bohrspindel 2 angeordnet, in welcher ein Bohrwerkzeug 1 mit­ tels eines Werkzeugrotors 5 gehalten ist. Entweder die Bohr­ spindel 2 oder/und der Werkzeugrotor 5 ist/sind elektrisch isoliert. Der Bohrspindel 2 ist bei dieser besonderen Ausge­ staltung der Erfindung ein metallener, d. h. leitfähiger Nie­ derhalter 3 zugeordnet, welcher vor Beginn des Tiefenbohrens auf die leitende Oberflächenschicht So der Leiterplatte LP abgesenkt wird. Die Höhenstellung der Bohrspindel 2 bzw. des Werkstückrotors 5 und damit des Bohrwerkzeuges 1 wird mittels einer Höhenmeßeinrichtung 6 gemessen.
Erfindungsgemäß wird zwischen dem Bohrwerkzeug 1 und der leitenden Oberflächenschicht So und der n-ten Leiterschicht Sn eine Potentialdifferenz ΔP dadurch erzeugt, daß die Bohr­ spindel 2 bspw. auf ein Potential Pb von 0 Volt, die Oberflä­ chenschicht So bzw. der mit dieser kontaktierte Niederhalter 3 auf ein Potential Po von po Volt (po ≠ 0) und die n-te Lei­ terschicht Sn auf einem Potential Pn von pn Volt (pn ≠ 0) gelegt wird. Berührt bei Beginn des Tiefenbohrens die Spitze des Bohrwerkzeuges 1 die Oberflächenschicht So, so ist zwi­ schen dem Bohrwerkzeug 1 und der Oberflächenschicht So ein Signal abgreifbar, welches mittels einer Signalauswertung 7 zur Bestimmung des Nullpegels der Bohrtiefe an die Höhenmeß­ einrichtung 6 geliefert werden kann. Von da an wird beim Vor­ schub des Bohrwerkzeugs 1 während des Tiefenbohrens die Hö­ henstellung der Bohrspindel 2 bzw. des Werkzeugrotors 5 mit­ tels der Höhenmeßeinrichtung 6 laufend gemessen, z. B. bis zum Erreichen einer Solltiefe, bei welcher der Vorschub des Bohr­ werkzeugs 1 abgeschaltet wird.
Wenn die n-te Leiterschicht Sn, welche mit dem Sackloch gera­ de erreicht werden soll, auf einem Potential Pn ≠ Pb liegt, kann, wenn die Spitze des Bohrwerkzeuges 1 die n-te Leiter­ schicht Sn berührt, ein Signal zwischen diesen beiden Kom­ ponenten abgegriffen und zur Bestimmung des Endpegels der Bohrtiefe der Höhenmeßeinrichtung 6 zugeführt werden, worauf der Vorschub des Bohrwerkzeugs 1 abgestellt wird. Die ge­ wünschte Sacklochtiefe kann auf diese Weise mit hoher Genau­ igkeit erreicht werden.
Zeichnerisch dargestellt ist schematisch eine mechanische Kontaktierung des Werkzeugrotors 5 zur Beaufschlagung mit dem Potential Pb. Das Potential Pb kann jedoch auch induktiv oder kapazitiv auf das Bohrwerkzeug 1 aufgebracht werden.
Bezugszeichenliste
1 Bohrwerkzeug
2 Bohrspindel
3 Niederhalter
4 Maschinentisch
5 Werkzeugrotor
6 Höhenmeßeinrichtung
7 Signalauswertung
LP Leiterplatte
So Oberflächenschicht
Sn n-te Leiterschicht
Pb Potential (Bohrer)
Po Potential (Oberflächenschicht bzw. Niederhalter)
Pn Potential (n-te Leiterschicht)

Claims (6)

1. Vorrichtung zum Tiefenbohren von Leiterplatten (LP) od. dgl., bei welcher eine ein Bohrwerkzeug (1) tragende Bohr­ spindel (2) in Richtung der leitenden Oberflächenschicht (So) der auf einem Maschinentisch (4) angeordneten Leiterplatte (LP) absenkbar und die jeweilige Höhenstellung des Bohrwerk­ zeuges (i) relativ zu der Leiterplattenoberfläche mittels einer Höhenmeßeinrichtung (6) meßbar ist, dadurch gekenn­ zeichnet, daß zwischen dem Bohrwerkzeug (1) und der leitenden Oberflächenschicht (So) bzw. der n-ten Leiterschicht (Sn) eine Potentialdifferenz (ΔP) erzeugt wird und das bei Berüh­ rung der Spitze des Bohrwerkzeuges (1) mit der Oberflächen­ schicht (So) zwischen dem Bohrwerkzeug (1) und der Oberflä­ chenschicht (So) abgreifbare Signal zur Bestimmung des Null­ pegels der Bohrtiefe und ggf. das bei Berührung der Spitze des Bohrwerkzeuges (1) mit der n-ten Leiterschicht (Sn) ab­ greifbare Signal zur Bestimmung des Endpegels der Bohrtiefe verwendet wird.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Potential (Pb) des Bohrwerkzeuges (1) durch unmittelbare Kontaktierung des Werkzeugrotors (5), induktiv oder kapazitiv aufgebracht wird.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich­ net, daß der Bohrspindel (2) ein bis auf die leitende Ober­ flächenschicht (So) absenkbarer Niederhalter (3) zugeordnet ist und das Potential (Po) der leitenden Oberflächenschicht (So) dadurch erzeugt wird, daß der Niederhalter (3) auf das Potential (Po) gelegt wird.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnete daß das Bohrwerkzeug (1) auf ein Potential (Pb) von 0 Volt und die Oberflächenschicht (So) bzw. die n-te Leiterschicht (Sn) auf ein Potential (Po) bzw. (Pn) von p Volt (p ≠ 0) gelegt wird.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß zur Vorbestimmung der etwaigen Tiefenlage der n-ten Leiterschicht (Sn) eine Probebohrung ausgeführt wird und daß bei der Ausführung der anschließenden Tiefen­ bohrung die Vorschubgeschwindigkeit des Bohrwerkzeuges (1) in geringem Abstand vor Erreichen der Oberfläche der n-ten Lei­ terschicht (Sn) auf einen geringeren Wert geschaltet wird.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß bei jeder Tiefenbohrung die bei der vor­ hergehenden Tiefenbohrung feststellbare Tiefenlage der n-ten Leiterschicht (Sn) bei der Umschaltung der Vorschubgeschwin­ digkeit auf einen geringeren Wert unmittelbar vor Erreichen der n-ten Leiterschicht (Sn) berücksichtigt wird.
DE4340249A 1993-11-26 1993-11-26 Vorrichtung zum Tiefenbohren von Leiterplatten o. dgl. Withdrawn DE4340249A1 (de)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4340249A DE4340249A1 (de) 1993-11-26 1993-11-26 Vorrichtung zum Tiefenbohren von Leiterplatten o. dgl.
JP6291695A JPH07285097A (ja) 1993-11-26 1994-11-25 プリント回路基板等の穿孔装置
IT94BZ000062A IT1278342B1 (it) 1993-11-26 1994-11-25 Dispositivo per la perforazione in profondita' di piastre conduttrici o simili.

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4340249A DE4340249A1 (de) 1993-11-26 1993-11-26 Vorrichtung zum Tiefenbohren von Leiterplatten o. dgl.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE4340249A1 true DE4340249A1 (de) 1995-06-01

Family

ID=6503463

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE4340249A Withdrawn DE4340249A1 (de) 1993-11-26 1993-11-26 Vorrichtung zum Tiefenbohren von Leiterplatten o. dgl.

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JPH07285097A (de)
DE (1) DE4340249A1 (de)
IT (1) IT1278342B1 (de)

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0808087A2 (de) * 1996-05-17 1997-11-19 PLURITEC ITALIA S.p.A. Vorrichtung und Verfahren zur Steuerung der Bearbeitungstiefe einer Maschine zum Bearbeiten von mehrschichtigen Leiterplatten
FR2774617A1 (fr) * 1998-02-06 1999-08-13 St Microelectronics Sa Procede et machine d'usinage d'une cavite dans une carte a puce electronique renfermant une antenne
FR2781589A1 (fr) * 1998-07-22 2000-01-28 Solaic Sa Dispositif de fraisage d'au moins une cavite a l'aplomb d'une antenne noyee dans un corps de carte, antenne pour carte a circuit integre et corps de carte comprenant une telle antenne
EP1162569A2 (de) * 1997-02-03 2001-12-12 Giesecke & Devrient GmbH Verfahren zur Herstellung eines Datenträgers
DE10040303A1 (de) * 2000-08-17 2002-04-04 Volker Nissen Verfahren zum definierten Tiefenbohren von Sacklöchern (blind vias) in mehrlagigen Leiterplatten (Multilayer)
WO2002038318A1 (de) * 2000-11-13 2002-05-16 Cimatec Gmbh Produkte Für Leiterplatten Verfahren zum definierten mechanischen bohren elektrischer leiterplatten oder leiterplattenpakete und bohrunterlage zur verwendung in diesem verfahren
EP1248502A1 (de) * 2001-04-02 2002-10-09 Posalux S.A. Verfahren zur Ermittlung von Unsicherheiten einer Leiterplatten-Perforationsvorrichtung
WO2004106847A1 (en) * 2003-06-02 2004-12-09 Novator Ab Method and apparatus for measuring a depth of holes in composite-material workpieces being machined by an orbiting cutting tool
EP1663569A2 (de) * 2003-09-19 2006-06-07 Viasystems Group, Inc Hinterbohrungssystem mit geschlossener schleife
DE102012203318A1 (de) 2011-12-22 2013-06-27 Rohde & Schwarz Gmbh & Co. Kg Verfahren zum Freilegen einer Schicht einer Leiterplatte und entsprechend freigelegte Leiterplatte
CN104057124A (zh) * 2013-03-19 2014-09-24 斯盖布莱恩财产管理有限公司 用于加工印制电路板的设备和方法
EP2987576A1 (de) 2014-08-19 2016-02-24 Skybrain Vermögensverwaltungs GmbH Verfahren zur Herstellung einer Bohrung und Bohrmaschine hierfür
DE102018127991A1 (de) * 2018-11-08 2020-05-14 Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. Verfahren zur mechanischen Bearbeitung einer Sandwichstruktur, Werkzeugeinrichtung und Sandwichstruktur
US11690177B2 (en) 2020-04-07 2023-06-27 Nextgin Technology Bv Methods and systems for back-drilling a multi-layer circuit board

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4901602B2 (ja) * 2007-06-22 2012-03-21 日立ビアメカニクス株式会社 プリント基板の製造方法及びプリント基板
CN102686050A (zh) * 2012-06-04 2012-09-19 广东成德电路股份有限公司 多层印制电路板的盲孔制作方法
CN103692485A (zh) * 2013-12-31 2014-04-02 林晓辉 皮带钻孔器
CN110402032B (zh) * 2019-08-16 2022-03-25 河南拓普艾科技有限公司 一种利用热传导性对电路板进行预加工的设备
JP7180960B2 (ja) * 2019-09-03 2022-11-30 ビアメカニクス株式会社 基板穴あけ装置及び基板穴あけ方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4765784A (en) * 1984-12-06 1988-08-23 Advanced Controls, Inc. Electronic depth control for drill
DE3719167C1 (de) * 1987-06-09 1988-11-03 Klingelnberg Soehne Numerisch gesteuerte Leiterplatten-Bearbeitungsmaschine
DE3206354C2 (de) * 1982-02-22 1989-09-28 Telenorma Telefonbau Und Normalzeit Gmbh, 6000 Frankfurt, De

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3206354C2 (de) * 1982-02-22 1989-09-28 Telenorma Telefonbau Und Normalzeit Gmbh, 6000 Frankfurt, De
US4765784A (en) * 1984-12-06 1988-08-23 Advanced Controls, Inc. Electronic depth control for drill
DE3719167C1 (de) * 1987-06-09 1988-11-03 Klingelnberg Soehne Numerisch gesteuerte Leiterplatten-Bearbeitungsmaschine

Cited By (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6309151B1 (en) 1996-05-17 2001-10-30 Pluritec Italia Device and method for controlling the machining depth of a machine for machining multilayer printed circuit boards
EP0808087A3 (de) * 1996-05-17 1998-09-09 PLURITEC ITALIA S.p.A. Vorrichtung und Verfahren zur Steuerung der Bearbeitungstiefe einer Maschine zum Bearbeiten von mehrschichtigen Leiterplatten
US6015249A (en) * 1996-05-17 2000-01-18 Pluritec Italia S.P.A. Device and method for controlling the machining depth of a machine for machining multilayer printed circuit boards
EP0808087A2 (de) * 1996-05-17 1997-11-19 PLURITEC ITALIA S.p.A. Vorrichtung und Verfahren zur Steuerung der Bearbeitungstiefe einer Maschine zum Bearbeiten von mehrschichtigen Leiterplatten
EP1162569A3 (de) * 1997-02-03 2003-11-12 Giesecke & Devrient GmbH Verfahren zur Herstellung eines Datenträgers
EP1162569A2 (de) * 1997-02-03 2001-12-12 Giesecke & Devrient GmbH Verfahren zur Herstellung eines Datenträgers
FR2774617A1 (fr) * 1998-02-06 1999-08-13 St Microelectronics Sa Procede et machine d'usinage d'une cavite dans une carte a puce electronique renfermant une antenne
US6174113B1 (en) 1998-02-06 2001-01-16 Stmicroelectronics S.A. Method and apparatus for machining a cavity in a smart card
FR2781589A1 (fr) * 1998-07-22 2000-01-28 Solaic Sa Dispositif de fraisage d'au moins une cavite a l'aplomb d'une antenne noyee dans un corps de carte, antenne pour carte a circuit integre et corps de carte comprenant une telle antenne
DE10040303A1 (de) * 2000-08-17 2002-04-04 Volker Nissen Verfahren zum definierten Tiefenbohren von Sacklöchern (blind vias) in mehrlagigen Leiterplatten (Multilayer)
DE10040303C2 (de) * 2000-08-17 2002-07-11 Volker Nissen Verfahren zum definierten Tiefenbohren von Sacklöchern (blind vias) in mehrlagigen Leiterplatten (Multilayer)
WO2002038318A1 (de) * 2000-11-13 2002-05-16 Cimatec Gmbh Produkte Für Leiterplatten Verfahren zum definierten mechanischen bohren elektrischer leiterplatten oder leiterplattenpakete und bohrunterlage zur verwendung in diesem verfahren
DE10056184A1 (de) * 2000-11-13 2002-05-29 Cimatec Gmbh Produkte Fuer Lei Bohrunterlage
EP1248502A1 (de) * 2001-04-02 2002-10-09 Posalux S.A. Verfahren zur Ermittlung von Unsicherheiten einer Leiterplatten-Perforationsvorrichtung
WO2004106847A1 (en) * 2003-06-02 2004-12-09 Novator Ab Method and apparatus for measuring a depth of holes in composite-material workpieces being machined by an orbiting cutting tool
US7351018B2 (en) 2003-06-02 2008-04-01 Novator Ab Method and apparatus for measuring a depth of holes in composite-material workpieces being machined by an orbiting cutting tool
EP1663569A2 (de) * 2003-09-19 2006-06-07 Viasystems Group, Inc Hinterbohrungssystem mit geschlossener schleife
US7096555B2 (en) 2003-09-19 2006-08-29 Viasystems Group, Inc. Closed loop backdrilling system
EP1663569A4 (de) * 2003-09-19 2009-04-15 Viasystems Group Inc Hinterbohrungssystem mit geschlossener schleife
DE102012203318A1 (de) 2011-12-22 2013-06-27 Rohde & Schwarz Gmbh & Co. Kg Verfahren zum Freilegen einer Schicht einer Leiterplatte und entsprechend freigelegte Leiterplatte
CN104057124A (zh) * 2013-03-19 2014-09-24 斯盖布莱恩财产管理有限公司 用于加工印制电路板的设备和方法
DE102013004679A1 (de) 2013-03-19 2014-09-25 Skybrain Vermögensverwaltung GmbH Vorrichtung und Verfahren zum Bearbeiten von Leiterplatten
DE102013004679B4 (de) * 2013-03-19 2017-11-23 Skybrain Vermögensverwaltung GmbH Vorrichtung und Verfahren zum Bearbeiten von Leiterplatten
CN104057124B (zh) * 2013-03-19 2019-03-08 斯盖布莱恩财产管理有限公司 用于加工印制电路板的设备和方法
EP2987576A1 (de) 2014-08-19 2016-02-24 Skybrain Vermögensverwaltungs GmbH Verfahren zur Herstellung einer Bohrung und Bohrmaschine hierfür
DE102018127991A1 (de) * 2018-11-08 2020-05-14 Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. Verfahren zur mechanischen Bearbeitung einer Sandwichstruktur, Werkzeugeinrichtung und Sandwichstruktur
US11690177B2 (en) 2020-04-07 2023-06-27 Nextgin Technology Bv Methods and systems for back-drilling a multi-layer circuit board

Also Published As

Publication number Publication date
JPH07285097A (ja) 1995-10-31
ITBZ940062A1 (it) 1996-05-25
IT1278342B1 (it) 1997-11-17
ITBZ940062A0 (it) 1994-11-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE4340249A1 (de) Vorrichtung zum Tiefenbohren von Leiterplatten o. dgl.
DE3906254C2 (de)
DE102013004679B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Bearbeiten von Leiterplatten
EP0053272B1 (de) Mehrlagen-Leiterplatte und Verfahren zur Ermittlung der Ist-Position innenliegender Anschlussflächen
DE3541072C2 (de)
DE602004010262T2 (de) Verfahren zum bewegen einer mit einer kamera versehenen vorrichtung zu einer zielposition mittels eines steuersytems und steuersystem dafür
DE3733253C2 (de) Verfahren zum Bohren von Löchern in Leiterplatten
DE3719167C1 (de) Numerisch gesteuerte Leiterplatten-Bearbeitungsmaschine
EP0280919A2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Ausrichten einer Traegerplatte fuer gedruckte Schaltungen, gegenueber der Druckeinrichtung einer Maschine zum Bearbeiten von gedruckten Schaltungen
DE2041678A1 (de) Verfahren zum Betrieb einer Transferpipette
DE102005053202A1 (de) Vorrichtung zum Vorbereiten einer Mehrschicht-Leiterplatte auf das Bohren von Kontaktierungsbohrungen
DE3206354C2 (de)
EP2987576A1 (de) Verfahren zur Herstellung einer Bohrung und Bohrmaschine hierfür
DE3201977A1 (de) Vorrichtung zum messen mechanischer groessen eines werkstuecks
DE3813248A1 (de) Tasteinrichtung
DE3831975A1 (de) Piezogesteuerter dynamischer tastkopf
DE4402463C2 (de) Vorrichtung zur diskontinuierlichen Erfassung der Dicke einer Schicht auf einer Metallschmelze
DE112015001760B4 (de) Drahterodiermaschine, Steuerungsverfahren einer Steuerung einer Drahterodiermaschine und Positionierungsverfahren
EP0093865B2 (de) Abtastvorrichtung zur Ermittlung von Warenbahnnähten
DE10040303C2 (de) Verfahren zum definierten Tiefenbohren von Sacklöchern (blind vias) in mehrlagigen Leiterplatten (Multilayer)
DE102020113134A1 (de) Bearbeitungsstation und Verfahren zur Bearbeitung von Werkstücken
EP3463748A1 (de) Ausrichtungsvorrichtung für drehwerkzeuge
DE4435670A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Bohren von Leiterplatten
DE202016106000U1 (de) Eintrittsmaterial und Bohrstation zur Bearbeitung von Leiterplatten
DE19847146A1 (de) Testadapter

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8136 Disposal/non-payment of the fee for publication/grant