DE602004010262T2 - Verfahren zum bewegen einer mit einer kamera versehenen vorrichtung zu einer zielposition mittels eines steuersytems und steuersystem dafür - Google Patents

Verfahren zum bewegen einer mit einer kamera versehenen vorrichtung zu einer zielposition mittels eines steuersytems und steuersystem dafür Download PDF

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Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bewegen einer Einrichtung zum Aufgreifen und Platzieren eines Bauteils an einer gewünschten Position mittels eines Steuersystems, wobei die Einrichtung mit einer Kamera versehen und die Kamera mit dem Steuersystem gekoppelt ist.
  • Die Erfindung betrifft ferner ein System, das eine mit einer Kamera versehene Einrichtung umfasst, wobei die Einrichtung mittels eines Steuersystems in eine gewünschte Position bewegt werden kann und die Kamera mit dem Steuersystem gekoppelt ist.
  • Bei einem derartigen Verfahren, das aus der US-Patentschrift US-A-5,880,849 bekannt ist, und bei einem derartigen System handelt es sich bei der Einrichtung um eine mit einer Düse versehene Bauteilplatzierungsmaschine, mit deren Hilfe Bauteile von einem Bauteilzuführer aufgegriffen werden, wonach die Einrichtung in eine Position über einem Substrat bewegt wird, auf dem das Bauteil anschließend positioniert wird. Die Einrichtung ist mit einer Kamera versehen, mit deren Hilfe ein Einzelbild des Bauteils bezogen auf die Düse sowie ein Einzelbild eines Teils des Substrats erzeugt werden. Der Teil des Substrats, von dem ein Bild erzeugt wird, ist mit einem Markierungselement versehen. Informationen über die gewünschte Position des Bauteils auf dem Substrat bezogen auf das Markierungselement sind in einem mit der Einrichtung gekoppelten Steuersystem gespeichert. Auf der Grundlage der mittels der Kamera erzeugten Bilder wird im Steuersystem eine gewünschte Steuerung der Einrichtung bestimmt, sodass das Bauteil in der gewünschten Position auf dem Substrat positioniert wird.
  • Ein Nachteil eines derartigen Verfahrens besteht darin, dass die gewünschte Position des Bauteils bezogen auf das Markierungselement auf dem Substrat im Steuersystem gespeichert ist, wobei die gewünschte Position auf einem theoretischen Modell des Substrats beruht, das mit den Bauteilen versehen werden soll. Wenn die tatsächliche gewünschte Position auf dem Substrat aufgrund von Fertigungsungenauigkeiten bezogen auf das Markierungselement nicht exakt liegt, wird das Bauteil theoretisch an der korrekten Position platziert, ist jedoch in Wirklichkeit nicht korrekt auf z. B. elektrisch leitenden Bahnen positioniert, die auf dem Substrat vorhanden sind.
  • Außerdem besteht, auch wenn zuvor ein Bild von der tatsächlichen Stelle erzeugt wird, an der das Bauteil platziert werden soll, noch immer das Risiko, dass sich während des Bewegens des Bauteils zur gewünschten Position die gewünschte Position geringfügig verändert hat – als Folge von z. B. Vibrationen der Einrichtung, da die Einrichtung Erschütterungen ausgesetzt ist, und anderer externer Faktoren – was dazu führt, dass das Bauteil noch immer nicht korrekt auf dem Substrat positioniert wird.
  • Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zu schaffen, mit dessen Hilfe eine Einrichtung zum Aufgreifen und Platzieren eines Bauteils an einer gewünschten Position mittels eines Steuersystems exakt zur gewünschten Position bewegt werden kann.
  • Diese Aufgabe wird in dem Verfahren gemäß der Erfindung gelöst, indem während des Bewegens der Einrichtung mit Hilfe der Kamera Bilder von der gewünschten Position aufgenommen werden, wobei die Anzahl von Bildern, die pro Zeiteinheit vom Steuersystem verarbeitetet werden, mit kleiner werdendem Abstand zwischen der Einrichtung und der gewünschten Position erhöht wird.
  • Auf diese Weise wird während des Bewegens der Einrichtung von der tatsächlichen gewünschten Position eine Anzahl von Bildern aufgenommen. Wenn der Abstand zwischen der Einrichtung und der gewünschten Position vergleichsweise groß ist, kann die Anzahl von Bildern, die pro Zeiteinheit aufgenommen und/oder pro Zeiteinheit verarbeitet werden, vergleichsweise klein sein, da die Bewegungsgenauigkeit während der Bewegung über eine vergleichsweise große Entfernung vergleichsweise ungenau sein darf. Wenn sich die Einrichtung jedoch näher an der gewünschten Position auf dem Substrat befindet, muss die Bewegung der Einrichtung exakter bestimmt werden, um die gewünschte Position letzten Endes exakt zu erreichen.
  • Daher wird mit kleiner werdendem Abstand die Anzahl von Bildern erhöht, die pro Zeiteinheit mittels des Steuersystems verarbeitet werden, um mittels des Steuersystems die Bewegung der Einrichtung zur gewünschten Position exakter bestimmen zu können.
  • Eine Ausführungsform des Verfahrens gemäß der Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass mit kleiner werdendem Abstand zwischen der Einrichtung und der gewünschten Position ein um die gewünschte Position herum gelegener Bereich in einem Bild reduziert wird, das mittels des Steuersystems analysiert wird.
  • Wenn der Abstand zwischen der Einrichtung und der gewünschten Position vergleichsweise groß ist, muss ein Bild von einer vergleichsweise großen Region um die gewünschte Position herum erzeugt werden, um zu gewährleisten, dass die gewünschte Position im Bild vorhanden ist. Bei einem vergleichsweise großen Abstand zur gewünschten Position ist die Genauigkeit, mit der die gewünschte Position bestimmt werden kann, weniger relevant. Sobald die Einrichtung jedoch in eine näher zur gewünschten Position liegenden Position bewegt wurde, ist es wichtig, dass ein exaktes Bild der gewünschten Position und des umgebenden Bereichs erzeugt wird. Dieser Bereich kann vergleichsweise klein sein, infolgedessen ist jedoch die Geschwindigkeit, mit der das Bild im Steuersystem analysiert werden kann, vergleichsweise hoch. Da außerdem bei einem vergleichsweise kleinen Abstand zur gewünschten Position die Anzahl von Bildern erhöht wird, die mittels des Steuersystems pro Zeiteinheit verarbeitet werden, ist eine Reduzierung des zu verarbeitenden Bereichs auch wichtig, um die Bilder im Steuersystem vergleichsweise rasch analysieren zu können. Der Abstand zwischen der Einrichtung und der gewünschten Position kann physikalisch bestimmt werden. Da die Einrichtung in Richtung der gewünschten Position bewegt wird, ist es auch möglich, nach Ablauf einer gewissen Zeitspanne davon auszugehen, dass der Abstand reduziert wurde, wobei in diesem Moment der zu analysierende Bereich anschließend reduziert wird.
  • Eine Ausführungsform gemäß der Erfindung ist ferner dadurch gekennzeichnet, dass die Anzahl der mittels des Steuersystems pro Zeiteinheit verarbeiteten Bilder schrittweise erhöht wird.
  • Durch das schrittweise Erhöhen der Anzahl der mittels des Steuersystems pro Zeiteinheit verarbeiteten Bilder, wenn beispielsweise ein vorgegebener Abstand zur gewünschten Position erreicht wurde, kann die gewünschte Genauigkeit während des Bewegens der Einrichtung zur gewünschten Position leicht erreicht werden.
  • Noch eine weitere Ausführungsform des Verfahrens gemäß der Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass mittels des Steuersystems eine mit Hilfe eines Sensors beobachtete Bewegung der Einrichtung mit Informationen aus den Bildern kombiniert wird, die mittels der Kamera erzeugt wurden.
  • Auf diese Weise findet im Steuersystem eine direkte Rückkopplung der mit Hilfe des Sensors beobachteten Bewegung der Einrichtung sowie der Informationen bezüg lich der Position der Einrichtung bezogen auf die gewünschte Position statt, die aus den mittels einer Kamera erzeugten Bildern gewonnen wurden. Die rasche und exakte Rückkopplung ist somit insbesondere in der Nähe der gewünschten Position gewährleistet. Außerdem kann die Einrichtung mittels des Sensors bewegt werden, solange die gewünschte Position mittels der Kamera noch nicht beobachtet werden kann.
  • Die Erfindung betrifft außerdem die Schaffung eines Systems, mit dessen Hilfe eine Einrichtung exakt zu einer gewünschten Position bewegt werden kann.
  • Bei dem System gemäß der Erfindung wird die Aufgabe dadurch gelöst, dass das Steuersystem Mittel zum Bestimmen eines Abstands zwischen der Einrichtung und der gewünschten Position sowie Mittel zum Erhöhen der Anzahl von Bildern umfasst, die pro Zeiteinheit verarbeitet werden sollen.
  • Durch die Verwendung der Mittel zum Erhöhen der Anzahl von Bildern, die pro Zeiteinheit verarbeitet werden sollen, ist es möglich, die Anzahl von pro Zeiteinheit zu verarbeitenden Bildern bei einem vergleichsweise kleinen Abstand zwischen der Einrichtung und der gewünschten Position zu erhöhen, sodass nahe der gewünschten Position mehr Bilder verarbeitet werden, wodurch die Einrichtung exakter zur gewünschten Position gesteuert werden kann.
  • Diese sowie weitere Aspekte der Erfindung werden anhand der nachfolgend beschriebenen Ausführungsform(en) erläutert und verständlich. Es zeigen:
  • 1 eine perspektivische Ansicht eines Systems gemäß der Erfindung,
  • 2 bis 4 Steuerschemata eines Steuersystems des erfindungsgemäßen Systems, das in 1 gezeigt ist.
  • 1 zeigt ein System 1 gemäß der Erfindung, das mit einem Rahmen 2, Transportschienen 3, die vom Rahmen 2 gehalten werden, und einer auf den Transportschienen 3 befindlichen beweglichen Einrichtung 4 versehen ist, wobei die verschiebbare Einrichtung mit einer Kamera 5 und einer Düse 6 versehen ist. Die Einrichtung 4 kann unter Verwendung an sich bekannter Mittel in Richtungen, die durch die Pfeile X, Y angezeigt sind, sowie in Gegenrichtungen bewegt werden. Die Düse 6 ist ferner in einer durch einen Pfeil Z angezeigten Richtung sowie in die Gegenrichtung beweglich. Das System 1 ist mit einem Steuersystem 7 versehen, das elektrisch mit der Kamera 5 sowie mit Antriebsmitteln verbunden ist, um die Einrichtung 4 in die Richtungen zu bewegen, die durch die Pfeile X, Y angezeigt sind. Die Antriebsmittel der Einrichtung 4 umfassen vorzugsweise Servomotoren, die mit Codierern versehen sind, die als Sensor zum Bestimmen der Richtung der Einrichtung 4 in der X- bzw. Y-Richtung dienen. Die Codierer sind elektrisch mit dem Steuersystem 7 verbunden.
  • Mittels der Transportschienen 3 wird ein Substrat 8 in die durch den Pfeil X angezeigte Richtung in eine Position nahe der Position der Einrichtung 4 bewegt. Auf dem Substrat 8 sind eine Anzahl von Referenzelementen 9 sowie eine Anzahl von Positionen 10 vorgesehen, an denen Bauteile zu positionieren sind. Nahe den Transportschienen 3 ist eine Anzahl von (nicht dargestellten) Bauteilzuführern angeordnet, von denen ein Bauteil einzeln mittels der Düse 6 aufgegriffen werden kann, wobei das Bauteil anschließend in einer gewünschten Position auf dem Substrat 8 positioniert werden muss. Das bisher beschriebene System ist an sich bekannt und entspricht weitgehend dem in US-A-5,880,849 beschriebenen System.
  • 2 zeigt eine erste Ausführungsform eines im Steuersystem 7 vorgesehenen Steuerschemas 20. Da die Kamera 5 mit der Einrichtung verbunden ist, kann die Position der Einrichtung 4 abgeleitet werden. Die gewünschte Position 10 auf dem Substrat 8 wird mittels der Kamera 5 in einem Bild aufgezeichnet. Das Bild und die Position der Einrichtung werden einer Bildverarbeitungseinrichtung 22 zugeführt. Auf der Grundlage des auf diese Weise verarbeiteten Bildes wird ein Planer 23 zur Bestimmung einer Route verwendet, die die Einrichtung 4 und das von ihr gehaltene Bauteil zurücklegen müssen, um das Bauteil in der korrekten Position 10 auf dem Substrat 8 positionieren zu können. In dem auch als Bahngenerator bezeichneten Planer 23 wird eine optimale Zeit für die von der Einrichtung zu überbrückende Entfernung berechnet, wobei unter anderem die Maximaldrehzahlen der Sensormotoren berücksichtigt werden. Die Verarbeitungsfrequenz eines derartigen Planers ist vergleichsweise niedrig und die Anzahl von zu verarbeitenden Bildern kann somit ebenfalls klein sein. Von der Einrichtung 4 werden die durch den Codierer 21 bestimmten Positionen der Einrichtung 4 in der X- und Y-Richtung einem Komparator 24 zugeführt, in welchem die Differenz zwischen der aus dem Bild bestimmten Position der Einrichtung 4 bezogen auf die gewünschte Position 10 und der auf der Grundlage des Codierers 21 bestimmten Position der Einrichtung 4 verglichen wird. Die Differenz wird einer Steuereinheit 25 zugeführt, mit der die von der Einrichtung 4 auszuführende Bewegung bestimmt wird.
  • 3 zeigt ein anderes Steuerschema 30 des Steuersystems 7 gemäß der Erfindung. Das Steuerschema 30 unterscheidet sich von dem in 2 gezeigten Steuerschema dadurch, dass der Planer 23 durch einen Komparator 31 und eine Einheit 26 ersetzt ist. Im Komparator 31 wird die aus einem Bild bestimmte relative Position zwischen der Einrichtung 4 und der gewünschten Position 10 mit einem Referenzwert verglichen. Dieser Referenzwert zeigt eine aus dem Bild ermittelte gewünschte Verschiebung der gewünschten Position und die tatsächliche Position an, an der das Bauteil platziert werden muss. Es ist beispielsweise möglich, das Bauteil in einer in Bezug auf ein auf dem Substrat vorhandenes Leiterbahnmuster geringfügig gedrehten Position zu positionieren. Außerdem kann der Komparator 31 weggelassen werden. Die Differenz wird einer Einheit 26 zugeführt, in der ein Pfad berechnet wird, dem die Einrichtung 4 folgen muss. Die Größe des um die gewünschte Position 10 herum gelegenen, zu analysierenden Bereichs, der mittels des Bildprozessors 22 verarbeitet wird, kann optisch reduziert werden, um die Einrichtung 4 exakt zu bewegen. Der um die gewünschte Position 10 herum gelegene, zu analysierende Bereich wird mit kleiner werdendem Abstand zwischen der Einrichtung 4 und der gewünschten Position 10 sowohl hinsichtlich der Software als auch optisch reduziert. Die durch die Einheit 26 durchgeführten Berechnungen sind weniger komplex als die des Planers 23. In der Steuereinheit 26 wird vorzugsweise nur die Differenz zwischen der tatsächlichen Position und der gewünschten Position der Einrichtung verglichen, wodurch mit höherer Frequenz Berechnungen ausgeführt und Bilder analysiert werden können, was die exakte Bewegung der Einrichtung 4 zur gewünschten Position ermöglicht. Aufgrund dessen wird es für das Steuerschema 30 möglich, Bilder mit höherer Geschwindigkeit zu verarbeiten als das Steuerschema 20.
  • 4 zeigt eine dritte Ausführungsform eines Steuerschemas 40 des Steuersystems 7 eines Systems 1 gemäß der Erfindung. Das mittels der Kamera 5 erhaltene Bild wird in einem Bildprozessor 41 analysiert; vorzugsweise werden nur bestimmte, deutlich erkennbare Aspekte der gewünschten Position 10 analysiert, die auf dem Bild sichtbar sind, wodurch die vergleichsweise rasche Bestimmung der Position der Einrichtung 4 bezogen auf die gewünschte Position 10 ermöglicht wird. Die tatsächliche Position der Einrichtung 4 wird außerdem mittels des Codierers 21 bestimmt. Die mittels des Codierers 21 und des Bildprozessors 41 bestimmten Positionen werden einem Filter zugeführt, z. B. einem erweiteten Kalman-Filter, worin die tatsächliche Position der Einrichtung 4 exakt bestimmt wird. Wenn die Codierer mit einer höheren Frequenz als die Kamera 5 arbeiteten, ist es möglich, mittels der Codierer 21 Informationen zu erhalten, die exakter sind als die aus den Bildern erhaltenen Informationen, die mittels der Kamera 5 erzeugt wurden. Durch Kombinieren der Verwendung von Codierern und von mittels der Kamera 5 erhaltenen Bildern kann ein exakteres und schnelleres Positionieren der Einrichtung 4 auf der gewünschten Position 10 erreicht werden. Der aus dem Filter 27 stammende Wert wird einem Komparator 42 zugeführt, in welchem die berechnete, tatsächliche Position mit dem Referenzwert verglichen wird. Ansonsten entspricht das Steuerschema 40 dem Steuerschema 30.
  • Das System 1 arbeitet wie folgt.
  • Zuerst wird die Einrichtung 4 mittels des Steuersystems 7 zu einem Bauteilzuführer bewegt, wo mittels der Düse 6 ein Bauteil aufgegriffen wird. Beim Aufgreifen eines Bauteils kann die Kamera 5 genutzt werden, um die Aufgreifgenauigkeit zu erhöhen. Außerdem kann mittels der Kamera 5 die Position des von der Düse 6 gehaltenen Bauteils bezogen auf die Einrichtung 4 bestimmt werden. Auf der Grundlage der Informationen betreffs der relativen Position des Substrats 8 in Bezug auf die Transportschienen 3, die im Steuersystem gespeichert sind, sowie auf der Grundlage der mittels des Codierers bestimmten Position der Einrichtung 4 kann die Einrichtung 4 in Richtung der gewünschten Position 10 bewegt werden.
  • Sobald die gewünschte Position 10 mittels der Kamera 5 erkannt wird, werden Bilder des Substrats 8 und der gewünschten Position 10 auf dem Substrat im Steuersystem 7 mit einer vergleichsweise niedrigen Frequenz von beispielsweise 25 Hz verarbeitet. Diese Bilder werden mit Hilfe des Steuerschemas 20 verarbeitet.
  • In diesem Stadium muss die Einrichtung 4 so rasch wie möglich nahe an die gewünschte Position 10 bewegt werden, wobei dieser Vorgang keine hohen Genauigkeitsanforderungen erfüllen muss.
  • Sobald der Abstand zwischen der Einrichtung 4 und der gewünschten Position 10 einen bestimmten Schwellenwert unterschreitet, wird die Anzahl von Bildern, die mittels des Steuersystems 7 pro Zeiteinheit verarbeitet werden, auf beispielsweise 500 Hz erhöht. Außerdem findet im Steuersystem 7 eine Umschaltung vom Steuerschema 20 auf das Steuerschema 30 oder 40 statt. Um alle Bilder, die mittels dieser Frequenz erzeugt wurden, rasch verarbeiten zu können, wird der Bereich um die gewünschte Position 10 herum, der im Bildprozessor berücksichtigt wird, reduziert, und es werden vorzugsweise nur relevante Aspekte der gewünschten Position, wie z. B. ein bestimmtes Element des Leiterbahnmusters, analysiert.
  • Falls erforderlich, können unterschiedliche Steuerschemata 20, 30, 40 im Steuersystem 7 untergebracht werden, und je nach dem Abstand zwischen der Einrichtung 4 und der gewünschten Position 10 werden zuerst das Steuerschema 20 und anschließend ein Steuerschema 30 oder 40 angewendet. Alternativ dazu können zuerst das Steuerschema 20 und anschließend das Steuerschema 30, gefolgt vom Steuerschema 40, angewendet werden, wobei die Anzahl pro Zeiteinheit verarbeiteter Bilder zwischen jedem Umschaltvorgang vom Steuerschema 20 zum Steuerschema 30 oder 40 erhöht wird.
  • Es ist auch möglich, dass das von der Kamera erzeugte Bild sowohl die Einrichtung als auch die gewünschte Position zeigt. Aus einem derartigen Bild kann der Abstand zwischen der Einrichtung und der gewünschten Position direkt abgeleitet werden. Dies ist exakter als die Situation, in der die Position der Einrichtung abgeleitet werden muss.

Claims (6)

  1. Verfahren zum Bewegen einer Einrichtung (4) zum Aufgreifen und Platzieren eines Bauteils an einer gewünschten Position (10) mittels eines Steuersystems (7), wobei die Einrichtung (4) mit einer Kamera (5) versehen und die Kamera (5) mit dem Steuersystem (7) gekoppelt ist, dadurch gekennzeichnet, dass während des Bewegens der Einrichtung mittels der Kamera (5) Bilder von der gewünschten Position (10) aufgenommen werden, wobei die Anzahl von Bildern, die pro Zeiteinheit vom Steuersystem (7) verarbeitetet werden, mit kleiner werdendem Abstand zwischen der Einrichtung (4) und der gewünschten Position (10) erhöht wird.
  2. Verfahren gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass mit kleiner werdendem Abstand zwischen der Einrichtung (4) und der gewünschten Position (10) ein um die gewünschte Position herum gelegener Bereich in einem Bild reduziert wird, das mittels des Steuersystems (7) analysiert wird.
  3. Verfahren gemäß Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Anzahl der mittels des Steuersystems (7) pro Zeiteinheit verarbeiteten Bilder schrittweise erhöht wird.
  4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mittels des Steuersystems (7) eine mit Hilfe eines Sensors beobachtete Bewegung der Einrichtung (4) mit Informationen aus den mittels der Kamera (5) erzeugten Bildern kombiniert wird.
  5. System (1), welches eine Einrichtung (4) zum Aufgreifen und Platzieren eines Bauteils umfasst, wobei die Einrichtung mit einer Kamera (5) versehen ist und mittels eines Steuersystems (7) zu einer gewünschten Position (10) bewegt werden kann, und wobei die Kamera (5) mit dem Steuersystem (7) gekoppelt ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Steuersystem (7) Mittel (20; 30; 40) zum Bestimmen eines Abstands zwischen der Ein richtung (4) und der gewünschten Position (10) sowie Mittel (26; 42) zum Erhöhen der Anzahl von Bildern umfasst, die pro Zeiteinheit verarbeitet werden sollen.
  6. System (1) nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Einrichtung (4) mit einem Sensor versehen ist, mittels dessen eine Bewegung der Einrichtung aufgezeichnet werden kann.
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